CN113412687A - 导电图案的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供制造即使在100℃以下的低温下导电性仍优异的微细的导电图案的方法。提供导电图案的制造方法，其具有下述工序：(1)在基材上形成包含导电性粒子(a)、树脂(b)、两性离子化合物(c1)及/或季铵盐化合物(c2)的图案的工序；和(2)使25℃时的pH为1.2～3.5的酸性水溶液与所形成的图案接触的工序。

Description

导电图案的制造方法

技术领域

本发明涉及导电图案的制造方法。

背景技术

近年来，广泛使用了触控面板作为输入手段。触控面板由液晶面板、有机EL(Electroluminescence，电致发光)面板等显示部和对输入到特定位置的信息进行检测的触控传感器等构成。触控面板的方式根据输入位置的检测方法，大致分为电阻膜式、静电电容式、光学式、电磁感应式、超声波式等。其中，由于光学上明亮、设计性优异、结构简易和功能性优异等理由，广泛使用静电电容式的触控面板。

静电电容式的触控传感器具有隔着绝缘层而与第一电极正交的第二电极，将向触控面板面的电极施加电压、通过对手指等导电体触摸时的静电电容变化进行检测而得的接触位置作为信号输出。作为静电电容式的触控传感器中使用的布线电极，从不易看到布线电极的观点考虑，一般使用氧化铟锡等透明布线电极，但近年来，由于高灵敏度化、画面的大型化，使用了金属材料的不透明布线电极正在推广。另外，为了提高触控传感器的高精细化、薄膜化、可视性，要求将不透明布线电极直接形成于液晶面板、有机EL面板等的显示部。因此，除了形成微细图案之外，还需要在低温下形成导电图案。因此，作为形成在低温固化条件下显示导电性的微细的导电图案的技术，提出了含有导电性填料、两性离子化合物及热固性化合物的导电糊剂(例如，参见专利文献1)。另外，作为使导电图案层的电阻降低的技术，提出了对导电图案层进行使之与室温下的强酸水溶液接触的强酸处理工序、使之与温度高于室温的弱酸水溶液接触的弱酸处理工序，形成导电图案层中的金属粒子的至少一部分融合而成的连接来使导电图案层的表面电阻率下降的方法(例如，参见专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2014/208445号

专利文献2：日本特开2012-15143号公报

发明内容

发明所要解决的课题

利用专利文献1～2的技术，虽然可以于较以往低的低温显示出导电性，但近年来，要求更低温下的导电性，在100℃以下的低温条件下仍存在导电性不充分的课题。

鉴于前述课题，本发明的目的在于，提供制造即使在100℃以下的低温下导电性仍优异的微细的导电图案的方法。

用于解决课题的手段

本发明涉及导电图案的制造方法，其具有下述工序：

(1)在基材上形成包含导电性粒子(a)、树脂(b)、以及两性离子化合物(c1)及/或季铵盐化合物(c2)的图案的工序；和

(2)使25℃时的pH为1.2～3.5的酸性水溶液与所形成的图案接触的工序。

发明的效果

根据本发明，能够形成即使在100℃以下的低温下导电性也仍优异的微细导电图案。

附图说明

图1为实施例中用于导电性评价的光掩模的透光图案的示意图。

具体实施方式

本发明的导电图案的制造方法具有下述工序：

(1)在基材上形成包含导电性粒子(a)、树脂(b)、以及两性离子化合物(c1)及/或季铵盐化合物(c2)的图案的工序(以下，有时记载为工序(1))；和

(2)使25℃时的pH为1.2～3.5的酸性水溶液与所形成的图案接触的工序(以下，有时记载为工序(2))。

利用本发明的制造方法得到的导电图案成为树脂(b)的有机成分与导电性粒子(a)的无机成分的复合物，导电性粒子(a)彼此由原子扩散现象而相互接触，由此显示出导电性。树脂(b)作为粘合剂具有使图案与基材的密合性提高的作用。通过使含有两性离子化合物(c1)及/或季铵盐化合物(c2)的图案与酸性水溶液接触，酸性水溶液促进原子从导电图案中的导电性粒子表面扩散，即使为100℃以下的低温，仍能够提高导电性。

首先，针对工序(1)进行说明。

作为基材，例如可举出聚对苯二甲酸乙二醇酯(以下，有时记为“PET”。)膜等聚酯膜、聚酰亚胺膜、芳族聚酰胺膜、环氧树脂膜、聚醚酰亚胺膜、聚醚酮膜、聚砜系膜、玻璃基板、硅晶片、氧化铝基板、氮化铝基板、碳化硅基板、形成有装饰层的基板、形成有绝缘层的基板，等等。

工序(1)中形成的图案含有导电性粒子(a)。作为导电性粒子(a)，例如可举出银、金、铜、铂、铅、锡、镍、铝、钨、钼、铬、钛、铟、这些金属的合金等的粒子。也可以含有它们中的2种以上。在这些当中，从导电性的观点考虑，优选选自银、金及铜的金属的粒子，从成本及稳定性的观点考虑，更优选银粒子。

导电性粒子(a)可以具有两层以上的层结构。例如，可以具有在由铜形成的核的表面上具有由银形成的壳的核壳结构。另外，导电性粒子(a)也可以利用有机成分、无机氧化物等被覆表面。有机成分作为小粒径的导电性粒子的分散剂、导电助剂发挥功能。作为有机成分，例如可举出脂肪酸、胺、硫醇、氰化物等。

对于导电性粒子(a)的体积平均粒径而言，从适度地抑制粒子间的相互作用、使图案中的导电性粒子(a)的分散性提高的观点考虑，优选为0.1μm以上。另一方面，对于导电性粒子(a)的体积平均粒径而言，从使导电图案的表面平滑度及尺寸精度提高、形成更微细的导电图案的观点考虑，优选为2.0μm以下。这里，导电性粒子(a)的体积平均粒径可通过如下方法求出：使用THF(四氢呋喃)等可溶解树脂成分的溶剂而使所形成的图案溶解，进行离心分离，使除去了树脂成分的固体成分沉淀并将其回收。接下来，针对回收的固体成分利用扫描电子显微镜(SEM)或透射电子显微镜(TEM)来观察导电性粒子(a)，随机地选择100个导电性粒子(a)的一次粒子来取得图像，对各个一次粒子利用图像解析求出换算为圆时的直径，算出以体积进行加权而得的平均直径。

图案中的导电性粒子(a)的含量优选为65～90质量％。若导电性粒子(a)的含量为65质量％以上，则后述的工序(2)中的导电性粒子(a)彼此的接触概率提高，能够使导电性进一步提高。另一方面，若导电性粒子(a)的含量为90重量％以下，则能够通过光刻形成更微细的图案。此处，导电图案中的导电性粒子(a)的比例可通过如下方法求出：刮取所形成的图案，利用TG-DTA(示差热天平)于400～600℃使有机成分燃烧，从而求出导电图案中的无机固体成分的比例，使残留的无机固体成分溶解于硝酸等，进行ICP发光分光分析，从而测定无机固体成分中的导电性粒子(a)的比例。

工序(1)中形成的图案含有树脂(b)。作为树脂，例如可举出丙烯酸树脂、聚酯树脂、酚醛树脂、环氧树脂、丙烯酸聚氨酯树脂、聚醚聚氨酯树脂、苯氧基树脂、聚碳酸酯树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂等。也可以含有它们中的2种以上。

利用光刻进行工序(1)中的图案形成的情况下，前述树脂(b)优选具有羧基，优选使用后述的感光性糊剂。

作为含有羧基的树脂，例如可举出丙烯酸系共聚物、羧酸改性环氧树脂、羧酸改性酚醛树脂、聚酰胺酸、羧酸改性硅氧烷聚合物等。也可以含有它们中的2种以上。在这些当中，优选紫外光透过率高的丙烯酸系共聚物或羧酸改性环氧树脂。

作为丙烯酸系共聚物，优选丙烯酸系单体与不饱和酸或其酸酐的共聚物，此外，也可以为与具有不饱和双键的其他单体的共聚物。

作为丙烯酸系单体，例如可举出：丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯(以下，有时记为“EA”。)、丙烯酸2-乙基己酯、丙烯酸正丁酯(以下，有时记为“BA”。)、丙烯酸异丁酯、丙烯酸异丙酯、丙烯酸缩水甘油酯、丁氧基三乙二醇丙烯酸酯、丙烯酸二环戊基酯、丙烯酸二环戊烯基酯、丙烯酸2-羟基乙酯、丙烯酸异冰片酯、丙烯酸2-羟基丙酯、丙烯酸异癸酯、丙烯酸异辛酯、丙烯酸月桂酯、丙烯酸2-甲氧基乙酯、甲氧基乙二醇丙烯酸酯、甲氧基二乙二醇丙烯酸酯、丙烯酸八氟戊酯、丙烯酸苯氧基乙酯、丙烯酸硬脂酯、丙烯酸三氟乙酯、丙烯酸氨基乙酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸苯氧基乙酯、丙烯酸1-萘酯、丙烯酸2-萘酯、苯硫酚丙烯酸酯、苯甲硫醇丙烯酸酯、烯丙基化环己基二丙烯酸酯、甲氧基化环己基二丙烯酸酯、1,4-丁二醇二丙烯酸酯、1,3-丁二醇二丙烯酸酯、乙二醇二丙烯酸酯、二乙二醇二丙烯酸酯、三乙二醇二丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、丙二醇二丙烯酸酯、聚丙二醇二丙烯酸酯、三丙三醇二丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、二(三羟甲基丙烷)四丙烯酸酯、二季戊四醇单羟基五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、丙烯酰胺、N-甲氧基甲基丙烯酰胺、N-乙氧基甲基丙烯酰胺、N-正丁氧基甲基丙烯酰胺、N-异丁氧基甲基丙烯酰胺、甲基丙烯酸苯酚、甲基丙烯酰胺苯酚、γ-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、N-(2-羟苯基)丙烯酰胺、N-(3-羟苯基)丙烯酰胺、N-(4-羟苯基)丙烯酰胺、邻羟基苯基丙烯酸酯、间羟基苯基丙烯酸酯、对羟基苯基丙烯酸酯、2-(2-羟苯基)乙基丙烯酸酯、2-(3-羟苯基)乙基丙烯酸酯、2-(4-羟苯基)乙基丙烯酸酯等，将上述化合物的丙烯酰基取代成甲基丙烯酰基而成的化合物等。在这些当中，特别优选为选自丙烯酸乙酯、丙烯酸2-羟基乙酯及丙烯酸异冰片酯的单体。也可以使用它们中的2种以上。

作为不饱和酸或其酸酐，例如可举出丙烯酸(以下，有时记为“AA”。)、甲基丙烯酸、衣康酸、巴豆酸、马来酸、富马酸、乙酸乙烯酯、它们的酸酐等。也可以使用它们中的2种以上。利用不饱和酸的共聚比，能够调节丙烯酸系共聚物的酸值。

作为其他具有不饱和双键的单体，例如可举出：邻羟基苯乙烯、间羟基苯乙烯、对羟基苯乙烯等。也可以使用它们中的2种以上。

作为羧酸改性环氧树脂，优选为环氧化合物与不饱和酸或不饱和酸酐的反应物。此处，所谓羧酸改性环氧树脂，是将环氧化合物的环氧基以羧酸或羧酸酐改性而得的物质，不含环氧基。

作为环氧化合物，例如可举出：缩水甘油基醚类、缩水甘油基胺类、环氧树脂等。更具体地说，作为缩水甘油基醚类，例如可举出：甲基缩水甘油基醚、乙基缩水甘油基醚、丁基缩水甘油基醚、乙二醇二缩水甘油基醚、二乙二醇二缩水甘油基醚、丙二醇二缩水甘油基醚、三丙二醇二缩水甘油基醚、新戊二醇二缩水甘油基醚、双酚A二缩水甘油基醚、氢化双酚A二缩水甘油基醚、双酚F二缩水甘油基醚、双酚S二缩水甘油基醚、双酚芴二缩水甘油基醚、双酚二缩水甘油基醚、四甲基双酚缩水甘油基醚、三羟甲基丙烷三缩水甘油基醚、3’,4’-环氧环己基甲基-3,4-环氧环己烷羧酸酯等。作为缩水甘油基胺类，例如可举出叔丁基缩水甘油基胺等。作为环氧树脂，例如可举出双酚A型环氧树脂、双酚F型环氧树脂、联苯型环氧树脂、Novolac型环氧树脂、氢化双酚A型环氧树脂等。也可以使用它们中的2种以上。

作为不饱和酸或不饱和酸酐，可举出前文中作为丙烯酸系共聚物的原料而例示出的那些等。

通过使(甲基)丙烯酸缩水甘油酯等具有不饱和双键的化合物与前述的丙烯酸系共聚物、羧酸改性环氧树脂反应，能够导入不饱和双键。通过在树脂(b)中导入不饱和双键，能够在曝光时提高曝光部分的交联密度，扩大显影裕度，能够形成更微细的图案。

作为树脂(b)，也能够优选使用具有酚羟基的树脂。通过使树脂(b)具有酚羟基，能够与基材表面的羟基、氨基等极性基团形成氢键，使图案与基材的密合性提高。

树脂(b)的酸值优选为50～250mgKOH/g。若酸值为50mgKOH/g以上，则在显影液中的溶解度变高，能够抑制显影残渣的产生。酸值更优选为60mgKOH/g以上。另一方面，若酸值为250mgKOH/g以下，则能够抑制在显影液中的过度溶解，能够抑制图案的膜减损。酸值更优选为200mgKOH/g以下。需要说明的是，树脂(b)的酸值可根据JIS K 0070(1992)进行测定。

工序(1)中形成的图案含有两性离子化合物(c1)及/或季铵盐化合物(c2)。其中，“及/或”是指选自由两性离子化合物(c1)及季铵盐化合物(c2)组成的组中的至少一种。

所谓两性离子化合物(c1)，是指在1分子内具有正电荷和负电荷这两者的化合物。作为两性离子化合物(c1)，例如可举出：丙氨酸、亮氨酸、肉碱、乙酰肉碱、N,N,N-三甲基甘氨酸(别名：甘氨酸甜菜碱)、N,N,N-三乙基甘氨酸、N,N,N-三丙基甘氨酸、N,N,N-三异丙基甘氨酸、N,N,N-三甲基-γ-氨基酪酸、N,N,N-三甲基丙胺酸、N,N,N-三乙基丙胺酸、N,N,N-三异丙基丙胺酸、N,N,N-三甲基-2-甲基丙胺酸、N,N,N-三甲基丙酸-N,N,N-三甲基铵、脯胺酸甜菜碱等具有阳离子性季铵中心和阴离子性羧酸盐中心这两者的低分子甜菜碱。

另外，可举出月桂基甜菜碱(例如，AMPHITOL 24B(商品名，有效成分26重量％；花王(株)制))、硬脂基甜菜碱、月桂酰胺丙基甜菜碱、椰子油脂肪酰胺丙基甜菜碱、辛酰胺丙基甜菜碱或2-烷基-N-羧基甲基-N-羟基乙基咪唑啉鎓甜菜碱(例如、AMPHITOL20YB(商品名，有效成分40重量％；花王(株)制))等具有阳离子性季铵中心和阴离子性羧酸盐中心这两者的两性表面活性剂。

另外，“YUKAFORMER(注册商标)”AMPHOSET、“YUKAFORMER”104D、“YUKAFORMER”301、“YUKAFORMER”SM(以上均为商品名，三菱化学(株)制)、RAM RESIN-1000、RAM RESIN-2000、RAM RESIN-3000、RAM RESIN-4000(以上均为商品名，大阪有机化学工业(株)制)等在侧链具有阳离子性季铵中心和阴离子性羧酸盐中心这两者的聚合物。

另外，乙酸吡啶(日文：ピリジノアセテート)、丙酸吡啶(日文：ピリジノプ口ピオネート)或葫芦巴碱等具有阳离子性吡啶鎓中心和阴离子性羧酸盐中心两者的化合物。

另外，可举出十八烷基二甲基(3-磺基丙基)氢氧化铵分子内盐、十二烷基二甲基(3-磺基丙基)氢氧化铵分子内盐、硬脂基磺基甜菜碱、棕榈基磺基甜菜碱、肉豆蔻基磺基甜菜碱、月桂基磺基甜菜碱、椰油酰胺丙基羟基磺基甜菜碱、3-(乙基二甲基铵)丙烷-1-磺酸盐或3-(苄基二甲基铵)丙烷-1-磺酸盐等阳离子性季铵中心和阴离子性磺酸盐中心这两者的化合物。

另外，可举出1-(3-磺基丙基)氢氧化吡啶鎓分子内盐等具有阳离子性吡啶鎓中心和阴离子性磺酸盐中心的化合物。

另外，可举出磷脂酰胆碱或卵磷脂等具有阳离子性季铵中心和阴离子性磷酸盐中心这两者的化合物。

另外，可举出月桂基二甲基胺N-氧化物、油基二甲基胺N-氧化物、烟酸N-氧化物、2-甲基吡啶N-氧化物、三甲基胺N-氧化物或吡啶N-氧化物等胺氧化物型化合物。

或者，可举出丙氨酸、精氨酸、天冬酰胺、天冬氨酸、半胱氨酸、谷酰胺、谷氨酸、甘氨酸、组氨酸、异亮氨酸、亮氨酸、赖氨酸、蛋氨酸、苯丙氨酸、脯氨酸、丝氨酸、苏氨酸、色氨酸、酪氨酸、缬氨酸、N-甲基甘氨酸、β-丙氨酸、鸟氨酸、肌酸、γ-氨基丁酸、茶氨酸或红藻氨酸等氨基酸等。

作为两性离子化合物(c1)，优选为氨基酸或具有由下述通式(1)或者(2)表示的结构的化合物。

[化学式1]

通式(1)中，R¹、R²及R³各自独立地表示一价有机基团，L¹表示2价连接基团。R³及R²或L¹可以相互连接而形成环。即，R³和R²、R³和L¹、R²和L¹各自独立地可以相互连接而形成环。

[化学式2]

通式(2)中，R⁴表示与吡啶鎓环的1～6位中任一处键合的碳原子数为1～6的烷基，L²表示与吡啶鎓环的1～6位中任一处键合的2价连接基团。n表示R⁴的数目，其为0～4的整数。

上述R¹、R²及R³优选各自独立地为碳原子数为1～6的烷基。作为具有由通式(1)表示的结构，上述R¹、R²及R³为碳原子数为1～6的烷基的化合物，例如可举出：肉毒碱、乙酰基肉毒碱、N,N,N-三甲基甘氨酸、N,N,N-三乙基甘氨酸、N,N,N-三丙基甘氨酸、N,N,N-三异丙基甘氨酸、N,N,N-三甲基-γ-氨基丁酸、N,N,N-三甲基丙氨酸、N,N,N-三乙基丙氨酸、N,N,N-三异丙基丙氨酸、N,N,N-三甲基-2-甲基丙氨酸或N,N,N-三甲基丙酸铵等。更优选为肉毒碱或N,N,N-三甲基甘氨酸。

R⁴优选为甲基，表示R⁴的数目的n优选为3。作为R⁴为甲基、表示R⁴的数目的n为3的化合物，优选为2,4,6-三甲基-3-吡啶基乙酸，分子内盐。

作为2价连接基团L¹、L²，例如可举出：亚烷基、亚烯基、亚炔基或者亚芳基等烃基、噻吩-2,5-二基或者吡嗪-2,3-二基等源自具有芳香族杂环的化合物(杂芳香族化合物)的2价连接基团，源自O或者S等硫属原子的2价连接基团或烷基亚氨基、二烷基硅烷二基或者二芳基锗烷二基等介由杂原子进行连接的基团。亚烷基可以具有羟基等取代基。作为亚烷基，优选为亚甲基、亚乙基、三亚甲基或四亚甲基。

通过使包含这些两性离子化合物(c1)的导电图案与酸性水溶液接触，使酸性水溶液渗入导电图案内部，促进导电性粒子(a)的离子化及扩散，由此能够在低温且短时间内得到良好的导电性。

相对于前述导电性粒子(a)100重量份，本发明中的两性离子化合物(c1)的含量优选为0.01～5重量份。若两性离子化合物(c1)的含量为0.01重量份以上，则能够在低温固化条件下进一步提高导电性。两性离子化合物(c1)的含量更优选为0.05重量份以上。另一方面，若两性离子化合物(c1)的含量为5重量份以下，则能够抑制显影时的剥落，能够形成微细的图案。两性离子化合物(c1)的含量更优选为3重量份以下。

作为季铵盐化合物(c2)，例如可举出氯化季铵化合物、溴化季铵化合物、碘化季铵化合物、它们的水和物等。作为氯化季铵化合物，例如可举出：苄基二甲基硬脂基氯化铵、二(十二烷基)二甲基氯化铵、苄基十六烷基二甲基氯化铵、苯扎氯铵、二癸基二甲基氯化铵、苄基十二烷基二甲基氯化铵、十六烷基三甲基氯化铵、三甲基十四烷基氯化铵、四丁基氯化铵、十二烷基三甲基氯化铵、氯化苯甲酰胆碱、癸基三甲基氯化铵、苄基三甲基氯化铵、四丙基氯化铵、三乙基甲基氯化铵、氯化乙酰胆碱、四乙基氯化铵、二烯丙基二甲基氯化铵、氯化胆碱、四甲基氯化铵等。作为溴化季铵化合物，例如可举出将作为氯化季铵化合物而例示出的化合物的氯替换为溴而成的化合物等。作为碘化季铵化合物，例如可举出将作为氯化季铵化合物而例示出的化合物的氯替换为碘而成的化合物等。可以含有它们中的2种以上。对于这些化合物而言，能够在酸性水溶液下通过将导电性粒子(a)的表面活化而促进原子从导电性粒子表面扩散，能够在低温且短时间内得到导电性。

相对于前述导电性粒子(a)100重量份，本发明中的季铵盐化合物(c2)的含量优选为0.01～5重量份。若季铵盐化合物(c2)的含量为0.01重量份以上，则能够在低温固化条件下进一步提高导电性。两性离子化合物(c2)的含量更优选为0.05重量份以上。另一方面，若季铵盐化合物(c2)的含量为5重量份以下，则能够抑制显影时的剥落，能够形成微细的图案。两性离子化合物(c2)的含量更优选为3重量份以下。

相对于导电性粒子(a)100重量份，图案中的两性离子化合物(c1)及季铵盐化合物(c2)的合计含量优选为0.01～5重量份。若两性离子化合物(c1)及季铵盐化合物(c2)的合计含量为0.01重量份以上，则能够在后述的工序(2)中进一步促进原子从导电性粒子(a)表面扩散，能够进一步提高导电性。两性离子化合物(c1)及季铵盐化合物(c2)的合计含量更优选为0.05重量份以上。另一方面，若两性离子化合物(c1)及季铵盐化合物(c2)的合计含量为5重量份以下，则能够抑制与图案中的导电性粒子(a)的反应，提高图案的保存稳定性。两性离子化合物(c1)及季铵盐化合物(c2)的合计含量更优选为3重量份以下。需要说明的是，所谓两性离子化合物(c1)及季铵盐化合物(c2)的合计含量，在图案中仅含有它们中的任一者时是指其含量，在含有它们两者时是指其合计含量。

图案中的两性离子化合物(c1)、季铵盐化合物(c2)的含量可通过如下方法测定：刮取规定量的所形成的图案，用高极性有机溶剂提取后进行离心分离，分离可溶成分与不可溶成分，对可溶成分进行IR测定、1H-NMR测定及GC/MS测定。

作为图案的形成方法，例如，可举出将含有前述的导电性粒子(a)、树脂(b)、两性离子化合物(c1)及/或季铵盐化合物(c2)、根据需要的其他成分的糊剂，利用丝网印刷、凹版印刷、柔版印刷、喷墨印刷等印刷而形成图案的方法、利用具有曝光及显影工序的光刻而形成图案的方法等。作为利用光刻而形成图案的方法，例如可举出：在非感光性糊剂涂布膜上涂布感光抗蚀剂，通过曝光、显影、蚀刻及除去抗蚀剂的工序而形成图案的方法；由感光性糊剂涂布膜通过曝光及显影工序直接形成图案的方法等。其中，从能够用简单的方法容易地形成微细的图案来考虑，优选由感光性糊剂涂布膜通过具有曝光及显影工序的光刻而形成图案的方法。

糊剂中的导电性粒子(a)的含量优选为在固体成分中为65～90重量％。相对于导电性粒子(a)100重量份而言，糊剂中的两性离子化合物(c1)及季铵盐化合物(c2)的合计含量优选为0.01～5重量份。

本发明的导电图案的形成方法优选具有如下的光刻工序：在基材上涂布导电性粒子(a)、含有羧基的树脂(B)(也称为含羧基树脂(B))、两性离子化合物(c1)及/或季铵盐化合物(c2)、具有不饱和双键的反应性单体(d)以及含有光聚合引发剂(e)的感光性糊剂，由此形成涂布膜，通过将该涂布膜曝光及显影而形成图案。如此形成导电图案，从而能够以简单的方法容易地形成微细的图案。

作为含羧基树脂(B)，例如可举出上述的具有羧基的树脂(b)等。也可以含有它们中的2种以上。

对于含羧基树脂(B)的酸值而言，例如，在丙烯酸系共聚物的情况下，能够通过构成成分中的不饱和酸的比例来调节至所期望的范围。在羧酸改性环氧树脂的情况下，可通过使多元酸酐反应来调节至所期望的范围。在羧酸改性酚醛树脂的情况下，能够通过构成成分中的多元酸酐的比例来调节至所期望的范围。

作为具有不饱和双键的反应性单体(d)，例如可举出前文中作为丙烯酸系共聚物的原料而例示出的丙烯酸系单体、苯乙烯(以下，称为(St))等。也可以含有它们中的2种以上。

需要说明的是，在工序(1)中使用的糊剂含有丙烯酸系共聚物及具有不饱和双键的反应性单体(d)的情况下，相对于丙烯酸系共聚物100重量份，糊剂中的具有不饱和双键的反应性单体(d)的含量优选为1～100重量份。通过含有1重量份以上的具有不饱和双键的反应性单体(d)，能够形成更微细的图案。另一方面，通过含有100重量份以下的具有不饱和双键的反应性单体(d)，能够适度地抑制固化收缩而进一步提高导电性。

所谓光聚合引发剂(e)，是指吸收紫外线等短波长的光而分解或发生夺氢反应而产生自由基的化合物。作为光聚合引发剂(e)，例如可举出二苯甲酮衍生物、苯乙酮衍生物、噻吨酮衍生物、苯偶酰衍生物、苯偶姻衍生物、肟系化合物、α-羟基酮系化合物、α-氨基烷基苯酮系化合物、氧化膦系化合物、蒽酮化合物、蒽醌化合物等。作为二苯甲酮衍生物，例如可举出二苯甲酮、邻苯甲酰基苯甲酸甲酯、4,4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮、4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮、4,4’-二氯二苯甲酮、芴酮、4-苯甲酰基-4’-甲基二苯甲酮等。作为苯乙酮衍生物，例如可举出对叔丁基二氯苯乙酮、4-叠氮亚苄基苯乙酮、2,2’-二乙氧基苯乙酮等。作为噻吨酮衍生物，例如可举出噻吨酮、2-甲基噻吨酮、2-氯噻吨酮、2-异丙基噻吨酮、二乙基噻吨酮等。作为苯偶酰衍生物，例如可举出苯偶酰、苯偶酰二甲基缩酮、苄基-β-甲氧基乙基乙缩醛等。作为苯偶姻衍生物，例如可举出苯偶姻、苯偶姻甲基醚、苯偶姻丁基醚等。作为肟系化合物，例如可举出1,2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)-2-(邻苯甲酰基肟)]、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(邻乙酰基肟)、1-苯基-1,2-丁二酮-2-(邻甲氧基羰基)肟、1-苯基-丙二酮-2-(邻乙氧基羰基)肟、1-苯基-丙二酮-2-(邻苯甲酰基)肟、1,3-二苯基-丙三酮-2-(邻乙氧基羰基)肟、1-苯基-3-乙氧基-丙三酮-2-(邻苯甲酰基)肟等。作为α-羟基酮系化合物，例如可举出2-羟基-2-甲基-1-苯基-丙烷-1-酮、1-[4-(2-羟基乙氧基)-苯基]-2-羟基-2-甲基-1-丙烷-1-酮等。作为α-氨基烷基苯酮系化合物，例如可举出2-甲基-(4-甲基硫基苯基)-2-吗啉代丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁烷-1-酮、2-二甲基氨基-2-(4-甲基苄基)-1-(4-吗啉-4-基-苯基)-丁烷-1-酮等。作为氧化膦系化合物，例如可举出2,4,6-三甲基苯甲酰基-二苯基-氧化膦、双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦等。作为蒽酮化合物，可举出蒽酮、苯并蒽酮、二苯并环庚酮、亚甲基蒽酮等。作为蒽醌化合物，例如可举出蒽醌、2-叔丁基蒽醌、2-戊基蒽醌、β-氯蒽醌等。也可以含有它们中的2种以上。在这些中，优选光灵敏度高的肟系化合物。

相对于含羧基树脂(B)100重量份，感光性糊剂中的光聚合引发剂(e)的含量优选为1～30重量份。若光聚合引发剂(e)的含量为1重量份以上，则能够增加曝光部的固化密度，使显影后的残膜率变高。另一方面，若光聚合引发剂(e)的含量为30重量份以下，则可抑制图案上部中的由光聚合引发剂(e)带来的过量的光吸收。其结果，能够容易地使图案成锥形，能够提高与基材的密合性。

除上述以外，图案形成中使用的糊剂也可配合溶剂、增塑剂、流平剂、表面活性剂、硅烷偶联剂、消泡剂、颜料等添加剂。

作为增塑剂的具体例，可举出：邻苯二甲酸二丁酯、邻苯二甲酸二辛酯、聚乙二醇、丙三醇等。作为流平剂的具体例子，可举出特殊乙烯基系聚合物、特殊丙烯酸系聚合物等。

作为硅烷偶联剂，可举出甲基三甲氧基硅烷、二甲基二乙氧基硅烷、苯基三乙氧基硅烷、六甲基二硅氮烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、3-缩水甘油氧基丙基甲基二乙氧基硅烷等。

作为溶剂，例如可举出N,N-二甲基乙酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、N-甲基-2-吡咯烷酮、2-二甲基乙醇胺“以下，(DMEA)”、二甲基咪唑啉酮、二甲基亚砜、γ-丁内酯、乳酸乙酯、1-甲氧基-2-丙醇、1-乙氧基-2-丙醇、乙二醇单正丙基醚、二丙酮醇、四氢糠基醇、丙二醇单甲基醚乙酸酯、二乙二醇单乙基醚乙酸酯、二乙二醇单甲基醚、二乙二醇单乙基醚乙酸酯、二乙二醇单丁基醚、二乙二醇、2,2,4-三甲基-1,3-戊二醇单异丁酸酯等。也可以含有它们中的2种以上。溶剂的沸点优选为150℃以上。若沸点为150℃以上，则溶剂的挥发受抑制，可抑制糊剂的增稠。

以通过光刻而由具有感光性的糊剂涂布膜形成图案的方法为例，更详细地说明工序(1)。

首先，将导电性粒子(a)、树脂(b)、两性离子化合物(c1)及/或季铵盐化合物(c2)、溶剂及根据需要的其他成分混合而制作糊剂。作为混合装置，例如可举出三辊磨机、球磨机、行星式球磨机等分散机、混炼机等。

接下来，将得到的糊剂涂布到基材上，进行干燥。作为糊剂的涂布方法，例如可举出使用了旋涂机的旋转涂布、喷雾涂布、辊涂、丝网印刷、使用了刮刀涂布机、模涂机、压延涂布机、液面弯曲式涂布机或棒涂机的涂布等。作为干燥方法，例如可举出利用烘箱、热板、红外线等进行加热干燥、真空干燥等。干燥温度优选为50～180℃，干燥时间优选为1分钟～数小时。

接下来，在得到的涂布膜上，介由任意的图案形成用掩模进行曝光，形成潜像。作为曝光的光源，优选使用汞灯的i线(365nm)、h线(405nm)或g线(436nm)。

曝光后，使用显影液进行显影，由此将未曝光部分溶解除去，形成所期望的图案。作为进行碱显影时的显影液，例如可举出四甲基氢氧化铵、二乙醇胺、二乙基氨基乙醇、氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、碳酸钾、三乙胺、二乙胺、甲胺、二甲胺、乙酸二甲基氨基乙酯、二甲基乙醇胺、甲基丙烯酸二甲基氨基乙酯、环己基胺、乙二胺、六亚甲基二胺等的水溶液。也可以使用它们中的2种以上。另外，根据情况，也可以向这些水溶液中添加下述物质中的1种以上：N-甲基-2-吡咯烷酮、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、二甲基亚砜、γ-丁内酯等极性溶剂；甲醇、乙醇、异丙醇等醇类；乳酸乙酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯等酯类；环戊酮、环己酮、异丁基酮、甲基异丁基酮等酮类；表面活性剂，等等。

作为显影方法，例如可举出：一边将具有经曝光的糊剂涂布膜的基材静置或旋转，一边将显影液喷雾至涂布膜面的方法；将具有经曝光的糊剂涂布膜的基材浸渍于显影液中方法；一边将具有经曝光的糊剂涂布膜的基材浸渍于显影液中，一边施加超声波的方法等。

显影后，可以实施基于淋洗液的淋洗处理。作为淋洗液，例如可举出水，或者在水中添加乙醇、异丙醇等醇类或乳酸乙酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯等酯类的水溶液等。

利用工序(1)得到的图案的厚度优选为3μm以下。通过将厚度设为3μm以下，能够形成更微细的导电图案。另外，酸性水溶液变得易于渗入，即使在短时间内也可以得到更良好的导电性。

接下来，对工序(2)进行说明。

酸性水溶液在25℃时的pH为1.2～3.5。通过将pH设为1.2以上，能够抑制由包含在导电图案中的导电性粒子(a)的腐蚀而引起的导电性下降。另一方面，通过将pH设为3.5以下，能够促进原子从导电性粒子(a)表面扩散、使导电性提高。pH更优选为2.5以下。pH能够利用玻璃电极法，由在玻璃电极与比较电极这2个电极间产生的电位差进行测定。

酸性水溶液优选含有在25℃时的酸解离常数(pKa)为2～5的酸、即弱酸。在含有多元酸的情况下，优选最易电离的第1阶段的pKa为2～5，在含有2种以上的酸的情况下，优选最易电离的酸的pKa为2～5。通过使用pKa为2以上的弱酸，能够抑制由导电图案中残留的酸引起的长期可靠性的下降。另一方面，通过将pKa设为5以下，能够进一步提高导电性。pKa更优选为3.5以下。作为25℃时的pKa为2～5的酸，例如可举出磷酸、柠檬酸、乙酸、丙酸、抗坏血酸、蚁酸、乳酸等。pKa可利用吸光分析法进行测定。酸HX在水溶液中，以HX与X^-这两种状态存在，可由HX与X^-的吸收波谱的差来测定水溶液中HX与X^-的浓度，并可基于以下数学式(3)来计算。

[数学式1]

工序(2)中，与图案接触的酸性水溶液的液温优选为40℃～90℃。通过将液温设为40℃以上，能够在更短时间内提高导电性。液温更优选为60℃以上。另一方面，通过将液温设为90℃以下，能够抑制酸性水溶液的蒸发。需要说明的是，酸性水溶液的液温可根据所含的酸的种类进行适当调节。

工序(2)中，酸性水溶液可以预先加热而与图案接触，也可以在图案与酸性水溶液接触的状态下进行加热。作为加热方法，例如可举出利用热板、热风烘箱、惰性烘箱、IR炉、微波等进行加热；氙气闪光灯照射等。

酸性水溶液的浓度优选为0.05～1mol/L。通过将浓度设为0.05mol/L，能够在短时间内进一步提高导电性。另一方面，通过将浓度设为1mol/L以下，酸不易残留在布线中，能够提高可靠性。需要说明的是，浓度可根据所含的酸的种类以变为所期望的pH的方式进行适当调节。

对于利用工序(2)得到的导电图案而言，也可以实施基于淋洗液的淋洗处理。在此，作为淋洗液，例如可举出水，或者在水中添加乙醇或者异丙醇等醇类、或乳酸乙酯或者丙二醇单甲基醚乙酸酯等酯类的水溶液。通过进行淋洗处理，能够洗去残留的酸，能够提高布线的长期可靠性。

实施例

以下，举出实施例及比较例来对本发明进行详细地说明，但本发明的方式并不限定于此。

各实施例及比较例中使用的材料如下。

[导电性粒子(a)]

体积平均粒径为0.3μm的银粒子

[具有不饱和双键的反应性单体(d)]

Light acrylate BP-4EA(丙烯酸系单体；共荣社化学株式会社制)。

(合成例1)

使5质量份的甲基丙烯酸缩水甘油酯(以下，有时记为“GMA”。)与EA/甲基丙烯酸2-乙基己基(以下，有时记为“2-EHMA”。)/苯乙烯/丙烯酸的丙烯酸系共聚物(共聚比率(质量份)：20/40/20/15)进行加成反应而成的物质

向氮气氛的反应容器中加入150g后述的DMEA，使用油浴来升温至80℃。向其中经1小时滴加包含20g的EA、40g的2-EHMA、20g的St、15g的AA、0.8g的2,2’-偶氮二异丁腈及10g的DMEA的混合物。滴加结束后，进一步进行6小时聚合反应。之后，添加1g的对苯二酚单甲醚，使聚合反应停止。接下来，经0.5小时滴加包含5g的GMA、1g的三乙基苄基氯化铵及10g的DMEA的混合物。滴加结束后，进一步进行2小时加成反应。用甲醇将得到的反应溶液纯化，由此除去未反应杂质，进一步真空干燥24小时，由此得到丙烯酸系共聚物(B-1)。得到的丙烯酸系共聚物(B-1)的酸值为103mgKOH/g。

(合成例2)

使5质量份的GMA与环氧乙烷改性双酚A二丙烯酸酯(FA-324A；日立化成工业株式会社制)/EA/AA的丙烯酸系共聚物(共聚比率(质量份)：50/10/15)进行加成反应而成的物质

向氮气氛的反应容器中加入150g的DMEA，使用油浴来升温至80℃。向其中经1小时滴加包含50g的环氧乙烷改性双酚A二丙烯酸酯FA-324A、20g的EA、15g的AA、0.8g的2,2’-偶氮二异丁腈及10g的DMEA的混合物。滴加结束后，进一步进行聚合反应6小时。之后，添加1g的对苯二酚单甲醚，使聚合反应停止。接下来，经0.5小时滴加包含5g的GMA、1g的三乙基苄基氯化铵及10g的DMEA的混合物。滴加结束后，进一步进行2小时加成反应。用甲醇将得到的反应溶液纯化，由此除去未反应杂质，进一步真空干燥24小时，由此得到丙烯酸系共聚物(B-2)。得到的丙烯酸系共聚物(B-2)的酸值为96mgKOH/g。

(合成例3)

EA/2-EHMA/BA/N-羟甲基丙烯酰胺/AA的丙烯酸系共聚物(共聚比率(质量份)：20/40/20/5/15)

向氮气氛的反应容器中加入150g的DMEA，使用油浴来升温至80℃。向其中经1小时滴加包含20g的EA、40g的2-EHMA、20g的BA、5g的N-羟甲基丙烯酰胺、15g的AA、0.8g的2,2’-偶氮二异丁腈及10g的DMEA的混合物。滴加结束后，进一步进行6小时聚合反应。之后，添加1g的对苯二酚单甲醚，使聚合反应停止。用甲醇将得到的反应溶液纯化，由此除去未反应杂质，进一步真空干燥24小时，由此得到丙烯酸系共聚物(B-3)。得到的丙烯酸系共聚物(B-3)的酸值为103mgKOH/g。

[光聚合引发剂(e)]

“IRGACURE(注册商标)”OXE01(商品名，BASF JAPAN(株)制，肟系化合物)(以下，称为OXE01)。

[溶剂]

DMEA(东京化成工业株式会社制)。

各实施例及比较例中的评价方法示于以下。

＜pKa的测定＞

对于酸的pKa而言，将表1中记载的酸调节成0.01mol/L的酸性水溶液并将其保持在25℃的液温，使用pKa分析装置(Sirius-T3；Pion公司制)进行测定。

＜pH的测定＞

对于酸性水溶液的pH而言，将表1中记载的酸性水溶液保持在25℃的液温，使用pH计(F-71；株式会社堀场制作所制)进行测定。

＜图案化性的评价＞

用光学显微镜对各实施例及比较例中得到的图案化性的评价用的样品进行观察，确认图案间没有残渣且没有图案剥落的线与间隙(以下，有时记为“L/S”。)的值为最小的导电图案，分别地，将上述L/S的值为7/7的情况判定为A，将L/S的值为10/10的情况判定为B，将L/S的值为15/15的情况判定为C，将无法以15/15形成导电图案的情况判定为D。图案化性按A＞B＞C＞D的顺序为优异，表明能够进行微细的图案化。

＜导电性的评价＞

用电阻计(RM3544；HIOKI制)将各实施例及比较例中得到的导电性的评价用样品的各自的端部连接来测定电阻值，基于以下的数学式(4)算出比电阻率。需要说明的是，膜厚可以使用“SURFCOM(注册商标)”1400((株)东京精密制)这样的触针式高低差计来测定。更具体地，用触针式高低差计(测定长度：1mm、扫描速度：0.3mm/秒)对随机选择的10个位置的膜厚分别进行测定，求出它们的平均值，由此算出膜厚。另外，线宽度如下算出：用光学显微镜分别观察随机选择的10个位置的线宽度，对图像数据进行分析，求出它们的平均值。

比电阻＝电阻值×膜厚×线宽度/线长度···(4)

比电阻越小表示导电性越优异。

(实施例1)

向100mL洁净瓶中加入10.0g的丙烯酸系共聚物(B-1)、2.0g的Light acrylateBP-4EA、0.60g的OXE01、0.32g的四甲基氯化铵及9.0g的DMEA，用“Awatori Rentaro”(ARE-310；株式会社THINKY制)进行混合，得到21.9g的树脂溶液(总固体成分58.9质量％)。

将21.9g的得到的树脂溶液及51.7g的银粒子混合，使用三辊磨机(EXAKT M-50；EXAKT公司制)进行混炼，得到73.6g的导电糊剂1。

在厚度为50μm的PET膜上，将导电糊剂1以干燥后的涂布膜厚成为1.5μm的方式用丝网印刷法进行涂布，将得到的涂布膜用80℃的干燥烘箱干燥15分钟。评价以下的图案化性、导电性。

图案化性

将以一定的L/S排列的直线组(即透光图案)作为1个单元，隔着分别具有不同L/S值的3种单元的光掩模，对干燥后的涂布膜进行曝光及显影，分别得到L/S值不同的3种图案。之后，使得到的3种图案在表1中记载的酸性水溶液中浸渍规定时间，通过利用超纯水的淋洗处理洗去酸，用空切(air cut)来除水，用80℃的干燥烘箱干燥3分钟，分别得到L/S值不同的3种导电图案，将其作为图案化性的评价用样品。需要说明的是，光掩模所具有的各单元的L/S的值设为15/15、10/10、7/7(各自表示线宽度(μm)/间隔(μm))。曝光中，使用曝光装置(PEM-6M；UNION光学株式会社制)以曝光量300mJ/cm²(波长365nm换算)进行全线曝光，对于显影而言，使基板浸渍于0.20质量％的Na₂CO₃溶液中30秒钟后，利用超纯水实施淋洗处理而进行。将有关图案化性的评价结果示于表1。

导电性

隔着具有100个图1所示的透光图案100的光掩模，将干燥后的涂布膜曝光及显影，得到图案。之后，将得到的图案以表1中记载的时间浸渍于表1中记载的酸性水溶液，通过利用超纯水的淋洗处理来洗去酸，用空切来除水，用80℃的干燥烘箱干燥3分钟，得到导电性的评价用样品。得到的导电图案的线宽度为0.10mm，线长度为80mm。需要说明的是，曝光及显影的条件与上述图案化性的评价用样品的制作记载的条件相同。将有关导电性的评价结果示于表1。

(实施例2～26)

利用表1中所示的组成的导电糊剂来形成规定的图案，使用表1所示的酸性水溶液以与实施例1同样的方法制造导电图案，进行与实施例1相同的评价。将针对图案化性及导电性的评价结果示于表1。

(实施例27)

利用表1中所示的组成的导电糊剂来形成规定的图案，将得到的图案以表1中记载的时间在表1所示的酸性水溶液中浸渍后，不实施清洗，用100℃的干燥烘箱固化10分钟。之后，通过利用超纯水的淋洗处理来洗去酸，用空切来除水，用80℃的干燥烘箱干燥3分钟来制造导电图案，进行与实施例1相同的评价。将针对图案化性及导电性的评价结果示于表1。

(比较例1、2、10～12)

利用表2中所示的组成的导电糊剂来形成规定的图案，使用表2所示的酸性水溶液以与实施例1同样的方法制造导电图案，进行与实施例1相同的评价。将针对图案化性及导电性的评价结果示于表2。

(比较例3)

利用表2中所示的组成的导电糊剂来形成规定的图案，将得到的图案在25℃的0.2mol/L的盐酸水溶液中浸渍1分钟后，使其在加热至70℃的0.2mol/L的柠檬酸水溶液中浸渍5分钟，通过利用超纯水的淋洗处理来洗去酸，用空切来除水，用80℃的干燥烘箱干燥3分钟来制造导电图案，进行与实施例1相同的评价。将针对图案化性及导电性的评价结果示于表2。

(比较例4)

利用表2中所示的组成的导电糊剂来形成规定的图案，将得到的图案在25℃的0.2mol/L的盐酸水溶液中浸渍1分钟后，使其在加热至70℃的0.2mol/L的柠檬酸水溶液中浸渍10分钟，通过利用超纯水的淋洗处理来洗去酸，用空切来除水，用80℃的干燥烘箱干燥3分钟来制造导电图案，进行与实施例1相同的评价。将针对图案化性及导电性的评价结果示于表2。

(比较例5、6)

利用表2中所示的组成的导电糊剂来形成规定的图案，将得到的图案在25℃的1mol/L的盐酸水溶液中浸渍1分钟后，使其在加热至70℃的1mol/L的柠檬酸水溶液中浸渍10分钟，通过利用超纯水的淋洗处理来洗去酸，用空切来除水，用80℃的干燥烘箱干燥3分钟来制造导电图案，进行与实施例1相同的评价。将针对图案化性及导电性的评价结果示于表2。

(比较例7～9)

利用表2中所示的组成的导电糊剂来形成规定的图案，在不浸渍于酸性水溶液的情况下，将得到的图案于100℃用干燥烘箱固化1小时来制造导电图案，进行相同的评价。将针对图案化性及导电性的评价结果示于表2。

[表1]

[表2]

附图标记说明

100 透光图案

Claims (8)

1.导电图案的制造方法，其具有下述工序：

(1)在基材上形成包含导电性粒子(a)、树脂(b)、以及两性离子化合物(c1)及/或季铵盐化合物(c2)的图案的工序；和

(2)使25℃时的pH为1.2～3.5的酸性水溶液与所形成的图案接触的工序。

2.如权利要求1所述的导电图案的制造方法，其中，所述酸性水溶液中包含的酸在25℃时的酸解离常数(pKa)为2～5。

3.如权利要求1或2所述的导电图案的制造方法，其中，所述酸性水溶液的液温为40℃～90℃。

4.如权利要求1～3中任一项所述的导电图案的制造方法，其中，在所述酸性水溶液与所述图案接触的状态下进行加热。

5.如权利要求1～4中任一项所述的导电图案的制造方法，其中，所述(1)的形成图案的工序为光刻工序，所述光刻工序中，通过在基材上涂布感光性糊剂而形成涂布膜，将该涂布膜曝光及显影而形成图案，所述感光性糊剂含有导电性粒子(a)、含有羧基的树脂(B)、两性离子化合物(c1)及/或季铵盐化合物(c2)、具有不饱和双键的反应性单体(d)以及光聚合引发剂(e)。

6.如权利要求1～5中任一项所述的导电图案的制造方法，其中，相对于所述导电性粒子(a)100重量份而言，含有总计为0.01～5重量份的所述两性离子化合物(c1)及季铵盐化合物(c2)。

7.如权利要求1～6中任一项所述的导电图案的制造方法，其中，所述导电性粒子(a)含有银粒子。

8.如权利要求1～7中任一项所述的导电图案的制造方法，其中，所述导电图案的厚度为3μm以下。

Images