CN112888738A - 聚乙烯膜及干膜抗蚀剂 - Google Patents

聚乙烯膜及干膜抗蚀剂 Download PDF

Info

Publication number
CN112888738A
CN112888738A CN201980005896.3A CN201980005896A CN112888738A CN 112888738 A CN112888738 A CN 112888738A CN 201980005896 A CN201980005896 A CN 201980005896A CN 112888738 A CN112888738 A CN 112888738A
Authority
CN
China
Prior art keywords
polyethylene
density polyethylene
film
linear low
linear
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201980005896.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN112888738B (zh
Inventor
大谷进一
萩原俊明
中村均
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tamapoly Co Ltd
Original Assignee
Tamapoly Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tamapoly Co Ltd filed Critical Tamapoly Co Ltd
Publication of CN112888738A publication Critical patent/CN112888738A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN112888738B publication Critical patent/CN112888738B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/09—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers
    • G03F7/11—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers having cover layers or intermediate layers, e.g. subbing layers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C48/00—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor
    • B29C48/03—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor characterised by the shape of the extruded material at extrusion
    • B29C48/09—Articles with cross-sections having partially or fully enclosed cavities, e.g. pipes or channels
    • B29C48/10—Articles with cross-sections having partially or fully enclosed cavities, e.g. pipes or channels flexible, e.g. blown foils
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/06—Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
    • B32B27/08—Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/32—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising polyolefins
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B7/00—Layered products characterised by the relation between layers; Layered products characterised by the relative orientation of features between layers, or by the relative values of a measurable parameter between layers, i.e. products comprising layers having different physical, chemical or physicochemical properties; Layered products characterised by the interconnection of layers
    • B32B7/02—Physical, chemical or physicochemical properties
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J5/00—Manufacture of articles or shaped materials containing macromolecular substances
    • C08J5/18—Manufacture of films or sheets
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L23/00—Compositions of homopolymers or copolymers of unsaturated aliphatic hydrocarbons having only one carbon-to-carbon double bond; Compositions of derivatives of such polymers
    • C08L23/02—Compositions of homopolymers or copolymers of unsaturated aliphatic hydrocarbons having only one carbon-to-carbon double bond; Compositions of derivatives of such polymers not modified by chemical after-treatment
    • C08L23/04—Homopolymers or copolymers of ethene
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L23/00—Compositions of homopolymers or copolymers of unsaturated aliphatic hydrocarbons having only one carbon-to-carbon double bond; Compositions of derivatives of such polymers
    • C08L23/02—Compositions of homopolymers or copolymers of unsaturated aliphatic hydrocarbons having only one carbon-to-carbon double bond; Compositions of derivatives of such polymers not modified by chemical after-treatment
    • C08L23/04—Homopolymers or copolymers of ethene
    • C08L23/06—Polyethene
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/09—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers
    • G03F7/094—Multilayer resist systems, e.g. planarising layers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2250/00—Layers arrangement
    • B32B2250/02—2 layers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2250/00—Layers arrangement
    • B32B2250/03—3 layers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2250/00—Layers arrangement
    • B32B2250/24—All layers being polymeric
    • B32B2250/242—All polymers belonging to those covered by group B32B27/32
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2255/00—Coating on the layer surface
    • B32B2255/10—Coating on the layer surface on synthetic resin layer or on natural or synthetic rubber layer
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/20—Properties of the layers or laminate having particular electrical or magnetic properties, e.g. piezoelectric
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/70—Other properties
    • B32B2307/72—Density
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/70—Other properties
    • B32B2307/732—Dimensional properties
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/70—Other properties
    • B32B2307/748—Releasability
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2457/00—Electrical equipment
    • B32B2457/08—PCBs, i.e. printed circuit boards
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J2323/00—Characterised by the use of homopolymers or copolymers of unsaturated aliphatic hydrocarbons having only one carbon-to-carbon double bond; Derivatives of such polymers
    • C08J2323/02—Characterised by the use of homopolymers or copolymers of unsaturated aliphatic hydrocarbons having only one carbon-to-carbon double bond; Derivatives of such polymers not modified by chemical after treatment
    • C08J2323/04—Homopolymers or copolymers of ethene
    • C08J2323/06—Polyethene
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J2423/00—Characterised by the use of homopolymers or copolymers of unsaturated aliphatic hydrocarbons having only one carbon-to-carbon double bond; Derivatives of such polymers
    • C08J2423/02—Characterised by the use of homopolymers or copolymers of unsaturated aliphatic hydrocarbons having only one carbon-to-carbon double bond; Derivatives of such polymers not modified by chemical after treatment
    • C08J2423/04—Homopolymers or copolymers of ethene
    • C08J2423/06—Polyethene
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J2423/00—Characterised by the use of homopolymers or copolymers of unsaturated aliphatic hydrocarbons having only one carbon-to-carbon double bond; Derivatives of such polymers
    • C08J2423/02—Characterised by the use of homopolymers or copolymers of unsaturated aliphatic hydrocarbons having only one carbon-to-carbon double bond; Derivatives of such polymers not modified by chemical after treatment
    • C08J2423/04—Homopolymers or copolymers of ethene
    • C08J2423/08—Copolymers of ethene
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L2203/00—Applications
    • C08L2203/16—Applications used for films
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L2205/00—Polymer mixtures characterised by other features
    • C08L2205/02—Polymer mixtures characterised by other features containing two or more polymers of the same C08L -group
    • C08L2205/025—Polymer mixtures characterised by other features containing two or more polymers of the same C08L -group containing two or more polymers of the same hierarchy C08L, and differing only in parameters such as density, comonomer content, molecular weight, structure
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L2207/00—Properties characterising the ingredient of the composition
    • C08L2207/06—Properties of polyethylene
    • C08L2207/066—LDPE (radical process)

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Architecture (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
  • Wrappers (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)

Abstract

本发明提供一种聚乙烯膜,其不易断裂(膜开裂)，开孔较少，且不易产生鱼眼，为高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯混合而成的聚乙烯膜，其特征在于，高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为90：10～60：40，平面观察膜时显现的最小直径达0.2mm以上的鱼眼数为2个/1.9m3以下，雾度值为12～25％，厚度为10～20μm。

Description

聚乙烯膜及干膜抗蚀剂
技术领域
本发明涉及一种聚乙烯膜、及将其用作干膜抗蚀剂用覆盖膜的干膜抗蚀剂。
背景技术
搭载于个人电脑或智能手机的电路板的制作中一般使用干膜抗蚀剂(下面，也称为“DFR”)，但由于DFR的抗蚀剂层(感光性树脂层)具有粘合性，因此需要覆盖膜覆盖该层对表面进行保护。关于这种用于表面保护的覆盖膜，从柔软性及价格的观点出发，利用聚乙烯类的膜一直在研究中。作为涉及聚乙烯类的膜的现有技术，例如，日本专利第6068463号公报(专利文献1)中记载了聚乙烯共混组合物的发明。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利第6068463号公报
发明内容
发明要解决的课题
然而，作为DFR的覆盖膜，有进一步降低成本及薄膜化的要求，关于熔化树脂颗粒并成膜的聚乙烯类的膜，需要提供不易断裂(膜开裂)，开孔较少，且不易产生鱼眼的膜。因此，本发明是为了解决这样的课题而完成的。
用于解决课题的手段
为了解决上述课题，本发明具有下面若干个构成。
[1]一种聚乙烯膜，其为混合高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯而成，其特征在于，高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为90：10～60：40，平面观察膜时显现的最小直径达0.2mm以上的鱼眼数为2个/1.9m3以下，雾度值为12～25％，厚度为10～20μm。
[2]如前所述的聚乙烯膜，其中，高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为80：20～70：30。
[3]如前所述聚乙烯膜，其中，密度为0.910～0.928g/cm3。
[4]如前所述的聚乙烯膜，其特征在于，其为混合高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯而成，所述聚乙烯膜由高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为90：10～60：40的聚乙烯膜层与高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为100：0～80：20的聚乙烯膜层层叠而成，平面观察膜时显现的最小直径达0.2mm以上的鱼眼数为2个/1.9m3以下，雾度值为12～25％，厚度为10～20μm。
[5]如前所述的聚乙烯膜，其中，所述高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为90：10～60：40的聚乙烯膜层与所述高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为100：0～80：20的聚乙烯膜层的层叠为三层。
[6]如前所述的聚乙烯膜，其中，所述聚乙烯膜由层叠的三层构成，所述三层的结构为：用所述高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为100：0～80：20的聚乙烯膜层层叠于所述高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为90：10～60：40的聚乙烯膜层的正面和背面这两表面。
[7]如前所述的聚乙烯膜，其中，所述聚乙烯膜由层叠的三层构成，所述三层的结构为：用所述高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为90：10～60：40的聚乙烯膜层层叠于所述高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为100：0～80：20的聚乙烯膜层的正面和背面这两表面。
[8]一种干膜抗蚀剂，其将所述任一聚乙烯膜作为覆盖膜层叠于抗蚀剂层而成。
[9]一种干膜抗蚀剂，其将所述任一聚乙烯膜作为覆盖膜层叠于抗蚀剂层而成，在所述层叠的聚乙烯膜中，将所述高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为90：10～60：40的聚乙烯膜层设于与所述抗蚀剂层相对的面侧而成。
发明效果
本发明的聚乙烯膜、及使用其的干膜抗蚀剂用覆盖膜不易断裂(膜开裂)，开孔较少，且不易产生鱼眼。
另外，根据本发明的干膜抗蚀剂，能够优选覆盖干膜抗蚀剂的抗蚀剂层，剥离等操作性优异。
具体实施方式
基于若干实施方式更详细地对本发明进行说明，但在各实施方式中，针对相同材质、组成、制法、作用、效果等，将不予赘述。
第一实施方式：
若对本发明进行更详细地说明，则在本发明的第一实施方式中，提供一种聚乙烯膜，其为混合高压法低密度聚乙烯(LDPE)(下面，也称为“低密度聚乙烯”)和线性低密度聚乙烯(LLDPE)(下面，也称为“线性聚乙烯”)混合而成，其中，低密度聚乙烯的密度为0.910～0.930g/cm3，线性聚乙烯的密度为0.910～0.925g/cm3，低密度聚乙烯和线性聚乙烯的混合比例即低密度聚乙烯：线性聚乙烯(重量％)为90：10～70：30，平面观察膜时显现的最小直径达0.2mm以上的鱼眼为2个/1.9m3以下，雾度为12～25％，厚度为10～20μm。
平面观察是指沿相对聚乙烯膜的宽面垂直的方向即膜的厚度方向观察聚乙烯膜。另外，鱼眼在平面观察时多显现为椭圆形等形状，为了明确这种情况下的大小，以最小直径进行规定。即，当鱼眼在平面观察时为椭圆时，最小直径为该椭圆的短轴的长度。进而，将计数鱼眼数的单位体积的大小设为1.9m3，是由于鱼眼数不仅取决于对聚乙烯膜进行平面观察时的单位面积的大小，还受到聚乙烯膜的厚度的影响，而且以厚度19μm的膜中的每100m2的数为标准。
低密度聚乙烯和线性聚乙烯的配合比例设定为两者的混合物中包含线性聚乙烯10～40重量％，优选20～30重量％。若线性聚乙烯的配合比例小于10重量％，则难以将聚乙烯膜成型为10μm厚。另外，若超过40重量％，则鱼眼数过多，雾度值变低，制造工序中聚乙烯膜难以卷绕。而且，由于生产性较差，因此难以降低成本。而且，若低于20重量％，则较容易产生开孔，若大于30重量％，则鱼眼数变得较多。
鱼眼数如果如上所述平面观察膜时显现的最小直径达0.2mm以上的鱼眼为10个/1.9m3以下，则能够用作DFR用的覆盖膜。然而，若鱼眼数较多，则产生了鱼眼的部分的附近与抗蚀剂层的边界的密合性变差，成为产生据此不良的原因。因此，鱼眼数设为2个/1.9m3以下，优选为1个/1.9m3以下，更优选为0.5个/1.9m3以下。需要说明的是，鱼眼为平坦的膜上产生的微小的块状部分，一般认为它是由于原料的混合不良或熔融不良等原因而产生的。
雾度为表示聚乙烯膜的透明性的指标，同时也是表示对DFR的适用性的指标，其值设为12～25％，优选为15～20％。若雾度(值)超过25％，则用作DFR用的覆盖膜时对抗蚀剂层的密合性差，容易产生容易剥落之类的不良。另一方面，若小于12％，则表面变得平滑，滑动性变差。因此，卷取制造聚乙烯膜时容易衔入空气，容易在膜表面产生突起。另外，如果为20％以下，则对抗蚀剂层的密合性优异。需要说明的是，雾度(值)是基于JISK7136的规定，使用雾度计(日本电色工业公司制“NDH4000”(商品名)测得的结果。
聚乙烯膜的厚度能够设为10～20μm。若比10μm薄，则容易断裂。另一方面，若比20μm厚，则成本增高，另外，会加大设为卷包状的DFR膜的容积，操作不方便。此外，容易产生膜的厚度差。相对于聚乙烯膜的10～20μm范围内的所需厚度，厚度差能够优选设为6μm以下，更优选设为4μm以下。若相对于所需的厚度的厚度差超过6μm，则膜卷取后，有可能产生皱褶出现问题，光致抗蚀剂材料会从该皱褶中渗出。需要说明的是，厚度差为膜上最厚处与最薄处的厚度的差。
聚乙烯膜的熔体流动速率(MFR)优选设为1.0～10g/10min。MFR能够依据JISK7210在190℃、2.16kg负荷下进行测定。若MFR低于1.0g/10min，则利用吹塑薄膜法或T型模法成型时的流动性变差，变得难以成型。若MFR超过10g/10min，则吹塑成型时吹塑管容易变得不稳定。
聚乙烯膜的密度优选设为0.910～0.928g/cm3。若使聚乙烯膜的密度低于0.910g/cm3，则聚乙烯膜的挠性变低，制造聚乙烯膜时膜容易扭曲而产生皱褶。制造DFR时聚乙烯膜同样容易扭曲而产生皱褶。另外，吹塑成型时吹塑管容易变得不稳定，有可能因两个重叠管而密合产生闭塞。另一方面，若使聚乙烯膜的密度高于0.928g/cm3，则有可能在聚乙烯膜表面产生粉末。
聚乙烯膜能够通过吹塑法或T型模法制造。另外，得到的聚乙烯膜能够优选作为干膜抗蚀剂的覆盖膜而利用。即，在干膜抗蚀剂的抗蚀剂层上层叠聚乙烯膜时的密合性优异，使用干膜抗蚀剂时，能够容易剥下聚乙烯膜。另外，由于聚乙烯膜的厚度较薄，因此，即使在用聚乙烯膜覆盖抗蚀剂层的表面并制成卷包状保存时，与使用厚度较大的覆盖膜的情况相比，容积变小，不占用空间，很方便。
另外，作为该聚乙烯膜，低密度聚乙烯与线性聚乙烯两者均基本作为乙烯的均聚物而得到，与α-烯烃单体或非烯烃单体聚合物的共聚成分能够设为5mol％以下，此外，能够不包含增塑剂、防粘连剂、滑剂、抗静电剂而成型，因此，是一种安全且稳定性高的聚乙烯膜。然而，根据DFR以外的用途，也能够按照需要包含上述各种添加剂。
第二实施方式：
本实施方式中所说明的聚乙烯膜是与第一实施方式中使用的材料、方法同样操作得到的聚乙烯膜，但相对于第一实施方式的聚乙烯膜为单层的聚乙烯膜，本实施方式的聚乙烯膜在设为多层的层叠构成这一点不同。
第二-一实施方式：
本聚乙烯膜由通过共挤出法层叠的三层构成组成，与其中的中央层相比，两表面层由线性聚乙烯的配合比例较多的原料构成。中央层中，优选使用低密度聚乙烯和线性聚乙烯的配合比例为两者的混合物中包含0～20重量％线性聚乙烯的膜，两外层中，优选使用低密度聚乙烯和线性聚乙烯的配合比例为两者的混合物中包含10～40重量％线性聚乙烯的膜。另外，两外层的线性聚乙烯的含量可以相同，也可以不同。
作为一例，中央层中由仅由不含有线性聚乙烯的低密度聚乙烯组成的聚乙烯膜构成，覆盖其两表面的两个外层中,能够设为使用包含20重量％线性聚乙烯的聚乙烯膜层叠而成的聚乙烯膜。通过使两表面中含有线性聚乙烯，能够防止开孔等，从而提高膜强度。另一方面，通过在中央使用线性聚乙烯含量少的原料，有可能减少整体的鱼眼数。
由三层构成所组成的本实施方式的聚乙烯膜的厚度优选将其总厚设为10～20μm。另外，一实施方式为，各层的厚度能够设为相同，但也优选将中央层设为比两外层厚。这是因为，中央层为聚乙烯膜整体中成为基底的部分，能够用呈现于表层的两外层弥补其缺点。若使总厚度变薄为小于10μm，则各层变得过薄而不易成型。另一方面，也能够制造超过20μm的聚乙烯膜，但在成本方面，优选较薄厚度，只要有20μm则已足够。
第二-二实施方式：
在本实施方式中，聚乙烯膜也由通过共挤法层叠的三层构成所组成，但与其中的中央层相比，两表面层由线性聚乙烯的配合比例较少的原料构成。中央层中，优选使用低密度聚乙烯和线性聚乙烯的配合比例为两者的混合物中包含10～40重量％线性聚乙烯的膜，两外层中，优选使用低密度聚乙烯和线性聚乙烯的配合比例为两者的混合物中包含0～20重量％线性聚乙烯的膜。另外，两外层的线性聚乙烯的含量可以相同，也可以不同。
作为一例，中央层中由含有20重量％线性聚乙烯的低密度聚乙烯组成的聚乙烯膜构成，覆盖其两表面的两外层中，能够设为使用仅由不含有线性聚乙烯(0重量％)的低密度聚乙烯组成的膜层叠而成的聚乙烯膜。通过在两表面使用线性聚乙烯含量较少的膜，能够减少鱼眼显现在表层，另外，能够抑制卷取聚乙烯膜时产生皱褶等。另一方面，由于在中央层上层叠有低密度聚乙烯含量多的膜，因此，能够提高膜强度，使其不易产生开孔等。
本实施方式的聚乙烯膜的厚度也优选将其总厚度设为10～20μm。另外，能够将各层的厚度设为相同，但也优选将中央层设为比两外层更厚。这是因为，中央层为聚乙烯膜整体中成为基底的部分，能够通过呈现于表层的两外层来弥补其缺点。若使总厚度变薄为小于10μm，则各层变得过薄而不易成型。另一方面，也能够制造超过20μm的聚乙烯膜，但在成本方面，优选较薄厚度，只要有20μm则足够了。
变形实施方式：
聚乙烯膜多层的层叠并不限定于三层，也能够设为超过两层或三层的层叠。在两层的情况下，通过使一层中比另一层更多地含有线性聚乙烯来谋求提高膜强度，另一方面，另一层通过减少线性聚乙烯的含量可以减少整体的鱼眼数，还可以提高生产率。
制造层叠的聚乙烯膜能够与单层情况同样，通过使用吹塑法或T型模法利用共挤出进行层叠而制造。另外，层叠的聚乙烯膜也能够优选作为干膜抗蚀剂的覆盖膜而利用。
在将层叠的聚乙烯膜设为干膜抗蚀剂的覆盖膜时，优选将线性聚乙烯的配合比例设定为10～40重量％的聚乙烯膜层设于与抗蚀剂层相对的面侧。在线性聚乙烯的配合比例设定为10～40重量％的聚乙烯膜层中，雾度在12～25％的范围，这是因为，制造时能够简单地对抗蚀剂层进行被覆，使用干膜抗蚀剂时能够容易地剥下覆盖膜。
如果将层叠的聚乙烯膜设为用于干膜抗蚀剂的覆盖膜，则在干膜抗蚀剂的抗蚀剂层上层叠聚乙烯膜时的密合性优异，使用干膜抗蚀剂时，能够容易地剥下聚乙烯膜。另外，由于聚乙烯膜的厚度较薄，因此，即使在用聚乙烯膜被覆抗蚀剂层的表面并制成卷包状保存时，与使用厚度较大的覆盖膜的情况相比，容积变小，不占用空间，很方便。
【实施例】
实验例1：
关于原料树脂，使用吹塑成型成膜机，在150～170℃下熔融混练原料树脂，制造宽为1265mm且成为规定厚度的大小的聚乙烯膜，该原料树脂为，对作为基底原料的密度为0.923g/cm3、MFR(熔体流动速率)为3.6的低密度聚乙烯配合规定量的作为掺混原料的密度为0.918g/cm3、MFR为3.8的线性聚乙烯，其不包含除此之外的聚合物成分及增塑剂、防粘连剂、滑剂、抗静电剂。
作为所制造的聚乙烯膜的厚度，制成10μm、13μm、15μm这三种，线性聚乙烯相对于低密度聚乙烯和线性聚乙烯的总量100重量％的配合比例，制成0重量％、5重量％、10重量％、20重量％、30重量％、40重量％、50重量％、90重量％这八种。将这些样品编号设为表1所示的样品1-1～8-3。
关于所得到的各样品的聚乙烯膜的开孔数、鱼眼数(FE数)、厚度差、透明性(雾度)示于表1，另外，作为制造时的生产率的一方面，聚乙烯的喷出量及综合评价也示于表1。
开孔数、鱼眼数、厚度差是使用表面检查装置(hu-tech公司制)测得的结果。测量条件设定为聚乙烯膜的宽度方向：0.103mm/像素、0.138mm/SCAN、透射方法。其中，厚度差设定为25mm的测量间隔下的测量结果中的最大厚度与最小厚度之差。
各测量结果的评价如下。开孔数用聚乙烯膜的宽度1265mm、长度4000m的区域中的个数表示。将为0个的情况设为“◎”，将为1个的情况设为“○”，将2个以上或聚乙烯膜断裂的情况设为“×”，分别进行评价。鱼眼数将为小于1.0个/1.9m3的情况设为“◎”，将为1.0～2.0个/1.9m3的情况设为“○”，将超过2个/1.9m3的情况设为“×”，分别进行评价。厚度差将小于2.5μm的情况设为“◎”，将2.5～3.5μm的情况设为“○”，将超过3.5μm的情况设为“×”。透明性用雾度表示，将为15～20的情况设为“◎”，将为超过20且25以下的情况及为12以上且小于15的情况设为“○”，将小于12或超过25的情况设为“×”，分别进行评价。
喷吐量用线性聚乙烯的配合比例为0重量％，即，仅用低密度聚乙烯成型的情况下将成型机喷吐的喷吐量设为100％时的喷吐量比例(重量％)表示，将最优选的情况评价为“◎”，优选的情况评价为“○”，处于作为工业生产可许可的范围的情况评价为“△”，不能采用的情况评价为“×”。综合评价为考虑开孔数(有无膜断裂)、鱼眼数、厚度差、透明性、喷吐量中的所有数据进行判断的结果，将最优选的情况评价为“◎”，优选的情况评价为“○”，处于作为工业生产可许可的范围的情况评价为“△”，不能采用的情况评价为“×”。
需要说明的是，将样品的制作过程中聚乙烯膜断裂的情况表示为“断裂”，对于该样品由于处于进行评价以前的阶段，因此，未进行除开孔数以外的各种评价。
表1
Figure BDA0002502466950000091
在线性聚乙烯的配合比例为5重量％以下的样品1(样品1-1～样品1-3)及样品2(样品2-1～样品2-3)中，在聚乙烯膜的厚度薄为10μm的情况下发生断裂，而配合10重量％以上时，即使厚度为10μm，聚乙烯膜也未发生断裂。因此，要制成薄为10μm的厚度，需要将线性聚乙烯的配合比例设为10重量％以上。但是，如果线性聚乙烯的配合量低于10重量％，则不取决于聚乙烯膜的厚度而产生了开孔。由此可知，为了不产生实际的断裂或视为断裂稍前的现象的开孔，线性聚乙烯的配合比例需要为10重量％以上，一般认为，优选20重量％以上。
另一方面，从鱼眼数来看，如果线性聚乙烯的配合比例为最高至10重量％，则鱼眼数为0.5个/1.9m3以下，如果为20重量％～40重量％，则鱼眼数超过0.5个且2.0个以下/1.9m3。进而，如果为50重量％以上，则显现鱼眼数为每1.9m3超过2个。由此可知，线性聚乙烯的配合比例越大，鱼眼数增加的越多，从鱼眼数看，线性聚乙烯的配合比例只能设为40重量％以下。
进而，从厚度差来看可知，线性聚乙烯的配合比例成为50重量％以上时，在较薄的聚乙烯膜中，厚度差变大，难以成型为均匀的膜。进而，从基于雾度值的透明性来看，在线性聚乙烯的配合比例为90重量％的情况下，雾度也有低于12％的情况，透明性会升高。因此，一般认为，卷取制造聚乙烯膜时，容易衔入空气，膜表面容易产生突起。
可知，线性聚乙烯的配合比例越多，喷吐量比例越低，优选其配合比例最高至30重量％，但若为40重量％也在许可范围内，但若超过50重量％，则问题严重。
综合判断这些结果可知，当将低密度聚乙烯和线性聚乙烯的总量设定为100重量％时，线性聚乙烯的配合比例优选10～40重量％，更优选20～30重量％。
实验例2：
用与实验例1相同的材料及方法制造相同大小的聚乙烯膜。其中，一层膜的厚度设为5μm，制成层叠三层的厚度15μm的聚乙烯膜。将其结果示于表2。
更具体而言，作为样品12，两表面中设为由不含有线性聚乙烯的组成所组成的聚乙烯膜层，中央层中设为由包含20重量％线性聚乙烯的组成的聚乙烯膜层组成的层叠膜。另一方面，在样品13中，两表面中设为由含有20重量％线性聚乙烯的组成所组成的聚乙烯膜层，中央层中设为由不包含线性聚乙烯的组成的聚乙烯膜层组成的层叠膜。各层的厚度为5μm。为了进行比较，实验例1中制造的样品1-1及样品4-1的聚乙烯膜也一并示于表2。
表2
Figure BDA0002502466950000111
由这些结果可知设为层叠膜的优点。即，通过设为层叠膜，能够弥补由不含有线性聚乙烯的情况(样品1-1)、和配合20重量％线性聚乙烯的情况(样品4-1)的各个单层的组成所组成的膜的缺点。更具体而言，在将不含有线性聚乙烯的膜层与配合20重量％线性聚乙烯的膜层层叠而成的样品12及样品13中，对于开孔数目的评价比样品1-1有所提高，鱼眼数的评价，虽与样品4-1相同但实际的鱼眼数减少。实验前，关于开孔数，即使单层膜上有开孔，也能够预先推测可用其它层的膜进行补充，关于鱼眼数，曾担心单层的情况下鱼眼被叠加而增多。然而，层叠而产生的最小直径达0.2mm以上的较大的鱼眼未达到所预想的程度，而是较少的结果。在能够相比样品4-1的情况减少线性聚乙烯的总含量方面，样品12及样品13在原料成本方面较为优选，即使为这种较少的线性聚乙烯含量，对于开孔数目、即膜强度也能够大幅改善。就比较样品12和样品13而言，在喷吐量比例及原料成本方面，优选像样品12那样将线性聚乙烯含量较多的层设定为中间层。

Claims (9)

1.一种聚乙烯膜，其为混合高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯而成，其特征在于，
高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为90：10～60：40，
平面观察膜时显现的最小直径达0.2mm以上的鱼眼数为2个/1.9m3以下，
雾度值为12～25％，
厚度为10～20μm。
2.根据权利要求1所述的聚乙烯膜，其中，
高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为80：20～70：30。
3.根据权利要求1或权利要求2所述的聚乙烯膜，其中，
密度为0.910～0.928g/cm3。
4.根据权利要求1～权利要求3中任一项所述的聚乙烯膜，其特征在于，其为混合高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯而成，
所述聚乙烯膜由高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为90：10～60：40的聚乙烯膜层与高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为100：0～80：20的聚乙烯膜层层叠而成，
平面观察膜时显现的最小直径达0.2mm以上的鱼眼数为2个/1.9m3以下，
雾度值为12～25％，
厚度为10～20μm。
5.根据权利要求4所述的聚乙烯膜，其中，
所述高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为90：10～60：40的聚乙烯膜层与所述高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为100：0～80：20的聚乙烯膜层的层叠为三层。
6.根据权利要求5所述的聚乙烯膜，其中，
所述聚乙烯膜由层叠的三层构成，所述三层的结构为：用所述高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为100：0～80：20的聚乙烯膜层层叠于所述高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为90：10～60：40的聚乙烯膜层的正面和背面这两表面。
7.根据权利要求5所述的聚乙烯膜，其中，
所述聚乙烯膜由层叠的三层构成，所述三层的结构为：用所述高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为90：10～60：40的聚乙烯膜层层叠于所述高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为100：0～80：20的聚乙烯膜层的正面和背面这两表面。
8.一种干膜抗蚀剂，其将权利要求1～权利要求7中任一项所述的聚乙烯膜作为覆盖膜层叠于抗蚀剂层而成。
9.一种干膜抗蚀剂，其为将权利要求4～权利要求7中任一项所述的的聚乙烯膜作为覆盖膜层叠于抗蚀剂层而成，在所述层叠的聚乙烯膜中，
将所述高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为90：10～60：40的聚乙烯膜层设于与所述抗蚀剂层相对的面侧而成。
CN201980005896.3A 2019-06-17 2019-06-17 聚乙烯膜及干膜抗蚀剂 Active CN112888738B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2019/023868 WO2020255194A1 (ja) 2019-06-17 2019-06-17 ポリエチレンフィルム及びドライフィルムレジスト

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN112888738A true CN112888738A (zh) 2021-06-01
CN112888738B CN112888738B (zh) 2023-07-21

Family

ID=74040160

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201980005896.3A Active CN112888738B (zh) 2019-06-17 2019-06-17 聚乙烯膜及干膜抗蚀剂

Country Status (7)

Country Link
US (1) US11914297B2 (zh)
JP (1) JP6905640B2 (zh)
KR (1) KR102429731B1 (zh)
CN (1) CN112888738B (zh)
MY (1) MY192117A (zh)
TW (1) TWI748516B (zh)
WO (1) WO2020255194A1 (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115556450A (zh) * 2022-09-26 2023-01-03 湖北慧狮塑业股份有限公司 一种超薄型聚烯烃干膜保护膜

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000273203A (ja) * 1999-03-29 2000-10-03 Nippon Polyolefin Kk ポリエチレンフィルム
US20020146582A1 (en) * 2000-08-18 2002-10-10 Japan Polyolefins Co. Ltd. Protective film and method for preparing same
JP2003231759A (ja) * 2002-02-13 2003-08-19 Japan Polyolefins Co Ltd プロテクトフィルム用ポリエチレンの製造方法およびそれを用いたプロテクトフィルム
JP2003342307A (ja) * 2003-04-10 2003-12-03 Japan Polyolefins Co Ltd プロテクトフィルムおよびその製造方法
JP2004231844A (ja) * 2003-01-31 2004-08-19 Japan Polyolefins Co Ltd ポリエチレン樹脂組成物
JP2009299051A (ja) * 2008-05-15 2009-12-24 Tosoh Corp ポリオレフィン樹脂及びその製造方法
CN103517807A (zh) * 2011-05-23 2014-01-15 爱索尔包装有限公司 高透明度层压体用聚合物组合物、制造方法及其应用
CN103627070A (zh) * 2012-08-23 2014-03-12 中国石油天然气股份有限公司 低雾度聚乙烯薄膜树脂组合物
CN104853918A (zh) * 2012-12-14 2015-08-19 冈本株式会社 食品包装用保鲜膜
WO2017056542A1 (ja) * 2015-09-29 2017-04-06 積水フィルム株式会社 多層熱収縮フィルム
CN106660348A (zh) * 2014-10-02 2017-05-10 兴人薄膜与化学株式会社 包装用聚乙烯系热收缩性多层膜、包装体及其包装方法

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0659718B2 (ja) * 1987-05-15 1994-08-10 富士写真フイルム株式会社 感光物質用包装材料
JPH1175571A (ja) * 1997-09-11 1999-03-23 Achilles Corp 施設園芸用フィルム
US6068463A (en) 1998-04-01 2000-05-30 Engel Maschinebau Gesellschaft M.B.H. Injection molding machine
JP4528566B2 (ja) * 2004-07-06 2010-08-18 電気化学工業株式会社 ポリオレフィン系ストレッチフィルム
JP5448956B2 (ja) * 2009-03-19 2014-03-19 旭化成ケミカルズ株式会社 ポリエチレン樹脂からなるフィルム
BR112012003072B1 (pt) * 2009-08-10 2020-11-17 Dow Global Technologies Llc Polímero à base de etileno, composição e camada de película
JP5363280B2 (ja) * 2009-11-19 2013-12-11 興人ホールディングス株式会社 架橋ポリエチレンからなる再生樹脂組成物及び熱収縮性フィルム
CN102844393B (zh) * 2010-04-13 2014-06-18 东丽薄膜先端加工股份有限公司 表面保护膜
JP5483713B2 (ja) * 2010-05-12 2014-05-07 日東電工株式会社 表面保護フィルム
MX354678B (es) 2011-07-08 2018-03-15 Dow Global Technologies Llc Composicion de mezcla de polietileno adecuada para pelicula soplada, metodo para producir la misma y peliculas hechas a partir de la misma.
JP5416256B2 (ja) 2012-07-19 2014-02-12 旭化成イーマテリアルズ株式会社 感光性樹脂積層体
JP6567820B2 (ja) * 2014-01-16 2019-08-28 リケンファブロ株式会社 食品包装用ポリオレフィン系ラップフィルム

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000273203A (ja) * 1999-03-29 2000-10-03 Nippon Polyolefin Kk ポリエチレンフィルム
US20020146582A1 (en) * 2000-08-18 2002-10-10 Japan Polyolefins Co. Ltd. Protective film and method for preparing same
JP2003231759A (ja) * 2002-02-13 2003-08-19 Japan Polyolefins Co Ltd プロテクトフィルム用ポリエチレンの製造方法およびそれを用いたプロテクトフィルム
JP2004231844A (ja) * 2003-01-31 2004-08-19 Japan Polyolefins Co Ltd ポリエチレン樹脂組成物
JP2003342307A (ja) * 2003-04-10 2003-12-03 Japan Polyolefins Co Ltd プロテクトフィルムおよびその製造方法
JP2009299051A (ja) * 2008-05-15 2009-12-24 Tosoh Corp ポリオレフィン樹脂及びその製造方法
CN103517807A (zh) * 2011-05-23 2014-01-15 爱索尔包装有限公司 高透明度层压体用聚合物组合物、制造方法及其应用
CN103627070A (zh) * 2012-08-23 2014-03-12 中国石油天然气股份有限公司 低雾度聚乙烯薄膜树脂组合物
CN104853918A (zh) * 2012-12-14 2015-08-19 冈本株式会社 食品包装用保鲜膜
CN106660348A (zh) * 2014-10-02 2017-05-10 兴人薄膜与化学株式会社 包装用聚乙烯系热收缩性多层膜、包装体及其包装方法
WO2017056542A1 (ja) * 2015-09-29 2017-04-06 積水フィルム株式会社 多層熱収縮フィルム

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115556450A (zh) * 2022-09-26 2023-01-03 湖北慧狮塑业股份有限公司 一种超薄型聚烯烃干膜保护膜

Also Published As

Publication number Publication date
US20210271167A1 (en) 2021-09-02
US11914297B2 (en) 2024-02-27
JPWO2020255194A1 (ja) 2021-09-13
WO2020255194A1 (ja) 2020-12-24
TW202106773A (zh) 2021-02-16
MY192117A (en) 2022-07-28
TWI748516B (zh) 2021-12-01
KR20200145828A (ko) 2020-12-30
KR102429731B1 (ko) 2022-08-05
JP6905640B2 (ja) 2021-07-21
CN112888738B (zh) 2023-07-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN115362199B (zh) 聚烯烃系树脂薄膜
WO2016152835A1 (ja) ポリエチレン系フィルム
EP2939948A1 (en) Wrap film
EP3831599A1 (en) Laminate and packaging bag comprising same
KR101154877B1 (ko) 편광판 제조공정용 자기점착성 보호 필름
CN112888738A (zh) 聚乙烯膜及干膜抗蚀剂
KR101019656B1 (ko) 엘라스토머 및 메탈로센 폴리에틸렌을 포함한 조성물 및 이를 이용한 산업용 포장재 강화 필름
JP4642499B2 (ja) ポリオレフィン系樹脂組成物および包装用フィルム
JP6331348B2 (ja) 発泡積層体の製造方法及びその発泡積層体
JP2008155527A (ja) 積層体
JP2020138462A (ja) 包装用フィルム、フィルムバッグ、及びそれの製造方法
US20200189232A1 (en) Easily unsealable laminate film and packaging container
KR100746173B1 (ko) 프리즘보호필름 및 그 제조방법
JP6229569B2 (ja) 包装用フィルムの製造方法
TW201922871A (zh) 聚乙烯系樹脂膜
MX2023000792A (es) Estructuras multicapa, laminados y articulos relacionados.
WO2019225574A1 (ja) 熱可塑性樹脂フィルム、熱可塑性樹脂被覆金属板、及び熱可塑性樹脂被覆金属容器
JP2006212851A (ja) 熱可塑性樹脂積層シート及びその成形体
JP2017132134A (ja) 積層体、その製造方法及び液体包装袋
JP4893246B2 (ja) ポリオレフィン系発泡フイルム
JP2020093417A (ja) 熱成形用食品包装フィルム、熱成形用食品包装多層フィルム、深絞り包装用フィルム、および、スキンパック用フィルム
JP2009179748A (ja) 帯電防止性クリーンフィルム
JP7434811B2 (ja) 積層フィルム
TWI787379B (zh) 聚乙烯系樹脂膜的製造方法
JP2015027759A (ja) 食品用ラップフィルム

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant