CN112739516B - 柔性模具的制造方法、柔性模具用的基材、以及光学部件的制造方法 - Google Patents

柔性模具的制造方法、柔性模具用的基材、以及光学部件的制造方法 Download PDF

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Abstract

一种柔性模具用的基材(1)，其具备玻璃片(2)、树脂片(3)、粘接玻璃片(2)和树脂片(3)的粘接层(4)，树脂片(3)从玻璃片(2)突出。

Description

柔性模具的制造方法、柔性模具用的基材、以及光学部件的制 造方法
技术领域
本发明涉及柔性模具的制造方法、柔性模具用的基材、以及使用柔性模具的光学部件的制造方法。
背景技术
例如在光学器件的制造工序等中，有时使用具有能够弯曲变形的挠性的柔性模具。作为制造柔性模具的方法之一，有压印法。压印法中，在母模与基材之间夹着成形材料，在基材之上形成转印有母模的凹凸图案的凹凸层。由此，可以得到具备基材和凹凸层的柔性模具。
作为柔性模具用的基材，例如专利文献1中公开那样，有为了减小伴随温度变化的柔性模具的尺寸变化而具备玻璃片的基材。另外，若仅由玻璃片构成基材则容易发生破裂等，因此在该文献中公开了一种在玻璃片的一侧的主表面形成有树脂层的基材。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：国际公开第2015/037601号
发明内容
发明要解决的问题
专利文献1中公开的柔性模具用的基材中，玻璃片的端面与树脂层的端面位于同一平面上(参照该文献的图1等)。因此，在制造柔性模具的工序、使用所制造的柔性模具制造光学部件(例如光学器件等)的工序中，其它部件容易接触基材中包含的玻璃片的端面。其结果是，容易从玻璃片的端面产生玻璃碎片(包含玻璃粉)，成为在上述各工序中污染周围环境的原因。
本发明的课题在于，在制造柔性模具的工序和/或使用所制造的柔性模具制造光学部件的工序中，减少玻璃碎片的产生。
用于解决问题的手段
为了解决上述课题而创造的本发明的特征在于，是具备基材、和在基材之上形成的凹凸层的柔性模具的制造方法，包括以基材与母模之间夹着成形材料，在基材之上形成转印有母模的凹凸图案的凹凸层的转印工序，基材具备玻璃片、树脂片、和粘接玻璃片与树脂片的粘接层，树脂片从玻璃片突出。根据这样的构成，基材中，树脂片从玻璃片突出，因此玻璃片的端面难以与其它部件接触。因此，若使用该基材制造柔性模具，则可以提供能够减少玻璃碎片的产生的柔性模具。
上述构成中，可以仅在玻璃片的一侧的主表面隔着粘接层粘接有树脂片。如此一来，基材的构成被简化，因此能够以低成本制造柔性模具。
仅在玻璃片的一侧的主表面配置有树脂片的情况下，优选玻璃片和树脂片的分别从粘接层突出。如此一来，粘接层不向基材的外侧突出，因此能够防止因粘接剂而污染周围环境。
上述构成中，可以在玻璃片的两侧的主表面上分别隔着粘接层粘接有树脂片。如此一来，玻璃片的两侧的主表面被树脂片保护，因此玻璃片更难以破损。另外，即使万一玻璃片发生破损，玻璃碎片也容易留在两侧的树脂片之间，因此玻璃碎片难以飞散到周围。此外，在通过热处理等进行加热的情况下，也由于作用于玻璃片的两主表面的因树脂片产生的应力基本相同，而能够抑制发生玻璃片的一侧的主表面侧凸出那样的翘曲。
在玻璃片的两侧的主表面配置有树脂片的情况下，优选两侧的树脂片分别从粘接层突出。如此一来，粘接层不向基材的外侧突出，因此能够防止因粘接剂而污染周围环境。
在玻璃片的两侧的主表面配置有树脂片的情况下，优选玻璃片的端面被粘接层覆盖。如此一来，玻璃片的端面被粘接层保护，因此能够更可靠地抑制从玻璃片的端面产生玻璃碎片。另外，即使万一在玻璃片的端面发生破损，玻璃碎片也难以飞散到周围。
在玻璃片的两侧的主表面配置有树脂片的情况下，也可以一侧的树脂片在玻璃片的平面方向上平坦，另一侧的树脂片在从玻璃片突出的部分具有接近于一侧的树脂片侧的高低差部。如此一来，通过有无高低差部，能够容易地区分基材的正反面。即，例如在平坦的一侧的树脂片的主表面形成凹凸层的情况下，通过有无高低差部，能够简单地辨别形成有凹凸层的面。
上述构成中，基材优选在基材的至少一侧的主表面具备能够剥离地层叠的保护膜。如此一来，能够防止对基材表面造成损伤、或附着污物。因此，例如，若在基材的形成凹凸层的面预先层叠保护膜，在即将要形成凹凸层之前剥离，则能够高精度地形成凹凸层。
为了解决上述课题而创造的本发明的特征在于，是柔性模具用的基材，具备玻璃片、树脂片、和粘接玻璃片与树脂片的粘接层，树脂片从玻璃片突出。若使用具备这样的构成的基材制造柔性模具，则可以得到与已阐述的对应的构成同样的作用效果。
上述构成中，可以仅在玻璃片的一侧的主表面隔着粘接层粘接有树脂片。
上述构成中，可以在玻璃片的两侧的主表面上分别隔着粘接层粘接有树脂片。
为了解决上述课题而创造的本发明的特征在于，是具备基板、和在上述基板之上形成的凹凸层的光学部件的制造方法，包括以基板与柔性模具之间夹着成形材料，在基板之上形成转印有柔性模具的凹凸图案凹凸层的转印工序，柔性模具具备玻璃片、树脂片、和粘接玻璃片与树脂片的粘接层，树脂片从玻璃片突出。根据这样的构成，在柔性模具中，树脂片从玻璃片突出，因此玻璃片的端面难以与其它部件接触。因此，若使用该柔性模具制造光学部件，则能够可靠地减少玻璃碎片的产生。
发明效果
根据本发明，在制造柔性模具的工序和/或使用所制造的柔性模具制造光学部件的工序中，能够可靠地减少玻璃碎片的产生。
附图说明
图1是表示第一实施方式涉及的柔性模具用的基材的截面图。
图2A是表示第一实施方式涉及的柔性模具的制造方法的截面图。
图2B是表示第一实施方式涉及的柔性模具的制造方法的截面图。
图2C是表示第一实施方式涉及的柔性模具的制造方法的截面图。
图2D是表示第一实施方式涉及的柔性模具的制造方法的截面图。
图3A是表示使用第一实施方式涉及的柔性模具的产品的制造方法的截面图。
图3B是表示使用第一实施方式涉及的柔性模具的产品的制造方法的截面图。
图3C是表示使用第一实施方式涉及的柔性模具的产品的制造方法的截面图。
图3D是表示使用第一实施方式涉及的柔性模具的产品的制造方法的截面图。
图4是表示第二实施方式涉及的柔性模具用的基材的截面图。
图5是表示第二实施方式的变形例涉及的柔性模具用的基材的截面图。
具体实施方式
以下，对本发明的实施方式参照附图进行说明。
(第一实施方式)
如图1所示，第一实施方式涉及的柔性模具用的基材1具备玻璃片2、树脂片3、和粘接玻璃片2的第一主表面2a与树脂片3的第二主表面3b的粘接层4。即，树脂片3仅粘接在玻璃片2的第一主表面2a侧。在此，“柔性”是指，具有能够弯曲变形的挠性的状态。因此，基材1也具有能够弯曲变形的挠性。需要说明的是，在基材1不发生弯曲变形的状态(图1的状态)下，玻璃片2和树脂片3都在玻璃片2的平面方向上平坦。
玻璃片2的形状没有特别限定，可以为例如圆形，但本实施方式中为矩形。
玻璃片2的厚度优选为10～500μm，更优选为50～200μm，进一步优选为50～100μm。若玻璃片2过厚则挠性容易降低，柔性模具的制造工序、光学部件的制造工序中包括的分离工序中的脱模性能有可能变差。另一方面，若玻璃片2过薄则机械强度有可能降低。
作为玻璃片2的组成，可以举出例如无碱玻璃、硼硅酸玻璃、钠钙玻璃(碱石灰玻璃)、高二氧化硅玻璃、其它以氧化硅为主要成分的氧化物类玻璃等。玻璃片2也可以是化学强化玻璃，该情况下，可以使用铝硅酸盐玻璃。玻璃片2优选具有高的紫外线(365nm)的透射率，并且具有低的热膨胀系数，具体来说优选包含用于显示器用玻璃基板的无碱玻璃。
从确保高的紫外线(365nm)的透射率、并确保低的热膨胀系数的观点出发，无碱玻璃以质量％计优选含有SiO2 50～70％、Al2O3 12～25％、B2O3 0～12％、Li2O+Na2O+K2O(Li2O、Na2O和K2O的合量)0％以上且低于1％、MgO 0～8％、CaO 0～15％、SrO 0～12％、BaO0～15％。另外，上述无碱玻璃以质量％计更优选含有SiO2 50～70％、Al2O3 12～22％(特别是15～20％)、B2O3 7～15％(特别是9～13％)、Li2O+Na2O+K2O 0％以上且低于1％(特别是0～0.5％)、MgO 0～3％、CaO 6～13％(特别是7～12％)、SrO 0.1～5％(特别是0.5～4％)、BaO 0～2％(特别是0.1～1.5％)。
玻璃片2通过浮法、下拉法等公知的成形方法而成形。其中，玻璃片2优选通过溢流下拉法而成形。如此一来，玻璃片2的表面成为未研磨的火抛光面，有非常平滑的优点。
树脂片3的形状没有特别限定，可以为例如圆形等，但本实施方式中为矩形。
树脂片3比玻璃片2大，若俯视层叠的状态则从玻璃片2突出。本实施方式中，树脂片3在玻璃片2的整个周围突出。即，树脂片3从玻璃片2的四边全部突出。由此，在其它部件接触基材1的端面的情况下，树脂片3的端面3c与其它部件优先接触，因此玻璃片2的端面2c难以与其它部件接触。因此，能够防止玻璃片2的端面2c破损而产生玻璃碎片。
树脂片3从玻璃片2突出的量X1优先为0.2～100mm，从防止突出的树脂片3的伸长导致的尺寸精度的降低的观点出发，更优选为0.2～1mm。
树脂片3的厚度优选为10～500μm。其中，从使挠性、紫外线透射性良好的观点出发，树脂片3的厚度进一步优选为30～300μm，从使可操作性良好的观点出发，树脂片3的厚度进一步优选为50～200μm。另外，对基材1实施热处理(例如100℃左右的热处理)的情况下，有可能因玻璃片2与树脂片3的膨胀率差而在基材1中产生玻璃片2侧凸出那样的翘曲。因此，从防止翘曲的观点出发，树脂片3的厚度优选为玻璃片2的厚度的0.2～1倍，更优选为0.3～0.5倍。
作为树脂片3的材质，优选具有下述的(1)～(4)中的至少一个特性。即，树脂片3的材质优选：(1)具有不容易排斥印刷等的墨液的易粘接层(例如东洋纺株式会社制的Cosmoshine(注册商标)等)；(2)光学用高透明(总光线透射率(550nm)为80～95％)；(3)在树脂片为双轴拉伸片的情况下是退火处理品(例如低热收缩品、各向同性品等)；(4)是透过紫外线的树脂材。
需要说明的是，作为树脂片3的材质，可以采用环氧树脂(EP)、聚酰胺(PA)、聚酰胺酰亚胺(PAI)、聚醚醚酮(PEEK)、聚苯并咪唑(PBI)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚醚砜(PES)、环状聚烯烃(COP)、聚碳酸酯(PC)、聚氯乙烯(PVC)、丙烯酸类(PMMA)、聚氨酯(PU)等。
树脂片3优选具有高紫外线(365nm)的透射率，树脂片3单体的紫外线的透射率优选为50～90％。在该观点上，树脂片3的材质优选为聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)。需要说明的是，基材1整体的紫外线的透射率优选为50～90％。
粘接层4的厚度优选为10～500μm，进一步优选为25～100μm。从使挠性良好的观点出发，优选粘接层4薄。粘接层4的厚度优选小于玻璃片2和树脂片3的厚度。
作为粘接层4的材质，可以举出例如光学透明胶粘片、压敏胶粘片(PSA)等。作为粘接层4的粘接成分，可以利用丙烯酸系粘接剂、硅系粘接剂、环氧系粘接剂、光固性粘接剂(例如紫外线固化性粘接剂)等。在紫外线固化性粘接剂的情况下，固化后的紫外线(365nm)的透射率优选为70～80％。粘接层4可以为具有树脂基材的粘接层，也可以为不具有树脂基材的粘接层。在通过提高粘接层4的挠性来提高后述的分离工序中基材1的易分离性的观点上，粘接层4优选由光学透明胶粘片形成。
粘接层4可以从玻璃片2和树脂片3中的至少一者突出，但本实施方式中，玻璃片2和树脂片3这二者从粘接层4突出。由此，粘接层4不向基材1的外侧突出，因此能够防止因粘接剂而污染周围环境。
玻璃片2从粘接层4突出的量Y1优选为0.2～1mm。
本实施方式之中，基材1在树脂片3的第一主表面3a和玻璃片2的第二主表面2b分别还具备能够剥离地贴合的保护膜5。由此，能够防止对树脂片3的第一主表面3a和玻璃片2的第二主表面2b造成损伤、或附着污物。需要说明的是，树脂片3的第一主表面3a和玻璃片2的第二主表面2b的保护膜5可以省略任一者或两者。
虽然省略图示，但保护膜5具备树脂基材和胶粘层(吸附层)。树脂基材的厚度优选为5～100μm，胶粘层的厚度优选为1～50μm。胶粘层优选具有微胶粘性。在此，“微胶粘性”是指，通过180°剥离强度试验(依据JIS Z 0237：2009)测定的胶粘力(剥离强度)为0.01～0.1N/25mm。作为树脂基材，可以举出例如PET、聚乙烯(PE)等。作为保护膜5，例如可以利用自粘性膜。
使用按照上述方式构成的基材1的柔性模具6的制造方法如图2A～图2D所示，具备涂布工序、转印工序、和分离工序。需要说明的是，本实施方式中，在涂布工序之前，从基材1的树脂片3剥离保护膜5。
如图2A所示，涂布工序中，在基材1中包含的树脂片3的第一主表面3a涂布液态的成形材料7。若向树脂片3涂布成形材料7，则即使不实施特殊的表面处理，也能确保成形材料7的密合性。
成形材料7的涂布区域若为树脂片3的第一主表面3a内，则没有特别限定，在本实施方式中，是第一主表面3a之中树脂片3与玻璃片2重复的范围内。若为树脂片3与玻璃片2重复的范围内，则树脂片3的膨胀等导致的尺寸变化容易受玻璃片2限制，因此在树脂片3上也容易维持源自玻璃片2的高尺寸稳定性。因此，转印工序中能够形成高精度的凹凸图案。
成形材料7的材质可以利用压印法中使用的通常的材料，根据压印法的种类适当选定。在热压印法的情况下，成形材料7的材质可以举出例如热塑性树脂、热固性树脂等。在光压印法的情况下，成形材料7的材质可以举出例如光固性树脂等。本实施方式中，作为压印法，可以利用基于紫外线的光压印法，作为成形材料7，可以使用紫外线固化性树脂。
成形材料7的涂布方法没有特别限定，可以举出例如模涂法、辊涂法、凹版涂布法、喷墨印刷法、喷涂法、旋涂法、流涂法、刮刀涂布法、浸渍涂布法等。
需要说明的是，涂布工序中，也可以在母模8上涂布成形材料7，代替在基材1上涂布成形材料7。
如图2B所示，转印工序中，在基材1与母模8之间夹着成形材料7，在基材1上形成转印有母模8的凹凸图案的凹凸层9。凹凸层9是在基材1与母模8之间夹着成形材料7的状态下使成形材料7固化而成的(参照图2C)。在此，固化包括硬化。
母模8是利用例如NC加工、光刻法、电子束绘制法等对凹凸图案进行了精密加工的母模。母模8例如由硅、硅氧化膜、石英玻璃、树脂、金属等形成。母模8在本实施方式中为板状，也可以是环形带、卷等无接头环状。
本实施方式中，利用使用了紫外线作为用于使成形材料7固化的光的光压印法。即，通过向成形材料7照射紫外线，使成形材料7固化。紫外线从基材1侧照射，但在母模8具有紫外线透射性的情况下，也可以从母模8侧照射紫外线。像这样照射紫外线时，为了促进固化反应，可以对成形材料7进行加热。
需要说明的是，在利用光压印法的情况下，照射的光根据成形材料7的种类适当变更，还可以利用例如可见光、红外线等。另外，在利用热压印法的情况下，例如通过从基材1和母模8中的至少一侧加热成形材料7，从而使成形材料7固化。
如图2C和图2D所示，分离工序中，将母模8与凹凸层9分离。本实施方式中，如图2C所示，一边使形成有凹凸层9的基材1的一部分弯曲，一边使母模8与凹凸层9分离。此时，母模8优选按照不弯曲的方式被平坦地支承。当然，也可以按照使母模8和基材1这二者不弯曲的方式平坦地支承。
如图2D所示，通过将母模8与凹凸层9完全分离，制造在基材1的树脂片3的第一主表面3a形成有凹凸层9的柔性模具6。
需要说明的是，对于在基材1的树脂片3的第一主表面3a上转印凹凸层9的情况进行了说明，也可以在基材1的玻璃片2的第二主表面2b转印凹凸层9。该情况下，为了提高玻璃片2与凹凸层9的密合性，优选在玻璃片2的第二主表面2b事先实施表面处理。作为表面处理，可以举出例如硅烷偶联处理。硅烷偶联处理是在玻璃片2的第二主表面2b涂布硅烷偶联剂后，例如以100℃左右使其热固化，从而形成硅烷偶联处理层的处理。在硅烷偶联处理的加热时，担心因玻璃片2与树脂片3的热膨胀差导致基材1产生翘曲的情况下，为了防止翘曲，树脂片3的厚度优选设为玻璃片2的厚度的0.2～1倍。另外，为了防止翘曲，可以在构成基材1之前，在单体的玻璃片2的第二主表面2b事先形成硅烷偶联处理层，然后，在该玻璃片2的第一主表面2a隔着粘接层4粘接树脂片3的第二主表面3b来制造基材1。
使用按照上述方式构成的柔性模具6的光学部件(产品)10的制造方法如图3A～图3D所示，具备涂布工序、转印工序、和分离工序。
如图3A所示，涂布工序中，向基板11涂布液态的成形材料12。作为基板11，可以举出例如树脂基板、玻璃基板、或它们的复合基板等。在基板11的涂布面为玻璃面的情况下，为了提高与成形材料12的密合性，优选对基板11实施硅烷偶联处理等表面处理。
成形材料12可以利用压印法中使用的通常的材料，可以是与柔性模具6的制造中使用的成形材料7同种的材料，也可以是不同种类的材料。
如图3B所示，转印工序中，在基板11与柔性模具6之间夹着成形材料12，在基板11上形成转印有柔性模具6的凹凸图案的凹凸层13。凹凸层13是在基板11与柔性模具6之间夹着成形材料12的状态下使成形材料12固化而成的(参照图3C)。
如图3C和图3D所示，分离工序中，将柔性模具6与凹凸层13分离。如图3D所示，通过将柔性模具6与凹凸层13完全分离，来制造在基板11形成有凹凸层13的光学部件10。光学部件10被用于例如液晶显示器、(液晶取向膜)、偏振片、LED用微透镜、防反射膜、衍射光学元件、短焦距透镜、等离子体滤光片、微镜阵列等的制造。
若为具备以上那样的构成的柔性模具6，则在基材1中，由于树脂片3从玻璃片2突出，在其它部件接触基材1的端面的情况下，树脂片3的端面3c与其它部件优先地接触。因此，玻璃片2的端面2c难以与其它部件接触。因此，制造柔性模具6的工序(图2A～图2D)、使用柔性模具6制造光学部件10的工序(图3A～图3D)中，能够减少玻璃碎片的产生。另外，这些工序中，能够确保源自玻璃的尺寸稳定性，因此能够形成高精度的凹凸图案。
(第二实施方式)
如图4所示，第二实施方式涉及的柔性模具用的基材21具备：玻璃片22、第一树脂片23、粘接玻璃片22的第一主表面22a与第一树脂片23的第二主表面23b的第一粘接层24、第二树脂片25、和粘接玻璃片22的第二主表面22b与第二树脂片25的第一主表面25a的第二粘接层26。即，树脂片23、25在玻璃片22的两主表面22a、22b分别粘接。另外，第一粘接层24是小于第一树脂片23且与玻璃片22同等程度的尺寸，第二粘接层26是与第二树脂片25同等程度的尺寸，大于玻璃片22。
第一树脂片23和第二树脂片25分别大于玻璃片22，若俯视层叠的状态，则从玻璃片22突出。本实施方式中，树脂片23、25在玻璃片22的整个周围突出。即，本实施方式中，玻璃片22和树脂片23、25为矩形，因此树脂片23、25从玻璃片22的四边全部突出。由此，在其它部件接触基材21的端面的情况下，树脂片23、25的端面23c、25c分别与其它部件优先地接触，因此玻璃片22的端面22c难以与其它部件接触。而且，玻璃片22的两主表面22a、22b被树脂片23、25保护，因此与第一实施方式的基材1相比，玻璃片22更难以破损。另外，还有如下优点：即使万一玻璃片22发生破损，玻璃碎片也会留在树脂片23、25之间等而难以飞散到周围。
第一树脂片23在玻璃片22的平面方向上平坦，第二树脂片25在从玻璃片22突出的部分具有接近第一树脂片23侧的高低差部27。因此，通过有无高低差部27，能够容易地辨别基材21、使用该基材21制造的柔性模具的正反面。
使用基材21制造柔性模具的情况下，凹凸层可以在具有高低差部27的第二树脂片25的第二主表面25b(优选为高低差部27的内侧区域)形成，但优选在平坦的第一树脂片23的第一主表面23a形成。需要说明的是，对于柔性模具、光学部件(产品)的具体制造方法，可以同样地应用与第一实施方式中说明的方法。
第一树脂片23和第二树脂片25分别从第二粘接层26突出。由此，第二粘接层26不向基材21的外侧突出，因此能够防止因粘接剂而污染周围环境。
树脂片23、25从第二粘接层26突出的量Y2优选为0.2～1mm。需要说明的是，第二粘接层26可以从树脂片23、25突出。另外，第二粘接层26和树脂片23、25的各端面可以位于同一平面上。
第二粘接层26从玻璃片22突出，并且在玻璃片22的外侧与第一树脂片23粘接。其结果是，玻璃片22的端面22c被第二粘接层26覆盖。由此，玻璃片22的端面22c被第二粘接层26保护，因此能够更可靠地抑制从玻璃片22的端面22c产生玻璃碎片。另外，即使万一玻璃片22的端面22c发生破损，玻璃片也难以飞散到周围。
树脂片23、25从玻璃片22突出的量X2优选为0.2～100mm，像本实施方式那样玻璃片22的端面22c被第二粘接层26覆盖的情况下，为了容易确保覆盖端面22c的粘接层的厚度，突出的量X2更优选为2～100mm。
本实施方式中，基材21还具备在第一树脂片23的第一主表面23a能够剥离地贴合的第一保护膜28、和在第二树脂片25的第二主表面25b能够剥离地贴合的第二保护膜29。由此，能够防止对基材21表面造成损伤，或附着污物。需要说明的是，保护膜28、29之中，可以省略任一者或两者。
需要说明的是，对于玻璃片22、树脂片23、25、粘接层24、26、保护膜28、29的厚度、材质，可以同样地应用第一实施方式中说明的对应的构成的厚度、材质。
本发明不受上述实施方式任何限定，在不脱离本发明的主旨的范围内中，可以进一步以各种各样的方式实施。
上述实施方式中，对于在柔性模具用的基材中树脂片从玻璃片的整个周围突出的情况进行了说明，树脂片也可以仅从玻璃片的周围的一部分突出。
上述实施方式中，对于第一粘接层24是与玻璃片22同等程度的尺寸的情况进行了说明，但第一粘接层24可以如图5所示，是与第一树脂片23同等程度的尺寸。
附图标记说明
1 基材
2 玻璃片
3 树脂片
4 粘接层
5 保护膜
6 柔性模具
7 成形材料
8 母模
9 凹凸层
10 光学部件
11 基板
12 成形材料
13 凹凸层
21 基材
22 玻璃片
23 第一树脂片
24 第一粘接层
25 第二树脂片
26 第二粘接层
27 高低差部
28 第一保护膜
29 第二保护膜

Claims (9)

1.一种柔性模具的制造方法，其特征在于，是具备基材、和在所述基材之上形成的凹凸层的柔性模具的制造方法，其中，
包括转印工序，以所述基材与母模之间夹着成形材料，在所述基材之上形成转印有所述母模的凹凸图案的所述凹凸层，
所述基材具备玻璃片、树脂片、和粘接所述玻璃片与所述树脂片的粘接层，所述树脂片从所述玻璃片突出，
仅在所述玻璃片的一侧的主表面上隔着所述粘接层粘接有所述树脂片，
所述玻璃片和所述树脂片分别从所述粘接层突出，
所述粘接层不向所述基材的外侧突出，所述树脂片的厚度为所述玻璃片的厚度的0.2～1倍。
2.一种柔性模具的制造方法，其特征在于，是具备基材、和在所述基材之上形成的凹凸层的柔性模具的制造方法，其中，
包括转印工序，以所述基材与母模之间夹着成形材料，在所述基材之上形成转印有所述母模的凹凸图案的所述凹凸层，
所述基材具备玻璃片、树脂片、和粘接所述玻璃片与所述树脂片的粘接层，所述树脂片从所述玻璃片突出，
在所述玻璃片的两侧的主表面上分别隔着所述粘接层粘接有所述树脂片，
两侧的所述树脂片分别从所述粘接层突出，
所述粘接层不向所述基材的外侧突出，所述树脂片的厚度为所述玻璃片的厚度的0.2～1倍。
3.根据权利要求2所述的柔性模具的制造方法，其特征在于，
所述玻璃片的端面被所述粘接层覆盖。
4.根据权利要求2或3所述的柔性模具的制造方法，其特征在于，
一侧的所述树脂片在所述玻璃片的平面方向上是平坦的，另一侧的所述树脂片在从所述玻璃片突出的部分具有接近于所述一侧的所述树脂片侧的高低差部。
5.根据权利要求1～3中任一项所述的柔性模具的制造方法，其特征在于，
所述基材具备能够剥离地层叠在所述基材的至少一侧的主表面上的保护膜。
6.一种柔性模具用的基材，其特征在于，
具备玻璃片、树脂片、和粘接所述玻璃片与所述树脂片的粘接层，所述树脂片从所述玻璃片突出，
仅在所述玻璃片的一侧的主表面上隔着所述粘接层粘接有所述树脂片，所述玻璃片和所述树脂片分别从所述粘接层突出，所述粘接层不向所述基材的外侧突出，所述树脂片的厚度为所述玻璃片的厚度的0.2～1倍。
7.一种柔性模具用的基材，其特征在于，
具备玻璃片、树脂片、和粘接所述玻璃片与所述树脂片的粘接层，所述树脂片从所述玻璃片突出，
在所述玻璃片的两侧的主表面上分别隔着所述粘接层粘接有所述树脂片，两侧的所述树脂片分别从所述粘接层突出，所述粘接层不向所述基材的外侧突出，所述树脂片的厚度为所述玻璃片的厚度的0.2～1倍。
8.一种光学部件的制造方法，其特征在于，是具备基板、和在所述基板之上形成的凹凸层的光学部件的制造方法，其中，
包括转印工序，以所述基板与柔性模具之间夹着成形材料，在所述基板之上形成转印有所述柔性模具的凹凸图案的所述凹凸层，
所述柔性模具具备基材，所述基材具备玻璃片、树脂片、和粘接所述玻璃片与所述树脂片的粘接层，所述树脂片从所述玻璃片突出，
仅在所述玻璃片的一侧的主表面上隔着所述粘接层粘接有所述树脂片，所述玻璃片和所述树脂片分别从所述粘接层突出，所述粘接层不向所述基材的外侧突出，所述树脂片的厚度为所述玻璃片的厚度的0.2～1倍。
9.一种光学部件的制造方法，其特征在于，是具备基板、和在所述基板之上形成的凹凸层的光学部件的制造方法，其中，
包括转印工序，以所述基板与柔性模具之间夹着成形材料，在所述基板之上形成转印有所述柔性模具的凹凸图案的所述凹凸层，
所述柔性模具具备基材，所述基材具备玻璃片、树脂片、和粘接所述玻璃片与所述树脂片的粘接层，所述树脂片从所述玻璃片突出，
在所述玻璃片的两侧的主表面上分别隔着所述粘接层粘接有所述树脂片，两侧的所述树脂片分别从所述粘接层突出，所述粘接层不向所述基材的外侧突出，所述树脂片的厚度为所述玻璃片的厚度的0.2～1倍。
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