JP6806075B2 - ガラス−樹脂複合体及びその製造方法 - Google Patents
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- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Description
ロールに沿わせられる可撓性(フレキシビリティ)を満たすためにはガラスの板厚を薄くする方法が考えられる。しかしながら板厚が薄くなるとその分ガラスの機械的強度が弱くなり、取り扱い性も悪くなる。また、該ガラス板が破損した場合には、ガラスが飛散し得る。
[1] ガラス板及び樹脂フィルムを含むガラス−樹脂複合体であって、
前記ガラス板の少なくとも一方の主面上の全面に前記樹脂フィルムが設けられ、
前記ガラス板が、主面及び端面のすべての表層に圧縮応力層を有する化学強化ガラスであり、
前記ガラス板の板厚t1が0.05〜0.25mmであり、かつ
前記板厚t1、前記樹脂フィルムの厚みt2及び前記樹脂フィルムの降伏応力Pが{t1(mm)×4(N/mm2)<t2(mm)×P(N/mm2)}の関係を満たすことを特徴とするガラス−樹脂複合体。
[2] 前記ガラス板の主面の形状が、縦方向の長さに対して横方向の長さが10倍未満の略矩形である前記[1]に記載のガラス−樹脂複合体。
[3] 前記樹脂フィルムの形状が、縦方向の長さに対して横方向の長さが10倍以上の略矩形である[1]または[2]に記載のガラス−樹脂複合体。
[4] 前記ガラス板の両主面上の全面に前記樹脂フィルムを有する前記[1]〜[3]のいずれか1に記載のガラス−樹脂複合体。
[5] 前記樹脂フィルムが前記ガラス板の輪郭線の少なくとも一部から食み出し、前記食み出した部分の最長の長さが10mm以上である前記[1]〜[4]のいずれか1に記載のガラス−樹脂複合体。
[6] 前記樹脂フィルムの前記ガラス板とは反対側の主面上に感光性材料を含む層を有する前記[1]〜[5]のいずれか1に記載のガラス−樹脂複合体。
[7] 前記樹脂フィルムが、粘着性材料を含む層を介して前記ガラス板の少なくとも一方の主面上の全面に設けられ、前記粘着性材料を含む層の90°引きはがし粘着力が0.01N/25mm以上である前記[1]〜[6]のいずれか1に記載のガラス−樹脂複合体。
[8] 複合体の総厚みが0.3mm以下である前記[1]〜[7]のいずれか1に記載のガラス−樹脂複合体。
[9] 前記ガラス板が、酸化物基準の質量百分率でSiO2:65〜75%、Al2O3:0.1〜8.6%、MgO:2〜10%、CaO:1〜10%、Na2O:10〜18%、K2O:0〜8%およびZrO2:0〜4%含有し、Na2O+K2O:10〜18%であるガラスである前記[1]〜[8]のいずれか1に記載のガラス−樹脂複合体。
[10] 板厚t1が0.05mm〜0.25mmのガラス板を化学強化する工程、
前記ガラス板の少なくとも一方の主面上の全面に、厚みt2及び降伏応力Pがt1(mm)×4(N/mm2)<t2(mm)×P(N/mm2)の関係を満たす樹脂フィルムを設ける工程をこの順に有するガラス−樹脂複合体の製造方法。
[11] 板厚t1が0.05mm〜0.25mmのガラス板を化学強化する工程、
前記ガラス板の少なくとも一方の主面上の全面に、厚みt2及び降伏応力Pがt1(mm)×4(N/mm2)<t2(mm)×P(N/mm2)の関係を満たす樹脂フィルムを設ける工程、及び
感光性材料を含む層を前記樹脂フィルムの前記ガラス板とは反対側の主面上に設ける工程をこの順に有するガラス−樹脂複合体の製造方法。
[12] 前記樹脂フィルムを設ける工程において、前記樹脂フィルムが前記ガラス板の輪郭線の少なくとも一部から食み出し、前記食み出した部分の最長の長さが10mm以上となるように前記樹脂フィルムを前記ガラス板上に設ける前記[10]又は[11]に記載のガラス−樹脂複合体の製造方法。
[13] 前記樹脂フィルムを設ける工程において、90°引きはがし粘着力が0.01N/25mm以上である粘着性材料を含む層を介して、前記樹脂フィルムを前記ガラス板の少なくとも一方の主面上の全面に設ける前記[10]〜[12]のいずれか1に記載のガラス−樹脂複合体の製造方法。
[14] 前記感光性材料を含む層を設けた後、さらに露光する工程を有する前記[11]〜[13]のいずれか1に記載のガラス−樹脂複合体の製造方法。
また本明細書において数値範囲を示す「〜」とは、その前後に記載された数値を下限値及び上限値として含む意味で使用される。
本発明の実施形態に係るガラス−樹脂複合体は、ガラス板及び樹脂フィルムを含み、前記ガラス板の少なくとも一方の主面上の全面に前記樹脂フィルムが設けられ、前記ガラス板が、主面及び端面のすべての表層に圧縮応力層を有する化学強化ガラスであり、前記ガラス板の板厚t1が0.05〜0.25mmであり、かつ前記板厚t1、前記樹脂フィルムの厚みt2及び前記樹脂フィルムの降伏応力Pが{t1(mm)×4(N/mm2)<t2(mm)×P(N/mm2)}の関係を満たすことを特徴とする。
ガラス板を用いることにより、湿度変化による膨張(寸法変化)を防ぐことができることから好ましい。
ガラス板を曲げる際には、その曲率半径Rに応じて曲げ応力σが発生する。この曲率半径Rと曲げ応力σの関係は以下の式で表すことができる。
σ=Ed/2(1−ν2)R
上記式において各記号は以下の意味を表す
σ:曲げ応力
E:ヤング率
d:板厚
ν:ポアソン比
R:曲率半径
具体的には、ガラス板のCSは250MPa以上であることが好ましく、300MPa以上がより好ましく、400MPa以上がさらに好ましい。CSが大きいほど可撓性に優れると言える。また、CSは1000MPa以下であると、内部引張応力(CT;Central Tension)が過度に大きくなることを防げることから好ましく、900MPa以下がより好ましい。
なお、ガラス表面に圧縮応力層を形成すれば、そのCSの分だけ破壊強度を高めることができる。
化学強化処理の具体的な方法については後述するが、イオン交換を行うための溶融塩中の塩濃度や強化時間、溶融塩の温度等により所望のCSの値に調整することができる。
DOLの値はイオン交換を行うための溶融塩中の塩濃度や強化時間、溶融塩の温度等により調整することができる。
なお、CS及びDOLの値は表面応力計により測定することができる。
なお、CS及びDOLとCTとの関係はガラス板の板厚t1を用いて下記の式により近似的に求めることができる。
CT(MPa)=[CS(MPa)×DOL(μm)/{t1(μm)−2×DOL(μm)}]
なお、ガラス板の板厚t1とはガラス板の一方の主面と他方の主面との距離の平均板厚であり、マイクロメータにより測定できる。
例えば本発明の実施形態に係るガラス−樹脂複合体をフォトマスクに用いる場合には、ロール状ではなく枚葉の略矩形であることが好ましい。すなわち、縦方向の長さに対して横方向の長さが10倍未満の略矩形であることが好ましく、2倍未満の略矩形であることがより好ましい。中でも一辺の長さが400〜1000mmの略矩形がより好ましい。
ガラス板が枚葉であれば、化学強化処理により主面及び端面のすべての表層に圧縮応力層が形成されたガラス板を用いて、ガラス−樹脂複合体を作製することができる。一方、ロール状のガラスを用いると、その長さ故に化学強化処理をすることが難しい。またロール状のガラスに化学強化処理を行っても、該処理後に所望の大きさにカットして用いた際、該カットした端面は圧縮応力層が未形成である。
また、ガラス−樹脂複合体の用途によってはガラス板の主面の形状が縦方向の長さに対して横方向の長さが10倍以上の略矩形であってもよい。この場合のガラス板は枚葉ではなく、ロール状とすることが好ましい。また樹脂フィルムもロール状であると、ガラス−樹脂複合体をロール状とすることができ、連続プロセスに適用しやすく、高い製造効率が望める。
(i)質量%で表示した組成で、SiO2を65〜75%、Al2O3を0.1〜8.6%、MgOを2〜10%、CaOを1〜10%、Na2Oを10〜18%、K2Oを0〜8%、ZrO2を0〜4%含有し、Na2O+K2Oが10〜18%であるガラス。(ii)質量%で表示した組成で、SiO2を65〜72%、Al2O3を3.4〜8.6%、MgOを3.3〜6%、CaOを6.5〜9%、Na2Oを13〜16%、K2Oを0〜1%、TiO2を0〜0.2%、Fe2O3を0.005〜0.15%、SO3を0.02〜0.4%含有し、(Na2O+K2O)/Al2O3が1.8〜5.0であるガラス。(iii)モル%で表示した組成で、SiO2を60〜75%、Al2O3を0.8〜4.5%、Na2Oを10〜19%及びCaOを0.1〜15%含有するガラス。(iv)モル%で表示した組成で、SiO2を65〜72%、Al2O3を0.8〜4.5%、MgOを5〜13.5%、CaOを0.8〜9%、Na2Oを12〜17%、K2Oを0〜3%含有し、RO/(RO+R2O)が0.410以上、0.52以下(式中、ROとはアルカリ土類金属酸化物、R2Oはアルカリ金属酸化物を示す。)であるガラス。
SiO2はガラスの骨格を構成する成分である。また、ガラス表面に傷(圧痕)がついた時のクラックの発生を低減させる、または化学強化後に圧痕をつけた時の破壊率を小さくする成分であり、熱膨張係数を小さくする成分でもある。SiO2の含有量は、好ましくは50%以上、より好ましくは60%以上、さらに好ましくは65%以上、特に好ましくは66%以上である。SiO2の含有量が50%以上であることによって、ガラスとしての安定性や耐酸性、耐候性またはチッピング耐性の低下を回避できる。一方、SiO2の含有量は、好ましくは75%以下、より好ましくは73%以下、さらに好ましくは70%以下である。SiO2の含有量が75%以下であることによって、ガラスの粘性の増大による溶融性の低下を回避することができる。
ガラスのヤング率、ポアソン比は超音波パルス法や曲げ共振法などの周知の方法により測定することができる。
本発明の実施形態に係るガラス−樹脂複合体において、樹脂フィルムはガラス板の少なくとも一方の主面上の全面に設けられ、保護層としての役割を担う。すなわち、ガラス板屈撓時に、樹脂フィルムも変形することなくガラスに沿って共に曲がり、またガラス破損時にガラス破片が複合体外に飛散することを防止する。なお、ここでの変形とは、裂けたり、伸びたりすることを意味し、樹脂フィルムの降伏応力超の応力がかかることを意味する。
樹脂フィルムはガラス板の両主面上の全面に設けられることが、ガラス破損時のガラス破片飛散防止効果がより顕著であることからより好ましい。
また樹脂フィルムの降伏応力Pが低すぎると、ガラス板を曲げた際に、樹脂フィルムが変形しやすくなる。
t2は一般的に6〜250μmであり、10μm以上が好ましく、20μm以下が好ましい。またPは一般的に20N/mm2以上であればよく、50N/mm2以上が好ましい。
樹脂フィルムの厚みはデジタルマイクロメータによって、降伏応力はJIS K 7127(1999年)によってそれぞれ測定することができる。
ガラス−樹脂複合体をフォトマスクに用いる場合の樹脂フィルムは、ガラス板の形状と同様に、ロール状ではなく、縦方向の長さに対して横方向の長さが10倍未満の枚葉の略矩形が好ましい。
また、ガラス−樹脂複合体の用途によっては樹脂フィルムの形状が縦方向の長さに対して横方向の長さが10倍以上の略矩形でもよい。この場合、樹脂フィルムはロール状が好ましい。またこの場合、ガラス板は枚葉であってもロール状であってもよい。樹脂フィルムがロール状であれば、連続プロセスに適用でき、樹脂フィルムがベルトコンベアのような役割を果たし、製造効率を高くすることができる。
本複合体は、ガラス板の厚さ、樹脂フィルムの厚さ、降伏応力を適切に組み合わせることで、ガラス板が曲がってもガラス板が割れにくく、また、ガラスが割れた場合でも樹脂フィルムが破れてガラスが飛び出すことが防止できる。
粘着性材料を含む層を介して樹脂フィルムがガラス板上に設けられる場合、粘着性材料を含む層の90°引きはがし粘着力が0.01N/25mm以上であることが好ましく、0.1N/25mm以上がより好ましい。
90°引きはがし粘着力はJIS Z 0237(2009)の90°引きはがし粘着力試験に準拠する方法により測定することができる。
粘着性材料を含む層が厚すぎると、樹脂フィルムが自由に動ける可能性が高くなり、ガラス板による寸法精度の向上効果が小さくなることから、50μm以下が好ましく、25μm以下がより好ましい。
例えば、常圧環境下で樹脂フィルムの表面上にガラス板を重ねる方法を使用することができる。なお、必要に応じて、樹脂フィルムの表面にガラス板を重ねた後、ロールやプレスを用いて樹脂フィルムにガラス板を圧着させることが好ましい。ロールまたはプレスによる圧着により、樹脂フィルムとガラス板との間に混入している気泡が容易に除去される。
食み出した部分の最長の長さは、食み出した部分の幅が15mm以上あると、ガイドフィルムとして装置内に咬ませやすいことからより好ましく、30mm以上がさらに好ましく、50mm以上が特に好ましい。
なお、図1には、ガラス板の一方の主面上の全面に樹脂フィルムが粘着性材料を含む層を介して設けられている場合の模式図(断面図)を示し、図2に、ガラス板の両主面上の全面に樹脂フィルムが粘着性材料を含む層を介して設けられている場合の模式図(断面図)を示すが、図1及び図2において、ガラス板の幅よりも外に食み出している部分がガイドフィルムとしての役割を果たす。
本発明の実施形態に係るガラス−樹脂複合体がフォトマスク等に用いられる場合、樹脂フィルムのガラス板側と反対側の主面上に感光性材料を含む層を有することが好ましい。感光性材料は樹脂フィルムを介して存在するガラス板の全面を覆うことがより好ましい。
感光性材料として銀塩乳剤を含ませることができる。銀塩乳剤はゼラチン及び高分子合成ポリマーの膠質物質の中にハロゲン化銀の微結晶を分散させたものを指す。主面上には感光性材料を含む層以外に、加傷防止のための保護層、乳剤と基材の界面に基材との密着を向上させるための下地層が設けられてもよい。ガラス板の感光性材料を含む層が設けられる主面と反対側の主面にも樹脂フィルムが設けられる場合は、感光性材料を含む層の表面にハレーション防止層が設けられてもよい。
ガラス−樹脂複合体の総厚みは用いるガラス板や樹脂フィルム等によっても異なるが、0.4mm以下であることが可撓性向上の点から好ましく、0.3mm以下がより好ましく、0.25mm以下がさらに好ましく、0.2mm以下が特に好ましい。また複合体の剛性の点から0.1mm以上が好ましく、0.12mm以上がより好ましく、0.15mm以上が特に好ましい。
本発明の実施形態に係るガラス−樹脂複合体の製造方法は、下記工程をこの順に有することを特徴とする。(i)板厚t1が0.05mm〜0.25mmのガラス板を化学強化する工程、(ii)前記ガラス板の少なくとも一方の主面上の全面に、厚みt2及び降伏応力Pがt1(mm)×4(N/mm2)<t2(mm)×P(N/mm2)の関係を満たす樹脂フィルムを設ける工程。また好ましくは、本発明の実施形態に係るガラス−樹脂複合体の製造方法は、下記工程をこの順に有することを特徴とする。(i)板厚t1が0.05mm〜0.25mmのガラス板を化学強化する工程、(ii)前記ガラス板の少なくとも一方の主面上の全面に、厚みt2及び降伏応力Pがt1(mm)×4(N/mm2)<t2(mm)×P(N/mm2)の関係を満たす樹脂フィルムを設ける工程、(iii)感光性材料を含む層を前記樹脂フィルムの前記ガラス板とは反対側の主面上に設ける工程。
化学強化する工程では、製造されたガラスを板厚t1が0.05mm〜0.25mmの所望のサイズに切断してガラス板にした後に化学強化処理を行う。ガラスの好ましい態様については先の(ガラス板)の項目で述べたとおりであるが、化学強化処理の前に、用途に応じた形状加工、例えば、切断、端面加工および孔あけ加工などの機械的加工や面取りなどの研磨加工等を行ってもよい。
化学強化とは、ガラス板表面付近のイオンを、イオン半径の大きいイオンに置換することであり、それにより、ガラス板表面に圧縮応力層が形成され、ガラスの強度が向上する。
NaイオンをKイオンに置換する場合、例えば硝酸カリウムを含む無機溶融塩に、ナトリウムを含むガラス板を接触させる。前記無機溶融塩はK2CO3、Na2CO3、KHCO3、NaHCO3、KOH及びNaOHからなる群より選ばれる少なくとも一種の塩を含むことが好ましい。その後、ガラス板を洗浄する工程、酸及び/またはアルカリで処理する工程、乾燥する工程等を含んでいてもよい。
工程iで得られた化学強化ガラス板に対し、少なくとも一方の主面上の全面に、厚みt2及び降伏応力Pがt1(mm)×4(N/mm2)<t2(mm)×P(N/mm2)の関係を満たす樹脂フィルムを設ける。
本発明の実施形態に係るガラス−樹脂複合体をフォトマスクに用いる場合、工程iiで設けられた樹脂フィルムの、ガラス板とは反対側の主面上に感光性材料を含む層を設ける。感光性材料の種類や好ましい態様は、先の(感光性材料)の項目に述べたとおりである。
感光性材料は、直接フィルムに塗布せず、バッファ層や、別の機能膜の上に塗布してもよい。また、塗布後、その上にさらにオーバーコートを施してもよい。
現行のフィルムフォトマスク製造工程を流用するため、感光性材料が塗布されたフィルムをガラスの上に貼ることによって、感光性材料を含む層を設けてもよい。
フォトマスク用途においては、工程iiiに次いで、さらにパターンを露光する工程を有することが好ましい。露光条件は特に制限されず、従来一般的に用いられる条件を用いることができる。レーザー光を使用してパターン露光することが好ましく、レーザープロッターを用いて、曲げられた状態で露光されることが好ましい。
フォトマスク用途においては、工程ivに次いで、現像、定着することで、フォトマスクとすることができる。パターンを露光後、現像液に浸漬して現像し、定着液に浸漬して定着し、水洗してフォトマスクを得ることが好ましい。現像及び定着の工程は、曲げられた状態にて、現像液、定着液に触れることが好ましい。自動現像機にて現像、定着されることがより好ましい。
酸化物基準のモル百分率表示で、SiO2が68.8%、Al2O3が3.0%、MgOが6.2%、Na2Oが14.2%、K2Oが0.2%、及びCaOが7.8%の組成(質量百分率表示で、SiO2が68.5%、Al2O3が5.0%、MgOが4.1%、Na2Oが12.8%、K2Oが0.3%、及びCaOが7.2%の組成)のソーダライムガラスとなるように一般的に使用されているガラス原料を選択し、フロート窯にてフロート法にてガラス板を作製した。得られたガラス板を切断、研磨し、30mm×30mm、板厚0.15mmの矩形状のガラス板を得た。なお、ガラス板の板厚はデジタルマイクロメータで測定した。
得られたガラス板の組成は蛍光X線法により同定を行い、所望の組成となっていることを確認した。
上記で得られた化学強化ガラス板の一方の主面を20cm×5cmの樹脂フィルム上の真ん中に配置した。このとき、ガラス板の対角線が樹脂フィルムの長手方向に対して平行となるように斜めに配置した。樹脂フィルムには粘着性材料付きポリエチレンテレフタレートフィルム(スミロン社製、TG−1100)を用い、粘着性材料がガラス板に当接するよう、ガラス板を樹脂フィルムに貼着した。
上記で得られたガラス−樹脂複合体の樹脂フィルムの厚みは25μm、粘着性材料を含む層の厚みは3μmであり、ガラス−樹脂複合体の総厚みは0.178mmであった。また{ガラス板厚t1(mm)×4(N/mm2)}と{樹脂フィルムの厚みt2(mm)×降伏応力P(N/mm2)}の値を表1に示す。
ガラス板の板厚を0.3mmとした以外は実施例1と同様にしてガラス−樹脂複合体を作製した。
<比較例2>
粘着性材料付きポリエチレンテレフタレートフィルム(きもと社製、プロセーブ6CBF2)を用い、樹脂フィルムの厚みを6μmとし、粘着性材料を含む層の厚みを4μmとした以外は実施例1と同様にしてガラス−樹脂複合体を作製した。
<比較例3>
樹脂フィルムを厚み0.050mmのポリエチレンフィルム(スミロン社製、EC625)とし、粘着性材料を含む層の厚みを10μmとした以外は実施例1と同様にしてガラス−樹脂複合体を作製した。
比較例1〜3の各物性を表1に示す。
実施例1及び比較例1〜3で得られたガラス−樹脂複合体の樹脂フィルム部分を万能試験機(島津製作所社製、AG−20kN)で引っ張り、ガラス−樹脂複合体を半径15mmの円柱に沿わせ、ガラス板の可撓性(R15mm追従性)及び樹脂フィルムの変形(裂けや伸び)の有無(フィルム降伏応力)についての評価を行った。
なお、ガラス板の対角線が樹脂フィルムの長手方向に対して平行となるように斜めに配置したのは、ガラス板の角部に応力が集中するようにするためであり、ガラスの可撓性及び樹脂フィルムの変形の有無の評価において強調試験となるようにするためである。
実施例1のガラス−樹脂複合体は半径15mmの円柱に沿って曲げることができ、また樹脂フィルムが変形することもなかったため、表1中の「R15mm追従性」及び「フィルム変形」を共に「○」とした。
比較例1のガラス−樹脂複合体はガラス板が厚く、抵抗が強すぎて屈撓しなかったことから表1中の「R15mm追従性」を「×」とした。「フィルム変形」は「−」としているが、ガラス板が曲がらなかったので、樹脂フィルムの裂けや伸びについての試験はできなかった。
比較例2及び3のガラス−樹脂複合体は、ガラス板を半径15mmの円柱に沿って曲げようとしたところ、ガラスが曲がる前に樹脂フィルムが裂けてしまった。
化学強化ガラスの表面に粒度400のサンドペーパー(日本研紙社製、WTCC−S)により傷をつけて強度を低下させ、該化学強化ガラス板の一方の主面を樹脂フィルム上に配置する際、ガラス板の対向する2辺が樹脂フィルムの長手方向に対して平行となるように配置した(ガラス板の残る対向する2辺は樹脂フィルムの長手方向に対して垂直となるように配置した)以外は実施例1と同様にしてガラス−樹脂複合体を得る。次いで、樹脂フィルムのガラス板とは反対側の主面上に感光性材料である銀塩乳剤を厚さ5μmとなるように塗布する。
得られるガラス−樹脂複合体の断面図を図1に示す。ガラス−樹脂複合体の樹脂フィルムの厚みは25μm、粘着性材料を含む層の厚みは3μmであり、ガラス−樹脂複合体の総厚みは0.183mmである。
実施例2において、さらに化学強化ガラス板の反対側の主面上の全面にも同様にして粘着性材料を含む層を介して樹脂フィルムを貼着させた以外は実施例2と同様にしてガラス−樹脂複合体を得る。なお感光性材料は一方の樹脂フィルム上にのみ塗布する。
得られるガラス−樹脂複合体の断面図を図2に示す。ガラス−樹脂複合体の樹脂フィルムの厚みは各々25μm、粘着性材料を含む層の厚みは各々10μmであり、ガラス−樹脂複合体の総厚みは0.225mmである。
実施例2で得られる化学強化ガラス板の一方の主面上の一対の対向する端部からそれぞれ10mmの部分にのみ粘着性材料を含む層を介して樹脂フィルムを貼着させた。化学強化ガラス板の他方の主面上に実施例2と同様に感光性材料を塗布する。
得られるガラス−樹脂複合体の断面図を図3に示す。ガラス−樹脂複合体の樹脂フィルムの厚みは25μm、粘着性材料を含む層の厚みは10μmである。
実施例2、3及び比較例4のガラス−樹脂複合体について、半径25mmのロールによるロールプロセスに供することによりガラス板を破壊する。試験前後での重量減少分から、ガラス−樹脂複合体内に止まらずに飛散したガラス量を定量する。
なお、化学強化ガラス板の表面に傷をつけてガラス強度を低くしたことにより、実際よりも少ない力で容易にガラスは破壊される。
結果を表2に示す。
2 樹脂フィルム
3 乳剤(感光性材料)
4 粘着性材料
Claims (12)
- ガラス板及び樹脂フィルムを含むガラス−樹脂複合体であって、
前記ガラス板の両主面上の全面に前記樹脂フィルムが設けられ、
前記ガラス板が、主面及び端面のすべての表層に圧縮応力層を有する化学強化ガラスであり、
前記ガラス板の板厚t1が0.05〜0.25mmであり、かつ
前記板厚t1、前記樹脂フィルムの厚みt2及び前記樹脂フィルムの降伏応力Pが{t1(mm)×4(N/mm2)<t2(mm)×P(N/mm2)}の関係を満たすことを特徴とするガラス−樹脂複合体。 - 前記ガラス板の主面の形状が、縦方向の長さに対して横方向の長さが10倍未満の略矩形である請求項1に記載のガラス−樹脂複合体。
- 前記樹脂フィルムの形状が、縦方向の長さに対して横方向の長さが10倍以上の略矩形である請求項1または2に記載のガラス−樹脂複合体。
- 前記樹脂フィルムが前記ガラス板の輪郭線の少なくとも一部から食み出し、前記食み出した部分の最長の長さが10mm以上である請求項1〜3のいずれか1項に記載のガラス−樹脂複合体。
- 前記樹脂フィルムの前記ガラス板とは反対側の主面上に感光性材料を含む層を有する請求項1〜4のいずれか1項に記載のガラス−樹脂複合体。
- 前記樹脂フィルムが、粘着性材料を含む層を介して前記ガラス板の少なくとも一方の主面上の全面に設けられ、
前記粘着性材料を含む層の90°引きはがし粘着力が0.01N/25mm以上である請求項1〜5のいずれか1項に記載のガラス−樹脂複合体。 - 複合体の総厚みが0.3mm以下である請求項1〜6のいずれか1項に記載のガラス−樹脂複合体。
- 前記ガラス板が、酸化物基準の質量百分率でSiO2:65〜75%、Al2O3:0.1〜8.6%、MgO:2〜10%、CaO:1〜10%、Na2O:10〜18%、K2O:0〜8%およびZrO2:0〜4%含有し、Na2O+K2O:10〜18%であるガラスである請求項1〜7のいずれか1項に記載のガラス−樹脂複合体。
- 板厚t1が0.05mm〜0.25mmのガラス板を化学強化する工程、
前記ガラス板の少なくとも一方の主面上の全面に、厚みt2及び降伏応力Pがt1(mm)×4(N/mm2)<t2(mm)×P(N/mm2)の関係を満たす樹脂フィルムを設ける工程、及び
感光性材料を含む層を前記樹脂フィルムの前記ガラス板とは反対側の主面上に設ける工程
をこの順に有するガラス−樹脂複合体の製造方法。 - 前記樹脂フィルムを設ける工程において、前記樹脂フィルムが前記ガラス板の輪郭線の少なくとも一部から食み出し、前記食み出した部分の最長の長さが10mm以上となるように前記樹脂フィルムを前記ガラス板上に設ける請求項9に記載のガラス−樹脂複合体の製造方法。
- 前記樹脂フィルムを設ける工程において、90°引きはがし粘着力が0.01N/25mm以上である粘着性材料を含む層を介して、前記樹脂フィルムを前記ガラス板の少なくとも一方の主面上の全面に設ける請求項9又は10に記載のガラス−樹脂複合体の製造方法。
- 前記感光性材料を含む層を設けた後、さらに露光する工程を有する請求項9〜11のいずれか1項に記載のガラス−樹脂複合体の製造方法。
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