JP2011001520A - モールド固定用粘着シートおよびモールド固定用粘着テープ - Google Patents

Abstract

【課題】モールドを、その表面平滑性を確保しつつ適度な力で台座に固定することができ、かつ簡単に取り外すことができるモールド固定用粘着シートおよびモールド固定用粘着テープを提供することである。
【解決手段】感圧性接着剤および側鎖結晶性ポリマーを含有して該側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下するか、側鎖結晶性ポリマーを含有して該側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度で粘着力が低下するモールド固定用粘着シートである。基材フィルムの両面に粘着剤層を設けてなり、少なくもと片面の粘着剤層が、感圧性接着剤および側鎖結晶性ポリマーを含有して該側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下するか、側鎖結晶性ポリマーを含有して該側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度で粘着力が低下するモールド固定用粘着テープである。
【選択図】なし

Description

本発明は、インプリントリソグラフィーに用いられるモールドを固定する粘着シートおよび粘着テープに関する。

近時、微細パターンを基板表面に効率よく形成してスループットを高めることが可能なインプリントリソグラフィー（imprint lithography）が注目されている。インプリントリソグラフィーは、基板表面に硬化性樹脂組成物からなる皮膜を形成し、この皮膜表面をモールドで加圧してモールドの微細パターンを転写し、微細パターンが転写された皮膜を硬化させて、微細パターンを基板表面に形成する方法である（例えば、非特許文献１参照）。

インプリントリソグラフィーで形成される微細パターンは、用いるモールドの微細パターンに対応するため、インプリントリソグラフィーにおけるモールドの重要性は高い。モールドは、通常、真空チャックやメカチャック等の治具で台座に固定された状態で使用される。

しかしながら、真空チャック機構を台座に設けるには、該台座に微細な加工を施す必要があり、コストが高くなるという問題がある。また、メカチャックでモールド外周部を固定すると、自重によりモールド中央部に撓みが発生し、モールドの表面平滑性を確保できないという問題がある。表面が平滑でないモールドでインプリントリソグラフィーを行っても、十分な転写精度を得ることはできない。この問題は、面積の大きなモールドにおいて顕著である。

一方、真空チャックやメカチャック等の治具に代えて、粘着シートや粘着テープをモールドの固定手段として採用すれば、前記治具による問題を解決できるとも考えられる。
しかしながら、通常の粘着シートおよび粘着テープには、以下の問題がある。すなわち、台座に固定したモールドは、破損した場合や要求される微細パターンに応じて他のモールドに交換する必要がある。ところが、通常の粘着シートおよび粘着テープでは、モールドを取り外す際の粘着力が強く、モールドを簡単に取り外すことができない。また、無理に取り外そうとすると、モールドに過度の力がかかり、モールドが変形するか破損してしまう。さらに、通常の粘着シートおよび粘着テープは、繰り返し使用することができないので、経済的ではない。

松井真二、「ナノインプリント技術」、表面科学、VoL25,No.10,pp628-634,2004

本発明の課題は、モールドを、その表面平滑性を確保しつつ適度な力で台座に固定することができ、かつ簡単に取り外すことができるモールド固定用粘着シートおよびモールド固定用粘着テープを提供することである。

本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、以下の構成からなる解決手段を見出し、本発明を完成するに至った。
（１）感圧性接着剤および側鎖結晶性ポリマーを含有し、該側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下することを特徴とするモールド固定用粘着シート。
（２）基材フィルムの両面に粘着剤層を設けてなり、少なくもと片面の粘着剤層が、感圧性接着剤および側鎖結晶性ポリマーを含有し、該側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下することを特徴とするモールド固定用粘着テープ。
（３）側鎖結晶性ポリマーを含有し、該側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度で粘着力が低下することを特徴とするモールド固定用粘着シート。
（４）基材フィルムの両面に粘着剤層を設けてなり、少なくもと片面の粘着剤層が、側鎖結晶性ポリマーを含有し、該側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度で粘着力が低下することを特徴とするモールド固定用粘着テープ。
（５）前記側鎖結晶性ポリマーは、前記融点未満の温度で結晶化し、かつ前記融点以上の温度で流動性を示す前記（１）または（３）記載のモールド固定用粘着シート。
（６）前記側鎖結晶性ポリマーは、前記融点未満の温度で結晶化し、かつ前記融点以上の温度で流動性を示す前記（２）または（４）記載のモールド固定用粘着テープ。
（７）前記（２）記載のモールド固定用粘着テープを用いて微細構造を製造する方法であって、前記粘着テープを、その片面または他面の粘着剤層を介して台座に貼着する工程と、この粘着テープの他面または片面の粘着剤層を介してモールドを前記台座に固定する工程と、固定されたモールドで、硬化性樹脂組成物からなる皮膜の表面を加圧し、モールドの微細パターンを転写する工程と、微細パターンが転写された皮膜を硬化させて微細構造を得る工程と、を含むことを特徴とする微細構造の製造方法。
（８）前記微細構造の表面からモールドを剥離した後、前記粘着テープにおける片面の粘着剤層の温度を前記側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度にして粘着力を低下させ、前記モールドを台座から取り外す工程を含む前記（７）記載の微細構造の製造方法。
（９）前記モールドの微細パターンがナノないしマイクロメートルスケールである前記（７）または（８）記載の微細構造の製造方法。
なお、本発明における前記「シート」は、シート状のみに限定されるものではなく、本発明の効果を損なわない限りにおいて、シート状ないしフィルム状をも含む概念である。

本発明によれば、粘着シートまたは粘着テープでモールドを台座に固定するので、従来のような台座を加工する必要がなく、それゆえコストダウンが可能となり、モールドをその表面平滑性を確保しつつ適度な力で台座に固定することができる。しかも、粘着シートまたは粘着テープの粘着剤層が、温度変化に対応して結晶状態と流動状態とを可逆的に起こす側鎖結晶性ポリマーを含有するので、粘着力を熱により可逆的に制御することができる。したがって、モールドを取り外す際には、粘着シートまたは粘着剤層の温度を所定温度にして粘着力を低下させることができ、それゆえモールドを簡単に取り外すことができ、効率よく所望のモールドに交換することができる。さらに、側鎖結晶性ポリマーの相変化を利用するものであるため、繰り返し使用することができる。

（ａ）〜（ｅ）は、本発明のモールド固定用粘着テープを用いて微細構造を製造する一実施形態を示す工程図である。

＜モールド固定用粘着シート＞
（第１の実施形態）
以下、本発明にかかるモールド固定用粘着シート（以下、「粘着シート」と言うことがある。）の第１の実施形態について説明する。本実施形態にかかる粘着シートは、感圧性接着剤と側鎖結晶性ポリマーとを含有する。

前記感圧性接着剤は、粘着性を有するポリマーであればよく、特に限定されるものではないが、例えば天然ゴム接着剤、合成ゴム接着剤、スチレン／ブタジエンラテックスベース接着剤、アクリル系接着剤等が挙げられる。

前記アクリル系接着剤を例に挙げて説明すると、該アクリル系接着剤を構成するモノマーとしては、例えば炭素数１〜１２のアルキル基を有する（メタ）アクリレート等が挙げられ、該（メタ）アクリレートとしては、例えばエチルへキシル（メタ）アクリレート、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。また、ヒドロキシアルキル基を有する（メタ）アクリレート等を用いることもでき、該（メタ）アクリレートとしては、例えばヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ヒドロキシヘキシル（メタ）アクリレート等が挙げられる。例示したこれらのモノマーは、１種または２種以上を混合して用いることができる。

重合方法としては、特に限定されるものではなく、例えば溶液重合法、塊状重合法、懸濁重合法、乳化重合法等が採用可能である。例えば溶液重合法を採用する場合には、前記で例示したモノマーを溶剤に混合し、４０〜９０℃程度で２〜１０時間程度攪拌することによって前記モノマーを重合させることができる。

前記モノマーを重合させて得られる重合体の重量平均分子量は、２５万〜１００万であるのがよい。前記重量平均分子量があまり小さいと、モールドを取り外す際には、粘着シートがモールド上に残る、いわゆる糊残りが多くなるおそれがある。また、前記重量平均分子量があまり大きいと、粘着シートの凝集力が高くなりすぎて粘着力が低くなるおそれがある。前記重量平均分子量は、前記重合体をゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）で測定し、得られた測定値をポリスチレン換算した値である。

一方、前記側鎖結晶性ポリマーは、融点未満の温度で結晶化しかつ融点以上の温度で流動性を示すポリマーである。すなわち、前記側鎖結晶性ポリマーは、温度変化に対応して結晶状態と流動状態とを可逆的に起こす。本実施形態の粘着シートは、前記融点以上の温度で側鎖結晶性ポリマーが流動性を示した際に粘着力が低下する割合で、前記側鎖結晶性ポリマーを含有する。したがって、モールドを取り外す際には、粘着シートを前記側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度に加熱すれば、前記側鎖結晶性ポリマーが流動性を示すことによって前記感圧性接着剤の粘着性が阻害され、これにより粘着力が低下するので、モールドを簡単に取り外すことができる。また、粘着シートを前記側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度に冷却すれば、前記側鎖結晶性ポリマーが結晶化することによって粘着力が回復するので、繰り返し使用することができる。

前記融点とは、ある平衡プロセスにより、最初は秩序ある配列に整合されていた重合体の特定部分が無秩序状態となる温度を意味し、示差熱走査熱量計（ＤＳＣ）により１０℃／分の測定条件で測定して得られる値である。前記融点としては３０℃以上、好ましくは３０〜７０℃であるのがよい。前記融点を所定の値とするには、側鎖結晶性ポリマーの組成等を変えることによって任意に行うことができる。

前記側鎖結晶性ポリマーの組成としては、例えば炭素数１６以上の直鎖状アルキル基を有する（メタ）アクリレート２０〜１００重量部と、炭素数１〜６のアルキル基を有する（メタ）アクリレート０〜７０重量部と、極性モノマー０〜１０重量部とを重合させて得られる重合体等が挙げられる。

前記炭素数１６以上の直鎖状アルキル基を側鎖とする（メタ）アクリレートとしては、例えばセチル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、エイコシル（メタ）アクリレート、ベヘニル（メタ）アクリレート等の炭素数１６〜２２の線状アルキル基を有する（メタ）アクリレートが挙げられ、前記炭素数１〜６のアルキル基を有する（メタ）アクリレートとしては、例えばメチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート等が挙げられ、前記極性モノマーとしては、例えばアクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸等のカルボキシル基含有エチレン不飽和単量体；２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシヘキシル（メタ）アクリレート等のヒドロキシル基を有するエチレン不飽和単量体等が挙げられ、これらは１種または２種以上を混合して用いてもよい。

重合方法としては、特に限定されるものではなく、例えば溶液重合法、塊状重合法、懸濁重合法、乳化重合法等が採用可能である。例えば溶液重合法を採用する場合には、前記で例示したモノマーを溶剤に混合し、４０〜９０℃程度で２〜１０時間程度攪拌することによって前記モノマーを重合させることができる。

前記側鎖結晶性ポリマーの重量平均分子量は２，０００以上、好ましくは２，０００〜２０，０００であるのがよい。前記重量平均分子量があまり小さいと、モールドを取り外す際に糊残りが多くなるおそれがある。また、前記重量平均分子量があまり大きいと、側鎖結晶性ポリマーの温度を融点以上の温度にしても流動性を示し難くなるので、粘着力が低下し難くなる。前記重量平均分子量は、側鎖結晶性ポリマーをＧＰＣで測定し、得られた測定値をポリスチレン換算した値である。

側鎖結晶性ポリマーは、固形分換算で感圧性接着剤１００重量部に対して１〜２０重量部、好ましくは１〜１０重量部の割合で含有するのがよい。これにより、前記融点以上の温度で側鎖結晶性ポリマーが流動性を示した際には、粘着シートの粘着力が低下する。これに対し、側鎖結晶性ポリマーの含有量があまり少ないと、粘着シートを側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度に加熱しても、粘着力が低下し難くなる。また、側鎖結晶性ポリマーの含有量があまり多いと、粘着力が低下してモールドを台座に固定し難くなる。

前記粘着シートの厚さとしては１５〜４００μｍ、好ましくは１２０〜１５０μｍであるのがよい。前記粘着シートの厚さがあまり薄いと、粘着力が低下してモールドを台座に固定し難くなる。また、前記粘着シートの厚さがあまり大きいと、厚さの均一な粘着シートを調製し難くなる。

前記粘着シートの両面には、離型処理を施したフィルム、すなわち離型フィルムを設けるのが好ましい。前記離型フィルムとしては、例えばポリエチレンテレフタレート等からなるフィルム表面に、シリコーン等の離型剤を塗布したものが挙げられる。粘着シートの両面に離型フィルムを設けるには、例えば感圧性接着剤および側鎖結晶性ポリマーを所定の割合で溶剤に加えた塗布液を、離型フィルム上に塗布して乾燥させて粘着シートを得、この粘着シートの表面に離型フィルムを配置すればよい。

前記塗布液には、例えば架橋剤、タッキファイヤー、可塑剤、老化防止剤、紫外線吸収剤等の各種の添加剤を添加することができる。前記塗布は、一般的にナイフコーター、ロールコーター、カレンダーコーター、コンマコーター等により行うことができる。また、塗工厚みや材料の粘度によっては、グラビアコーター、ロッドコーター等により行うこともできる。なお、本実施形態にかかる粘着シートは、前記塗布の他、例えば押し出し成形やカレンダー加工によってシート状に成形することもできる。

（第２の実施形態）
次に、本発明にかかる粘着シートの第２の実施形態について説明する。本実施形態にかかる粘着シートは、側鎖結晶性ポリマーを含有する。具体的には、本実施形態の粘着シートは、前記した側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度で該側鎖結晶性ポリマーが結晶化した際に粘着力が低下する割合で、前記側鎖結晶性ポリマーを含有する。つまり、本実施形態の粘着シートは、前記側鎖結晶性ポリマーを主成分として含有する。これにより、モールドを取り外す際には、粘着シートを前記側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度に冷却すれば、前記側鎖結晶性ポリマーが結晶化することによって粘着力が低下するので、モールドを簡単に取り外すことができる。また、粘着シートを前記側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度に加熱すれば、前記側鎖結晶性ポリマーが流動性を示すことによって粘着力が回復するので、繰り返し使用することができる。

前記融点としては０℃以上、好ましくは１０〜４０℃であるのがよい。また、前記側鎖結晶性ポリマーの組成としては、例えば炭素数１６以上の直鎖状アルキル基を有する（メタ）アクリレート２０〜１００重量部と、炭素数１〜６のアルキル基を有する（メタ）アクリレート０〜７０重量部と、極性モノマー０〜１０重量部とを重合させて得られる重合体等が挙げられ、これらの（メタ）アクリレートおよび極性モノマーとしては、前記した第１の実施形態にかかる粘着シートにおける側鎖結晶性ポリマーで例示したのと同じ（メタ）アクリレートおよび極性モノマーが挙げられる。

前記側鎖結晶性ポリマーの重量平均分子量は１００，０００以上、好ましくは４００，０００〜９００，０００であるのがよい。前記重量平均分子量があまり小さいと、凝集力が低下してモールドを台座に固定し難くなる。また、前記重量平均分子量があまり大きいと、側鎖結晶性ポリマーを融点未満の温度にしても結晶化し難くなるので、粘着力が低下し難くなる。その他の構成は、前記した第１の実施形態にかかる粘着シートと同様であるので、説明を省略する。

＜モールド固定用粘着テープ＞
（第１の実施形態）
次に、本発明にかかるモールド固定用粘着テープ（以下、「粘着テープ」と言うことがある。）の第１の実施形態について説明する。本実施形態にかかる粘着テープは、基材フィルムの両面に粘着剤層を設けてなる。

前記粘着テープは、少なくもと片面の粘着剤層が、感圧性接着剤および側鎖結晶性ポリマーを含有し、該側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下する。これにより、前記した第１の実施形態にかかる粘着シートと同様の効果が得られ、かつ基材フィルムを含む分、粘着シートよりも剛性が高く、取り扱い性に優れるという効果が得られる。前記感圧性接着剤および側鎖結晶性ポリマーとしては、前記した第１の実施形態にかかる粘着シートで説明したのと同じ感圧性接着剤および側鎖結晶性ポリマーが挙げられる。

他面の粘着剤層は、特に限定されるものではなく、例えば片面の粘着剤層と同様に感圧性接着剤および側鎖結晶性ポリマーを含有し、該側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下するよう構成されていてもよい。この場合には、片面の粘着剤層の組成と、他面の粘着剤層の組成とは、同じ組成であってもよく、それぞれ異なる組成であってもよい。他面の粘着剤層として、例えば感圧性接着剤のみからなる粘着剤層を用いることもできる。

前記基材フィルムとしては、例えばポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリカーボネート、エチレン酢酸ビニル共重合体、エチレンエチルアクリレート共重合体、エチレンポリプロピレン共重合体、ポリ塩化ビニル等の合成樹脂フィルムが挙げられる。

前記基材フィルムは、単層体または複層体からなるものであってもよく、厚さは、通常、２５〜２５０μｍ程度である。基材フィルムの表面には、粘着剤層に対する密着性を向上させるため、例えばコロナ放電処理、プラズマ処理、ブラスト処理、ケミカルエッチング処理、プライマー処理等の表面処理を施すことができる。

基材フィルムの片面に粘着剤層を設けるには、感圧性接着剤および側鎖結晶性ポリマーを所定の割合で溶剤に加えた塗布液を、基材フィルムの片面に塗布して乾燥させればよい。塗布は、一般的にナイフコーター、ロールコーター、カレンダーコーター、コンマコーター等により行うことができる。また、塗工厚みや塗布液の粘度によっては、グラビアコーター、ロッドコーター等により行うこともできる。これと同様にして、基材フィルムの他面の粘着剤層も設けることができる。各粘着剤層の厚さとしては５〜６０μｍ、好ましくは１０〜６０μｍ、より好ましくは１０〜４０μｍであるのがよい。なお、片面の粘着剤層の厚さと、他面の粘着剤層の厚さとは、同じ厚さであってもよく、それぞれ異なる厚さであってもよい。

（第２の実施形態）
次に、本発明にかかる粘着テープの第２の実施形態について説明する。本実施形態にかかる粘着テープは、基材フィルムの両面に粘着剤層を設けてなり、少なくもと片面の粘着剤層が、側鎖結晶性ポリマーを含有し、該側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度で粘着力が低下する。これにより、前記した第２の実施形態にかかる粘着シートと同様の効果が得られ、かつ基材フィルムを含む分、粘着シートよりも剛性が高く、取り扱い性に優れるという効果が得られる。

前記側鎖結晶性ポリマーとしては、前記した第２の実施形態にかかる粘着シートで説明したのと同じ側鎖結晶性ポリマーが挙げられる。その他の構成は、前記した第１の実施形態にかかる粘着テープと同様であるので、説明を省略する。

＜微細構造の製造方法＞
次に、本発明の微細構造の製造方法にかかる一実施形態について、モールドの固定に前記した第１の実施形態にかかるモールド固定用粘着テープを用い、硬化性樹脂組成物にＵＶ硬化性樹脂組成物を用いた場合を例に挙げ、図１を参照して詳細に説明する。

図１（ａ）に示すように、まず、上記で説明した第１の実施形態にかかるモールド固定用粘着テープ１を準備する。該粘着テープ１は、基材フィルム２と、該基材フィルム２の両面に設けられた粘着剤層３，４と、を備えている。粘着剤層３は、感圧性接着剤のみで構成されている。粘着剤層４は、感圧性接着剤および側鎖結晶性ポリマーを含有し、該側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下するよう構成されている。さらに粘着剤層４は、側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で低下した粘着力が、粘着剤層３の粘着力よりも弱くなるよう構成されている。

この粘着テープ１を、粘着剤層３を介して台座１０に貼着する。台座１０を構成する材料としては、例えば（ＳｉＯ₂）ガラス等が挙げられる。台座１０は、後述するモールド１５を安定に支持するものであり、その厚さとしては、例えば１〜２ｍｍが好ましい。

次に、粘着テープ１の粘着剤層４を介して、図１（ｂ）に示すように、モールド１５を台座１０に固定する。この固定は、モールド１５の裏面１５ｂを粘着テープ１の粘着剤層４に軽く押し付けることにより行う。これにより、モールド１５は、その表面平滑性が確保され、かつ適度な力で粘着剤層４を介して台座１０に固定される。また、前記固定は、前記側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度で行う。具体例を挙げると、融点５０℃の側鎖結晶性ポリマーを用いる場合には、通常、室温（２３℃）で固定を行うことができる。

モールド１５を構成する材料としては、例えばシリコン、シリコーン、（ＳｉＯ₂）ガラス、ニッケル等が挙げられる。モールド１５の裏面１５ｂと反対の表面１５ａには、所定の微細パターン１６が形成されている。該微細パターン１６は、ナノないしマイクロメートルスケールが好ましい。モールド１５の厚さとしては、１０〜２，０００μｍ程度が適当である。モールド１５の厚さとは、その表面１５ａと裏面１５ｂとの間の距離が最も大きくなる厚さを意味する。

一方、基板２０の表面に皮膜２１を形成する。基板２０を構成する材料としては、例えばシリコン、（ＳｉＯ₂）ガラス等の他、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリカーボネート、エチレン酢酸ビニル共重合体、エチレンエチルアクリレート共重合体、エチレンポリプロピレン共重合体、ポリ塩化ビニル等の合成樹脂が挙げられる。基板２０の厚さとしては、例えば５０〜３００μｍ、好ましくは１００〜１５０μｍ程度である。基板２０はフレキシブル性を有するのが好ましい。

皮膜２１は、ＵＶ硬化性樹脂組成物からなる。該ＵＶ硬化性樹脂組成物は、ＵＶ（紫外線）が照射されることにより硬化するものであり、各種の公知のものが採用可能である。皮膜２１の形成は、例えばＵＶ硬化性樹脂組成物を所定の溶剤に加えて塗布液を得、この塗布液を基板２０表面に塗布して乾燥させればよい。前記塗布は、例えばスピンコーティング、スリットコーティング、スプレーコーティング、ローラーコーティング等により行うことができる。未硬化の皮膜２１の厚さは、例えば０．０１〜１０００μｍ、好ましくは０．０１〜５００μｍ程度である。

基板２０表面に皮膜２１を形成した後、該皮膜２１上方にモールド１５を配置する。この配置は、モールド１５の微細パターン１６が被膜２１と対向するように行う。次に、このモールド１５を台座１０とともに矢印Ａ方向に動かして、図１（ｃ）に示すように、皮膜２１表面をモールド１５で加圧する。これにより、モールド１５の微細パターン１６が被膜２１に転写される。

前記加圧条件としては、圧力が０．１〜１００ＭＰａ程度であり、加圧時間が５〜３００秒程度である。微細パターン１６が転写された皮膜２１の硬化は、皮膜２１表面をモールド１５で加圧した状態、すなわち図１（ｃ）に示す状態の被膜２１に対しＵＶを照射することにより行う。

ＵＶ照射方向としては、被膜２１にＵＶを照射することが可能な限り、特に限定されるものではない。すなわち、基板２０および皮膜２１がいずれもＵＶ透過性を有している場合には、基板２０の裏面側から該基板２０および皮膜２１を介して被膜２１にＵＶを照射すればよい。また、粘着テープ１は、通常、ＵＶ透過性を有している。したがって、台座１０およびモールド１５をいずれもＵＶ透過性を有する材料で構成すれば、台座１０の裏面側から該台座１０，粘着テープ１およびモールド１５を介して被膜２１にＵＶを照射することができる。

次に、図１（ｄ）に示すように、モールド１５を台座１０とともに矢印Ｂ方向に動かして、硬化被膜２２からモールド１５を剥離する。これにより、微細パターン１６が転写された硬化被膜２２と、基板２０とからなる微細構造２５を得る。硬化被膜２２の厚さとしては、例えば０．０１〜１０００μｍ、好ましくは０．０１〜５００μｍ程度である。

得られた微細構造２５は、残膜２６を、例えば酸素リアクティブイオンエッチング等にて除去し、隣接する硬化被膜２２，２２間から基板２０表面を露出させた後、硬化被膜２２をマスクとしてエッチング処理を行うか、アルミ等をリフトオフ加工して配線等に利用することができる。微細構造２５の製造を継続する場合には、前記した工程を繰り返せばよい。

一方、モールド１５が破損した場合や、他の微細構造を製造する場合には、モールド１５を台座１０から取り外して、他のモールドに交換する必要がある。具体的には、まず、雰囲気温度あるいは台座１０の温度をガス等の加熱手段を用いて前記側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度にまで加熱し、粘着テープ１の粘着剤層４の粘着力を低下させる。具体例を挙げると、融点５０℃の側鎖結晶性ポリマーを用いる場合には、通常、６０℃程度に加熱すると粘着剤層４の粘着力が十分に低下する。

次に、図１（ｅ）に示すように、モールド１５を矢印Ｃ方向に動かす。これにより、粘着テープ１の粘着剤層４と、モールド１５の裏面１５ｂとの界面で剥離が生じるので、モールド１５を台座１０から取り外すことができる。このとき、粘着剤層４の粘着力は前記した理由から十分に低下しているので、取り外し時にモールド１５にかかる負荷は小さい。粘着テープ１は、前記と同様の操作をすることで何度も繰り返し使用することができる。

以上、本発明にかかるいくつかの実施形態について示したが、本発明は以上の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載の範囲内において、種々の改善や変更が可能である。例えば、前記した微細構造の製造方法にかかる一実施形態では、側鎖結晶性ポリマーを含む粘着剤層４を介してモールド１５を固定する場合について説明したが、感圧性接着剤のみで構成された粘着剤層３を介してモールド１５を固定することもできる。この場合の剥離は、台座１０と側鎖結晶性ポリマーを含む粘着剤層４との間で生じ、取り外したモールド１５の裏面１５ｂには、感圧性接着剤のみで構成された粘着剤層３を介して粘着テープ１が貼着することになる。

また、前記微細構造は、第１の実施形態にかかる粘着テープに代えて、第２の実施形態にかかる粘着テープ、および本発明にかかるモールド固定用粘着シートを用いて製造することもできる。

前記実施形態では、硬化性樹脂組成物としてＵＶ硬化性樹脂組成物を例に挙げて説明したが、他の硬化性樹脂組成物として、例えばポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）等の熱可塑性樹脂組成物を用いることもできる。前記実施形態では、微細パターンが転写された皮膜の硬化を、モールドで加圧した状態で行う場合について説明したが、前記皮膜の硬化は、モールドを剥離した後に行うこともできる。

１ モールド固定用粘着テープ
２ 基材フィルム
３，４ 粘着剤層
１０ 台座
１５ モールド
１５ａ 表面
１５ｂ 裏面
１６ 微細パターン
２０ 基板
２１ 皮膜
２２ 硬化被膜
２５ 微細構造
２６ 残膜

Claims (9)

1. 感圧性接着剤および側鎖結晶性ポリマーを含有し、該側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下することを特徴とするモールド固定用粘着シート。
2. 基材フィルムの両面に粘着剤層を設けてなり、少なくもと片面の粘着剤層が、感圧性接着剤および側鎖結晶性ポリマーを含有し、該側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下することを特徴とするモールド固定用粘着テープ。
3. 側鎖結晶性ポリマーを含有し、該側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度で粘着力が低下することを特徴とするモールド固定用粘着シート。
4. 基材フィルムの両面に粘着剤層を設けてなり、少なくもと片面の粘着剤層が、側鎖結晶性ポリマーを含有し、該側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度で粘着力が低下することを特徴とするモールド固定用粘着テープ。
5. 前記側鎖結晶性ポリマーは、前記融点未満の温度で結晶化し、かつ前記融点以上の温度で流動性を示す請求項１または３記載のモールド固定用粘着シート。
6. 前記側鎖結晶性ポリマーは、前記融点未満の温度で結晶化し、かつ前記融点以上の温度で流動性を示す請求項２または４記載のモールド固定用粘着テープ。
7. 請求項２記載のモールド固定用粘着テープを用いて微細構造を製造する方法であって、
   前記粘着テープを、その片面または他面の粘着剤層を介して台座に貼着する工程と、
   この粘着テープの他面または片面の粘着剤層を介してモールドを前記台座に固定する工程と、
   固定されたモールドで、硬化性樹脂組成物からなる皮膜の表面を加圧し、モールドの微細パターンを転写する工程と、
   微細パターンが転写された皮膜を硬化させて微細構造を得る工程と、を含むことを特徴とする微細構造の製造方法。
8. 前記微細構造の表面からモールドを剥離した後、前記粘着テープにおける片面の粘着剤層の温度を前記側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度にして粘着力を低下させ、前記モールドを台座から取り外す工程を含む請求項７記載の微細構造の製造方法。
9. 前記モールドの微細パターンがナノないしマイクロメートルスケールである請求項７または８記載の微細構造の製造方法。

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