TWI748516B - 聚乙烯膜及乾膜抗蝕劑 - Google Patents

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中村均
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日商塔瑪波里股份有限公司
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Abstract

本發明提供一種聚乙烯膜，其不易斷裂(膜開裂)，開孔較少，且不易產生魚眼，係高壓法低密度聚乙烯和線性低密度聚乙烯混合而成之聚乙烯膜，其特徵在於，高壓法低密度聚乙烯和線性低密度聚乙烯之混合比例即高壓法低密度聚乙烯：線性低密度聚乙烯(重量%)係90：10~60：40，平面觀察膜時顯現之最小直徑達0.2mm以上之魚眼數為2個/1.9m3以下，霧度值係12~25%，厚度係10~20μm。

Description

聚乙烯膜及乾膜抗蝕劑
本發明涉及一種聚乙烯膜、及將其用作乾膜抗蝕劑用覆蓋膜之乾膜抗蝕劑。
搭載於個人電腦或智能手機之電路板之製作中一般使用乾膜抗蝕劑(下麵，也稱為“DFR”)，但由於DFR之抗蝕劑層(感光性樹脂層)具有粘合性，籍此需要覆蓋膜覆蓋該層對表面進行保護。關於這種用於表面保護之覆蓋膜，從柔軟性及價格之觀點出發，利用聚乙烯類之膜一直在研究中。作為涉及聚乙烯類之膜之現有技術，例如，日本專利第6068463號公報(專利文獻1)中記載了聚乙烯共混組合物之發明。
現有技術文獻
專利文獻
專利文獻1：日本專利第6068463號公報
惟，作為DFR之覆蓋膜，有進一步降低成本及薄膜化之要求，關於熔化樹脂顆粒並成膜之聚乙烯類之膜，需要提供不易斷裂(膜開裂)，開孔較少，且不易產生魚眼之膜。籍此，本發明係為了解決這樣之課題而完成者。
為了解決上述課題，本發明具有下面若干個構成。
[1]一種聚乙烯膜，其係混合高壓法低密度聚乙烯和線性低密度聚乙烯而成者，其特徵在於，高壓法低密度聚乙烯和線性低密度聚乙烯之混合比例即高壓法低密度聚乙烯：線性低密度聚乙烯(重量%)係90：10~60：40，平面觀察膜時顯現之最小直徑達0.2mm以上之魚眼數為2個/1.9m3以下，霧度值係12~25%，厚度係10~20μm。
[2]如前所述之聚乙烯膜，其中，高壓法低密度聚乙烯：線性低密度聚乙烯(重量%)係80：20~70：30。
[3]如前所述聚乙烯膜，其中，密度係0.910~0.928g/cm3。
[4]如前所述之聚乙烯膜，其特徵在於，其係混合高壓法低密度聚乙烯和線性低密度聚乙烯而成者，所述聚乙烯膜由高壓法低密度聚乙烯和線性低密度聚乙烯之混合比例即高壓法低密度聚乙烯：線性低密度聚乙烯(重量%)係90：10~60：40之聚乙烯膜層與高壓法低密度聚乙烯和線性低密度聚乙烯之混合比例即高壓法低密度聚乙烯：線性低密度聚乙烯(重量%)係100：0~80：20之聚乙烯膜層層疊而成者，平面觀察膜時顯現之最小直徑達0.2mm以上之魚眼數為2個/1.9m3以下，霧度值係12~25%，厚度係10~20μm。
[5]如前所述之聚乙烯膜，其中，所述高壓法低密度聚乙烯和線性低密度聚乙烯之混合比例即高壓法低密度聚乙烯：線性低密度聚乙烯(重量%) 係90：10~60：40之聚乙烯膜層與所述高壓法低密度聚乙烯和線性低密度聚乙烯之混合比例即高壓法低密度聚乙烯：線性低密度聚乙烯(重量%)係100：0~80：20之聚乙烯膜層之層疊係三層。
[6]如前所述之聚乙烯膜，其中，所述聚乙烯膜由層疊的三層構成，所述三層的結構係：用所述高壓法低密度聚乙烯和線性低密度聚乙烯之混合比例即高壓法低密度聚乙烯：線性低密度聚乙烯(重量%)係100：0~80：20之聚乙烯膜層層疊於所述高壓法低密度聚乙烯和線性低密度聚乙烯之混合比例即高壓法低密度聚乙烯：線性低密度聚乙烯(重量%)係90：10~60：40之聚乙烯膜層之正面和背面这兩表面。
[7]如前所述之聚乙烯膜，其中，所述聚乙烯膜由層疊的三層構成，所述三層的結構係：用所述高壓法低密度聚乙烯和線性低密度聚乙烯之混合比例即高壓法低密度聚乙烯：線性低密度聚乙烯(重量%)係90：10~60：40之聚乙烯膜層層疊於所述高壓法低密度聚乙烯和線性低密度聚乙烯之混合比例即高壓法低密度聚乙烯：線性低密度聚乙烯(重量%)係100：0~80：20之聚乙烯膜層之正面和背面这兩表面。
[8]一種乾膜抗蝕劑，其將所述任一聚乙烯膜作為覆蓋膜層疊於抗蝕劑層而成者。
[9]一種乾膜抗蝕劑，其將所述任一聚乙烯膜作為覆蓋膜層疊於抗蝕劑層而成者，在所述層疊之聚乙烯膜中，將所述高壓法低密度聚乙烯和線性低密度聚乙烯之混合比例即高壓法低密度聚乙烯：線性低密度聚乙烯(重量%)係90：10~60：40之聚乙烯膜層設於與所述抗蝕劑層相對之面側而成者。
本發明之聚乙烯膜、及使用其之乾膜抗蝕劑用覆蓋膜不易斷裂(膜開裂)，開孔較少，且不易產生魚眼。
另外，根據本發明之乾膜抗蝕劑，能夠較佳覆蓋乾膜抗蝕劑之抗蝕劑層，剝離等操作性優異。
基於若干實施方式更詳細地對本發明進行說明，但在各實施方式中，針對相同材質、組成、制法、作用、效果等，將不予贅述。
第一實施方式：
若對本發明進行更詳細地說明，則在本發明之第一實施方式中，提供一種聚乙烯膜，其係混合高壓法低密度聚乙烯(LDPE)(下面，也稱為“低密度聚乙烯”)和線性低密度聚乙烯(LLDPE)(下面，也稱為“線性聚乙烯”)混合而成者，其中，低密度聚乙烯之密度係0.910~0.930g/cm3，線性聚乙烯之密度係0.910~0.925g/cm3，低密度聚乙烯和線性聚乙烯之混合比例即低密度聚乙烯：線性聚乙烯(重量%)係90：10~70：30，平面觀察膜時顯現之最小直徑達0.2mm以上之魚眼係2個/1.9m3以下，霧度係12~25%，厚度係10~20μm。
平面觀察係指沿相對聚乙烯膜之寬面垂直之方向即膜之厚度方向觀察聚乙烯膜。另外，魚眼在平面觀察時多顯現係橢圓形等形狀，為了明確這種情況下之大小，以最小直徑進行規定。即，當魚眼在平面觀察時係橢圓時， 最小直徑係該橢圓之短軸之長度。進而，將計數魚眼數之單位體積之大小設為1.9m3，係由於魚眼數不僅取決於對聚乙烯膜進行平面觀察時之單位面積之大小，還受到聚乙烯膜之厚度之影響，而且以厚度19μm之膜中之每100m2之數為標準。
低密度聚乙烯和線性聚乙烯之配合比例設定為兩者之混合物中包含線性聚乙烯10~40重量%，較佳20~30重量%。若線性聚乙烯之配合比例小於10重量%，則難以將聚乙烯膜成型為10μm厚。另外，若超過40重量%，則魚眼數過多，霧度值變低，製造工序中聚乙烯膜難以卷繞。而且，由於生產性較差，籍此難以降低成本。而且，若低於20重量%，則較容易產生開孔，若大於30重量%，則魚眼數變得較多。
魚眼數如果如上所述平面觀察膜時顯現之最小直徑達0.2mm以上之魚眼係10個/1.9m3以下，則能夠用作DFR用之覆蓋膜。惟，若魚眼數較多，則產生了魚眼之部分之附近與抗蝕劑層之邊界之密合性變差，成為產生據此不良之原因。籍此，魚眼數設為2個/1.9m3以下，較佳為1個/1.9m3以下，更佳為0.5個/1.9m3以下。需要說明之，魚眼係平坦之膜上產生之微小之塊狀部分，一般認為它係由於原料之混合不良或熔融不良等原因而產生者。
霧度係表示聚乙烯膜之透明性之指標，同時也係表示對DFR之適用性之指標，其值設為12~25%，較佳為15~20%。若霧度(值)超過25%，則用作DFR用之覆蓋膜時對抗蝕劑層之密合性差，容易產生容易剝落之類之不良。另一方面，若小於12%，則表面變得平滑，滑動性變差。籍此，卷取製造聚乙烯膜時容易銜入空氣，容易在膜表面產生突起。另外，如果係20%以下，則對抗蝕劑 層之密合性優異。需要說明之，霧度(值)係基於JISK7136之規定，使用霧度計(日本電色工業公司制“NDH4000”(商品名)測得之結果。
聚乙烯膜之厚度能夠設為10~20μm。若比10μm薄，則容易斷裂。另一方面，若比20μm厚，則成本增高，另外，會加大設為卷包狀之DFR膜之容積，操作不方便。此外，容易產生膜之厚度差。相對於聚乙烯膜之10~20μm範圍內之所需厚度，厚度差能夠較佳設為6μm以下，更佳設為4μm以下。若相對於所需之厚度之厚度差超過6μm，則膜卷取後，有可能產生皺褶出現問題，光致抗蝕劑材料會從該皺褶中滲出。需要說明之，厚度差係膜上最厚處與最薄處之厚度之差。
聚乙烯膜之熔體流動速率(MFR)較佳設為1.0~10g/10min。MFR能夠依據JIS K7210在190℃、2.16kg負荷下進行測定。若MFR低於1.0g/10min，則利用吹塑薄膜法或T型模法成型時之流動性變差，變得難以成型。若MFR超過10g/10min，則吹塑成型時吹塑管容易變得不穩定。
聚乙烯膜之密度較佳設為0.910~0.928g/cm3。若使聚乙烯膜之密度低於0.910g/cm3，則聚乙烯膜之撓性變低，製造聚乙烯膜時膜容易扭曲而產生皺褶。製造DFR時聚乙烯膜同樣容易扭曲而產生皺褶。另外，吹塑成型時吹塑管容易變得不穩定，有可能因兩個重疊管而密合產生閉塞。另一方面，若使聚乙烯膜之密度高於0.928g/cm3，則有可能在聚乙烯膜表面產生粉末。
聚乙烯膜能夠籍由吹塑法或T型模法制造。另外，得到之聚乙烯膜能夠較佳作為乾膜抗蝕劑之覆蓋膜而利用。即，在乾膜抗蝕劑之抗蝕劑層上層疊聚乙烯膜時之密合性優異，使用乾膜抗蝕劑時，能夠容易剝下聚乙烯膜。另外，由於聚乙烯膜之厚度較薄，籍此，即使在用聚乙烯膜覆蓋抗蝕劑層之表 面並製成卷包狀保存時，與使用厚度較大之覆蓋膜之情況相比，容積變小，不佔用空間，很方便。
另外，作為該聚乙烯膜，低密度聚乙烯與線性聚乙烯兩者均基本作為乙烯之均聚物而得到，與α-烯烴單體或非烯烴單體聚合物之共聚成分能夠設為5mol%以下，此外，能夠不包含增塑劑、防粘連劑、滑劑、抗靜電劑而成型，籍此，係一種安全且穩定性高之聚乙烯膜。惟，根據DFR以外之用途，也能夠按照需要包含上述各種添加劑。
第二實施方式：
本實施方式中所說明之聚乙烯膜係與第一實施方式中使用之材料、方法同樣操作得到之聚乙烯膜，但相對於第一實施方式之聚乙烯膜係單層之聚乙烯膜，本實施方式之聚乙烯膜在設為多層之層疊構成這一點不同。
第二-一實施方式：
本聚乙烯膜由籍由共擠出法層疊之三層構成組成，與其中之中央層相比，兩表面層由線性聚乙烯之配合比例較多之原料構成。中央層中，較佳使用低密度聚乙烯和線性聚乙烯之配合比例係兩者之混合物中包含0~20重量%線性聚乙烯之膜，兩外層中，較佳使用低密度聚乙烯和線性聚乙烯之配合比例係兩者之混合物中包含10~40重量%線性聚乙烯之膜。另外，兩外層之線性聚乙烯之含量可以相同，也可以不同。
作為一例，中央層中由僅由不含有線性聚乙烯之低密度聚乙烯組成之聚乙烯膜構成，覆蓋其兩表面之兩個外層中，能夠設為使用包含20重量%線性聚乙烯之聚乙烯膜層疊而成之聚乙烯膜。籍由使兩表面中含有線性聚乙烯， 能夠防止開孔等，從而提高膜強度。另一方面，籍由在中央使用線性聚乙烯含量少之原料，有可能減少整體之魚眼數。
由三層構成所組成之本實施方式之聚乙烯膜之厚度較佳將其總厚設為10~20μm。另外，一實施方式係，各層之厚度能夠設為相同，但也較佳將中央層設為比兩外層厚。這係因為，中央層係聚乙烯膜整體中成為基底之部分，能夠用呈現於表層之兩外層彌補其缺點。若使總厚度變薄為小於10μm，則各層變得過薄而不易成型。另一方面，也能夠製造超過20μm之聚乙烯膜，但在成本方面，較佳較薄厚度，只要有20μm則已足夠。
第二-二實施方式：
在本實施方式中，聚乙烯膜也由籍由共擠法層疊之三層構成所組成，但與其中之中央層相比，兩表面層由線性聚乙烯之配合比例較少之原料構成。中央層中，較佳使用低密度聚乙烯和線性聚乙烯之配合比例係兩者之混合物中包含10~40重量%線性聚乙烯之膜，兩外層中，較佳使用低密度聚乙烯和線性聚乙烯之配合比例係兩者之混合物中包含0~20重量%線性聚乙烯之膜。另外，兩外層之線性聚乙烯之含量可以相同，也可以不同。
作為一例，中央層中由含有20重量%線性聚乙烯之低密度聚乙烯組成之聚乙烯膜構成，覆蓋其兩表面之兩外層中，能夠設為使用僅由不含有線性聚乙烯(0重量%)之低密度聚乙烯組成之膜層疊而成之聚乙烯膜。籍由在兩表面使用線性聚乙烯含量較少之膜，能夠減少魚眼顯現在表層，另外，能夠抑制卷取聚乙烯膜時產生皺褶等。另一方面，由於在中央層上層疊有低密度聚乙烯含量多之膜，籍此，能夠提高膜強度，使其不易產生開孔等。
本實施方式之聚乙烯膜之厚度也較佳將其總厚度設為10~20μm。另外，能夠將各層之厚度設為相同，但也較佳將中央層設為比兩外層更厚。這係因為，中央層係聚乙烯膜整體中成為基底之部分，能夠籍由呈現於表層之兩外層來彌補其缺點。若使總厚度變薄為小於10μm，則各層變得過薄而不易成型。另一方面，也能夠製造超過20μm之聚乙烯膜，但在成本方面，較佳較薄厚度，只要有20μm則足夠了。
變形實施方式：
聚乙烯膜多層之層疊並不限定於三層，也能夠設為超過兩層或三層之層疊。在兩層之情況下，籍由使一層中比另一層更多地含有線性聚乙烯來謀求提高膜強度，另一方面，另一層籍由減少線性聚乙烯之含量可以減少整體之魚眼數，還可以提高生產率。
製造層疊之聚乙烯膜能夠與單層情況同樣，籍由使用吹塑法或T型模法利用共擠出進行層疊而製造。另外，層疊之聚乙烯膜也能夠較佳作為乾膜抗蝕劑之覆蓋膜而利用。
在將層疊之聚乙烯膜設為乾膜抗蝕劑之覆蓋膜時，較佳將線性聚乙烯之配合比例設定為10~40重量%之聚乙烯膜層設於與抗蝕劑層相對之面側。線上性聚乙烯之配合比例設定為10~40重量%之聚乙烯膜層中，霧度在12~25%之範圍，這係因為，製造時能夠簡單地對抗蝕劑層進行被覆，使用乾膜抗蝕劑時能夠容易地剝下覆蓋膜。
如果將層疊之聚乙烯膜設為用於乾膜抗蝕劑之覆蓋膜，則在乾膜抗蝕劑之抗蝕劑層上層疊聚乙烯膜時之密合性優異，使用乾膜抗蝕劑時，能夠容易地剝下聚乙烯膜。另外，由於聚乙烯膜之厚度較薄，籍此，即使在用聚乙 烯膜被覆抗蝕劑層之表面並製成卷包狀保存時，與使用厚度較大之覆蓋膜之情況相比，容積變小，不佔用空間，很方便。
[實施例]
實驗例1：
關於原料樹脂，使用吹塑成型成膜機，在150~170℃下熔融混練原料樹脂，製造寬係1265mm且成為規定厚度之大小之聚乙烯膜，該原料樹脂係，對作為基底原料之密度係0.923g/cm3、MFR(熔體流動速率)係3.6之低密度聚乙烯配合規定量之作為摻混原料之密度係0.918g/cm3、MFR係3.8之線性聚乙烯，其不包含除此之外之聚合物成分及增塑劑、防粘連劑、滑劑、抗靜電劑。
作為所製造之聚乙烯膜之厚度，製成10μm、13μm、15μm這三種，線性聚乙烯相對於低密度聚乙烯和線性聚乙烯之總量100重量%之配合比例，製成0重量%、5重量%、10重量%、20重量%、30重量%、40重量%、50重量%、90重量%這八種。將這些樣品編號設為表1所示之樣品1-1~8-3。
關於所得到之各樣品之聚乙烯膜之開孔數、魚眼數(FE數)、厚度差、透明性(霧度)示於表1，另外，作為製造時之生產率之一方面，聚乙烯之噴出量及綜合評價也示於表1。
開孔數、魚眼數、厚度差係使用表面檢查裝置(hu-tech公司制)測得之結果。測量條件設定為聚乙烯膜之寬度方向：0.103mm/像素、0.138mm/SCAN、透射方法。其中，厚度差設定為25mm之測量間隔下之測量結果中之最大厚度與最小厚度之差。
各測量結果之評價如下。開孔數用聚乙烯膜之寬度1265mm、長度4000m之區域中之個數表示。將為0個之情況設為“◎”，將為1個之情況設為 “○”，將2個以上或聚乙烯膜斷裂之情況設為“×”，分別進行評價。魚眼數將為小於1.0個/1.9m3之情況設為“◎”，將為1.0~2.0個/1.9m3之情況設為“○”，將超過2個/1.9m3之情況設為“×”，分別進行評價。厚度差將小於2.5μm之情況設為“◎”，將2.5~3.5μm之情況設為“○”，將超過3.5μm之情況設為“×”。透明性用霧度表示，將為15~20之情況設為“◎”，將為超過20且25以下之情況及為12以上且小於15之情況設為“○”，將小於12或超過25之情況設為“×”，分別進行評價。
噴吐量用線性聚乙烯之配合比例係0重量%，即，僅用低密度聚乙烯成型之情況下將成型機噴吐之噴吐量設為100%時之噴吐量比例(重量%)表示，將最較佳之情況評價為“◎”，較佳之情況評價為“○”，處於作為工業生產可許可之範圍之情況評價為“△”，不能採用之情況評價為“×”。綜合評價為考慮開孔數(有無膜斷裂)、魚眼數、厚度差、透明性、噴吐量中之所有數據進行判斷之結果，將最較佳之情況評價為“◎”，較佳之情況評價為“○”，處於作為工業生產可許可之範圍之情況評價為“△”，不能採用之情況評價為“×”。
需要說明之，將樣品之製作過程中聚乙烯膜斷裂之情況表示為“斷裂”，對於該樣品由於處於進行評價以前之階段，籍此，未進行除開孔數以外之各種評價。
Figure 109120024-A0305-02-0012-1
Figure 109120024-A0305-02-0013-2
線上性聚乙烯之配合比例係5重量%以下之樣品1(樣品1-1~樣品1-3)及樣品2(樣品2-1~樣品2-3)中，在聚乙烯膜之厚度薄為10μm之情況下發生斷裂，而配合10重量%以上時，即使厚度係10μm，聚乙烯膜也未發生斷裂。籍此，要製成薄為10μm之厚度，需要將線性聚乙烯之配合比例設為10重量%以上。惟，如果線性聚乙烯之配合量低於10重量%，則不取決於聚乙烯膜之厚度而產生了開孔。由此可知，為了不產生實際之斷裂或視係斷裂稍前之現象之開孔，線性聚乙烯之配合比例需要為10重量%以上，一般認為，較佳20重量%以上。
另一方面，從魚眼數來看，如果線性聚乙烯之配合比例係最高至10重量%，則魚眼數為0.5個/1.9m3以下，如果係20重量%~40重量%，則魚眼數超過0.5個且2.0個以下/1.9m3。進而，如果係50重量%以上，則顯現魚眼數為每1.9m3超過2個。由此可知，線性聚乙烯之配合比例越大，魚眼數增加之越多，從魚眼數看，線性聚乙烯之配合比例只能設為40重量%以下。
進而，從厚度差來看可知，線性聚乙烯之配合比例成為50重量%以上時，在較薄之聚乙烯膜中，厚度差變大，難以成型為均勻之膜。進而，從基於霧度值之透明性來看，線上性聚乙烯之配合比例係90重量%之情況下，霧度也有低於12%之情況，透明性會升高。籍此，一般認為，卷取製造聚乙烯膜時，容易銜入空氣，膜表面容易產生突起。
可知，線性聚乙烯之配合比例越多，噴吐量比例越低，較佳其配合比例最高至30重量%，但若係40重量%也在許可範圍內，但若超過50重量%，則問題嚴重。
綜合判斷這些結果可知，當將低密度聚乙烯和線性聚乙烯之總量設定為100重量%時，線性聚乙烯之配合比例較佳10~40重量%，更佳20~30重量%。
實驗例2：
用與實驗例1相同之材料及方法製造相同大小之聚乙烯膜。其中，一層膜之厚度設為5μm，製成層疊三層之厚度15μm之聚乙烯膜。將其結果示於表2。
更具體而言，作為樣品12，兩表面中設為由不含有線性聚乙烯之組成所組成之聚乙烯膜層，中央層中設為由包含20重量%線性聚乙烯之組成之聚乙烯膜層組成之層疊膜。另一方面，在樣品13中，兩表面中設為由含有20重量%線性聚乙烯之組成所組成之聚乙烯膜層，中央層中設為由不包含線性聚乙烯之組成之聚乙烯膜層組成之層疊膜。各層之厚度係5μm。為了進行比較，實驗例1中製造之樣品1-1及樣品4-1之聚乙烯膜也一併示於表2。
表2
Figure 109120024-A0305-02-0015-3
由這些結果可知設為層疊膜之優點。即，籍由設為層疊膜，能夠彌補由不含有線性聚乙烯之情況(樣品1-1)、和配合20重量%線性聚乙烯之情況(樣品4-1)之各個單層之組成所組成之膜之缺點。更具體而言，在將不含有線性聚乙烯之膜層與配合20重量%線性聚乙烯之膜層層疊而成之樣品12及樣品13中，對於開孔數目之評價比樣品1-1有所提高，魚眼數之評價，雖與樣品4-1相同但實際之魚眼數減少。實驗前，關於開孔數，即使單層膜上有開孔，也能夠預先推測可用其他層之膜進行補充，關於魚眼數，曾擔心單層之情況下魚眼被疊加而增多。惟，層疊而產生之最小直徑達0.2mm以上之較大之魚眼未達到所預想之程度，而係較少之結果。在能夠相比樣品4-1之情況減少線性聚乙烯之總含量方面，樣品12及樣品13在原料成本方面較係較佳，即使係這種較少之線性聚乙烯含量，對於開孔數目、即膜強度也能夠大幅改善。就比較樣品12和樣品13而言，在噴吐量比例及原料成本方面，較佳像樣品12那樣將線性聚乙烯含量較多之層設定為中間層。

Claims (9)

  1. 一種乾膜抗蝕劑用覆蓋膜，其特徵在於，所述覆蓋膜由聚乙烯膜構成，所述聚乙烯膜混合了高壓法低密度聚乙烯和線性低密度聚乙烯，且不包含增塑劑、防粘連劑、滑劑、抗靜電劑，高壓法低密度聚乙烯和線性低密度聚乙烯之混合比例即高壓法低密度聚乙烯：線性低密度聚乙烯(重量%)係90：10~60：40，平面觀察膜時顯現之最小直徑達0.2mm以上之魚眼數為2個/1.9m3以下，霧度值係12~25%，厚度係10~20μm。
  2. 如請求項1所述之乾膜抗蝕劑用覆蓋膜，其中，高壓法低密度聚乙烯：線性低密度聚乙烯(重量%)係80：20~70：30。
  3. 如請求項1所述之乾膜抗蝕劑用覆蓋膜，其中，密度係0.910~0.928g/cm3。
  4. 如請求項1所述之乾膜抗蝕劑用覆蓋膜，其中，所述覆蓋膜由高壓法低密度聚乙烯和線性低密度聚乙烯之混合比例即高壓法低密度聚乙烯：線性低密度聚乙烯(重量%)係90：10~60：40之聚乙烯膜層與高壓法低密度聚乙烯和線性低密度聚乙烯之混合比例即高壓法低密度聚乙烯：線性低密度聚乙烯(重量%)係100：0~80：20之聚乙烯膜層層疊而成者。
  5. 如請求項1所述之乾膜抗蝕劑用覆蓋膜，其中，所述高壓法低密度聚乙烯和線性低密度聚乙烯之混合比例即高壓法低密度聚乙烯：線性低密度聚乙烯(重量%)係90：10~60：40之聚乙烯膜層與所述高壓法低密度聚乙烯和線性低密度聚乙烯之混合比例即高壓法低密度聚乙烯：線性低密度聚乙烯(重量%)係100：0~80：20之聚乙烯膜層之層疊係三層。
  6. 如請求項1所述之乾膜抗蝕劑用覆蓋膜，其中，所述覆蓋膜由層疊之三層構成，所述三層之結構係：用所述高壓法低密度聚乙烯和線性低密度聚乙烯之混合比例即高壓法低密度聚乙烯：線性低密度聚乙烯(重量%)係100：0~80：20之聚乙烯膜層層疊於由所述高壓法低密度聚乙烯和線性低密度聚乙烯之混合比例即高壓法低密度聚乙烯：線性低密度聚乙烯(重量%)係90：10~60：40之聚乙烯膜層構成之中間層之正面和背面這兩表面，所述中間層之線性低密度聚乙烯之混合比例多於覆蓋其表面和背面兩面之所述聚乙烯膜層之線性低密度聚乙烯之混合比例。
  7. 如請求項1所述之乾膜抗蝕劑用覆蓋膜，其中，所述覆蓋膜由層疊之三層構成，所述三層之結構係：用所述高壓法低密度聚乙烯和線性低密度聚乙烯之混合比例即高壓法低密度聚乙烯：線性低密度聚乙烯(重量%)係90：10~60：40之聚乙烯膜層層疊於由所述高壓法低密度聚乙烯和線性低密度聚乙烯之混合比例即高壓法低密度聚乙烯：線性低密 度聚乙烯(重量%)係100：0~80：20之聚乙烯膜層構成之中間層之正面和背面這兩表面。
  8. 一種乾膜抗蝕劑，其係將請求項1~7中任一項所述之乾膜抗蝕劑覆蓋膜層疊於抗蝕劑層而成者。
  9. 如請求項8所述之乾膜抗蝕劑，其中，在所述層疊之聚乙烯膜層中，將所述高壓法低密度聚乙烯和線性低密度聚乙烯之混合比例即高壓法低密度聚乙烯：線性低密度聚乙烯(重量%)係90：10~60：40之聚乙烯膜層設於與所述抗蝕劑層相對之面側而成者。
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