TWI588009B - A method of manufacturing a stamper, a stamper, and a stamper With components - Google Patents

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Description

壓印用模具的製造方法、壓印用模具、壓印用模 具製造組件
本發明涉及壓印用模具的製造方法、壓印用模具、以及壓印用模具製造組件。
所謂壓印技術，是將具有所需的微細的凹凸圖案的反轉圖案的模具向基板上的液狀樹脂等轉印材料按壓、並借此將模具的反轉圖案向轉印材料轉印的微細加工技術。作為微細的凹凸圖案的反轉圖案，存在有從10nm水準的納米尺度的圖案到100μm左右的圖案，被用於半導體材料、光學材料、存儲介質、微型機器、生物、環境等各種領域中。
作為反轉圖案向轉印材料上的轉印方法，有如下的方法，即，使用將薄膜模具捲繞在轉印輥上而製作的輥筒狀的壓印用模具、或利用金屬的切削製作的金屬輥，利用卷對卷工藝向轉印材料連續轉印反轉圖案。
在從薄膜模具製成輥筒狀的壓印用模具時，需要將薄膜模具的兩端接合。作為薄膜模具的接合方法，在專利文獻1中，公開過如下的技術，即，將對接了的樹脂薄膜的端部用一對加熱器夾入，用該加熱器進行加壓熔 接；或將所要接合的樹脂薄膜的端部以疊加的狀態配置，從該狀態起對適合的部分進行加壓熔接。
【現有技術文獻】
【專利文獻】
【專利文獻1】WO2011/049097號
但是，在將樹脂薄膜的端部彼此對接後加壓熔接的情況下，無法將接合部充分地接合，其後會有發生背離的問題、或在接合部堆積轉印樹脂的問題。
另一方面，在將應當接合的樹脂薄膜的端部間設為部分疊加的狀態後對適合的部分進行加壓熔接的情況下，雖然兩者的接合性提高，然而在接合部產生高低差，從而會有在該高低差處堆積轉印樹脂的問題。
本發明是鑒於此種實際情況而完成的，提供一種壓印用模具的製造方法，其可以防止轉印樹脂向薄膜模具的接合部的堆積。
根據本發明，提供一種壓印用模具的製造方法，其具備：捲繞製程，將形成有所需的微細的凹凸圖案的反轉圖案的樹脂製的薄膜模具，以在兩端的對接部中形成不存在所述反轉圖案的間隙的方式，捲繞在圓柱狀的轉印輥上；樹脂填充製程，向所述間隙中填充樹脂組合物；圖案形成製程，在所述樹脂組合物中，形成與所述反轉圖案實質上相同的圖案。
如果是此種薄膜模具的接合方法，則可以將薄膜模具的端部的對接部牢固地接合。此外，由於在對接部的間隙中填充有樹脂組合物，因此不會有轉印材料的樹脂進入間隙內的情況。另外，由於進行可靠的接合，因此可以防止接合部局部地剝離等不佳狀況。
另外，在單純地向間隙中填充樹脂組合物的情況下，由於在該部分不形成反轉圖案，因此轉印在轉印材料的凹凸圖案也會在與對接部的間隙對應的位置產生條紋狀的無轉印部。但是，本發明中，由於在該樹脂組合物中也形成與反轉圖案實質上相同的圖案，因此不產生無轉印部，可以轉印連續的凹凸圖案。
以下，例示出本發明的各種實施方式。以下所示的實施方式可以互相組合。
優選所述樹脂組合物是光固化性樹脂，所述圖案形成製程中，通過在 將具有與所述凹凸圖案實質上相同的圖案的圖案追加用模具推壓在所述樹脂組合物上的狀態下，向所述樹脂組合物照射光，而形成所述圖案。
優選所述圖案追加用模具相對於所述光具有透過性，穿過所述圖案追加用模具向所述樹脂組合物照射所述光。
優選所述捲繞製程是通過在所述薄膜模具上貼附雙面粘貼膠帶的一方的面，將所述雙面粘貼膠帶的另一方的面貼附在所述轉印輥上而進行。
優選所述雙面粘貼膠帶與所述薄膜模具的所述捲繞方向的端部的位置是錯開的。
優選所述樹脂組合物是剝離性樹脂。
另外，根據另外的觀點，本發明還提供一種壓印用模具，其具備圓柱狀的轉印輥、捲繞在所述轉印輥上並且形成有所需的微細的凹凸圖案的反轉圖案的樹脂製的薄膜模具，所述薄膜模具被以在兩端的對接部中形成不存在所述反轉圖案的間隙的方式捲繞，在所述間隙中，填充有具有與所述反轉圖案實質上相同的圖案的樹脂組合物。
另外，根據另外的觀點，本發明還提供一種壓印用模具製造組件，其具備形成有所需的微細的凹凸圖案的反轉圖案的樹脂製的薄膜模具；填充在將所述薄膜模具捲繞在圓柱狀的轉印輥上時的、兩端的對接部的不存在所述反轉圖案的間隙中的樹脂組合物；用於在所述樹脂組合物中形成與所述反轉圖案實質上相同的圖案的圖案追加用模具。
2‧‧‧薄膜模具
3‧‧‧反轉圖案
4‧‧‧樹脂基材
4a‧‧‧樹脂基材的兩端的對接部
6‧‧‧樹脂層
8‧‧‧雙面粘貼膠帶
8a‧‧‧雙面粘貼膠帶的兩端的對接部
10‧‧‧隔膜
12‧‧‧轉印輥
14‧‧‧上游側輥
16‧‧‧下流側輥
18‧‧‧塗布機
20‧‧‧光照射器
22‧‧‧樹脂組合物
24‧‧‧圖案追加用模具
26‧‧‧光照射器
F‧‧‧搬送薄膜
G‧‧‧間隙
圖1是本發明的第一實施方式的薄膜模具的剖面圖。
圖2是表示在圖1的薄膜模具上貼附了雙面粘貼膠帶的狀態的剖面圖。
圖3是表示將圖2的帶有雙面粘貼膠帶的薄膜模具捲繞在轉印輥上的製程的剖面圖。
圖4是圖3的續圖，表示將薄膜模具捲繞在轉印輥上後的狀態的剖面圖。
圖5是圖4中的區域A的放大圖。
圖6是圖5的續圖，表示向薄膜模具的兩端的對接部的間隙中填充了樹脂組合物的狀態。
圖7是圖6的續圖，表示在樹脂組合物中進行圖案形成的製程。
圖8是圖7的續圖，表示在樹脂組合物中形成圖案後的狀態。
圖9是表示本發明的第二實施方式的薄膜模具的剖面圖。
圖10是使用圖9的薄膜模具的情況下的與圖5對應的圖。
圖11是圖10的續圖，表示向薄膜模具的兩端的對接部的間隙中填充了樹脂組合物的狀態。
圖12是圖11的續圖，表示在樹脂組合物中形成圖案後的狀態。
以下，在參照附圖的同時，對本發明的優選的實施方式進行具體說明。
1．第一實施方式
使用圖1~圖8，對本發明的第一實施方式的壓印用模具的製造方法進行說明。本實施方式的壓印用模具的製造方法具備：捲繞製程，將形成有所需的微細的凹凸圖案的反轉圖案3的樹脂製的薄膜模具2，以在兩端的對接部中形成不存在反轉圖案3的間隙G的方式，捲繞在圓柱狀的轉印輥12上；樹脂填充製程，向間隙G中填充樹脂組合物22；圖案形成製程，在樹脂組合物22中，形成與反轉圖案3實質上相同的圖案3a。
以下，對各製程進行詳細說明。
1-1．捲繞製程
該製程中，如圖1~圖5所示，將形成有所需的微細的凹凸圖案的反轉圖案3的樹脂製的薄膜模具2，以在兩端的對接部中形成不存在反轉圖案3的間隙G的方式，捲繞在圓柱狀的轉印輥12上。
(1)薄膜模具2
薄膜模具2可以利用公知的壓印技術形成，在一個例子中，如圖1所示在柔性的樹脂基材4上，具備具有所需的微細的反轉圖案3的樹脂層6。
樹脂基材4具體來說例如是由選自聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚酯、聚烯烴、聚醯亞胺、聚碸、聚醚碸、環狀聚烯烴及聚萘二甲酸乙二醇酯中的1種構成的材料。
另一方面，作為形成樹脂層6的樹脂，可以舉出熱塑性樹脂、熱固化性樹脂或光固化性樹脂。作為樹脂，可以舉出丙烯酸系樹脂、苯乙烯系樹脂、烯烴系樹脂、聚碳酸酯樹脂、聚酯系樹脂、環氧樹脂、矽酮系樹脂、以及這些樹脂的混合物等。
上述的樹脂層6的厚度通常為50nm~1mm，優選為500nm~500μm。如果設為此種厚度，則易於進行壓印加工。
在形成樹脂層6的樹脂是熱塑性樹脂的情況下，通過在將樹脂層6加熱到玻璃化溫度(Tg)以上的溫度的狀態下，將反轉圖案形成用的模具以0.5~50MPa的衝壓壓力保持10~600秒地衝壓後，將樹脂層6冷卻到Tg以下的溫度，將模具從樹脂層6中拉開，就可以在樹脂層6中形成反轉圖案3。另一方面，在形成樹脂層6的樹脂是光固化性樹脂的情況下，通過在向液狀的樹脂層6推壓反轉圖案形成用的模具的狀態下對樹脂層6照射固化光(UV光、可見光、電子束等可以使樹脂固化的能量射線的總稱)而將樹脂層6固化，其後，通過拉開模具，就可以在樹脂層6中形成反轉圖案3。也可以從樹脂基材4側照射光，在模具相對於光來說是透明的情況下，還可以從模具側照射。另外，在形成樹脂層6的樹脂是熱固化性樹脂的情況下， 通過在向液狀的樹脂層6推壓反轉圖案形成用的模具的狀態下將樹脂層6加熱到固化溫度而將樹脂層6固化，其後，通過拉開模具，就可以在樹脂層6中形成反轉圖案3。也可以從樹脂基材4側照射光，在模具相對於光來說具有透過性的情況下，還可以從模具側照射。
對於樹脂層6的表面形狀(凹凸圖案的反轉圖案3)沒有特別限制，然而優選週期為10nm~2mm、深度為10nm~500μm的形狀，更優選週期為20nm~20μm、深度為50nm~1μm的形狀。如果如此設定，則可以向轉印體充分地轉印凹凸圖案的反轉圖案3。作為表面形狀，可以舉出蛾眼、線、圓柱、獨石柱、圓錐、多角錐、微透鏡。
樹脂層6的表面也可以實施用於防止與轉印體的附著的剝離處理，剝離處理也可以是形成剝離層(未圖示)的處理。作為形成剝離層(未圖示)的脫模劑，優選由選自氟系矽烷偶聯劑、具有氨基或羧基的全氟化合物及具有氨基或羧基的全氟醚化合物中的至少1種構成，更優選由選自氟系矽烷偶聯劑、單末端胺化全氟(全氟醚)化合物以及單末端羧基化全氟(全氟醚)化合物的單體或單體及複合體的混合物中的至少1種構成。如果作為脫模劑使用上述的物質，則與樹脂層6的密合良好，並且與進行壓印的樹脂的剝離性良好。剝離層(未圖示)的厚度優選為0.5~20nm，更優選為0.5~10nm，最優選為0.5~5nm的範圍內。而且，為了提高剝離層與樹脂層6的密合性，也可以在樹脂層6中添加像WO2012/018045中公開的那樣的具有能夠與脫模劑結合的基團的添加劑。
另外，在作為形成樹脂層6的樹脂使用聚二甲基矽氧烷(PDMS)等矽酮樹脂、丙烯酸系單體與矽酮系單體的共聚物、丙烯酸系單體與氟系單體的共聚物、丙烯酸系聚合物與矽酮系單體的混合物、丙烯酸系聚合物與氟系單體的混合物等情況下，如果在樹脂層6中含有剝離成分，則其後可以省略形成剝離層的製程，從這一點考慮優選。
薄膜模具2的長度優選比捲繞薄膜模具2的轉印輥12的外周長度略短。該情況下，在將薄膜模具2捲繞在轉印輥12上的狀態下，在薄膜模具2的兩端的對接部之間自然地形成間隙G，通過向該間隙G中填充樹脂組合物22，在其中形成反轉圖案3的狀態下使之固化，就可以將薄膜模具2的兩端的對接部牢固地接合，並且遍及轉印輥12整個周長地形成連續的反轉圖案3。
(2)雙面粘貼膠帶
薄膜模具2並非原樣不變地貼附在轉印輥12上，而是在薄膜模具2的捲繞面側塗布粘合劑後將薄膜模具2捲繞在轉印輥12上，或者如圖2所示，在薄膜模具2的捲繞面側貼附雙面粘貼膠帶8，夾隔著該雙面粘貼膠帶8將薄膜模具2捲繞在轉印輥12上。從操作性的觀點考慮優選後者，因此以下對適合在本實施方式中利用的雙面粘貼膠帶8進行說明。而且，在雙面粘貼膠帶8的輥粘貼面側，設有保護雙面粘貼膠帶8的粘合層的隔膜10。
雙面粘貼膠帶8只要是可以將薄膜模具2貼附在轉印輥12上的材料， 其構成就沒有特別限定，然而通常來說以聚對苯二甲酸乙二醇酯製薄膜(未圖示)作為芯材，優選貼附在薄膜模具2上的面(以下稱作“模具粘貼面”)的粘合力大於貼附在轉印輥12上的面(以下稱作“輥粘貼面”)的粘合力，輥粘貼面優選為再剝離性的。在夾隔著雙面粘貼膠帶8將薄膜模具2貼附在轉印輥12上而使用後，雙面粘貼膠帶8與薄膜模具2被一起剝離而廢棄。所以，對於雙面粘貼膠帶8的模具粘貼面，為了防止雙面粘貼膠帶8與薄膜模具2的錯移，粘合力越強越好，另一方面，對於雙面粘貼膠帶8的輥粘貼面，為了使得使用後從轉印輥12中的剝離容易，優選在具有使用上沒有問題的程度的粘合力的同時具有再剝離性。所述的成為芯材的薄膜的厚度優選12~100μm的範圍。如果小於12μm，則向轉印輥12上貼附時的操作性降低，如果超過100μm，則成為芯材的薄膜的反作用力增加，因此容易在其與轉印輥12之間產生浮動，所以不夠理想。從成本方面、處置性方面的觀點考慮，粘合劑層優選由丙烯酸系粘合劑組合物構成。作為丙烯酸系粘合劑組合物，沒有特別限定，然而例如可以舉出在丙烯酸系聚合物中配合有交聯劑等添加劑的組合物。粘合劑層的厚度通常在模具粘貼面及輥粘貼面都是5~50μm的範圍。如果是該厚度的範圍，則粘合劑就會起到作為緩衝材料的作用，從提高轉印精度等方面考慮優選。
另外，雙面粘貼膠帶8與薄膜模具2的捲繞方向的端部的位置也可以是一致的，然而優選為錯開的。該情況下，在夾隔著雙面粘貼膠帶8將薄膜模具2捲繞在轉印輥12上時，由於雙面粘貼膠帶8的兩端的對接部與薄膜模具2的兩端的對接部的位置是錯開的，因此填充於薄膜模具2的兩端 的對接部中的樹脂組合物22就會填充於雙面粘貼膠帶8的對接部以外的部分，可以防止樹脂組合物22附著於轉印輥12上。
雙面粘貼膠帶8的長度優選與轉印輥12的外周長度實質上相等。這是因為，該情況下，可以將雙面粘貼膠帶8遍及轉印輥12整個周長地沒有間隙地貼附。所以，在使薄膜模具2的長度比轉印輥12的外周長度略短的情況下，雙面粘貼膠帶8就會比薄膜模具2略長。
隔膜10只要是保護雙面粘貼膠帶8的輥粘貼面的粘合層、在向轉印輥12上的捲繞時可以容易地剝離的材料，其構成就沒有特別限定。
(3)向轉印輥12上的捲繞
下面，對將薄膜模具2向轉印輥12上捲繞的方法進行詳細說明。這裏，以使用圖3中所示的裝置的情況為例舉出進行說明，然而裝置構成並不限定於此，對於捲繞方法並不限定於這裏說明的方法。
圖3是用於向轉印材料壓印凹凸圖案的壓印裝置，薄膜模具2向轉印輥12上的捲繞通常是在將轉印輥12安裝於壓印裝置上的狀態下進行。該裝置具備捲繞薄膜模具2的轉印輥12、配置於轉印輥12的上游側並且在其與轉印輥12之間夾入薄膜模具2的上游側輥14、配置於轉印輥的下流側的下流側輥16。在上游側輥14的更上游處配置有送出搬送薄膜F的送出輥(未圖示)，在下游側輥16的更下游處配置有捲繞搬送薄膜F的捲繞輥(未圖 示)。另外，在送出輥與上游側輥14之間設有用於向搬送薄膜上塗布光固化樹脂等轉印材料的塗布機(例如模塗機)18，在轉印輥12的下方設有用於使轉印材料固化的光照射器(例如UV燈)20。在薄膜模具2的捲繞時，不使用塗布機及光照射器。
首先，將貼附了帶有隔膜10的雙面粘貼膠帶8的薄膜模具2如圖3所示，配置於轉印輥12的切線上，在沿箭頭Y的方向拉剝隔膜10的同時，將帶有雙面粘貼膠帶8的薄膜模具2插入搬送薄膜F與轉印輥12之間。此時，各輥以各個輥中所示的箭頭的方向旋轉，帶有雙面粘貼膠帶8的薄膜模具2由上游側輥14向轉印輥12推壓，將雙面粘貼膠帶8的輥粘貼面貼附在轉印輥12上。
當就這樣旋轉各輥時，就會將整個帶有雙面粘貼膠帶8的薄膜模具2捲繞在轉印輥12上，得到圖4~圖5中所示的構成。圖5是圖4中的區域A的放大圖。
如圖5所示，雙面粘貼膠帶8貼附在轉印輥12的整個周長，成為在雙面粘貼膠帶的兩端的對接部8a中實質上沒有間隙的狀態。但是，即使略微留出間隙也沒有問題。在薄膜模具2的兩端的對接部，優選存在有間隙G。間隙G的長度(將輥的圓周方向的長度稱作“長度”，將輥的旋轉軸方向的長度稱作“寬度”。)沒有特別限定，然而例如為0.1~10mm，優選為0.5~5mm。
1-2．樹脂填充製程
該製程中，如圖6所示，向間隙G中填充樹脂組合物22。填充樹脂組合物22的方法沒有特別限定，然而例如可以使用微量吸管進行。
樹脂組合物22是熱或光固化性樹脂。作為樹脂，可以舉出丙烯酸樹脂、環氧樹脂、矽酮樹脂。如果是熱或光固化性，就可以在圖案形成後容易地固化，因此處置十分容易。
樹脂組合物22優選含有剝離成分的樹脂(以下簡稱為“剝離性樹脂”)。這是因為，如果使用剝離性樹脂，則即使在樹脂組合物22中形成反轉圖案後沒有形成剝離層，也可以在凹凸圖案向轉印材料的壓印時防止轉印材料的附著。作為剝離性樹脂，可以舉出所述的熱或光固化性樹脂與剝離劑的混合物、聚二甲基矽氧烷(PDMS)等矽酮樹脂、丙烯酸系單體與矽酮系單體(包括大分子單體)的共聚物、丙烯酸系單體與氟系單體(包括大分子單體)的共聚物等，優選熱或光固化性樹脂與剝離劑的混合物及矽酮樹脂。如果是這些樹脂，則可以廉價且容易地獲得，並且對於利用卷對卷工藝轉印凹凸圖案的反轉圖案的轉印材料可以充分地發揮剝離性。另外，如果是光或熱固化性，就可以在圖案形成後容易地固化，因此處置十分容易。而且，作為剝離劑，可以舉出矽酮化合物、氟化合物、醇酸樹脂、長鏈烷基化合物、石蠟等。
所填充的樹脂組合物22的上面優選與反轉圖案3的上面相同或比之 更高。這是因為，如果樹脂組合物22的填充量過少，則在後續製程中，很難在樹脂組合物22中形成與反轉圖案3實質上相同的圖案。
1-3．圖案形成製程
該製程中，在樹脂組合物22中，形成與反轉圖案3實質上相同的圖案3a。具體來說，在樹脂組合物22是光固化性樹脂的情況下，如圖7所示，通過在將具有與凹凸圖案實質上相同的圖案的圖案追加用模具24推壓在樹脂組合物22上的狀態下，使用光照射器26對樹脂組合物22照射光，就會如圖8所示，在樹脂組合物22中形成與反轉圖案3實質上相同的圖案3a。圖案追加用模具24優選相對於使樹脂組合物22固化的光具有透過性，該情況下，可以穿過圖案追加用模具24對樹脂組合物22照射光。圖案追加用模具24例如可以用樹脂、石英來形成。
圖案追加用模具24的圖案面(轉印輥12側的面)優選具有與轉印輥12實質上相等的曲率。該情況下，所形成的圖案3a就會成為與轉印輥12的外周更加吻合的形狀。另外，圖案追加用模具24優選為具有像薄膜模具那樣的柔軟性的模具。該情況下，通過在使圖案追加用模具24沿著轉印輥12的外周的形狀變形的狀態下使樹脂組合物22固化，就可以形成與轉印輥12的外周更加吻合的形狀的圖案3a。
在將圖案追加用模具24推靠在樹脂組合物22上時，會有剩餘樹脂溢出而附著於反轉圖案3上的情況，然而通過對反轉圖案3的表面預先實施 剝離處理、或對間隙G的外周實施防露光處理，就可以容易地將附著的剩餘樹脂除去。
對於圖案3a，在樹脂組合物22並非剝離性樹脂的情況下，優選實施與上述的剝離處理相同的剝離處理。
利用以上的製程，得到遍及轉印輥12的全周地具有沒有中斷的反轉圖案3的壓印用模具。
如果使用該壓印用模具，則可以在轉印材料中連續地形成凹凸圖案。具體來說，例如通過在使圖3所示的壓印裝置的各輥旋轉而搬送搬送薄膜F的同時，從塗布機18中噴出轉印材料(例如光固化性樹脂)，而在搬送薄膜F上塗布轉印材料，通過向該轉印材料推壓捲繞在轉印輥12上的無縫的壓印用模具，在該狀態下從光照射器20向轉印材料照射使轉印材料固化的光而使轉印材料固化，就可以在轉印材料中連續地形成凹凸圖案。
2．第二實施方式
本發明的第二實施方式與第一實施方式類似，然而本實施方式中，如圖9所示，在薄膜模具2的捲繞方向的一端，設有未設置反轉圖案3的無圖案區域5，在這一點上不同。
此種構成的薄膜模具2中，也可以將薄膜模具2的長度(也就是樹脂 基材4的長度)設為與捲繞薄膜模具2的轉印輥12的外周相同的程度。該情況下，在將薄膜模具2捲繞在轉印輥12上後的狀態下，如圖10所示，變成在樹脂基材4的兩端的對接部4a中實質上沒有間隙的狀態，當在該狀態下將樹脂組合物22填充到間隙G中時，就會如圖11所示，將樹脂組合物22填充到樹脂基材4上。
然後，當利用與第一實施方式相同的方法在樹脂組合物22中形成與反轉圖案3實質上相同的圖案3a時，即得到圖12所示的構成。
利用以上的製程，得到遍及轉印輥22整個周長且具有沒有中斷的反轉圖案3的壓印用模具。
從圖6與圖11的比較可以清楚地看到，本實施方式中，樹脂組合物22被填充在樹脂基材4上，因此如圖6所示，與向雙面粘貼膠帶8上填充樹脂組合物22的情況相比，可以減少樹脂組合物22的量，從而可以實現製造的效率提高。
2‧‧‧薄膜模具
3‧‧‧反轉圖案
4‧‧‧樹脂基材
6‧‧‧樹脂層
8‧‧‧雙面粘貼膠帶
8a‧‧‧雙面粘貼膠帶的兩端的對接部
12‧‧‧轉印輥
22‧‧‧樹脂組合物
24‧‧‧圖案追加用模具
26‧‧‧光照射器

Claims (6)

  1. 一種壓印用模具的製造方法，其具備：捲繞製程，將形成有所需的微細的凹凸圖案的反轉圖案的樹脂製的薄膜模具，以在兩端的對接部中形成不存在所述反轉圖案的間隙的方式，捲繞在圓柱狀的轉印輥上；樹脂填充製程，向所述間隙中填充樹脂組合物；圖案形成製程，在所述樹脂組合物中，形成與所述反轉圖案實質上相同的圖案；以及所述捲繞製程是通過向所述薄膜模具上貼附雙面粘貼膠帶的一方的面，將所述雙面粘貼膠帶的另一方的面貼附在所述轉印輥上而進行，而且所述雙面粘貼膠帶與所述薄膜模具的捲繞方向的端部的位置是錯開的。
  2. 如請求項1所述的製造方法，其中，所述樹脂組合物是光固化性樹脂，所述圖案形成製程中，通過在將具有與所述凹凸圖案實質上相同的圖案的圖案追加用模具，推壓在所述樹脂組合物上的狀態下，對所述樹脂組合物照射光，而形成所述圖案。
  3. 如請求項2所述的製造方法，其中，所述圖案追加用模具相對於所述光具有透過性，穿過所述圖案追加用模具對所述樹脂組合物照射所述光。
  4. 如請求項1所述的製造方法，其中，所述樹脂組合物是剝離性樹脂。
  5. 一種壓印用模具，其具備：圓柱狀的轉印輥，和捲繞在所述轉印輥上並且形成有所需的微細的凹凸圖案的反轉圖案的樹脂製的薄膜模具，所述薄膜模具被以在兩端的對接部中形成不存在所述反轉圖案的間隙的方式捲繞，在所述間隙中填充有具有與所述反轉圖案實質上相同的圖案的樹脂組合物，其中，所述薄膜模具上貼附有雙面粘貼膠帶的一方的面，所述雙面粘貼膠帶的另一方的面貼附在所述轉印輥上，而且所述雙面粘貼膠帶與所述薄膜模具的捲繞方向的端部的位置是錯開的。
  6. 一種壓印用模具製造組件，其具備：形成有所需的微細的凹凸圖案的反轉圖案的樹脂製的薄膜模具；填充在將所述薄膜模具捲繞在圓柱狀的轉印輥上時的、兩端的對接部的不存在所述反轉圖案的間隙中的樹脂組合物；用於在所述樹脂組合物中形成與所述反轉圖案實質上相同的圖案的圖案追加用模具，其中，所述薄膜模具上貼附有雙面粘貼膠帶的一方的面，所述雙面粘貼膠帶的另一方的面貼附在所述轉印輥上，而且所述雙面粘貼膠帶與所述薄膜模具的捲繞方向的端部的位置是錯開的。
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