CN113940145A - 等离子体照射装置及等离子体照射方法 - Google Patents

Abstract

等离子体照射装置(20)具备：具备供放电用气体流动的流路(36)并且在流路(36)的端部设置有放出口(34)的气体引导路(30)；及在气体引导路(30)内产生等离子体放电的放电部，等离子体照射装置(20)设置于与目标对象物相对地移动的前端设备(3、203、303)。而且，等离子体照射装置(20)具有阀(72)。阀(72)设置于气体引导路(30)或气体流通路，构成为根据自身的开度使放电用气体的流量变化的阀或止回阀。

Description

等离子体照射装置及等离子体照射方法

技术领域

本发明涉及等离子体照射装置及等离子体照射方法。

背景技术

专利文献1、2中公开了进行等离子体放电的装置。专利文献1、2中公开的装置构成为经由气体引导路供给放电用气体，并使接近气体引导路的多个电极间的电压变化而产生等离子体。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2013-544122号公报

专利文献2：日本特表2014-519875号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，在包括专利文献1、2的装置的现有的等离子体照射装置中，存在在气体引导路内大量存在与放电用气体不同的杂质气体(例如空气等)的状态下进行等离子体放电的情况。这样，若在气体引导路内大量存在杂质气体的状态下进行等离子体放电，则有可能无法稳定地进行等离子体放电，或者产生与预定的等离子体特性不同的等离子体。

本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，目的在于实现一种能够抑制在气体引导路内大量存在杂质气体的状态下进行等离子体放电的技术。

用于解决课题的技术方案

本发明之一的等离子体照射装置具有：

气体引导路，具备供放电用气体流动的流路，并且在所述流路的端部设置有放出口；

放电部，具备第一电极、第二电极、介于所述第一电极与所述第二电极之间的电介质，在所述气体引导路内产生等离子体放电；及

气体供给路，成为向所述气体引导路供给所述放电用气体的路径，设置于比进行所述放电用气体的流量控制的气体控制部更靠所述气体引导路侧处，

所述等离子体照射装置设置于与目标对象物相对地移动的前端设备，其中，

所述等离子体照射装置具有止回阀，所述止回阀设置于所述气体引导路或所述气体供给路，允许所述放电用气体朝向所述放出口流动，并且防止气体向反方向流动。

该等离子体照射装置构成为，在气体引导路或所述气体供给路设置有止回阀，止回阀允许所述放电用气体朝向放出口流动并防止气体向反方向流动。因此，能够防止与放电用气体不同的杂质气体(空气等)从外部大量进入比止回阀更靠里侧的配管(比止回阀更靠气体控制部侧的配管)，进而能够抑制因杂质气体大量混入而引起的不稳定的放电。

本发明的之一的等离子体照射装置具有：

气体引导路，具备供放电用气体流动的流路，并且在所述流路的端部设置有放出口；

放电部，具备第一电极、第二电极、介于所述第一电极与所述第二电极之间的电介质，在所述气体引导路内产生等离子体放电；及

气体流通路，成为向所述气体引导路供给所述放电用气体的路径，

所述等离子体照射装置设置于与目标对象物相对地移动的前端设备，其中，

所述等离子体照射装置具有：

阀，设置于所述气体引导路或所述气体流通路，根据自身的开度使所述放电用气体的流量变化；

放电控制部，使所述放电部进行所述等离子体放电；及

阀控制部，控制所述阀的开闭，

所述阀控制部至少在所述放电控制部使所述放电部进行所述等离子体放电的放电期间持续打开所述阀，

并且，所述阀控制部在所述放电控制部不使所述放电部进行所述等离子体放电的所述放电期间前的规定的准备期间也打开所述阀。

该等离子体照射装置以如下方式动作，至少在放电控制部使放电部进行等离子体放电的“放电期间”持续打开阀，在放电控制部不使放电部进行等离子体放电的“放电期间前的规定的准备期间”也打开阀。即，由于在“放电期间前的规定的准备期间”放电用气体也在气体引导路内持续流动，因此能够在准备期间内排出从外部逆流而进入气体引导路内的杂质气体。因此，在上述准备期间之后进行的放电期间的开始时间点，难以发生在气体引导路内大量存在杂质气体这样的情况，能够抑制在气体引导路内大量存在杂质气体的状态下进行等离子体放电。

在上述的等离子体照射装置中，阀控制部也可以以在准备期间中的至少一部分期间以比放电期间时大的开度打开阀的方式动作。

该等离子体照射装置能够在准备期间的至少一部分期间使放电用气体更强势地流向气体引导路。因此，能够在准备期间内更有效地排出进入到气体引导路内的杂质气体。

在上述的等离子体照射装置中，阀控制部也可以以在从放电期间的结束到下一个准备期间的开始为止的休止期间以比放电期间时小的开度连续地或断续地打开阀的方式动作。

该等离子体照射装置能够在从放电期间的结束到下一个准备期间的开始为止的休止期间使放电用气体连续地或断续地流动。因此，能够在休止期间的一部分或全部中持续抑制杂质气体逆流而进入气体引导路内的效果及抑制杂质气体持续存在于气体引导路内的效果。因此，在休止期间后的放电期间的开始时间点，更进一步难以发生在气体引导路内大量存在杂质气体这样的情况。

上述的等离子体照射装置也可以具有浓度检测部，所述浓度检测部检测气体引导路或气体流通路中的比阀更靠放出口侧的路径内的放电用气体的浓度或空气中包含的特定气体的浓度。

该等离子体照射装置能够更准确地确定在放电用气体应流动的规定路径(气体引导路或气体流通路中的比阀更靠放出口侧)中的放电用气体的浓度状态或空气的浓度状态。因此，能够进行与该规定区域的当前浓度(检测时间点的浓度)对应的控制。

在上述的等离子体照射装置中，浓度检测部也可以以检测上述路径内的放电用气体的浓度的方式动作。而且，也可以以如下方式动作，在由浓度检测部检测出的放电用气体的浓度为阈值以上的情况下，放电控制部允许使放电部进行等离子体放电，在放电用气体的浓度小于阈值的情况下，放电控制部禁止使放电部进行等离子体放电。

该等离子体照射装置在放电用气体应流动的规定路径(气体引导路或气体流通路中的比阀更靠放出口侧)中放电用气体的浓度相对较低的情况(小于阈值的情况)下，能够禁止使放电部进行等离子体放电。因此，能够抑制在放电用气体的浓度过低的状态下进行不稳定的等离子体放电。

在上述的等离子体照射装置中，浓度检测部也可以以检测空气中包含的特定气体的浓度的方式动作。而且，放电控制部也可以以由浓度检测部检测出的特定气体的浓度越大则越增大第一电极与第二电极之间的最大电压的方式控制放电部。

空气的浓度越大，则相对地放电用气体的浓度变小，因此放电用气体的浓度越小，则上述等离子体照射装置越能够增大第一电极与第二电极之间的最大电压。因此，能够通过根据浓度降低的程度而提高电压来弥补因放电用气体的浓度降低而变得难以进行等离子体放电的情况。

本发明之一的等离子体照射方法是使用等离子体照射装置的等离子体照射方法，

所述等离子体照射装置具有：气体引导路，具备供放电用气体流动的流路，并且在所述流路的端部设置有放出口；放电部，具备第一电极、第二电极、介于所述第一电极与所述第二电极之间的电介质，并且在所述气体引导路内产生等离子体放电；及气体流通路，成为向所述气体引导路供给所述放电用气体的路径，

其中，

将所述等离子体照射装置设置于与目标对象物相对地移动的前端设备，

将根据自身的开度使所述放电用气体的流量变化的阀设置于所述气体引导路或所述气体流通路，

放电控制部控制所述放电部的所述等离子体放电，

阀控制部至少在所述放电控制部使所述放电部进行所述等离子体放电的放电期间持续打开所述阀，并且在所述放电控制部不使所述放电部进行所述等离子体放电的所述放电期间前的规定的准备期间也打开所述阀。

在该等离子体照射方法中，至少在放电控制部使放电部进行等离子体放电的“放电期间”持续打开阀，在放电控制部不使放电部进行等离子体放电的“放电期间前的规定的准备期间”也打开阀。即，在“放电期间前的规定的准备期间”也能够使放电用气体向气体引导路流动，因此能够防止在准备期间内杂质气体从外部向气体引导路内逆流而进入。因此，在上述准备期间之后进行的放电期间的开始时间点，难以发生在气体引导路内大量存在杂质气体这样的情况，能够抑制在气体引导路内大量存在杂质气体的状态下进行等离子体放电。

在上述的等离子体照射方法中，阀控制部也可以在准备期间中的至少一部分期间以比放电期间时大的开度打开阀。

在该等离子体照射方法中，能够在准备期间的至少一部分期间使放电用气体更强势地流向气体引导路。因此，能够更进一步抑制在准备期间杂质气体进入气体引导路内及在准备期间杂质气体持续存在于气体引导路内。

在上述的等离子体照射方法中，阀控制部也可以以在放电期间的结束到下一个准备期间的开始为止的休止期间以比放电期间时小的开度连续地或断续地打开阀的方式动作。

在该等离子体照射方法中，能够在从放电期间的结束到下一个准备期间的开始为止的休止期间使放电用气体连续地或断续地流动。因此，能够在休止期间的一部分或全部持续防止杂质气体逆流而进入气体引导路内的效果及防止杂质气体持续存在于气体引导路内的效果。因此，更进一步难以发生在休止期间后的放电期间的开始时间点在气体引导路内大量存在杂质气体这样的情况。

在上述的等离子体照射方法中，也可以将浓度检测部设置于等离子体照射装置，所述浓度检测部检测气体引导路或气体流通路中的比阀更靠放出口侧的路径内的放电用气体的浓度。而且，放电控制部也可以以如下方式动作，在由浓度检测部检测出的放电用气体的浓度为阈值以上的情况下，允许使放电部进行等离子体放电，在放电用气体的浓度小于阈值的情况下，禁止使放电部进行等离子体放电。

在该等离子体照射方法中，在放电用气体应流动的规定路径(气体引导路或气体流通路中的比阀更靠放出口侧)中放电用气体的浓度相对较低的情况(小于阈值的情况)下，能够禁止使放电部进行等离子体放电。因此，能够抑制在放电用气体的浓度过低的状态下进行不稳定的等离子体放电。

在上述的等离子体照射方法中，也可以将浓度检测部设置于等离子体照射装置，所述浓度检测部检测在气体引导路或气体流通路中比阀更靠放出口侧的路径内空气中包含的特定气体的浓度。而且，放电控制部也可以以由浓度检测部检测出的特定气体的浓度越大则越增大第一电极与第二电极之间的最大电压的方式控制放电部的方式动作。

空气的浓度越大，则相对地放电用气体的浓度变小，因此在上述等离子体照射方法中，放电用气体的浓度越小，则越能够增大第一电极与第二电极之间的最大电压。因此，能够通过根据浓度降低的程度而提高电压来弥补因放电用气体的浓度降低而变得难以进行等离子体放电的情况。

发明效果

根据本发明，能够抑制在气体引导路内大量存在杂质气体的状态下进行等离子体放电。

附图说明

图1是概略地表示具备第一实施方式的等离子体照射装置及前端设备的手术用装置的概略图。

图2是概念性地表示构成第一实施方式的等离子体照射装置的结构体的立体图。

图3是将图2的结构体分割为三部分的分解立体图。

图4是概略地表示在第三方向(宽度方向)中心位置沿与第三方向正交的方向切断第一实施方式的等离子体照射装置的结构体的切断面的剖面结构的剖面概略图。

图5是概略地表示在第一方向(长度方向)中心位置沿与第一方向正交的方向切断第一实施方式的等离子体照射装置的结构体的切断面的剖面结构的剖面概略图。

图6是概略地表示在第二方向(厚度方向)中心位置沿与第二方向正交的方向切断第一实施方式的等离子体照射装置的结构体的切断面的剖面结构的剖面概略图。

图7是例示由第二实施方式的等离子体照射装置进行的等离子体照射控制的流程的流程图。

图8是关于由第二实施方式的等离子体照射装置进行的等离子体照射控制的一例的时序图。

图9是关于其他实施方式的第一例而概略地表示等离子体照射装置应用于电手术刀的示例的概略图。

图10是关于其他实施方式的第二例而概略地表示等离子体照射装置应用于与图1、图8不同的前端设备的示例的概略图。

具体实施方式

＜第一实施方式＞

1.手术用装置的整体结构

图1所示的手术用装置1构成为能够对手术对象的生物体组织进行切开、剥离或止血的处置装置。手术用装置1主要具备前端设备3、作为控制超声波振动部12(驱动部)的装置的控制装置5、对前端设备3内的气体引导路30(参照图5等)供给气体的气体供给装置7、能够对等离子体照射装置20施加电压的电源装置9。

控制装置5构成为能够在前端设备3进行各种控制的装置。控制装置5可以组装于前端设备3的壳体14，也可以与壳体14分体构成，并成为能够经由未图示的挠性的信号电缆向壳体14侧给予电信号的构成。控制装置5具有控制超声波振动部12的功能、取得由传感器74生成的检测信号的功能、控制电源装置9的功能等。

气体供给装置7是供给氦气、氩气等非活性气体(以下，也简称为气体)的装置，经由介于前端设备3与气体供给装置7之间的气体供给路8向后述的气体引导路30供给非活性气体。气体供给装置7包括：相当于气体供给源的一例的储气瓶7A；对从储气瓶7A供给的高压气体进行减压的调节器7B；将由调节器7B减压后的气体控制为所期望的流量的气体控制部7C。气体控制部7C例如具有控制气体的流量的流量控制阀，通过控制装置5或未图示的控制装置控制在气体供给路8中流动的放电用气体的流量成为所期望的流量。

气体供给路8是向气体引导路30供给放电用气体的路径，在一部分或全部中具有挠性管路。该气体供给路8在从气体供给装置7到放出口34(参照图4)的气体路径中设置于比气体控制部7C更靠气体引导路30侧处，成为由气体控制部7C控制了流量的放电用气体流动的流路。此外，在本说明书中，将用于使放电用气体从气体供给源(在图1的示例中为储气瓶7A)向气体引导路30流动的气体路径整体定义为“气体流通路”。而且，在该气体流通路中，将从气体控制部7C到气体引导路30的气体路径定义为气体供给路8。

电源装置9例如由控制装置5控制，以根据来自控制装置5的指令在后述的等离子体照射装置20的放电电极42与接地电极44之间施加所期望的电压的方式动作。此外，在该示例中，能够使控制装置5及电源装置9作为放电控制部4发挥功能。具体而言，电源装置9一边将接地电极44保持为接地电位，一边在放电电极42与接地电极44之间施加规定频率的交流电压。电源装置9只要是能够生成高频(例如，20kHz～300kHz左右)的高电压(例如，振幅为0.5kV～10kV的高电压)的电路，就可以采用公知的各种电路。此外，电源装置9产生的高电压的频率可以是固定为恒定值的频率，也可以变动。另外，电源装置9施加在接地电极44与放电电极42之间的电压只要是周期性地变化的电压即可，可以是正弦波的交流电压，也可以是非正弦波(例如，矩形波、三角波等)的交流电压。

在图1的示例中，例示了将生成交流电压的电源装置9设置于前端设备3的外部的手术用装置，但也可以将生成交流电路的电源电路设置于前端设备3的内部(例如，后述的壳体14的内部或等离子体产生部20A的内部)。

前端设备3例如是由进行手术的手术者把持而使用的装置，手术者以使其相对于目标对象物(例如生物体组织)相对地移动的方式使用。该前端设备3主要具备壳体14、作用部件16、等离子体照射装置20、超声波振动部12等。壳体14、作用部件16、等离子体照射装置20的至少一部分(等离子体产生部20A等)以及超声波振动部12作为由使用者把持的把持单元(手持部)一体地构成，经由具有挠性的部件而供给非活性气体、电力。

壳体14构成为圆筒状且沿规定方向延伸，主要具备基部14A、与基部14A一体地构成并且沿规定方向延伸的圆筒状的延伸部14B。在基部14A的内部收容有超声波振动部12等，在延伸部14B固定或一体化有构成等离子体照射装置20的一部分的等离子体产生部20A。

超声波振动部12构成为公知的超声波振子，以如下方式动作，在由上述的控制装置5给予了规定的电信号时进行驱动而产生超声波振动，对构成为轴状的作用部件16传递超声波振动。超声波振动部12相当于驱动部的一例，以在作用部16A附近产生切开、剥离或热凝固止血生物体组织的作用的方式驱动作用部件16。

作用部件16是自身的前端部附近作为固定刃而作用于生物体组织的部件。作用部件16相当于传递由超声波振动部12产生的超声波振动的振动部件的一例。作用部件16具有形成于前端部附近的作用部16A，及将从超声波振动部12给予的振动传递到作用部16A的轴部16B。作用部件16构成为通过使由超声波振动部12产生的超声波振动经由轴部16B传递到作用部16A而作用部16A振动。该作用部件16以通过在作用部16A接近或接触于生物体组织的状态下作用部16A振动而对生物体组织产生切开作用、剥离作用或止血作用的方式动作。

把持部60是由使用前端设备3的使用者把持的部分，构成为采用了公知的可动机构的可动部件位移机构。把持部60具有：固定把持部62，固定于壳体14的基部14A而与壳体14一体化；及轴状的可动部件64，以相对于固定把持部62能够相对移动的方式安装。在可动部件64的一个端部附近形成有可动刃64A，在可动部件64的另一端部附近形成有可动把持部64B。在把持部60，轴状的可动部件64能够以延伸部14B的前端部附近的转动轴Z为中心转动。把持部60对应于进行使可动把持部64B接近固定把持部62侧的操作，可动部件64转动以使可动刃64A接近作用部件16的作用部16A(固定刃)。相反，对应于进行使可动把持部64B从固定把持部62离开的操作，可动部件6 4转动以使可动刃64A从作用部16A(固定刃)离开。

在这样构成的前端设备3中，能够进行使用超声波振动的生物体组织的切开处置、剥离处置、止血处置。例如，在由作用部16A(固定刃)和可动刃64A夹入生物体组织时，通过向作用部16A传递超声波振动，能够切除生物体组织。另外，也能够使超声波振动被传递的作用部16A与生物体组织接触而产生摩擦热，从而进行止血。也可以一边对作用部件16给予超声波振动或者不给予超声波振动，一边通过作用部16A和可动刃64A夹持生物体组织，从而进行剥离处置。这样，在前端设备3中，能够进行基于超声波振动的切开、剥离或热凝固止血，而且，还能够并用通过来自后述的等离子体照射装置20的低温等离子体的照射来低侵袭止血。

2.等离子体照射装置的基本结构

接着，对等离子体照射装置20的结构进行详细叙述。

如图1所示，等离子体照射装置20作为前端设备3的一部分而被组装，构成为在前端设备3产生电介质阻挡放电的装置。此外，在图1的示例中，以构成等离子体照射装置20的一部分的等离子体产生部20A由保持部18保持的结构而固定于壳体14。收容等离子体产生部20A的保持部18例如可以构成为在金属制的壳体主体上利用树脂材料实施了涂敷的壳体，也可以构成为在由树脂材料构成的壳体主体上实施了金属镀敷的壳体。这样，能够抑制来自等离子体产生部20A的不希望的放电、漏电。在等离子体产生部20A的内部产生的低温等离子体照射到设置于作用部件16的前端部的作用部16A附近。

如图1所示，等离子体照射装置20主要具有等离子体产生部20A、气体供给路8、传感器74、阀72、放电控制部4等。

如图2所示，等离子体产生部20A是构成为规定的立体形状(例如，板状且长方体状)的结构体，构成为从形成于长度方向的端部的放出口34照射低温等离子体P。

如在图3概念性地所示，等离子体产生部20A在厚度方向中央部设置有第三电介质层53，在比第三电介质层53靠厚度方向一侧设置有第四电介质层54。而且，等离子体产生部20A在比第三电介质层53靠厚度方向另一侧设置有第一电介质层51及第二电介质层52。在由第一电介质层51及第二电介质层52构成的电介质区域的内部，埋入有放电电极42及接地电极44。在本结构中，放电电极42相当于第一电极的一例，接地电极44相当于第二电极的一例。在图3中，作为分解立体图概念性地示出了等离子体产生部20A被分割为三部分的结构，但在实际的结构中，第一电介质层51、第二电介质层52、第三电介质层53以及第四电介质层54分别构成为一体的电介质部50(图4)的一部分。

如图4所示，等离子体产生部20A主要具备气体引导路30、及沿面放电部40。

气体引导路30具有导入气体的导入口32、放出气体的放出口34、设置在导入口32与放出口34之间的流路36。气体引导路30成为从导入口32导入从设置于前端设备3的外部的气体供给装置7供给的非活性气体，并使从导入口32侧导入的气体通过流路36内的空间而引导至放出口34的引导路。此外，在图4中，用于将从气体供给装置7供给的非活性气体引导到导入口32的气体供给路8由双点划线概念性地示出。气体引导路30在放出口34接近作用部16A的位置朝向作用部16A侧，成为作用部16A位于流路36的空间的延长上的关系。气体引导路30成为从放出口34向作用部16A侧放出气体的流路结构，以将低温等离子体P与气体一起从放出口34向作用部16A侧放出的方式发挥功能。

如图4所示，在本说明书中，在等离子体照射装置20中气体引导路30延伸的方向为第一方向，与第一方向正交的方向中的电介质部50的厚度方向为第二方向，与第一方向及第二方向正交的方向为第三方向(参照图5)。在图4的结构中，一体地设置有电介质部50、放电电极42以及接地电极44的等离子体产生部20A的长度方向为第一方向。而且，在将等离子体产生部20A沿与第一方向正交的平面方向切断的切断面上的等离子体产生部20A的短边方向为第二方向，该切断面的长度方向为第三方向。第二方向是等离子体产生部20A的宽度方向，第三方向是等离子体产生部20A的高度方向或厚度方向。此外，在以下的说明中，在第一方向上放出口34侧被设为等离子体产生部20A的前端侧，在第一方向上导入口32侧被设为等离子体产生部20A的后端侧。

沿面放电部40具有第一电介质层51、隔着第一电介质层51相互对向配置的放电电极42及接地电极44。沿面放电部40相当于“放电部”的一例，以在气体引导路30内产生基于放电电极42和接地电极44的电位差的电场而产生由于沿面放电的低温等离子体放电的方式发挥功能。

沿面放电部40是放电电极42或接地电极44的一方直接或经由其他部件面向流路36，并且根据周期性变化的电压施加于放电电极42而在流路36内产生沿面放电的。此外，所谓“放电电极42或接地电极44的一方直接面向流路36的结构”，是相当于放电电极42或接地电极44的一方在流路36内的空间露出，该一方构成流路的内壁的一部分的结构。另外，所谓“放电电极42或接地电极44的一方经由其他部件面向流路36的结构”，是相当于放电电极42或接地电极44中的一方配置在接近流路36的位置，并且该一方的一部分或全部被其他部件覆盖的结构。在这样经由其他部件的结构中，该其他部件构成流路的内壁的一部分，上述的“一方”的主面朝向流路36配置。此外，图4、图5所示的结构虽然是放电电极42相当于上述的“一方”，且“放电电极42经由其他部件面向流路36的结构”，但是在图4中，省略表示相当于其他部件的一例的第二电介质层52。

如图5所示，沿面放电部40是放电电极42经由电介质部50的一部分(第二电介质层52)而面向流路36。接地电极44设置于相对于放电电极42与流路36相反一侧，且比放电电极42远离流路36。沿面放电部40将接地电极44的电位保持为一定的基准电位(例如，0V的接地电位)，并且根据周期性变化的电压施加于放电电极42而在流路36内产生沿面放电，产生低温等离子体。

如图5所示，电介质部50具备第一电介质层51、第二电介质层52、第三电介质层53、第四电介质层54，整体构成为中空状。第一电介质层51相当于“自身的一部分介于放电电极42(第一电极)与接地电极44(第二电极)之间的电介质”的一例。第一电介质层51构成为配置在比流路36的空间靠第二方向(厚度方向)一侧，并且埋入接地电极44。第二电介质层52是以由陶瓷材料覆盖放电电极42的方式构成的陶瓷保护层，在比第一电介质层51靠流路空间侧，以覆盖放电电极42的方式配置。第一电介质层51及第二电介质层52构成流路36的第二方向一侧的内壁部。第四电介质层54配置在比流路36的空间靠第二方向(厚度方向)另一侧，构成流路36的第二方向另一侧的内壁部。第三电介质层53在第二方向上配置在第一电介质层51与第四电介质层54之间，构成流路36的第三方向一侧的侧壁部及第三方向另一侧的侧壁部。即，流路36由第一电介质层51、第二电介质层52、第三电介质层53以及第四电介质层54划分形成。第一电介质层51、第二电介质层52、第三电介质层53以及第四电介质层54的材料例如可以适宜地使用氧化铝等陶瓷、玻璃材料、树脂材料。此外，通过使用机械强度高的氧化铝作为电介质，可以更容易实现沿面放电部40的小型化。

如图6所示，流路36构成为第二方向两侧及第三方向两侧被包围的空间在第一方向上连续，具备沿着第一方向延伸的第一流路36A、设置于第一流路36A的下游侧的第二流路36B。第一流路36A在等离子体产生部20A中设置于第一方向的第一区域AR1。第二流路36B设置于等离子体产生部20A的第一方向的第二区域AR2。在图6中，在第一方向上设置有第一流路36A的范围被表示为第一区域AR1，在第一方向上设置有第二流路36B的范围被表示为第二区域AR2。

第一流路36A是在与第一方向正交的方向上切断的切断面上的内壁部的形状构成为长方形状的流路(参照图5)。如图6所示，第一流路36A在第一方向的第一区域AR1范围内，内壁面的宽度为恒定的宽度，且在第一方向的第一区域AR1范围内，内壁面的高度为恒定的高度。

如图6所示，第二流路36B在第一方向上配置在比第一流路36A更靠放出口34侧(下游侧)，以比第一流路36A窄的宽度构成。第二流路36B具备缩窄流路36C和恒定流路36D。缩窄流路36C设置于第一方向上的第二区域AR2的一部分区域AR21范围内，随着接近放出口34侧，内壁面的宽度逐渐变窄。缩窄流路36C的高度在区域AR21的整个范围内为恒定。恒定流路36D设置于第一方向上的第二区域AR2的一部分区域AR22范围内，在区域AR22的整个范围内，内壁面的宽度及高度为恒定。

接地电极44以沿着流路36的方式在第一方向上以直线状延伸，例如以恒定的宽度且恒定的厚度配置于第一方向的规定区域。接地电极44的自身的前端侧的一部分配置于比放电电极42更靠放出口34侧。接地电极44的一部分在第一方向上位于第二流路36B的配置区域AR2，在图6的示例中，接地电极44的前端位于比缩窄流路36C的前端(恒定流路36D的后端)靠前端侧。即，接地电极44的一部分在第一方向上位于恒定流路36D的配置区域AR22。接地电极44的后端位于比第一流路36A的前端靠后端侧，并位于比放电电极42的前端靠后端侧且比放电电极42的后端靠前端侧。接地电极44自身的至少一部分(在图6中为自身的全部)在第三方向上位于第一流路36A的配置区域AR3内。具体而言，接地电极44自身的至少一部分(在图6中为自身的一部分)在第三方向上位于恒定流路36D的配置区域AR4内，自身的至少一部分(在图6中为自身的一部分)在第三方向上位于放出口34的形成区域内。

放电电极42以沿着流路36的方式在第一方向上以直线状延伸，例如，以恒定的宽度且恒定的厚度配置于第一方向的规定区域。具体而言，放电电极42在第一方向上仅位于第一流路36A的配置区域。即，放电电极42仅位于第一区域AR1及第二区域AR2中的第一区域AR1。放电电极42的前端位于比第一流路36A的前端靠后端侧，放电电极42的后端位于比第一流路36A的后端靠前端侧。而且，放电电极42的宽度(第三方向的长度)比接地电极44的宽度(第三方向的长度)小。在图6的示例中，放电电极42在第三方向上收于第一流路36A的配置区域AR3内。具体而言，放电电极42在第三方向上收于恒定流路36D的配置区域AR4内，在第三方向上收于放出口34的形成区域内。更具体而言，放电电极42在第三方向上收于接地电极44的配置区域AR5内。放电电极42的第三方向一侧的端部位于比接地电极44的第三方向一侧的端部靠第三方向另一侧，放电电极42的第三方向另一侧的端部位于比接地电极44的第三方向另一侧的端部靠第三方向一侧。

传感器74(参照图1)在气体引导路30或上述的气体流通路中的比阀72更靠放出口侧的路径内检测测定对象气体的浓度。传感器74可以具有检测放电用气体的浓度的功能，也可以具有检测空气中包含的特定气体(例如氧)的浓度的功能。此外，在放电气体由多个成分构成的情况下，也可以是具有检测放电气体中包含的特定成分的气体浓度的功能的传感器。

这样构成的等离子体照射装置20以非活性气体在流路36内的空间中流动的方式供给非活性气体。而且，在放电电极42与接地电极44之间，通过电源装置9施加规定频率的交流电压。电源装置9例如将接地电极44保持为接地电位，以使放电电极42的电位以接地电极44的电位为中心，在从比该电位高一定程度的电位即+A(V)至低一定程度的电位即-A(V)的范围内振动的方式施加交流电压。此外，“A”是正的值。若这样施加交流电压，则以基于电介质部50构成屏障的形式，在电极间产生电场的变化，而在气体引导路30内的空间产生电介质阻挡放电(具体而言是沿面放电)。在气体引导路30中非活性气体朝向放出口34流动，通过沿面放电产生的低温等离子体从放出口34朝向作用部16A放出。由于是这样的结构，因此如果手术者以使前端设备3的作用部16A附近朝向出血部位的方式操作，并使等离子体照射装置20动作，则能够将低温等离子体照射到出血部位，能够产生血液的凝固作用而进行止血处置。

3.与阀72相关的结构

接着，对与作为本结构的特征之一的阀72相关的结构进行详细说明。

如图1所示，等离子体照射装置20在气体供给路8的中途设置有阀72。

在本结构中，阀72构成为止回阀。在将阀72构成为止回阀的情况下，只要是能防止气体的逆流的结构，就能够采用公知的各种方式的止回阀，例如，可以采用隔膜式、滚珠式、O型环式、弹簧盘式、摆动式等各种方式的止回阀。

阀72设置于气体供给路8，允许放电用气体朝向放出口34流动，防止气体向反方向流动。具体而言，以气体控制部7C侧为上游侧，以放出口34侧为下游侧，允许放电用气体从上游侧向下游侧流动(即，放电用气体以从气体控制部7C侧朝向放出口34侧的方式流动)。另一方面，切断放电用气体从下游侧向上游侧流动(即，放电用气体以从放出口34侧朝向气体控制部7C侧的方式流动)。即，在本结构中，不会产生从下游侧经由阀72朝向上游侧的气体的流动。

此外，在图1的示例中，用标号8A表示气体供给路8中的传感器74与气体引导路30之间的供给路，用标号8B表示传感器74与阀72之间的供给路，用标号8C表示阀72与气体控制部7C之间的供给路。供给路8A、8B、8C各自可以构成为在中途不存在其他部件的管路，也可以构成为在中途夹设有其他部件(传感器、阀等)的管路。

接着，例示本结构的效果。

等离子体照射装置20在气体供给路8(设置在比进行放电用气体的流量控制的气体控制部7C更靠气体引导路30侧的路径)设置有作为止回阀发挥功能的阀72。而且，阀72(止回阀)构成为允许放电用气体朝向放出口流动，并防止气体向反方向流动。因此，能够防止与放电用气体不同的杂质气体(空气等)从外部大量进入到比阀72(止回阀)更靠里侧的配管(比止回阀更靠气体控制部侧的配管)，进而能够抑制因杂质气体大量混入而引起的不稳定的放电。

＜第二实施方式＞

接着，对第二实施方式进行说明。

第二实施方式的等离子体照射装置20在使阀72的具体的功能与第一实施方式不同这一点以及对控制装置5附加了进一步的功能这一点上与第一实施方式不同。因此，在以下的说明中，对与第一实施方式相同的部分省略详细的说明。具体而言，关于上述的“1.手术用装置的整体结构”及“2.等离子体照射装置的基本结构”的内容，设为与第一实施方式相同。关于图1～图6的结构，由于与第一实施方式相同，因此在以下的说明中参照图1～图6进行说明。

在第二实施方式的等离子体照射装置20中，设置于气体流通路的阀72例如构成为流量控制阀。阀72作为根据自身的开度使放电用气体的流量变化的阀而发挥功能。

在本结构中，与第一实施方式同样地，电源装置9及控制装置5作为放电控制部4发挥功能。放电控制部4控制施加到放电电极42(第一电极)与接地电极44(第二电极)之间的电压，以使沿面放电部40(放电部)进行等离子体放电。

而且，在控制装置5中还附加有控制阀72(阀)的开闭的功能。即，在第二实施方式的等离子体照射装置20中，控制装置5作为阀控制部的一例而发挥功能。

接着，参照图7及图8对由第二实施方式的等离子体照射装置20进行的等离子体放电控制进行说明。图8是关于以图7那样的流程进行等离子体放电控制的情况的一例的时序图。

在本实施方式中，在与目标对象物(例如生物体组织)相对地移动的前端设备3设置有等离子体照射装置20，将阀72(根据自身的开度使放电用气体的流量变化的阀)设置于气体流通路，以图7那样的流程实现等离子体照射方法。在该等离子体照射方法中，放电控制部4控制沿面放电部40(放电部)的等离子体放电。而且，控制装置5(阀控制部)至少在放电控制部4使沿面放电部40(放电部)进行等离子体放电的放电期间持续打开阀72(阀)。而且，控制装置5在放电控制部4不使沿面放电部40(放电部)进行等离子体放电的“放电期间前的规定的准备期间”也打开阀72(阀)。

用于实施图7所示的等离子体放电控制的程序例如存储于设置在控制装置5的未图示的存储部，该程序例如由设置于控制装置5的未图示的控制电路(CPU等)执行。

控制装置5根据规定的控制开始条件成立而开始图7所示的等离子体放电控制。规定的控制开始条件例如可以是对控制装置5投入动作电源这样的条件，也可以是由未图示的操作部进行规定的控制开始操作这样的条件。

控制装置5在开始图7的控制后，在步骤S1中判定是否有放电开始操作。放电开始操作是作为指示等离子体放电的开始的操作而预先规定的操作。放电开始操作例如可以是对设置于壳体14的未图示的操作部(例如，操作按钮等)进行的“指示等离子体放电的开始的操作”，也可以是除此以外的规定操作。在图7的等离子体放电控制中，在开始图7的控制后，在有放电开始操作之前为待机状态。在图8的示例中，到时间ta为止的期间T0是这样的待机状态的期间。

控制装置5在步骤S1中判定为有放电开始操作的情况下，在步骤S2中进行第一阀打开控制。第一阀打开控制例如是在一定期间T1内以第一开度打开阀72(阀)的控制。第一开度是比放电期间时设定的阀72的开度(第二开度)大的开度。在第一阀打开控制的期间T1内在气体引导路30流动的放电用气体的流量比放电期间时在气体引导路30流动的放电用气体的流量大。在图8的示例中，从时间ta开始第一阀打开控制，在比放电期间开始的时间tc稍前的时间tb结束第一阀打开控制。

控制装置5在进行了步骤S2的第一阀打开控制之后，在步骤S3中进行第二阀打开控制。第二阀打开控制是将阀72(阀)以放电期间时应设定的第二开度打开，并维持其打开状态的控制。在图8的示例中，从时间ta到时间tb，阀72的开度为第一开度，从时间tb到时间te，阀72的开度为第二开度，在时间tb切换开度。

控制装置5在步骤S3中开始第二阀打开控制之后，在步骤S4中进行等离子体放电。控制装置5在步骤S4中开始等离子体放电的情况下，在放电电极42与接地电极44之间施加规定频率的交流电压，使沿面放电部40进行等离子体放电。控制装置5在步骤S4中开始等离子体放电之后，在步骤S5中判定放电结束条件是否成立，在放电结束条件未成立的情况下，使处理返回到步骤S4，直至放电结束条件成立为止，重复步骤S5。另一方面，控制装置5在步骤S5中判定为放电结束条件成立的情况下，将处理转移到步骤S6，停止等离子体放电。然后，控制装置5在步骤S6中停止等离子体放电之后，在步骤S7中从第二阀打开控制切换到第三阀打开控制。此外，放电结束条件例如可以是对设置于壳体14的未图示的操作部进行了规定的结束操作这样的条件，也可以是时间上的条件(例如，从等离子体放电的开始经过一定期间这样的条件等)。

在图8的示例中，控制装置5在时间tb开始步骤S3的第二阀打开控制，在时间tc开始步骤S4的等离子体放电。这样，在时间tb开始第二阀打开控制之后，在时间tc开始等离子体放电，因此在阀72的开度切换为第二开度之后，在第二开度的状态下进行等离子体放电。此外，比时间tc之前的期间是不进行等离子体放电的“准备期间”。

控制装置5在时间tc开始等离子体放电后，在放电结束条件成立之前(即，在S5中成为是之前)，继续第二阀打开控制及等离子体放电，在放电结束条件成立的情况下，在时间td停止等离子体放电。即，从时间tc到时间td的期间是进行等离子体放电的“放电期间”。这样，在时间td等离子体放电停止后，在时间te从第二阀打开控制切换为第三阀打开控制，因此在“放电期间”的整个期间，阀72的开度被维持在第二开度。因此，在“放电期间”的整个期间，流过气体引导路30的放电用气体的流量为与第二开度对应的流量。

控制装置5在步骤S7中开始第三阀打开控制的情况下，间歇地打开阀72(阀)。具体而言，控制装置5以交替地重复以小于上述的第二开度的第三开度打开阀72的第一期间和关闭阀72的第二期间的方式来将阀72开闭。由于这样进行控制，因此在进行第三阀打开控制期间，交替地重复放电用气体以比“放电期间”时小的流量流过气体引导路30的期间和放电用气体不在气体引导路30流动的期间。在图8的示例中，控制装置5在从时间te到时间tf的期间T3进行第三阀打开控制，在其中的期间T31、T32内，停止放电用气体的供给。

控制装置5在步骤S7之后，在步骤S8中判定是否有放电开始操作。放电开始操作可以与在步骤S1中判定的放电开始操作相同，也可以不同。控制装置5在步骤S8中判定为没有放电开始操作的情况下，在步骤S9中判定控制结束条件是否成立，在步骤S9中判定为控制结束条件不成立的情况下，使处理返回到步骤S8，重复步骤S8、S9直到有放电开始操作，或控制结束条件成立为止。此外，在步骤S6之后，在步骤S7中开始的第三阀打开控制持续到在步骤S8或S9中成为是为止。此外，上述的控制结束条件可以是控制装置5成为电源断开状态(例如，不再向控制装置5供给电力的状态)，也可以是对未图示的操作部进行规定的控制结束操作。

控制装置5在步骤S8中判定为有放电开始操作的情况下，在步骤S10中开始第四阀打开控制。第四阀打开控制例如是在一定期间T4内以第四开度打开阀72(阀)的控制。第四开度是比放电期间时设定的阀72的开度(第二开度)大的开度，可以与上述的第一开度相同，也可以不同。在图8的示例中，第一开度和第四开度为相同的开度。一定期间T4可以是与上述的一定期间T1(第一阀打开控制的期间)相同的长度，也可以不同。在图8的示例中，一定期间T4比一定期间T1短。第四阀打开控制时在气体引导路30流动的放电用气体的流量比放电期间时在气体引导路30流动的放电用气体的流量大。在图8的示例中，从时间tf开始第四阀打开控制，在接下来放电期间开始的时间th稍前的时间tg结束第四阀打开控制。此外，控制装置5在进行第四阀打开控制后，使处理返回到步骤S3，再次进行步骤S3以后的各处理。在图8的示例中，使处理返回到步骤S3的情况下的步骤S3的控制在时间tg开始。即，在时间tg从第四阀打开控制切换到第二阀打开控制。

接着，对本结构的效果进行例示。

本结构的等离子体照射装置20至少在放电控制部4使沿面放电部40(放电部)进行等离子体放电的“放电期间”持续打开阀72(阀)。另一方面，在放电控制部4不使沿面放电部40(放电部)进行等离子体放电的“放电期间前的规定的准备期间”也以打开阀72(阀)的方式动作。即，由于在“放电期间前的规定的准备期间”放电用气体也在气体引导路30内持续流动，因此能够在准备期间内将从外部逆流进入气体引导路30内的杂质气体排出。因此，在上述准备期间之后进行的放电期间的开始时间点，难以发生在气体引导路30内大量存在杂质气体这样的情况，能够抑制在气体引导路30内大量存在杂质气体的状态下进行等离子体放电。

控制装置5(阀控制部)在准备期间的至少一部分期间以比放电期间时大的开度打开阀72(阀)的方式进行动作，因此能够在准备期间的至少一部分期间使放电用气体更强势地向气体引导路30流动。因此，能够在准备期间内更有效地排出进入气体引导路30内的杂质气体。

控制装置5(阀控制部)在从放电期间的结束到下一个准备期间的开始为止的休止期间(在图8中，从时间td到时间tf的期间)以比放电期间时小的开度断续地打开阀72(阀)的方式进行动作。该等离子体照射装置能够在从放电期间的结束到下一个准备期间的开始的休止期间断续地使放电用气体流动。因此，能够在休止期间的一部分或全部持续抑制杂质气体逆流进入引导路30内的效果及抑制杂质气体持续存在于气体引导路内的效果。因此，在休止期间后的放电期间的开始时间点，更进一步难以发生在气体引导路内大量存在杂质气体这样的情况。

在等离子体照射装置20中，也可以使传感器74作为浓度检测部的一例发挥功能，以检测气体流通路中的比阀72(阀)更靠放出口34侧的路径内的放电用气体或空气中包含的特定气体的浓度的方式发挥功能。这样，能够更准确地确定在放电用气体应该流动的规定路径(气体流通路中的比阀72(阀)更靠放出口34侧)内的放电用气体或特定气体的浓度状态。因此，能够进行与该规定区域的当前浓度(检测时间点的浓度)对应的控制。此外，这样的功能也可以附加到第一实施方式的等离子体照射装置20中。

在传感器74具有检测放电用气体的浓度的功能的情况下，放电控制部4也可以在由传感器74(浓度检测部)检测出的放电用气体的浓度为阈值以上的情况下，允许使沿面放电部40(放电部)进行等离子体放电。而且，放电控制部4也可以以在由传感器74(浓度检测部)检测出的放电用气体的浓度小于阈值的情况下禁止使沿面放电部40(放电部)进行等离子体放电的方式进行动作。

根据该结构，在放电用气体应该流动的路径(气体流通路中的比阀72(阀)更靠放出口34侧)中放电用气体的浓度相对较低的情况下(小于阈值的情况下)，能够禁止使沿面放电部40(放电部)进行等离子体放电。因此，能够抑制在放电用气体的浓度过低的状态下进行不稳定的等离子体放电。

具体而言，例如，在图7的控制中，也可以将“由传感器74(浓度检测部)检测出的放电用气体的浓度小于阈值”作为放电结束条件之一。在该情况下，控制装置5也可以在从最初开始步骤S4的处理到下一次某个放电结束条件成立为止的期间(下一次在步骤S5中成为是为止的期间)由传感器74(浓度检测部)检测出的放电用气体的浓度小于阈值的情况下，判定为放电结束条件成立，在步骤S6中使等离子体放电停止。

或者，在从最初开始步骤S4的处理到下一次放电结束条件成立为止的期间(下一次在步骤S5中成为是为止的期间)，在由传感器74(浓度检测部)检测出的放电用气体的浓度小于阈值的情况下，也可以暂时中断等离子体放电，在下一次放电结束条件成立为止的期间由传感器74(浓度检测部)检测出的放电用气体的浓度恢复到阈值以上的情况下，再次开始等离子体放电。

此外，这样的功能也可以附加到第一实施方式的等离子体照射装置20中。

作为以检测空气中包含的特定气体的浓度的方式构成传感器74的示例，例如，可以将传感器74构成为氧传感器。这样，在传感器74能够检测出空气中包含的特定气体的浓度的情况下，放电控制部4也可以以由传感器74(浓度检测部)检测出的特定气体的浓度越大则越增大放电电极42(第一电极)与接地电极44(第二电极)之间的最大电压的方式控制沿面放电部40(放电部)。

空气的浓度越大，则相对地放电用气体的浓度越小，因此根据上述结构，放电用气体的浓度越小，越能够增大放电电极42(第一电极)与接地电极44(第二电极)之间的最大电压。因此，能够通过根据浓度降低的程度提高电压来弥补因放电用气体的浓度降低而变得难以进行等离子体放电的情况。

例如，在由传感器74检测出的氧浓度为第一范围的情况下，将施加到放电电极42(第一电极)与接地电极44(第二电极)之间的高频电压的振幅(最大电压)设为第一电压V1。而且，在由传感器74检测出的氧浓度为比第一范围大的第二范围的情况下，将施加到放电电极42(第一电极)与接地电极44(第二电极)之间的高频电压的振幅(最大电压)设为比第一电压V1大的第二电压V2。而且，在由传感器74检测出的氧浓度为比第二范围大的第三范围的情况下，将施加到放电电极42(第一电极)与接地电极44(第二电极)之间的高频电压的振幅(最大电压)设为比第二电压V2大的第三电压V3。通过这样阶段性地切换最大电压，能够设为与放电用气体的浓度相符的最大电压。此外，在此，示出了将最大电压切换为3个阶段的示例，但也可以是2个阶段，也可以是4个阶段以上。

作为其他示例，在将由传感器74检测出的氧浓度设为X，将高频电压的振幅(最大电压)设为Y的情况下，也可以通过Y＝A×X+b等一次式或其他的运算式，以特定气体的浓度越大则越增大放电电极42(第一电极)与接地电极44(第二电极)之间的最大电压的方式来决定高频电压的振幅(最大电压)Y。

此外，这样的功能也可以附加到第一实施方式的等离子体照射装置20中。

另外，在此，示出了将传感器74构成为氧传感器的示例，但也可以构成为氮传感器。

＜其他实施方式＞

本发明不限于由上述记载及附图说明的实施方式的各方式，例如，在不矛盾的范围内，可以组合多个实施方式的特征。另外，以下的示例也包含在本发明的技术的范围内。

在第一、第二实施方式中，例示了作为超声波手术刀发挥功能的前端设备3，但也可以如图9所示的手术用装置201那样，对作为电手术刀发挥功能的前端设备203组装与第一实施方式或第二实施方式相同的等离子体照射装置20。组装于前端设备203的等离子体照射装置20具有与第一实施方式或第二实施方式的等离子体照射装置20相同的功能。前端设备203具有作用部件216，作用部件216具有作用于生物体组织的作用部216A，在控制装置5中，除了第一实施方式或第二实施方式的控制装置5的功能之外，还附加有向作用部件216供给高频电流的功能。作用部件216例如由金属材料等构成为轴状，作为从控制装置5供给的高频电流流动的电极部发挥功能。作用部件216可以作为公知的电手术刀而发挥功能，能够通过经由作用部件216(电极部)流动的高频电流，从作用部216A对目标对象物(生物体组织)产生切开作用、剥离作用或热凝固止血作用。在前端设备203中，能够通过共用的前端设备203进行基于经由作用部件216流动的高频电流进行的生物体组织的切开、剥离或热凝固止血和来自等离子体照射装置20的低温等离子体的照射进行的低侵害的止血。

在第一、第二实施方式中，例示了在作为超声波手术刀发挥功能的前端设备中组装有等离子体照射装置的结构，但也可以以对不具有电气功能的已知的手术用器具(例如，手术刀、钳子等)组装上述任意结构的等离子体照射装置的方式构成前端设备。

在第一、第二实施方式中，例示了等离子体照射装置作为用作手术用装置的前端设备的一部分而组装的结构，但等离子体照射装置也可以不组装在这样的前端设备中。例如，也可以构筑图10所示的那样的等离子体照射系统301。该等离子体照射系统301可以作为手术用的系统使用，也可以在手术以外的用途中使用。在图10的示例中，以在壳体314的内部组装有与第一实施方式相同的等离子体产生部20A的结构构成了前端设备303，构成有壳体314与等离子体产生部20A一体化了的把持单元(手持部)。

在上述的实施方式中，示出了控制驱动部(超声波振动部12等)的控制装置5也控制电源装置9的示例，但控制驱动部(超声波振动部12等)的控制装置和控制电源装置9的控制装置也可以分别地构成。

在上述的实施方式中，作为放电部的一例例示了沿面放电部40，但也可以采用能够进行等离子体放电的其他的放电方式。例如，放电部也可以构成为以在2个电极之间夹设空间及电介质层的结构来进行等离子体放电(空间放电)的空间放电部。

在第一实施方式中，示出了构成为止回阀的阀72设置于气体供给路8的示例，但构成为止回阀的阀也可以设置于气体引导路30。

在第二实施方式中，示出了构成为上述的阀的阀72设置于气体供给路8的示例，但构成为上述的阀的阀也可以设置于气体引导路30。

在第二实施方式中，作为阀设置于气体流通路的示例，示出了在气体供给路8(比气体控制部7C更靠下游侧的路径)设置有阀72的示例，但不限于该结构。例如，也可以在气体流通路中的比气体控制部7C更靠上游侧的路径(例如，调节器7B与气体控制部7C之间的路径)设置与第二实施方式的阀72同样的阀。

在第二实施方式中，示出了在从放电期间的结束到下一个准备期间的开始为止的休止期间(在图8中，从时间td到时间tf为止的期间)中以比放电期间时小的开度断续地打开阀72(阀)的示例。但是，不限于该示例。例如，也可以在从放电期间的结束到下一个准备期间的开始为止的休止期间(在图8中，从时间td到时间tf为止的期间)中以比放电期间时小的开度连续地打开阀72(阀)。例如，在图8的示例中，也可以不设置停止期间T31、T32。

在第一实施方式中，示出了阀72构成为止回阀的示例，在第二实施方式中，示出了阀72构成为阀的示例，但也可以并用这些结构。例如，在第二实施方式的结构的阀中，也可以在比阀72(阀)更靠上游侧或下游侧设置有具有与第一实施方式的阀72相同的功能的止回阀。

在上述的说明中，在一部分的实施方式中，示出了驱动部配置于构成前端设备的一部分的壳体(组装有作用部件的壳体)的内部的示例，但驱动部也可以配置于壳体的外部。这样，即使在驱动部配置于壳体的外部的情况下，驱动部也能够视为前端设备的一部分。

在说明书中，“作用于生物体组织”是指作用部件对生物体组织造成影响，进行切开、剥离、止血中的至少一种。上述的实施方式中例示的作用部件仅仅只是一例，只要作用部件对生物体组织造成影响，能够进行切开、剥离、止血中的至少一种，则能够采用上述的实施方式以外的各种结构。

标号说明

3、203、303…前端设备；

4…放电控制部；

5…控制装置(阀控制部)；

7C…气体控制部；

8…气体供给路(气体流通路)；

20…等离子体照射装置；

30…气体引导路；

32…导入口；

34…放出口；

36…流路；

40…沿面放电部(放电部)；

42…放电电极(第一电极)；

44…接地电极(第二电极)；

51…第一电介质层(电介质)；

72…阀(止回阀、阀)；

74…传感器(浓度检测部)。

Claims (12)

1.一种等离子体照射装置，具有：

气体引导路，具备供放电用气体流动的流路，并且在所述流路的端部设置有放出口；

放电部，具备第一电极、第二电极、介于所述第一电极与所述第二电极之间的电介质，在所述气体引导路内产生等离子体放电；及

气体供给路，成为向所述气体引导路供给所述放电用气体的路径，设置于比进行所述放电用气体的流量控制的气体控制部更靠所述气体引导路侧处，

所述等离子体照射装置设置于与目标对象物相对地移动的前端设备，其中，

所述等离子体照射装置具有止回阀，所述止回阀设置于所述气体引导路或所述气体供给路，允许所述放电用气体朝向所述放出口流动，并且防止气体向反方向流动。

2.一种等离子体照射装置，具有：

气体引导路，具备供放电用气体流动的流路，并且在所述流路的端部设置有放出口；

放电部，具备第一电极、第二电极、介于所述第一电极与所述第二电极之间的电介质，在所述气体引导路内产生等离子体放电；及

气体流通路，成为向所述气体引导路供给所述放电用气体的路径，

所述等离子体照射装置设置于与目标对象物相对地移动的前端设备，其中，

所述等离子体照射装置具有：

阀，设置于所述气体引导路或所述气体流通路，根据自身的开度使所述放电用气体的流量变化；

放电控制部，使所述放电部进行所述等离子体放电；及

阀控制部，控制所述阀的开闭，

所述阀控制部至少在所述放电控制部使所述放电部进行所述等离子体放电的放电期间持续打开所述阀，

并且，所述阀控制部在所述放电控制部不使所述放电部进行所述等离子体放电的所述放电期间前的规定的准备期间也打开所述阀。

3.根据权利要求2所述的等离子体照射装置，其中，

所述阀控制部在所述准备期间中的至少一部分期间以比所述放电期间时大的开度打开所述阀。

4.根据权利要求2或权利要求3所述的等离子体照射装置，其中，

所述阀控制部在从所述放电期间的结束到下一个所述准备期间的开始为止的休止期间以比所述放电期间时小的开度连续地或断续地打开所述阀。

5.根据权利要求2至权利要求4中任一项所述的等离子体照射装置，其中，

所述等离子体照射装置具有浓度检测部，所述浓度检测部检测所述气体引导路或所述气体流通路中的比所述阀更靠所述放出口侧的路径内的所述放电用气体的浓度或空气中包含的特定气体的浓度。

6.根据权利要求5所述的等离子体照射装置，其中，

所述浓度检测部检测所述路径内的所述放电用气体的浓度，

在由所述浓度检测部检测出的所述放电用气体的浓度为阈值以上的情况下，所述放电控制部允许使所述放电部进行所述等离子体放电，在所述放电用气体的浓度小于阈值的情况下，所述放电控制部禁止使所述放电部进行所述等离子体放电。

7.根据权利要求5所述的等离子体照射装置，其中，

所述浓度检测部检测所述特定气体的浓度，

所述放电控制部以由所述浓度检测部检测出的所述特定气体的浓度越大则越增大所述第一电极与所述第二电极之间的最大电压的方式控制所述放电部。

8.一种等离子体照射方法，是使用等离子体照射装置的等离子体照射方法，

所述等离子体照射装置具有：气体引导路，具备供放电用气体流动的流路，并且在所述流路的端部设置有放出口；放电部，具备第一电极、第二电极、介于所述第一电极与所述第二电极之间的电介质，并且在所述气体引导路内产生等离子体放电；及气体流通路，成为向所述气体引导路供给所述放电用气体的路径，

其中，

将所述等离子体照射装置设置于与目标对象物相对地移动的前端设备，

将根据自身的开度使所述放电用气体的流量变化的阀设置于所述气体引导路或所述气体流通路，

放电控制部控制所述放电部的所述等离子体放电，

阀控制部至少在所述放电控制部使所述放电部进行所述等离子体放电的放电期间持续打开所述阀，并且在所述放电控制部不使所述放电部进行所述等离子体放电的所述放电期间前的规定的准备期间也打开所述阀。

9.根据权利要求8所述的等离子体照射方法，其中，

所述阀控制部在所述准备期间中的至少一部分期间以比所述放电期间时大的开度打开所述阀。

10.根据权利要求8或权利要求9所述的等离子体照射方法，其中，

所述阀控制部在从所述放电期间的结束到下一个所述准备期间的开始为止的休止期间以比所述放电期间时小的开度连续地或断续地打开所述阀。

11.根据权利要求8至权利要求10中任一项所述的等离子体照射方法，其中，

将浓度检测部设置于所述等离子体照射装置，所述浓度检测部检测所述气体引导路或所述气体流通路中的比所述阀更靠所述放出口侧的路径内的所述放电用气体的浓度，

在由所述浓度检测部检测出的所述放电用气体的浓度为阈值以上的情况下，所述放电控制部允许使所述放电部进行所述等离子体放电，在所述放电用气体的浓度小于阈值的情况下，所述放电控制部禁止使所述放电部进行所述等离子体放电。

12.根据权利要求8至权利要求11中任一项所述的等离子体照射方法，其中，

将浓度检测部设置于所述等离子体照射装置，所述浓度检测部检测在所述气体引导路或所述气体流通路中比所述阀更靠所述放出口侧的路径内空气中包含的特定气体的浓度，

所述放电控制部以由所述浓度检测部检测出的所述特定气体的浓度越大则越增大所述第一电极与所述第二电极之间的最大电压的方式控制所述放电部。

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