KR20230041566A - 기판 처리 방법, 기판 처리 장치, 반도체 처리 장치의 제조 방법 및 프로그램 - Google Patents

기판 처리 방법, 기판 처리 장치, 반도체 처리 장치의 제조 방법 및 프로그램 Download PDF

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KR20230041566A
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데루오 요시노
나오후미 오하시
도시로 고시마키
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가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭
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Abstract

본 발명은, 기판을 반송하는 반송 장치의 이상 및 고장 검출을 행하는 것을 목적으로 하는 기판 처리 방법을 얻는다. 기판을 반송하는 반송 로봇과, 반송 로봇을 갖는 반송실과, 기판을 처리하는 처리실과, 반송 로봇의 진동 정보를 수신하는 진동 정보 수신부와, 반송 로봇의 소리 정보를 수신하는 소리 정보 수신부와, 각 구성을 제어하는 것이 가능하게 구성된 제어부를 갖는다.

Description

기판 처리 방법, 기판 처리 장치, 반도체 처리 장치의 제조 방법 및 프로그램{METHOD OF PROCESSING SUBSTRATE, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR PROCESSING APPARATUS, AND PROGRAM}
본 개시는, 기판 처리 방법, 기판 처리 장치, 반도체 처리 장치의 제조 방법 및 프로그램에 관한 것이다.
종래, 기판의 반송 기구에 진동을 검출하는 진동 센서를 마련한 기판 처리 장치가 있다(예를 들어 문헌 1). 종래의 기판 처리 장치에서는, 웨이퍼의 반송에 지장이 생기는지 여부를, 진동 센서로 가동 시의 반송 기구의 진동을 검출함으로써 반송 기구의 상태를 검출하고 있다.
국제 공개 제2018/061145호
종래의 기판 처리 장치에서는, 반송 기구의 상태를 검출하고 있었지만, 장치의 이상 또는 고장을 검출하는 것에 대해서는 과제가 있었다.
본 개시는, 기판을 반송하는 반송 장치의 이상 검출, 또는 고장 검출을 행하는 것을 목적으로 한다.
본 개시의 일 양태에 의하면, 기판을 반송하는 반송 장치로부터 발생한 소리를 취해서, 소리 데이터의 파형과 미리 설정한 역치를 비교해서 상기 반송 장치의 이상을 검출하는 이상 검출 공정과, 상기 반송 장치의 진동을 취해서, 진동 데이터의 파형과 미리 설정한 역치를 비교해서 상기 반송 장치의 고장을 검출하는 고장 검출 공정을 갖는 반도체 장치의 제조 방법이 제공된다.
이상 설명한 바와 같이, 본 개시에 의하면, 기판을 반송하는 반송 장치의 이상 검출 또는 고장 검출을 행할 수 있다.
도 1은 본 개시의 제1 실시에 관한 기판 처리 장치의 개요를 도시하는 평면도이다.
도 2는 기판 처리 장치의 개요를 나타내는 일부를 단면으로 한 측면도이다.
도 3의 (A)는 진공 로봇을 도시하는 종단면도이며, (B)는 진공 로봇을 도시하는 평면도이다.
도 4의 (A)는 제어계를 나타내는 블록도이며, (B)는 제어부의 구성의 일례를 도시하는 도면이다.
도 5는 파형 데이터와 역치의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 6은 제1 실시 형태에 따른 검출 처리를 나타내는 흐름도이다.
도 7은 제2 실시 형태에 따른 검출 처리의 전반을 나타내는 흐름도이다.
도 8은 제2 실시 형태에 따른 검출 처리의 후반을 나타내는 흐름도이다.
도 9는 제2 실시 형태에 따른 기억부가 수수하는 정보를 설명하는 설명도이다.
도 10은 역치의 보정을 설명하는 설명도이다.
이하, 본 개시의 일 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(10)에 대해서, 도 1 내지 도 6을 사용해서 설명한다. 또한, 이하의 설명에서 사용되는 도면은 모두 모식적인 것이며, 도면에 도시되는 각 요소의 치수 관계, 각 요소의 비율 등은, 현실의 것과 반드시 일치하는 것은 아니다. 또한, 복수의 도면의 상호간에 있어서도, 각 요소의 치수 관계, 각 요소의 비율 등은 반드시 일치하는 것은 아니다.
(기판 처리 장치의 개요)
우선, 도 1 및 도 2에 기초하여 본 실시 형태의 기판 처리 장치(10)의 개요를 설명한다.
기판 처리 장치(10)는, 진공 상태 등의 대기압 미만의 압력(부압)에 견디는 진공 반송실(103)을 구비하고 있다. 진공 반송실(103)에는, 부압 하에서 기판(200)을 이동 탑재하는 반송 장치의 일례로서의 진공 반송 로봇(112)이 설치되어 있다.
(진공 반송실)
진공 반송실(103)은, 진공 반송실(103)에 기판(200)을 반입하는 반입용 예비실(122) 및 진공 반송실(103)로부터의 기판(200)을 반출하는 반출용 예비실(123)과 게이트 밸브(244 및 127)를 통해서 각각 연결되어 있고, 예비실(122 및 123)의 전방측에는, 대략 대기압 하에서 사용되는 대기 반송실(121)이 게이트 밸브(128 및 129)를 통해서 연결되어 있다.
(진공 반송 로봇)
도 3의 (A), (B)에 도시하는 바와 같이, 본 실시 형태의 진공 반송 로봇(112)은, 상자 형상의 로봇 받침대(150)를 갖고 있고, 로봇 받침대(150)에는, 모터(152)로 구동되는 승강 엘리베이터(154)가 마련되어 있다.
승강 엘리베이터(154)의 상부에는, 승강 엘리베이터(154)의 상부에 마련한 제1암 구동 장치(156)에 의해 수평 방향으로 선회 가능한 제1암(158)이 마련되어 있다.
제1암(158)의 선단에는, 제1암(158)의 선단에 마련한 제2암 구동 장치(160)에 의해 수평 방향으로 선회 가능한 제2암(162)이 마련되어 있다.
제2암(162)의 선단에는, 제2암(162)의 선단에 마련한 트위저 구동 장치(164)에 의해 수평 방향으로 선회 가능한 트위저(166)가 마련되어 있다. 기판(200)은, 트위저(166)에 적재된 상태에서 반송된다.
제1암(158), 제2암(162), 승강 엘리베이터(154) 및 로봇 받침대(150)는, 각각이 밀폐된 중공 구조로 되고, 내부에 기체(일례로서 공기)가 충전되어 있다.
본 실시 형태에서는, 제1암(158)의 내부에 제1 마이크로폰(168)이 마련되어 있고, 제2암(162)의 내부에 제2 마이크로폰(170)이 마련되어 있고, 승강 엘리베이터(154)의 내부에 제3 마이크로폰(177)이 마련되어 있다.
도 3의 (A)에 도시하는 바와 같이, 제1 마이크로폰(168)은, 제1암(158)의 외각을 구성하고 있는 하우징(158A)의 내벽에, 고무, 스프링 등의 탄성체(172)를 통해서 설치되어 있어, 하우징(158A)의 진동을 취하지 않도록 되어 있다. 제1 마이크로폰(168)은, 제1암(158)의 내부의 소리를 취할 수 있고, 제1 마이크로폰(168)으로부터 출력되는 소리 정보(음성 신호)는, 후술하는 소리 정보 수신부(231)에, 유선 또는 무선에 의해 송신되도록 되어 있다.
제2 마이크로폰(170)은, 제2암(162)의 외각을 구성하고 있는 하우징(162A)의 내벽에, 고무, 스프링 등의 탄성체(174)를 통해서 설치되어 있다. 제2 마이크로폰(170)은, 제2암(162)의 내부의 소리(트위저 구동 장치(164)의 소리)를 취할 수 있고, 소리 정보(음성 신호)는, 후술하는 소리 정보 수신부(231)에, 유선 또는 무선에 의해 송신되도록 되어 있다.
제3 마이크로폰(177)은, 승강 엘리베이터(154)의 외각을 구성하고 있는 하우징(154A)의 내벽에, 고무, 스프링 등의 탄성체(179)를 통해서 설치되어 있다. 제3 마이크로폰(177)은, 승강 엘리베이터(154)의 내부의 소리(제1암 구동 장치(156)의 소리)를 취할 수 있고, 소리 정보(음성 신호)는, 후술하는 소리 정보 수신부(231)에, 유선 또는 무선에 의해 송신되도록 되어 있다.
트위저(166)에는 진동 센서(176)가 설치되어 있다. 진동 센서(176)는, 트위저(166)의 진동을 검출하고, 진동 검출 정보는, 후술하는 진동 정보 수신부(230)에, 유선 또는 무선에 의해 송신되도록 되어 있다. 또한, 진동 센서(176)는, 예를 들어 가속도 센서로 구성된다.
진공 반송 로봇(112)은, 트위저(166)를 사용해서 기판(200)을 정확하게 수취하고 또한 전달할 필요가 있다. 트위저(166)가 상정 이상으로 진동하고 있을 경우에는, 기판(200)을 정확하게 수취하고 또한 전달하는 것이 곤란하다고 판단하는 것이 바람직하다. 그 때문에, 진공 반송 로봇(112)에 의한 기판(200)의 반송 시에 트위저(166)의 진동을 검출하여, 진동의 상태(진동 파형의 차이, 진동의 크기 등)에 의해 진공 반송 로봇(112)의 고장을 검출하는 것이 바람직하다.
(대기 반송실)
도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 대기 반송실(121)에는, 기판(200)을 이동 탑재하는, 반송 장치의 일례로서의 대기 반송 로봇(124)이 설치되어 있다. 대기 반송실(121)에는, 기판(200)을 대기 반송실(121)에 대하여 반출입하기 위한 기판 반입 반출구(134)와, 기판 반입 반출구(134)를 폐색하는 덮개(142)와, 포드 오프너(108)가 각각 설치되어 있다. 대기 반송실(121)에는, 좌측에 기준면 맞춤 장치(orientation flat aligner)(106)가 설치되어 있다.
포드 오프너(108)는, IO 스테이지(105)에 적재된 포드(100)의 캡 및 기판 반입 반출구(134)를 폐색하는 덮개(142)를 개폐함으로써, 포드(100)에 대하여 기판(200)의 출입을 가능하게 한다.
진공 반송실(103)에는, 게이트 밸브(130)를 통해서 콜드월식 처리로에 의해 각각 구성되어 있는 제1 처리로(202) 및 제2 처리로(137)와, 처리가 끝난 기판(200)을 냉각하도록 각각 구성되어 있는 제1 쿨링 유닛(138) 및 제2 쿨링 유닛(139)이 각각 연결되어 있다.
(대기 반송 로봇)
본 실시 형태의 대기 반송 로봇(124)은, 진공 반송 로봇(112)과 마찬가지의 구성이기 때문에, 상세한 설명은 생략한다. 또한, 본 실시 형태의 대기 반송 로봇(124)은, 진공 반송 로봇(112)과 마찬가지로 기판(200)을 반송 가능하게 구성되어 있는데, 대기 반송실(121)의 내부를 자주 가능(도 1의 도면 좌우 방향)하게 되어 있다.
대기 반송 로봇(124)의 제1암(158)의 제1 마이크로폰(168), 제2암(162)의 제2 마이크로폰(170), 트위저(166)의 진동 센서(176)는, 진공 반송 로봇(112)과 마찬가지로, 후술하는 소리 정보 수신부(231)에, 유선 또는 무선에 의해 소리 정보 및 진동 정보를 송신하도록 되어 있다.
(처리로)
도 1에 도시하는 바와 같이, 처리로(202)는, 매엽식 CVD로(매엽식 콜드월형 CVD로)로서 구성되어 있고, 기판(200)을 처리하는 처리실을 내부에 형성한 챔버(204)를 구비하고 있다.
기판(200)은, 진공 반송 로봇(112)에 의해 기판 반입 반출구(도시 생략)를 통해서 처리로(202) 내에 반출입된다.
챔버(204)에는, 냉각수가 유통 가능한 냉각 파이프(도시하지 않음)가 매립되어 있고, 해당 냉각 파이프는, 처리로(202)의 외부에 마련된 냉각수 공급 장치(178)와 배관(180)을 통해서 접속되어 있다. 또한, 배관(180)에는, 유체의 흐름을 제어하는 밸브(182), 유량계(183)가 마련되어 있고, 배관(180)(또는 밸브(182))에는, 진동 센서(184) 및 마이크로폰(186)이 설치되어 있다. 또한, 배관(180)에 마련되는 각 구성은, 플랜지 등의 조인트를 통해서 배관(180)에 접속된다.
진동 센서(184)는, 배관(180)(또는 밸브(182))의 진동을 검출하고, 마이크로폰(186)은, 배관(180)(또는 밸브(182))으로부터의 소리를 취할 수 있다. 또한, 진동 검출 정보는, 진동 정보 수신부(230)에 유선 또는 무선에 의해 송신되고, 소리 검출 정보는, 소리 정보 수신부(231)에 유선 또는 무선에 의해 송신된다.
또한, 챔버(204)에는, 기판(200)을 처리하는 처리 가스를 공급하는 처리 가스 공급 장치(188)가 배관(190)을 통해서 접속되어 있음과 함께, 내부의 처리 가스를 배기하는 배기 장치(192)가 배관(194)을 통해서 접속되어 있다.
(컨트롤러)
도 4의 (A)에 도시하는 바와 같이, 기판 처리 장치(10)는 컨트롤러(201)를 구비하고 있다.
컨트롤러(201)에는, 기판 처리 장치(10)의 기구부의 진동 정보를 취득하는 진동 정보 수신부(230)와, 기구부의 동작 시에 발생하는 소리 정보를 취득하는 소리 정보 수신부(231)가 구비되어 있다.
기판 처리 장치(10)에서는, 컨트롤러(201)에 의해 장치 전반(반송계 컨트롤러(211), 프로세스계 컨트롤러(212) 등)의 제어가 행하여진다.
컨트롤러(201)는, 외부 접속 기기와의 접속을 관리하는 외부 기억부(223), 조작자로부터의 각종 지시를 접수하는 조작부(227b), 기판 처리 상황 등의 각종 정보를 표시하는 표시부(227a), 진공 반송 로봇(112), 대기 반송 로봇(124) 및 배관(180) 등에 설치되어 있는 진동 센서(176, 184)로부터 진동 정보를 수신하는 진동 정보 수신부(230), 진공 반송 로봇(112), 대기 반송 로봇(124) 및 배관(180) 등에 설치되어 있는 제1 마이크로폰(168), 제2 마이크로폰(170), 제3 마이크로폰(177), 마이크로폰(186)으로부터 소리 정보를 수신하는 소리 정보 수신부(231), 진동 정보 수신부(230)나 소리 정보 수신부(231)로부터의 정보를 분석하는 분석부(229), 기판 처리 장치(10) 전체를 제어하는 것이 가능한 제어부(220), 진동 정보 수신부(230)나 소리 정보 수신부(231)에서 수신한 진동 정보 및 소리 정보를 축적 보존하는 기억부(222) 등을 포함하여 구성되어 있다. 또한, 분석부(229)는, 이상 검출부와, 고장 검출부의 적어도 하나 이상을 포함하도록 구성되어 있어도 된다. 또한, 도 4에서는, 분석부(229)는, 제어부(220)와 별도의 구성인 것처럼 나타냈지만, 분석부(229)는, 제어부(220)의 일부로서 구성해도 된다. 예를 들어, 분석부(229)를 분석 프로그램으로서 구성하여, 분석 프로그램을 제어부(220)에 마련된 CPU(220A)에서 연산하도록 구성해도 된다. 또한, 이상 검출부와, 고장 검출부를 각각, 프로그램으로서 구성해도 된다. 이들 프로그램도 CPU(220A)에서 연산하도록 구성해도 된다. 또한, 이들 프로그램은, 기억부(222)에 기록 가능하게 구성되어 있다.
일례로서, 제어부(220)는, 도 4의 (B)에 도시하는 바와 같이, CPU(220A), ROM(220B), RAM(220C) 등을 포함해서 구성된 컴퓨터를 사용할 수 있지만, 전용의 제어 회로로 구성되어 있어도 된다.
또한, 조작자란, 장치 오퍼레이터 이외에, 장치 관리자, 장치 엔지니어, 보수원, 작업자를 포함한다.
기억부(222)에는, 진동 정보 수신부(230) 및 소리 정보 수신부(231)로부터 수신한 진동 정보나 소리 정보 이외에, 진동 정보나 소리 정보를 축적 보존하는 조건이 되는 이벤트 정보가 기억된다. 이벤트 정보는, 예를 들어 진공 반송 로봇(112), 대기 반송 로봇(124)의 기구부가, 동작을 개시 및 정지하는 타이밍에 발생하는 정보이며, 또한 냉각수 공급 장치(178)에서는, 예를 들어 유체의 흐름을 제어하는 밸브(182)가 개폐 동작하는 타이밍에 발생하는 정보를 나타낸다.
통신부(228)는, 반송계 컨트롤러(211), 프로세스계 컨트롤러(212), 외부 컴퓨터 등과의 사이에서, 정보의 수수를 행할 수 있다.
이들 진동 정보 수신부(230), 분석부(229), 외부 기억부(223), 조작부(227b), 표시부(227a), 통신부(228), 소리 정보 수신부(231), 제어부(220), 기억부(222)는, 버스(232)에 의해 서로 접속되어 있어, 각종 정보나 커맨드 등의 수수를 행할 수 있도록 되어 있다.
또한, 외부 기억부(223)는, 일례로서, 외부 기록 매체(USB 메모리 등)(224)를 접속 가능하게 구성되어 있어도 된다. 외부 기록 매체(224)에는, 다음으로 설명하는 기판 처리 공정, 이상 검출 공정 및 고장 검출 공정 등을 실행하기 위한 프로그램을 기억할 수 있다.
(작용, 효과)
먼저 최초로, 본 실시 형태의 기판 처리 장치(10)의 기판 처리 공정의 일례를 설명한다.
도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 복수매의 기판(200)을 수납한 상태에서 포드(100)가 IO 스테이지(105) 상에 적재되고, 포드 오프너(108)에 의해 개방되어, 대기 반송실(121)의 대기 반송 로봇(124)에 의해 기판(200)이 픽업되어, 개방된 게이트 밸브(128)로부터 예비실(122)에 반입된다.
이어서, 게이트 밸브(128)가 폐쇄되고, 배기 장치(도시 생략)에 의해 예비실(122)이 부압으로 배기되어, 미리 설정된 압력값으로 감압되면, 게이트 밸브(244) 및 게이트 밸브(130)가 개방되어, 예비실(122), 진공 반송실(103) 및 제1 처리로(202)가 연통한다. 진공 반송 로봇(112)에 의해 예비실(122)로부터 기판 반입 반출구(250)를 통해서 제1 처리로(202)에 기판(200)이 반입된다.
진공 반송 로봇(112)이 제1 처리로(202)로부터 퇴출한 후, 기판 반입 반출구(250)가 게이트 밸브(244)에 의해 폐쇄된다. 그 후, 기판(200)을 수용하고 있는 제1 처리로(202)의 기체가 배기 장치(192)에 의해 배기된다.
이어서, 처리로(202)의 제1 냉각수 파이프(2a) 및 제2 냉각수 파이프(2b)에 냉각수 공급 장치(178)로부터의 냉각수가 흘려짐과 함께, 히터(도시 생략)에 의해 기판(200)이 가열된다. 기판(200)의 온도가 처리 온도까지 상승하면, 처리 가스 공급 장치(188)로부터 처리로(202) 내에 처리 가스가 공급되어, 원하는 처리가 기판(200)에 대하여 행하여진다.
미리 설정된 처리 시간이 경과하면, 처리로(202) 내의 기체가 배기 장치(192)에 의해 배기된다. 이어서, 게이트 밸브(130)가 개방되고, 처리가 끝난 기판(200)은 진공 반송 로봇(112)에 의해 진공 반송실(103)에 반송된 후, 제1 쿨링 유닛(138)에 반입되어 냉각된다.
제1 쿨링 유닛(138)에서 미리 설정된 냉각 시간이 경과하면, 기판(200)은, 진공 반송 로봇(112)에 의해 제1 쿨링 유닛(138)으로부터 진공 반송실(103)에 반송된다.
그 후, 게이트 밸브(127)가 개방되어, 기판(200)은 진공 반송 로봇(112)에 의해 예비실(123)에 반송되고, 게이트 밸브(127)가 폐쇄되고, 예비실(123) 내가 불활성 가스에 의해 대략 대기압으로 복귀된다.
이어서, 포드 오프너(108)에 의해 덮개(142)와 포드(100)의 캡이 열리고, 대기 반송 로봇(124)에 의해 기판(200)이 빈 포드(100)에 수납된다. 이상의 동작이 반복됨으로써, 기판(200)이 순차 처리되어 간다.
(진동 정보, 소리 정보)
본 실시 형태의 기판 처리 장치(10)에서는, 상기 기판 처리 공정과 병행하여, 기판 처리 장치(10)의 이상 검출 공정 및 고장 검출 공정이 행하여진다.
이하에, 대표해서, 진공 반송 로봇(112)의 트위저(166) 동작의 이상 검출 공정 및 고장 검출 공정에 대해서 이하에 설명한다.
우선, 컨트롤러(201)의 기억부(222)에는, 일례로서, 도 5의 그래프에서 나타내는 바와 같이, 트위저 구동 장치(164)의 소리의 역치(일점쇄선으로 나타내는 상측의 파형과 하측의 파형의 범위가 역치이며, 역치는 소정의 폭을 갖고 있음)가 미리 저장되어 있음과 함께, 도 6에 도시하는 바와 같이, 진동의 역치(일점쇄선으로 나타내는 상측의 파형과 하측의 파형의 범위가 역치이며, 역치는 소정의 폭을 갖고 있음)가 미리 저장되어 있다.
도 5의 그래프에는, 소리의 역치의 파형 데이터 이외에, 실제로 제2 마이크로폰(170)에서 취한 정상 시(일례로서, 신품 시)의 소리의 정상 파형(실선으로 도시)과, 실제로 제2 마이크로폰(170)에서 취한 이상 시의 소리의 이상 파형(점선으로 도시)이 나타내어져 있다.
또한, 도시를 생략하지만, 기억부(222)에는, 도 5와 마찬가지로 진동의 역치가 저장되어 있다.
(검출 처리의 일례)
이어서, 도 6에 나타내는 흐름도에 따라서 이상 검출 공정 및 고장 검출 공정의 일례를 설명한다.
이 검출 처리는, 트위저(166)의 하나의 이벤트(하나의 동작)가 행하여지는 타이밍에 개시되어, 해당 이벤트가 종료될 때까지 계속된다.
우선, 스텝 100에서는, 제2 마이크로폰(170)에서, 트위저(166)를 구동하는 트위저 구동 장치(164)의 소리 정보가 취득됨과 함께, 진동 센서(176)에서 트위저(166)의 진동 정보가 취득된다. 소리 정보 및 진동 정보는, 소리 정보 수신부(231)에 송신된다.
스텝 102에서는, 분석부(229)가, 전송된 소리 정보와 역치의 비교를 행한다. 분석부(229)에서, 소리 정보의 파형이 역치를 벗어나 있는지 여부를 판단하여, 소리 정보의 파형이 역치를 벗어나 있다고(일례로서, 전송된 소리 정보의 파형이 도 5의 점선의 이상 파형으로 되었을 경우) 판단하면, 스텝 104로 진행된다.
또한, 여기에서의 이상이란, 일례로서, 정상 시(일례로서 신품 시)와 비교해서 소리의 파형이 다르다는 것이며, 통상의 동작에는 아무런 문제가 생기지 않는 것이다.
이상 시의 소리란, 일례로서, 트위저(166)를 구동하는 트위저 구동 장치(164)에 작은 덜걱거림 등이 발생했을 때의 덜걱거림의 소리나, 윤활유가 소진되려고 할 때 발생하는 이음 등을 들 수 있다.
스텝 104에서는, 트위저 구동 장치(164)의 소리가 이상인 것을 알리는 메시지가 표시부(227a)에 표시되고, 그 후 스텝 106으로 진행된다.
한편, 스텝 102에서, 소리 정보의 파형이 역치를 벗어나지 않았다고 판단한 경우에는 스텝 108로 진행되어, 트위저 구동 장치(164)의 소리는 정상인 것을 알리는 메시지가 표시부(227a)에 표시되고, 그 후 스텝 100으로 돌아간다.
스텝 106에서는, 분석부(229)에서, 소리 정보의 경우와 마찬가지로 해서, 진동 정보의 파형이 역치를 벗어나 있는지 여부를 판단하여, 진동 정보의 파형이 역치를 벗어나 있다고 판단하면(바꿔 말하면, 고장이 생겼다고 판단하면) 스텝 110으로 진행되고, 역치를 벗어나지 않았다고 판단하면(바꿔 말하면, 반송 동작 등에 지장이 없는 경도의 진동이면) 스텝 112로 진행된다.
스텝 110에서는, 트위저 구동 장치(164)의 진동이 이상인, 즉, 트위저 구동 장치(164)가 고장난 것을 알리는 고장 메시지가 표시부(227a)에 표시되고, 그 후 처리를 종료한다. 또한, 진동이 이상인 경우에, 진공 반송 로봇(112)의 동작을 정지하고, 경보 장치 등으로 알람 음을 내도 된다.
스텝 112에서는, 트위저 구동 장치(164)의 진동은 정상의 범위 내인 것을 알리는 메시지가 표시부(227a) 표시되고, 그 후 스텝 100으로 돌아간다.
여기에서는, 대표해서 진공 반송 로봇(112)의 트위저(166)의 이상 검출 공정 및 고장 검출 공정에 대해서 설명했지만, 진공 반송 로봇(112)의 그 밖의 구동 부분(제1암 구동 장치(156), 제2암 구동 장치(160) 등)에 대해서도 마찬가지의 처리가 행하여진다.
이와 같이, 본 실시 형태의 진공 반송 로봇(112)에서는, 각 구동 부분의 이벤트마다 소리의 이상 유무, 고장의 유무가 표시부(227a)에 표시되므로, 오퍼레이터는, 표시부(227a)에 표시되는 메시지를 보고 진공 반송 로봇(112)의 각 부의 동작 상황을 파악할 수 있다.
또한, 본 실시 형태의 대기 반송 로봇(124)에서도, 진공 반송 로봇(112)과 마찬가지로 하여 이상 검출 공정 및 고장 검출 공정을 행할 수 있다.
또한, 본 실시 형태의 기판 처리 장치(10)에서는, 냉각계 배관(180)(또는 밸브(182))에는, 마이크로폰(186) 및 진동 센서(184)가 설치되어 있다. 이 때문에, 마이크로폰(186) 및 진동 센서(184)에서 밸브(18)의 소리 및 진동을 검출하고, 진공 반송 로봇(112)과 마찬가지로 이상 검출 공정 및 고장 검출 공정을 행하여, 밸브(182)의 이상이나 고장을 검출할 수도 있다.
이와 같이, 본 실시 형태에 따르면, 장치의 고장을 발견할 수 있어, 장치가 고장나기 전에 반송 장치의 이상을 발견할 수 있다. 그리고, 장치가 발하는 이음을 검출함으로써, 문제 개소의 발견, 점검, 수리의 준비 등을 사전에 보다 빠르게 행할 수 있다.
[제2 실시 형태]
이어서, 도 7 내지 도 10에 따라서, 제2 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(10)의 이상 검출 공정 및 고장 검출 공정에 대해서 설명한다. 제2 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(10)의 장치 구성(하드웨어)은, 제1 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(10)와 마찬가지이므로, 그 설명은 생략한다.
제2 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(10)는, 제1 실시 형태와는 이상 검출 공정 및 고장 검출 공정이 다르다. 제1 실시 형태에서는, 소리 정보 및 진동 정보의 역치가 각각 고정되어 있었지만, 본 실시 형태에서는, 축적한 과거의 파형 데이터와의 차분(예를 들어, 전회의 파형 데이터나, 과거의 파형 데이터의 평균값 등)으로부터 보정값을 산출하여, 산출한 보정값을 역치에 더함으로써, 보다 정밀도가 높은 역치를 얻을 수 있어, 정밀도가 높은 역치를 사용해서 이상 검출이나 진동 검출을 행할 수 있게 되어 있다.
예를 들어, 제조 메이커에서 공장 출하 시에 행하는 연습 운전이나 최종 시험(동작 확인 시험 등)에 있어서, 각 부의 소리 정보 및 진동 정보를 얻어, 해당 소리 정보 및 진동 정보에 기초하여 역치를 설정할 수 있지만, 기판 처리 장치(10)(진공 반송 로봇(112), 대기 반송 로봇(124), 기타)를 분해해서 유저가 사용하는 장소에서 재조립한 경우에, 조립 오차, 그 밖의 요인에 의해, 각 부에서 발생하는 소리나 진동이 유저 사용 시에 변해버리는 경우가 있다.
그 때문에, 유저가 최초로 사용(일례로서, 유저의 라인에서 사용하기 전의 시험적인 사용)할 때, 소리 정보나 진동 정보가, 제조 메이커에서 출하 시에 설정한 역치로부터 벗어나버리는 경우가 있어, 이상이나 고장이 아님에도 불구하고, 이상이나 고장의 표시가 되어버릴 우려가 있다.
이 때문에, 본 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(10)에서는, 소리나 진동의 역치를 자동으로 보정하도록 되어 있다.
이하에, 제2 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(10)에서의 이상 검출 공정 및 고장 검출 공정의 일례를, 도 7 및 도 8에 나타내는 흐름도에 따라서 설명한다.
우선, 스텝 200에서는, 제2 마이크로폰(170)에서, 트위저(166)를 구동하는 트위저 구동 장치(164)의 소리 정보가 취득됨과 함께, 진동 센서(176)에서 트위저(166)의 진동 정보가 취득된다. 소리 정보 및 진동 정보는, 소리 정보 수신부(231)에 송신된다.
스텝 202에서는, 전회의 이벤트에서 기억해 둔 소리 정보를 취득한다.
또한, 일례로서, 유저측에서 최초로 장치를 구동한 경우, 전회의 이벤트란, 공장 출하 시에 기억부(222)에 기억시켜 둔 소리 정보(소리 데이터(파형))가 된다. 또한, 유저측에서 장치를 복수회 구동한 경우, 전회의 이벤트란, 유저측에서 장치를 구동했을 때의 소리 정보(소리 데이터(파형))가 된다(도 9 참조).
스텝 204에서는, 스텝 200에서 취득한 소리 정보와, 전회의 소리 정보의 차이가 있는지 여부를 판단하여, 차이가 있을 경우에는 스텝 206으로 진행되고, 차이가 없을 경우에는 스텝 210으로 진행된다.
스텝 210에서는, 스텝 200에서 취득한 소리 정보(역치의 범위 내)를 기억부(222)에 보낸다.
그리고, 다음 스텝 212에서는, 소리 정보를 기억부(222)에 보존한다. 또한, 해당 소리 정보는 이벤트마다 축적할 수 있다(도 9 참조). 또한, 기억부(222)에 보존한 소리 정보는, 역치의 보정에 사용할 수 있다.
한편, 스텝 206에서는, 스텝 200에서 취득한 소리 정보와, 기억부(222)에 보존되어 있는 소리 정보의 차분으로부터 보정값을 산출하고, 산출한 보정값을 역치에 더함으로써 새로운 역치를 생성하고, 여기에서 생성한 역치를 분석부(229)가 취득한다.
일례로서, 도 10의 좌측의 그래프에는, 제1 파형(일례로서, 공장 출하 시에 기억한 파형)과 제2 파형(일례로서, 유저측의 최초의 이벤트에서 취득한 파형)과, 공장 출하 시의 역치의 관계가 나타내어져 있다. 도 10의 좌측에서 나타내는 예에서는, 제1 파형, 제2 파형 모두 공장 출하 시의 역치의 범위 내에 있는 것이 나타내어져 있다. 또한, 제2 파형의 형상은, 제1 파형의 형상과 달리, 제2 파형의 일부분은 역치의 하한의 파형에 접근하고 있다.
이와 같이, 제2 파형의 형상이 제1 파형의 형상과 다를 경우, 보정값을 산출하여, 산출한 보정값을 역치에 더함으로써 새로운 역치를 생성하고, 여기에서 생성한 역치를 분석부(229)에서 취득하여, 다음 검출 공정에서 이용할 수 있다.
도 10의 우측의 그래프에는, 제2 파형(일례로서, 유저측의 최초의 이벤트에서 취득한 파형)과, 제3 파형(유저측에서 2회째의 이벤트에서 취득한 파형)과, 보정한 역치의 관계가 나타내어져 있다. 도 10의 우측의 그래프에서 기재되어 있는 역치는, 유저측의 2회째의 이벤트에서 취득한 파형을 고려하여 보정한 역치이기 때문에, 2회째의 이벤트에서 취득한 정보의 파형은, 보정한 역치의 상한값과 하한값의 중앙에 위치하고 있다.
또한, 도 10의 우측의 그래프에서는, 제3 파형이 보정한 역치로부터 벗어나 있는 모습을 나타내고 있다.
스텝 208에서는, 스텝 200에서 취득한 소리 정보와, 역치의 비교를 행한다. 분석부(229)에서, 소리 정보의 파형이 역치를 벗어나 있는지 여부를 판단하여, 소리 정보의 파형이 역치를 벗어나 있다고 판단하면 스텝 214로 진행되고, 역치를 벗어나지 않았다고 판단하면 스텝 210으로 진행된다.
스텝 214에서는, 스텝 200에서 취득한 소리 정보는, 역치를 벗어난 소리 정보인 것으로 해서 기억부(222)에 보낸다.
스텝 216에서는, 역치를 벗어난 소리 정보를 취득함으로써, 소리 이상 정보를 생성한다.
다음 스텝 218에서는, 전회의 이벤트에서 기억해 둔 진동 정보를 취득한다.
또한, 일례로서, 유저측에서 최초로 장치를 구동한 경우, 전회의 이벤트란, 공장 출하 시에 기억부(222)에 기억시켜 둔 진동 정보(진동 데이터(파형))가 된다. 또한, 유저측에서 장치를 복수회 구동한 경우, 전회의 이벤트란, 유저측에서 장치를 구동했을 때의 진동 정보(진동 데이터(파형))가 된다(도 9 참조).
도 8에 도시하는 바와 같이, 스텝 220에서는, 스텝 200에서 취득한 진동 정보와, 전회의 진동 정보의 차이가 있는지 여부를 판단하여, 차이가 있을 경우에는 스텝 222로 진행된다.
스텝 222에서는, 분석부(229)가 기억부(222)에 보존되어 있는 진동의 역치 정보를 취득한다.
스텝 224에서는, 스텝 200에서 취득한 진동 정보와, 역치의 비교를 행한다. 분석부(229)에서, 진동 정보의 파형이 역치를 벗어나 있는지 여부를 판단하여, 진동 정보의 파형이 역치를 벗어나 있다고 판단하면 스텝 226으로 진행되고, 역치를 벗어나지 않았다고 판단하면 스텝 228로 진행된다.
그리고, 다음 스텝 232에서는, 진동 정보를 기억부(222)에 보존한다. 이 진동 정보는, 다음 이벤트 시에, 스텝 202에서 사용하는 소리 정보가 된다.
스텝 226에서는, 스텝 200에서 취득한 트위저 구동 장치(164)의 진동 정보는, 역치를 벗어난 진동음 정보인 것으로 해서 기억부(222)에 보낸다.
스텝 230에서는, 역치를 벗어난 진동 정보를 취득함으로써, 고장 정보를 생성한다.
스텝 232에서는, 진동 정보를 기억부(222)에 보존한다. 이 진동 정보는, 다음 이벤트 시에, 스텝 218에서 사용하는 진동 정보가 된다.
스텝 234에서는, 소리 이상 정보(스텝 214에서 얻는 소리 정보 검출 결과)의 유무를 판단하여, 소리가 이상인(소리 이상 정보가 있음) 경우에 스텝 238로 진행되고, 소리가 정상인(소리 이상 정보는 없음. 역치의 범위 내의 소리 정보 있음) 경우에 스텝 236으로 진행된다.
스텝 238에서는, 트위저 구동 장치(164)의 소리는 이상인 것을 알리는 메시지가 표시부(227a)에 표시된다.
스텝 236에서는, 고장 정보(스텝 230에서 얻음)의 유무를 판단하여, 고장 정보가 있는 경우에 스텝 242로 진행되어 고장 메시지가 표시부(227a)에 표시되고, 고장 정보가 없을 경우에 스텝 240으로 진행되어 트위저 구동 장치(164)의 진동은 정상의 범위 내인 것을 알리는 메시지가 표시부(227a)에 표시된다.
본 실시 형태에서는, 최신의 파형 데이터와 축적한 과거의 파형 데이터의 차분에 기초하여 보정값을 산출하고, 산출한 보정값을 역치에 더하고 있으므로, 정밀도가 높은 역치를 얻을 수 있어, 정밀도가 높은 역치를 사용해서 이상 검출이나 진동 검출을 행할 수 있다. 이에 의해 오검출을 억제할 수 있다.
이상, 제2 실시 형태에 따른 진공 반송 로봇(112)의 이상 검출 공정 및 고장 검출 공정에 대해서 설명했지만, 대기 반송 로봇(124) 및 밸브(182)에 있어서도, 진공 반송 로봇(112)과 마찬가지로 해서 이상 검출 공정 및 고장 검출 공정을 행할 수 있다.
[그 밖의 실시 형태]
이상, 본 개시의 일 실시 형태에 대해서 설명했지만, 본 개시는, 상기에 한정되는 것은 아니며, 상기 이외에도 그 주지를 일탈하지 않는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시 가능한 것은 물론이다.
상기 실시 형태의 진공 반송 로봇(112)에서는, 제1암(158), 제2암(162), 승강 엘리베이터(154) 및 로봇 받침대(150)가 각각 중공 구조로 되고, 밀폐된 하우징(158A)의 내부에 기체(일례로서 공기)가 충전되어 있었지만, 내부가 외부와 연통해서 내부가 진공 상태로 되어 있는 경우도 있다. 이러한 경우에는, 구동 장치의 근방에 기체를 충전한 기체 충전 용기를 배치하고, 그 기체 충전 용기의 내부에 마이크로폰을 설치하면, 구동 장치로부터 발생하는 소리를 간접적으로 취할 수 있다.
대기 반송 로봇(124)에 있어서는, 로봇 내부가 아니라, 로봇 외부에 마이크로폰(도 1의 부호 181)을 마련해서 구동 장치의 동작 소리를 취하도록 해도 된다. 대기 반송 로봇(124)의 근방에 마이크로폰(181)을 마련함으로써, 대기 반송 로봇(124)의 각 구동 장치로부터 발생하는 소리를 하나의 마이크로폰(181)에서 취하는 것이 가능하게 되어, 마이크로폰의 수를 삭감할 수 있다.
본 개시의 실시 형태에 따른 컨트롤러(201)는, 전용 시스템(회로)에 구애되지 않고, 통상의 컴퓨터 시스템을 사용해도 실현 가능하다. 예를 들어, 범용 컴퓨터에, 상술한 처리를 실행하기 위한 제어 프로그램을 저장한 외부 기록 매체(USB 메모리, 외장 HDD 등)로부터 제어 프로그램을 인스톨함으로써, 상술한 처리를 실행하는 컨트롤러(201)를 구성할 수 있다.
또한, 프로그램을 공급하기 위한 수단은 임의이다. 상술한 바와 같이 소정의 기록 매체를 통해서 공급할 수 있는 것 외에, 예를 들어 통신 회선, 통신 네트워크, 통신 시스템 등을 통해서 공급해도 된다. 이 경우, 예를 들어 통신 네트워크의 게시판에 당해 프로그램을 게시하여, 네트워크를 통해서 반송파에 중첩해서 제공해도 된다. 그리고, 이렇게 제공된 프로그램을 기동하여, OS의 제어 하에서, 다른 애플리케이션 프로그램과 마찬가지로 실행함으로써, 상술한 처리를 실행할 수 있다.
상기 실시 형태에서는, 기판 처리 장치의 일례로서 반도체 제조 장치를 나타내고 있지만, 반도체 제조 장치에 한하지 않고, LCD 장치와 같은 유리 기판을 처리하는 장치이어도 된다. 또한, 기판 처리의 구체적 내용은 상관 없으며, 성막 처리뿐만 아니라, 어닐 처리, 산화 처리, 질화 처리, 확산 처리 등의 처리이어도 된다. 또한, 성막 처리는, 예를 들어 산화막, 질화막을 형성하는 처리, 금속을 포함하는 막을 형성하는 처리이어도 된다.
본 개시는, 반송, 그 밖의 동작을 수반하는 장치(기계)이면, 기판 처리 장치 이외의 장치(기계)에도 적용 가능하다.
또한, 본 개시에 있어서, 반송 로봇 등의 진동 정보란, 주로 기계적 진동을 의미한다. 기계적 진동이란, 예를 들어 진공 반송 로봇(112) 등이 갖는 모터의 동작 등에 의해 생기는 동적인 힘에 의해 기계적으로 진동하는 것을 의미한다. 또한, 본 개시에 있어서, 진동 정보란, 기계적 진동의 정보를 의미한다. 이 기계적 진동의 측정은, 그 진동하는 물체의 가속도를 측정함으로써 가능하다. 즉, 진동 정보를 측정하는 대상(기계) 또는 그 주위에 가속도 센서와 같은 진동 센서를 설치함으로써, 대상의 진동 정보를 얻을 수 있다.
또한, 본 개시에 있어서, 소리 정보란, 물체의 진동에 의해 생긴 음파를, 음향 기기(마이크로폰)에 의해 전기 신호로 변환한 것이다.
또한, 본 개시에 있어서, 진동 정보와 소리 정보는 모두 진동의 정보인데, 진동 정보(기계적 진동의 정보)의 주파수는, 소리 정보의 주파수에 비해서 낮다는 차이가 있다. 또한, 마이크로폰과 같은 음향 기기에서는 검출할 수 없을 가능성이 있는 진동 정보를 가속도 센서와 같은 진동 센서에서 검출하는 것이 가능하고, 또한 가속도 센서와 같은 진동 센서에서는 검출할 수 없을 가능성이 있는 소리 정보를 마이크로폰과 같은 음향 기기에서 검출하는 것이 가능하다. 예를 들어, 진동 센서는, 진동 센서를 설치한 위치로부터 이격된 장소의 진동 정보의 검출은 할 수 없지만, 음향 기기에서는 이격된 장소의 소리 정보를 검출할 수 있다. 또한, 진동 센서는, 느린 동작 시의 진동 정보의 검출이나 진동에 대한 반응 속도가 느려서, 동작에 추종할 수 없는 경우가 있지만, 음향 기기에서는, 약간의 소리 정보라도 검출하는 것이 가능하다. 이와 같이, 2종류의 진동 센서를 사용하여, 2종류의 정보(진동 정보와 소리 정보)를 얻음으로써, 기계의 이상 검출·이상 예지의 적어도 하나 이상의 정밀도를 향상시키는 것이 가능하게 된다. 또한, 2종류의 진동 센서란, 마이크로폰과 같은 음향 기기와, 가속도 센서와 같은 진동 센서를 의미한다.
(부기 1) 기판 처리 장치
기판을 반송하는 반송 로봇과,
상기 반송 로봇을 내포하는 반송실과,
상기 기판을 처리하는 처리실과,
상기 반송 로봇의 진동 정보를 수신하는 진동 정보 수신부와,
상기 반송 로봇의 소리 정보를 수신하는 소리 정보 수신부와,
각 구성을 제어하는 것이 가능한 제어부
를 갖는 기판 처리 장치.
부기 1에 기재된 기판 처리 장치에서는, 대기 분위기뿐만 아니라, 진공 분위기 내의 반송 로봇의 가동부 동작 시의 진동 센서 정보나, 진동음의 취득이 가능하고, 이러한 진동이나 소리에 의해, 각각의 부위에서의 이상의 검지가 가능하게 되어, 중대한 장치 고장을 미연에 방지하는 것이 가능하게 된다.
(부기 2) 진공 반송실
상기 반송실은 진공 반송실이며, 상기 진공 반송실에는 진공 중에서 동작할 수 있는 상기 반송 로봇(진공 반송 로봇)이 배치되는, 부기 1에 기재된 기판 처리 장치.
부기 2에 기재된 기판 처리 장치에서는, 반송 로봇(진공 반송 로봇)으로, 진공 반송실의 진공 중에서 기판을 반송할 수 있다.
(부기 3) 진공 반송 로봇의 진동 센서의 배치
상기 진공 반송 로봇에는 진동을 검지하는 센서가 설치되고,
상기 진동을 검지하는 센서는 상기 진공 반송 로봇의 가동부에 배치되고,
상기 진동을 검지하는 센서에서 검지한 진동 정보를 상기 진동 정보 수신부에서 수신할 수 있는, 부기 2에 기재된 기판 처리 장치.
부기 3에 기재된 기판 처리 장치에서는, 각종 기구부가 동작할 때의 진동을 진동 센서에서 검지할 수 있다. 진동 센서는 진공 반송 로봇의 내측 또는 외측에 배치된다. 또한, 기구부란, 예를 들어 구동 부분을 의미한다. 또한, 가동부란, 구동 부분이나, 트위저, 암 등의 적어도 하나 이상을 의미한다.
(부기 4) 진공 반송 로봇의 마이크로폰의 배치
상기 진공 반송 로봇에는 소리 정보를 수집하는 마이크로폰이 설치되고,
상기 마이크로폰은, 진공 중에서도 소리 정보를 수집 가능하도록 상기 진공 반송 로봇 내부에 배치되고,
상기 마이크로폰에서 수집한 소리 정보를 상기 소리 정보 수신부에서 수신할 수 있는, 부기 2에 기재된 기판 처리 장치.
진공 중은 소리의 전달이 불가능하기 때문에, 마이크로폰은 진공 반송 로봇의 기체가 충전된 내부의 가동부 부근에 배치된다. 부기 4에 기재된 기판 처리 장치에서는, 진공 반송 로봇이 진공 중에 배치되어 있어도, 진공 반송 로봇의 각종 기구부가 동작할 때의 진동음을 검지할 수 있다.
(부기 5) 대기 반송실
상기 반송실은 대기 반송실이며, 상기 대기 반송실에는, 대기 중에서 동작할 수 있는 상기 반송 로봇(대기 반송 로봇)이 배치되는, 부기 1에 기재된 기판 처리 장치.
부기 5에 기재된 기판 처리 장치에서는, 반송 로봇(대기 반송 로봇)이 대기 중에서 기판을 반송할 수 있다.
(부기 6) 대기 반송 로봇의 진동 센서의 배치
상기 대기 반송 로봇에는 진동을 검지하는 센서가 설치되고,
상기 진동을 검지하는 센서는 상기 대기 반송 로봇의 가동부에 배치되고,
상기 진동 센서에서 검지한 진동 정보를 상기 진동 정보 수신부에서 수신할 수 있는, 부기 5에 기재된 기판 처리 장치.
부기 6에 기재된 기판 처리 장치에서는, 각종 기구부가 동작할 때의 진동을 검지할 수 있다. 진동 센서는 대기 반송 로봇의 내측 또는 외측에 배치할 수 있다.
(부기 7) 대기 반송 로봇의 마이크로폰의 배치
상기 대기 반송 로봇에는 소리 정보를 수집하는 마이크로폰이 설치되고,
상기 마이크로폰은, 상기 대기 반송 로봇의 가동부의 소리를 수신하기 위해서 상기 대기 반송 로봇의 주위에 배치되고,
상기 마이크로폰에서 수집한 소리 정보를 상기 소리 정보 수신부에서 수신할 수 있는, 부기 5에 기재된 기판 처리 장치.
부기 7에 기재된 기판 처리 장치에서는, 대기 반송 로봇의 각종 기구부가 동작할 때의 진동음을 마이크로폰에서 검지할 수 있다.
(부기 8) 유체가 흐르는 배관
또한, 유체가 흐르는 배관과,
상기 배관의 진동 정보를 수신하는 진동 정보 수신부와,
상기 배관의 소리 정보를 수신하는 소리 정보 수신부
를 갖는, 부기 1에 기재된 기판 처리 장치.
부기 8에 기재된 기판 처리 장치에서는, 유체가 흐르는 배관에서의 유체의 진동과 소리를, 진동 정보 수신부와 소리 정보 수신부에서 수신함으로써, 배관의 이상을 검지할 수 있고, 또한 배관의 고장을 검지할 수 있다.
(부기 9) 유체의 정의
상기 유체는, 냉각수나 처리 가스, 퍼지 가스의 어느 것을 포함하는, 부기 8에 기재된 기판 처리 장치.
유체의 종류에 따라서는, 배관, 밸브, 냉각수 공급 장치의 적어도 하나 이상에 불순물이나 부식 등이 발생하는 경우가 있어, 배관, 밸브, 냉각수 공급 장치의 적어도 하나 이상 내를 유체가 제대로 흐르지 않게 될 가능성이 있다.
부기 9에 기재된 기판 처리 장치에서는, 유체의 흐름을 진동 정보나 소리 정보로 감시를 행함으로써, 배관, 밸브, 냉각수 공급 장치의 적어도 하나 이상의 이상을 조기에 검지할 수 있고, 또한 배관의 고장을 검지할 수 있다.
(부기 10) 배관의 정의
상기 배관은, 유량계나 밸브, 플랜지 등의 조인트와 접속하여 상기 유체를 흘릴 수 있는, 부기 8 또는 부기 9에 기재된 기판 처리 장치.
유량계의 접속부나 밸브 접속부, 플랜지 주위는, 체결 등에 의해 관의 직경이 다른 장소와 다른 경우가 있어, 유체의 흐름에 영향을 미치는 경우가 있다. 또한, 그러한 부분에, 불순물이나 부식 등에 의한 침전물이 고여서, 유체의 흐름을 저해하는 경우가 있다.
부기 10에 기재된 기판 처리 장치에서는, 유체의 흐름을 진동 정보나 소리 정보로 감시를 행함으로써, 배관의 이상을 조기에 검지할 수 있고, 또한 배관의 고장을 검지할 수 있다.
(부기 11) 배관의 형상
또한 상기 배관은, 장치의 형상에 맞춰서 굽힘 가공되는 경우가 있는, 부기 10에 기재된 기판 처리 장치.
장치의 형상에 맞춰서 유체의 배관을 굽힘 가공하는 경우가 있는데, 배관을 굽힘 가공한 부분은 배관 형상이 다른 부분과 달라, 유체의 흐름에 영향을 미치는 경우가 있다. 그러한 부분에 불순물이나 부식 등에 의한 침전물이 고여서, 유체의 흐름을 저해하는 경우가 있다.
부기 11에 기재된 처리 장치에서는, 유체의 흐름을 진동 정보나 소리 정보로 감시를 행함으로써, 배관의 이상을 조기에 검지할 수 있고, 또한 배관의 고장을 검지할 수 있다.
(부기 12) 배관의 진동 센서의 배치
상기 배관의 상기 진동 정보 수신부는, 상기 유량계나 상기 밸브, 상기 플랜지 등의 조인트, 상기 굽힘 가공된, 상기 유체의 흐름에 영향을 주는 부분의 주위에 배치하는 것을 가능하게 하는, 부기 10 또는 부기 11에 기재된 기판 처리 장치.
부기 12에 기재된 기판 처리 장치에서는, 진동 센서를 유량계 출구측, 밸브 출구측, 플랜지 출구측에 배치함으로써, 유체의 이상 진동을 검지할 수 있다. 또한, 진동 센서는 배관의 주위에 설치할 수 있다.
(부기 13) 배관의 마이크로폰의 배치
상기 배관의 상기 소리 정보 수신부는, 상기 유량계나 상기 밸브, 상기 플랜지 등의 조인트, 상기 굽힘 가공된, 유체의 흐름에 영향을 주는 부분의 주위에 배치하는 것을 가능하게 하는, 부기 10 또는 부기 11에 기재된 기판 처리 장치.
부기 13에 기재된 기판 처리 장치에서는, 마이크로폰을 유량계 출구측, 밸브 출구측, 플랜지 출구측 등에 배치함으로써, 유체의 이상 소리를 검지할 수 있다. 또한, 마이크로폰은, 배관의 주위에 설치할 수 있다.
(부기 14) 분석부의 정의
또한, 상기 진동 수신부에서 수신한 상기 진동 정보 및 상기 소리 정보 수신부에서 수신한 상기 소리 정보를 분석하는 분석부를 갖는, 부기 1에 기재된 기판 처리 장치.
·분석부는, 진동 수신부에서 진동 정보를 수신한 경우, 또는 소리 정보 수신부에서 소리 정보를 수신한 경우, 축적부에 있는 이력 정보를 파형 데이터로서 중첩을 행하여, 데이터의 차이를 확인할 수 있다.
중첩한 결과, 파형 데이터에 차이가 있을 경우, 구한 차이가 미리 정해진 역치의 범위를 초과하는 경우에는 이상으로 판단하고, 차이가 없거나 또는 역치의 범위 내이면 정상으로 판단할 수 있다.
이상으로 판단한 경우에는 제어부에 통지를 행하여, 제어부는 기구의 동작 정지, 혹은 유체의 공급을 정지할 수 있다.
또한, 이상이 있는 것을 표시부에서 표시를 행하여, 부품의 메인터넌스를 촉구할 수 있다.
·파형 데이터는, 예를 들어 반송 로봇의 경우, 기구의 동작 개시 시부터 동작 정지까지의 동안에 발생하는 진동 정보로 할 수 있다.
·기구의 동작 개시 및 동작 정지는, 반송계 컨트롤러로부터의 이벤트 정보를 수신한 타이밍(동작 개시를 나타내는 이벤트, 동작 정지를 나타내는 이벤트)에 행할 수 있다.
·배관의 경우의 파형 데이터는, 예를 들어 처리 가스 배관의 경우, 배관에 접속되어 있는 밸브의 개폐 타이밍(밸브 개폐를 나타내는 이벤트)에 정보의 수집 개시·종료를 판단할 수 있다.
부기 14에 기재된 기판 처리 장치에서는, 파형 데이터에서의 차이를 비교함으로써, 이상의 검지가 용이하다.
진동 정보나 소리 정보의 수집 타이밍을 각종 이벤트 정보로 함으로써, 축적부나 분석부에서의 데이터의 유효 범위가 명확하게 된다.
(부기 15) 표시부의 정의(진동 정보)
상기 제어부는, 상기 분석부가 분석한 상기 진동 정보가 이상값이었을 경우, 상기 반송 로봇 혹은 상기 배관의 이상 상태를 표시부에 표시하는, 부기 14에 기재된 기판 처리 장치.
부기 16에 기재된 기판 처리 장치에서는, 진동 정보의 파형 데이터의 비교에서 이상이 발생한 경우, 표시부에 당해 부위의 이상을 나타내는 메시지를 표시한다. 또한, 이상 발견 시의 이벤트 정보로부터 해당 부위도 메시지에 포함할 수 있다.
부기 16에 기재된 기판 처리 장치에서는, 이상을 검지한 경우의 메시지 표시에 의해, 조작자에게 이상을 인식시킨다.
소리 정보에서의 이상 검지의 경우에는, 당해 부위가 이후 고장날 우려가 있다고 인식할 수 있어, 예방 예지에 공헌할 수 있다.
(부기 16) 표시부의 정의(소리 정보)
상기 제어부는, 상기 분석부가 분석한 상기 소리 정보가 이상값이었을 경우, 상기 반송 로봇 혹은 상기 배관의 이상 상태를 표시부에 표시하는, 부기 14에 기재된 기판 처리 장치.
부기 16에 기재된 기판 처리 장치에서는, 소리 정보의 파형 데이터의 비교에서 이상이 발생한 경우, 표시부에 당해 부위의 이상을 나타내는 메시지를 표시한다. 또한, 이상 발견 시의 이벤트 정보로부터 해당 부위도 메시지에 포함한다.
부기 16에 기재된 기판 처리 장치에서는, 이상을 검지한 경우의 메시지 표시에 의해 조작자에게 이상을 인식시킨다.
소리 정보에서의 이상 검지의 경우에는, 당해 부위가 이후 고장날 우려가 있다고 인식할 수 있어, 예방 예지에 공헌할 수 있다.
(부기 17) 기억부의 정의
또한, 상기 제어부는, 진동 정보 수신부 및 소리 정보 수신부가 수신한 진동 정보 혹은 소리 정보의 이력을 기억하는 기억부를 갖고,
상기 분석부는, 수신한 진동 정보 혹은 소리 정보와 상기 기억부가 기억한 상기 이력을 비교하여 이상 판정하는, 부기 14에 기재된 기판 처리 장치.
부기 17에 기재된 기판 처리 장치에서는, 이벤트 정보마다 진동 정보 및 소리 정보를 기억부에 기억한다. 진동 정보 및 소리 정보의 수집 기간은, 당해 이벤트의 개시부터 정지까지의 동안으로 한다.
<효과>
부기 17에 기재된 기판 처리 장치에서는, 이벤트마다의 개시/종료 타이밍에서의 정보 수집을 위해서, 파형 데이터의 개시 시기가 명확하게 되어 있어, 파형 데이터를 용이하게 비교할 수 있다.
(부기 18) 진동 혹은 소리 정보의 갱신
상기 기억부는, 상기 분석부가 비교한 결과를 받아, 정상으로 판정된 경우에 상기 이력의 진동 정보 혹은 소리 정보를 보존하는, 부기 17에 기재된 기판 처리 장치.
부기 18에 기재된 기판 처리 장치에서는, 분석부에서, 기억부에 기억되어 있는 진동 정보 혹은 소리 정보와 파형의 비교를 행한 결과, 정상일 경우, 대상의 정보를 기억부의 이벤트 정보마다 정해진 에어리어에 이력 데이터로서 덮어쓰기 보존한다. 또한, 과거의 이력을 확인할 필요가 있는 경우에는, 덮어쓰기 보존하는 것이 아니라, 이미 있는 데이터와는 별도로 보존하면 된다.
부기 18에 기재된 기판 처리 장치에서는, 덮어쓰기 보존함으로써, 항상 최신의 진동 정보 혹은 소리 정보의 파형 데이터가 기억부에 기억되어 있어, 파형의 비교가 용이하다.
또한, 진동 정보 혹은 소리 정보의 파형 데이터를 덮어쓰기 보존이 아니라, 별도로 보존했을 경우에는, 파형 데이터를 이력 정보로서 기억함으로써, 기억한 과거의 파형 데이터를 중첩함으로써 단위 시간당 데이터의 차를 구하는 것이 가능하게 되고, 구한 데이터의 차로부터 역치의 보정을 행하는 보정값을 산출하여, 산출한 보정값을 역치에 피드백함으로써 보다 정밀도가 높은 이상 판정이 가능하게 된다.
(부기 19) 반도체 처리 장치의 제조 방법
기판을 반송하는 반송 로봇의 반송 공정과,
상기 반송 로봇을 내포하는 반송실의 대기 혹은 진공 상태를 유지하는 공정과,
상기 기판의 처리를 행하는 공정과,
상기 반송 로봇의 진동 정보를 수신하는 진동 정보 수신부의 수신 공정과,
상기 반송 로봇의 소리 정보를 수신하는 소리 정보 수신부의 수신 공정과,
상기 진동 정보부 또는 상기 소리 정보부로부터 수신한 정보로부터 분석을 행한 결과, 이상으로 판정된 경우에, 제어부가 장치의 이상의 통지와 동작의 정지의 적어도 하나 이상을 행하는 공정
을 갖는 반도체 처리 장치의 제조 방법.
(부기 20) 반도체 처리 장치의 제조 방법
기판을 반송하는 반송 로봇의 반송 공정과,
상기 반송 로봇을 내포하는 반송실의 대기 혹은 진공 상태를 유지하는 공정과,
상기 기판의 처리를 행하는 공정과,
상기 반송 로봇의 진동 정보를 수신하는 진동 정보 수신부의 수신 공정과,
상기 반송 로봇의 소리 정보를 수신하는 소리 정보 수신부의 수신 공정과,
상기 진동 정보부 또는 상기 소리 정보부로부터 수신한 정보로부터 분석하는 공정
을 갖는 반도체 처리 장치의 제조 방법.
(부기 21) 기판 처리 장치가 갖는 컴퓨터에 의해 기판 처리 장치에 실행시키는 프로그램
기판을 반송하는 반송 로봇의 반송 수순과,
상기 반송 로봇을 내포하는 반송실의 대기 혹은 진공 상태를 유지하는 수순과,
상기 기판의 처리를 행하는 수순과,
상기 반송 로봇의 진동 정보를 수신하는 진동 정보 수신부의 수신 수순과,
상기 반송 로봇의 소리 정보를 수신하는 소리 정보 수신부의 수신 수순과,
상기 진동 정보 또는 상기 소리 정보로부터 수신한 정보를 사용해서 분석을 행하고, 그 결과, 이상으로 판단된 경우에는 장치의 이상의 통지와, 장치의 동작의 정지의 적어도 하나 이상을 행하게 하는 제어 수순
을 갖는 기판 처리 장치의 실행 프로그램.
부기 21에 기재된 프로그램에 의해, 장치의 이상을 통지하거나, 장치의 동작을 정지하도록, 기판 처리 장치의 컴퓨터에 다양한 제어를 행하게 할 수 있다.
(부기 22)
기판을 반송하는 반송 장치로부터 취득한 가동 음파형 데이터와 상기 반송 장치가 정상적으로 가동하고 있을 때의 정상 음파형 데이터를 비교하여, 상기 가동 음파형 데이터가 상기 정상 음파형 데이터를 중심으로 한 역치 범위 내에 있는지를 판정해서, 상기 반송 장치가 정상인지 이상인지를 판정하는 이상 판정 공정과,
상기 반송 장치로부터 취득한 가동 진동 데이터와 상기 반송 장치가 정상적으로 가동하고 있을 때의 정상 진동 데이터를 비교하여, 상기 가동 진동 데이터가 상기 정상 진동 데이터를 중심으로 한 역치 범위 내에 있는지를 판정해서, 상기 반송 장치가 고장인지 여부를 판정하는 고장 판정 공정
을 갖는 기판 처리 방법.
부기 22에 기재된 기판 처리 방법에서는, 이상 검출 공정에서, 기판을 반송하는 반송 장치의 가동 음파형 데이터가 상기 정상 음파형 데이터를 중심으로 한 역치 범위 내에 있는지를 판정함으로써, 반송 장치의 이상을 검출할 수 있다.
또한, 고장 검출 공정에서는, 기판을 반송하는 반송 장치의 가동 진동 데이터가 상기 정상 진동 데이터를 중심으로 한 역치 범위 내에 있는지를 판정함으로써, 반송 장치의 고장을 검출할 수 있다.

Claims (20)

  1. 기판을 반송하는 반송 장치로부터 발생한 소리를 취하여, 소리 데이터의 파형과 미리 설정한 역치를 비교해서 상기 반송 장치의 이상을 검출하는 이상 검출 공정과,
    상기 반송 장치의 진동을 취하여, 진동 데이터의 파형과 미리 설정한 역치를 비교해서 상기 반송 장치의 고장을 검출하는 고장 검출 공정
    을 갖는 기판 처리 방법.
  2. 기판을 처리하는 처리실과,
    상기 기판을 반송하는 반송 장치와,
    상기 반송 장치를 내포하는 반송실과,
    상기 반송 장치로부터 발생하는 소리 정보를 수신하는 소리 정보 수신부와,
    상기 반송 장치로부터 발생하는 진동 정보를 수신하는 진동 정보 수신부와,
    수신한 상기 소리 정보의 파형과 미리 설정한 역치를 비교해서 상기 반송 장치의 이상을 검출하는 이상 검출부와,
    수신한 상기 진동 정보의 파형과 미리 설정한 역치를 비교해서 상기 반송 장치의 고장을 검출하는 고장 검출부
    를 갖는 기판 처리 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 반송실은 진공 반송실이며, 상기 진공 반송실에는 진공 중에서 동작할 수 있는 상기 반송 장치가 배치되는, 기판 처리 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 반송 장치에는, 마이크로폰이 내부에 마련되고 또한 내부에 기체가 충전된 기체 충전 용기가 마련되고, 상기 마이크로폰에서 검지한 소리 정보를 상기 소리 정보 수신부에서 수신하는 것이 가능한, 기판 처리 장치.
  5. 제3항에 있어서, 상기 반송 장치의 가동부에 진동을 검지하는 센서가 설치되어, 상기 센서에서 검지한 진동 정보를 상기 진동 정보 수신부에서 수신하는 것이 가능한, 기판 처리 장치.
  6. 제2항에 있어서, 상기 반송실은 대기 반송실이며, 상기 대기 반송실에는 대기 중에서 동작할 수 있는 상기 반송 장치가 배치되는, 기판 처리 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 반송 장치에는 소리 정보를 수집하는 마이크로폰이 설치되고,
    상기 마이크로폰은, 상기 반송 장치의 가동부의 소리를 수신하기 위해서 상기 반송 장치의 주위에 배치되고,
    상기 마이크로폰에서 수집한 소리 정보를 상기 소리 정보 수신부에서 수신하는 것이 가능한, 기판 처리 장치.
  8. 제6항에 있어서, 상기 반송 장치에는 진동을 검지하는 센서가 설치되고,
    상기 진동을 검지하는 센서는 상기 반송 장치의 가동부에 배치되고,
    상기 진동 센서에서 검지한 진동 정보를 상기 진동 정보 수신부에서 수신하는 것이 가능한, 기판 처리 장치.
  9. 제2항에 있어서, 유체가 흐르는 배관과,
    상기 배관의 소리 정보를 수신하는 소리 정보 수신부와,
    상기 배관의 진동 정보를 수신하는 진동 정보 수신부
    를 갖는, 기판 처리 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 유체는, 냉각수나 처리 가스, 퍼지 가스의 어느 것을 포함하는, 기판 처리 장치.
  11. 제9항에 있어서, 상기 배관은, 유량계나 밸브, 플랜지 등의 조인트와 접속하여 상기 유체를 흘리는 것이 가능한, 기판 처리 장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 배관의 상기 소리 정보 수신부는, 상기 유량계나 상기 밸브, 상기 플랜지 등의 조인트, 굽힘 가공된, 유체의 흐름에 영향을 주는 부분의 주위에 배치하는 것이 가능한, 기판 처리 장치.
  13. 제11항에 있어서, 상기 배관의 상기 진동 정보 수신부는, 상기 유량계나 상기 밸브, 상기 플랜지 등의 조인트, 굽힘 가공된, 상기 유체의 흐름에 영향을 주는 부분의 주위에 배치하는 것이 가능한, 기판 처리 장치.
  14. 제2항에 있어서, 상기 진동 정보 수신부에서 수신한 상기 진동 정보 및 상기 소리 정보 수신부에서 수신한 상기 소리 정보를 분석하는 분석부를 더 갖는, 기판 처리 장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 기판 처리 장치의 제어부는, 상기 분석부가 분석한 상기 소리 정보가 이상값이었을 경우, 상기 반송 장치 혹은 배관의 이상 상태를 표시부에 표시하는, 기판 처리 장치.
  16. 제14항에 있어서, 상기 기판 처리 장치의 제어부는, 상기 분석부가 분석한 상기 진동 정보가 이상값이었을 경우, 상기 반송 장치 혹은 배관의 이상 상태를 표시부에 표시하는, 기판 처리 장치.
  17. 제14항에 있어서, 상기 기판 처리 장치의 제어부는, 소리 정보 수신부 및 진동 정보 수신부가 수신한 소리 정보 혹은 진동 정보의 이력을 기억하는 기억부를 더 갖고,
    상기 분석부는, 수신한 소리 정보 혹은 진동 정보와 상기 기억부가 기억한 상기 이력을 비교하여 이상 판정하는, 기판 처리 장치.
  18. 제17항에 있어서, 상기 기억부는, 상기 분석부가 비교한 결과를 받아, 정상으로 판정된 경우에 상기 이력의 소리 정보 혹은 진동 정보를 보존하는, 기판 처리 장치.
  19. 반송 장치에서 기판을 반송하는 반송 공정과,
    상기 반송 장치를 내포하는 반송실의 대기 혹은 진공 상태를 유지하는 공정과,
    상기 기판의 처리를 행하는 공정과,
    상기 반송 장치의 소리 정보를 수신하는 소리 정보 수신 공정과,
    상기 반송 장치의 진동 정보를 수신하는 진동 정보 수신 공정과,
    상기 소리 정보 수신 공정 또는 상기 진동 정보 수신 공정에서 수신한 정보로부터 분석을 행한 결과, 이상으로 판정된 경우에, 제어부가 장치의 이상의 통지와 동작의 정지의 적어도 하나 이상을 행하는 공정
    을 갖는 반도체 처리 장치의 제조 방법.
  20. 제1항에 기재된 상기 이상 검출 공정 및 상기 고장 검출 공정이, 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체에 기록된 프로그램.
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