CN115831833A - 基板处理方法、基板处理装置、半导体器件的制造方法及记录介质 - Google Patents

基板处理方法、基板处理装置、半导体器件的制造方法及记录介质 Download PDF

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CN115831833A
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吉野晃生
大桥直史
越卷寿朗
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Abstract

本发明提供一种获得以进行搬送基板的搬送装置的异常和故障检测为目的的基板处理方法、基板处理装置、半导体器件的制造方法及记录介质。基板处理装置具有：搬送基板的搬送机器人；具有搬送机器人的搬送室；处理基板的处理室；接收搬送机器人的振动信息的振动信息接收部；接收搬送机器人的声音信息的声音信息接收部；以及构成为能够控制各结构的控制部。

Description

基板处理方法、基板处理装置、半导体器件的制造方法及记录 介质
技术领域
本公开涉及基板处理方法、基板处理装置、半导体器件的制造方法及记录介质。
背景技术
以往，存在在基板的搬送机构设置有检测振动的振动传感器的基板处理装置(例如，文献1)。在以往的基板处理装置中，通过利用振动传感器检测运转时的搬送机构的振动，检测在晶片的搬送中是否产生故障，以检测搬送机构的状态。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：国际公开第2018/061145号
在以往的基板处理装置中，检测搬送机构的状态，但针对装置的异常或故障的检测，存在课题。
发明内容
本公开以进行搬送基板的搬送装置的异常的检测或故障检测为目的。
根据本公开的一形态，提供一种半导体器件的制造方法，该半导体器件的制造方法具有如下工序：异常检测工序，在该异常检测工序中，拾取从搬送基板的搬送装置产生的声音，对声音数据的波形与预先设定的阈值进行比较而检测所述搬送装置的异常；和故障检测工序，在该故障检测工序中，拾取所述搬送装置的振动，对振动数据的波形与预先设定的阈值进行比较而检测所述搬送装置的故障。
发明效果
如以上进行了说明这样，根据本公开，能够进行搬送基板的搬送装置的异常的检测或故障检测。
附图说明
图1是表示本公开的第1实施方式的基板处理装置的概要的俯视图。
图2是表示基板处理装置的概要的局部剖切的侧视图。
图3的(A)是表示真空机器人的纵剖视图，(B)是表示真空机器人的俯视图。
图4的(A)是表示控制系统的框图，(B)是表示控制部的构成的一个例子的图。
图5是表示波形数据与阈值之间的关系的图表。
图6是表示第1实施方式的检测处理的流程图。
图7是表示第2实施方式的检测处理的前半的流程图。
图8是表示第2实施方式的检测处理的后半的流程图。
图9是说明第2实施方式的存储部所交接的信息的说明图。
图10是说明阈值的修正的说明图。
附图标记说明
10：基板处理装置，
103：真空搬送室(真空室)，
112：真空搬送机器人(搬送装置)，
124：大气搬送机器人(搬送装置)，
154A：壳体(气体填充容器)，
158A：壳体(气体填充容器)，
162A：壳体(气体填充容器)，
168：麦克风，
170：麦克风，
181：麦克风，
186：麦克风，
200：基板，
220A：CPU(计算机)，
220B：ROM(计算机)，
220C：RAM(计算机)，
224：记录介质(程序)，
229：分析部(异常检测部、故障检测部)，
230：振动信息接收部，
231：声音信息接收部。
具体实施方式
以下，使用图1～图6对本公开的一实施方式的基板处理装置10进行说明。此外，以下的说明中所使用的附图均是示意性的附图，附图所示的、各要素的尺寸的关系、各要素的比率等未必与现实的情况一致。另外，在多个附图的相互之间，各要素的尺寸的关系、各要素的比率等也未必一致。
(基板处理装置的概要)
首先，基于图1和图2说明本实施方式的基板处理装置10的概要。
基板处理装置10具备可经受真空状态等低于大气压的压力(负压)的真空搬送室103。在真空搬送室103设置有在负压下移载基板200的作为搬送装置的一个例子的真空搬送机器人112。
(真空搬送室)
真空搬送室103经由闸阀244、127分别与向真空搬送室103搬入基板200的搬入用的预备室122和搬出来自真空搬送室103的基板200的搬出用的预备室123连结，在预备室122、123的前侧，经由闸阀128、129连结有在大致大气压下使用的大气搬送室121。
(真空搬送机器人)
如图3的(A)、(B)所示，本实施方式的真空搬送机器人112具有箱状的机器人底座150，在机器人底座150设置有由马达152驱动的升降机154。
在升降机154的上部设置有能够利用设于升降机154的上部的第1臂驱动装置156在水平方向上旋转的第1臂158。
在第1臂158的顶端设置有能够利用设于第1臂158的顶端的第2臂驱动装置160在水平方向上旋转的第2臂162。
在第2臂162的顶端设置有能够利用设于第2臂162的顶端的钳状件驱动装置164在水平方向上旋转的钳状件(tweezers)166。基板200以载置于钳状件166的状态被搬送。
第1臂158、第2臂162、升降机154以及机器人底座150分别设为密闭的中空构造，在内部填充有气体(作为一个例子，是空气)。
在本实施方式中，在第1臂158的内部设置有第1麦克风168，在第2臂162的内部设置有第2麦克风170，在升降机154的内部设置有第3麦克风177。
如图3的(A)所示，第1麦克风168经由橡胶、弹簧等弹性体172安装于构成第1臂158的外壳的壳体158A的内壁，不拾取壳体158A的振动。第1麦克风168能够拾取第1臂158内部的声音，从第1麦克风168输出的声音信息(声音信号)利用有线或无线方式向随后论述的声音信息接收部231发送。
第2麦克风170经由橡胶、弹簧等弹性体174安装于构成第2臂162的外壳的壳体162A的内壁。第2麦克风170能够拾取第2臂162内部的声音(钳状件驱动装置164的声音)，声音信息(声音信号)利用有线或无线方式向随后论述的声音信息接收部231发送。
第3麦克风177经由橡胶、弹簧等弹性体179安装于构成升降机154的外壳的壳体154A的内壁。第3麦克风177能够拾取升降机154内部的声音(第1臂驱动装置156的声音)，声音信息(声音信号)利用有线或无线方式向随后论述的声音信息接收部231发送。
在钳状件166安装有振动传感器176。振动传感器176检测钳状件166的振动，振动检测信息利用有线或无线方式向随后论述的振动信息接收部230发送。此外，振动传感器176例如由加速度传感器构成。
真空搬送机器人112需要使用钳状件166准确地接收且交接基板200。在钳状件166产生了设想以上的振动的情况下，优选判断为难以准确地接收且交接基板200。因此，优选的是，在真空搬送机器人112对基板200进行搬送时检测钳状件166的振动，根据振动的状态(振动波形的不同、振动的大小等)检测真空搬送机器人112的故障。
(大气搬送室)
如图1和图2所示，在大气搬送室121设置有移载基板200的作为搬送装置的一个例子的大气搬送机器人124。在大气搬送室121分别设置有用于相对于大气搬送室121搬入搬出基板200的基板搬入搬出口134、封闭基板搬入搬出口134的盖142、以及开盒器108。在大气搬送室121中，在左侧设置有定向平面对准装置(定向平面对准器：orientation flataligner)106。
开盒器108通过使载置于IO台105的盒100的盖和封闭基板搬入搬出口134的盖142开闭，基板200能够相对于盒100出入。
在真空搬送室103经由闸阀130分别连结有分别由冷壁式的处理炉构成的第一处理炉202和第二处理炉137，并且在真空搬送室103连结有分别以冷却处理完毕的基板200的方式构成的第一冷却单元138和第二冷却单元139。
(大气搬送机器人)
本实施方式的大气搬送机器人124是与真空搬送机器人112同样的结构，因此省略详细的说明。此外，本实施方式的大气搬送机器人124与真空搬送机器人112同样地构成为能够搬送基板200，但能够在大气搬送室121的内部自行运动(图1的附图左右方向)。
大气搬送机器人124的第1臂158的第1麦克风168、第2臂162的第2麦克风170、钳状件166的振动传感器176与真空搬送机器人112同样地，利用有线或无线方式向随后论述的声音信息接收部231发送声音信息和振动信息。
(处理炉)
如图1所示，处理炉202构成为单张式(枚叶式)CVD炉(单张式冷壁型CVD炉)，具备在内部形成有处理基板200的处理室的腔室204。
利用真空搬送机器人112经由基板搬入搬出口(省略图示)相对于处理炉202内搬入搬出基板200。
在腔室204埋入有冷却水能够流通的冷却管(未图示)，该冷却管经由配管180与设于处理炉202外部的冷却水供给装置178连接。此外，在配管180设置有控制流体的流动的阀182、流量计183，在配管180(或阀182)安装有振动传感器184和麦克风186。此外，设置于配管180的各构成经由凸缘等的接头而与配管180连接。
振动传感器184检测配管180(或阀182)的振动，麦克风186能够拾取来自配管180(或阀182)的声音。此外，利用有线或无线方式向振动信息接收部230发送振动检测信息，利用有线或无线方式向声音信息接收部231发送声音检测信息。
而且，在腔室204经由配管190连接有供给用于处理基板200的处理气体的处理气体供给装置188，并且经由配管194连接有对内部的处理气体进行排气的排气装置192。
(控制器)
如图4的(A)所示，基板处理装置10具备控制器201。
控制器201具备：振动信息接收部230，其获取基板处理装置10的机构部的振动信息；和声音信息接收部231，其获取在机构部的动作时所产生的声音信息。
在基板处理装置10中，利用控制器201进行装置所有(搬送系统控制器211、工艺系统控制器212等)的控制。
控制器201构成为包括如下各部等：外部存储部223，其管理与外部连接设备之间的连接；操作部227b，其受理来自操作者的各种指示；显示部227a，其显示基板处理状况等各种信息；振动信息接收部230，其从设置于真空搬送机器人112、大气搬送机器人124及配管180等的振动传感器176、184接收振动信息；声音信息接收部231，其从设置于真空搬送机器人112、大气搬送机器人124及配管180等的第1麦克风168、第2麦克风170、第3麦克风177、麦克风186接收声音信息；分析部229，其分析来自振动信息接收部230、声音信息接收部231的信息；控制部220，其能够控制基板处理装置10整体；以及存储部222，其蓄积保存由振动信息接收部230、声音信息接收部231接收到的振动信息和声音信息。此外，分析部229也可以构成为包括异常检测部和故障检测部中的至少1个。此外，在图4中，分析部229表示为控制部220之外的构成，但分析部229也可以构成为控制部220的一部分。例如，也可以以将分析部229构成为分析程序、并由设于控制部220的CPU220A运算分析程序的方式构成。另外，也可以将异常检测部和故障检测部分别构成为程序。也可以是，这些程序也以由CPU220A运算的方式构成。此外，这些程序构成为能够记录于存储部222。
作为一个例子，如图4的(B)所示，控制部220能够使用包括CPU220A、ROM220B、RAM220C等而构成的计算机，但也可以由专用的控制电路构成。
此外，操作者除了装置操作员之外，还包括装置管理者、装置工程师、保养员、作业者。
在存储部222中，除了存储有由振动信息接收部230和声音信息接收部231接收到的振动信息、声音信息之外，还存储有成为蓄积保存振动信息、声音信息的条件的事件信息。事件信息例如是真空搬送机器人112、大气搬送机器人124的机构部在开始和停止动作的定时所产生的信息，另外，在冷却水供给装置178中，例如，表示控制流体的流动的阀182在开闭动作的定时所产生的信息。
能够在通信部228与搬送系统控制器211、工艺系统控制器212、外部计算机等之间进行信息的交接。
这些振动信息接收部230、分析部229、外部存储部223、操作部227b、显示部227a、通信部228、声音信息接收部231、控制部220、存储部222由总线232相互连接，能够进行各种信息、指令等的交接。
此外，作为一个例子，外部存储部223也可以构成为能够连接外部记录介质(USB内存等)224。能够将用于执行接下来说明的基板处理工序、异常检测工序以及故障检测工序等的程序存储于外部记录介质224。
(作用、效果)
首先，说明本实施方式的基板处理装置10的基板处理工序的一个例子。
如图1和图2所示，盒100以收纳有多张基板200的状态载置于IO台105上，由开盒器108开放，由大气搬送室121的大气搬送机器人124拾取基板200，并从开放的闸阀128搬入预备室122。
接着，闸阀128关闭，利用排气装置(省略图示)将预备室122排气成负压，若减压到了预先设定的压力值，则打开闸阀244和闸阀130，从而预备室122、真空搬送室103以及第一处理炉202连通。利用真空搬送机器人112从预备室122经由基板搬入搬出口250向第1处理炉202搬入基板200。
在真空搬送机器人112从第1处理炉202退出来之后，基板搬入搬出口250由闸阀244关闭。之后，收容有基板200的第1处理炉202的气体由排气装置192排气。
接着，来自冷却水供给装置178的冷却水向与处理炉202连接的配管180流动，并且利用加热器(省略图示)加热基板200。若基板200的温度上升到处理温度，则从处理气体供给装置188向处理炉202内供给处理气体，对基板200进行所期望的处理。
若经过了预先设定的处理时间，则处理炉202内的气体由排气装置192排气。接着，打开闸阀130，处理完毕的基板200在由真空搬送机器人112搬送到真空搬送室103之后，被向第一冷却单元138搬入并被冷却。
若在第一冷却单元138中经过了预先设定的冷却时间，则基板200由真空搬送机器人112从第一冷却单元138向真空搬送室103搬送。
之后，打开闸阀127，基板200由真空搬送机器人112向预备室123搬送，关闭闸阀127，利用非活性气体使预备室123内恢复成大致大气压。
接着，利用开盒器108打开盖142和盒100的盖，利用大气搬送机器人124将基板200收纳于空的盒100。通过反复进行以上的动作，从而依次处理基板200。
(振动信息、声音信息)
在本实施方式的基板处理装置10中，与上述的基板处理工序并行地进行基板处理装置10的异常检测工序和故障检测工序。
以下，代表性地说明真空搬送机器人112的钳状件166的动作的异常检测工序和故障检测工序。
首先，在控制器201的存储部222中，作为一个例子，如图5的图表所示这样，预先储存有钳状件驱动装置164的声音的阈值(以单点划线表示的上侧的波形与下侧的波形的范围是阈值，阈值具有规定的幅度。)。
在图5的图表中除了示出有声音的阈值的波形数据之外，还示出有实际上由第2麦克风170拾取到的正常时(作为一个例子，是新品时)的声音的正常波形(以实线图示)和实际上由第2麦克风170拾取到的异常时的声音的异常波形(以虚线图示)。
此外，虽然省略图示，但在存储部222中与图5同样地储存有振动的阈值。
(检测处理的一个例子)
接着，按照图6所示的流程图，说明异常检测工序和故障检测工序的一个例子。
该检测处理在进行钳状件166的一个事件(event)(一个动作)的定时开始，持续到该事件结束为止。
首先，在步骤100中，利用第2麦克风170获取驱动钳状件166的钳状件驱动装置164的声音信息，并且利用振动传感器176获取钳状件166的振动信息。向声音信息接收部231发送声音信息，向振动信息接收部230发送振动信息。
在步骤102中，分析部229进行所传送的声音信息与阈值之间的比较。在分析部229中，判断声音信息的波形是否偏离阈值，若判断为声音信息的波形偏离阈值(作为一个例子，所传送的声音信息的波形成为图5的虚线的异常波形的情况)，则进入步骤104。
此外，作为一个例子，此处的异常是指与正常时(作为一个例子，是新品时)比较而声音的波形不同这样的情况，在通常的动作中没有产生任何问题。
作为一个例子，异常时的声音能够列举在驱动钳状件166的钳状件驱动装置164产生了较小的晃动等时的晃动的声音、润滑油用尽时产生的异声等。
在步骤104中，通知钳状件驱动装置164的声音异常的消息显示于显示部227a，之后，进入步骤106。
另一方面，在步骤102中，在判断为声音信息的波形未偏离阈值的情况下，进入步骤108，通知钳状件驱动装置164的声音正常的消息显示于显示部227a，之后，返回步骤100。
在步骤106中，在分析部229中，与声音信息的情况同样地，判断振动信息的波形是否偏离阈值，若判断为振动信息的波形偏离阈值(换言之，判断为产生了故障)，则进入步骤110，若判断为未偏离阈值(换言之，是搬送动作等没有故障的轻度振动)，则进入步骤112。
在步骤110中，通知钳状件驱动装置164的振动异常、即钳状件驱动装置164产生了故障的故障消息显示于显示部227a，之后，结束处理。此外，也可以是，在振动异常的情况下，停止真空搬送机器人112的动作，利用警报装置等发出警报声。
在步骤112中，通知钳状件驱动装置164的振动处于正常范围内的消息显示于显示部227a，之后，返回步骤100。
其中，代表性地对真空搬送机器人112的钳状件166的异常检测工序和故障检测工序进行了说明，但对于真空搬送机器人112的其他驱动部分(第1臂驱动装置156、第2臂驱动装置160等)，也进行同样的处理。
如此，在本实施方式的真空搬送机器人112中，针对各驱动部分的每个事件使声音的异常的有无、故障的有无显示于显示部227a，因此，操作员能够观看显示于显示部227a的消息而把握真空搬送机器人112的各部的动作状况。
此外，在本实施方式的大气搬送机器人124中，也能够与真空搬送机器人112同样地进行异常检测工序和故障检测工序。
而且，在本实施方式的基板处理装置10中，在冷却系统的配管180(或阀182)安装有麦克风186和振动传感器184。因此，也能利用麦克风186和振动传感器184检测阀18的声音和振动，与真空搬送机器人112同样地进行异常检测工序和故障检测工序，检测阀182的异常、故障。
如此，根据本实施方式，能够发现装置的故障，能够在装置故障之前发现搬送装置的异常。并且，通过检测装置所发出的异声，能够提前更早地进行不良情况部位的发现、检查、修理的准备等。
[第2实施方式]
接着，按照图7～图10，对第2实施方式的基板处理装置10的异常检测工序和故障检测工序进行说明。第2实施方式的基板处理装置10的装置构成(硬件)与第1实施方式的基板处理装置10同样，因此省略其说明。
第2实施方式的基板处理装置10的异常检测工序和故障检测工序与第1实施方式不同。在第1实施方式中，声音信息和振动信息的阈值各自是固定的，但在本实施方式中，根据与所蓄积的过去的波形数据之间的差分(例如，前次的波形数据、过去的波形数据的平均值等)算出修正值，将所算出的修正值与阈值相加，由此能够获得精度更高的阈值，能够使用精度高的阈值进行异常检测、振动检测。
例如，在制造厂商出厂时所进行的试运转、最终试验(动作确认试验等)中，能够获得各部的声音信息和振动信息，并基于该声音信息和振动信息而设定阈值，但在分解基板处理装置10(真空搬送机器人112、大气搬送机器人124、其他)而在用户使用的场所再次组装了的情况下，存在由于组装误差、其他原因而导致在各部产生的声音、振动在用户使用时改变的情况。
因此，担心在用户最初使用(作为一个例子，在用户的生产线上使用之前的试验性的使用)之际，存在声音信息、振动信息偏离在制造厂商出厂时所设定的阈值的情况，尽管并非异常、故障，但会进行异常、故障的显示。
因此，在本实施方式的基板处理装置10中，自动修正声音、振动的阈值。
以下，按照图7和图8所示的流程图，说明第2实施方式的基板处理装置10中的异常检测工序和故障检测工序的一个例子。
首先，在步骤200中，利用第2麦克风170获取驱动钳状件166的钳状件驱动装置164的声音信息，并且利用振动传感器176获取钳状件166的振动信息。向声音信息接收部231发送声音信息，向振动信息接收部230发送振动信息。
在步骤202中，获取在前次的事件中存储的声音信息。
此外，作为一个例子，在最初在用户侧驱动了装置的情况下，前次的事件为在出厂时存储到存储部222的声音信息(声音数据(波形))。另外，于在用户侧多次驱动了装置的情况下，前次的事件为在用户侧驱动了装置之际的声音信息(声音数据(波形))(参照图9)。
在步骤204中，判断在步骤200中所获取的声音信息与前次的声音信息是否有差异，在有差异的情况下，进入步骤206，在没有差异的情况下，进入步骤210。
在步骤210中，向存储部222发送在步骤200中所获取的声音信息(阈值的范围内)。
然后，在接下来的步骤212中，将声音信息保存于存储部222。此外，能够针对每个事件蓄积该声音信息(参照图9)。另外，保存到存储部222的声音信息能够用于阈值的修正。
另一方面，在步骤206中，根据在步骤200中所获取的声音信息与保存于存储部222的声音信息之间的差分算出修正值，将所算出的修正值与阈值相加，由此生成新的阈值，分析部229获取此处所生成的阈值。
作为一个例子，在图10的左侧的图表中示出有第1波形(作为一个例子，是在出厂时所存储的波形)和第2波形(作为一个例子，是在用户侧的最初的事件中所获取的波形)与出厂时的阈值之间的关系。在图10的左侧所示的例子中，示出第1波形、第2波形均处于出厂时的阈值的范围内的情况。此外，第2波形的形状与第1波形的形状不同，第2波形的一部分接近阈值的下限的波形。
如此，在第2波形的形状与第1波形的形状不同的情况下，算出修正值，并将所算出的修正值与阈值相加，由此能够生成新的阈值，利用分析部229获取此处所生成的阈值，并在下一个检测工序中利用。
在图10的右侧的图表中示出有第2波形(作为一个例子，是在用户侧的最初的事件中所获取的波形)、第3波形(在用户侧的第2次的事件中所获取的波形)以及修正后的阈值之间的关系。在图10的右侧的图表中所记载的阈值是考虑在用户侧的最初的事件中所获取的波形并进行修正而成的阈值，因此，在最初的事件中所获取的信息的波形位于修正后的阈值的上限值与下限值之间的中央。
此外，在图10的右侧的图表中，示出第3波形偏离了修正后的阈值的情形。
在步骤208中，进行在步骤200中所获取的声音信息与阈值之间的比较。在分析部229中，判断声音信息的波形是否偏离阈值，若判断为声音信息的波形偏离阈值，则进入步骤214，若判断为未偏离阈值，则进入步骤210。
在步骤214中，在步骤200中所获取的声音信息设为是偏离了阈值的声音信息，并向存储部222发送。
在步骤216中，通过获取偏离了阈值的声音信息，从而生成声音异常信息。
在接下来的步骤218中，获取在前次的事件中所存储的振动信息。
此外，作为一个例子，于在用户侧最初驱动了装置的情况下，前次的事件为在出厂时存储到存储部222的振动信息(振动数据(波形))。另外，于在用户侧多次驱动了装置的情况下，前次的事件为在用户侧驱动了装置之际的振动信息(振动数据(波形))(参照图9)。
如图8所示，在步骤220中，判断在步骤200中所获取的振动信息与前次的振动信息是否有差异，在有差异的情况下，进入步骤222。
在步骤222中，分析部229获取保存于存储部222的振动的阈值信息。
在步骤224中，进行在步骤200中所获取的振动信息与阈值之间的比较。在分析部229中，判断振动信息的波形是否偏离阈值，若判断为振动信息的波形偏离阈值，则进入步骤226，若判断为未偏离阈值，则进入步骤228。
并且，在接下来的步骤232中，将振动信息保存于存储部222。该振动信息成为在接下来的事件时在步骤218中使用的振动信息。
在步骤226中，在步骤200中所获取的钳状件驱动装置164的振动信息设为是偏离了阈值的振动声音信息，并向存储部222发送。
在步骤230中，通过获取偏离了阈值的振动信息，从而生成故障信息。
在步骤232中，将振动信息保存于存储部222。该振动信息成为在接下来的事件时在步骤218中使用的振动信息。
在步骤234中，判断声音异常信息(在步骤214中所获得的声音信息检测结果)的有无，在声音异常的(存在声音异常信息。)情况下，进入步骤238，在声音正常的(没有声音异常信息。存在阈值的范围内的声音信息。)情况下，进入步骤236。
在步骤238中，通知钳状件驱动装置164的声音异常的消息显示于显示部227a。
在步骤236中，判断故障信息(在步骤230中获得)的有无，在存在故障信息的情况下进入步骤242，故障消息显示于显示部227a，在没有故障信息的情况下进入步骤240，通知钳状件驱动装置164的振动处于正常的范围内的消息显示于显示部227a。
在本实施方式中，基于最新的波形数据与所蓄积的过去的波形数据之间的差分而算出修正值，将所算出的修正值与阈值相加，因此，能够获得精度高的阈值，能够使用精度高的阈值进行异常检测、振动检测。由此，能够抑制误检测。
以上，对第2实施方式的真空搬送机器人112的异常检测工序和故障检测工序进行了说明，在大气搬送机器人124和阀182中，也能够与真空搬送机器人112同样地进行异常检测工序和故障检测工序。
[其他实施方式]
以上，对本公开的一实施方式进行了说明，但本公开并不限定于上述内容，除了上述内容以外，当然也能够在不脱离其主旨的范围内进行各种变形而实施。
在上述实施方式的真空搬送机器人112中，第1臂158、第2臂162、升降机154以及机器人底座150分别设为中空构造，在密闭的壳体158A的内部填充有气体(作为一个例子，是空气)，但也存在内部与外部连通且内部成为真空状态的情况。在这样的情况下，若在驱动装置的附近配置填充有气体的气体填充容器、并在该气体填充容器的内部设置有麦克风，则能够间接地拾取从驱动装置产生的声音。
在大气搬送机器人124中，也可以是，不是在机器人内部、而是在机器人外部设置麦克风(图1的附图标记181)而拾取驱动装置的动作声音。通过将麦克风181设置于大气搬送机器人124的附近，能够利用一个麦克风181拾取从大气搬送机器人124的各驱动装置产生的声音，能够削减麦克风的数量。
本公开的实施方式的控制器201不依赖于专用的系统(电路)，也能够使用通常的计算机系统实现。例如，通过从储存有用于执行上述处理的控制程序的外部记录介质(USB存储器、外置HDD等)将控制程序安装于通用计算机，从而能够构成用于执行上述处理的控制器201。
此外，用于供给程序的手段是任意的。除了如上述这样能够经由规定的记录介质供给之外，也可以经由例如通信线路、通信网络、通信系统等供给。在该情况下，例如，可以是将该程序公告于通信网络的公告板，经由网络叠加于搬送波而提供。并且，通过使如此提供的程序起动并在OS的控制下与其他应用程序同样地执行，从而能够执行上述的处理。
在上述实施方式中，示出了半导体制造装置作为基板处理装置的一个例子，但并不限于半导体制造装置，也可以是LCD装置这样的处理玻璃基板的装置。另外，基板处理的具体内容没有限定，不仅可以是成膜处理，也可以是退火处理、氧化处理、氮化处理、扩散处理等处理。另外，成膜处理例如可以是形成氧化膜、氮化膜的处理、形成含有金属的膜的处理。
只要是伴随着搬送和其他动作的装置(机械)，本公开也能够适用于基板处理装置以外的装置(机械)。
此外，在本公开中，搬送机器人等的振动信息主要是指机械振动。机械振动是指，例如由于真空搬送机器人112等所具有的马达的动作等产生的动态的力而机械性地进行振动。另外，在本公开中，振动信息是指机械振动的信息。该机械振动的测定能够通过测定进行该振动的物体的加速度来进行。即，通过将加速度传感器这样的振动传感器安装于测定振动信息的对象(机械)或其周围，能够获得对象的振动信息。
此外，在本公开中，声音信息是指，利用音响设备(麦克风)将由于物的振动而产生的声波转换成电信号而得到的信息。
此外，在本公开中，振动信息和声音信息都是振动的信息，但存在振动信息(机械振动的信息)的频率比声音信息的频率低这样的差异。此外，能够利用加速度传感器这样的振动传感器检测存在利用麦克风这样的音响设备无法检测的可能性的振动信息，另外，能够利用麦克风这样的音响设备检测存在利用加速度传感器这样的振动传感器无法检测的可能性的声音信息。例如，振动传感器无法进行远离安装有振动传感器的位置的场所的振动信息的检测，但能够利用音响设备检测远离的场所的声音信息。另外，振动传感器存在慢动作时的振动信息的检测和针对振动的反应速度慢、无法追随动作的情况，但对于音响设备，即使是微小的声音信息也能够检测。如此通过使用两种振动传感器来获得两种信息(振动信息和声音信息)，能够使机械的异常的检测和异常的预知中的至少一者的精度提高。此外，两种振动传感器是指麦克风这样的音响设备和加速度传感器这样的振动传感器。
(附记1)基板处理装置
一种基板处理装置，具有：
搬送基板的搬送机器人；
内置所述搬送机器人的搬送室；
处理所述基板的处理室；
接收所述搬送机器人的振动信息的振动信息接收部；
接收所述搬送机器人的声音信息的声音信息接收部；以及
能够控制各结构的控制部。
在附记1所述的基板处理装置中，不仅能够获取大气气氛、也能够获取真空气氛内的搬送机器人的可动部动作时的振动传感器信息和振动声音，能够根据这些振动、声音来检测各部位的异常，能防止重大的装置故障于未然。
(附记2)真空搬送室
根据附记1所述的基板处理装置，其中，
所述搬送室是真空搬送室，在所述真空搬送室配置有能够在真空中动作的所述搬送机器人(真空搬送机器人)。
在附记2所述的基板处理装置中，能够利用搬送机器人(真空搬送机器人)在真空搬送室的真空中搬送基板。
(附记3)真空搬送机器人的振动传感器的配置
根据附记2所述的基板处理装置，其中，
在所述真空搬送机器人设置有检测振动的传感器，
所述检测振动的传感器配置于所述真空搬送机器人的可动部，
能够利用所述振动信息接收部接收由所述检测振动的传感器检测到的振动信息。
在附记3所述的基板处理装置中，能够利用振动传感器检测各种机构部动作时的振动。振动传感器配置于真空搬送机器人的内侧或外侧。
此外，机构部是指例如驱动部分。另外，可动部是指驱动部分、钳状件、臂等中的至少1个。
(附记4)真空搬送机器人的麦克风的配置
根据附记2所述的基板处理装置，其中，
在所述真空搬送机器人设置有收集声音信息的麦克风，
所述麦克风以在真空中也能够收集声音信息的方式配置于所述真空搬送机器人的内部，
能够利用所述声音信息接收部接收由所述麦克风收集到的声音信息。
声音无法在真空中传递，因此，麦克风配置于真空搬送机器人的填充有气体的内部的可动部附近。在附记4所述的基板处理装置中，即使真空搬送机器人配置于真空中，也能够检测真空搬送机器人的各种机构部动作时的振动声音。
(附记5)大气搬送室
根据附记1所述的基板处理装置，其中，
所述搬送室是大气搬送室，在所述大气搬送室中配置有能够在大气中动作的所述搬送机器人(大气搬送机器人)。
在附记5所述的基板处理装置中，搬送机器人(大气搬送机器人)能够在大气中搬送基板。
(附记6)大气搬送机器人的振动传感器的配置
根据附记5所述的基板处理装置，其中，
在所述大气搬送机器人设置有检测振动的传感器，
所述检测振动的传感器配置于所述大气搬送机器人的可动部，
能够利用所述振动信息接收部接收由所述振动传感器检测到的振动信息。
在附记6所述的基板处理装置中，能够检测各种机构部动作时的振动。振动传感器能够配置于大气搬送机器人的内侧或外侧。
(附记7)大气搬送机器人的麦克风的配置
根据附记5所述的基板处理装置，其中，
在所述大气搬送机器人设置有收集声音信息的麦克风，
所述麦克风配置于所述大气搬送机器人的周围，以接收所述大气搬送机器人的可动部的声音，
能够利用所述声音信息接收部接收由所述麦克风收集到的声音信息。
在附记7所述的基板处理装置中，能够利用麦克风检测大气搬送机器人的各种机构部动作时的振动声音。
(附记8)供流体流动的配管
根据附记1所述的基板处理装置，其中，
还具有：
供流体流动的配管；
接收所述配管的振动信息的振动信息接收部；以及
接收所述配管的声音信息的声音信息接收部。
在附记8所述的基板处理装置中，通过利用振动信息接收部和声音信息接收部接收供流体流动的配管中的流体的振动和声音，能够检测配管的异常，另外，能够检测配管的故障。
(附记9)流体的定义
根据附记8所述的基板处理装置，其中，
所述流体包括冷却水、处理气体、吹扫气体中的某一种。
根据流体的种类，存在在配管、阀、冷却水供给装置中的至少1个产生杂质、腐蚀等的情况，存在流体在配管、阀、冷却水供给装置中的至少1个未正确地流动的可能性。
在附记9所述的基板处理装置中，通过利用振动信息、声音信息对流体的流动进行监视，能够提前检测配管、阀、冷却水供给装置中的至少1个的异常，另外，能够检测配管的故障。
(附记10)配管的定义
根据附记8或附记9所述的基板处理装置，其中，
所述配管与流量计、阀、凸缘等的接头连接，能够使所述流体流动。
流量计的连接部、阀连接部、凸缘周围由于紧固等存在管径与其他部位不同的情况，存在对流体的流动带来影响的情况。另外，存在因杂质、腐蚀等导致的沉淀物积存于这些部分而阻碍流体的流动的情况。
在附记10所述的基板处理装置中，通过利用振动信息、声音信息对流体的流动进行监视，能够提前检测配管的异常，另外，能够检测配管的故障。
(附记11)配管的形状
根据附记10所述的基板处理装置，其中，
还存在所述配管与装置的形状相匹配地被弯曲加工的情况。
存在与装置的形状相匹配地弯曲加工流体的配管的情况，对配管进行弯曲加工而成的部分存在配管形状与其他部分不同、给流体的流动带来影响的情况。存在因杂质、腐蚀等导致的沉淀物积存于这些部分而阻碍流体的流动的情况。
在附记11所述的处理装置中，通过利用振动信息、声音信息对流体的流动进行监视，能够提前检测配管的异常，另外，能够检测配管的故障。
(附记12)配管的振动传感器的配置
根据附记10或附记11所述的基板处理装置，其中，
所述配管的所述振动信息接收部能够配置于所述流量计、所述阀、所述凸缘等的接头、进行了所述弯曲加工的给所述流体的流动造成影响的部分的周围。
在附记12所述的基板处理装置中，通过将振动传感器配置于流量计出口侧、阀出口侧、凸缘出口侧，能够检测流体的异常振动。此外，振动传感器能够安装于配管的周围。
(附记13)配管的麦克风的配置
根据附记10或附记11所述的基板处理装置，其中，
所述配管的所述声音信息接收部能够配置于所述流量计、所述阀、所述凸缘等的接头、进行了所述弯曲加工的给流体的流动造成影响的部分的周围。
在附记13所述的基板处理装置中，通过将麦克风配置于流量计出口侧、阀出口侧、凸缘出口侧等，能够检测流体的异常声音。此外，麦克风能够安装于配管的周围。
(附记14)分析部的定义
根据附记1所述的基板处理装置，其中，
还具有分析部，该分析部分析由所述振动接收部接收到的所述振动信息和由所述声音信息接收部接收到的所述声音信息。
·在由振动接收部接收到振动信息的情况下，或在由声音信息接收部接收到声音信息的情况下，分析部能够将其作为波形数据而与位于蓄积部的历史信息重叠，确认数据的差异。
若重叠的结果是在波形数据存在差异的情况下所求出的差异超过预先确定的阈值的范围，则判断为异常，若没有差异或处于阈值的范围内，则能够判断为正常。
在判断为异常的情况下，通知控制部，控制部能够停止机构的动作或停止流体的供给。
另外，利用显示部进行存在异常的显示，能够促使零部件的维护。
·关于波形数据，在例如搬送机器人的情况下能够设为在从机构的动作开始时到动作停止的期间内产生的振动信息。
·机构的动作开始和动作停止能够以接收到来自搬送系统控制器的事件信息的定时(表示动作开始的事件、表示动作停止的事件)进行。
·关于配管的情况下的波形数据，在例如处理气体配管的情况下，能够在与配管连接的阀的开闭定时(表示阀开闭的事件)判断信息的收集开始和结束。
在附记14所述的基板处理装置中，通过比较波形数据中的差异，异常的检测容易。
通过将振动信息、声音信息的收集定时设为各种事件信息，蓄积部、分析部中的数据的有效范围变得明确。
(附记15)显示部的定义(振动信息)
根据附记14所述的基板处理装置，其中，
所述控制部在所述分析部所分析的所述振动信息是异常值的情况下，使所述搬送机器人或所述配管的异常状态显示于显示部。
在附记16所述的基板处理装置中，在通过振动信息的波形数据的比较而产生了异常的情况下，将表示该部位的异常的消息显示于显示部。另外，能够根据异常发现时的事件信息使相应部位也包含于消息。
在附记16所述的基板处理装置中，利用检测到异常的情况下的消息显示使操作者识别异常。
在声音信息的异常检测的情况下，能够识别为该部位今后有可能发生故障，能够有助于预防预知。
(附记16)显示部的定义(声音信息)
根据附记14所述的基板处理装置，其中，
所述控制部在所述分析部所分析的所述声音信息是异常值的情况下，使所述搬送机器人或所述配管的异常状态显示于显示部。
在附记16所述的基板处理装置中，在通过声音信息的波形数据的比较而产生了异常的情况下，使表示该部位的异常的消息显示于显示部。另外，根据异常发现时的事件信息使相应部位也包含于消息。
在附记16所述的基板处理装置中，利用检测到异常的情况下的消息显示使操作者识别异常。
在声音信息的异常检测的情况下，能够识别为该部位今后有可能产生故障，能够有助于预防预知。
(附记17)存储部的定义
根据附记14所述的基板处理装置，其中，
所述控制部还具有存储部，该存储部存储振动信息接收部和声音信息接收部接收到的振动信息或声音信息的历史，
所述分析部比较接收到的振动信息或声音信息与所述存储部所存储的所述历史，进行异常判定。
在附记17所述的基板处理装置中，针对每个事件信息将振动信息和声音信息存储于存储部。振动信息和声音信息的收集期间设为从该事件的开始到停止的期间。
＜效果＞
在附记17所述的基板处理装置中，由于在各事件的开始/结束定时进行信息收集，所以波形数据的开始时期变得明确，能够容易地比较波形数据。
(附记18)振动信息或声音信息的更新
根据附记17所述的基板处理装置，其中，
所述存储部接收所述分析部进行比较的结果，在判定为正常的情况下，保存所述历史的振动信息或声音信息。
在附记18所述的基板处理装置中，在利用分析部进行存储于存储部的振动信息或声音信息与波形的比较的结果是正常的情况下，将对象的信息在存储部的针对每个事件信息确定的区域中作为历史数据重写而保存。此外，在需要确认过去的历史的情况下，不是重写而是在已经存在的数据之外另外保存即可。
在附记18所述的基板处理装置中，通过重写，始终在存储部中存在最新的振动信息或声音信息的波形数据，波形的比较容易。
此外，在不是重写振动信息或声音信息的波形数据、而是另外保存的情况下，通过将波形数据存储为历史信息，能够通过使所存储的过去的波形数据重叠而能求出每单位时间的数据的差，根据所求出的数据的差算出进行阈值的修正的修正值，使所算出的修正值反馈至阈值，由此能进行精度更高的异常判定。
(附记19)半导体器件的制造方法
一种半导体器件的制造方法，其具有如下工序：
搬送基板的搬送机器人的搬送工序；
保持用于内置所述搬送机器人的搬送室的大气或真空状态的工序；
进行所述基板的处理的工序；
接收所述搬送机器人的振动信息的振动信息接收部的接收工序；
接收所述搬送机器人的声音信息的声音信息接收部的接收工序；以及
在根据从所述振动信息接收部或所述声音信息接收部接收到的信息进行分析的结果是判定为异常的情况下，控制部进行装置的异常的通知和动作的停止中的至少一者的工序。
(附记20)半导体器件的制造方法
一种半导体器件的制造方法，其具有如下工序：
搬送基板的搬送机器人的搬送工序；
保持内置所述搬送机器人的搬送室的大气或真空状态的工序；
进行所述基板的处理的工序；
接收所述搬送机器人的振动信息的振动信息接收部的接收工序；
接收所述搬送机器人的声音信息的声音信息接收部的接收工序；以及
根据从所述振动信息接收部或所述声音信息接收部接收到的信息进行分析的工序。
(附记21)一种基板处理装置的执行程序，其是利用基板处理装置所具有的计算机使基板处理装置以下步骤的程序，所述步骤包括：
搬送基板的搬送机器人的搬送步骤；
保持内置所述搬送机器人的搬送室的大气或真空状态的步骤；
进行所述基板的处理的步骤；
接收所述搬送机器人的振动信息的振动信息接收部的接收步骤；
接收所述搬送机器人的声音信息的声音信息接收部的接收步骤；以及
使用从所述振动信息接收部或所述声音信息接收部接收到的信息进行分析，在其结果是判断为异常的情况下，进行装置的异常的通知和装置的动作的停止中的至少一者的控制步骤。
根据附记21所述的程序，能够使基板处理装置的计算机进行各种控制，以通知装置的异常或停止装置的动作。
(附记22)一种基板处理方法，其具有如下工序：
异常判定工序，在该异常判定工序中，对从搬送基板的搬送装置获取到的运转声音波形数据与所述搬送装置正常地运转时的正常声音波形数据进行比较，判定所述运转声音波形数据是否处于以所述正常声音波形数据为中心的阈值范围内，判定所述搬送装置是正常还是异常；和
故障判定工序，在该故障判定工序中，对从所述搬送装置获取到的运转振动数据与所述搬送装置正常地运转时的正常振动数据进行比较，判定所述运转振动数据是否处于以所述正常振动数据为中心的阈值范围内，判定所述搬送装置是否产生故障。
在附记22所述的基板处理方法中，在异常检测工序中，通过判定搬送基板的搬送装置的运转声音波形数据是否处于以所述正常声音波形数据为中心的阈值范围内，从而能够检测搬送装置的异常。
另外，在故障检测工序中，通过判定搬送基板的搬送装置的运转振动数据是否处于以所述正常振动数据为中心的阈值范围内，从而能够检测搬送装置的故障。

Claims (20)

1.一种基板处理方法，其特征在于，具有如下工序：
异常检测工序，在该异常检测工序中，拾取从搬送基板的搬送装置产生的声音，对声音数据的波形与预先设定的阈值进行比较而检测所述搬送装置的异常；和
故障检测工序，在该故障检测工序中，拾取所述搬送装置的振动，对振动数据的波形与预先设定的阈值进行比较而检测所述搬送装置的故障。
2.一种基板处理装置，其特征在于，具有：
处理基板的处理室；
搬送所述基板的搬送装置；
内置所述搬送装置的搬送室；
接收从所述搬送装置产生的声音信息的声音信息接收部；
接收从所述搬送装置产生的振动信息的振动信息接收部；
异常检测部，其对接收到的所述声音信息的波形与预先设定的阈值进行比较而检测所述搬送装置的异常；以及
故障检测部，其对接收到的所述振动信息的波形与预先设定的阈值进行比较而检测所述搬送装置的故障。
3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，
所述搬送室是真空搬送室，在所述真空搬送室配置有能够在真空中动作的所述搬送装置即真空搬送装置。
4.根据权利要求3所述的基板处理装置，其特征在于，
在所述真空搬送装置设置有气体填充容器，该气体填充容器在内部设置有麦克风，并且在内部填充有气体，能够利用所述声音信息接收部接收由所述麦克风检测到的声音信息。
5.根据权利要求3所述的基板处理装置，其特征在于，
在所述真空搬送装置的可动部设置有检测振动的传感器，能够利用所述振动信息接收部接收由所述传感器检测到的振动信息。
6.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，
所述搬送室是大气搬送室，在所述大气搬送室中配置有能够在大气中动作的所述搬送装置。
7.根据权利要求6所述的基板处理装置，其特征在于，
在所述搬送装置设置有收集声音信息的麦克风，
所述麦克风配置于所述搬送装置的周围，以接收所述搬送装置的可动部的声音，
能够利用所述声音信息接收部接收由所述麦克风收集到的声音信息。
8.根据权利要求6所述的基板处理装置，其特征在于，
在所述搬送装置设置有检测振动的传感器，
所述检测振动的传感器配置于所述搬送装置的可动部，
能够利用所述振动信息接收部接收由所述传感器检测到的振动信息。
9.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，
具有：
供流体流动的配管；
接收所述配管的声音信息的声音信息接收部；以及
接收所述配管的振动信息的振动信息接收部。
10.根据权利要求9所述的基板处理装置，其特征在于，
所述流体包括冷却水、处理气体和吹扫气体中的任一种。
11.根据权利要求9所述的基板处理装置，其特征在于，
所述配管与包括流量计、阀、凸缘的接头连接，能够使所述流体流动。
12.根据权利要求11所述的基板处理装置，其特征在于，
所述配管的所述声音信息接收部能够配置于与包括所述流量计、所述阀、所述凸缘的接头连接的部分、进行了弯曲加工的所述配管的给流体的流动造成影响的部分的周围。
13.根据权利要求11所述的基板处理装置，其特征在于，
所述配管的所述振动信息接收部能够配置于与包括所述流量计、所述阀、所述凸缘的接头连接的部分、进行了弯曲加工的所述配管的给所述流体的流动造成影响的部分的周围。
14.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，
该基板处理装置还具有分析部，该分析部分析由所述振动信息接收部接收到的所述振动信息和由所述声音信息接收部接收到的所述声音信息。
15.根据权利要求14所述的基板处理装置，其特征在于，
还具有能够控制所述基板处理装置的各结构的控制部，
所述控制部在所述分析部所分析的所述声音信息是异常值的情况下，对显示部指示显示所述搬送装置或所述配管的异常状态。
16.根据权利要求14所述的基板处理装置，其特征在于，
还具有能够控制所述基板处理装置的各结构的控制部，
所述控制部在所述分析部所分析的所述振动信息是异常值的情况下，对显示部指示显示所述搬送装置或所述配管的异常状态。
17.根据权利要求14所述的基板处理装置，其特征在于，
还具有能够控制所述基板处理装置的各结构的控制部，
所述控制部还具有存储部，该存储部存储声音信息接收部和振动信息接收部接收到的声音信息或振动信息的历史，
所述分析部对接收到的声音信息或振动信息与所述存储部所存储的所述历史进行比较，进行异常判定。
18.根据权利要求17所述的基板处理装置，其特征在于，
所述存储部接收所述分析部进行比较的结果，在判定为正常的情况下，保存所述历史的声音信息或振动信息。
19.一种半导体器件的制造方法，其特征在于，具有如下工序：
利用搬送装置搬送基板的搬送工序；
保持内置所述搬送装置的搬送室的大气或真空状态的工序；
进行所述基板的处理的工序；
接收所述搬送装置的声音信息的声音信息接收工序；
接收所述搬送装置的振动信息的振动信息接收工序；以及
在根据在所述声音信息接收工序或所述振动信息接收工序中接收到的信息进行分析的结果是判定为异常的情况下，控制部进行装置的异常的通知和动作的停止中的至少一者的工序。
20.一种计算机可读记录介质，其特征在于，记录有使计算机执行权利要求1所述的所述异常检测工序和所述故障检测工序的程序。
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