KR101502330B1 - 드라이필름 포토레지스트용 보호필름 - Google Patents

드라이필름 포토레지스트용 보호필름 Download PDF

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Abstract

본 발명은 드라이 필름 포토레지스트용 보호 필름에 관한 것으로, 투명도가 우수하면서, 필름 표면의 피쉬아이가 적으며, 필름의 모듈러스가 낮아 소프트하며, 표면의 슬립성이 우수하여 권취성이 향상된 드라이 필름 포토레지스트용 보호 필름에 관한 것이다.

Description

드라이필름 포토레지스트용 보호필름{Protect film for dry film photoresist}
본 발명은 드라이 필름 포토레지스트용 보호 필름에 관한 것으로, 투명도가 우수하면서, 필름 표면의 피쉬아이가 적으며, 필름의 모듈러스가 낮아 소프트하며, 표면의 슬립성이 우수하여 권취성이 향상된 드라이 필름 포토레지스트용 보호 필름에 관한 것이다.
드라이 필름 포토레지스트는 드라이 필름 레지스트(Dry filim resist; DFR) 또는 감광성 필름이라고 하며, 컴퓨터, 전자통신기기 등 산업용 전자기기는 물론 가정용 전자기기 부품에 부품회로 접속의 기본으로 사용되는 인쇄회로기판(Printed Circuit Board, 통상 PCB라 함), 리드 프래임(lead frame) 등 제작에 획기적인 가공기술재료로서 널리 이용되고 있다.
이러한 DFR은 지지체 필름(base film), 감광성 고분자층(photosensitive layer) 및 보호필름(protect film 또는 cover film)의 3개 층으로 구성되며, 이러한 구조의 DFR을 사용할 때는 보호 필름을 벗겨내고 동적층판상에 라미네이션(laminaton)한 다음 자외선을 조사하여 노광하고 현상과정을 거쳐 화상을 형성시키게 된다.
보호 필름은 감광성 고분자층에 부착되는 필름으로서, 점착성의 감광성 고분자 층이 서로 붙지 않고 권취롤에 잘 감겨질 수 있도록 유연성을 가져야하며, 감광성 고분자 층에 잘 부착되어 있어 제조·운송·보관 중에 떨어지지 않는 적정 점착성을 가져야 함과 동시에 DFR을 사용 시에 보호 필름이 잘 벗겨질 수 있는 이형성이 우수하여야 한다. 또한, 물고기 눈과 같은 미세한 돌기, 즉 피쉬아이(fisheye)가 극도로 적어야 한다. 이러한 피쉬아이는 감광성 고분자층에 전사되어 라미네이션할 때 공기혼입을 유발하여 결국 회로의 축소, 회로의 결손 등 심각한 문제를 유발하게 된다. 특히 피쉬아이는 감광성 고분자층이 얇아질수록 보다 심각한 불량요인이 되고 있는데, 통상 A4 종이 크기 기준 300㎛ 이상 크기의 피쉬아이는 전혀 없어야 하고, 약 100㎛ 수준 크기의 피쉬아이가 3개 이하, 약 50㎛ 수준 크기의 피쉬아이가 20개 이하일 것을 요구하고 있다.
이러한 요구조건에 적합한 보호 필름에 대해 많은 연구가 거듭되어 왔는데, 일본 등록특허 제3936922호(2007.03.30)에는 장경 30㎛이상 0.20mm 이하의 피쉬 아이 개수가 40개/10㎠이하이고, 장경 0.20mm 이상의 피쉬아이 개수가 1.0개/m2이하인 폴리에틸렌 필름 및 이의 제조방법을 제시하고 있다.
또한, 일본 공개특허공보 제2000-273203호(2000.10.03)에는 1,700kg/㎠ 이상 초고압 압축기에서 얻어지는 고압법 저밀도 폴리에틸렌계 수지를 사용하여 장경 0.20 mm미만 0.050 mm이상의 피쉬아이 개수가 100개/100 ㎠ 이하, 장경 0.20 mm이상의 피쉬아이 개수가 1개/1 m2 이하인 폴리에틸렌 필름이 기재되어 있다.
또한, 일본 공개특허공보 제2002-60426호(2002.02.26)에는 1,700kg/cm2 이상 초고압 압축기에 의해 에틸렌을 승압하고 계속 라디칼 중합 개시제 존재하에서 중합을 시키다가 초고압 압축기 출구에 있어서 적정량의 중합억제제를 반응계에 공존시킴에 따라 얻어지는 저밀도 폴리에틸렌계 수지로부터 얻어지는 필름이 기재되어 있다.
이러한 저밀도 폴리에틸렌계 필름은 유연성이 우수하고 가격도 저렴하며 폴리에스테르계 지지체 필름과의 마찰계수가 커서 텔레스코프 현상이 없으며 고압법에 의한 저밀도 폴리에틸렌계 수지의 중요 특징인 긴 곁가지 및 저분자 성분에 의한 다소의 점착성으로 감광성 고분자층과의 적정 점착성을 가짐과 동시에 기본적으로 친유성인 관계로 친수성인 감광성 고분자층에 대한 우수한 이형성을 가지는 등 많은 장점을 가지고 있어 DFR 보호필름으로 오랫동안 사용되어 왔다. 그러나 이러한 저밀도 폴리에틸렌계 수지는 기본적으로 분자량분포가 매우 넓어 결국 저분자 성분이 매우 많이 존재함에 따라 압출 가공에 의한 필름성형 시 이러한 저분자 성분의 열화, 산화, 가교반응에 의해 형성된 고분자 겔(gel)에 의한 피쉬아이가 다량 발생하는 문제가 있어 이의 개선이 절실히 요청되어 왔다.
이에 따라 선행문헌들과 같이 겔을 제거한 특수 저밀도 폴리에틸렌을 사용하여 제조된 필름은 투명도가 떨어지고, 마찰계수가 낮아 드라이 필름 포토레지스트용 보호 필름으로 사용하기에 완벽하다고 할 수 없다.
일본 등록특허 제3936922호(2007.03.30) 일본 공개특허공보 제2000-273203호(2000.10.03) 일본 공개특허공보 제2002-60426호(2002.02.26)
본 발명은 종래 사용되던 저밀도 폴리에틸렌을 사용하여 제조된 보호필름에 비하여 투명도가 우수하면서, 마찰계수가 높고, 피쉬아이 개수가 현저히 낮은 드라이 필름 포토레지스트용 보호 필름을 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 종래 사용되던 저밀도 폴리에틸렌을 사용하여 제조된 보호필름과 유사한 모둘러스를 가져 소프트 한 드라이 필름 포토레지스트용 보호 필름을 제공하고자 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명자들이 연구한 결과, 폴리프로필렌의 제조공정에서는 겔이 거의 생성되지 않는 점에 착안을 하여 폴리프로필렌을 주요 성분으로 하여 드라이 필름 포토레지스트용 보호 필름을 제조하였다. 그러나 폴리프로필렌을 단독으로 사용하는 경우는 저밀도 폴리에틸렌과 비교하여 소프트하지 않아 추후 감광성 고분자층에 부착되어 권취롤에 감길 때 권취성이 나쁘고 감광성 고분자층에 찍힘 등의 불량을 일으킬 수 있으므로 저밀도 폴리에틸렌을 사용하는 것과 유사한 모듈러스를 가지면서, 투명성이 더욱 우수하도록 하기 위하여 연구를 한 결과 폴리프로필렌과, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌 및 이들의 혼합물에서 선택되는 중합체를 함께 사용함으로써 이러한 문제점들을 해결할 수 있음을 발견하여 본 발명을 완성하였다.
더욱 좋게는 폴리프로필렌(a) 50 ~ 90 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌 및 이들의 혼합물에서 선택되는 어느 하나의 중합체(b) 10 ~ 50 중량%를 포함하는 경우, 목적으로 하는 소트프한 물성, 즉 모듈러스와 동시에, 투명성, 피위아이 등의 물성이 모두 우수한 보호필름을 제공할 수 있음을 발견하였다.
또한, 안티블로킹제를 더 포함함으로써 마찰계수를 조절함으로써 권취성이 더욱 향상될 수 있음을 발견하여 본 발명을 완성하였다.
따라서 본 발명은 폴리프로필렌(a)과, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌 및 이들의 혼합물에서 선택되는 어느 하나의 중합체(b)를 포함하는 드라이필름 포토레지스트용 보호필름에 관한 것이다.
보다 구체적으로 본 발명은 상기 보호필름은 폴리프로필렌(a) 50 ~ 90 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌 및 이들의 혼합물에서 선택되는 어느 하나의 중합체(b) 10 ~ 50 중량%를 포함하는 바인더수지 100 중량부에 대하여, 안티블로킹제를 0.01 ~ 5 중량부로 포함하는 드라이필름 포토레지스트용 보호필름에 관한 것이다.
본 발명에 따른 드라이 필름 포토레지스트용 보호 필름은 종래 저밀도 폴리에틸렌을 사용하던 보호필름과 유사한 유연성을 가질 수 있으며, 종래 저밀도 폴리에틸렌을 사용하던 보호필름에 비하여 피쉬아이의 개수를 현저히 낮출 수 있다.
또한, 투명성이 월등히 우수하여 품질관리가 매우 용이해짐과 동시에, 표면 마찰계수가 우수하여 작업성이 효율적으로 향상될 수 있다.
이밖에 인장강도, 신율, 모듈러스 등의 기계적인 물성이 우수하여 드라이 필름 포토레지스트용 보호 필름으로 사용하기에 매우 적합한 물성을 갖는 필름을 제공할 수 있다.
이하는 본 발명의 각 구성에 대하여 일 양태를 들어 보다 구체적으로 설명을 한다.
본 발명의 일 양태는 폴리프로필렌(a)과, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌 및 이들의 혼합물에서 선택되는 어느 하나의 중합체(b)를 포함하는 드라이필름 포토레지스트용 보호필름이다.
본 발명의 다른 양태는 폴리프로필렌(a)과, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌 및 이들의 혼합물에서 선택되는 어느 하나의 중합체(b) 및 안티블로킹제를 포함하는 드라이필름 포토레지스트용 보호필름이다.
본 발명의 또 다른 양태는 폴리프로필렌(a) 50 ~ 90 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌 및 이들의 혼합물에서 선택되는 어느 하나의 중합체(b) 10 ~ 50 중량%를 포함하는 드라이필름 포토레지스트용 보호필름이다.
본 발명의 또 다른 양태는 폴리프로필렌(a) 50 ~ 90 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌 및 이들의 혼합물에서 선택되는 어느 하나의 중합체(b) 10 ~ 50 중량%를 포함하는 바인더수지 100 중량부에 대하여, 안티블로킹제를 0.01 ~ 5 중량부로 포함하는 드라이필름 포토레지스트용 보호필름이다.
본 발명에서 상기 폴리프로필렌은 호모 폴리프로필렌, 랜덤 폴리프로필렌, 임팩트 폴리프로필렌에서 선택되는 어느 하나 또는 이들의 혼합물인 것일 수 있다. 이중에서 랜덤 폴리프로필렌을 사용하는 경우 소프트한 물성을 달성할 수 있으므로 가장 바람직하게 사용될 수 있다. 상기 폴리프로필렌은 50 ~ 90 중량%를 사용하는 것이 바람직하며, 상기 범위에서 목적으로 하는 피쉬아이 개수와, 투명성 및 모듈러스를 모두 만족할 수 있으므로 바람직하다. 더욱 바람직하게는 50 ~ 70 중량%를 사용하는 것이 좋다. 상업화된 예로는 SK GLOBAL CHEMICAL사의 H930F, R940F, B330F 등을 사용할 수 있으며, 이에 제한되는 것은 아니다.
본 발명에서 상기 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌은 필름의 모듈러스를 낮추고 투명성과 마찰계수를 증가시키기 위하여 사용되는 것으로, 그 함량은 10 ~ 50 중량%를 사용하는 것이 바람직하다. 상기 함량범위에서 목적으로 하는 피쉬아이 개수와, 투명성 및 모듈러스를 모두 만족할 수 있으며, 기계적인 물성이 우수한 보호필름을 제공할 수 있다. 더욱 바람직하게는 30 ~ 50 중량%를 사용하는 것이 좋다. 상기 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌은 에틸렌 함량이 5 ~ 16 중량%, 용융지수(MI)가 0.1 ~ 300g/10min(230℃, 2.16kg), 밀도가 0.860 ~ 0.895 g/㎤인 것을 사용하는 것이 필름의 모듈러스를 낮추고 투명성을 높일 수 있으므로 바람직하며, 상업화된 예로는 Exxon Mobil사의 Vistamaxx 시리즈를 사용할 수 있으며, 이에 제한되는 것은 아니다.
본 발명에서 상기 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌은 필름의 모듈러스를 낮추고 투명성과 마찰계수를 증가시키기 위하여 사용되는 것으로, 그 함량은 10 ~ 50 중량%를 사용하는 것이 바람직하다. 상기 함량범위에서 목적으로 하는 피쉬아이 개수와, 투명성 및 모듈러스를 모두 만족할 수 있으며, 기계적인 물성이 우수한 보호필름을 제공할 수 있다. 더욱 바람직하게는 30 ~ 50 중량%를 사용하는 것이 좋다. 상기 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌은 용융지수(MI)가 0.1 ~ 50g/10min(190℃, 2.16kg), 밀도가 0.850 ~ 0.920 g/㎤인 것을 사용하는 것이 필름의 모듈러스를 낮추고 투명성을 높일 수 있으므로 바람직하며, 상업화된 예로는 DOW사의 Engage 시리즈를 사용할 수 있으며, 이에 제한되는 것은 아니다.
본 발명의 일 양태에서, 상기 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌과 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌을 혼합하여 사용하는 경우는 그 혼합비율이 1 ~ 99 : 99 ~ 1 중량비로 혼합하여 사용될 수 있으며, 더욱 바람직하게는 20 ~ 80 : 80 ~ 20 중량비로 혼합하여 사용하는 것이 수지의 혼련성을 높이고 필름의 모듈러스를 최적화하기에 좋다.
본 발명에서 필름의 투명성과 모듈러스를 해치지 않으면서 마찰계수를 최적화하기 위하여 안티블로킹제를 더 포함할 수 있으며, 안티블로킹제의 혼화성이 더욱 우수하도록 하기 위하여 폴리프로필렌과 미리 혼합하여 마스터배치로 제조하여 사용될 수 있다. 안티블로킹제는 폴리프로필렌과, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌 및 이들의 혼합물을 포함하는 바인더수지 100 중량부에 대하여, 0.01 ~ 5 중량부를 사용하는 것이, 필름의 다른 물성에 영향을 주지 않는 범위에서 목적으로 하는 마찰계수를 높일 수 있으므로 바람직하다. 더욱 구체적으로 상기 안티블로킹제는 평균입경이 1 ~ 10㎛, 더욱 좋게는 3 ~ 7 ㎛인 실리콘비드, 아크릴계비드, 실리카 및 이들의 혼합물에서 선택되는 것을 사용할 수 있다. 바람직하게는 입도분포가 매우 좁은 평균입경 4 ~ 5㎛ 정도의 실리콘비드나 아크릴비드를 사용하면 필름의 투명성을 해치지 않으면서 보호필름을 제조할 수 있다.
본 발명에 따른 보호필름은 단층으로 이루어진 것일 수 있으며, 필요에 따라 한층 이상이 적층된 구성인 것일 수 있다.
본 발명의 보호필름은 그 두께가 제한되는 것은 아니나 10 ~ 100㎛인 것일 수 있다.
본 발명의 보호필름을 제조하는 방법은 폴리프로필렌과 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌 및 이들의 혼합물을 정량한 후, 압출기에 투입하여 180 ~ 250℃로 용융압출한 후, 티다이를 통해 압출하여 미연신된 필름으로 제조하는 것일 수 있다.
본 발명에 따른 보호필름은 인장강도가 140 ~ 500 kg/㎠이고, 신율이 150 ~ 500%이고, 헤이즈가 12% 이하이고, 마찰계수가 0.50 이상이고, 모듈러스가 1,500 ~ 7,500 kg/㎠, 산소투과도가 2,000 ~ 10,000 cc/㎡×24hr인 물성을 모두 만족할 수 있다. 상기 물성을 모두 만족하는 범위에서 드라이필름 포토레지스트용 보호필름으로 사용하기에 적합하다.
또한, 본 발명에 따른 보호필름은 50㎛ 이상의 피쉬아이가 1개/A4(210mm X 297mm) 이하인 물성을 만족할 수 있어, 기존의 드라이필름 포토레지스트용 보호필름에 비하여 현저히 낮은 피쉬아이 물성을 갖는다.
본 발명에서 피쉬 아이란, 필름 재료를 열용해하고, 혼련, 압출하고, 연신법 또는 캐스팅법에 의해 필름을 제조할 때에, 재료의 미용해 및 열화물이 필름 중에 취입된 열화물과 고융점의 물질인 겔(gel)을 의미한다. 또한, 피쉬 아이의 존재 및 크기는, 예를 들면, 광학현미경, 접촉형 표면 거칠기 측정기 또는 주사형 전자현미경으로 확인가능하다. 또한, 피쉬 아이의 직경(φ)은 최대경을 의미한다.
본 발명은 피쉬아이를 제거하기 위하여 원료 수지를 전처리하는 공정 없이 피쉬아이가 낮은 필름을 제공할 수 있다.
이하는 본 발명의 보다 구체적인 설명을 위하여 실시예를 들어 설명을 하는 바, 본 발명이 하기 실시예에 한정이 되는 것은 아니다.
이하 물성을 하기의 측정방법으로 측정을 하였다.
1. 인장강도(kg/㎠),
ASTM D882에 의해 측정을 하였다.
2. 신율(%)
ASTM D882에 의해 측정을 하였다.
3. 헤이즈(%)
ASTM D1003에 의해 측정을 하였다.
4. 마찰계수
ASTM D1894에 의해 측정을 하였다.
5. 모듈러스(kg/㎠)
ASTM D882에 의해 측정을 하였다.
6. 산소투과도(cc/㎡×24hr)
ASTM D3985에 의해 측정을 하였다.
7. 피쉬아이
필름 면적 A4(210mm X 297mm)에서의 피쉬아이 개수를 전자현미경으로 세어서 측정한다.
[실시예 1]
랜덤 폴리프로필렌(SK Global Chemical사, R940F, MI = 5.8g/10min(230℃, 2.16kg)) 90 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌(Exxon Mobil사, Vistamaxx 3980FL, 에틸렌함량 9 중량%, MI = 8(230℃, 2.16kg), 밀도 = 0.879g/㎤) 10 중량%를 혼합하여 압출기에 투입한 후,230℃로 용융압출한 후, 티다이를 통해 압출하여 두께가 20㎛인 미연신 필름을 제조하였다.
제조된 필름의 물성을 측정하여 하기 표 2에 나타내었다.
[실시예 2]
랜덤 폴리프로필렌(SK Global Chemical사, R940F, MI = 5.8g/10min(230℃, 2.16kg)) 80 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌(Exxon Mobil사, Vistamaxx 3980FL, 에틸렌함량 9 중량%, MI = 8(230℃, 2.16kg), 밀도 = 0.879g/㎤) 20 중량%를 혼합하여 압출기에 투입한 후,230℃로 용융압출한 후, 티다이를 통해 압출하여 두께가 20㎛인 미연신 필름을 제조하였다.
제조된 필름의 물성을 측정하여 하기 표 2에 나타내었다.
[실시예 3]
랜덤 폴리프로필렌(SK Global Chemical사, R940F, MI = 5.8g/10min(230℃, 2.16kg)) 70 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌(Exxon Mobil사, Vistamaxx 3980FL, 에틸렌함량 9 중량%, MI = 8(230℃, 2.16kg), 밀도 = 0.879g/㎤) 30 중량%를 혼합하여 압출기에 투입한 후,230℃로 용융압출한 후, 티다이를 통해 압출하여 두께가 20㎛인 미연신 필름을 제조하였다.
제조된 필름의 물성을 측정하여 하기 표 2에 나타내었다.
[실시예 4]
랜덤 폴리프로필렌(SK Global Chemical사, R940F, MI = 5.8g/10min(230℃, 2.16kg)) 80 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌(Exxon Mobil사, Vistamaxx 3980FL, 에틸렌함량 9 중량%, MI = 8(230℃, 2.16kg), 밀도 = 0.879g/㎤) 20 중량%를 혼합하였다. 상기 바인더 수지 100 중량부에 대하여 안티블로킹제로 실리콘비드(평균입경 5㎛, 플라스틱과사람들, 제품명 PPF 11074-2) 2 중량부를 첨가하여 압출기에 투입한 후, 230℃로 용융압출한 후, 티다이를 통해 압출하여 두께가 20㎛인 미연신 필름을 제조하였다.
제조된 필름의 물성을 측정하여 하기 표 2에 나타내었다.
[실시예 5]
랜덤 폴리프로필렌(SK Global Chemical사, R940F, MI = 5.8g/10min(230℃, 2.16kg)) 70 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌(Exxon Mobil사, Vistamaxx 3980FL, 에틸렌함량 9 중량%, MI = 8(230℃, 2.16kg), 밀도 = 0.879g/㎤) 30 중량%를 혼합하였다. 상기 바인더 수지 100 중량부에 대하여 안티블로킹제로 실리콘비드(평균입경 5㎛, 플라스틱과사람들, 제품명 PPF 11074-2) 3 중량부를 첨가하여 압출기에 투입한 후, 230℃로 용융압출한 후, 티다이를 통해 압출하여 두께가 20㎛인 미연신 필름을 제조하였다.
제조된 필름의 물성을 측정하여 하기 표 2에 나타내었다.
[실시예 6]
랜덤 폴리프로필렌(SK Global Chemical사, R940F, MI = 5.8g/10min(230℃, 2.16kg)) 50 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌(Exxon Mobil사, Vistamaxx 3980FL, 에틸렌함량 9 중량%, MI = 8(230℃, 2.16kg), 밀도 = 0.879g/㎤) 50 중량%를 혼합하였다. 상기 바인더 수지 100 중량부에 대하여 안티블로킹제로 실리콘비드(평균입경 5㎛, 플라스틱과사람들, 제품명 PPF 11074-2) 5 중량부를 첨가하여 압출기에 투입한 후, 230℃로 용융압출한 후, 티다이를 통해 압출하여 두께가 20㎛인 미연신 필름을 제조하였다.
제조된 필름의 물성을 측정하여 하기 표 2에 나타내었다.
[실시예 7]
랜덤 폴리프로필렌(SK Global Chemical사, R940F, MI = 5.8g/10min(230℃, 2.16kg)) 90 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌(Dow사, Engage 8200, MI = 5(190℃, 2.16kg), 밀도 = 0.870g/㎤) 10 중량%를 혼합하여 압출기에 투입한 후,230℃로 용융압출한 후, 티다이를 통해 압출하여 두께가 20㎛인 미연신 필름을 제조하였다.
제조된 필름의 물성을 측정하여 하기 표 2에 나타내었다.
[실시예 8]
랜덤 폴리프로필렌(SK Global Chemical사, R940F, MI = 5.8g/10min(230℃, 2.16kg)) 80 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌(Dow사, Engage 8200, MI = 5(190℃, 2.16kg), 밀도 = 0.870g/㎤) 20 중량%를 혼합하여 압출기에 투입한 후, 230℃로 용융압출한 후, 티다이를 통해 압출하여 두께가 20㎛인 미연신 필름을 제조하였다.
제조된 필름의 물성을 측정하여 하기 표 2에 나타내었다.
[실시예 9]
랜덤 폴리프로필렌(SK Global Chemical사, R940F, MI = 5.8g/10min(230℃, 2.16kg)) 70 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌(Dow사, Engage 8200, MI = 5(190℃, 2.16kg), 밀도 = 0.870g/㎤) 30 중량%를 혼합하였다. 상기 바인더 수지 100 중량부에 대하여 안티블로킹제로 실리콘비드(평균입경 5㎛, 플라스틱과사람들, 제품명 PPF 11074-2) 1 중량부를 첨가하여 압출기에 투입한 후, 230℃로 용융압출한 후, 티다이를 통해 압출하여 두께가 20㎛인 미연신 필름을 제조하였다.
제조된 필름의 물성을 측정하여 하기 표 2에 나타내었다.
[실시예 10]
랜덤 폴리프로필렌(SK Global Chemical사, R940F, MI = 5.8g/10min(230℃, 2.16kg)) 80 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌(Dow사, Engage 8200, MI = 5(190℃, 2.16kg), 밀도 = 0.870g/㎤) 20 중량%를 혼합하였다. 상기 바인더 수지 100 중량부에 대하여 안티블로킹제로 실리콘비드(평균입경 5㎛, 플라스틱과사람들, 제품명 PPF 11074-2) 2 중량부를 첨가하여 압출기에 투입한 후, 230℃로 용융압출한 후, 티다이를 통해 압출하여 두께가 20㎛인 미연신 필름을 제조하였다.
제조된 필름의 물성을 측정하여 하기 표 2에 나타내었다.
[실시예 11]
랜덤 폴리프로필렌(SK Global Chemical사, R940F, MI = 5.8g/10min(230℃, 2.16kg)) 70 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌(Dow사, Engage 8200, MI = 5(190℃, 2.16kg), 밀도 = 0.870g/㎤) 30 중량%를 혼합하였다. 상기 바인더 수지 100 중량부에 대하여 안티블로킹제로 실리콘비드(평균입경 5㎛, 플라스틱과사람들, 제품명 PPF 11074-2) 3 중량부를 첨가하여 압출기에 투입한 후, 230℃로 용융압출한 후, 티다이를 통해 압출하여 두께가 20㎛인 미연신 필름을 제조하였다.
제조된 필름의 물성을 측정하여 하기 표 2에 나타내었다.
[실시예 12]
랜덤 폴리프로필렌(SK Global Chemical사, R940F, MI = 5.8g/10min(230℃, 2.16kg)) 50 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌(Dow사, Engage 8200, MI = 5(190℃, 2.16kg), 밀도 = 0.870g/㎤) 50 중량%를 혼합하였다. 상기 바인더 수지 100 중량부에 대하여 안티블로킹제로 실리콘비드(평균입경 5㎛, 플라스틱과사람들, 제품명 PPF 11074-2) 5 중량부를 첨가하여 압출기에 투입한 후, 230℃로 용융압출한 후, 티다이를 통해 압출하여 두께가 20㎛인 미연신 필름을 제조하였다.
제조된 필름의 물성을 측정하여 하기 표 2에 나타내었다.
[실시예 13]
랜덤 폴리프로필렌(SK Global Chemical사, R940F, MI = 5.8g/10min(230℃, 2.16kg)) 50 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌(Exxon Mobil사, Vistamaxx 3980FL, 에틸렌함량 9 중량%, MI = 8(230℃, 2.16kg), 밀도 = 0.879g/㎤) 10 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌(Dow사, Engage 8200, MI = 5(190℃, 2.16kg), 밀도 = 0.870g/㎤) 40 중량%를 혼합하였다. 상기 바인더 수지 100 중량부에 대하여 안티블로킹제로 실리콘비드(평균입경 5㎛, 플라스틱과사람들, 제품명 PPF 11074-2) 5 중량부를 첨가하여 압출기에 투입한 후, 230℃로 용융압출한 후, 티다이를 통해 압출하여 두께가 20㎛인 미연신 필름을 제조하였다.
제조된 필름의 물성을 측정하여 하기 표 2에 나타내었다.
[실시예 14]
랜덤 폴리프로필렌(SK Global Chemical사, R940F, MI = 5.8g/10min(230℃, 2.16kg)) 50 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌(Exxon Mobil사, Vistamaxx 3980FL, 에틸렌함량 9 중량%, MI = 8(230℃, 2.16kg), 밀도 = 0.879g/㎤) 40 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌(Dow사, Engage 8200, MI = 5(190℃, 2.16kg), 밀도 = 0.870g/㎤) 10 중량%를 혼합하였다. 상기 바인더 수지 100 중량부에 대하여 안티블로킹제로 실리콘비드(평균입경 5㎛, 플라스틱과사람들, 제품명 PPF 11074-2) 5 중량부를 첨가하여 압출기에 투입한 후, 230℃로 용융압출한 후, 티다이를 통해 압출하여 두께가 ?㎛인 미연신 필름을 제조하였다.
제조된 필름의 물성을 측정하여 하기 표 2에 나타내었다.
[실시예 15]
랜덤 폴리프로필렌(SK Global Chemical사, R940F, MI = 5.8g/10min(230℃, 2.16kg)) 90 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌(Exxon Mobil사, Vistamaxx 6102FL, 에틸렌함량 16 중량%, MI = 3(230℃, 2.16kg), 밀도 = 0.862g/㎤) 10 중량%를 혼합하여 압출기에 투입한 후, 230℃로 용융압출한 후, 티다이를 통해 압출하여 두께가 20㎛인 미연신 필름을 제조하였다.
제조된 필름의 물성을 측정하여 하기 표 2에 나타내었다.
[실시예 16]
랜덤 폴리프로필렌(SK Global Chemical사, R940F, MI = 5.8g/10min(230℃, 2.16kg)) 80 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌(Exxon Mobil사, Vistamaxx 6102FL, 에틸렌함량 16 중량%, MI = 3(230℃, 2.16kg), 밀도 = 0.862g/㎤) 20 중량%를 혼합하여 압출기에 투입한 후, 230℃로 용융압출한 후, 티다이를 통해 압출하여 두께가 20㎛인 미연신 필름을 제조하였다.
제조된 필름의 물성을 측정하여 하기 표 2에 나타내었다.
[실시예 17]
랜덤 폴리프로필렌(SK Global Chemical사, R940F, MI = 5.8g/10min(230℃, 2.16kg)) 70 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌(Exxon Mobil사, Vistamaxx 6102FL, 에틸렌함량 16 중량%, MI = 3(230℃, 2.16kg), 밀도 = 0.862g/㎤) 30 중량%를 혼합하였다. 상기 바인더 수지 100 중량부에 대하여 안티블로킹제로 실리콘비드(평균입경 5㎛, 플라스틱과사람들, 제품명 PPF 11074-2) 1 중량부를 첨가하여 압출기에 투입한 후, 230℃로 용융압출한 후, 티다이를 통해 압출하여 두께가 20㎛인 미연신 필름을 제조하였다.
제조된 필름의 물성을 측정하여 하기 표 2에 나타내었다.
[실시예 18]
랜덤 폴리프로필렌(SK Global Chemical사, R940F, MI = 5.8g/10min(230℃, 2.16kg)) 80 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌(Exxon Mobil사, Vistamaxx 6102FL, 에틸렌함량 16 중량%, MI = 3(230℃, 2.16kg), 밀도 = 0.862g/㎤) 20 중량%를 혼합하였다. 상기 바인더 수지 100 중량부에 대하여 안티블로킹제로 실리콘비드(평균입경 5㎛, 플라스틱과사람들, 제품명 PPF 11074-2) 2 중량부를 첨가하여 압출기에 투입한 후, 230℃로 용융압출한 후, 티다이를 통해 압출하여 두께가 20㎛인 미연신 필름을 제조하였다.
제조된 필름의 물성을 측정하여 하기 표 2에 나타내었다.
[실시예 19]
랜덤 폴리프로필렌(SK Global Chemical사, R940F, MI = 5.8g/10min(230℃, 2.16kg)) 70 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌(Exxon Mobil사, Vistamaxx 6102FL, 에틸렌함량 16 중량%, MI = 3(230℃, 2.16kg), 밀도 = 0.862g/㎤) 30 중량%를 혼합하였다. 상기 바인더 수지 100 중량부에 대하여 안티블로킹제로 실리콘비드(평균입경 5㎛, 플라스틱과사람들, 제품명 PPF 11074-2) 3 중량부를 첨가하여 압출기에 투입한 후, 230℃로 용융압출한 후, 티다이를 통해 압출하여 두께가 20㎛인 미연신 필름을 제조하였다.
제조된 필름의 물성을 측정하여 하기 표 2에 나타내었다.
[실시예 20]
랜덤 폴리프로필렌(SK Global Chemical사, R940F, MI = 5.8g/10min(230℃, 2.16kg)) 50 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌(Exxon Mobil사, Vistamaxx 6102FL, 에틸렌함량 16 중량%, MI = 3(230℃, 2.16kg), 밀도 = 0.862g/㎤) 50 중량%를 혼합하였다. 상기 바인더 수지 100 중량부에 대하여 안티블로킹제로 실리콘비드(평균입경 5㎛, 플라스틱과사람들, 제품명 PPF 11074-2) 5 중량부를 첨가하여 압출기에 투입한 후, 230℃로 용융압출한 후, 티다이를 통해 압출하여 두께가 20㎛인 미연신 필름을 제조하였다.
제조된 필름의 물성을 측정하여 하기 표 2에 나타내었다.
[실시예 21]
랜덤 폴리프로필렌(SK Global Chemical사, R940F, MI = 5.8g/10min(230℃, 2.16kg)) 90 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌(Dow사, Engage 8450, MI = 3(230℃, 2.16kg), 밀도 = 0.902g/㎤) 10 중량%를 혼합하여 압출기에 투입한 후, 230℃로 용융압출한 후, 티다이를 통해 압출하여 두께가 20㎛인 미연신 필름을 제조하였다.
제조된 필름의 물성을 측정하여 하기 표 2에 나타내었다.
[실시예 22]
랜덤 폴리프로필렌(SK Global Chemical사, R940F, MI = 5.8g/10min(230℃, 2.16kg)) 80 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌(Dow사, Engage 8450, MI = 3(230℃, 2.16kg), 밀도 = 0.902g/㎤) 20 중량%를 혼합하여 압출기에 투입한 후, 230℃로 용융압출한 후, 티다이를 통해 압출하여 두께가 20㎛인 미연신 필름을 제조하였다.
제조된 필름의 물성을 측정하여 하기 표 2에 나타내었다.
[실시예 23]
랜덤 폴리프로필렌(SK Global Chemical사, R940F, MI = 5.8g/10min(230℃, 2.16kg)) 70 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌(Dow사, Engage 8450, MI = 3(230℃, 2.16kg), 밀도 = 0.902g/㎤) 30 중량%를 혼합하여 압출기에 투입한 후, 230℃로 용융압출한 후, 티다이를 통해 압출하여 두께가 20㎛인 미연신 필름을 제조하였다.
제조된 필름의 물성을 측정하여 하기 표 2에 나타내었다.
[실시예 24]
랜덤 폴리프로필렌(SK Global Chemical사, R940F, MI = 5.8g/10min(230℃, 2.16kg)) 80 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌(Dow사, Engage 8450, MI = 3(230℃, 2.16kg), 밀도 = 0.902g/㎤) 20 중량%를 혼합하였다. 상기 바인더 수지 100 중량부에 대하여 안티블로킹제로 실리콘비드(평균입경 5㎛, 플라스틱과사람들, 제품명 PPF 11074-2) 2 중량부를 첨가하여 압출기에 투입한 후, 230℃로 용융압출한 후, 티다이를 통해 압출하여 두께가 20㎛인 미연신 필름을 제조하였다.
제조된 필름의 물성을 측정하여 하기 표 2에 나타내었다.
[실시예 25]
랜덤 폴리프로필렌(SK Global Chemical사, R940F, MI = 5.8g/10min(230℃, 2.16kg)) 70 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌(Dow사, Engage 8450, MI = 3(230℃, 2.16kg), 밀도 = 0.902g/㎤) 30 중량%를 혼합하였다. 상기 바인더 수지 100 중량부에 대하여 안티블로킹제로 실리콘비드(평균입경 5㎛, 플라스틱과사람들, 제품명 PPF 11074-2) 3 중량부를 첨가하여 압출기에 투입한 후, 230℃로 용융압출한 후, 티다이를 통해 압출하여 두께가 20㎛인 미연신 필름을 제조하였다.
제조된 필름의 물성을 측정하여 하기 표 2에 나타내었다.
[실시예 26]
랜덤 폴리프로필렌(SK Global Chemical사, R940F, MI = 5.8g/10min(230℃, 2.16kg)) 50 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌(Dow사, Engage 8450, MI = 3(230℃, 2.16kg), 밀도 = 0.902g/㎤) 50 중량%를 혼합하였다. 상기 바인더 수지 100 중량부에 대하여 안티블로킹제로 실리콘비드(평균입경 5㎛, 플라스틱과사람들, 제품명 PPF 11074-2) 5 중량부를 첨가하여 압출기에 투입한 후, 230℃로 용융압출한 후, 티다이를 통해 압출하여 두께가 20㎛인 미연신 필름을 제조하였다.
제조된 필름의 물성을 측정하여 하기 표 2에 나타내었다.
[실시예 27]
랜덤 폴리프로필렌(SK Global Chemical사, R940F, MI = 5.8g/10min(230℃, 2.16kg)) 50 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌(Exxon Mobil사, Vistamaxx 6102FL, 에틸렌함량 16 중량%, MI = 3(230℃, 2.16kg), 밀도 = 0.862g/㎤) 10 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌(Dow사, Engage 8450, MI = 3(230℃, 2.16kg), 밀도 = 0.902g/㎤) 40 중량%를 혼합하였다. 상기 바인더 수지 100 중량부에 대하여 안티블로킹제로 실리콘비드(평균입경 5㎛, 플라스틱과사람들, 제품명 PPF 11074-2) 5 중량부를 첨가하여 압출기에 투입한 후, 230℃로 용융압출한 후, 티다이를 통해 압출하여 두께가 20㎛인 미연신 필름을 제조하였다.
제조된 필름의 물성을 측정하여 하기 표 2에 나타내었다.
[실시예 28]
랜덤 폴리프로필렌(SK Global Chemical사, R940F, MI = 5.8g/10min(230℃, 2.16kg)) 50 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌(Exxon Mobil사, Vistamaxx 6102FL, 에틸렌함량 16 중량%, MI = 3(230℃, 2.16kg), 밀도 = 0.862g/㎤) 40 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌(Dow사, Engage 8450, MI = 3(230℃, 2.16kg), 밀도 = 0.902g/㎤) 10 중량%를 혼합하였다. 상기 바인더 수지 100 중량부에 대하여 안티블로킹제로 실리콘비드(평균입경 5㎛, 플라스틱과사람들, 제품명 PPF 11074-2) 5 중량부를 첨가하여 압출기에 투입한 후, 230℃로 용융압출한 후, 티다이를 통해 압출하여 두께가 20㎛인 미연신 필름을 제조하였다.
제조된 필름의 물성을 측정하여 하기 표 2에 나타내었다.
[표 1]
Figure 112013101480103-pat00001
(상기 표 1에서, M-PP는 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌이고, M-PE는 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌이고, LDPE는 저밀도 폴리에틸렌이다.)
[표 2]
Figure 112013101480103-pat00002
상기 표에서 보이는 바와 같이, 본 발명에 따른 보호필름은 LDPE를 사용한 비교예 1과 대비하여 투명성이 우수하고 마찰계수를 증가시킬 수 있어 드라이필름 포토레지스터용 보호필름으로 사용할 경우 생산성을 향상할 수 있음을 알 수 있었다. 또한, 폴리프로필렌을 단독으로 사용한 비교예 2와 비교하여 필름의 모듈러스를 현저히 떨어뜨려 필름롤 권취가 용이하게 해주며, 산소투과도도 증가시켜 드라이필름 포토레지스터 생산 시 불량률을 감소시킬 수 있음을 알 수 있었다.
또한, 실시예에서 보이는 바와 같이 폴리프로필렌 50 ~ 90 중량%와, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌 및 이들의 혼합물의 함량이 10 ~ 50 중량%로 사용하는 범위에서 모듈러스가 가장 우수하고 헤이즈가 낮아 투명성이 우수함을 알 수 있었다.
또한, 실시예 1 내지 3, 실시예 7 내지 9, 실시예 15 내지 17, 실시예 21 내지 23에서 보이는 바와 같이 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌과 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌의 함량이 증가할수록 마찰계수가 높아지는 경향이 있으며, 안티블로킹제를 포함함으로써 마찰계수를 0.50 이상인 범위로 필름이 달라붙지 않도록 유지할 수 있음을 알 수 있었다.

Claims (10)

  1. 폴리프로필렌(a) 및
    메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌 또는 상기 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌과 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌의 혼합물에서 선택되는 어느 하나의 중합체(b)를 포함하며,
    상기 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌은 에틸렌 함량이 5 ~ 16 중량%, 용융지수(MI)가 0.1 ~ 300 g/10min(230℃, 2.16㎏), 밀도가 0.860 ~ 0.895 g/㎤인 드라이필름 포토레지스트용 보호필름.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 보호필름은 안티블로킹제를 더 포함하는 것인 드라이필름 포토레지스트용 보호필름.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 보호필름은 폴리프로필렌(a) 50 ~ 90 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌 또는 상기 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌과 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌의 혼합물에서 선택되는 어느 하나의 중합체(b) 10 ~ 50 중량%를 포함하는 드라이필름 포토레지스트용 보호필름.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 보호필름은 폴리프로필렌(a) 50 ~ 90 중량%, 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌 또는 상기 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리프로필렌과 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌의 혼합물에서 선택되는 어느 하나의 중합체(b) 10 ~ 50 중량%를 포함하는 바인더수지 100 중량부에 대하여, 안티블로킹제를 0.01 ~ 5 중량부로 포함하는 드라이필름 포토레지스트용 보호필름.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 폴리프로필렌은 호모 폴리프로필렌, 랜덤 폴리프로필렌, 임팩트 폴리프로필렌에서 선택되는 어느 하나 또는 이들의 혼합물인 드라이필름 포토레지스트용 보호필름.
  6. 삭제
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 메탈로센 촉매를 사용하여 중합시킨 폴리에틸렌은 용융지수(MI)가 0.1 ~ 50g/10min(190℃, 2.16kg), 밀도가 0.850 ~ 0.920 g/㎤인 드라이필름 포토레지스트용 보호필름.
  8. 제 2항 또는 제 4항에 있어서,
    상기 안티블로킹제는 평균입경이 0.5 ~ 15㎛인 실리콘비드, 아크릴계비드, 실리카 및 이들의 혼합물에서 선택되는 것인 드라이필름 포토레지스트용 보호필름.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 보호필름은 인장강도가 140 ~ 500 kg/㎠이고, 신율이 150 ~ 500%이고, 헤이즈가 12% 이하이고, 마찰계수가 0.50 이상이고, 모듈러스가 1,500 ~ 7,500 kg/㎠, 산소투과도가 2,000 ~ 10,000 cc/㎡×24hr인 드라이필름 포토레지스트용 보호필름.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 보호필름은 50㎛ 이상의 피쉬아이가 1개/A4(210mm X 297mm) 이하인 드라이필름 포토레지스트용 보호필름.
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