CN110003798B - 一种抛光液及其制备方法和应用 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种抛光液及其制备方法和应用，所述抛光液包括如下重量百分比的组分：硅溶胶80‑94％；分散剂0.05‑2％；pH调节剂0.1‑5％；液体润滑剂‑环糊精包合物1‑5％；保湿剂1‑3％；水余量；抛光液用于蓝宝石晶片的抛光过程中，在保证平均抛光速率的同时，可以减少二氧化硅晶体的析出，从而减少二氧化硅晶体对蓝宝石晶片的划伤，另一方面减少抛光液在机台上结晶，降低清理机台的时间，从而提高了生产效率。

Description

一种抛光液及其制备方法和应用

技术领域

本发明属于抛光液技术领域，具体涉及一种抛光液及其制备方法和应用。

背景技术

蓝宝石是一种集优良的光学性能、物理性能和化学性能于一体的多功能氧化物晶体。单晶蓝宝石具有很好的热特性、耐磨性、电气特性和介电特性，其硬度仅次于金刚石，达到莫氏9级，在高温下仍具有较好的稳定性，因此在光电子、通讯、国防等领域都具有广泛的应用。

随着科学技术的不断发展，上述应用领域对蓝宝石晶体的加工精度和表面完整性要求越来越高，蓝宝石的高效低损伤加工技术成为阻碍蓝宝石工业应用的主要障碍。当前市场上用于蓝宝石精密加工的抛光液主要是以二氧化硅为磨料，而在抛光过程中由于摩擦生热，造成抛光液中水分损失，二氧化硅胶体结晶形成大颗粒，使得蓝宝石晶片表面出现划痕，必须返工重抛，增加工作量，甚至会导致蓝宝石晶片厚度过薄而报废，降低成品率。另外，抛光液溅到机台上形成结晶必须定期清理，费时费力，降低生产效率。

CN108359384A公开了一种蓝宝石抛光液，其原料包括：复合磨料、pH调节剂、分散剂、表面活性剂。其中复合磨料采用如下工艺制备：将磨料、硅溶胶、分散剂加入湿法球磨机中，调节pH值为2.5-8.5，球磨制得预制料A；将预制A加水稀释为质量百分比浓度为2-7％的分散液，在室温下加入金属盐，升温至80-100℃，搅拌0.5-1h，再滴加硅酸粒径生长，调节pH值为8-12，陈化制得预制料B；将预制料B经浓缩制得复合磨料；该发明制备的抛光液具有较高的硬度和抛光速率，但是其未公开能够缓解抛光过程中二氧化硅结晶的问题。

CN108359383A公开了一种蓝宝石材料表面精密加工专用耐磨纳米浆料，其包括下述原料：硅溶胶、助磨剂、加速剂、分散剂、pH值调节剂；所述抗磨剂为：四硼酸钠和/或硼酸钾50％，去离子水50％；所述加速剂为：四甲基溴化铵和/或溴化铵40～80％，去离子水20～60％；所述分散剂为：三异丙醇胺和/或三乙醇胺40％，去离子水60％；所述pH值调节剂为碱性pH调节剂。这几种物质按照配比配合使用，在抛光蓝宝石的过程中使抛光速率保持在比较稳定的状态，抛光后的蓝宝石表面没有结晶，从而克服了蓝宝石抛光液性能不稳定，循环寿命短的技术问题，也可以降低蓝宝石抛光的成本，但是其未提及不会对蓝宝石晶片产生损伤。

因此，提供一种在保证平均抛光速率的同时，能够减少二氧化硅晶体结晶从而减少对蓝宝石晶片损伤的抛光液非常有必要。

发明内容

本发明的目的在于提供一种抛光液及其制备方法和应用，所述抛光液中加入环糊精和保湿剂，二者共同使用，并搭配其他物质配合使用，在保证平均抛光速率的同时，可以减少使用过程中水分的挥发，从而可以减少二氧化硅的结晶，此外蓝宝石为硬性材质，在抛光液使用过程中，环糊精包合物的微型胶囊会破损，液体润滑剂会释放出来，增强了使用过程中的润滑性能，减少了摩擦生热造成的水分的蒸发，从而缓解了二氧化硅的结晶速度，从而一方面缓解了二氧化硅晶体对蓝宝石晶片的划伤，另一方面也减少抛光液在机台上结晶，降低了清理机台的时间，提高生产效率。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

本发明的目的之一在于提供一种抛光液，所述抛光液包括如下重量百分比的组分：

本发明的抛光液用于蓝宝石晶片的抛光过程中，在保证平均抛光速率的同时，可以减少二氧化硅晶体的析出，从而减少二氧化硅晶体对蓝宝石晶片的划伤，另一方面减少抛光液在机台上结晶，降低清理机台的时间，从而提高了生产效率。

本发明中，硅溶胶作为磨料，具有硬度高，铸造光洁度高的优点；分散剂起到较好的分散作用，避免硅溶胶中二氧化硅聚结；pH调节剂为碱性调节剂，保证硅溶胶在混合过程中保持pH为9-12.5；液体润滑剂-环糊精包合物和保湿剂二者共同使用，能够减少使用过程中水分的挥发，可以减少二氧化硅的结晶，此外蓝宝石为硬性材质，在抛光液使用过程中，液体润滑剂-环糊精包合物的微型胶囊会破损，液体润滑剂会释放出来，增强了使用过程中的润滑性能，减少摩擦生热造成的水分的蒸发，从而缓解了二氧化硅的结晶速度，从而一方面缓解了二氧化硅晶体对蓝宝石晶片的划伤，另一方面也减少了抛光液在机台上结晶，降低了清理机台的时间，提高了生产效率。

本发明中液体润滑剂-环糊精包合物为环糊精分子的空间结构全部或部分包入液体润滑剂而成，又为分子胶囊；其中环糊精分子结构由6个以上葡萄糖通过α-1,4糖苷键连接而成，呈桶状。桶内形成疏水性空腔，能吸收一定大小和形状的疏水性小分子物质或基团，形成稳定的非共价复合物，因此能起到较好的包合效果。

在本发明中，所述硅溶胶的重量百分比为80-94％，例如80％、81％、82％、83％、84％、85％、86％、87％、88％、89％、90％、91％、92％、93％、94％等。

在本发明中，所述分散剂的重量百分比为0.05-2％，例如0.05％、0.08％、0.1％、0.3％、0.5％、0.8％、1.0％、1.2％、1.5％、1.7％、2％等。

在本发明中，所述pH调节剂的重量百分比为0.1-5％，例如0.1％、0.5％、1％、1.5％、2％、2.5％、3％、3.5％、4％、4.5％、5％等。

在本发明中，所述液体润滑剂-环糊精包合物的重量百分比为1-5％，例如1％、1.5％、2％、2.5％、3％、3.5％、4％、4.5％、5％等。

在本发明中，所述保湿剂的重量百分比为1-3％，例如1％、1.2％、1.5％、1.7％、2％、2.2％、2.5％、2.7％、3％等。

作为本发明优选的技术方案，所述抛光液包括如下重量百分比的组分：

在本发明中，所述硅溶胶为二氧化硅在水中的分散液。

在本发明中，所述二氧化硅的粒径为80-150nm，例如80nm、85nm、90nm、95nm、100nm、105nm、110nm、115nm、120nm、125nm、130nm、135nm、140nm、145nm、150nm等。

在本发明中，所述硅溶胶中二氧化硅的固含量为30-50％，例如30％、32％、35％、37％、40％、42％、45％、47％、50％等。

本发明选用二氧化硅粒径为80-150nm，二氧化硅固含量为30-50％的硅溶胶，可以提高抛光液的平均抛光速率，当其粒径或固含量不在本发明限定的范围之内，则会影响抛光液的平均抛光速率。

在本发明中，所述硅溶胶的pH为9-12.5，例如9、9.2、9.5、9.8、10、10.2、10.5、10.7、11、11.2、11.5、11.7、12、12.2、12.5等。

在本发明中，所述分散剂包括聚丙烯酸钠、焦磷酸钠、正磷酸钠、聚乙二醇400或柠檬酸钠中的任意一种或至少两种的组合，优选聚乙二醇400。

在本发明中，所述pH调节剂包括氢氧化钾、氢氧化钠、氨水、乙二胺、乙醇胺、异丙醇胺或三乙醇胺中的任意一种或至少两种的组合。

在本发明中，所述pH调节剂为氢氧化钾、乙二胺和三乙醇胺的组合。

在本发明中，所述氢氧化钾、乙二胺和三乙醇胺的质量比为1:1:1。

本发明选用氢氧化钾、乙二胺和三乙醇胺的组合作为pH调节剂，三者配合且在本发明限定的质量比范围内使用，具有较好的调节效果；若缺少三者中的任意一种或质量比不在本发明限定的范围内，则会影响pH的调节效果。

在本发明中，所述保湿剂包括丙三醇、丙二醇、山梨醇、丁二醇或聚乙烯醇中的任意一种或至少两种的组合，优选丁二醇。

在本发明中，所述液体润滑剂-环糊精包合物中液体润滑剂和环糊精的质量比为1:(1-5)，例如1:1、1:1.5、1:2、1:2.5、1:3、1:3.5、1:4、1:4.5、1:5等。

本发明中，液体润滑剂-环糊精包合物中环糊精的分子空间结构会形成桶装的疏水空腔，能将液体润滑剂全部或部分包入到环糊精的疏水空腔内，从而起到较好的包合效果；当二者的质量比不在本发明限定的范围之内，则会影响包合效果，从而影响抛光的持久性效果。

在本发明中，所述液体润滑剂为脂肪醇聚氧乙烯醚和/或壬基酚聚氧乙烯醚。

在本发明中，所述脂肪醇聚氧乙烯醚和壬基酚聚氧乙烯醚的质量比为(1-3):1，例如1:1、1.2:1、1.5:1、1.8:1、2:1、2.2:1、2.5:1、2.7:1、3:1等，优选1:1。

本发明中液体润滑剂选用脂肪醇聚氧乙烯醚和壬基酚聚氧乙烯醚的组合，当选用二者组合，且二者的质量比在本发明限定的范围之内，具有较好的润滑效果，当缺少二者中的任意一种或二者的质量比不在本发明限定的范围之内，则润滑效果会有所降低。

在本发明中，所述液体润滑剂-环糊精包合物的制备方法包括：将环糊精饱和溶液中加入液体润滑剂，混合，得到液体润滑剂-环糊精包合物。

在本发明中，所述混合的时间为30-90min，例如30min、40min、50min、60min、70min、80min、90min等。

在本发明中，所述制备方法还包括对混合后得到的混合物进行反溶剂结晶。

本发明中采用反溶剂结晶是通过加入正庚烷或正辛烷等进行反溶剂结晶。

在本发明中，所述抛光液还包括2-5％的加工助剂，例如2％、2.5％、3％、3.5％、4％、4.5％、5％等。

在本发明中，所述加工助剂包括抛光加速剂、表面活性剂或透感增强剂中的任意一种或至少两种的组合，优选抛光加速剂。

在本发明中，所述抛光加速剂包括过硫酸钠、硝酸铁、氯化钾或四甲基氢氧化铵中的任意一种或至少两种的组合，优选过硫酸钠。

本发明的目的之二在于提供一种如目的之一所述抛光液的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：

(1)将硅溶胶、液体润滑剂-环糊精包合物、保湿剂以及水混合，得到混合物；

(2)将分散剂和pH调节剂加入到步骤(1)得到的混合物中，混合，得到所述抛光液。

本发明中抛光液的制备方法简单、原料易得、价格低廉、易于实施、适用于工业大规模生产应用。

在本发明中，步骤(1)所述混合是在搅拌条件下进行混合的。

在本发明中，步骤(1)所述混合的时间为10-30min，例如10min、12min、15min、18min、20min、22min、25min、27min、30min等。

在本发明中，步骤(2)所述混合是在搅拌条件下进行的。

在本发明中，步骤(2)所述混合的时间为20-40min，例如20min、22min、25min、27min、30min、32min、35min、37min、40min等。

本发明的目的之三在于提供一种如目的之一所述抛光液在蓝宝石晶片加工中的应用。

相对于现有技术，本发明具有以下有益效果：

本发明的抛光液用于蓝宝石晶片的抛光过程中，在保证平均抛光速率的同时，可以减少二氧化硅晶体的析出，从而减少二氧化硅晶体对蓝宝石晶片的划伤，另一方面减少抛光液在机台上结晶，降低清理机台的时间，从而提高了生产效率；通过加入环糊精和保湿剂，并通过配合其他物质使用，可以减少使用过程中水分的挥发，从而可以减少二氧化硅的结晶，此外蓝宝石为硬性材质，在抛光液使用过程中，液体润滑剂-环糊精包合物的微型胶囊会破损，液体润滑剂会释放出来，增强了使用过程中的润滑性能，减少了摩擦生热造成的水分的蒸发，从而缓解了二氧化硅的结晶速度，从而一方面缓解了二氧化硅晶体对蓝宝石晶片的划伤，另一方面也减少抛光液在机台上结晶，降低了清理机台的时间，提高生产效率；抛光液的制备方法简单、原料易得、价格低廉、易于实施、适用于在蓝宝石晶片加工中的应用。

具体实施方式

下面通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。本领域技术人员应该明了，所述实施例仅仅是帮助理解本发明，不应视为对本发明的具体限制。

实施例1

本实施例提供一种抛光液，所述抛光液包括如下重量百分比的组分：

其中硅溶胶中二氧化硅的粒径为120nm，硅溶胶中二氧化硅的固容量为40％；分散剂为聚乙二醇400；pH调节剂为氢氧化钾、乙二胺和三乙醇胺的组合，氢氧化钾、乙二胺和三乙醇胺的质量比为1:1:1；保湿剂为丁二醇；液体润滑剂-环糊精包合物中液体润滑剂和环糊精的质量比为1:3，液体润滑剂为脂肪醇聚氧乙烯醚和壬基酚聚氧乙烯醚的组合，脂肪醇聚氧乙烯醚和壬基酚聚氧乙烯醚的质量比为1:1；液体润滑剂-环糊精包合物的制备方法包括：将环糊精饱和水溶液中加入质量比为1:1的脂肪醇聚氧乙烯醚和壬基酚聚氧乙烯醚，混合60min，而后加入正庚烷进行反溶剂结晶，得到液体润滑剂-环糊精包合物。

本实施例还提供一种抛光液的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：

(1)将硅溶胶、液体润滑剂-环糊精包合物、保湿剂以及水在搅拌条件下混合20min，得到混合物；

(2)将分散剂和pH调节剂加入到步骤(1)得到的混合物中，在搅拌条件下混合30min，得到所述抛光液。

实施例2

本实施例提供一种抛光液，所述抛光液包括如下重量百分比的组分：

其中硅溶胶中二氧化硅的粒径为80nm，硅溶胶中二氧化硅的固容量为50％；分散剂为柠檬酸钠；pH调节剂为氢氧化钾、乙二胺和三乙醇胺的组合，氢氧化钾、乙二胺和三乙醇胺的质量比为1:1:1；保湿剂为丙三醇；液体润滑剂-环糊精包合物中液体润滑剂和环糊精的质量比为1:1，液体润滑剂为脂肪醇聚氧乙烯醚和壬基酚聚氧乙烯醚的组合，脂肪醇聚氧乙烯醚和壬基酚聚氧乙烯醚的质量比为3:1；液体润滑剂-环糊精包合物的制备方法包括：将环糊精饱和水溶液中加入质量比为3:1的脂肪醇聚氧乙烯醚和壬基酚聚氧乙烯醚，混合90min，而后加入正庚烷进行反溶剂结晶，得到液体润滑剂-环糊精包合物。

本实施例还提供一种抛光液的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：

(1)将硅溶胶、液体润滑剂-环糊精包合物、保湿剂以及水在搅拌条件下混合10min，得到混合物；

(2)将分散剂和pH调节剂加入到步骤(1)得到的混合物中，在搅拌条件下混合20min，得到所述抛光液。

实施例3

本实施例提供一种抛光液，所述抛光液包括如下重量百分比的组分：

其中硅溶胶中二氧化硅的粒径为150nm，硅溶胶中二氧化硅的固容量为30％；分散剂为正磷酸钠；pH调节剂为氢氧化钾、乙二胺和三乙醇胺的组合，氢氧化钾、乙二胺和三乙醇胺的质量比为1:1:1；保湿剂为丙二醇；液体润滑剂-环糊精包合物中液体润滑剂和环糊精的质量比为1:5，液体润滑剂为脂肪醇聚氧乙烯醚和壬基酚聚氧乙烯醚的组合，脂肪醇聚氧乙烯醚和壬基酚聚氧乙烯醚的质量比为2:1；液体润滑剂-环糊精包合物的制备方法包括：将环糊精饱和水溶液中加入质量比为2:1的脂肪醇聚氧乙烯醚和壬基酚聚氧乙烯醚，混合30min，而后加入正庚烷进行反溶剂结晶，得到液体润滑剂-环糊精包合物。

本实施例还提供一种抛光液的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：

(1)将硅溶胶、液体润滑剂-环糊精包合物、保湿剂以及水在搅拌条件下混合30min，得到混合物；

(2)将分散剂和pH调节剂加入到步骤(1)得到的混合物中，在搅拌条件下混合40min，得到所述抛光液。

实施例4

本实施例提供一种抛光液，所述抛光液包括如下重量百分比的组分：

其中硅溶胶中二氧化硅的粒径为140nm，硅溶胶中二氧化硅的固容量为50％；分散剂为焦磷酸钠；pH调节剂为氢氧化钾、乙二胺和三乙醇胺的组合，氢氧化钾、乙二胺和三乙醇胺的质量比为1:1:1；保湿剂为山梨醇；液体润滑剂-环糊精包合物中液体润滑剂和环糊精的质量比为1:5，液体润滑剂为脂肪醇聚氧乙烯醚和壬基酚聚氧乙烯醚的组合，脂肪醇聚氧乙烯醚和壬基酚聚氧乙烯醚的质量比为2:1；液体润滑剂-环糊精包合物的制备方法包括：将环糊精饱和水溶液中加入质量比为2:1的脂肪醇聚氧乙烯醚和壬基酚聚氧乙烯醚，混合30min，而后加入正庚烷进行反溶剂结晶，得到液体润滑剂-环糊精包合物。

本实施例还提供一种抛光液的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：

(1)将硅溶胶、液体润滑剂-环糊精包合物、保湿剂以及水在搅拌条件下混合25min，得到混合物；

(2)将分散剂和pH调节剂加入到步骤(1)得到的混合物中，在搅拌条件下混合25min，得到所述抛光液。

实施例5

与实施例1的区别仅在于液体润滑剂和环糊精的质量比为0.5:1，其余组成以及制备方法均与实施例1相同。

实施例6

与实施例1的区别仅在于液体润滑剂和环糊精的质量比为1:8，其余组成以及制备方法均与实施例1相同。

实施例7

与实施例1的区别仅在于脂肪醇聚氧乙烯醚和壬基酚聚氧乙烯醚的质量比为0.5:1，其余组成以及制备方法均与实施例1相同。

实施例8

与实施例1的区别仅在于脂肪醇聚氧乙烯醚和壬基酚聚氧乙烯醚的质量比为5:1，其余组成以及制备方法均与实施例1相同。

实施例9

与实施例1的区别仅在于液体润滑剂不包括脂肪醇聚氧乙烯醚，仅为壬基酚聚氧乙烯醚，其余组成以及制备方法均与实施例1相同。

实施例10

与实施例1的区别仅在于液体润滑剂不包括壬基酚聚氧乙烯醚，仅为脂肪醇聚氧乙烯醚，其余组成以及制备方法均与实施例1相同。

实施例11

与实施例1的区别在于固溶胶中二氧化硅的粒径为300nm，其余组成以及制备方法均与实施例1相同。

实施例12

与实施例1的区别仅在于硅溶胶中二氧化硅的固含量为20％，其余组成以及制备方法均与实施例1相同。

对比例1

与实施例1的区别仅在于抛光液不包括环糊精包合物，保湿剂的添加量为实施例1中环糊精包合物和保湿剂的添加量之和，其余组成以及制备方法均与实施例1相同。

对比例2

与实施例1的区别仅在于抛光液不包括保湿剂，环糊精包合物的添加量为实施例1中保湿剂和环糊精包合物的添加量之和，其余组成以及制备方法均与实施例1相同。

对比例3

与实施例1的区别在于用同等添加量的环糊精替换环糊精包合物，其余组成以及制备方法均与实施例1相同。

对比例4

与实施例1的区别在于用同等添加量的液体润滑剂替换环糊精包合物，其余组成以及制备方法均与实施例1相同。

将实施例1-12和对比例1-4制备得到的抛光液对蓝宝石抛光去除速率和表面性能进行如下测试：

(1)平均抛光速率：通过厚度仪进行测试；

(2)表面粗糙度：通过原子力显微镜进行检测；

(3)抛光后蓝宝石表观形貌：通过原子力显微镜进行检测；

(4)抛光后蓝宝石表观结晶情况测试：将所得的抛光液和纯水按照体积比1:1混合，而后在36B抛光机(NTS公司)上加工4英寸C向蓝宝石片，使用suba 600抛光垫，压力5psi，下盘转速55rpm，抛光液流量10L/min，机台抛光液出口加装1微米滤网，抛光结束后取下滤网烘干称重抛光液抛光过程中产生结晶的量。

测试结果见表1：

表1

由表1的结果可知，本发明通过各组分在特定的比例下相配合，得到了一种具有抛光平均速率较高、表面粗糙度较低、抛光过程中会产生较少的二氧化硅晶体且不会对蓝宝石晶面产生损伤的抛光液；由实施例1和实施例5-6的对比可知，当液体润滑剂和环糊精的质量比不在本申请限定的范围之内，则得到的抛光液的表面粗糙度会有所增加，且经过抛光2小时后蓝宝石晶面出现结晶的量会略有增加；由实施例1和实施例7-8的对比可知，当脂肪醇聚氧乙烯醚和壬基酚聚氧乙烯醚的质量比不在本发明限定的范围之内，则得到的抛光液的表面粗糙度会有所增加，且经过抛光2小时后蓝宝石晶面出现结晶的量会有所增加；由实施例1和实施例9-10的对比可知，当液体润滑剂为脂肪醇聚氧乙烯醚或壬基酚聚氧乙烯醚中的其中任意一种时，则得到的抛光液的表面粗糙度会有所增加，且经过抛光2小时后蓝宝石晶面出现结晶的量会有所增加；由实施例1和实施例11-12的对比可知，当硅溶胶中二氧化硅的粒径或固含量不在本发明限定的范围之内，则会影响抛光平均速率以及表面粗糙度；由实施例1和对比例1-2的对比可知，当抛光液中不包括环糊精包合物或保湿剂中的任意一种时，则抛光后蓝宝石晶面的粗糙度会降低，抛光后蓝宝石晶面出现较大量的结晶，且会对蓝宝石晶面产生划伤；由实施例1和对比例3-4的对比可知，当用环糊精或液体润滑剂直接替代环糊精包合物时，则抛光后蓝宝石晶面的粗糙度会降低，抛光后蓝宝石晶面出现较大量的结晶，且会对蓝宝石晶面产生划伤。

申请人声明，以上所述仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，所属技术领域的技术人员应该明了，任何属于本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。

Claims (21)

1.一种抛光液，其特征在于，所述抛光液包括如下重量百分比的组分：

所述液体润滑剂-环糊精包合物中液体润滑剂和环糊精的质量比为1:(1-5)；

所述液体润滑剂为脂肪醇聚氧乙烯醚和壬基酚聚氧乙烯醚，所述脂肪醇聚氧乙烯醚和壬基酚聚氧乙烯醚的质量比为(1-3):1；

所述液体润滑剂-环糊精包合物的制备方法包括：将环糊精饱和溶液中加入液体润滑剂，混合30-90min后，对混合后得到的混合物进行反溶剂结晶，得到液体润滑剂-环糊精包合物；

所述硅溶胶为二氧化硅在水中的分散液，二氧化硅的粒径为80-150nm，二氧化硅的固含量为30-50％。

2.根据权利要求1所述的抛光液，其特征在于，所述抛光液包括如下重量百分比的组分：

3.根据权利要求1所述的抛光液，其特征在于，所述硅溶胶的pH为9-12.5。

4.根据权利要求1所述的抛光液，其特征在于，所述分散剂包括聚丙烯酸钠、焦磷酸钠、正磷酸钠、聚乙二醇400或柠檬酸钠中的任意一种或至少两种的组合。

5.根据权利要求4所述的抛光液，其特征在于，所述分散剂为聚乙二醇400。

6.根据权利要求1所述的抛光液，其特征在于，所述pH调节剂包括氢氧化钾、氢氧化钠、氨水、乙二胺、乙醇胺、异丙醇胺或三乙醇胺中的任意一种或至少两种的组合。

7.根据权利要求6所述的抛光液，其特征在于，所述pH调节剂为氢氧化钾、乙二胺和三乙醇胺的组合。

8.根据权利要求7所述的抛光液，其特征在于，所述氢氧化钾、乙二胺和三乙醇胺的质量比为1:1:1。

9.根据权利要求1所述的抛光液，其特征在于，所述保湿剂包括丙三醇、丙二醇、山梨醇、丁二醇或聚乙烯醇中的任意一种或至少两种的组合。

10.根据权利要求9所述的抛光液，其特征在于，所述保湿剂为丁二醇。

11.根据权利要求1所述的抛光液，其特征在于，所述抛光液还包括2-5％的加工助剂。

12.根据权利要求11所述的抛光液，其特征在于，所述加工助剂包括抛光加速剂、表面活性剂或透感增强剂中的任意一种或至少两种的组合。

13.根据权利要求12所述的抛光液，其特征在于，所述加工助剂为抛光加速剂。

14.根据权利要求13所述的抛光液，其特征在于，所述抛光加速剂包括过硫酸钠、硝酸铁、氯化钾或四甲基氢氧化铵中的任意一种或至少两种的组合。

15.根据权利要求14所述的抛光液，其特征在于，所述抛光加速剂为过硫酸钠。

16.根据权利要求1-15任一项所述的抛光液的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：

(1)将硅溶胶、液体润滑剂-环糊精包合物、保湿剂以及水混合，得到混合物；

(2)将分散剂和pH调节剂加入到步骤(1)得到的混合物中，混合，得到所述抛光液。

17.根据权利要求16所述的抛光液的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述混合是在搅拌条件下进行混合的。

18.根据权利要求16所述的抛光液的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述混合的时间为10-30min。

19.根据权利要求16所述的抛光液的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述混合是在搅拌条件下进行的。

20.根据权利要求16所述的抛光液的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述混合的时间为20-40min。

21.根据权利要求1-15任一项所述的抛光液在蓝宝石晶片加工中的应用。