JP2007207475A - 携帯型大気圧プラズマ発生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】外部絶縁管8に軸方向移動可能に配した接地電極4及びその先端に固設した補助電極4aと、外部絶縁管8の軸心に配した内部絶縁管9と、その内部に配した電力電極3と、外部絶縁管8の後端に配したガス導入用のラバルノズル1と、外部絶縁管8先端のプラズマガス吹出口とで構成し、ガス供給部A-4から供給されたプラズマ生成ガスをラバルノズル1から外部絶縁管8内に導入し、接地電極4及び補助電極4aと電力電極3との間に、プログラマブル高周波電源部A-1により放電用の高周波電力を供給し、かつ電力電極3と被処理物7との間に、パルスバイアス電源A-2により、パルスバイアス電圧を印加してプラズマを発生させるように構成した。
【選択図】図3
Description
反応ガスが前記電極間に高電圧を印加して大気圧近傍でグロー放電あるいは無声放電する筒状放電空間を通過するときプラズマにより励起され、被処理材表面に成膜あるいは表面改質を行う吹出型表面処理装置」である。
前記高速ノズルから前記外部絶縁管内にプラズマ生成用のガスを導入すべく、ガス供給部から該高速ノズルにプラズマ生成用のガスを供給し、かつ前記接地電極及び前記補助電極と前記電力電極との間に、プログラマブル高周波電源により放電用の高周波電力を供給するように構成した携帯型大気圧プラズマ発生装置である。
前記パルスバイアス電源A-2と連動リレー10bとの間及び該パルスバイアス電源A-2と可動式の接地電極4との間にはそれぞれチョークコイルを挿入し、かつ一方の連動リレー10aをコンデンサに代え、同時に前記他方の連動リレー10bを閉じ、直流バイアス(-300V)を後記電力電極3と被処理物(ステンレスSUS304)との間に数秒間にわたって印加したところ、該被処理物の表面に、該直流バイアスの印加直前から継続して生成されていたトーチ状プラズマに含まれる正イオンと思われる粒子の衝撃痕(深さで数μmのオーダ)が観測された。
その表面を過度に加熱することなく荒削りするようなことができる。
A-1 プログラマブル高周波電源部
A-2 パルスバイアス電源部
A-3 分光分析部
A-4 ガス供給部
A-5 PC部(パーソナルコンピュータ)部
B マルチフレキシブルフィーダ系
B-1 電力供給線路部
B-1a 接地スリーブ
B-1b 電力スリーブ
B-1c 絶縁スリーブ
B-2 ガス供給線路部
B-2a ガス導入管
B-3 ファイバー光伝送線路部
B-3a 光ファイバーコンジット
B-4 パルスバイアス電圧印加線路部
B-4a パルスバイアス電圧印加線
C 携帯型大気圧プラズマ発生装置
C-1 放電部
C-2 光検出部
C-3 アウターシェル
C-3a ガス流スイッチ
C-3b ガス励起スイッチ
1 ラバルノズル
3 電力電極
3a 軸方向部
3b 縦方向部
4 接地電極
4a 補助電極
5 光ファイバーコンジット
6 ガス流を示す矢印
7 被処理物
8 外部絶縁管
9 内部絶縁管
10a プログラマブル高周波電圧断続用の連動リレー
10b パルスバイアス電圧断続用の連動リレー
14 絶縁ジャケット
Claims (4)
- 外部絶縁管の外周部にその軸方向に移動可能に配した接地電極と、前記外部絶縁管の外周部先端に配した、前記接地電極と同電位の補助電極と、前記外部絶縁管の軸心に沿って配した内部絶縁管と、前記内部絶縁管内に配した電力電極であって、後記高速ノズルから導入したガスが電離して生成したプラズマガスに、その一部又は全部を接触させるように構成した電力電極と、前記外部絶縁管の後端に配したガス導入用の高速ノズルと、前記外部絶縁管の先端に開口したプラズマガスの吹出口とで構成し、
前記高速ノズルから前記外部絶縁管内にプラズマ生成用のガスを導入すべく、ガス供給部から該高速ノズルにプラズマ生成用のガスを供給し、かつ前記接地電極及び前記補助電極と前記電力電極との間に、プログラマブル高周波電源により放電用の高周波電力を供給するように構成した携帯型大気圧プラズマ発生装置。 - 前記電力電極と導体である被処理物との間に、パルスバイアス電源により、パルスバイアス電圧を印加するように構成した請求項1の携帯型大気圧プラズマ発生装置。
- 前記外部絶縁管の先端まで、該外部絶縁管先端の吹出口近傍の発光状態を観測するために、光ファイバーコンジットを延長した請求項1又は2の携帯型大気圧プラズマ発生装置。
- 前記光ファイバーコンジットを分光分析装置に接続し、該分光分析装置により前記吹出口周辺のガス励起状態を分光モニタし、得られた励起状態データを基準励起状態データと比較し、所望のガス励起状態が得られるように、前記プログラマブル高周波電源の高周波電圧・電流波形、前記ガス供給部の供給するガス種混合割合及び各種のガス流を制御するように構成した請求項3の携帯型大気圧プラズマ発生装置。
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