JP2022011605A - プラズマ照射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】沿面放電型の放電部を備えるプラズマ照射装置において放電部よりも後端側の部分の嵩張りを抑制する。
【解決手段】プラズマ照射装置は、沿面放電部４０と通気部材と配線部とを備える。沿面放電部４０は、誘電体層と、誘電体層を介在させて互いに対向して配置される第１電極及び接地電極と、を有し、流路３６内で沿面放電を発生させる。通気部材は、管状に構成され、ガス誘導路３０の流路３６に向けてガスを流す。そして、プラズマ照射装置は、配線部が通気部材の内部に配置された構成又は通気部材が配線部とされた構成をなしている。
【選択図】図８

Description

本発明は、プラズマ照射装置に関するものである。

特許文献１には、沿面放電型のプラズマ放電を行うプラズマ表面処理装置が開示されている。この装置は、反応部構成体にプラズマ生成用ガスの流路が設けられており、この流路の壁面に沿面放電用電極が配置される。沿面放電用電極は、プラズマ生成用ガスの進行方向の側面に配置される放電電極と誘電体と介して放電電極と対向する誘導電極とによって構成される。

特開２００５－５０７２３号公報

沿面放電型の放電部は、空間放電型の放電部と比較してコンパクト化しやすく、放電のための印加電圧を下げやすいというメリットがある。しかし、放電部自体はコンパクト化しやすいが、放電部から外れた周辺部分は、ガスを供給する通気部材や電極に電圧を印加するための配線部などを配置する必要があるため嵩張りやすい。このように周辺部分が嵩張ってしまうと、せっかく放電部をコンパクト化できるのにそのメリットを最大限に生かしきれず、装置全体の一層の小型化を図る上で問題となる。

本発明は、上述した課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、沿面放電型の放電部を備えるプラズマ照射装置において放電部から外れた周辺部分の嵩張りを抑制し得る技術を提供することを目的とする。

本発明の第１態様のプラズマ照射装置は、
先端側に向かってガスを流す流路と、前記流路の先端側において前記流路を流れたガスを放出する放出口と、を有するガス誘導路と、
誘電体層と、前記誘電体層を介在させて互いに対向して配置される第１電極及び第２電極と、を有し、前記第１電極又は前記第２電極の一方が直接又は他部材を介して前記流路に面しつつ、周期的に変化する電圧が前記第１電極又は前記第２電極に印加されることに応じて前記流路内で沿面放電を発生させる沿面放電部と、
管状に構成され、前記ガス誘導路の前記流路に向けて前記ガスを流す通気部材と、
を備えるプラズマ照射装置であって、
前記第１電極に電気的に接続される配線部を備え、
前記配線部は、前記通気部材の内部に配置されている。

第１態様のプラズマ照射装置は、ガス誘導路の流路に向けてガスを流す通気部材が設けられ、この通気部材の内部に配線部が配置されている。このプラズマ照射装置は、通気部材の外側に配線部が設けられる構成（通気部材と別に配線部が設けられる構成）と比較して一層のコンパクト化を図ることができ、放電部から外れた周辺部分の嵩張りを確実に抑えることができる。

上記の第１態様のプラズマ照射装置において、第１電極は、自身の電位がグラウンド電位よりも大きい又は小さい電位に周期的に変化する放電電極であってもよい。そして、第２電極は、自身の電位がグラウンド電位とされる接地電極であってもよい。更に、配線部は、放電電極に電気的に接続されていてもよく、接地電極に電気的に接続された第２配線部が、通気部材の外側に配置されていてもよい。
このプラズマ照射装置は、放電電極に電気的に接続される配線部が通気部材の内部に配置される構成であるため、グラウンド電位よりも大きい又は小さい電位に変化する電線の周りを通気部材によって囲んだ構成とすることができる。よって、配線部の電位がグラウンド電位よりも大きい又は小さい電位に変化しても、その変化に起因する悪影響がプラズマ照射装置の外部に及びにくくなる。

また、配線部が放電電極に電気的に接続されてなるプラズマ照射装置において、通気部材の少なくとも一部には、導電性を有するとともに放電電極とは絶縁された構成をなし且つ放電電極とは異なる電位状態とされるシールド部が設けられていてもよい。
このプラズマ照射装置は、放電電極に電気的に接続された配線部の周りを通気部材によって囲むだけでなく、その配線部の周りに放電電極とは絶縁されたシールド部材を配置することができるため、配線部の電位が外部に及ぼす悪影響をより一層抑えることができる。

本発明の第２態様のプラズマ照射装置は、
先端側に向かってガスを流す流路と、流路の先端側において流路を流れたガスを放出する放出口と、を有するガス誘導路と、
誘電体層と、誘電体層を介在させて互いに対向して配置される第１電極及び第２電極と、を有し、第１電極又は第２電極の一方が直接又は他部材を介して流路に面しつつ、周期的に変化する電圧が第１電極又は第２電極に印加されることに応じて流路内で沿面放電を発生させる沿面放電部と、
管状に構成され、ガス誘導路の流路に向けてガスを流す通気部材と、
を備えるプラズマ照射装置であって、
通気部材は、導電性を有するとともに第１電極に電気的に接続される配線部として構成されている。

第２態様のプラズマ照射装置は、ガス誘導路の流路に向けてガスを流す通気部材が設けられ、この通気部材が第１電極に電気的に接続される配線部として構成されている。このプラズマ照射装置は、通気部材の外側に配線部が設けられる構成と比較して一層のコンパクト化を図ることができ、放電部から外れた周辺部分の嵩張りを確実に抑えることができる。

上記第２態様のプラズマ照射装置において、第１電極は、自身の電位がグラウンド電位よりも大きい又は小さい電位に周期的に変化する放電電極であってもよい。そして、第２電極は、自身の電位がグラウンド電位とされる接地電極であってもよい。そして、通気部材は、放電電極に電気的に接続されていてもよい。更に、接地電極に電気的に接続された第２配線部が、通気部材の外側に配置されていてもよい。
このプラズマ照射装置は、放電電極に電圧を印加する経路を通気部材によって兼用することができ、この経路の配線を効果的に削減することができる。一方で、接地電極に電気的に接続される第２配線部については、通気部材とは別で配線を設けることができるため、通気部材の配置に大きく依存しすぎることなくグラウンド経路を確保しやすくなる。

上記第２態様のプラズマ照射装置において、通気部材の外周面には、平坦形状とされた第１平坦面が形成されていてもよい。そして、第１電極の厚さ方向一方側の外面には、平坦形状とされた第２平坦面が形成されていてもよい。更に、第１平坦面と第２平坦面とが対向しつつ接合されていてもよい。
このプラズマ照射装置は、通気部材の外周面を第１電極の外面に対して直接的に接合することができるため、通気部材と第１電極との間に介在する中間部材を省略又は削減することができ、通気部材と第１電極との接合を簡素化することができる。更に、このプラズマ照射装置は、第１平坦面と第２平坦面とを対向させた接合を採用しているため、接合面積を増やすことができ、接合の安定化を図ることができる。

上記のいずれのプラズマ照射装置においても、使用者によって把持される把持部を有するとともに沿面放電部の外部に配置されるケース体が設けられていてもよい。そして、ケース体には、グラウンド電位とされる第３電極が設けられていてもよい。
このプラズマ照射装置は、沿面放電部の電位（特に、放電電極の電位）がケース体の外側に悪影響を及ぼすことを第３電極によって抑えやすくなる。

上記のいずれのプラズマ照射装置においても、誘電体層は、第１電極が配される電極配置面を有していてもよい。そして、配線部と第１電極は、電極配置面上で接合されていてもよい。
このプラズマ照射装置は、誘電体層に設けられた電極配置面上で配線部と第１電極とを接合する構成であるため、製造を行いやすく且つ小型化を図りやすい構成となる。

上記のいずれのプラズマ照射装置においても、流路と通気部材との間の空間を囲みつつ通気部材から供給されるガスを流路に導く構成をなし、ガス誘導路を構成する構造体及び通気部材が嵌り込む構成をなすシール部材が設けられていてもよい。
このプラズマ照射装置は、ガス誘導路を構成する構造体と通気部材を別々に構成しつつ、構造体と通気部材の間の境界部分においてガス漏洩を抑制しつつガス通路を確保することができる。

本発明は、沿面放電型の放電部を備えるプラズマ照射装置において放電部から外れた周辺部分の嵩張りを抑制することができる。

図１は、第１実施形態のプラズマ照射装置を備える先端デバイス及び手術用装置を概略的に示す概略図である。 図２は、図１の先端デバイスにおける作用部付近の一部を拡大して概念的に示す拡大図である。 図３は、第１実施形態のプラズマ照射装置を構成する構造体及びシール部材等を概念的に示す斜視図である。 図４は、第１実施形態のプラズマ照射装置を構成する構造体からシール部材、通気部材、配線部を分解した構成を、構造体を三分割した構成と共に示す分解斜視図である。 図５は、第１実施形態のプラズマ照射装置を構成する構造体を第３方向（幅方向）中心位置にて第３方向と直交する方向に切断した切断面の断面構成を概略的に示す断面概略図である。 図６は、第１実施形態のプラズマ照射装置を構成する構造体を第１方向中心位置にて第１方向と直交する方向に切断した切断面の断面構成を概略的に示す断面概略図である。 図７は、第１実施形態のプラズマ照射装置を構成する構造体を第２方向（厚さ方向）中心位置にて第２方向と直交する方向に切断した切断面の断面構成を概略的に示す断面概略図である。 図８は、図５で示される構造体に対してシール部材、通気部材、及び配線部が組み付けられた断面構成を概略的に示す断面概略図である。 図９は、図３の構成からシール部材、通気部材、配線部を省略した構成を概略的に示す斜視図である。 図１０は、図９の構成に配線部を追加した構成を概略的に示す斜視図である。 図１１は、図１０の構成に通気部材を追加した構成を概略的に示す斜視図である。 図１２は、第２実施形態のプラズマ照射装置を構成する構造体を第３方向（幅方向）中心位置にて第３方向と直交する方向に切断した切断面の断面構成を、シール部材及び通気部材の断面構成と共に概略的に示す断面概略図である。 図１３は、第２実施形態のプラズマ照射装置を構成する構造体からシール部材、通気部材を分解した構成を、構造体を三分割した構成と共に示す分解斜視図である。 図１４は、第２実施形態のプラズマ照射装置を構成する構造体及び通気部材を概念的に示す斜視図である。 図１５は、第１実施形態と同様のプラズマ照射装置が設けられた先端デバイス及び手術用装置についての図１とは異なる例を示す概略図である。 図１６は、第１実施形態と同様のプラズマ照射装置が設けられた先端デバイスについての図１、図１５とは異なる例を示す概略図である。

＜第１実施形態＞
１－１．手術用装置の概要
図１で示される手術用装置１は、施術対象の生体組織に対して切開、剥離又は止血を行い得る処置装置として構成されている。手術用装置１は、先端デバイス３と、超音波振動部１２（駆動部）を制御する装置である制御装置５と、先端デバイス３内のガス誘導路３０（図６）に対してガスを供給するガス供給装置７と、プラズマ照射装置２０に対して電圧を印加し得る電源装置９とを備える。

制御装置５は、超音波振動部１２に対して超音波振動を発生させるための電気信号を与える装置である。制御装置５は、先端デバイス３と制御装置５との間に介在する図示しない可撓性の信号ケーブルを介して超音波振動部１２に電気信号を与え得る構成となっている。

ガス供給装置７は、ヘリウムガスやアルゴンガスなどの不活性ガス（以下、単にガスともいう）を供給する装置である。ガス供給装置７は、例えば、先端デバイス３とガス供給装置７との間に介在する可撓性の通気部材１２０（図３参照、図１では図示を省略）を介して後述するガス誘導路３０に不活性ガスを供給する。ガス供給装置７は、例えばボンベ等から供給される高圧ガスを減圧するレギュレータと、流量制御を行う制御部とを含む。

電源装置９は、高周波電圧発生回路１１に電力を供給する装置であり、昇圧トランスなどを含む回路である。高周波電圧発生回路１１は、後述する放電電極４２（図５）と接地電極４４（図５）との間に所望の電圧を印加する装置であり、接地電極４４をグラウンド電位に保ちつつ、放電電極４２と接地電極４４との間に所定周波数の交流電圧を印加する。高周波電圧発生回路１１は、高周波数（例えば、２０ｋＨｚ～３００ｋＨｚ程度）の高電圧（例えば、振幅が０．５ｋＶ～１０ｋＶの高電圧）を生成し得る回路であれば、公知の様々な回路を採用し得る。なお、高周波電圧発生回路１１が発生させる高電圧の周波数は、一定値に固定された周波数であってもよく、変動してもよい。また、高周波電圧発生回路１１が接地電極４４と放電電極４２との間に印加する電圧は、周期的に変化する電圧であればよく、正弦波の交流電圧であってもよく、非正弦波（例えば、矩形波、三角波など）の交流電圧であってもよい。

図１では、高周波電圧発生回路１１がケース体１４の内部に設けられた先端デバイス及び手術用装置が例示されているが、高周波電圧発生回路１１がケース体１４の外部（例えば、先端デバイス３の外部）に設けられていてもよい。

先端デバイス３は、手術を行う術者によって把持されて使用される装置であり、主に、ケース体１４、把持器具１５、プラズマ照射装置２０、超音波振動部１２、などを備える。ケース体１４、把持器具１５、プラズマ照射装置２０、及び超音波振動部１２は、使用者に把持される把持ユニットとして一体的に構成されており、可撓性を有する部材を介して不活性ガスや電力が供給されるようになっている。

ケース体１４は、円筒状に構成され所定方向に延びており、主として、基部１４Ｂと、基部１４Ｂと一体的に構成されるとともに所定方向に延びる円筒状の延出部１４Ａとを備える。基部１４Ｂの内部には、超音波振動部１２などが収容され、延出部１４Ａにはプラズマ照射装置２０が固定又は一体化されている。

超音波振動部１２は、公知の超音波振動子として構成され、上述した制御装置５によって所定の電気信号が与えられたときに駆動して超音波振動を発生させ、後述する作用部材１６に対して超音波振動を伝達するように動作する。超音波振動部１２は、駆動部の一例に相当し、作用部１６Ａ付近において生体組織を切開、剥離又は熱凝固止血する作用が生じるように作用部材１６を駆動する。

把持部６０は、先端デバイス３を使用する使用者によって把持される部分であり、公知の可動機構を採用した可動部材変位機構として構成されている。把持部６０は、ケース体１４の基部１４Ｂに固定されてケース体１４と一体化された固定把持部６２と、固定把持部６２に対して相対移動可能に取り付けられる軸状の作用部材６４とによって構成されている。

把持器具１５は、生体組織を挟んで把持するように使用し得る器具であり、作用部材１６と作用部材６４とを有する。

作用部材１６は、軸状の部材であり、生体組織に作用する作用部１６Ａを自身の先端側に備える部材である。作用部１６Ａは、作用部材１６の先端部付近において固定刃として機能する部位である。作用部材１６は、作用部１６Ａと、超音波振動部１２から与えられた振動を作用部１６Ａに伝達する軸部１６Ｂとを有し、超音波振動部１２で発生した振動が軸部１６Ｂを介して作用部１６Ａに伝達されることにより作用部１６Ａが振動する。作用部材１６は、作用部１６Ａが生体組織に接近又は接触している状態で作用部１６Ａが振動することにより生体組織に対して切開作用、剥離作用又は止血作用を生じさせるように動作する。

作用部材６４は、可動部材として機能する軸状の部材であり、生体組織に作用する作用部６４Ａを自身の先端側（一端側）に備える部材である。作用部６４Ａは、可動刃として機能する部位である。作用部材６４は、自身の後端側（他端側）の端部付近に可動把持部６４Ｃを備えている。把持器具１５では、軸状の作用部材６４が延出部１４Ａの先端部付近の回動軸Ｚを中心として回動可能とされ、作用部１６Ａと作用部６４Ａとが接近及び離間自在に構成されている。把持器具１５は、可動把持部６４Ｃを固定把持部６２側に近づけようとする操作がなされることに応じて作用部６４Ａ（可動刃）が作用部１６Ａ（固定刃）に近づくように作用部材６４が回動する。逆に、可動把持部６４Ｃを固定把持部６２から離間させようとする操作がなされることに応じて作用部６４Ａが作用部１６Ａから離れるように作用部材６４が回動する。

このように構成された先端デバイス３は、超音波振動を用いた生体組織の切開処置、剥離処置、止血処置を行いうる。例えば、作用部１６Ａ（固定刃）と作用部６４Ａとによって生体組織が挟み込まれたときに作用部１６Ａに超音波振動が伝達されることにより生体組織を切除することができる。また、超音波振動が伝達される作用部１６Ａを生体組織に接触させて摩擦熱を生じさせ、止血を行うこともできる。作用部材１６に対して超音波振動を与えながら、又は与えずに、作用部１６Ａと作用部６４Ａとによって生体組織を挟持し、剥離処置を行うこともできる。このように、先端デバイス３では、超音波振動による切開、剥離又は熱凝固止血が可能となっており、更に、後述するプラズマ照射装置２０からの低温プラズマの照射によって低侵襲な止血を併用することもできる。

１－２．プラズマ照射装置の基本構成
図１に示されるように、プラズマ照射装置２０は先端デバイス３の一部として組み込まれ、先端デバイス３の内部で誘電体バリア放電を生じさせる装置として構成されている。なお、図１の例では、プラズマ照射装置２０は、保持部１８によって保持された構成でケース体１４に固定されている。図２に示されるように、プラズマ照射装置２０の内部で発生した低温プラズマＰは、作用部材１６の先端部に設けられた作用部１６Ａ付近に照射される。なお、図２では、作用部１６Ａと作用部６４Ａとが接触するときの作用部材６４の位置が二点鎖線によって概念的に示されている。

図３で示されるように、プラズマ照射装置２０は、所定の立体形状（例えば、板状且つ直方体状）として構成された構造体２０Ａを有し、構造体２０Ａの長手方向の端部に形成された放出口３４から低温プラズマを照射するように構成されている。

図４にて概念的に示されるように、構造体２０Ａは、厚さ方向中央部に第３誘電体層５３が設けられ、第３誘電体層５３よりも厚さ方向一方側に第４誘電体層５４が設けられている。更に、構造体２０Ａは、第３誘電体層５３よりも厚さ方向他方側に第１誘電体層５１及び第２誘電体層５２が設けられている。第１誘電体層５１及び第２誘電体層５２によって構成された誘電体領域の内部には、第１電極の一例に相当する放電電極４２及び第２電極の一例に相当する接地電極４４が埋め込まれている。図４では、構造体２０Ａが３分割された構成が分解斜視図として概念的に示されているが、実際の構成は、第１誘電体層５１、第２誘電体層５２、第３誘電体層５３、及び第４誘電体層５４の各々が、一体的な誘電体部５０（図６）の一部として構成されている。

図５に示されるように、構造体２０Ａは、ガス誘導路３０と、沿面放電部４０とを備える。

ガス誘導路３０は、ガスを導入する導入口３２と、ガスを放出する放出口３４と、導入口３２と放出口３４との間に設けられる流路３６と、を有する。放出口３４は、流路３６の先端側において流路３６を流れたガスを放出するように機能する。流路３６は、先端側に配された放出口３４に向かってガスを流すように機能する。ガス誘導路３０は、先端デバイス３の外部に設けられたガス供給装置７（図１）から供給される不活性ガスを導入口３２から導入し、導入口３２側から導入されたガスを流路３６内の空間を通して放出口３４に誘導する誘導路となっている。ガス誘導路３０は、放出口３４から作用部１６Ａ（図２）側にガスを放出する流路構成となっており、ガスと共に低温プラズマＰ（図２）を放出口３４から作用部１６Ａ側に放出するように機能する。

図５で示されるように、本明細書では、プラズマ照射装置２０においてガス誘導路３０が延びる方向が第１方向であり、第１方向と直交する方向のうち誘電体部５０の厚さ方向が第２方向であり、第１方向及び第２方向と直交する方向が第３方向（図６）である。図５の構成では、誘電体部５０と放電電極４２と接地電極４４とが一体的に設けられた構造体２０Ａの長手方向が第１方向である。そして、図６のように、構造体２０Ａを第１方向と直交する平面方向に切断した切断面（図６）での構造体２０Ａの短手方向が第２方向であり、この切断面の長手方向が第３方向である。第３方向は構造体２０Ａの幅方向であり、第２方向は構造体２０Ａの高さ方向又は厚さ方向である。なお、以下の説明では、第１方向において放出口３４側が構造体２０Ａの先端側であり、第１方向において導入口３２側が構造体２０Ａの後端側である。

図５で示されるように、構造体２０Ａは、所定方向（第１方向）に沿ってガスを流すようにガス誘導路３０が構成され、この所定方向（第１方向）と直交する第２方向を積層方向とする構成で放電電極４２と接地電極４４と誘電体部５０とが積層された構成をなす。

沿面放電部４０は、第１誘電体層５１と、第１誘電体層５１を介在させて互いに対向して配置される放電電極４２及び接地電極４４と、を有する。沿面放電部４０は、放電電極４２と接地電極４４との電位差に基づく電界をガス誘導路３０内で発生させて沿面放電による低温プラズマ放電を発生させるように機能する。

沿面放電部４０は、放電電極４２又は接地電極４４の一方が直接又は他部材を介して流路３６に面しつつ、周期的に変化する電圧が放電電極４２に印加されることに応じて流路３６内で沿面放電を発生させるものである。なお、「放電電極４２又は接地電極４４の一方が直接流路３６に面する構成」とは、放電電極４２又は接地電極４４の一方が流路３６内の空間に露出し当該一方が流路の内壁の一部をなすような構成が該当する。また、「放電電極４２又は接地電極４４の一方が他部材を介して流路３６に面する構成」とは、放電電極４２又は接地電極４４のうちの一方が流路３６に近い位置に配置されるとともに当該一方の一部又は全部が他部材によって覆われる構成が該当する。このように他部材を介する構成では、当該他部材が流路の内壁の一部をなし、上記の「一方」の主面が流路３６に向いて配置される。なお、図５、図６で示される構成は、放電電極４２が上記の「一方」に該当し、「放電電極４２が他部材を介して流路３６に面する構成」であるが、図５では、他部材の一例に相当する第２誘電体層５２が省略された形で示されている。

図６で示されるように、沿面放電部４０は、放電電極４２が誘電体部５０の一部（第２誘電体層５２）を介して流路３６に面しており、具体的には、誘電体部５０内において第２方向の第１位置に第１の厚さで配置されている。接地電極４４は、誘電体部５０内において第２方向の第２位置に第２の厚さで配置されており、具体的には、放電電極４２に対して流路３６とは反対側に設けられるとともに放電電極４２よりも流路３６から離れている。沿面放電部４０は、接地電極４４の電位を一定の基準電位（例えば、０Ｖのグラウンド電位）に保ちつつ、周期的に変化する電圧が放電電極４２に印加されることに応じて流路３６内で沿面放電を発生させ、低温プラズマを生じさせる。

図６で示されるように、誘電体部５０は、第１誘電体層５１、第２誘電体層５２、第３誘電体層５３、第４誘電体層５４を備え、全体として中空状に構成されている。第１誘電体層５１は、流路３６の空間よりも第２方向（厚さ方向）一方側に配置されるとともに接地電極４４が埋め込まれるように構成される。つまり、第１誘電体層５１を介して放電電極４２及び接地電極４４が対向している。第２誘電体層５２は、セラミック材料によって放電電極４２を覆うように構成されたセラミック保護層であり、第１誘電体層５１よりも流路空間側において放電電極４２を覆うように配置される。第１誘電体層５１及び第２誘電体層５２は、流路３６における第２方向一方側の内壁部を構成する。第４誘電体層５４は、流路３６の空間よりも第２方向（厚さ方向）他方側に配置され、流路３６における第２方向他方側の内壁部を構成する。第３誘電体層５３は、第２方向において第１誘電体層５１と第４誘電体層５４との間に配置され、流路３６における第３方向一方側の側壁部及び第３方向他方側の側壁部を構成する。つまり、流路３６は、第１誘電体層５１、第２誘電体層５２、第３誘電体層５３、及び第４誘電体層５４により画成されている。第１誘電体層５１、第２誘電体層５２、第３誘電体層５３、及び第４誘電体層５４の材料は、例えばアルミナなどのセラミック、ガラス材料や樹脂材料を好適に用いることができる。なお、機械的強度が高いアルミナを誘電体として用いることで、沿面放電部４０の小型化を図りやすくなる。

図７で示されるように、流路３６は、第２方向（図６）両側及び第３方向両側が囲まれた空間が第１方向に続くように構成され、第１方向に沿って延びる第１流路３６Ａと、第１流路３６Ａの下流側に設けられる第２流路３６Ｂとを備える。第１流路３６Ａは、構造体２０Ａにおいて第１方向の第１領域ＡＲ１に設けられている。第２流路３６Ｂは、構造体２０Ａにおける第１方向の第２領域ＡＲ２に設けられている。図７では、第１方向において第１流路３６Ａが設けられる範囲が第１領域ＡＲ１として表され、第１方向において第２流路３６Ｂが設けられる範囲が第２領域ＡＲ２として表されている。

第１流路３６Ａは、第１方向と直交する方向に切断した切断面での内壁部の形状が長方形状に構成された流路である（図６参照）。図７で示されるように、第１流路３６Ａは、第１方向の第１領域ＡＲ１にわたって内壁面の幅が一定の幅となっており且つ第１方向の第１領域ＡＲ１にわたって内壁面の高さが一定の高さとなっている。

図７で示されるように、第２流路３６Ｂは，第１方向において第１流路３６Ａよりも放出口３４側（下流側）に配置され、第１流路３６Ａよりも狭い幅で構成されている。第２流路３６Ｂは、縮幅流路３６Ｃと一定流路３６Ｄとを備える。縮幅流路３６Ｃは、第１方向において第２領域ＡＲ２の一部領域ＡＲ２１にわたって設けられ、放出口３４側に近づくにつれて内壁面の幅が次第に狭くなっている。縮幅流路３６Ｃの高さは、領域ＡＲ２１の全範囲にわたって一定である。一定流路３６Ｄは、第１方向において第２領域ＡＲ２の一部領域ＡＲ２２にわたって設けられ、領域ＡＲ２２の全範囲にわたって内壁面の幅及び高さが一定となっている。

図７で示されるように、接地電極４４は、流路３６に沿うように第１方向に直線状に延びており、第１方向の所定領域に配置されている。接地電極４４は、自身の先端側の一部が放電電極４２よりも放出口３４側に配置されている。接地電極４４の一部は、第１方向において第２流路３６Ｂの配置領域ＡＲ２に位置しており、図７の例では、接地電極４４の先端が縮幅流路３６Ｃの先端（一定流路３６Ｄの後端）よりも先端側に位置している。つまり、接地電極４４の一部は、第１方向において一定流路３６Ｄの配置領域ＡＲ２２に位置している。接地電極４４の後端は、第１流路３６Ａの先端よりも後端側に位置し、放電電極４２の先端よりも後端側且つ放電電極４２の後端よりも先端側に位置している。接地電極４４は、第３方向において第１流路３６Ａの配置領域ＡＲ３内に自身の少なくとも一部（図７では自身の全部）が位置する。具体的には、接地電極４４は、第３方向において一定流路３６Ｄの配置領域ＡＲ４内に自身の少なくとも一部（図７では自身の一部）が位置し、第３方向において放出口３４の形成領域内に自身の少なくとも一部（図７では自身の一部）が位置する。

図７のように、放電電極４２は、直線状に構成された複数本（具体的には、３本）の直線状電極部４２Ａを備え、これら直線状電極部４２Ａが流路３６に沿うように第１方向に直線状に延びており、各々の直線状電極部４２Ａがライン状の電極として機能する。各々の直線状電極部４２Ａは、一定の幅且つ一定の厚さの導体によって構成され、第１方向の所定領域に配置されている。複数本の直線状電極部４２Ａは後端部で連結され、互いに電気的に接続され、互いに同電位とされる。放電電極４２は、第１方向において第１流路３６Ａの配置領域にのみ位置する。つまり、放電電極４２は、第１領域ＡＲ１及び第２領域ＡＲ２のうちの第１領域ＡＲ１にのみ位置する。放電電極４２の先端は、第１流路３６Ａの先端よりも後端側に位置し、放電電極４２の後端は第１流路３６Ａの後端よりも先端側に位置する。更に、各々の直線状電極部４２Ａの幅（第３方向の長さ）は、接地電極４４の幅（第３方向の長さ）よりも小さくなっている。

１－３．通気部材、配線部、シール部材等の構成
図８で示されるように、プラズマ照射装置２０は、上述した基本構成に加え、シール部材１１０、通気部材１２０、配線部１３０、を備えている。

図８のように、通気部材１２０は、管状に構成され、ガス誘導路３０の流路３６に向けてガスを流す管路として構成されている。通気部材１２０は、自身の一端側が構造体２０Ａ側に配されるとともに自身の他端側がガス供給装置７（図１）側に配されている。なお、シール部材１１０からガス供給装置７（図１）までの管路全体が通気部材１２０であってもよく、シール部材１１０から上記管路の途中までが通気部材１２０であってもよい。図８の例では、通気部材１２０を概念的に示しているが、通気部材の一端１２０Ａから他端までの長さは様々に変更できる（図３、図４、図９も同様）。また、通気部材１２０は、単一の管状部材によって構成されていてもよく、複数の管状部材が連結された形で設けられていてもよい。

通気部材１２０のうち、一端１２０Ａから所定位置までの間の部位は、一部又は全部がシールド部として構成されている。上記所定位置は、通気部材１２０の他端（シール部材１１０に連結される端とは反対側の端）であってもよく、通気部材１２０の端部間の位置であってもよい。つまり、通気部材１２０の端部間の全体にシールド部が設けられていてもよく、端部間の一部領域のみに設けられていてもよい。通気部材１２０において上記一端１２０Ａから上記所定位置までの全部の領域をシールド部とする構成としては、例えば、当該全部の領域を導電材料からなる筒部として構成する例が挙げられる。通気部材１２０において上記一端１２０Ａから上記所定位置までの一部領域をシールド部とする構成としては、例えば、当該一部領域に絶縁材料からなる筒部を設け、この筒部内に所定形状（例えば、配線部１３０を囲む筒状）の導電部材を埋め込む例が挙げられる。

図８のように、配線部１３０は、放電電極４２に電気的に接続される導電路として機能し、放電電極４２に電圧を印加するための経路を構成する。配線部１３０は、導体によって構成される電線部１３２と、電線部１３２の外周面を被覆する絶縁体（樹脂等）からなる被覆部１３４とを備える。

配線部１３０は、管状に構成された通気部材１２０の内部に配置されている。通気部材１２０の内径は、配線部１３０の外径よりも大きくなっており、配線部１３０の外周面と通気部材１２０の内周面との間には、空間（隙間）が構成されている。そして、配線部１３０の外周面と通気部材１２０の内周面との間に構成された空間を介してガス供給装置７（図１）から供給される放電用ガスが流れるようになっている。配線部１３０は、通気部材１２０内において構造体２０Ａ側の一端１２０Ａからガス供給装置７（図１）側の他端まで全体にわたるように配置されていてもよい。或いは、配線部１３０は、通気部材１２０内において一端１２０Ａから中間位置（一端１２０Ａと他端（通気部材１２０における一端１２０Ａとは反対側の端）との間の中間位置）まで配置されていてもよい。配線部１３０が一端１２０Ａから上記中間位置まで配置される構成としては、通気部材１２０における上記中間位置に形成された孔部を介して通気部材１２０の内部から外部に引き出されるように配線部１３０が配置されていればよい。この場合、上記孔部と配線部１３０との間からガスが漏洩されないように適切なシール処理が施されていればよい。

図８のように、シール部材１１０は、構造体２０Ａ及び通気部材１２０に密着して配置され、通気部材１２０の一端１２０Ａとガス誘導路３０の導入口３２との間のガス流路を構成する部材である。このシール部材１１０は、流路３６と通気部材１２０との間の空間を囲みつつ通気部材１２０から供給されるガスを流路３６に導く構成をなし、ガス誘導路３０を構成する構造体２０Ａ及び通気部材１２０が嵌り込む構成をなす。

シール部材１１０は、一方側及び他方側開放した略筒状形態をなし、一方側には構造体２０Ａが嵌り込む構造体嵌合部１１２及び開口部１１２Ａが形成され、他方側には通気部材１２０が嵌り込む通気部材嵌合部１１４及び開口部１１４Ａが形成されている。構造体２０Ａは、自身の第１方向の所定領域（第１方向において導入口３２よりも先端側の所定位置から自身の後端までの領域）が開口部１１２Ａから挿入されて構造体嵌合部１１２と嵌まり合っている。そして、構造体嵌合部１１２の内周面と上記所定領域の外周面は、これらの面の間からガスが漏れないように密着している。また、通気部材１２０は、一端１２０Ａ付近の端部側領域が開口部１１４Ａから挿入されて通気部材嵌合部１１４と嵌まり合っている。そして、通気部材嵌合部１１４の内周面と上記端部側領域の外周面は、これらの面の間からガスが漏れないように密着している。シール部材１１０の材料は特に限定されないが、例えば、熱収縮材料（熱収縮チューブ）、粘度の高い充填剤（接着剤等）、ゴム材料などを好適に用いることができる。

図８のように、構造体２０Ａ、通気部材１２０、及びシール部材１１０の外側には、第２配線部１４０が設けられている。第２配線部１４０は、接地電極４４に電気的に接続された導電路であり、グラウンド電位で維持される導電路である。なお、第２配線部１４０は、上述のシールド部に電気的に接続されていてもよい。第２配線部１４０の構成は、導電路を確保できる構成であればよく、配線部１３０と同様の配線（電線部と被覆部とを備えた配線）であってもよく、その他の構成であってもよい。また、接地電極４４と第２配線部１４０とを電気的に接続するための接続構造も様々であり、例えば、誘電体部５０において接地電極４４に電気的に接続されるビアホールを形成し、ビアホールを介して第２配線部１４０と接地電極４４とを電気的に接続してもよい。或いは、接地電極４４の一部を誘電体部５０の第３方向端部又は第１方向端部から露出させ、この露出部に第２配線部１４０が接合されてもよい。

１－４．配線部の接合構造
図９は、構造体２０Ａを概略的に示す斜視図であり、図３から、シール部材１１０、配線部１３０、通気部材１２０を省略した図である。図９のように、構造体２０Ａには、電極配置面５０Ａが設けられている。この電極配置面５０Ａは、第１誘電体層５１における厚さ方向一方側（具体的には、流路３６側）の板面（主面）であり、放電電極４２が配置される面である。放電電極４２では、上述した直線状電極部４２Ａなどは第２誘電体層５２に被覆されているが、少なくとも後端側の一部はシール部材１１０内の空間に露出する露出部４２Ｃとして構成されている（図８も参照）。露出部４２Ｃは、接地電極４４（図８）よりも後端側に配置され、上述した直線状電極部４２Ａよりも後端側に配置されている。

図９のように、誘電体部５０は、後端側の一部が切欠き部５０Ｂとして構成されている。切欠き部５０Ｂは、誘電体部５０における後端側且つ第３方向中央側の一部領域において露出部４２Ｃよりも第２方向片側（他方側）を開放するように切り欠いた部分である（図８も参照）。このような切欠き部５０Ｂが設けられているため、露出部４２Ｃの一部又は全部が、誘電体部５０を介在させずにシール部材１１０の内面と対向して配置され、露出部４２Ｃとシール部材１１０の間に配線部１３０の一部を配置するスペースが確保される。

このように電極配置面５０Ａ、露出部４２Ｃ、及び切欠き部５０Ｂが設けられた構成に対し、図１０のように配線部１３０と放電電極４２とが接合されている。図１０は、図９の構成に対して配線部１３０を追加した斜視図であり、図３から、シール部材１１０、通気部材１２０を省略した図である。図１０の例では、切欠き部５０Ｂ内における電極配置面５０Ａ上で、配線部１３０と放電電極４２とが接合されている（図８も参照）。具体的には、配線部１３０における電線部１３２と放電電極４２における露出部４２Ｃとが接合され、放電電極４２と配線部１３０との電気的接続が確保されている。そして、図１０のように接合がなされた構成に対し、更に、図１１のように配線部１３０を覆う形で通気部材１２０が配置されている。なお、図１１は、図１０の構成に対して通気部材１２０を追加した斜視図であり、図３から、シール部材１１０を省略した図である。通気部材１２０は、図示しない固定手段（接着剤等の接着媒体やその他の固定手段）によって構造体２０Ａに固定されていてもよく、シール部材１１０によって構造体２０Ａに固定されていてもよい。そして、図１１の構成を部分的に覆う形でシール部材１１０（図３）が設けられ、プラズマ照射装置２０（図３）が構成されている。

１－５．本構成の効果の例示
プラズマ照射装置２０は、ガス誘導路３０の流路３６に向けてガスを流す通気部材１２０が設けられ、通気部材１２０の内部に配線部１３０が配置されている。このプラズマ照射装置２０は、通気部材の外側に配線部が設けられる構成と比較して一層のコンパクト化を図ることができ、沿面放電部４０から外れた周辺部分の嵩張りを確実に抑えることができる。

プラズマ照射装置２０において、第１電極に相当する放電電極４２は、自身の電位がグラウンド電位よりも大きい又は小さい電位に周期的に変化する電極とされている。そして、第２電極に相当する接地電極４４は、自身の電位がグラウンド電位とされる電極とされている。そして、配線部１３０は、放電電極４２に電気的に接続されている。そして、接地電極４４に電気的に接続された第２配線部１４０が、通気部材１２０の外側に配置されている。このプラズマ照射装置２０は、放電電極４２に電気的に接続される配線部１３０が通気部材１２０の内部に配置される構成であるため、グラウンド電位よりも大きい又は小さい電位に変化する電線の周りを通気部材１２０によって囲んだ構成とすることができる。よって、配線部１３０の電位がグラウンド電位よりも大きい又は小さい電位に変化しても、その変化に起因する悪影響がプラズマ照射装置２０の外部に及びにくくなる。

特に、グラウンド電位よりも大きい又は小さい電位に変化する電線とグラウンド電位となる部分との空間距離をより大きく確保することができるため、配線部１３０からの漏れ電流をより抑えることができる。また、配線部１３０が通気部材１２０内に収まる程度に細くなっているため、グラウンド電位となる部分との対向面積をより抑えることができ、この点でも漏れ電流の抑制を図ることができる。しかも、これらの特徴が沿面放電方式の特徴（放電電圧を抑えやすいという特徴）と相乗的に作用するため、漏れ電流の一層の抑制を図ることができる。更に、配線部１３０に印加する高電圧を発生させるための高周波電圧発生回路１１（昇圧トランス等）を手持ち部（具体的にはケース体１４）内に設ければ、高圧配線の長さを短くすることができるため、漏れ電流の更なる抑制を図ることができる。

プラズマ照射装置２０において、通気部材１２０の少なくとも一部にはシールド部が設けられている。そして、シールド部は、導電性を有するとともに放電電極４２とは絶縁された構成をなし且つ放電電極４２とは異なる電位状態とされている。このプラズマ照射装置２０は、放電電極４２に電気的に接続された配線部１３０の周りを通気部材１２０によって囲むだけでなく、その配線部１３０の周りに放電電極４２とは絶縁されたシールド部材を配置することができる。よって、配線部１３０の電位が外部に及ぼす悪影響をより一層抑えることができる。

また、誘電体部５０のうちの第１誘電体層５１（誘電体層）は、放電電極４２が配される電極配置面５０Ａを有している。そして、配線部１３０と放電電極４２は、電極配置面５０Ａ上で接合されている。このプラズマ照射装置２０は、誘電体層に設けられた電極配置面５０Ａ上で配線部１３０と放電電極４２とを接合する構成であるため、製造を行いやすく且つ小型化を図りやすい構成となる。

また、プラズマ照射装置２０には、シール部材１１０が設けられている。そして、シール部材１１０は、流路３６と通気部材１２０との間の空間を囲みつつ通気部材１２０から供給されるガスを流路３６に導く構成をなし、ガス誘導路３０を構成する構造体２０Ａ及び通気部材１２０が嵌り込む構成をなす。このプラズマ照射装置２０は、ガス誘導路３０を構成する構造体２０Ａと通気部材１２０を別々に構成しつつ、構造体２０Ａと通気部材１２０の間の境界部分においてガス漏洩を抑制しつつガス通路を確保することができる。

＜第２実施形態＞
次に、図１２等を参照して第２実施形態のプラズマ照射装置２２０について説明する。
図１２で示すプラズマ照射装置２２０は、図８等で示すプラズマ照射装置２０における通気部材１２０及び配線部１３０の代わりに通気部材２３０が設けられた点が第１実施形態のプラズマ照射装置２０と異なり、その他の点はプラズマ照射装置２０と同一である。よって、以下の説明では、通気部材２３０に関連する構成について詳述し、プラズマ照射装置２０と同一の各部分についてはプラズマ照射装置２０の各部分と同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。なお、図１２で示すプラズマ照射装置２２０は、図１で示す手術用装置１及び先端デバイス３においてプラズマ照射装置２０に代えて設けることができ、このようにすれば、プラズマ照射装置２２０を備えた先端デバイス及び手術用装置を構成し得る。以下では、図１の先端デバイス３及び手術用装置１においてプラズマ照射装置２０に代えてプラズマ照射装置２２０が適用された場合を前提として説明する。なお、図１におけるプラズマ照射装置２０以外の部分については適宜図１の構成を参照することとする。

２－１．通気部材の構成
図１２で示されるように、プラズマ照射装置２２０は、第１実施形態と同様の構造体２０Ａ及びシール部材１１０に加えて、通気部材２３０を備えている。

図１２のように、通気部材２３０は、管状に構成され、ガス誘導路３０の流路３６に向けてガスを流す管路として構成されている。通気部材２３０は、自身の一端側が構造体２０Ａ側に配されるとともに自身の他端側がガス供給装置７（図１）側に配されている。なお、シール部材１１０からガス供給装置７（図１）までの管路全体が通気部材２３０であってもよく、シール部材１１０から上記管路の途中までが通気部材２３０であってもよい。図１２の例では、通気部材２３０を概念的に示しているが、通気部材２３０の一端２３０Ａから他端までの長さは様々に変更できる（図１３、図１４も同様）。また、通気部材２３０は、単一の管状部材によって構成されていてもよく、複数の管状部材が連結された形で設けられていてもよい。

通気部材２３０のうち、一端２３０Ａから所定位置までの間の部位は導電性を有する金属の筒部として構成されており、配線部として機能する。この通気部材２３０は、放電電極４２に電気的に接続される導電路として機能し、放電電極４２に電圧を印加するための経路を構成する。通気部材２３０は、外径が相対的に小さい円筒状の第１筒部２３２と外径が第１筒部よりも相対的に大きい円筒状の第２筒部２３４とを備える。そして、第１筒部２３２が第２筒部２３４よりも構造体２０Ａ側に配置されている。そして、第１筒部２３２と第２筒部２３４の間には、先端側（構造体２０Ａ側）に向かって外径が次第に小さくなる第３筒部２３６が設けられている。図１２の例では、第１筒部２３２と第２筒部２３４と第３筒部２３６とが一体的な金属筒として構成されており、第１筒部２３２、第２筒部２３４、第３筒部２３６の内径は同一となっている。なお、第１筒部２３２、第２筒部２３４、第３筒部２３６の内径が異なっていてもよい。

図１２のように、シール部材１１０は、構造体２０Ａ及び通気部材２３０に密着して配置され、通気部材２３０の一端２３０Ａとガス誘導路３０の導入口３２との間のガス流路を構成する。このシール部材１１０は、流路３６と通気部材２３０との間の空間を囲みつつ通気部材２３０から供給されるガスを流路３６に導く構成をなし、ガス誘導路３０を構成する構造体２０Ａ及び通気部材２３０が嵌り込む構成をなす。通気部材２３０は、一端２３０Ａ付近の端部側領域が開口部１１４Ａから挿入されて通気部材嵌合部１１４と嵌まり合っている。そして、通気部材嵌合部１１４の内周面と上記端部側領域の外周面は、これらの面の間からガスが漏れないように密着している。

図１２の例でも、構造体２０Ａ、通気部材２３０、及びシール部材１１０の外側には、第２配線部１４０が設けられている。第２配線部１４０は、接地電極４４に電気的に接続された導電路であり、グラウンド電位で維持される導電路である。

２－２．配線部の接合構造
図１３のように、プラズマ照射装置２２０は、第１実施形態と同様の構造体２０Ａ及びシール部材１１０を備えており、これらに対して通気部材２３０が取り付けられる構成をなす。通気部材２３０において、第１筒部２３２の外周面には、外面が平坦面（第１平坦面２３２Ａ）として構成された平坦部が形成されており、図１４のように、この平坦部を放電電極４２の露出部４２Ｃに対向させて接合する構成をなしている。具体的には、露出部４２Ｃにおける厚さ方向一方側の外面が平坦形状とされた第２平坦面４２Ｄとして構成されている。そして、切欠き部５０Ｂ内における電極配置面５０Ａ上で、第１平坦面２３２Ａ（図１３）と第２平坦面４２Ｄとを対向させつつ通気部材２３０と放電電極４２とが接合されている（図１２も参照）。通気部材２３０は、図示しない固定手段（接着剤等の接着媒体やその他の固定手段）によって構造体２０Ａに固定されていてもよく、シール部材１１０によって構造体２０Ａに固定されていてもよい。そして、図１４の構成を部分的に覆う形でシール部材１１０（図１３）が設けられ、プラズマ照射装置２２０（図１２）が構成されている。

２－３．本構成の効果の例示
プラズマ照射装置２２０は、ガス誘導路３０の流路３６に向けてガスを流す通気部材２３０が設けられ、この通気部材２３０が放電電極４２（第１電極）に電気的に接続される配線部として構成されている。このプラズマ照射装置２２０は、通気部材２３０の外側に配線部が設けられる構成と比較して一層のコンパクト化を図ることができ、沿面放電部４０から外れた周辺部分の嵩張りを確実に抑えることができる。

プラズマ照射装置２２０は、放電電極４２が第１電極とされており、自身の電位がグラウンド電位よりも大きい又は小さい電位に周期的に変化する電極となっている。そして、接地電極４４が第２電極とされており、自身の電位がグラウンド電位とされる電極となっている。そして、通気部材２３０は、放電電極４２に電気的に接続されている。そして、接地電極４４に電気的に接続された第２配線部１４０が、通気部材２３０の外側に配置されている。このプラズマ照射装置２２０は、放電電極４２に電圧を印加する経路を通気部材２３０によって兼用することができ、この経路の配線を効果的に削減することができる。一方で、接地電極４４に電気的に接続される第２配線部１４０については、通気部材２３０とは別で配線を設けることができるため、通気部材２３０の配置に大きく依存しすぎることなくグラウンド経路を確保しやすくなる。

プラズマ照射装置２２０において、通気部材２３０の外周面には、平坦形状とされた第１平坦面２３２Ａが形成されている。放電電極４２（第１電極）の厚さ方向一方側の外面には、平坦形状とされた第２平坦面４２Ｄが形成されている。そして、第１平坦面２３２Ａと第２平坦面４２Ｄとが対向しつつ接合されている。このプラズマ照射装置２２０は、通気部材２３０の外周面を放電電極４２（第１電極）の外面に対して直接的に接合することができる。よって、通気部材２３０と放電電極４２（第１電極）との間に介在する中間部材を省略又は削減することができ、通気部材２３０と放電電極４２（第１電極）との接合を簡素化することができる。更に、このプラズマ照射装置２２０は、第１平坦面２３２Ａと第２平坦面４２Ｄとを対向させた接合を採用しているため、接合面積を増やすことができ、接合の安定化を図ることができる。

＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態の各態様に限定されるものではなく、例えば、矛盾しない範囲で、複数の実施形態の特徴を組み合わせることが可能である。また、次のような例も本発明の技術的範囲に含まれる。

上記したいずれのプラズマ照射装置２０，２２０においても、使用者によって把持される把持部を有するとともに第３電極を備えてなるケース体が沿面放電部４０を囲むように外部に配置されていてもよい。例えば、図１５で示すプラズマ照射装置３２０は、第１実施形態のプラズマ照射装置２０に加え、構造体２０Ａの外側にケース体３１４を配置したものである。ケース体３１４は、使用者によって把持される把持部３１４Ｃを有するとともに沿面放電部４０の外部に配置され、自身の表面部にはグラウンド電位とされる第３電極３１９が設けられている。ケース体３１４は、例えば、筒状の樹脂ケース体３１８と、樹脂ケース体３１８の外周面を覆う導電性メッキなどからなる第３電極３１９とを有しており、沿面放電部４０の周囲を第３電極３１９が囲む構成をなしている。なお、図１５の例では、樹脂ケースに金属メッキが施されたケース体３１４を示したが、金属ケースに樹脂メッキが施されたケース体であってもよく、この場合、金属ケースが第３電極の一例に相当する。また、図１５のような構成は、図１の構成に適用してもよく、この場合、図１のケース体１４に代えて図１５のケース体３１４を用い、図１でのプラズマ照射装置２０の配置に代えて図１５のようにケース体３１４の内部にプラズマ照射装置２０を配置すればよい。

上述した実施形態では、超音波振動を行い得る先端デバイスにプラズマ照射装置が組み込まれた構成を例示したが、他の電気的機能を有する先端デバイスに上述したいずれかの構成のプラズマ照射装置が組み込まれた構成であってもよい。例えば、図１で開示されるデバイス３とは異なる構造、機能を有する電気メスに上述したいずれかの構成のプラズマ照射装置が組み込まれていてもよい。或いは、電気的な機能を有さない既知の手術用器具（例えば、鉗子等）として構成される先端デバイスに上述したいずれかの構成のプラズマ照射装置が組み込まれた構成であってもよい。

上述した実施形態では、プラズマ照射装置が組み込まれた先端デバイスの一例を示したが、プラズマ照射装置は上記実施形態とは異なる先端デバイスに組み込まれていてもよく、先端デバイスに組み込まれていなくてもよい。例えば、図１で示す構成から一部を省略し、図１６で示すように、プラズマ照射装置２０と制御装置５とガス供給装置７と電源装置９とを備えた構成でプラズマ照射システム４０１を構築してもよい。このプラズマ照射システム４０１は、手術用のシステムとして用いてもよく、手術以外の用途で用いてもよい。図１６の例では、第１実施形態のプラズマ照射装置２０と同様の構成とケース体４１４とを備えた形でプラズマ照射装置４２０が構成され、このプラズマ照射装置４２０が組み込まれた構成で先端デバイス４０３が構成されている。そして、ケース体４１４、構造体２０Ａ、通気部材１２０、配線部１３０等が一体化した形で把持ユニット（手持ち部）が構成されている。この場合、制御装置５には、超音波振動部１２の制御に代えて他の制御を行う機能をもたせればよい。また、この例でも、ケース体４１４は、使用者によって把持される把持部４１４Ｃを有するとともに沿面放電部（図５で示す沿面放電部４０と同様の構成）の外部に配置され、自身の表面部にはグラウンド電位とされる第３電極４１９が設けられている。ケース体４１４は、例えば、筒状の樹脂ケース体４１８と、樹脂ケース体４１８の外周面を覆う導電性メッキなどからなる第３電極４１９とを有しており、構造体２０Ａの周囲を第３電極４１９が囲む構成をなしている。高周波電圧発生回路１１は、図１６のようにケース体４１４の内部に設けてもよく、ケース体４１４の外部に設けてもよい。

明細書において、「生体組織に作用する」とは、作用部材が生体組織に影響を及ぼし、切開と剥離と止血との少なくとも１つを為すことを意味する。上述した実施形態で例示された作用部材はあくまで一例であり、作用部材が生体組織に影響を及ぼし、切開、剥離、止血の少なくとも１つを行い得るようになっていれば、上述した実施形態以外の様々な構成を採用することができる。

２０，２２０，３２０，４２０…プラズマ照射装置
２０Ａ…構造体
３０…ガス誘導路
３４…放出口
３６…流路
４０…沿面放電部
４２…放電電極（第１電極）
４２Ｄ…第２平坦面
４４…接地電極（第２電極）
５０Ａ…電極配置面
５１…第１誘電体層（誘電体層）
５２…第２誘電体層（誘電体層）
５３…第３誘電体層（誘電体層）
５４…第４誘電体層（誘電体層）
１１０…シール部材
１２０…通気部材
１３０…配線部
１４０…第２配線部
２３０…通気部材（配線部）
２３２Ａ…第１平坦面
３１４，４１４…ケース体
３１４Ｃ，４１４Ｃ…把持部
３１９，４１９…第３電極

Claims (9)

1. 先端側に向かってガスを流す流路と、前記流路の先端側において前記流路を流れたガスを放出する放出口と、を有するガス誘導路と、
   誘電体層と、前記誘電体層を介在させて互いに対向して配置される第１電極及び第２電極と、を有し、前記第１電極又は前記第２電極の一方が直接又は他部材を介して前記流路に面しつつ、周期的に変化する電圧が前記第１電極又は前記第２電極に印加されることに応じて前記流路内で沿面放電を発生させる沿面放電部と、
   管状に構成され、前記ガス誘導路の前記流路に向けて前記ガスを流す通気部材と、
   を備えるプラズマ照射装置であって、
   前記第１電極に電気的に接続される配線部を備え、
   前記配線部は、前記通気部材の内部に配置されている
   プラズマ照射装置。
2. 前記第１電極は、自身の電位がグラウンド電位よりも大きい又は小さい電位に周期的に変化する放電電極であり、
   前記第２電極は、自身の電位がグラウンド電位とされる接地電極であり、
   前記配線部は、前記放電電極に電気的に接続されており、
   前記接地電極に電気的に接続された第２配線部が、前記通気部材の外側に配置されている
   請求項１に記載のプラズマ照射装置。
3. 前記通気部材の少なくとも一部には、導電性を有するとともに前記放電電極とは絶縁された構成をなし且つ前記放電電極とは異なる電位状態とされるシールド部が設けられている
   請求項２に記載のプラズマ照射装置。
4. 先端側に向かってガスを流す流路と、前記流路の先端側において前記流路を流れたガスを放出する放出口と、を有するガス誘導路と、
   誘電体層と、前記誘電体層を介在させて互いに対向して配置される第１電極及び第２電極と、を有し、前記第１電極又は前記第２電極の一方が直接又は他部材を介して前記流路に面しつつ、周期的に変化する電圧が前記第１電極又は前記第２電極に印加されることに応じて前記流路内で沿面放電を発生させる沿面放電部と、
   管状に構成され、前記ガス誘導路の前記流路に向けて前記ガスを流す通気部材と、
   を備えるプラズマ照射装置であって、
   前記通気部材は、導電性を有するとともに前記第１電極に電気的に接続される配線部として構成されている
   プラズマ照射装置。
5. 前記第１電極は、自身の電位がグラウンド電位よりも大きい又は小さい電位に周期的に変化する放電電極であり、
   前記第２電極は、自身の電位がグラウンド電位とされる接地電極であり、
   前記通気部材は、前記放電電極に電気的に接続されており、
   前記接地電極に電気的に接続された第２配線部が、前記通気部材の外側に配置されている
   請求項４に記載のプラズマ照射装置。
6. 前記通気部材の外周面には、平坦形状とされた第１平坦面が形成されており、
   前記第１電極の厚さ方向一方側の外面には、平坦形状とされた第２平坦面が形成されており、
   前記第１平坦面と前記第２平坦面とが対向しつつ接合されている
   請求項４又は請求項５に記載のプラズマ照射装置。
7. 使用者によって把持される把持部を有するとともに前記沿面放電部の外部に配置されるケース体を備え、
   前記ケース体には、グラウンド電位とされる第３電極が設けられている
   請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のプラズマ照射装置。
8. 前記誘電体層は、前記第１電極が配される電極配置面を有し、
   前記配線部と前記第１電極は、前記電極配置面上で接合されている
   請求項１から請求項７のいずれか一項に記載のプラズマ照射装置。
9. 前記流路と前記通気部材との間の空間を囲みつつ前記通気部材から供給されるガスを前記流路に導く構成をなし、前記ガス誘導路を構成する構造体及び前記通気部材が嵌り込む構成をなすシール部材を備える
   請求項１から請求項８のいずれか一項に記載のプラズマ照射装置。

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