JP5512153B2 - 微細構造の製造方法 - Google Patents
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Description
しかし、通常の粘着シートおよび粘着テープでは、基板から剥離し難くいという問題があるので、これらを剥離する時に基板に過度の力がかかり、変形や破損を生じる。また、剥離した粘着シートおよび粘着テープは、繰り返し使用することができないので、経済的ではない。
(1)側鎖結晶性ポリマーを含有し、該側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度で粘着力が低下することを特徴とするチャッキング用粘着シート。
(2)前記側鎖結晶性ポリマーは、前記融点未満の温度で結晶化し、かつ前記融点以上の温度で流動性を示す前記(1)記載のチャッキング用粘着シート。
(3)側鎖結晶性ポリマーを含有する粘着剤層を基材フィルムの片面に設けてなり、前記側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度で粘着力が低下することを特徴とするチャッキング用粘着テープ。
(4)基材フィルムの両面に粘着剤層を設けてなり、少なくもと被チャッキング物側の粘着剤層が側鎖結晶性ポリマーを含有し、該側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度で粘着力が低下することを特徴とするチャッキング用粘着テープ。
(5)前記(1)または(2)記載のチャッキング用粘着シートを用いて微細構造を製造する方法であって、前記粘着シートを台座に貼着する工程と、この粘着シートで基板をチャッキングする工程と、この基板表面に硬化性樹脂組成物からなる皮膜を形成する工程と、この皮膜表面をスタンパーで加圧してスタンパーの微細パターンを転写する工程と、微細パターンが転写された皮膜を硬化させて微細構造を得る工程と、前記粘着シートの温度を前記側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度にして粘着力を低下させ、前記微細構造を粘着シートから剥離する工程と、を含むことを特徴とする微細構造の製造方法。
(6)前記基板がフレキシブル性を有する前記(5)記載の微細構造の製造方法。
(7)前記硬化性樹脂組成物がUV硬化性樹脂組成物からなり、該UV硬化性樹脂組成物からなる皮膜表面をスタンパーで加圧して前記微細パターンを転写し、UVを照射して皮膜を硬化させた後、該硬化被膜からスタンパーを剥離する前記(5)または(6)記載の微細構造の製造方法。
(8)前記スタンパーの微細パターンがナノないしマイクロメートルスケールである前記(5)〜(7)のいずれかに記載の微細構造の製造方法。
なお、本発明における前記「シート」は、シート状のみに限定されるものではなく、本発明の効果を損なわない限りにおいて、シート状ないしフィルム状をも含む概念である。
本発明のチャッキング用粘着シート(以下、「粘着シート」と言うことがある。)は、側鎖結晶性ポリマーを含有する。該側鎖結晶性ポリマーは、融点未満の温度で結晶化し、かつ融点以上の温度で相転移して流動性を示す。すなわち、前記側鎖結晶性ポリマーは、温度変化に対応して結晶状態と流動状態とを可逆的に起こす。本発明の粘着シートは、前記融点未満の温度で側鎖結晶性ポリマーが結晶化した際に粘着力が低下する割合で、前記側鎖結晶性ポリマーを含有する。これにより、被チャッキング物から剥離する際には、粘着シートを前記側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度に冷却すれば、前記側鎖結晶性ポリマーが結晶化することによって粘着力が低下する。また、粘着シートを前記側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度に加熱すれば、前記側鎖結晶性ポリマーが流動性を示すことによって粘着力が発現するので、繰り返し使用することができる。
本発明のチャッキング用粘着テープ(以下、「粘着テープ」と言うことがある。)は、側鎖結晶性ポリマーを含有する粘着剤層を基材フィルムの片面に設けてなり、前記側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度で粘着力が低下するものである。前記側鎖結晶性ポリマーとしては、前記粘着シートで説明したのと同じ側鎖結晶性ポリマーが挙げられる。
2 基板
3 皮膜
4 硬化被膜
5 微細構造
6 残膜
10 台座
11 スタンパー
12 微細パターン
Claims (6)
- 側鎖結晶性ポリマーを含有し、該側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度で粘着力が低下するチャッキング用粘着シートを用いて微細構造を製造する方法であって、
前記粘着シートを台座に貼着する工程と、
この粘着シートでフレキシブル性を有する基板をチャッキングする工程と、
この基板表面に硬化性樹脂組成物からなる皮膜を形成する工程と、
この皮膜表面をスタンパーで加圧してスタンパーの微細パターンを転写する工程と、
微細パターンが転写された皮膜を硬化させて微細構造を得る工程と、
前記粘着シートの温度を前記側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度にして粘着力を低下させ、前記微細構造を粘着シートから剥離する工程と、を含むことを特徴とする微細構造の製造方法。 - 側鎖結晶性ポリマーを含有する粘着剤層を基材フィルムの片面に設けてなり、前記側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度で粘着力が低下するチャッキング用粘着テープを用いて微細構造を製造する方法であって、
前記粘着テープを、前記基材フィルムを介して台座にチャッキングする工程と、
この粘着テープの前記粘着剤層でフレキシブル性を有する基板をチャッキングする工程と、
この基板表面に硬化性樹脂組成物からなる皮膜を形成する工程と、
この皮膜表面をスタンパーで加圧してスタンパーの微細パターンを転写する工程と、
微細パターンが転写された皮膜を硬化させて微細構造を得る工程と、
前記粘着テープの温度を前記側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度にして粘着力を低下させ、前記微細構造を粘着テープから剥離する工程と、を含むことを特徴とする微細構造の製造方法。 - 基材フィルムの両面に粘着剤層を設けてなり、少なくとも被チャッキング物側の粘着剤層が側鎖結晶性ポリマーを含有し、該側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度で粘着力が低下するチャッキング用粘着テープを用いて微細構造を製造する方法であって、
前記粘着テープを、前記被チャッキング物側の粘着剤層の反対側の粘着剤層を介して台座に貼着する工程と、
この粘着テープの前記被チャッキング物側の粘着剤層でフレキシブル性を有する基板をチャッキングする工程と、
この基板表面に硬化性樹脂組成物からなる皮膜を形成する工程と、
この皮膜表面をスタンパーで加圧してスタンパーの微細パターンを転写する工程と、
微細パターンが転写された皮膜を硬化させて微細構造を得る工程と、
前記粘着テープの温度を前記側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度にして粘着力を低下させ、前記微細構造を粘着テープから剥離する工程と、を含むことを特徴とする微細構造の製造方法。 - 前記側鎖結晶性ポリマーは、前記融点未満の温度で結晶化し、かつ前記融点以上の温度で流動性を示す請求項1〜3のいずれかに記載の微細構造の製造方法。
- 前記硬化性樹脂組成物がUV硬化性樹脂組成物からなり、該UV硬化性樹脂組成物からなる皮膜表面をスタンパーで加圧して前記微細パターンを転写し、UVを照射して皮膜を硬化させた後、該硬化被膜からスタンパーを剥離する請求項1〜4のいずれかに記載の微細構造の製造方法。
- 前記スタンパーの微細パターンがナノないしマイクロメートルスケールである請求項1〜5のいずれかに記載の微細構造の製造方法。
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