WO2020059390A1 - フレキシブルモールドの製造方法、フレキシブルモールド用の基材、及び光学部品の製造方法 - Google Patents

フレキシブルモールドの製造方法、フレキシブルモールド用の基材、及び光学部品の製造方法 Download PDF

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Definitions

  • the present invention relates to a method for manufacturing a flexible mold, a base material for a flexible mold, and a method for manufacturing an optical component using the flexible mold.
  • the end surface of the glass sheet and the end surface of the resin layer are located on the same plane (see FIG. 1 and the like in the document). Therefore, in a process of manufacturing a flexible mold or a process of manufacturing an optical component (for example, an optical device or the like) using the manufactured flexible mold, another member easily contacts an end surface of the glass sheet included in the base material. As a result, glass fragments (including glass powder) are likely to be generated from the end face of the glass sheet, which causes contamination of the surrounding environment in each of the above steps.
  • An object of the present invention is to reduce the generation of glass shards in a step of manufacturing a flexible mold and / or a step of manufacturing an optical component using the manufactured flexible mold.
  • the resin sheet may be bonded to only one main surface of the glass sheet via the bonding layer. This simplifies the configuration of the base material, so that a flexible mold can be manufactured at low cost.
  • the thickness of the glass sheet 2 is preferably from 10 to 500 ⁇ m, more preferably from 50 to 200 ⁇ m, even more preferably from 50 to 100 ⁇ m. If the glass sheet 2 is too thick, the flexibility tends to decrease, and the mold releasability in the separation process included in the manufacturing process of the flexible mold and the manufacturing process of the optical component may be deteriorated. On the other hand, if the glass sheet 2 is too thin, the mechanical strength may be reduced.
  • the amount X1 of the resin sheet 3 protruding from the glass sheet 2 is preferably 0.2 to 100 mm, and from the viewpoint of preventing a decrease in dimensional accuracy due to the elongation of the protruding resin sheet 3 from 0.2 to 100 mm. More preferably, it is 1 mm.
  • the material of the resin sheet 3 includes epoxy (EP), polyamide (PA), polyamide imide (PAI), polyether ether ketone (PEEK), polybenzimidazole (PBI), polyethylene terephthalate (PET), and polyether sal.
  • Phone (PES), cyclic polyolefin (COP), polycarbonate (PC), polyvinyl chloride (PVC), acrylic (PMMA), urethane (PU), or the like may be used.
  • a liquid molding material 7 is applied to the first main surface 3 a of the resin sheet 3 included in the base material 1. If the molding material 7 is applied to the resin sheet 3, the adhesion of the molding material 7 can be ensured without performing a special surface treatment.
  • the material of the molding material 7 can use a general material used for the imprint method, and is appropriately selected according to the type of the imprint method.
  • examples of the material of the molding material 7 include a thermoplastic resin and a thermosetting resin.
  • the material of the molding material 7 includes, for example, a photocurable resin.
  • an optical imprint method using ultraviolet light is used as the imprint method, and an ultraviolet curable resin is used as the molding material 7.
  • the method of applying the molding material 7 is not particularly limited, and examples thereof include a die coating method, a roll coating method, a gravure coating method, an inkjet printing method, a spray coating method, a spin coating method, a flow coating method, a blade coating method, and a dip coating method. Coating method and the like can be mentioned.
  • the molding material 7 may be applied to the master mold 8 instead of applying the molding material 7 to the base material 1.
  • the molding material 7 is sandwiched between the base material 1 and the master mold 8, and the concavo-convex layer 9 on which the concavo-convex pattern of the master mold 8 is transferred is formed on the base material 1.
  • the uneven layer 9 is obtained by solidifying the molding material 7 while sandwiching the molding material 7 between the base material 1 and the master mold 8 (see FIG. 2C).
  • solidification includes hardening.
  • the molding material 12 can use a general material used for the imprint method, and may be the same material as the molding material 7 used for manufacturing the flexible mold 6, or may be a different material.
  • the first resin sheet 23 is flat in the plane direction of the glass sheet 22, and the second resin sheet 25 has a step 27 approaching the first resin sheet 23 at a portion protruding from the glass sheet 22. I have. Therefore, depending on the presence or absence of the step portion 27, the front and back surfaces of the base material 21 and the flexible mold manufactured using the base material 21 can be easily distinguished.
  • Each of the first resin sheet 23 and the second resin sheet 25 protrudes from the second adhesive layer 26. Thereby, since the second adhesive layer 26 does not protrude to the outside of the base material 21, the surrounding environment can be prevented from being contaminated by the adhesive.

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Abstract

フレキシブルモールド用の基材１であって、ガラスシート２と、樹脂シート３と、ガラスシート２及び樹脂シート３を接着する接着層４とを備え、樹脂シート３が、ガラスシート２から食み出している。

Description

フレキシブルモールドの製造方法、フレキシブルモールド用の基材、及び光学部品の製造方法
　本発明は、フレキシブルモールドの製造方法、フレキシブルモールド用の基材、及びフレキシブルモールドを用いた光学部品の製造方法に関する。
　例えば光学デバイスの製造工程等には、曲げ変形可能な可撓性を有するフレキシブルモールドが用いられる場合がある。フレキシブルモールドを製造する方法の一つとして、インプリント法がある。インプリント法では、マスターモールドと基材との間に成形材料を挟み、マスターモールドの凹凸パターンを転写した凹凸層を基材上に形成する。これにより、基材と凹凸層とを備えたフレキシブルモールドが得られる。
　フレキシブルモールド用の基材としては、例えば、特許文献１に開示されているように、温度変化に伴うフレキシブルモールドの寸法変化を低減するためにガラスシートを備えたものがある。また、同文献には、基材をガラスシートのみから構成すると割れ等が発生しやすいため、ガラスシートの一方の主表面に樹脂層を形成した基材が開示されている。
国際公開第２０１５／０３７６０１号
　特許文献１に開示のフレキシブルモールド用の基材は、ガラスシートの端面と樹脂層の端面とが同一平面上に位置している（同文献の図１などを参照）。そのため、フレキシブルモールドを製造する工程や、製造されたフレキシブルモールドを用いて光学部品（例えば光学デバイスなど）を製造する工程で、基材に含まれるガラスシートの端面に他部材が接触しやすい。その結果、ガラスシートの端面からガラス破片（ガラス粉を含む）が生じやすく、上記の各工程で周囲環境を汚染する原因となる。
　本発明は、フレキシブルモールドを製造する工程及び／又は製造されたフレキシブルモールドを用いて光学部品を製造する工程で、ガラス破片の発生を低減することを課題とする。
　上記の課題を解決するために創案された本発明は、基材と、基材上に形成される凹凸層とを備えるフレキシブルモールドの製造方法であって、基材とマスターモールドとの間で成形材料を挟み、マスターモールドの凹凸パターンを転写した凹凸層を基材上に形成する転写工程を含み、基材が、ガラスシートと、樹脂シートと、ガラスシート及び樹脂シートを接着する接着層とを備え、樹脂シートが、ガラスシートから食み出していることを特徴とする。このような構成によれば、基材において、樹脂シートがガラスシートから食み出しているため、ガラスシートの端面が他部材と接触し難くなる。そのため、当該基材を用いてフレキシブルモールドを製造すれば、ガラス破片の発生を低減し得るフレキシブルモールドを提供できる。
　上記の構成において、ガラスシートの一方の主表面のみに、接着層を介して樹脂シートが接着されていてもよい。このようにすれば、基材の構成が簡素化されるため、フレキシブルモールドを低コストで製造できる。
　ガラスシートの一方の主表面のみに樹脂シートが配置されている場合、ガラスシート及び樹脂シートのそれぞれが、接着層から食み出していることが好ましい。このようにすれば、接着層が基材の外側に食み出さないため、接着剤で周囲環境が汚染されるのを防止できる。
　上記の構成において、ガラスシートの両方の主表面のそれぞれに、接着層を介して樹脂シートが接着されていてもよい。このようにすれば、ガラスシートの両方の主表面が樹脂シートにより保護されるため、ガラスシートがより破損し難くなる。また、万一ガラスシートが破損しても、ガラス破片が両側の樹脂シートの間に留まり易いため、ガラス破片が周囲に飛散し難い。更に、熱処理等によって加熱される場合でも、ガラスシートの両主表面に作用する樹脂シートに起因する応力がほぼ同じになるため、ガラスシートの一方の主表面側が凸となるような反りが生じるのを抑制できる。
　ガラスシートの両方の主表面に樹脂シートが配置されている場合、両方の樹脂シートのそれぞれが、接着層から食み出していることが好ましい。このようにすれば、接着層が基材の外側に食み出さないため、接着剤で周囲環境が汚染されるのを防止できる。
　ガラスシートの両方の主表面に樹脂シートが配置されている場合、ガラスシートの端面が、接着層で覆われていることが好ましい。このようにすれば、ガラスシートの端面が接着層で保護されるため、ガラスシートの端面からガラス破片が生じるのをより確実に抑制できる。また、万一ガラスシートの端面に破損が生じても、ガラス破片が周囲に飛散し難い。
　ガラスシートの両方の主表面に樹脂シートが配置されている場合、一方の樹脂シートが、ガラスシートの平面方向に平坦であり、他方の樹脂シートが、ガラスシートから食み出した部分に一方の樹脂シート側に接近する段差部を有していてもよい。このようにすれば、段差部の有無により、基材の表裏面を容易に区別できる。すなわち、例えば、凹凸層を平坦な一方の樹脂シートの主表面に形成した場合、段差部の有無により、凹凸層が形成された面を簡単に判別できる。
　上記の構成において、基材は、基材の少なくとも一方の主表面に剥離可能に積層された保護フィルムを備えていることが好ましい。このようにすれば、基材表面に傷が付いたり、汚れが付着したりするのを防止できる。したがって、例えば、基材の凹凸層を形成する面に保護フィルムを積層しておき、凹凸層を形成する直前に剥離するようにすれば、凹凸層を高精度に形成できる。
　上記の課題を解決するために創案された本発明は、フレキシブルモールド用の基材であって、ガラスシートと、樹脂シートと、ガラスシート及び樹脂シートを接着する接着層とを備え、樹脂シートが、ガラスシートから食み出していることを特徴とする。このような構成を備えた基材を用いて、フレキシブルモールドを製造すれば、既に述べた対応する構成と同様の作用効果を得ることができる。
　上記の構成において、ガラスシートの一方の主表面のみに、接着層を介して樹脂シートが接着されていてもよい。
　上記の構成において、ガラスシートの両方の主表面のそれぞれに接着層を介して樹脂シートが接着されていてもよい。
　上記の課題を解決するために創案された本発明は、基板と、前記基板上に形成される凹凸層とを備える光学部品の製造方法であって、基板とフレキシブルモールドとの間で成形材料を挟み、フレキシブルモールドの凹凸パターンを転写した凹凸層を基板上に形成する転写工程を含み、フレキシブルモールドが、ガラスシートと、樹脂シートと、ガラスシート及び樹脂シートを接着する接着層とを備え、樹脂シートが、ガラスシートから食み出していることを特徴とする。このような構成によれば、フレキシブルモールドにおいて、樹脂シートがガラスシートから食み出しているため、ガラスシートの端面が他部材と接触し難くなる。そのため、当該フレキシブルモールドを用いて光学部品を製造すれば、ガラス破片の発生を確実に低減できる。
　本発明によれば、フレキシブルモールドを製造する工程及び／又は製造されたフレキシブルモールドを用いて光学部品を製造する工程で、ガラス破片の発生を確実に低減できる。
第一実施形態に係るフレキシブルモールド用の基材を示す断面図である。 第一実施形態に係るフレキシブルモールドの製造方法を示す断面図である。 第一実施形態に係るフレキシブルモールドの製造方法を示す断面図である。 第一実施形態に係るフレキシブルモールドの製造方法を示す断面図である。 第一実施形態に係るフレキシブルモールドの製造方法を示す断面図である。 第一実施形態に係るフレキシブルモールドを用いた製品の製造方法を示す断面図である。 第一実施形態に係るフレキシブルモールドを用いた製品の製造方法を示す断面図である。 第一実施形態に係るフレキシブルモールドを用いた製品の製造方法を示す断面図である。 第一実施形態に係るフレキシブルモールドを用いた製品の製造方法を示す断面図である。 第二実施形態に係るフレキシブルモールド用の基材を示す断面図である。 第二実施形態の変形例に係るフレキシブルモールド用の基材を示す断面図である。
　以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。
（第一実施形態）
　図１に示すように、第一実施形態に係るフレキシブルモールド用の基材１は、ガラスシート２と、樹脂シート３と、ガラスシート２の第一主表面２ａ及び樹脂シート３の第二主表面３ｂを接着する接着層４とを備えている。すなわち、樹脂シート３は、ガラスシート２の第一主表面２ａ側にのみ接着されている。ここで、「フレキシブル」とは、曲げ変形が可能な可撓性を有する状態を意味する。したがって、基材１も、曲げ変形可能な可撓性を有する。なお、基材１に曲げ変形を生じさせない状態（図１の状態）では、ガラスシート２及び樹脂シート３は共に、ガラスシート２の平面方向に平坦である。
　ガラスシート２の形状は、特に限定されるものではなく、例えば円形状などであってもよいが、本実施形態では矩形状である。
　ガラスシート２の厚みは１０～５００μｍであることが好ましく、５０～２００μｍであることがより好ましく、５０～１００μｍであることが更に好ましい。ガラスシート２が厚すぎると可撓性が低下し易く、フレキシブルモールドの製造工程や光学部品の製造工程に含まれる分離工程における離型性が悪くなるおそれがある。一方、ガラスシート２が薄すぎると機械的強度が低下するおそれがある。
　ガラスシート２の組成としては、例えば、無アルカリガラス、ホウケイ酸ガラス、ソーダガラス（ソーダライムガラス）、高シリカガラス、その他の酸化ケイ素を主な成分とする酸化物系ガラスなどが挙げられる。ガラスシート２は化学強化ガラスであってもよく、この場合、アルミノシリケートガラスを用いることができる。ガラスシート２は、高い紫外線（３６５ｎｍ）の透過率と共に、低い熱膨張係数を有することが好ましく、具体的にはディスプレイ用ガラス基板に使用される無アルカリガラスからなることが好ましい。
　高い紫外線（３６５ｎｍ）の透過率と共に、低い熱膨張係数を確保する観点から、無アルカリガラスは、質量％で、ＳｉＯ２　５０～７０％、Ａｌ２Ｏ３　１２～２５％、Ｂ２Ｏ３　０～１２％、Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ（Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ及びＫ２Ｏの合量）　０～１％未満、ＭｇＯ　０～８％、ＣａＯ　０～１５％、ＳｒＯ　０～１２％、ＢａＯ　０～１５％を含有することが好ましい。また、上記無アルカリガラスは、質量％で、ＳｉＯ２　５０～７０％、Ａｌ２Ｏ３　１２～２２％（特に１５～２０％）、Ｂ２Ｏ３　７～１５％（特に９～１３％）、Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ　０～１％未満（特に０～０．５％）、ＭｇＯ　０～３％、ＣａＯ　６～１３％（特に７～１２％）、ＳｒＯ　０．１～５％（特に０．５～４％）、ＢａＯ　０～２％（特に０．１～１．５％）を含有することがより好ましい。
　ガラスシート２は、フロート法やダウンドロー法などの公知の成形方法により成形される。中でも、ガラスシート２は、オーバーフローダウンドロー法によって成形されることが好ましい。このようにすれば、ガラスシート２の表面が未研磨の火造り面となり、非常に平滑になるという利点がある。
　樹脂シート３の形状は、特に限定されるものではなく、例えば円形状などであってもよいが、本実施形態では矩形状である。
　樹脂シート３はガラスシート２よりも大きく、積層した状態を平面視するとガラスシート２から食み出している。本実施形態では、樹脂シート３は、ガラスシート２の全周囲において食み出している。すなわち、樹脂シート３は、ガラスシート２の四辺全てから食み出している。これにより、基材１の端面に他部材が接触する場合に、樹脂シート３の端面３ｃが他部材と優先的に接触するため、ガラスシート２の端面２ｃが他部材と接触し難くなる。そのため、ガラスシート２の端面２ｃが破損してガラス破片が生じるのを防止できる。
　ガラスシート２から樹脂シート３が食み出す量Ｘ１は、０．２～１００ｍｍであることが好ましく、食み出した樹脂シート３の伸びによる寸法精度の低下を防止する観点からは０．２～１ｍｍであることがより好ましい。
　樹脂シート３の厚みは、１０～５００μｍであることが好ましい。ただし、樹脂シート３の厚みは、可撓性や紫外線透過性を良好にする観点からは、３０～３００μｍであることが更に好ましく、取り扱い性を良好にする観点からは、５０～２００μｍであることが更に好ましい。また、基材１に熱処理（例えば、１００℃程度の熱処理）を施す場合、ガラスシート２と樹脂シート３との膨張率差により基材１に、ガラスシート２側が凸となるような反りが生じるおそれがある。したがって、反りを防止する観点からは、樹脂シート３の厚みは、ガラスシート２の厚みの０．２～１倍であることが好ましく、０．３～０．５倍であることがより好ましい。
　樹脂シート３の材質としては、下記の（１）～（４）の少なくとも一つの特性を有することが好ましい。すなわち、樹脂シート３の材質は、（１）印刷等のインクをはじき難い易接着層を有すること（例えば、東洋紡株式会社製のコスモシャイン（登録商標）など）、（２）光学用高透明（全光線透過率（５５０ｎｍ）が８０～９５％）であること、（３）２軸延伸シートである場合にはアニール処理品であること（例えば、低熱収縮品、等方性品など）、（４）紫外線を透過する樹脂材であること、が好ましい。
　なお、樹脂シート３の材質としては、エポキシ（ＥＰ）やポリアミド（ＰＡ）、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリベンズイミダゾール（ＰＢＩ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエーテルサルホン（ＰＥＳ）、環状ポリオレフィン（ＣＯＰ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、アクリル（ＰＭＭＡ）、ウレタン（ＰＵ）等を採用してもよい。
　樹脂シート３は、高い紫外線（３６５ｎｍ）の透過率を有することが好ましく、樹脂シート３単体の紫外線の透過率は、５０～９０％であることが好ましい。この観点では、樹脂シート３の材質は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）であることが好ましい。なお、基材１全体の紫外線の透過率は、５０～９０％であることが好ましい。
　接着層４の厚みは、１０～５００μｍであることが好ましく、２５～１００μｍであることが更に好ましい。接着層４は、可撓性を良好にする観点からは薄い方が好ましい。接着層４の厚みは、ガラスシート２及び樹脂シート３の厚みよりも小さいことが好ましい。
　接着層４の材質としては、例えば、光学透明粘着シート、感圧粘着シート（ＰＳＡ）などが挙げられる。接着層４の接着成分としては、アクリル系接着剤、シリコン系接着剤、エポキシ系接着剤、光硬化性接着剤（例えば紫外線硬化性接着剤）などが利用できる。紫外線硬化性接着剤の場合、硬化後の紫外線（３６５ｎｍ）の透過率が７０～８０％であることが好ましい。接着層４は樹脂基材を有するものであってもよいし、樹脂基材を有さないものであってもよい。接着層４の可撓性を向上させることにより、後述の分離工程で基材１の分離しやすさを向上させる観点では、接着層４が光学透明粘着シートからなることが好ましい。
　接着層４は、ガラスシート２及び樹脂シート３の少なくとも一方から食み出していてもよいが、本実施形態では、ガラスシート２と樹脂シート３の両方が、接着層４から食み出している。これにより、接着層４が基材１の外側に食み出さないため、接着剤で周囲環境が汚染されるのを防止できる。
　接着層４からガラスシート２が食み出す量Ｙ１は、０．２～１ｍｍであることが好ましい。
　本実施形態では、基材１は、樹脂シート３の第一主表面３ａ及びガラスシート２の第二主表面２ｂにそれぞれ剥離可能に貼り合わされた保護フィルム５を更に備えている。これにより、樹脂シート３の第一主表面３ａ及びガラスシート２の第二主表面２ｂに傷が付いたり、汚れが付着したりするのを防止できる。なお、樹脂シート３の第一主表面３ａ及びガラスシート２の第二主表面２ｂの保護フィルム５は、いずれか一方又は両方を省略してもよい。
　保護フィルム５は、図示は省略するが、樹脂基材と粘着層（吸着層）とを備えている。樹脂基材の厚みは５～１００μｍであることが好ましく、粘着層の厚みは１～５０μｍであることが好ましい。粘着層は微粘着性を有することが好ましい。ここで、「微粘着性」とは、１８０°剥離強度試験（ＪＩＳ　Ｚ　０２３７：２００９に準拠）により測定した粘着力（剥離強度）が、０．０１～０．１Ｎ／２５ｍｍであることを意味する。樹脂基材としては、例えば、ＰＥＴやポリエチレン（ＰＥ）等が挙げられる。保護フィルム５としては、例えば、自己粘着性フィルムが利用できる。
　上記のように構成された基材１を用いたフレキシブルモールド６の製造方法は、図２Ａ～図２Ｄに示すように、塗布工程と、転写工程と、分離工程とを備えている。なお、本実施形態では、塗布工程の前に、基材１の樹脂シート３から保護フィルム５が剥離される。
　図２Ａに示すように、塗布工程では、基材１に含まれる樹脂シート３の第一主表面３ａに液状の成形材料７を塗布する。樹脂シート３に成形材料７を塗布すれば、特殊な表面処理を施さなくても、成形材料７の密着性を確保できる。
　成形材料７の塗布領域は、樹脂シート３の第一主表面３ａ内であれば特に限定されないが、本実施形態では、第一主表面３ａのうち、樹脂シート３とガラスシート２とが重複する範囲内である。樹脂シート３及びガラスシート２が重複する範囲内であれば、樹脂シート３の膨張などによる寸法変化が、ガラスシート２によって規制され易いため、樹脂シート３上でもガラスシート２に由来する高い寸法安定性を維持し易い。したがって、転写工程で高精度な凹凸パターンを形成できる。
　成形材料７の材質は、インプリント法に用いられる一般的な材料を利用でき、インプリント法の種類に応じて適宜選定される。熱インプリント法の場合には、成形材料７の材質は、例えば、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂などが挙げられる。光インプリント法の場合には、成形材料７の材質は、例えば、光硬化性樹脂などが挙げられる。本実施形態では、インプリント法として紫外線による光インプリント法が用いられ、成形材料７として紫外線硬化性樹脂が用いられる。
　成形材料７の塗布方法は、特に限定されるものではなく、例えば、ダイコート法、ロールコート法、グラビアコート法、インクジェット印刷法、スプレーコート法、スピンコート法、フローコート法、ブレードコート法、ディップコート法などが挙げられる。
　なお、塗布工程において、基材１に成形材料７を塗布する代わりに、マスターモールド８に成形材料７を塗布してもよい。
　図２Ｂに示すように、転写工程では、基材１とマスターモールド８との間で成形材料７を挟み、マスターモールド８の凹凸パターンを転写した凹凸層９を基材１上に形成する。凹凸層９は、基材１とマスターモールド８との間で成形材料７を挟んだ状態で成形材料７を固化させたものである（図２Ｃを参照）。ここで、固化は硬化を含む。
　マスターモールド８は、例えば、ＮＣ加工、フォトリソグラフィ法、電子線描画法などで凹凸パターンが精密加工されたものである。マスターモールド８は、例えば、シリコン、シリコン酸化膜、石英ガラス、樹脂、金属などで形成される。マスターモールド８は、本実施形態では板状であるが、エンドレスベルトやロールなどの無端状であってもよい。
　本実施形態では、成形材料７を固化させるための光として紫外線を用いた光インプリント法が用いられる。すなわち、成形材料７に紫外線を照射することで、成形材料７を固化させる。紫外線は、基材１側から照射されるが、マスターモールド８が紫外線透過性を有する場合は、マスターモールド８側から紫外線を照射してもよい。このように紫外線を照射する際、固化反応を促進するために、成形材料７を加熱してもよい。
　なお、光インプリント法を用いる場合、照射する光は、成形材料７の種類に応じて適宜変更され、例えば、可視光や赤外線なども利用される。また、熱インプリント法を用いる場合、例えば、基材１とマスターモールド８の少なくとも一方側から成形材料７を加熱することで、成形材料７を固化させる。
　図２Ｃ及び図２Ｄに示すように、分離工程では、マスターモールド８と凹凸層９とを分離する。本実施形態では、図２Ｃに示すように、凹凸層９が形成された基材１の一部を湾曲させながらマスターモールド８と凹凸層９とを分離させる。この際、マスターモールド８は、湾曲しないように平坦に支持されることが好ましい。もちろん、マスターモールド８と基材１の両方を湾曲しないように平坦に支持してもよい。
　図２Ｄに示すように、マスターモールド８と凹凸層９とを完全に分離することで、基材１の樹脂シート３の第一主表面３ａに凹凸層９が形成されたフレキシブルモールド６が製造される。
　なお、基材１の樹脂シート３の第一主表面３ａ上に凹凸層９を転写する場合を説明したが、基材１のガラスシート２の第二主表面２ｂに凹凸層９を転写してもよい。この場合、ガラスシート２と凹凸層９との密着性を向上させるために、ガラスシート２の第二主表面２ｂに表面処理を予め施すことが好ましい。表面処理としては、例えば、シランカップリング処理が挙げられる。シランカップリング処理は、ガラスシート２の第二主表面２ｂにシランカップリング剤を塗布した後、例えば１００℃程度で熱硬化させることにより、シランカップリング処理層を形成するものである。シランカップリング処理の加熱時に、ガラスシート２と樹脂シート３との熱膨張差による基材１に反りが生じることが懸念される場合、反りを防止するために、樹脂シート３の厚みは、ガラスシート２の厚みの０．２～１倍とすることが好ましい。また、反りを防止するために、基材１を構成する前に、単体のガラスシート２の第二主表面２ｂに予めシランカップリング処理層を形成しておき、その後、そのガラスシート２の第一主表面２ａに接着層４を介して樹脂シート３の第二主表面３ｂを接着して基材１を製造するようにしてもよい。
　上記のように構成されたフレキシブルモールド６を用いた光学部品（製品）１０の製造方法は、図３Ａ～図３Ｄに示すように、塗布工程と、転写工程と、分離工程とを備えている。
　図３Ａに示すように、塗布工程では、基板１１に液状の成形材料１２を塗布する。基板１１としては、例えば、樹脂基板、ガラス基板、あるいは、これらの複合基板などが挙げられる。基板１１の塗布面がガラス面の場合は、成形材料１２との密着性を向上させるために、基板１１にシランカップリング処理などの表面処理を施すことが好ましい。
　成形材料１２は、インプリント法に用いられる一般的な材料を利用でき、フレキシブルモールド６の製造に用いられる成形材料７と同種の材料であってもよいし、異種の材料であってもよい。
　図３Ｂに示すように、転写工程では、基板１１とフレキシブルモールド６との間で成形材料１２を挟み、フレキシブルモールド６の凹凸パターンを転写した凹凸層１３を基板１１上に形成する。凹凸層１３は、基板１１とフレキシブルモールド６との間で成形材料１２を挟んだ状態で成形材料１２を固化させたものである（図３Ｃを参照）。
　図３Ｃ及び図３Ｄに示すように、分離工程では、フレキシブルモールド６と凹凸層１３とを分離する。図３Ｄに示すように、フレキシブルモールド６と凹凸層１３とを完全に分離することで、基板１１に凹凸層１３が形成された光学部品１０が製造される。光学部品１０は、例えば、液晶ディスプレイ、（液晶配向膜）、偏光板、ＬＥＤ用マイクロレンズ、反射防止膜、回折光学素子、短焦点レンズ、プラズモンフィルター、マイクロミラーアレーなどの製造に用いられる。
　以上のような構成を備えたフレキシブルモールド６であれば、基材１において、樹脂シート３がガラスシート２から食み出しているため、基材１の端面に他部材が接触する場合に、樹脂シート３の端面３ｃが他部材と優先的に接触する。そのため、ガラスシート２の端面２ｃが他部材と接触し難くなる。したがって、フレキシブルモールド６を製造する工程（図２Ａ～図２Ｄ）や、フレキシブルモールド６を用いて光学部品１０を製造する工程（図３Ａ～図３Ｄ）で、ガラス破片の発生を低減できる。また、これらの工程で、ガラスに由来する寸法安定性を確保できるため、高精度な凹凸パターンを形成できる。
（第二実施形態）
　図４に示すように、第二実施形態に係るフレキシブルモールド用の基材２１は、ガラスシート２２と、第一樹脂シート２３と、ガラスシート２２の第一主表面２２ａ及び第一樹脂シート２３の第二主表面２３ｂを接着する第一接着層２４と、第二樹脂シート２５と、ガラスシート２２の第二主表面２２ｂ及び第二樹脂シート２５の第一主表面２５ａを接着する第二接着層２６とを備えている。すなわち、樹脂シート２３，２５は、ガラスシート２２の両主表面２２ａ，２２ｂにそれぞれ接着されている。また、第一接着層２４は、第一樹脂シート２３よりも小さく、ガラスシート２２と同程度の大きさであり、第二接着層２６は、第二樹脂シート２５と同程度の大きさであり、ガラスシート２２よりも大きい。
　第一樹脂シート２３及び第二樹脂シート２５のそれぞれは、ガラスシート２２よりも大きく、積層した状態を平面視すると、ガラスシート２２から食み出している。本実施形態では、樹脂シート２３，２５は、ガラスシート２２の全周囲において食み出している。すなわち、本実施形態では、ガラスシート２２及び樹脂シート２３，２５は矩形状であるため、樹脂シート２３，２５は、ガラスシート２２の四辺全てから食み出している。これにより、基材２１の端面に他部材が接触する場合に、樹脂シート２３，２５の端面２３ｃ，２５ｃのそれぞれが他部材と優先的に接触するため、ガラスシート２２の端面２２ｃが他部材と接触し難くなる。加えて、ガラスシート２２の両主表面２２ａ，２２ｂが樹脂シート２３，２５により保護されるため、第一実施形態の基材１に比べてガラスシート２２がより破損し難くなる。また、万一ガラスシート２２が破損しても、ガラス破片が、樹脂シート２３，２５の間で留まるなどして周囲に飛散し難いという利点もある。
　第一樹脂シート２３は、ガラスシート２２の平面方向に平坦であり、第二樹脂シート２５はガラスシート２２から食み出した部分に第一樹脂シート２３側に接近する段差部２７を有している。したがって、段差部２７の有無により、基材２１や、この基材２１を用いて製造されるフレキシブルモールドの表裏面を容易に見分けることができる。
　基材２１を用いてフレキシブルモールドを製造する場合、凹凸層は、段差部２７を有する第二樹脂シート２５の第二主表面２５ｂ（好ましくは段差部２７の内側領域）に形成してもよいが、平坦な第一樹脂シート２３の第一主表面２３ａに形成することが好ましい。なお、フレキシブルモールドや光学部品（製品）の具体的な製造方法については、第一実施形態で説明した方法を同様に適用できる。
　第一樹脂シート２３及び第二樹脂シート２５のそれぞれは、第二接着層２６から食み出している。これにより、第二接着層２６が基材２１の外側に食み出さないため、接着剤で周囲環境が汚染されるのを防止できる。
　第二接着層２６から樹脂シート２３，２５が食み出す量Ｙ２は、０．２～１ｍｍであることが好ましい。なお、第二接着層２６が、樹脂シート２３，２５から食み出していてもよい。また、第二接着層２６及び樹脂シート２３，２５の各端面が同一平面上に位置していてもよい。
　第二接着層２６は、ガラスシート２２から食み出すと共に、ガラスシート２２の外側で、第一樹脂シート２３と接着されている。その結果、ガラスシート２２の端面２２ｃは、第二接着層２６で覆われている。これにより、ガラスシート２２の端面２２ｃが第二接着層２６で保護されるため、ガラスシート２２の端面２２ｃからガラス破片が生じるのをより確実に抑制できる。また、万一ガラスシート２２の端面２２ｃが破損してもガラス片が周囲に飛散し難くなる。
　ガラスシート２２から樹脂シート２３，２５が食み出す量Ｘ２は、０．２～１００ｍｍであることが好ましく、本実施形態のようにガラスシート２２の端面２２ｃが第二接着層２６で覆われる場合、端面２２ｃを覆う接着層の厚みを確保しやすくするため、食み出し量Ｘ２は２～１００ｍｍであることがより好ましい。
　本実施形態では、基材２１は、第一樹脂シート２３の第一主表面２３ａに剥離可能に貼り合わされた第一保護フィルム２８と、第二樹脂シート２５の第二主表面２５ｂに剥離可能に貼り合わされた第二保護フィルム２９とを更に備えている。これにより、基材２１表面に傷が付いたり、汚れが付着したりするのを防止できる。なお、保護フィルム２８，２９のうち、いずれか一方又は双方を省略してもよい。
　なお、ガラスシート２２、樹脂シート２３，２５、接着層２４，２６、保護フィルム２８，２９の厚みや材質については、第一実施形態で説明した対応する構成の厚みや材質を同様に適用できる。
　本発明は上記の実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、更に種々なる形態で実施し得る。
　上記の実施形態では、フレキシブルモールド用の基材において、樹脂シートがガラスシートの全周囲から食み出している場合を説明したが、樹脂シートはガラスシートの周囲の一部のみから食み出していてもよい。
　上記の実施形態では、第一接着層２４は、ガラスシート２２と同程度の大きさである場合を説明したが、第一接着層２４は、図５に示すように、第一樹脂シート２３と同程度の大きさであってもよい。
１　　　基材
２　　　ガラスシート
３　　　樹脂シート
４　　　接着層
５　　　保護フィルム
６　　　フレキシブルモールド
７　　　成形材料
８　　　マスターモールド
９　　　凹凸層
１０　　光学部品
１１　　基板
１２　　成形材料
１３　　凹凸層
２１　　基材
２２　　ガラスシート
２３　　第一樹脂シート
２４　　第一接着層
２５　　第二樹脂シート
２６　　第二接着層
２７　　段差部
２８　　第一保護フィルム
２９　　第二保護フィルム
 

Claims (12)

  1. 　基材と、前記基材上に形成される凹凸層とを備えるフレキシブルモールドの製造方法であって、
    　前記基材とマスターモールドとの間で成形材料を挟み、前記マスターモールドの凹凸パターンを転写した前記凹凸層を前記基材上に形成する転写工程を含み、
    　前記基材が、ガラスシートと、樹脂シートと、前記ガラスシート及び前記樹脂シートを接着する接着層とを備え、前記樹脂シートが、前記ガラスシートから食み出していることを特徴とするフレキシブルモールドの製造方法。
  2. 　前記ガラスシートの一方の主表面のみに、前記接着層を介して前記樹脂シートが接着されていることを特徴とする請求項１に記載のフレキシブルモールドの製造方法。
  3. 　前記ガラスシート及び前記樹脂シートのそれぞれが、前記接着層から食み出していることを特徴とする請求項２に記載のフレキシブルモールドの製造方法。
  4. 　前記ガラスシートの両方の主表面のそれぞれに、前記接着層を介して前記樹脂シートが接着されていることを特徴とする請求項１に記載のフレキシブルモールドの製造方法。
  5. 　両方の前記樹脂シートのそれぞれが、前記接着層から食み出していることを特徴とする請求項４に記載のフレキシブルモールドの製造方法。
  6. 　前記ガラスシートの端面が、前記接着層で覆われていることを特徴とする請求項４又は５に記載のフレキシブルモールドの製造方法。
  7. 　一方の前記樹脂シートが、前記ガラスシートの平面方向に平坦であり、他方の前記樹脂シートが、前記ガラスシートから食み出した部分に前記一方の前記樹脂シート側に接近する段差部を有することを特徴とする請求項４～６のいずれか１項に記載のフレキシブルモールドの製造方法。
  8. 　前記基材は、前記基材の少なくとも一方の主表面に剥離可能に積層された保護フィルムを備えていることを特徴とする請求項１～７のいずれか１項に記載のフレキシブルモールドの製造方法。
  9. 　フレキシブルモールド用の基材であって、
    　ガラスシートと、樹脂シートと、前記ガラスシート及び前記樹脂シートを接着する接着層とを備え、前記樹脂シートが、前記ガラスシートから食み出していることを特徴とするフレキシブルモールド用の基材。
  10. 　前記ガラスシートの一方の主表面のみに、前記接着層を介して前記樹脂シートが接着されていることを特徴とする請求項９に記載のフレキシブルモールド用の基材。
  11. 　前記ガラスシートの両方の主表面のそれぞれに前記接着層を介して前記樹脂シートが接着されていることを特徴とする請求項９に記載のフレキシブルモールド用の基材。
  12. 　基板と、前記基板上に形成される凹凸層とを備える光学部品の製造方法であって、
    　前記基板とフレキシブルモールドとの間で成形材料を挟み、前記フレキシブルモールドの凹凸パターンを転写した前記凹凸層を前記基板上に形成する転写工程を含み、
    　前記フレキシブルモールドが、ガラスシートと、樹脂シートと、前記ガラスシート及び前記樹脂シートを接着する接着層とを備え、前記樹脂シートが、前記ガラスシートから食み出していることを特徴とする光学部品の製造方法。
     
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