CN113636267B - 一种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备，属于半导体加工设备技术领域，包括上料壳和上料座，所述上料壳固定安装在上料座的顶部；本发明中，在清洁机构的下方设置有回收机构，清洁机构对于上料皮带进行清理时，清理下的一些余料会直接落入下方的回收机构内，通过压力的逐步增加，最终动力传递齿轮给予底齿条一个强大的反向啮合推动力，将回收箱有效侧推，回收箱会由于其强大的惯性侧移至初始端，此时人工可进行回收，摒弃了传统的定位式的回收结构设计，通过联动设计，可对于回收物的量进行自动监测，同时，可在无需驱动源的情况下，有效将回收物快速送至初始端，无需人工运料，省时省力，提高回收效果与效率，且较为节能。

Description

一种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备

技术领域

本发明属于半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备。

背景技术

半导体一般是指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在电子技术领域应用及其广泛，在许多电子结构内都有半导体结构零部件，能够制作半导体的材料有许多，例如硅、锗、砷化镓等，最常用的是硅材料，在进行半导体加工时，往往需要对于原料进行上料。

现如今的上料设备在其上并未设置有防碎结构，由于一般上料会同时上多个料，在上料设备运行时会发生抖动，从而物料之间会发生相互碰撞，导致上料物发生损坏，同时上料设备内为了对于上料后的皮带进行清理，往往会设置清洁刷，对于皮带清理后，皮带的洁净度得到提升，但装置内的整洁度下降，且清理刷使用一段时间后，本身无法进行自洁，有的设备内额外设置有回收结构，对于清理的一些物料进行收集，进行回收利用，但由于收集端远离输出端，且回收结构为定位式设计，需要人工将回收箱回收，此过程需要耗费许多不必要的时间与人力，会降低工业生产效率。

发明内容

本发明的目的在于：为了解决现如今的上料设备在其上并未设置有防碎结构，由于一般上料会同时上多个料，在上料设备运行时会发生抖动，从而物料之间会发生相互碰撞，导致上料物发生损坏的问题，而提出的一种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：一种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备，包括上料壳和上料座，所述上料壳固定安装在上料座的顶部，所述上料壳的内部设置有上料槽，所述上料壳的后侧外壁上固定安装有传动电机，所述传动电机的输出轴上固定安装的转轴外部固定安装有传动辊，所述传动辊上设置有上料皮带，所述上料皮带设置有放置槽与顶行程槽，所述上料皮带的内表面上设置有内防滑垫，所述上料皮带的上表面固定安装有挤压块，所述上料皮带的内部设置有防碎组件；

所述防碎组件包括承载块与限位滑轴，所述限位滑轴横置固定安装在上料皮带的内部，所述限位滑轴的外部固定安装有侧推弹簧，所述限位滑轴的外部滑动安装有底安装轴，所述侧推弹簧的一端与底安装轴的侧壁相互挤压。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述底安装轴的顶部固定安装有防碎稳固侧板，所述底安装轴位于顶行程槽内，所述承载块通过弹簧轴活动安装在放置槽内，所述承载块的底部固定安装有底限位杆，所述底限位杆的一端卡嵌至所述防碎稳固侧板的底部开设的卡孔内。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述上料壳的内部固定安装有上料板，所述上料板的一端与上料皮带的外表面相互接触并挤压，所述上料板上设置有凹槽。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述上料座的内壁上通过安装架固定安装有清洁机构，所述清洁机构包括刷座，所述刷座的内部纵置固定安装有中置限位杆，所述中置限位杆的外部固定安装有外弹簧，所述中置限位杆的外部滑动安装有挤压轴。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述刷座的内部滑动安装有两个震动侧板，所述两个震动侧板之间位于刷座内通过上顶弹簧设置有清洁刷，所述挤压轴的一端位于清洁刷内侧，所述震动侧板的底部设置有底连接环，所述挤压轴与底连接环之间设置有拉绳。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述上料座的内部横置设置有支撑面，所述支撑面上设置有安装滑槽，所述安装滑槽上滑动安装有回收机构，所述回收机构包括回收箱，所述回收箱的一侧外壁上固定安装有配重块，所述回收箱的内部通过承压弹簧固定安装有载物板，所述载物板的一侧外壁上固定安装有侧杆。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述侧杆的一端穿过所述回收箱的侧壁上开设的开口槽延伸至回收箱的外侧，所述侧杆的底部固定安装有挤压底轴，所述回收箱的底部固定安装有底滑条与底齿条，所述回收箱的侧壁上固定安装有侧手柄，所述侧手柄位于所述上料座的侧壁上开设的侧行程槽内，所述回收箱的底面内壁上设置有储油袋。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述储油袋的底面设置有油管，所述储油袋的侧面上设置有补油管，所述补油管的一端位于底滑条内，所述底滑条的外表面设置有若干油孔，所述油管的一端位于回收箱的外侧，所述上料座的一侧通过合页安装有侧门，所述侧门的一侧外壁上设置有缓冲垫。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述上料座的底面内壁上固定安装有底滑轨，所述底滑轨上滑动安装有动力释放组件，所述动力释放组件包括驱动齿条、回拉动力弹簧与动力传递齿轮，所述驱动齿条滑动安装在底滑轨上，所述驱动齿条的一端固定安装有限位伸缩轴。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述限位伸缩轴的伸缩端贯穿支撑面内开设的卡孔，所述限位伸缩轴与上料壳的一侧内壁之间固定安装有回拉动力弹簧，所述回拉动力弹簧的弹性限度大，所述动力传递齿轮通过转轴转动安装在上料座的内部，所述动力传递齿轮与驱动齿条及底齿条均相互啮合连接。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果是：

1、本发明中，通过该装置的上料壳内设置有上料皮带，同时在上料皮带内设置有防碎组件，在对于上料物进行上料时，将上料物置于上料皮带上，上料物对于防碎组件产生一定压力，通过重力触发联动过程，两个防碎稳固侧板可有效自动对于置于中部的上料物进行定位，使上料物在进行上料时，不会发生不必要的位移与晃动，上料物与上料物之间也不会发生碰撞，相比于传统的上料设备的物料同时上料方式，该设计可有效保障了上料物上料过程的稳定性，也可避免上料物破碎，同时，物料在上料时，达到上料端后，会与上料板接触，可自动将上料物取下，无需人工取物，方便快捷，省时省力。

2、本发明中，通过在该装置的上料座内部安装有清洁机构，同时在上料皮带上设置有挤压块，在上料皮带运行时，该清洁机构的清洁刷可有效对于上料后上料皮带内残留的一些残余料进行清理，与此同时，运动的上料皮带的挤压块可有效对于清洁机构的挤压轴进行挤压，通过联动过程，可有效将清洁刷上清理后内部积攒的杂物进行抖落，且每个挤压块的间距相同，因此清洁刷可进行周期性震动抖尘，通过联动设计，可在能够保证对于上料皮带有效清理的同时，保证对于清洁刷本身的周期清理，从而可持续保持清洁机构的清理效果，达到清洁机构的有效自洁效果。

3、本发明中，通过在清洁机构的下方设置有回收机构，清洁机构对于上料皮带进行清理时，清理下的一些余料会直接落入下方的回收机构内，通过压力的逐步增加，最终动力传递齿轮给予底齿条一个强大的反向啮合推动力，将回收箱有效侧推，由于设置有配重块，回收箱会由于其强大的惯性侧移至初始端，此时人工可进行回收，摒弃了传统的定位式的回收结构设计，通过联动设计，可对于回收物的量进行自动监测，同时，可在无需驱动源的情况下，有效将回收物快速送至初始端，无需人工运料，省时省力，提高回收效果与效率，且较为节能。

4、本发明中，通过在回收箱内设置有储油袋，在载物板下压的过程中，可有效对于储油袋进行挤压，储油袋内的油液可通过油管导入底滑条内，通过底滑条可渗入安装滑槽内，从而对于回收箱的运动起到有效快速的润滑作用，有效降低回收箱弹出后的摩擦阻力，使其能够运动更远的距离，直至运动至初始端，避免长期使用摩擦力增大，无法正常到达指定位置的情况，复位时，可直接通过侧手柄对其进行复位。

附图说明

图1为一种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备的立体结构示意图。

图2为一种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备中上料皮带的立体结构示意图。

图3为一种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备的内部结构示意图。

图4为一种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备中防碎组件的放大立体结构示意图。

图5为一种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备中回收机构的立体结构示意图。

图6为一种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备中回收机构的爆炸立体结构示意图。

图7为一种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备中清洁机构的放大立体结构示意图。

图8为一种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备中上料座侧视的立体结构示意图。

图9为一种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备中A处的放大结构示意图。

图10为一种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备中B处的放大结构示意图。

图例说明：

1、上料槽；2、上料壳；3、上料皮带；4、传动电机；5、凹槽；6、上料板；7、上料座；8、侧行程槽；9、放置槽；10、顶行程槽；11、挤压块；12、防碎组件；121、承载块；122、限位滑轴；123、底限位杆；124、防碎稳固侧板；125、侧推弹簧；126、底安装轴；13、内防滑垫；14、传动辊；15、清洁机构；151、挤压轴；152、清洁刷；153、震动侧板；154、刷座；155、底连接环；156、上顶弹簧；157、中置限位杆；158、外弹簧；159、拉绳；16、动力释放组件；161、驱动齿条；162、限位伸缩轴；163、回拉动力弹簧；164、动力传递齿轮；17、底滑轨；18、支撑面；19、回收机构；191、配重块；192、载物板；193、开口槽；194、底滑条；195、侧杆；196、挤压底轴；197、底齿条；198、补油管；199、回收箱；1910、储油袋；1911、油管；1912、侧手柄；1913、承压弹簧；20、侧门；21、缓冲垫；22、安装滑槽。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-10，本发明提供一种技术方案：一种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备，包括上料壳2和上料座7，所述上料壳2固定安装在上料座7的顶部，所述上料壳2的内部设置有上料槽1，所述上料壳2的后侧外壁上固定安装有传动电机4，所述传动电机4的输出轴上固定安装的转轴外部固定安装有传动辊14，所述传动辊14上设置有上料皮带3，所述上料皮带3设置有放置槽9与顶行程槽10，所述上料皮带3的内表面上设置有内防滑垫13，所述上料皮带3的上表面固定安装有挤压块11，所述上料皮带3的内部设置有防碎组件12；

所述防碎组件12包括承载块121与限位滑轴122，所述限位滑轴122横置固定安装在上料皮带3的内部，所述限位滑轴122的外部固定安装有侧推弹簧125，所述限位滑轴122的外部滑动安装有底安装轴126，所述侧推弹簧125的一端与底安装轴126的侧壁相互挤压，所述底安装轴126的顶部固定安装有防碎稳固侧板124，所述底安装轴126位于顶行程槽10内，所述承载块121通过弹簧轴活动安装在放置槽9内，所述承载块121的底部固定安装有底限位杆123，所述底限位杆123的一端卡嵌至所述防碎稳固侧板124的底部开设的卡孔内，所述上料壳2的内部固定安装有上料板6，所述上料板6的一端与上料皮带3的外表面相互接触并挤压，所述上料板6上设置有凹槽5；

其具体实施方式为：在对于上料物进行上料时，将上料物置于上料皮带3上，上料物对于防碎组件12产生一定压力，承载块121向下位移，带动底限位杆123下移，底限位杆123下移时，一端会脱离防碎稳固侧板124底部卡孔内，此时侧推弹簧125可有效将防碎稳固侧板124侧推，侧推的两个防碎稳固侧板124可有效对于置于中部的上料物进行定位，使上料物在进行上料时，不会发生不必要的位移与晃动，上料物与上料物之间也不会发生碰撞，有效保障了上料物上料过程的稳定性，达到上料端后，会与上料板6接触，可自动将上料物取下；

所述上料座7的内壁上通过安装架固定安装有清洁机构15，所述清洁机构15包括刷座154，所述刷座154的内部纵置固定安装有中置限位杆157，所述中置限位杆157的外部固定安装有外弹簧158，所述中置限位杆157的外部滑动安装有挤压轴151，所述刷座154的内部滑动安装有两个震动侧板153，所述两个震动侧板153之间位于刷座154内通过上顶弹簧156设置有清洁刷152，所述挤压轴151的一端位于清洁刷152内侧，所述震动侧板153的底部设置有底连接环155，所述挤压轴151与底连接环155之间设置有拉绳159；

其具体实施方式为：在上料皮带上设置有挤压块，在上料皮带3运行时，该清洁机构15的清洁刷152可有效对于上料后上料皮带3内残留的一些残余料进行清理，与此同时，运动的上料皮带3的挤压块11可有效对于清洁机构15的挤压轴151进行挤压，被挤压下降的挤压轴151会带动拉绳159下移，拉绳159拉动震动侧板153位移，对于清洁刷152进行挤压，使清洁刷152发生震动，可有效将清洁刷152上清理后内部积攒的杂物进行抖落，且每个挤压块11的间距相同，因此清洁刷152可进行周期性震动抖尘；

所述上料座7的内部横置设置有支撑面18，所述支撑面18上设置有安装滑槽22，所述安装滑槽22上滑动安装有回收机构19，所述回收机构19包括回收箱199，所述回收箱199的一侧外壁上固定安装有配重块191，所述回收箱199的内部通过承压弹簧1913固定安装有载物板192，所述载物板192的一侧外壁上固定安装有侧杆195所述侧杆195的一端穿过所述回收箱199的侧壁上开设的开口槽193延伸至回收箱199的外侧，所述侧杆195的底部固定安装有挤压底轴196，所述回收箱199的底部固定安装有底滑条194与底齿条197，所述回收箱199的侧壁上固定安装有侧手柄1912，所述侧手柄1912位于所述上料座7的侧壁上开设的侧行程槽8内，所述上料座7的底面内壁上固定安装有底滑轨17，所述底滑轨17上滑动安装有动力释放组件16，所述动力释放组件16包括驱动齿条161、回拉动力弹簧163与动力传递齿轮164，所述驱动齿条161滑动安装在底滑轨17上，所述驱动齿条161的一端固定安装有限位伸缩轴162，所述限位伸缩轴162的伸缩端贯穿支撑面18内开设的卡孔，所述限位伸缩轴162与上料壳2的一侧内壁之间固定安装有回拉动力弹簧163，所述回拉动力弹簧163的弹性限度大，所述动力传递齿轮164通过转轴转动安装在上料座7的内部，所述动力传递齿轮164与驱动齿条161及底齿条197均相互啮合连接；

其具体实施方式为：清洁机构15对于上料皮带3进行清理时，清理下的一些余料会直接落入下方的回收机构19内，由于对于余料的不断承接，回收机构19内载物板192上承受的重力逐步增加，当载物板192上承载的物料到达一定量时，载物板192上承载的压力已经大于承压弹簧1913的弹力了，载物板192会下降，同时侧壁的侧杆195与挤压底轴196会同时下降，挤压底轴196可将动力释放组件16的限位伸缩轴162的伸缩端下压至支撑面18以下，此时，由于回拉动力弹簧163强大的回拉力，可将驱动齿条161侧拉，从而通过动力传递齿轮164给予底齿条197一个强大的反向啮合推动力，将回收箱199有效侧推，由于设置有配重块191，回收箱199会由于其强大的惯性侧移至初始端，此时人工可进行回收；

所述回收箱199的底面内壁上设置有储油袋1910，所述储油袋1910的底面设置有油管1911，所述储油袋1910的侧面上设置有补油管198，所述补油管198的一端位于底滑条194内，所述底滑条194的外表面设置有若干油孔，所述油管1911的一端位于回收箱199的外侧，所述上料座7的一侧通过合页安装有侧门20，所述侧门20的一侧外壁上设置有缓冲垫21；

其具体实施方式为：在载物板192下压的过程中，可有效对于储油袋1910进行挤压，储油袋1910内的油液可通过油管1911导入底滑条194内，通过底滑条194可渗入安装滑槽22内，从而对于回收箱199的运动起到有效快速的润滑作用。

工作原理：在对于上料物进行上料时，将上料物置于上料皮带3上，上料物对于防碎组件12产生一定压力，承载块121向下位移，带动底限位杆123下移，底限位杆123下移时，一端会脱离防碎稳固侧板124底部卡孔内，此时侧推弹簧125可有效将防碎稳固侧板124侧推，侧推的两个防碎稳固侧板124可有效对于置于中部的上料物进行定位，使上料物在进行上料时，不会发生不必要的位移与晃动，上料物与上料物之间也不会发生碰撞，有效保障了上料物上料过程的稳定性，达到上料端后，会与上料板6接触，可自动将上料物取下，在上料皮带上设置有挤压块，在上料皮带3运行时，该清洁机构15的清洁刷152可有效对于上料后上料皮带3内残留的一些残余料进行清理，与此同时，运动的上料皮带3的挤压块11可有效对于清洁机构15的挤压轴151进行挤压，被挤压下降的挤压轴151会带动拉绳159下移，拉绳159拉动震动侧板153位移，对于清洁刷152进行挤压，使清洁刷152发生震动，可有效将清洁刷152上清理后内部积攒的杂物进行抖落，且每个挤压块11的间距相同，因此清洁刷152可进行周期性震动抖尘，清洁机构15对于上料皮带3进行清理时，清理下的一些余料会直接落入下方的回收机构19内，由于对于余料的不断承接，回收机构19内载物板192上承受的重力逐步增加，当载物板192上承载的物料到达一定量时，载物板192上承载的压力已经大于承压弹簧1913的弹力了，载物板192会下降，同时侧壁的侧杆195与挤压底轴196会同时下降，挤压底轴196可将动力释放组件16的限位伸缩轴162的伸缩端下压至支撑面18以下，此时，由于回拉动力弹簧163强大的回拉力，可将驱动齿条161侧拉，从而通过动力传递齿轮164给予底齿条197一个强大的反向啮合推动力，将回收箱199有效侧推，由于设置有配重块191，回收箱199会由于其强大的惯性侧移至初始端，此时人工可进行回收，在载物板192下压的过程中，可有效对于储油袋1910进行挤压，储油袋1910内的油液可通过油管1911导入底滑条194内，通过底滑条194可渗入安装滑槽22内，从而对于回收箱199的运动起到有效快速的润滑作用。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备，包括上料壳（2）和上料座（7），其特征在于：所述上料壳（2）固定安装在上料座（7）的顶部，所述上料壳（2）的内部设置有上料槽（1），所述上料壳（2）的后侧外壁上固定安装有传动电机（4），所述传动电机（4）的输出轴上固定安装的转轴外部固定安装有传动辊（14），所述传动辊（14）上设置有上料皮带（3），所述上料皮带（3）设置有放置槽（9）与顶行程槽（10），所述上料皮带（3）的内表面上设置有内防滑垫（13），所述上料皮带（3）的上表面固定安装有挤压块（11），所述上料皮带（3）的内部设置有防碎组件（12）；

所述防碎组件（12）包括承载块（121）与限位滑轴（122），所述限位滑轴（122）横置固定安装在上料皮带（3）的内部，所述限位滑轴（122）的外部固定安装有侧推弹簧（125），所述限位滑轴（122）的外部滑动安装有底安装轴（126），所述侧推弹簧（125）的一端与底安装轴（126）的侧壁相互挤压，所述底安装轴（126）的顶部固定安装有防碎稳固侧板（124），所述底安装轴（126）位于顶行程槽（10）内，所述承载块（121）通过弹簧轴活动安装在放置槽（9）内，所述承载块（121）的底部固定安装有底限位杆（123），所述底限位杆（123）的一端卡嵌至所述防碎稳固侧板（124）的底部开设的卡孔内。

2.根据权利要求1所述的一种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备，其特征在于，所述上料壳（2）的内部固定安装有上料板（6），所述上料板（6）的一端与上料皮带（3）的外表面相互接触并挤压，所述上料板（6）上设置有凹槽（5）。

3.根据权利要求2所述的一种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备，其特征在于，所述上料座（7）的内壁上通过安装架固定安装有清洁机构（15），所述清洁机构（15）包括刷座（154），所述刷座（154）的内部纵置固定安装有中置限位杆（157），所述中置限位杆（157）的外部固定安装有外弹簧（158），所述中置限位杆（157）的外部滑动安装有挤压轴（151）。

4.根据权利要求3所述的一种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备，其特征在于，所述刷座（154）的内部滑动安装有两个震动侧板（153），所述两个震动侧板（153）之间位于刷座（154）内通过上顶弹簧（156）设置有清洁刷（152），所述挤压轴（151）的一端位于清洁刷（152）内侧，所述震动侧板（153）的底部设置有底连接环（155），所述挤压轴（151）与底连接环（155）之间设置有拉绳（159）。

5.根据权利要求4所述的一种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备，其特征在于，所述上料座（7）的内部横置设置有支撑面（18），所述支撑面（18）上设置有安装滑槽（22），所述安装滑槽（22）上滑动安装有回收机构（19），所述回收机构（19）包括回收箱（199），所述回收箱（199）的一侧外壁上固定安装有配重块（191），所述回收箱（199）的内部通过承压弹簧（1913）固定安装有载物板（192），所述载物板（192）的一侧外壁上固定安装有侧杆（195）。

6.根据权利要求5所述的一种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备，其特征在于，所述侧杆（195）的一端穿过所述回收箱（199）的侧壁上开设的开口槽（193）延伸至回收箱（199）的外侧，所述侧杆（195）的底部固定安装有挤压底轴（196），所述回收箱（199）的底部固定安装有底滑条（194）与底齿条（197），所述回收箱（199）的侧壁上固定安装有侧手柄（1912），所述侧手柄（1912）位于所述上料座（7）的侧壁上开设的侧行程槽（8）内，所述回收箱（199）的底面内壁上设置有储油袋（1910）。

7.根据权利要求6所述的一种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备，其特征在于，所述储油袋（1910）的底面设置有油管（1911），所述储油袋（1910）的侧面上设置有补油管（198），所述补油管（198）的一端位于底滑条（194）内，所述底滑条（194）的外表面设置有若干油孔，所述油管（1911）的一端位于回收箱（199）的外侧，所述上料座（7）的一侧通过合页安装有侧门（20），所述侧门（20）的一侧外壁上设置有缓冲垫（21）。

8.根据权利要求7所述的一种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备，其特征在于，所述上料座（7）的底面内壁上固定安装有底滑轨（17），所述底滑轨（17）上滑动安装有动力释放组件（16），所述动力释放组件（16）包括驱动齿条（161）、回拉动力弹簧（163）与动力传递齿轮（164），所述驱动齿条（161）滑动安装在底滑轨（17）上，所述驱动齿条（161）的一端固定安装有限位伸缩轴（162）。

9.根据权利要求8所述的一种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备，其特征在于，所述限位伸缩轴（162）的伸缩端贯穿支撑面（18）内开设的卡孔，所述限位伸缩轴（162）与上料壳（2）的一侧内壁之间固定安装有回拉动力弹簧（163），所述回拉动力弹簧（163）的弹性限度大，所述动力传递齿轮（164）通过转轴转动安装在上料座（7）的内部，所述动力传递齿轮（164）与驱动齿条（161）及底齿条（197）均相互啮合连接。

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