JP2014014996A - インプリント方法 - Google Patents

Abstract

【課題】積層シートを容易に精度良く切断できるインプリント方法を提供する。
【解決手段】インプリント方法は、ガラスシート１１とモールド３３との間に成形材料の層１５を挟み、モールド３３の凹凸パターンを成形材料の層１５に転写し、ガラスシート１１上に凹凸層１７を形成する転写工程を有する。転写工程で、ガラスシート１１の凹凸層１７を形成する面と反対側の面を支持シート１３で支持し、また、支持シート１３のガラスシート１１からはみ出る部分とモールド３３との間に保持される成形材料でガラスシート１１の端面に保護部１８を形成する。
【選択図】図１

Description

本発明は、インプリント方法に関する。

微細な凹凸構造を安価に且つ大量に製造できる技術として、インプリント法が注目されている。インプリント法では、例えば凹凸パターンを外周に有するロール状のモールド（所謂グラビアロール）を回転させながら、グラビアロールの凹凸パターンを成形材料の層の表面に連続的に転写する（例えば、特許文献１参照）。

図１３は、従来のインプリント方法の説明図である。ガラスシート１及び成形材料の層が転写ロール３とグラビアロール４とで挟んで送り出され、グラビアロール４の凹凸パターンが成形材料の層に転写する。成形材料の層は、ガラスシート１に加わる張力でグラビアロール４に抱き付き、グラビアロール４と共に回転しながら徐々に硬化し、凹凸層となる。凹凸層は、分離ロール５とグラビアロール４との間を通過することにより、グラビアロール４から分離する。そうして、ガラスシート１及び凹凸層で構成される積層シートが得られる。

国際公開第２０１０／０９００８５号

インプリントの途中、又はインプリントの後で、ガラスシートが割れることがあった。

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、ガラスシートの破損を低減できるインプリント方法の提供を目的とする。

上記課題を解決するため、本発明の一態様によるインプリント方法は、
ガラスシートとモールドとの間に成形材料の層を挟み、前記モールドの凹凸パターンを成形材料の層に転写し、前記ガラスシート上に凹凸層を形成する転写工程を有し、
前記転写工程で、前記ガラスシートの前記凹凸層を形成する面と反対側の面を支持シートで支持し、また、該支持シートの前記ガラスシートからはみ出る部分で保持される成形材料を用いて前記ガラスシートの端面に保護部を形成する。

本発明によれば、ガラスシートの破損を低減できるインプリント方法が提供される。

本発明の第１実施形態によるインプリント方法の説明図 図１のII−II線に沿った断面図 図１のIII−III線に沿った断面図 図１のIV−IVに沿った断面図 図１のV−V線に沿った断面図 図１のVI−VI線に沿った断面図 図１のVII−VII線に沿った断面図 本発明の第２実施形態によるインプリント方法の説明図 図８のIX−IX線に沿った断面図 図８のX−X線に沿った断面図 図８のXI−XI線に沿った断面図 図８のXII−XII線に沿った断面図 従来のインプリント方法の説明図

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。各図面において、同一の又は対応する構成には、同一の又は対応する符号を付して、説明を省略する。

［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態によるインプリント方法の説明図である。図２は、図１のII−II線に沿った断面図、図３は図１のIII−III線に沿った断面図、図４は図１のIV−IVに沿った断面図、図５は図１のV−V線に沿った断面図、図６は図１のVI−VI線に沿った断面図、図７は図１のVII−VII線に沿った断面図である。

インプリント装置１０は、ガラスシート１１上に凹凸層１７（図６参照）を形成する。ガラスシート１１及び凹凸層１７等で積層シート１９が構成される。凹凸層１７は、凸部が周期的に配列される凹凸パターンを有する。

ガラスシート１１のガラスとしては、例えば無アルカリガラス、ホウケイ酸ガラス、ソーダライムガラス、高シリカガラス、その他の酸化ケイ素を主な成分とする酸化物系ガラス等が挙げられる。

ガラスシート１１の厚さは、フレキシブル性の観点から、例えば０．３ｍｍ以下、好ましくは０．１ｍｍ以下、より好ましくは０．０５ｍｍ以下である。また、ガラスシート１１の厚さは、ガラス成形性の観点から、好ましくは０．００１ｍｍ以上である。

インプリント装置１０は、ロール・ツー・ロール方式であって、例えば巻き出しロール２１、分離ロール２２、回収ロール２３、繰り出しロール２４、重ね合わせロール２５、及び巻き取りロール２６を備える。

巻き出しロール２１には、図２に示すようにガラスシート１１、ガラス保護シート１２、及び支持シート１３を重ねて渦巻き状に巻回してなるガラスロールが装着される。巻き出しロール２１が回転すると、ガラスロールから、ガラスシート１１、ガラス保護シート１２、及び支持シート１３が繰り出される。

ガラス保護シート１２は、樹脂フィルム、紙等で構成され、ガラス面に異物（例えばホコリ）や傷が付くのを防止する。ガラス保護シート１２は、分離ロール２２でガラスシート１１と分離されるまで、ガラスシート１１の凹凸層１７を形成する面を保護してよい。ガラス保護シート１２は、粘着剤付きであってガラスシート１１と接合されていてもよいし、接合されずに単に接触するだけでもよい。

支持シート１３は、ガラスシート１１の凹凸層１７を形成する面と反対側の面を支持する。支持シート１３は、ガラスシート１１と剥離可能に接合されている。支持シート１３は、例えば基材１３−１及び基材１３−１上に形成される粘着層１３−２で構成され、粘着層１３−２の粘着力でガラスシート１１と接合されている。基材１３−１としては、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド等のホモポリマー、コポリマー等が使用できる。粘着層１３−２の粘着剤としては、例えば、酢酸ビニル系、アセタール系、アクリル系、ポリアミド系、ポリエステル系、ポリウレタン系、ゴム系等が使用できる。尚、支持シート１３は粘着性の樹脂フィルムのみで構成されてもよく、支持シート１３の構成は特に限定されない。

支持シート１３は、帯状であってよい。帯状の支持シート１３は、図２等に示すように帯状のガラスシート１１から幅方向両側にはみ出ており、ガラスシート１１の幅方向両端面と、周辺の物品との衝突を防止する。ガラスシート１１の幅方向両端面は切断面であることが多く、切断面には破損の起点となるマイクロクラックが形成されていることがある。

本実施形態では、支持シート１３が帯状のガラスシート１１から幅方向両側にはみ出ており、ガラスシート１１の幅方向両端面と、周辺の物品との衝突を抑制する。破損の起点となるマイクロクラックに衝撃が加わりにくくなるので、ガラスシート１１の破損を低減することができる。

分離ロール２２は、ガラスロールから繰り出されるガラスシート１１とガラス保護シート１２とを分離する。ガラス保護シート１２が分離ロール２２に沿って曲げ変形されることで、分離が円滑に行われる。ガラス保護シート１２が粘着層を有する場合、粘着層とガラスシート１１とが徐々に剥離されるので、剥離に要する力が軽減できる。

回収ロール２３は、ガラスシート１１から分離したガラス保護シート１２を巻き取る。

繰り出しロール２４には、凹凸保護シート１４を渦巻き状に巻回してなる保護シートロールが装着される。繰り出しロール２４が回転すると、保護シートロールから凹凸保護シート１４が繰り出される。

重ね合わせロール２５は、保護シートロールから繰り出される凹凸保護シート１４と、積層シート１９とを重ね合わせる。凹凸保護シート１４が重ね合わせロール２５に沿って曲げ変形されることで、凹凸保護シート１４と積層シート１９とが徐々に合流するので、重ね合わせ時のしわの発生や空気の噛み込みなどが抑制できる。

凹凸保護シート１４は、樹脂フィルム、紙等で構成され、積層シート１９の凹凸層１７を覆い、凹凸層１７に異物（例えばホコリ）や傷が付くのを防止する。凹凸保護シート１４は、粘着剤付きであって積層シート１９と接合されてもよいし、接合されずに単に接触するだけでもよい。

巻き取りロール２６は、積層シート１９、支持シート１３、及び凹凸保護シート１４を重ねて巻き取り、製品ロールを作製する。製品ロールの最外層は、支持シート１３、凹凸保護シート１４のいずれでもよい。いずれでも、製品ロールの保管時に、積層シート１９に異物や傷が付きにくい。

インプリント装置１０は、例えば光インプリント装置であって、塗布器３１、ロール状のモールド（グラビアロール）３３、光源３５、転写ロール４３、分離ロール４４、ガイドロール４５、及び引出ロール４６を備える。

塗布器３１は、ガラスシート１１上に成形材料を塗布し、図３に示すように成形材料の層１５を形成する。塗布器３１としては、ダイコータ、ロールコータ、グラビアコータ、スプレーコータ、フローコータ、ブレードコータ、スクリーン印刷機等が挙げられる。

ガラスシート１１は、ガラス面と成形材料との密着性を高めるため、予め表面処理が施されたものであってよい。表面処理としては、プライマー処理、オゾン処理、プラズマエッチング処理等が挙げられる。プライマーとしては、シランカップリング剤、シラザン等が用いられる。

成形材料は、例えば光硬化性樹脂を含む。光硬化性樹脂としては、光インプリント法に用いられる一般的なものが使用できる。光硬化性樹脂は、モノマー、光重合開始剤等で構成される。モノマーとしては、ラジカル重合タイプの場合、アクリルモノマー、ビニルモノマー等があり、イオン重合タイプの場合、エポキシモノマー、ビニルエーテルモノマー等がある。光硬化性樹脂は、液状の状態で用意され、例えば図３に示すようにガラスシート１１上に塗布される。成形材料は、金属酸化物の粒子等を含んでもよい。

グラビアロール３３は、例えば図４等に示すように、金属ロール３３−１、及び金属ロール３３−１の外周に固定される帯状シート３３−２で構成され、帯状シート３３−２が凹凸パターンを有する。帯状シート３３−２は、製造コスト削減のため、マスターモールドを用いて成型され、何度も複製可能となっている。複製方法には、例えばインプリント法、電鋳法などがある。マスターモールドは、例えばフォトリソグラフィ法又は電子線描画法で基材を加工して作製される。帯状シート３３−２は、例えば金属（例えばニッケル、クロム）、又は樹脂（例えばポリカーボネート、環状オレフィン樹脂、ポリエステル樹脂）で構成され、フレキシブル性を有する。

尚、グラビアロール３３は、フォトリソグラフィ法、電子線描画法等で金属ロールの表面に凹凸パターンを形成してなるものであってもよい。

グラビアロール３３は、モールド表面と成形材料との離型性を高めるため、離型処理が施されたものであってよい。離型処理としては、例えばフッ素コート処理、シリコーンコート処理等が挙げられる。

光源３５は、図１及び図５等に示すように、ガラスシート１１とグラビアロール３３との間に挟み込まれた成形材料の層１５に光を照射し、成形材料の層１５を固化（硬化）させる。成形材料の層１５を固化してなる凹凸層１７（図６参照）は、グラビアロール３３の凹凸パターンが略反転した凹凸パターンを有する。

光硬化性樹脂を硬化させる光としては、例えば紫外光、可視光、赤外光等が挙げられる。紫外光の光源としては、紫外線蛍光灯、紫外線ＬＥＤ、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノン灯、炭素アーク灯等が挙げられる。可視光の光源としては、可視光蛍光灯、可視光白熱灯、可視光ＬＥＤ等が用いられる。

光インプリント法では、ガラスシート１１及びグラビアロール３３の少なくとも一方が光透過性の材料で構成されてよい。光源３５から出射した光は、例えば、透明な支持シート１３、及び透明なガラスシート１１を透過して、成形材料の層１５に入射する。尚、円筒状のグラビアロール３３の内部に光源３５が設けられ、光源３５から出射した光は、透明なグラビアロール３３を透過して成形材料の層１５に入射してもよい。

光インプリント法では、室温での成型が可能であり、グラビアロール３３とガラスシート１１との線膨張係数差による歪みが発生しにくく、転写精度が良い。尚、硬化反応の促進のため、成形材料の層１５は加熱されてもよい。

グラビアロール３３及び転写ロール４３は、図４に示すように、転写ロール４３側から、支持シート１３、ガラスシート１１、及び成形材料の層１５をこの順で挟んで送り出す。グラビアロール３３及び転写ロール４３は相対的に接離可能であって、いずれか一方は他方に向けて流体圧シリンダ等で押圧されてよい。転写ロール４３は金属ロールの外周をゴムで被覆したロールであってよい。ゴムが弾性変形することで、ホコリなどの異物の噛み込みやガラスシート１１の厚さのばらつき等による応力集中を抑制できる。グラビアロール３３及び転写ロール４３のいずれか一方は、回転モータ等で回転駆動される他方の回転に伴って従動的に回転してよい。グラビアロール３３と、転写ロール４３との間の周速差が小さく、せん断応力が小さい。

成形材料の層１５は、図５に示すように、グラビアロール３３と転写ロール４３の間に挿入されてから、グラビアロール３３と分離ロール４４との間から引き出されるまでの間、ガラスシート１１に加わる張力でグラビアロール３３に抱き付き、グラビアロール３３と共に回転する。成形材料の層１５は、グラビアロール３３と共に回転する間に徐々に固化し、凹凸層１７となる。ガラスシート１１の張力の方向は、ガラスシート１１の移動方向である。

グラビアロール３３及び分離ロール４４は、分離ロール４４側から、支持シート１３、ガラスシート１１、及び凹凸層１７をこの順で挟んで送り出す。グラビアロール３３及び分離ロール４４は相対的に接離可能であって、いずれか一方は他方に向けて流体圧シリンダ等で押圧されてよい。分離ロール４４は金属ロールの外周をゴムで被覆したロールであってよい。グラビアロール３３及び分離ロール４４のいずれか一方は、回転モータ等で回転駆動される他方の回転に伴って従動的に回転してよい。グラビアロール３３と、分離ロール４４との間の周速差が小さく、せん断応力が小さい。

グラビアロール３３の軸方向、転写ロール４３の軸方向、及び分離ロール４４の軸方向は、ガラスシート１１の幅方向と平行となっている。グラビアロール３３の軸方向長さ、転写ロール４３の軸方向長さ、及び分離ロール４４の軸方向長さは、それぞれ、ガラスシート１１の幅よりも大きくてよい。

ガイドロール４５は、ガラスロールから繰り出されるガラスシート１１の進行方向をガラスロールのロール径に応じて方向転換し、ガラスシート１１と塗布器３１との間の間隔を一定に保つ。ガラスシート１１の進行方向の方向転換は、ガラスシート１１をガイドロール４５に沿って曲げ変形させることで行われる。

引き出しロール４６は、グラビアロール３３と分離ロール４４との間から積層シート１９を引き出し、巻き取りロール２６で巻き取られる製品ロールのロール径に応じて積層シート１９の進行方向を方向転換する。積層シート１９の進行方向の方向転換は、積層シート１９を引き出しロール４６に沿って曲げ変形させることで行われる。

次に、上記構成のインプリント装置１０の動作（インプリント方法）について説明する。インプリント装置１０の各種動作は、マイクロコンピュータ等で構成されるコントローラによる制御下で行われる。以下の説明では、便宜上、主にガラスシート１１の一部分に着目して、インプリント装置１０の各種動作を説明する。

先ず、巻き出しロール２１が回転し、ガラスロールから、ガラスシート１１、ガラス保護シート１２、及び支持シート１３が連続的に繰り出される。ガラスシート１１及びガラス保護シート１２は、分離ロール２２とガイドロール４５との間を通過することにより分離される。

次いで、図３に示すように、塗布器３１がガラスシート１１上に成形材料を塗布し、成形材料の層１５を形成する。成形材料の層１５は、ガラスシート１１における支持シート１３を接合する面とは反対側の面に設けられる。

次いで、図４に示すように、グラビアロール３３及び転写ロール４３が、転写ロール４３側から、支持シート１３、ガラスシート１１、及び成形材料の層１５をこの順で挟んで送り出す。このとき、ガラスシート１１とグラビアロール３３との間から成形材料の一部が流出してよい。流出した成形材料１６は、支持シート１３のガラスシート１１からはみ出す部分と、グラビアロール３３との間に表面張力で保持され、ガラスシート１１の幅方向両端面を覆う。

図５に示すように、成形材料の層１５は、グラビアロール３３と転写ロール４３の間に挿入されてから、グラビアロール３３と分離ロール４４との間から引き出されるまでの間、ガラスシート１１に加えられる張力でグラビアロール３３に抱き付き、グラビアロール３３と共に回転する。成形材料の層１５は、グラビアロール３３と共に回転する間に光源３５からの光を受けて徐々に固化し、凹凸層１７となる。また、支持シート１３のガラスシート１１からはみ出す部分と、グラビアロール３３との間に保持される成形材料１６が徐々に固化し、保護部１８となる。保護部１８と凹凸層１７とは一体的に形成される。保護部１８は、ガラスシート１１の幅方向両端面を保護し、ガラスシート１１の幅方向両端面と、周辺の物品との衝突をさらに抑制する役割を果たす。

次いで、グラビアロール３３及び分離ロール４４は、分離ロール４４側から、支持シート１３、ガラスシート１１、及び凹凸層１７をこの順で挟んで送り出す。図１に示すように、支持シート１３、ガラスシート１１、及び凹凸層１７は、分離ロール４４に沿って曲げ変形され、グラビアロール３３から分離する。図６に示すように、ガラスシート１１、凹凸層１７、及び保護部１８を含む積層シート１９が得られる。

次いで、引き出しロール４６及び重ね合わせロール２５が、積層シート１９と凹凸保護シート１４とを重ね合せる。凹凸保護シート１４は、積層シート１９の凹凸層１７と重ねられ、凹凸層１７に異物（例えばホコリ）や傷が付くのを防止する。

次いで、巻き取りロール２６が、積層シート１９、支持シート１３、及び凹凸保護シート１４を重ねて巻き取り、製品ロールを作製する。

積層シート１９は、使用時に製品ロールから繰り出され、所定のサイズに切断され、例えば液晶パネルや有機ＥＬパネル等の光学パネルの製造に用いられる。支持シート１３及び凹凸保護シート１４は、光学パネルの製造工程の途中で積層シート１９から剥離されてよく、光学パネルの構成部品とはならなくてよい。

積層シート１９は、光学パネルの製造に用いられる場合、モスアイ型の反射防止シート、偏光シート、マイクロレンズアレイシート等として使用できる。尚、積層フィルム１９は、免疫分析チップ、ＤＮＡ分析チップ、ＤＮＡ分離チップ、マイクロリアクター等の製造に用いられてもよく、積層フィルム１９の用途は特に限定されない。

以上説明したように、本実施形態によれば、帯状のガラスシート１１、及びガラスシート１１から幅方向両側にはみ出る帯状の支持シート１３を重ねて渦巻き状に巻回してなるガラスロール（図２参照）を用いてインプリントを行う。インプリントの途中で、ガラスシート１１の幅方向両端面と、周辺の物品との衝突を抑制することができ、破損の起点となるマイクロクラックに衝撃が加わりにくくなるので、ガラスシート１１の破損を低減することができる。

また、本実施形態によれば、凹凸層１７付きの帯状のガラスシート１１、及びガラスシート１１から幅方向両側にはみ出る帯状の支持シート１３を重ねて渦巻き状に巻き取り、製品ロール（図７参照）を作製する。インプリント後（製品ロールの保管時や出荷時等）のガラスシート１１の破損を低減することができる。

さらに、本実施形態によれば、転写工程で、支持シート１３のガラスシート１１からはみ出る部分で保持される成形材料１６を用いてガラスシート１１の端面に保護部１８を形成する。保護部１８は、ガラスシート１１の幅方向両端面を保護し、ガラスシート１１の幅方向両端面と、周辺の物品との衝突をさらに抑制する役割を果たす。

さらにまた、本実施形態によれば、ガラスシート１１上の成形材料の層１５をガラスシート１１とグラビアロール３３とで挟み、ガラスシート１１とグラビアロール３３との間から流出する成形材料１６で保護部１８を形成する。流出した成形材料１６が支持シート１３とグラビアロール３３との間の隙間を埋め、成形材料の硬化時に、成形材料の外気と接する面積が少ないので、外気に含まれる酸素による硬化阻害が生じにくい。

尚、本実施形態の塗布器３１は、ガラスシート１１上に成形材料を塗布するとき、支持シート１３上に成形材料を塗布しないが、支持シート１３上に成形材料を塗布してもよい。つまり、成形材料は、ガラスシート１１と、グラビアロール３３との間に挟み込まれる前に、ガラスシート１１の幅方向両側にはみ出していてもよい。ガラスシート１１の幅方向両側にはみ出した成形材料を用いて、ガラスシート１１の端面に保護部１８を形成することが可能である。尚、成形材料の層１５の塗布幅は、支持シート１３の幅よりは狭い。

[第２実施形態]
上記実施形態は、ロール状のモールド（グラビアロール）３３を用いてインプリントを行う。

これに対し、本実施形態は、エンドレスベルト状のモールドを用いてインプリントを行う点で相違する。以下、相違点について主に説明する。

図８は、本発明の第２実施形態によるインプリント方法の説明図である。図９は、図８のIX−IX線に沿った断面図、図１０は図８のX−X線に沿った断面図、図１１は図８のXI−XI線に沿った断面図、図１２は図８のXII−XII線に沿った断面図である。

インプリント装置１０Ａは、ガラスシート１１上に凹凸層１７（図１２参照）を形成する。ガラスシート１１及び凹凸層１７等で積層シート１９が構成される。凹凸層１７は、凸部が周期的に配列される凹凸パターンを有する。

インプリント装置１０Ａは、第１実施形態と同様に、巻き出しロール２１、分離ロール２２、回収ロール２３、繰り出しロール２４、重ね合わせロール２５、巻き取りロール２６、塗布器３１、光源３５、ガイドロール４５、及び引き出しロール４６を備える。

インプリント装置１０Ａは、第１実施形態と異なり、エンドレスベルト状のモールド３３Ａ、複数（例えば２本）の回転ロール４１Ａ、４２Ａ、及び複数（例えば２本）のニップロール４３Ａ、４４Ａを備える。

モールド３３Ａは、成形材料の層１５の表面に転写される凹凸パターンを外周に有する。モールド３３Ａは、モールド表面と成形材料との離型性を高めるため、離型処理が施されたものであってよい。離型処理としては、例えばフッ素コート処理、シリコーンコート処理等が挙げられる。

モールド３３Ａは、複数の回転ロール４１Ａ、４２Ａ、及び複数の補助ロール６１Ａ、６２Ａに架け回され、輪転される。モールド３３Ａは、例えば金属（例えばニッケル、クロム）、又は樹脂（例えばポリカーボネート、環状オレフィン樹脂、ポリエステル樹脂）で構成され、フレキシブル性を有する。尚、複数の補助ロール６１Ａ、６２Ａの全部又は一部が無くてもよい。

モールド３３Ａは、マスターモールドを用いて成型される帯状シートの両端部を溶着して作製され、何度も複製可能となっている。複製方法には、例えばインプリント法、電鋳法などがある。マスターモールドは、例えばフォトリソグラフィ法又は電子線描画法で基材を加工して作製される。

一組の回転ロール４１Ａ及びニップロール４３Ａは、図１０に示すようにニップロール４３Ａ側から、支持シート１３、ガラスシート１１、成形材料の層１５、及びモールド３３Ａをこの順で挟んで送り出す。回転ロール４１Ａ及びニップロール４３Ａは相対的に接離可能であって、いずれか一方は他方に向けて流体圧シリンダ等で押圧されてよい。回転ロール４１Ａ及びニップロール４３Ａの少なくとも一方は金属ロールの外周をゴムで被覆したロールであってよい。ゴムが弾性変形することで、ホコリなどの異物の噛み込みによる応力集中やガラスシート１１の厚さのばらつき等による応力集中を抑制できる。回転ロール４１Ａ及びニップロール４３Ａのいずれか一方は、回転モータ等で回転駆動される他方の回転に伴って従動的に回転してよい。回転ロール４１Ａと、ニップロール４３Ａとの間の周速差が小さく、せん断応力が小さい。

ガラスシート１１及びモールド３３Ａは、一組の回転ロール４１Ａとニップロール４３Ａとの間に挿入された後、他の一組の回転ロール４２Ａとニップロール４４Ａとの間から引き出されるまでの間、ガラスシート１１の張力及びモールド３３Ａの張力で成形材料の層１５を挟み込み、成形材料の層１５と一体的に移動する。その間に、成形材料の層１５は光源３５からの光を受けて徐々に固化し、凹凸層１７となる。凹凸層１７は、モールド３３Ａの凹凸パターンが略反転したパターンを有する。ガラスシート１１の張力の方向は、ガラスシートの移動方向である。また、モールド３３Ａの張力の方向は、モールド３３Ａの移動方向（輪転方向）である。

光インプリント法では、モールド３３Ａ及びガラスシート１１の少なくとも一方が光透過性の材料で構成される。光源３５から出射した光は、例えば図８及び図１１等に示すように透明な支持シート１３、及び透明なガラスシート１１を透過して、成形材料の層１５に入射する。尚、光源３５から出射した光は、透明なモールド３３Ａを透過して、成形材料の層１５に入射してもよい。

他の一組の回転ロール４２Ａ及びニップロール４４Ａは、ニップロール４４Ａ側から、支持シート１３、ガラスシート１１、凹凸層１７、及びモールド３３Ａを挟んで送り出す。回転ロール４２Ａ及びニップロール４４Ａは相対的に接離可能であって、いずれか一方は他方に向けて流体圧シリンダ等で押圧されてよい。回転ロール４２Ａ及びニップロール４４Ａの少なくとも一方は金属ロールの外周をゴムで被覆したロールであってよい。回転ロール４２Ａ及びニップロール４４Ａのいずれか一方は、回転モータ等で回転駆動される他方の回転に伴って従動的に回転してよい。回転ロール４２Ａと、ニップロール４４Ａとの間の周速差が小さく、せん断応力が小さい。

複数の回転ロール４１Ａ、４２Ａ及び複数のニップロール４３Ａ、４４Ａは、同じ外径でも異なる外径でもよい。

次に、上記構成のインプリント装置１０Ａの動作（インプリント方法）について説明する。インプリント装置１０Ａの各種動作は、マイクロコンピュータ等で構成されるコントローラによる制御下で行われる。以下の説明では、便宜上、主にガラスシート１１の一部分に着目して、インプリント装置１０Ａの各種動作を説明する。

先ず、巻き出しロール２１が回転し、ガラスロールから、ガラスシート１１、ガラス保護シート１２、及び支持シート１３が連続的に繰り出される。ガラスシート１１及びガラス保護シート１２は、分離ロール２２とガイドロール４５との間を通過することにより分離される。

次いで、図９に示すように、塗布器３１がガラスシート１１上に成形材料を塗布し、成形材料の層１５を形成する。成形材料の層１５は、ガラスシート１１における支持シート１３を接合する面とは反対側の面に設けられる。

次いで、図１０に示すように、一組の回転ロール４１Ａ及びニップロール４３Ａが、ニップロール４３Ａ側から、支持シート１３、ガラスシート１１、成形材料の層１５、及びモールド３３Ａをこの順で挟んで送り出す。このとき、ガラスシート１１とモールド３３Ａとの間から成形材料の一部が流出してよい。流出した成形材料１６は、支持シート１３のガラスシート１１からはみ出す部分と、モールド３３Ａとの間に表面張力で保持され、ガラスシート１１の幅方向両端面を覆う。

図８に示すように、支持シート１３、ガラスシート１１、及び成形材料の層１５は、平坦な状態で、一組の回転ロール４１Ａとニップロール４３Ａとの間に挿入される。一方、モールド３３Ａは、成形材料の層１５との間に空気が噛み込まないように回転ロール４１Ａに沿って曲げ変形されながら、回転ロール４１Ａとニップロール４３Ａとの間に挿入され、成形材料の層１５と密接する。

図１１に示すように、ガラスシート１１及びモールド３３Ａは、一組の回転ロール４１Ａとニップロール４３Ａとの間に挿入された後、他の一組の回転ロール４２Ａとニップロール４４Ａとの間から引き出されるまでの間、ガラスシート１１の張力及びモールド３３Ａの張力で成形材料の層１５を挟み込み、成形材料の層１５と一体的に移動する。その間に、成形材料の層１５は光源３５からの光を受けて徐々に固化し、凹凸層１７となる。また、支持シート１３のガラスシート１１からはみ出す部分と、モールド３３Ａとの間に保持される成形材料１６が徐々に固化し、保護部１８となる。保護部１８と凹凸層１７とは一体的に形成される。保護部１８は、ガラスシート１１の幅方向両端面を保護し、ガラスシート１１の幅方向両端面と、周辺の物品との衝突をさらに抑制する役割を果たす。

次いで、回転ロール４２Ａ及びニップロール４４Ａは、ニップロール４４Ａ側から、支持シート１３、ガラスシート１１、及び凹凸層１７をこの順で挟んで送り出す。

図８に示すように、支持シート１３、ガラスシート１１、及び凹凸層１７は、平坦な状態のまま、回転ロール４２Ａとニップロール４４Ａとの間から引き出される。一方、モールド３３Ａは、凹凸層１７と円滑に分離するように回転ロール４２Ａに沿って曲げ変形される。図１２に示すように、ガラスシート１１、凹凸層１７、及び保護部１８を含む積層シート１９が得られる。

次いで、引き出しロール４６及び重ね合わせロール２５が、積層シート１９と凹凸保護シート１４とを重ね合せる。凹凸保護シート１４は、積層シート１９の凹凸層１７と重ねられ、凹凸層１７に異物（例えばホコリ）や傷が付くのを防止する。

次いで、巻き取りロール２６が、積層シート１９、支持シート１３、及び凹凸保護シート１４を重ねて巻き取り、製品ロールを作製する。

本実施形態によれば、第１実施形態と同じ効果に加えて、下記の効果が得られる。ガラスシート１１が平坦な状態のまま複数組の回転ロール４１Ａ、４２Ａとニップロール４３Ａ、４４Ａとの間を通過する。そのため、モールド３３Ａの凹凸パターンの転写時や、モールド３３Ａと凹凸層１７との分離時に、脆いガラスシート１１が平坦に保持されているので、ガラスシート１１の破損をさらに抑制できる。

以上、インプリント方法を第１〜第２実施形態で説明したが、本発明は上記実施形態に制限されない。特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。

例えば、上記実施形態のインプリント方法は、ロール・ツー・ロール方式であるが、本発明はこれに限定されない。例えば、インプリント方法は、枚葉式であってもよい。この場合、支持シートはガラスシートの外周全周からはみ出していることが好ましく、また、ガラスシートの外周全周に保護部を形成することが好ましい。また、インプリント方法は、積層シートを巻き取りロールで巻き取らずに、切断機で所定のサイズに切断してもよい。

また、上記実施形態のインプリント方法は、ガラスシートと支持シートとを予め接合したものを用いるが、ガラスシートと支持シートとを接合する接合工程を有してもよい。

また、上記実施形態のインプリント方法は、光インプリント法であるが、熱インプリント法であってもよい。この場合、成形材料は、光硬化性樹脂の代わりに、熱可塑性樹脂を含む。熱可塑性樹脂には、熱インプリント法に用いられる一般的なものが使用でき、例えばアクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、オレフィン系樹脂等が挙げられる。熱可塑性樹脂は、溶液の形態で用意されガラスシート上に塗布し、乾燥してもよい。また、熱可塑性樹脂は、加熱軟化したうえでガラスシート上に塗布して冷却してもよい。熱インプリント法では、熱可塑性樹脂を含む成形材料の層を加熱により軟化し、軟化した成形材料の層の表面にモールドを押し付け、成形材料の層を冷却して固化させることで、凹凸層を形成する。加熱源としては、加熱光を照射する光源（例えばハロゲンランプ、レーザ）、ヒータ等が用いられる。加熱温度は、熱可塑性樹脂のガラス転移温度以上である。モールドを押し付ける工程と、成形材料の層を加熱する工程とは、どちらの工程が先であってもよく、同時に行ってもよい。モールドを加熱することで成形材料の層を加熱してもよい。

また、上記実施形態のガラスロールは、ガラス保護シートを含むが、ガラス保護シートを含まなくてもよい。この場合、ガラス保護シートとガラスシートとを分離する分離ロール、及びガラス保護シートを回収する回収ロールは不要である。

また、上記実施形態の製品ロールは、凹凸保護シートを含むが、凹凸保護シートを含まなくてもよい。この場合、繰り出しロール及び重ね合わせロールは不要である。

また、上記実施形態の塗布器は、ガラスシート上に成形材料を塗布するが、モールド上に成形材料を塗布してもよく、両方に成形材料を塗布してもよい。成形材料の層は転写工程でガラスシートとモールドとの間に挟み込まれ、モールドの凹凸パターンが成形材料の層に転写する。

また、上記実施形態の塗布器は、移動中のガラスシート上に連続的に成形材料を塗布するが、移動中のガラスシート上に間欠的に成形材料を塗布し、ガラスシートの移動方向（長手方向）に間隔をおいて複数の成形材料の層を形成してもよい。複数の凹凸層が、ガラスシートの長手方向に間隔をおいて形成される。複数の凹凸層の間で積層シートを長手方向と垂直に（横に）切断すれば、ガラスシートのみを切断して積層シートを切断できる。この切断は、製品ロールの出荷後に客先で行われてもよい。製品ロールから積層シートを少しずつ繰り出し、積層シートを少しずつ切断する場合に有効である。

また、上記実施形態の塗布器は、ガラスシートの幅方向（図２において左右方向）に連続的に成形材料を塗布するが、ガラスシートの幅方向に間隔をおいて成形材料を塗布してもよい。複数の凹凸層が、ガラスシートの幅方向に間隔をおいて形成できる。複数の凹凸層の間で積層シートを長手方向と平行に（縦に）切断すれば、ガラスシートのみを切断して積層シートを切断できる。この切断は、製品ロールの出荷後に客先で行われてもよい。

また、上記実施形態では、成形材料を固化した後、凹凸層とモールドとの分離を行うが、分離後に成形材料を固化してもよい。

１０ インプリント装置
１１ ガラスシート
１３ 支持シート
１５ 成形材料の層
１７ 凹凸層
１８ 保護部
１９ 積層シート
２６ 巻き取りロール
３３ グラビアロール（ロール状のモールド）
４３ 転写ロール
４４ 分離ロール
３３Ａ エンドレスベルト状のモールド
４１Ａ、４２Ａ 回転ロール
４３Ａ、４４Ａ ニップロール

Claims (10)

1. ガラスシートとモールドとの間に成形材料の層を挟み、前記モールドの凹凸パターンを成形材料の層に転写し、前記ガラスシート上に凹凸層を形成する転写工程を有し、
   前記転写工程で、前記ガラスシートの前記凹凸層を形成する面と反対側の面を支持シートで支持し、また、該支持シートの前記ガラスシートからはみ出る部分で保持される成形材料を用いて前記ガラスシートの端面に保護部を形成する、インプリント方法。
2. 前記転写工程で、前記ガラスシート上の成形材料の層を前記ガラスシートと前記モールドとで挟み、前記ガラスシートと前記モールドとの間から流出する成形材料で前記ガラスシートの端面に保護部を形成する請求項１に記載のインプリント方法。
3. 前記転写工程で、前記ガラスシートを平坦な状態で複数組の回転ロールとニップロールとの間を通過させると共に、複数の前記回転ロールに架け回されるエンドレスベルト状の前記モールドを輪転させ、
   前記ガラスシート及び前記モールドは、一組の回転ロールとニップロールとの間に挿入されてから、他の一組の回転ロールとニップロールとの間から引き出されるまでの間、前記成形材料の層を挟み込み、前記成形材料の層に前記モールドの凹凸パターンを転写する請求項１又は２に記載のインプリント方法。
4. 前記転写工程で、ロール状の前記モールドと転写ロールとの間に前記成形材料の層を通すことにより、前記成形材料の層に前記モールドの凹凸パターンを転写する請求項１又は２に記載のインプリント方法。
5. ガラスシートとモールドとの間に成形材料の層を挟み、前記モールドの凹凸パターンを成形材料の層に転写し、前記ガラスシート上に凹凸層を形成する転写工程と、
   前記凹凸層付きの前記ガラスシート、及び前記ガラスシートの凹凸層を形成する面と反対側の面を支持すると共に帯状の前記ガラスシートから幅方向両側にはみ出る帯状の支持シートを重ねて渦巻き状に巻き取る巻き取り工程とを有する、インプリント方法。
6. ガラスシートとモールドとの間に成形材料の層を挟み、前記モールドの凹凸パターンを成形材料の層に転写し、前記ガラスシート上に凹凸層を形成する転写工程を有し、
   前記ガラスシート、及び前記ガラスシートの凹凸層を形成する面と反対側の面を支持すると共に帯状の前記ガラスシートから幅方向両側にはみ出る帯状の支持シートを重ねて渦巻き状に巻回してなるロールから、前記ガラスシート及び前記支持シートを繰り出し、前記ガラスシートを前記転写工程に供する、インプリント方法。
7. 前記転写工程では、前記ガラスシートの前記凹凸層を形成する面と反対側の面を前記支持シートで支持し、また、前記支持シートの前記ガラスシートからはみ出る部分で保持される成形材料を用いて前記ガラスシートの幅方向両端面に保護部を形成する請求項５又は６に記載のインプリント方法。
8. 前記転写工程で、前記ガラスシート上の成形材料の層を前記ガラスシートと前記モールドとで挟み、前記ガラスシートと前記モールドとの間から流出する成形材料で前記ガラスシートの端面に保護部を形成する請求項７に記載のインプリント方法。
9. 前記転写工程で、前記ガラスシートを平坦な状態で複数組の回転ロールとニップロールとの間を通過させると共に、複数の前記回転ロールに架け回されるエンドレスベルト状の前記モールドを輪転させ、
   前記ガラスシート及び前記モールドは、一組の回転ロールとニップロールとの間に挿入されてから、他の一組の回転ロールとニップロールとの間から引き出されるまでの間、前記成形材料の層を挟み込み、前記成形材料の層に前記モールドの凹凸パターンを転写する請求項５〜８のいずれか一項に記載のインプリント方法。
10. 前記転写工程で、ロール状の前記モールドと転写ロールとの間に前記成形材料の層を通すことにより、前記成形材料の層に前記モールドの凹凸パターンを転写する請求項５〜８のいずれか一項に記載のインプリント方法。

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