JP2000273203A - ポリエチレンフィルム - Google Patents
ポリエチレンフィルムInfo
- Publication number
- JP2000273203A JP2000273203A JP11085613A JP8561399A JP2000273203A JP 2000273203 A JP2000273203 A JP 2000273203A JP 11085613 A JP11085613 A JP 11085613A JP 8561399 A JP8561399 A JP 8561399A JP 2000273203 A JP2000273203 A JP 2000273203A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- polyethylene
- fish eyes
- less
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Polymerisation Methods In General (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高精度の表面保護を可能にするポリエチレン
フィルムを提供する。 【解決手段】 ＭＦＲが０．３〜３０（ｇ／１０分）、
密度が０．９１３〜０．９３０（ｇ／ｃｍ3 ）、ヘーズ
が１〜５０（％）である高圧法低密度ポリエチレンから
なり、且つ０．０３０ｍｍ厚みのフィルムで測定した
際、フィルム中に存在する長径０．２０ｍｍ未満０．０
５０ｍｍ以上のフィッシュアイ個数が１００個／１００
ｃｍ2 以下、長径０．２０ｍｍ以上のフィッシュアイ個
数が１個／１ｍ2 以下であるポリエチレンフィルム。
フィルムを提供する。 【解決手段】 ＭＦＲが０．３〜３０（ｇ／１０分）、
密度が０．９１３〜０．９３０（ｇ／ｃｍ3 ）、ヘーズ
が１〜５０（％）である高圧法低密度ポリエチレンから
なり、且つ０．０３０ｍｍ厚みのフィルムで測定した
際、フィルム中に存在する長径０．２０ｍｍ未満０．０
５０ｍｍ以上のフィッシュアイ個数が１００個／１００
ｃｍ2 以下、長径０．２０ｍｍ以上のフィッシュアイ個
数が１個／１ｍ2 以下であるポリエチレンフィルム。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はポリエチレンフィル
ムに関し、特にプロテクトフィルム（保護フィルム、マ
スキングフィルム又はカバーフィルム）に適したポリエ
チレンフィルムに関する。
ムに関し、特にプロテクトフィルム（保護フィルム、マ
スキングフィルム又はカバーフィルム）に適したポリエ
チレンフィルムに関する。
【０００２】
【従来の技術】低密度ポリエチレンフィルムは従来から
各種の包装材料として用いられている。これらのうちプ
ロテクトフィルムとして知られるフィルムは各種物品の
表面に密着させてその物品を一時的に保護するフィルム
であり、従来から高圧法低密度ポリエチレン等のポリエ
チレンを成形して得られたフィルムが当該用途に用いら
れている。従来用いられていたポリエチレンフィルムは
一般的な物品用のプロテクトフィルムとしては優れた特
性を有しているが、電子・情報分野で用いるプロテクト
フィルムにおいては保護すべき対象物品によってはその
後の品質発現に十分に寄与できないという問題点を有し
ている。特に保護すべき対象物品の表面層がフォトレジ
スト層のようにその後に化学変化を受ける光硬化性樹脂
からなる場合にはその傾向が著しい。
各種の包装材料として用いられている。これらのうちプ
ロテクトフィルムとして知られるフィルムは各種物品の
表面に密着させてその物品を一時的に保護するフィルム
であり、従来から高圧法低密度ポリエチレン等のポリエ
チレンを成形して得られたフィルムが当該用途に用いら
れている。従来用いられていたポリエチレンフィルムは
一般的な物品用のプロテクトフィルムとしては優れた特
性を有しているが、電子・情報分野で用いるプロテクト
フィルムにおいては保護すべき対象物品によってはその
後の品質発現に十分に寄与できないという問題点を有し
ている。特に保護すべき対象物品の表面層がフォトレジ
スト層のようにその後に化学変化を受ける光硬化性樹脂
からなる場合にはその傾向が著しい。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は上記し
た従来技術のもつ問題点を解決することにあり、特に光
硬化性樹脂からなる表面層に対して高度の保護機能を示
すプロテクトフィルムとして適するポリエチレンフィル
ムを提供することにある。
た従来技術のもつ問題点を解決することにあり、特に光
硬化性樹脂からなる表面層に対して高度の保護機能を示
すプロテクトフィルムとして適するポリエチレンフィル
ムを提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者等は上記課題を
解決すべく鋭意検討を続けた結果、従来最も優れている
とされるポリエチレンフィルムにおいても、不可避的に
存在するフィッシュアイが当該フィルムで保護されたフ
ォトレジストのその後の機能発現に大きな影響を示すこ
とを知見し、更に検討を続けた結果、効果の顕著な本発
明に到達した。即ち本発明は、ＭＦＲが０．３〜３０
（ｇ／１０分）、密度が０．９１３〜０．９３０（ｇ／
ｃｍ3 ）である高圧法低密度ポリエチレンからなり、且
つ０．０３０ｍｍ厚みのフィルムで測定した際、ヘーズ
が１〜５０（％）、フィルム中に存在する長径０．２０
ｍｍ未満０．０５０ｍｍ以上のフィッシュアイ個数が１
００個／１００ｃｍ2 以下、長径０．２０ｍｍ以上のフ
ィッシュアイ個数が１個／１ｍ2 以下であることを特徴
とするプロテクトフィルムとして適するポリエチレンフ
ィルムである。
解決すべく鋭意検討を続けた結果、従来最も優れている
とされるポリエチレンフィルムにおいても、不可避的に
存在するフィッシュアイが当該フィルムで保護されたフ
ォトレジストのその後の機能発現に大きな影響を示すこ
とを知見し、更に検討を続けた結果、効果の顕著な本発
明に到達した。即ち本発明は、ＭＦＲが０．３〜３０
（ｇ／１０分）、密度が０．９１３〜０．９３０（ｇ／
ｃｍ3 ）である高圧法低密度ポリエチレンからなり、且
つ０．０３０ｍｍ厚みのフィルムで測定した際、ヘーズ
が１〜５０（％）、フィルム中に存在する長径０．２０
ｍｍ未満０．０５０ｍｍ以上のフィッシュアイ個数が１
００個／１００ｃｍ2 以下、長径０．２０ｍｍ以上のフ
ィッシュアイ個数が１個／１ｍ2 以下であることを特徴
とするプロテクトフィルムとして適するポリエチレンフ
ィルムである。
【０００５】本発明のポリエチレンフィルムは高圧法低
密度ポリエチレンであってＭＦＲ（ＪＩＳ Ｋ ６７６
０（温度１９０℃、荷重２．１６ｋｇｆ）で測定）が
０．３〜３０ｇ／１０分、密度（ＪＩＳ Ｋ ６７６０
で測定）が０．９１３〜０．９３０ｇ／ｃｍ3 を満足
し、且つ０．０３０ｍｍ厚みのフィルムで測定した際、
ヘーズ（ＪＩＳ Ｋ ７１０５で測定）が１〜５０％、
フィルム中に存在する長径０．２０ｍｍ未満０．０５０
ｍｍ以上のフィッシュアイ個数が１００個／１００ｃｍ
2 以下、長径０．２０ｍｍ以上のフィッシュアイ個数が
１個／１ｍ2 以下の条件を満たすものである。ＭＦＲ
は、０．３〜３０であればよいが、０．５〜１０が好ま
しく、１〜５が特に好ましい。ＭＦＲが０．３未満又は
３０を超えた場合、安定したフィルム成形が困難にな
る。密度は、０．９１３〜０．９３０であればよいが、
０．９１８〜０．９３０が好ましく、０．９２０〜０．
９２８が特に好ましい。密度が０．９１３未満ではフィ
ルムの剛性が低下し作業性が悪くなりすぎる問題があ
り、０．９３０を超えるとフィルムの柔軟性が低下し、
プロテクトフィルムとして使用した場合フィルムの密着
性に問題が生じる。ヘイズ値は１〜５０％であればよい
が、３〜３０％が好ましく、５〜２０％が特に好まし
い。ヘイズ値が１％未満ではフィルムの透明性が高すぎ
ブロッキングが激しいためフィルムのハンドリングに問
題があり、また５０％を超えるとフィルムの密着性及び
透視性に問題が生ずる。
密度ポリエチレンであってＭＦＲ（ＪＩＳ Ｋ ６７６
０（温度１９０℃、荷重２．１６ｋｇｆ）で測定）が
０．３〜３０ｇ／１０分、密度（ＪＩＳ Ｋ ６７６０
で測定）が０．９１３〜０．９３０ｇ／ｃｍ3 を満足
し、且つ０．０３０ｍｍ厚みのフィルムで測定した際、
ヘーズ（ＪＩＳ Ｋ ７１０５で測定）が１〜５０％、
フィルム中に存在する長径０．２０ｍｍ未満０．０５０
ｍｍ以上のフィッシュアイ個数が１００個／１００ｃｍ
2 以下、長径０．２０ｍｍ以上のフィッシュアイ個数が
１個／１ｍ2 以下の条件を満たすものである。ＭＦＲ
は、０．３〜３０であればよいが、０．５〜１０が好ま
しく、１〜５が特に好ましい。ＭＦＲが０．３未満又は
３０を超えた場合、安定したフィルム成形が困難にな
る。密度は、０．９１３〜０．９３０であればよいが、
０．９１８〜０．９３０が好ましく、０．９２０〜０．
９２８が特に好ましい。密度が０．９１３未満ではフィ
ルムの剛性が低下し作業性が悪くなりすぎる問題があ
り、０．９３０を超えるとフィルムの柔軟性が低下し、
プロテクトフィルムとして使用した場合フィルムの密着
性に問題が生じる。ヘイズ値は１〜５０％であればよい
が、３〜３０％が好ましく、５〜２０％が特に好まし
い。ヘイズ値が１％未満ではフィルムの透明性が高すぎ
ブロッキングが激しいためフィルムのハンドリングに問
題があり、また５０％を超えるとフィルムの密着性及び
透視性に問題が生ずる。
【０００６】本発明のポリエチレンフィルムがもつ特に
重要な特性は限定されたフィッシュアイであり、本発明
で規定しているフィッシュアイの範囲は、現在市場に流
通している一般のポリエチレンフィルムでは満足し得な
い範囲である。フィッシュアイとは、フィルム内に存在
する小球状の異物、欠陥構造を意味する。フィッシュア
イの原因は様々だが、ベースの樹脂との溶融混合が不十
分なために発生するものであり、ベース樹脂と粘度（分
子量）の異なる成分、ゲル成分、酸化劣化樹脂、異樹
脂、包材の破片（紙、糸、繊維等）、塵埃等が原料樹脂
製造工程、袋詰め・輸送工程、フィルム成形工程の何れ
かで混入することによって発生する。このこと自体は従
来から知られているが、従来知られたポリエチレンフィ
ルムが不可避的にもつレベルに比しはるかに低いレベル
においてフィッシュアイの存在状態がフォトレジスト等
のプロテクトフィルムとして用いた場合被保護部材のそ
の後の品質発現に大きな影響を示すことを知見したので
ある。
重要な特性は限定されたフィッシュアイであり、本発明
で規定しているフィッシュアイの範囲は、現在市場に流
通している一般のポリエチレンフィルムでは満足し得な
い範囲である。フィッシュアイとは、フィルム内に存在
する小球状の異物、欠陥構造を意味する。フィッシュア
イの原因は様々だが、ベースの樹脂との溶融混合が不十
分なために発生するものであり、ベース樹脂と粘度（分
子量）の異なる成分、ゲル成分、酸化劣化樹脂、異樹
脂、包材の破片（紙、糸、繊維等）、塵埃等が原料樹脂
製造工程、袋詰め・輸送工程、フィルム成形工程の何れ
かで混入することによって発生する。このこと自体は従
来から知られているが、従来知られたポリエチレンフィ
ルムが不可避的にもつレベルに比しはるかに低いレベル
においてフィッシュアイの存在状態がフォトレジスト等
のプロテクトフィルムとして用いた場合被保護部材のそ
の後の品質発現に大きな影響を示すことを知見したので
ある。
【０００７】長径サイズ０．２０ｍｍ以上のフィッシュ
アイ（大フィッシュアイ）は酸化劣化樹脂等が主な要因
であり、これらはフィルム平滑性に重大な影響を与える
ため、全く存在しないのが好ましく、存在するとしても
その個数は限りなくゼロに近いレベルで管理される必要
があり、具体的には１個／１ｍ2 以下、好ましくは０．
７個／１ｍ2 以下、更に好ましくは０．５個／１ｍ2 以
下で管理される。また大フィッシュアイの長径サイズの
上限は存在するとしても１．５ｍｍ程度にとどめるべき
である。
アイ（大フィッシュアイ）は酸化劣化樹脂等が主な要因
であり、これらはフィルム平滑性に重大な影響を与える
ため、全く存在しないのが好ましく、存在するとしても
その個数は限りなくゼロに近いレベルで管理される必要
があり、具体的には１個／１ｍ2 以下、好ましくは０．
７個／１ｍ2 以下、更に好ましくは０．５個／１ｍ2 以
下で管理される。また大フィッシュアイの長径サイズの
上限は存在するとしても１．５ｍｍ程度にとどめるべき
である。
【０００８】一方、０．２０ｍｍ未満のフィッシュアイ
は主にベース樹脂と若干粘度の異なる軽架橋成分による
もので、これらのうち、長径０．２０ｍｍ未満かつ０．
０５０ｍｍ以上のフィッシュアイ（小フィッシュアイ）
の個数が１００個／１００ｃｍ2 以下、好ましくは５０
個／１００ｃｍ2 以下、更に好ましくは、２０個／１０
０ｃｍ2 以下で管理される。大フィッシュアイと小フィ
ッシュアイの個数の下限は、当該フィルムの製造条件管
理上等から、大フィッシュアイが０．０１個／ｍ2 、小
フィッシュアイが１個／１００ｍ2 であることが好まし
い。
は主にベース樹脂と若干粘度の異なる軽架橋成分による
もので、これらのうち、長径０．２０ｍｍ未満かつ０．
０５０ｍｍ以上のフィッシュアイ（小フィッシュアイ）
の個数が１００個／１００ｃｍ2 以下、好ましくは５０
個／１００ｃｍ2 以下、更に好ましくは、２０個／１０
０ｃｍ2 以下で管理される。大フィッシュアイと小フィ
ッシュアイの個数の下限は、当該フィルムの製造条件管
理上等から、大フィッシュアイが０．０１個／ｍ2 、小
フィッシュアイが１個／１００ｍ2 であることが好まし
い。
【０００９】本発明のポリエチレンフィルムを構成する
ポリエチレンは高圧法低密度ポリエチレンであり、これ
は有機過酸化物、酸素等を重合開始剤として使用する高
圧法プロセスで生産される分岐型低密度ポリエチレン
で、いわゆる直鎖型低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥと
称す）は含まない。具体的には、１０００Ｋｇ／ｃｍ2
〜３０００Ｋｇ／ｃｍ2 程度の圧力まで圧縮したエチレ
ンを反応器に導入し、ｔ−ブチルパーオキシピバレー
ト、ｔ−ブチルパーオキシオクトエート、ｔ−ブチルパ
ーオキシアセテート、ｔ−ブチルパーオキシベンゾエー
ト、ジｔ−ブチルパーオキシド等に代表される有機過酸
化物、或いは酸素を開始剤とし、１５０℃〜３００℃の
温度で重合して得られるポリエチレンである。尚、反応
器には槽型と管型があり、それぞれ適正な温度・圧力範
囲は異なる。本発明者等の検討の結果、フィルム原料の
高圧法低密度ポリエチレンを製造するにあたり、重合圧
力１７００Ｋｇ／ｃｍ2 以上の条件で生産することによ
り、０．２０ｍｍ未満かつ０．０５０ｍｍ以上のフィッ
シュアイ個数が安定して低い数値となることを見出し
た。
ポリエチレンは高圧法低密度ポリエチレンであり、これ
は有機過酸化物、酸素等を重合開始剤として使用する高
圧法プロセスで生産される分岐型低密度ポリエチレン
で、いわゆる直鎖型低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥと
称す）は含まない。具体的には、１０００Ｋｇ／ｃｍ2
〜３０００Ｋｇ／ｃｍ2 程度の圧力まで圧縮したエチレ
ンを反応器に導入し、ｔ−ブチルパーオキシピバレー
ト、ｔ−ブチルパーオキシオクトエート、ｔ−ブチルパ
ーオキシアセテート、ｔ−ブチルパーオキシベンゾエー
ト、ジｔ−ブチルパーオキシド等に代表される有機過酸
化物、或いは酸素を開始剤とし、１５０℃〜３００℃の
温度で重合して得られるポリエチレンである。尚、反応
器には槽型と管型があり、それぞれ適正な温度・圧力範
囲は異なる。本発明者等の検討の結果、フィルム原料の
高圧法低密度ポリエチレンを製造するにあたり、重合圧
力１７００Ｋｇ／ｃｍ2 以上の条件で生産することによ
り、０．２０ｍｍ未満かつ０．０５０ｍｍ以上のフィッ
シュアイ個数が安定して低い数値となることを見出し
た。
【００１０】重合圧力が製品のフィッシュアイに影響す
る理由は明らかではないが、小フィッシュアイの原因と
なる架橋反応は圧力が低いほど起き易いと想定され、ま
た反応器内でのエチレンに対するポリエチレンの溶解度
が関係している可能性もある。即ち、圧力が高いと溶解
度が増し、ポリエチレン濃厚相の分離がおきにくくなる
ため架橋反応が抑制されるメカニズムが考えられる。い
ずれにせよ重合圧力を高めるほど０．２０〜０．０５０
ｍｍサイズの小フィッシュアイは少なくなる傾向にあ
り、高圧法低密度ポリエチレンの製造時の重合圧力を１
７００Ｋｇ／ｃｍ2 以上で管理することにより、プロテ
クトフィルムとして非常に好適な製品が得られる。重合
圧力は高めるほどフィッシュアイに関しては好ましい
が、圧力アップに伴って製品の密度が向上し、分子量分
布も狭まるためフィルム特性が変わってくる。またプロ
セス内各機器の耐圧上、無制限に圧力を高めるのは不可
能であり、実質的には重合圧力の上限は４０００Ｋｇ／
ｃｍ2 程度である。
る理由は明らかではないが、小フィッシュアイの原因と
なる架橋反応は圧力が低いほど起き易いと想定され、ま
た反応器内でのエチレンに対するポリエチレンの溶解度
が関係している可能性もある。即ち、圧力が高いと溶解
度が増し、ポリエチレン濃厚相の分離がおきにくくなる
ため架橋反応が抑制されるメカニズムが考えられる。い
ずれにせよ重合圧力を高めるほど０．２０〜０．０５０
ｍｍサイズの小フィッシュアイは少なくなる傾向にあ
り、高圧法低密度ポリエチレンの製造時の重合圧力を１
７００Ｋｇ／ｃｍ2 以上で管理することにより、プロテ
クトフィルムとして非常に好適な製品が得られる。重合
圧力は高めるほどフィッシュアイに関しては好ましい
が、圧力アップに伴って製品の密度が向上し、分子量分
布も狭まるためフィルム特性が変わってくる。またプロ
セス内各機器の耐圧上、無制限に圧力を高めるのは不可
能であり、実質的には重合圧力の上限は４０００Ｋｇ／
ｃｍ2 程度である。
【００１１】尚、本発明に使用するポリエチレン原料に
は、高圧法低密度ポリエチレンの特徴を損なわない範囲
で、また本発明のフィッシュアイ等の規定の管理に悪影
響を与えない範囲で、ＬＬＤＰＥ、高密度ポリエチレ
ン、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−ブテン
共重合体等のポリオレフィン系樹脂をブレンドしてもよ
い。また、必要に応じて通常ポリオレフィンで使用され
る添加剤、具体的には酸化防止剤、ブロッキング防止
剤、滑剤、帯電防止剤、紫外線吸収剤等が添加してもよ
い。フィルム成形に当たっては、インフレーション法
（空冷法、水冷法）、Ｔダイ法何れも使用可能で、場合
により一軸延伸、二軸延伸処理を加えることも可能であ
る。成形温度、引取り速度に特に制限はないが、一般に
は成形温度１３０〜２３０℃、引取り速度５〜４０ｍ／
ｍｉｎ程度が好適である。フィルムのサイズは用途に応
じて選択されるが一般的には１０〜１００μｍ程度の厚
みをもつことが好ましい。
は、高圧法低密度ポリエチレンの特徴を損なわない範囲
で、また本発明のフィッシュアイ等の規定の管理に悪影
響を与えない範囲で、ＬＬＤＰＥ、高密度ポリエチレ
ン、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−ブテン
共重合体等のポリオレフィン系樹脂をブレンドしてもよ
い。また、必要に応じて通常ポリオレフィンで使用され
る添加剤、具体的には酸化防止剤、ブロッキング防止
剤、滑剤、帯電防止剤、紫外線吸収剤等が添加してもよ
い。フィルム成形に当たっては、インフレーション法
（空冷法、水冷法）、Ｔダイ法何れも使用可能で、場合
により一軸延伸、二軸延伸処理を加えることも可能であ
る。成形温度、引取り速度に特に制限はないが、一般に
は成形温度１３０〜２３０℃、引取り速度５〜４０ｍ／
ｍｉｎ程度が好適である。フィルムのサイズは用途に応
じて選択されるが一般的には１０〜１００μｍ程度の厚
みをもつことが好ましい。
【００１２】次にフィッシュアイのカウント方法として
は、一定サイズのフィルムを目視で透視観察し数える方
法、レーザーカウンターでフィルム成形中にインライン
で測定する方法、ＣＣＤカメラによりインライン又はオ
フラインで測定する方法等がある。適正な測定が実施さ
れれば何れの方法でも測定値に差はないが、本発明にお
いては、０．２０ｍｍ未満かつ０．０５０ｍｍ以上のフ
ィッシュアイ測定は目視観察により、０．２０ｍｍ以上
のフィッシュアイ測定にあたっては、フィルム成形機に
取り付けたインラインカウンター又はＣＣＤカメラ映像
の解析により行うことを基準とする。フィッシュアイ個
数の決定にあたっては、厚み０．０３ｍｍのフィルムを
使用するものとし、０．２０ｍｍ未満かつ０．０５０ｍ
ｍ以上のフィッシュアイ測定の場合３００ｃｍ2 以上、
０．２０ｍｍ以上のフィッシュアイ測定の場合、１００
ｍ2 以上の面積につきフィッシュアイ個数を実測の上、
単位面積に換算することを基準とする。厚みが異なるフ
ィルムの場合は、厚みを０．０３ｍｍに換算して本発明
の規定を満足するかどうかを確認する。
は、一定サイズのフィルムを目視で透視観察し数える方
法、レーザーカウンターでフィルム成形中にインライン
で測定する方法、ＣＣＤカメラによりインライン又はオ
フラインで測定する方法等がある。適正な測定が実施さ
れれば何れの方法でも測定値に差はないが、本発明にお
いては、０．２０ｍｍ未満かつ０．０５０ｍｍ以上のフ
ィッシュアイ測定は目視観察により、０．２０ｍｍ以上
のフィッシュアイ測定にあたっては、フィルム成形機に
取り付けたインラインカウンター又はＣＣＤカメラ映像
の解析により行うことを基準とする。フィッシュアイ個
数の決定にあたっては、厚み０．０３ｍｍのフィルムを
使用するものとし、０．２０ｍｍ未満かつ０．０５０ｍ
ｍ以上のフィッシュアイ測定の場合３００ｃｍ2 以上、
０．２０ｍｍ以上のフィッシュアイ測定の場合、１００
ｍ2 以上の面積につきフィッシュアイ個数を実測の上、
単位面積に換算することを基準とする。厚みが異なるフ
ィルムの場合は、厚みを０．０３ｍｍに換算して本発明
の規定を満足するかどうかを確認する。
【００１３】尚本発明のフィッシュアイの規定を満足す
るフィルムを得るには、ポリエチレンの製造工程だけで
なく、袋詰め・輸送工程、フィルム成形工程においても
厳密な工程管理、品質管理を行う必要がある。特に、
０．２０ｍｍ以上のフィッシュアイ個数を減らすには、
プロセス系内に変動を与えないことが肝要であって、具
体的には、目的製品製造前には８時間以上類似製品を生
産し、連続的に目的製品生産に移行するのが好ましい。
ここで類似製品とは、目的製品と重合条件、ＭＦＲ、密
度がほぼ同一な製品を意味し、更に具体的には、重合圧
力の差が５０Ｋｇ／ｃｍ2 以内、重合温度の差が５℃以
内、ＭＦＲの差が目的製品のＭＦＲ値の２０％以内、密
度の差が０．００２ｇ／ｃｍ3 以内である製品を意味す
る。この制限以上の差がある製品からの移行を行うと、
系内に変動を与える要因となり０．２０ｍｍ以上のフィ
ッシュアイが増加する懸念がある。特に、重合停止後の
立ち上げスタート時は系内が不安定な場合が多いので、
本発明のフィルムを目的とした製品の生産には適さな
い。また、ポリエチレン製品の袋詰め、フィルム成形時
に大気中の塵埃等の混入によりフィッシュアイが発生す
る可能性があるので、袋詰め、成形はクリーンルーム中
で行うのが好ましい。
るフィルムを得るには、ポリエチレンの製造工程だけで
なく、袋詰め・輸送工程、フィルム成形工程においても
厳密な工程管理、品質管理を行う必要がある。特に、
０．２０ｍｍ以上のフィッシュアイ個数を減らすには、
プロセス系内に変動を与えないことが肝要であって、具
体的には、目的製品製造前には８時間以上類似製品を生
産し、連続的に目的製品生産に移行するのが好ましい。
ここで類似製品とは、目的製品と重合条件、ＭＦＲ、密
度がほぼ同一な製品を意味し、更に具体的には、重合圧
力の差が５０Ｋｇ／ｃｍ2 以内、重合温度の差が５℃以
内、ＭＦＲの差が目的製品のＭＦＲ値の２０％以内、密
度の差が０．００２ｇ／ｃｍ3 以内である製品を意味す
る。この制限以上の差がある製品からの移行を行うと、
系内に変動を与える要因となり０．２０ｍｍ以上のフィ
ッシュアイが増加する懸念がある。特に、重合停止後の
立ち上げスタート時は系内が不安定な場合が多いので、
本発明のフィルムを目的とした製品の生産には適さな
い。また、ポリエチレン製品の袋詰め、フィルム成形時
に大気中の塵埃等の混入によりフィッシュアイが発生す
る可能性があるので、袋詰め、成形はクリーンルーム中
で行うのが好ましい。
【００１４】本発明のポリエチレンフィルムはプロテク
トフィルムとして好適に用いられ、特にフォトレジスト
等の光硬化性樹脂表面用のプロテクトフィルムとして用
いた場合に顕著な効果を示す。たとえばドライフィルム
フォトレジスト（ＤＦＲ）と称されるプリント基材用の
製造では通常ポリエステルフィルム等の基材上に光硬化
性樹脂からなるフォトレジストを塗布した後プロテクト
フィルムでその表面を保護し、次の工程に供される。そ
の際本発明の規定を満足しないプロテクトフィルムを用
いるとレジストが部分的に欠損し、光照射後のエッチン
グ処理において配線部分もエッチングされ、回路の断線
をもたらすが、本発明のポリエチレンフィルムを用いる
ことにより、従来のプロテクトフィルムがもっていたこ
れらの欠点が大幅に解消される。
トフィルムとして好適に用いられ、特にフォトレジスト
等の光硬化性樹脂表面用のプロテクトフィルムとして用
いた場合に顕著な効果を示す。たとえばドライフィルム
フォトレジスト（ＤＦＲ）と称されるプリント基材用の
製造では通常ポリエステルフィルム等の基材上に光硬化
性樹脂からなるフォトレジストを塗布した後プロテクト
フィルムでその表面を保護し、次の工程に供される。そ
の際本発明の規定を満足しないプロテクトフィルムを用
いるとレジストが部分的に欠損し、光照射後のエッチン
グ処理において配線部分もエッチングされ、回路の断線
をもたらすが、本発明のポリエチレンフィルムを用いる
ことにより、従来のプロテクトフィルムがもっていたこ
れらの欠点が大幅に解消される。
【００１５】
【実施例】以下本発明を具体例で説明する。 実施例１：高圧法低密度ポリエチレン製造設備を用い、
重合圧力１９００Ｋｇ／ｃｍ2 でＬＤＰＥを製造した。
製造にあたっては、プロセス各部の温度、圧力、流量、
タンクレベル等の運転条件にできるだけ変動を与えない
よう留意しフィッシュアイの発生防止に努めた。製品の
袋詰め時も、空気中の塵埃混入を防止すべくできる限り
の配慮を行った。製品として約４０Ｔのロットを３ロッ
ト生産した。各ロットはドライブレンドによる均一化操
作が行われるので、ロット内では物性、品質は一定であ
る。この樹脂を原料として、モダンシナリー社製、押出
機バレル径４５ｍｍ、ダイ径８０ｍｍの空冷式インフレ
ーションフィルム成形機にてフィルムを製膜した。押出
機の温度設定はシリンダー部１３０〜１５０℃、アダプ
ター・ダイ部１５０℃、引取り速度２０ｍ／ｍｉｎ、ブ
ローアップ比２．０の条件で厚み０．０３０のフィルム
を成形した。
重合圧力１９００Ｋｇ／ｃｍ2 でＬＤＰＥを製造した。
製造にあたっては、プロセス各部の温度、圧力、流量、
タンクレベル等の運転条件にできるだけ変動を与えない
よう留意しフィッシュアイの発生防止に努めた。製品の
袋詰め時も、空気中の塵埃混入を防止すべくできる限り
の配慮を行った。製品として約４０Ｔのロットを３ロッ
ト生産した。各ロットはドライブレンドによる均一化操
作が行われるので、ロット内では物性、品質は一定であ
る。この樹脂を原料として、モダンシナリー社製、押出
機バレル径４５ｍｍ、ダイ径８０ｍｍの空冷式インフレ
ーションフィルム成形機にてフィルムを製膜した。押出
機の温度設定はシリンダー部１３０〜１５０℃、アダプ
ター・ダイ部１５０℃、引取り速度２０ｍ／ｍｉｎ、ブ
ローアップ比２．０の条件で厚み０．０３０のフィルム
を成形した。
【００１６】成形はクリーンルーム内で行い、成形中に
インラインでレーザーフィッシュアイカウンター（安川
電機製Ｌａｓｅｒ Ｅｙｅ；ＴＰＬＳ−Ｊ０４Ｔ型）に
て０．２０ｍｍ以上のサイズのフィッシュアイ個数を計
測した。計測は１回の測定あたり３２０ｍ2 の面積につ
いて行い、この測定を各製品ロットにつき３回行い平均
値を計算した。次に、得られたフィルムを１００ｍｍ×
１００ｍｍサイズにカットし、目視にて０．２０ｍｍ未
満かつ０．０５０ｍｍ以上のフィッシュアイ個数をカウ
ントした。測定は各製品ロットにつき５枚のカットフィ
ルムにつき行い平均値を計算した。フィッシュアイ個数
の測定結果を表に示す。
インラインでレーザーフィッシュアイカウンター（安川
電機製Ｌａｓｅｒ Ｅｙｅ；ＴＰＬＳ−Ｊ０４Ｔ型）に
て０．２０ｍｍ以上のサイズのフィッシュアイ個数を計
測した。計測は１回の測定あたり３２０ｍ2 の面積につ
いて行い、この測定を各製品ロットにつき３回行い平均
値を計算した。次に、得られたフィルムを１００ｍｍ×
１００ｍｍサイズにカットし、目視にて０．２０ｍｍ未
満かつ０．０５０ｍｍ以上のフィッシュアイ個数をカウ
ントした。測定は各製品ロットにつき５枚のカットフィ
ルムにつき行い平均値を計算した。フィッシュアイ個数
の測定結果を表に示す。
【００１７】
【表１】 得られたフィルムをプロテクトフィルム用途に使用した
ところ、非常に好評で、あらゆる用途に幅広く使用可能
であった。
ところ、非常に好評で、あらゆる用途に幅広く使用可能
であった。
【００１８】比較例１：実施例１と同一の重合条件での
生産を行ったが、袋詰め時、特に塵埃の混入に注意を払
わなかった。またフィルムの製膜時、成形温度・引取り
速度・ブローアップ比は実施例に同じとしたが、クリー
ンルーム外の一般の成形機を使用した。原料ロットのＭ
ＦＲは３．０、密度は０．９２４ｇ／ｃｍ3 、ヘーズは
１４．０％であり、製膜したフィルムのフィッシュアイ
は、０．０５０ｍｍ以上かつ０．２０ｍｍ未満のサイズ
の個数が４０個／１００ｃｍ2 、０．２０ｍｍ以上のサ
イズの個数が１．５個／ｍ2 であった。得られたフィル
ムをプロテクトフィルム用途でテスト使用したところ、
問題無く使用できる用途もあったが、電子材料等の分野
で製品の合格率が低下し、客先よりフィッシュアイの改
良要求があった。即ち、本フィルムはプロテクトフィル
ムとして好適に使用できるとはいえないものであった。
生産を行ったが、袋詰め時、特に塵埃の混入に注意を払
わなかった。またフィルムの製膜時、成形温度・引取り
速度・ブローアップ比は実施例に同じとしたが、クリー
ンルーム外の一般の成形機を使用した。原料ロットのＭ
ＦＲは３．０、密度は０．９２４ｇ／ｃｍ3 、ヘーズは
１４．０％であり、製膜したフィルムのフィッシュアイ
は、０．０５０ｍｍ以上かつ０．２０ｍｍ未満のサイズ
の個数が４０個／１００ｃｍ2 、０．２０ｍｍ以上のサ
イズの個数が１．５個／ｍ2 であった。得られたフィル
ムをプロテクトフィルム用途でテスト使用したところ、
問題無く使用できる用途もあったが、電子材料等の分野
で製品の合格率が低下し、客先よりフィッシュアイの改
良要求があった。即ち、本フィルムはプロテクトフィル
ムとして好適に使用できるとはいえないものであった。
【００１９】比較例２：重合圧力を１６５０Ｋｇ／ｃｍ
2 とした以外は実施例と同様な方法で原料樹脂の製造及
びフィルムの製膜を行った。原料ロットのＭＦＲは３．
１、密度は０．９２４ｇ／ｃｍ3 、ヘーズは１２．７％
であり、製膜したフィルムのフィッシュアイは、０．０
５０ｍｍ以上かつ０．２０ｍｍ未満のサイズの個数が１
６０個／１００ｃｍ2 、０．２０ｍｍ以上のサイズの個
数が０．３８個／ｍ2 であった。得られたフィルムをプ
ロテクトフィルム用途でテスト使用したところ、非常な
精密性を要求される製品への使用において、フィッシュ
アイが多すぎて使用できないとの連絡を受けた。即ち、
本フィルムはプロテクトフィルムとして好適に使用でき
るとはいえないものであった。
2 とした以外は実施例と同様な方法で原料樹脂の製造及
びフィルムの製膜を行った。原料ロットのＭＦＲは３．
１、密度は０．９２４ｇ／ｃｍ3 、ヘーズは１２．７％
であり、製膜したフィルムのフィッシュアイは、０．０
５０ｍｍ以上かつ０．２０ｍｍ未満のサイズの個数が１
６０個／１００ｃｍ2 、０．２０ｍｍ以上のサイズの個
数が０．３８個／ｍ2 であった。得られたフィルムをプ
ロテクトフィルム用途でテスト使用したところ、非常な
精密性を要求される製品への使用において、フィッシュ
アイが多すぎて使用できないとの連絡を受けた。即ち、
本フィルムはプロテクトフィルムとして好適に使用でき
るとはいえないものであった。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4F071 AA15 AA82 AA88 AF07 AF07Y AF53 AF53Y AH04 BB09 BC01 4J011 AA05 AB04 MA16 4J100 AA02P CA01 DA00 DA14 DA42 DA62 FA29 JA58
Claims (2)
- 【請求項１】 ＭＦＲが０．３〜３０（ｇ／１０分）、
密度が０．９１３〜０．９３０（ｇ／ｃｍ3 ）である高
圧法低密度ポリエチレンからなり、且つ０．０３０ｍｍ
厚みのフィルムで測定した際、ヘーズが１〜５０
（％）、フィルム中に存在する長径０．２０ｍｍ未満
０．０５０ｍｍ以上のフィッシュアイ個数が１００個／
１００ｃｍ2 以下、長径０．２０ｍｍ以上のフィッシュ
アイ個数が１個／１ｍ2 以下であることを特徴とするポ
リエチレンフィルム。 - 【請求項２】 高圧法低密度ポリエチレンが、１７００
Ｋｇ／ｃｍ2 以上の重合圧力を用いて製造されたことを
特徴とする請求項１に記載のフィルム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11085613A JP2000273203A (ja) | 1999-03-29 | 1999-03-29 | ポリエチレンフィルム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11085613A JP2000273203A (ja) | 1999-03-29 | 1999-03-29 | ポリエチレンフィルム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000273203A true JP2000273203A (ja) | 2000-10-03 |
Family
ID=13863702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11085613A Pending JP2000273203A (ja) | 1999-03-29 | 1999-03-29 | ポリエチレンフィルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000273203A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006028060A1 (ja) * | 2004-09-06 | 2006-03-16 | Fujifilm Corporation | パターン形成材料、並びにパターン形成装置及びパターン形成方法 |
| US7166178B2 (en) * | 2000-08-18 | 2007-01-23 | Japan Polyolefins Co., Ltd | Protective film and method for preparing same |
| KR100685271B1 (ko) | 2005-11-24 | 2007-02-22 | 삼성토탈 주식회사 | 보호필름용 폴리에틸렌의 제조 방법 |
| JP2009299051A (ja) * | 2008-05-15 | 2009-12-24 | Tosoh Corp | ポリオレフィン樹脂及びその製造方法 |
| CN108699404A (zh) * | 2016-03-31 | 2018-10-23 | 东丽薄膜先端加工股份有限公司 | 表面保护膜 |
| WO2020255194A1 (ja) * | 2019-06-17 | 2020-12-24 | タマポリ株式会社 | ポリエチレンフィルム及びドライフィルムレジスト |
-
1999
- 1999-03-29 JP JP11085613A patent/JP2000273203A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7166178B2 (en) * | 2000-08-18 | 2007-01-23 | Japan Polyolefins Co., Ltd | Protective film and method for preparing same |
| WO2006028060A1 (ja) * | 2004-09-06 | 2006-03-16 | Fujifilm Corporation | パターン形成材料、並びにパターン形成装置及びパターン形成方法 |
| US7662540B2 (en) | 2004-09-06 | 2010-02-16 | Fujifilm Corporation | Pattern forming material, pattern forming apparatus and pattern forming process |
| KR100685271B1 (ko) | 2005-11-24 | 2007-02-22 | 삼성토탈 주식회사 | 보호필름용 폴리에틸렌의 제조 방법 |
| JP2009299051A (ja) * | 2008-05-15 | 2009-12-24 | Tosoh Corp | ポリオレフィン樹脂及びその製造方法 |
| CN108699404B (zh) * | 2016-03-31 | 2019-05-21 | 东丽薄膜先端加工股份有限公司 | 表面保护膜 |
| CN108699404A (zh) * | 2016-03-31 | 2018-10-23 | 东丽薄膜先端加工股份有限公司 | 表面保护膜 |
| WO2020255194A1 (ja) * | 2019-06-17 | 2020-12-24 | タマポリ株式会社 | ポリエチレンフィルム及びドライフィルムレジスト |
| KR20200145828A (ko) * | 2019-06-17 | 2020-12-30 | 다마폴리 가부시키가이샤 | 폴리에틸렌 필름 및 드라이 필름 레지스트 |
| CN112888738A (zh) * | 2019-06-17 | 2021-06-01 | 塔玛波里股份有限公司 | 聚乙烯膜及干膜抗蚀剂 |
| JPWO2020255194A1 (ja) * | 2019-06-17 | 2021-09-13 | タマポリ株式会社 | ポリエチレンフィルム及びドライフィルムレジスト |
| KR102429731B1 (ko) | 2019-06-17 | 2022-08-05 | 다마폴리 가부시키가이샤 | 폴리에틸렌 필름 및 드라이 필름 레지스트 |
| US11914297B2 (en) | 2019-06-17 | 2024-02-27 | Tamapoly Co., Ltd. | Polyethylene film and dry film resist |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5130495B2 (ja) | ポリプロピレン系積層フィルム及びそれを用いた包装体 | |
| US11260634B2 (en) | Laminate and packaging bag comprising same | |
| JP7003920B2 (ja) | 二軸配向ポリプロピレンフィルム | |
| JPH10500157A (ja) | 中モジュラスのフィルムおよび製造方法 | |
| JP2022100316A (ja) | 二軸配向ポリプロピレンフィルム | |
| JP5358076B2 (ja) | 二軸延伸自己粘着性プロテクトフィルム | |
| JP2000273203A (ja) | ポリエチレンフィルム | |
| JP2009078860A (ja) | 包装用フィルム | |
| JP2005297544A (ja) | ポリプロピレン系積層フィルム及びそれを用いた包装体 | |
| JP5452208B2 (ja) | インモールドラミネーション用二軸延伸自己粘着性プロテクトフィルム | |
| JP2008114606A (ja) | ポリプロピレン系積層フィルム及びそれを用いた包装体 | |
| WO2021070672A1 (ja) | ポリオレフィンフィルム | |
| KR101502330B1 (ko) | 드라이필름 포토레지스트용 보호필름 | |
| TW201922871A (zh) | 聚乙烯系樹脂膜 | |
| JP2010222531A (ja) | ４−メチルペンテン−１（共）重合体を含む横延伸用樹脂フィルム、およびその製造方法 | |
| JP2002294009A (ja) | ポリオレフィン系樹脂シート | |
| JP7490940B2 (ja) | ポリプロピレン系無延伸シーラントフィルム、包装材及び包装体 | |
| JP7434811B2 (ja) | 積層フィルム | |
| WO2023153327A1 (ja) | ポリプロピレンフィルム、積層体、包装材、梱包体、およびその製造方法 | |
| JP6753540B1 (ja) | ポリオレフィンフィルム、および離型用フィルム | |
| JP2009073079A (ja) | ポリプロピレン系樹脂製フィルムの製造方法 | |
| JP4310666B2 (ja) | 脂肪族ポリエステル系二軸延伸フィルム | |
| JP2022077360A (ja) | 積層フィルム | |
| JP2022103719A (ja) | 光学フィルム、その製造方法及び用途 | |
| JPWO2021070671A1 (ja) | ポリオレフィンフィルム |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040316 |