JPWO2014045809A1 - 化学強化ガラスの製造方法 - Google Patents

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Abstract

本発明は、カバーガラスの強度を向上することのできる化学強化ガラスの製造方法を提供する。本発明は、ガラスを化学強化する化学強化工程と、該化学強化工程後に、該ガラスの表面およびエッジをエッチングする強化後エッチング工程とを含む化学強化ガラスの製造方法に関する。

Description

本発明は化学強化ガラスの製造方法に関する。
スマートフォンなどの携帯電話またはPDAなどの携帯機器において、ディスプレイを保護するため、カバーガラスが用いられる。近年、携帯機器の薄型化・軽量化への技術が要求され、カバーガラスの軽量化及び薄板化が進行している。一般的に、ガラス板が薄くなると強度が低下するため、従来よりも強度の高いカバーガラスが求められる。
ガラス板の強度を向上する方法として、ガラス板をイオン交換法などにより化学強化する技術が開発されている(例えば、特許文献1)。特許文献1では、化学強化により、ガラス板の表面に圧縮応力層を形成することで、撓みを抑え、また破損しにくいガラス板とその製造方法が開示されている。
日本国特開平7−223845号公報
カバーガラスはその主表面に外部より大きい応力を受けるため、より高強度、より軽量であることが要求されるが、本発明者らは化学強化後または化学強化前にエッチングすることによりカバーガラスの後述するボールオンリング強度またはエッジ強度が向上し、カバーガラスの割れに対する耐性を向上できることを見出した。
したがって、本発明は、カバーガラスの強度を向上することのできる化学強化ガラスの製造方法を提供することを目的とする。
本発明者らは、ガラス板を化学強化した後に、該ガラス板の表面(以下主表面ということがある)およびエッジ(以下端面ということがある)をエッチングすることにより、エッジ強度を向上し、ガラスの割れを抑制可能であり、高効率で強度の向上したカバーガラスが得られることを見出し、本発明を完成させた。
また、本発明者らは、本発明の好ましい態様の一つとして、特定の要件を満たす組成のガラスを用いることにより、エッチングレートを向上して製造効率を高めることができることを見出した。さらに、本発明者らは、本発明の好ましい態様の一つとして、ガラスのエッチング量を特定の範囲とすることにより、ガラスのエッジ強度をより向上できることを見出した。
すなわち、本発明は以下の通りである。
1.ガラスを化学強化する化学強化工程と、
該化学強化工程後に、該ガラスの表面およびエッジをエッチングする強化後エッチング工程とを含む化学強化ガラスの製造方法。
2.ガラスを化学強化する化学強化工程と、
該化学強化工程後に、該ガラスの表面およびエッジをエッチングする強化後エッチング工程とを含む化学強化ガラスの製造方法であって、該ガラスが下記酸化物基準のモル百分率表示でSiOを55〜80%、Alを0〜20%、Bを0〜10%、MgOを0〜15%、CaOを0〜10%、LiOを0〜20%、NaOを0〜25%、KOを0〜15%、ZrOを0〜10%含有し、LiOおよびNaOの含有量の合計が8〜25%であり、SiOの含有量、LiO、NaOおよびKOの含有量の合計ROならびにZrOの含有量を用いて下記式により算出したeが73以下である化学強化ガラスの製造方法。
e=SiO+0.3×RO+0.15×ZrO
3.前記ガラスのMgOおよびCaOの含有量の合計が0〜15%である前項2に記載の化学強化ガラスの製造方法。
4.前記ガラスのLiO、NaOおよびKOの含有量の合計が25%以下である前項2または3に記載の化学強化ガラスの製造方法。
5.前記ガラスのNaOが0〜20%、KOが0〜10%、ZrOが0〜5%である前項2〜4のいずれか1に記載の化学強化ガラスの製造方法。
6.前記ガラスのZrOが0〜2.5%である前項2〜5のいずれか1に記載の化学強化ガラスの製造方法。
7.ガラスを化学強化する化学強化工程と、
該化学強化工程後に、該ガラスの表面およびエッジを4μm以上エッチングする強化後エッチング工程とを含む化学強化ガラスの製造方法。
8.前記ガラスがガラス板であり、該ガラス板の主表面と端面との交差部分を1000番以上の粗い粒度を有する研磨材により仕上げ研磨する主表面端部研磨工程を、化学強化工程と強化後エッチング工程との間に有する前項7の化学強化ガラスの製造方法。
9.前記ガラスがガラス板であり、該ガラス板の主表面と端面との交差部分の表面粗さRaが0.1〜30μmになるように仕上げ研磨する主表面端部研磨工程を、化学強化工程と強化後エッチング工程との間に有する前項7または8に記載の化学強化ガラスの製造方法。
10.前記強化後エッチング工程において、前記ガラス板の表面およびエッジを30μm以下エッチングする前項8または9に記載の化学強化ガラスの製造方法。
11.前記化学強化ガラスが化学強化されたカバーガラスである前項1〜10のいずれか1に記載の化学強化ガラスの製造方法。
12.ガラス板の表面およびエッジを7μm以上ウェットエッチングする強化前エッチング工程と、
該エッチング工程後に、ガラス板を化学強化する化学強化工程とを含む化学強化ガラスの製造方法。
13.前記強化前エッチング工程において、前記ガラス板の表面およびエッジを50μm以下エッチングする前項12に記載の化学強化ガラスの製造方法。
14.前記強化前エッチング工程において、前記ガラス板の表面およびエッジを10〜40μmエッチングする前項12または13に記載の化学強化ガラスの製造方法。
15.前記化学強化ガラス表面の算術平均粗さRaが1nm以下である前項1〜14のいずれか1に記載の化学強化ガラスの製造方法。
16.前記ガラスの25℃の5%HF水溶液でのエッチングレートが0.50μm/cm/min以上である前項1〜15のいずれか1に記載の化学強化ガラスの製造方法。
本発明のカバーガラスの製造方法によれば、ガラスを化学強化した後に、該ガラスの表面およびエッジをエッチングすることにより、過剰なエッチングによる表面荒れを抑制しつつクラックの先端を鈍化させられることから、ボールオンリング強度またはエッジ強度が高く、割れに対する耐性が向上したカバーガラスを高効率で得ることができる。
また、本発明の第一の実施態様として、ガラスを下記酸化物基準のモル百分率表示でSiOを55〜80%、Alを0〜20%、Bを0〜10%、MgOを0〜15%、CaOを0〜10%、LiOを0〜20%、NaOを0〜25%、KOを0〜15%、ZrOを0〜10%含有し、LiOおよびNaOの含有量の合計が8〜25%であり、SiOの含有量、LiO、NaOおよびKOの含有量の合計ROならびにZrOの含有量を用いて下記式により算出したeが73以下のガラスとすることにより、エッチングレートを向上してエッチング処理に要する時間を短縮し、製造効率を高めることができる。
e=SiO+0.3×RO+0.15×ZrO
また、本発明の第二の実施態様として、強化後エッチング工程におけるガラスの表面およびエッジのエッチング量を4μm以上とすることにより、ガラスがガラス板である場合そのエッジ、特にガラス板の表面とエッジの交差部分を鏡面研磨しなくともガラスのエッジ強度をより向上することができる。
図1は、カバーガラスで発生する4つの破壊モードについて説明する図である。 図2は、化学強化後のガラス板の残留応力の厚さ方向分布を例示する模式図である。 図3は、強度試験の方法を説明するための概略図である。 図4は、化学強化に供するガラスの組成とエッチングレートとの相関を示すグラフである。 図5は、ガラスの組成を表す式e(SiO+0.3×RO+0.15×ZrO)とエッチングレートとの相関性を示すグラフである。 図6は、本発明の第二の実施態様の好ましい態様を説明するためのガラス板の断面図である。 図7(a)および(b)は、強化後エッチング量と強度向上割合との相関関係を示すグラフである。
以下、本発明の化学強化ガラスの製造方法の好適な実施形態について説明する。
本発明は、ガラスを化学強化する化学強化工程と、該化学強化工程後に、該ガラスの表面およびエッジをエッチングする強化後エッチング工程とを含む、カバーガラスの製造方法に関する。
〔ガラスの組成〕
次に、本発明のガラスの組成について、特に断らない限りモル百分率表示含有量を用いて説明する。
本発明の第一の実施態様において、ガラスの組成は下記酸化物基準のモル百分率表示でSiOを55〜80%、Alを0〜20%、Bを0〜10%、MgOを0〜15%、CaOを0〜10%、LiOを0〜20%、NaOを0〜25%、KOを0〜15%、ZrOを0〜10%含有し、LiOおよびNaOの含有量の合計が8〜25%であって、前記eが73以下である。
SiOはガラスの骨格を構成する成分であり必須であり、また、ガラス表面に傷(圧痕)がついた時のクラックの発生を低減させる、または化学強化後に圧痕をつけた時の破壊率を小さくする成分である。SiOが55%未満ではガラスとしての安定性や耐候性またはチッピング耐性が低下する。SiOは好ましくは58%以上、より好ましくは60%以上である。SiOが80%超ではガラスの粘性が増大して溶融性が低下する。エッチングレートを高くするという観点からは75%以下であることが典型的である。
Alは必須ではないがイオン交換性能およびチッピング耐性を向上させるために有効な成分であり、表面圧縮応力を大きくする成分であり、または圧痕がついた時のクラック発生率を小さくする成分である。Alを含有する場合その含有量は5%以上であることが好ましい。Alが20%超ではガラスの粘性が高くなり均質な溶融が困難になる。Alは好ましくは17%以下、典型的には13%以下である。
は必須ではないが、高温での溶融性またはガラス強度の向上等のために10%以下の範囲で含有してもよい。Bが10%超では均質なガラスを得にくくなり、ガラスの成型が困難になるおそれがある、またはクラック耐性が低下するおそれがある。典型的にはBは含有しない。
MgOは必須ではないが、表面圧縮応力を大きくする成分であり、また溶融性を向上させる成分である。高温での粘性を下げつつ、高い表面応力を得たい場合には、MgOは1%以上含有することが好ましく、より好ましくは2%以上、さらに好ましくは4%以上である。また、MgOが15%超ではガラスが失透しやすくなり、または硝酸カリウム溶融塩中のNaNO濃度による表面圧縮応力の変化が大きくなるおそれがあり、好ましくは13%以下である。
CaOは必須ではないが、高温での溶融性を向上させる、または失透を起こりにくくするために10%以下の範囲で含有してもよい。CaOが10%超ではイオン交換速度またはクラック発生に対する耐性が低下する。
MgOおよびCaOの含有量の合計は15%以下であることが好ましい。15%超ではイオン交換速度が遅くなり、所望の応力層深さを得るための時間が長くなりすぎるおそれがある。
LiOおよびNaOはイオン交換成分であり少なくともいずれか1成分は含有しなければならない。LiOおよびNaOの含有量合計が8%未満ではイオン交換により所望の表面圧縮応力層を形成することが困難となる。同合計が25%超では耐候性が不十分となるおそれがある。
LiOはイオン交換により表面圧縮応力層を形成させ、またガラスの溶融性を向上させる成分である。LiOを含有する場合その含有量は、好ましくは9%以上、より好ましくは10%以上である。LiOが20%超では耐候性が低下する、または圧痕からクラックが発生しやすくなる。好ましくは17%以下である。
NaOはイオン交換により表面圧縮応力層を形成させ、またガラスの溶融性を向上させる成分である。NaOを含有する場合その含有量は、好ましくは8%以上、より好ましくは9%以上である。NaOが25%超では耐候性が低下する、または圧痕からクラックが発生しやすくなる。好ましくは20%以下である。
Oは必須ではないがイオン交換速度を増大させるため、15%以下の範囲で含有してもよい。15%超では圧痕からクラックが発生しやすくなる、または硝酸カリウム溶融塩中のNaNO濃度による表面圧縮応力の変化が大きくなるおそれがある。KOは好ましくは10%以下、より好ましくは6%以下、典型的には3%以下である。硝酸カリウム溶融塩中のNaNO濃度による表面圧縮応力の変化を小さくしたい場合にはKOは含有しないことが好ましい。
LiO、NaOおよびKOの含有量の合計ROは25%以下であることが好ましい。25%超では耐候性が不十分となるおそれがある。
ZrOは必須ではないが、高温での粘性を低下させるために、または表面圧縮応力を大きくするために10%までの範囲で含有してもよい。ZrOが10%超では圧痕からクラックが発生する可能性が高まるおそれがある。好ましくは5%以下、より好ましくは2.5%以下である。
本発明のガラスは本質的に以上で説明した成分からなるが、本発明の目的を損なわない範囲でその他の成分を含有してもよい。そのような成分を含有する場合、それら成分の含有量の合計は2%未満であることが好ましく、より好ましくは1%以下である。以下、上記その他成分について例示的に説明する。
ZnOはガラスの高温での溶融性を向上するためにたとえば2%まで含有してもよい場合があるが、好ましくは1%以下であり、フロート法で製造する場合などには0.5%以下にすることが好ましい。ZnOが0.5%超ではフロート成型時に還元し製品欠点となるおそれがある。典型的にはZnOは含有しない。
TiOはガラス中に存在するFeイオンと共存することにより、可視光透過率を低下させ、ガラスを褐色に着色するおそれがあるので、含有するとしても1%以下であることが好ましく、典型的には含有しない。
SrOは必要に応じて含有してもよいが、MgOおよびCaOに比べてイオン交換速度を低下させる効果が大きいので含有する場合であってもその含有量は1%未満であることが好ましい。典型的にはSrOは含有しない。
BaOはアルカリ土類金属酸化物の中でイオン交換速度を低下させる効果が最も大きいので、BaOは含有しないこととするか、含有する場合であってもその含有量は1%未満とすることが好ましい。
SrOまたはBaOを含有する場合それらの含有量の合計は1%以下であることが好ましく、より好ましくは0.3%未満である。
CaO、SrO、BaOおよびZrOのいずれか1以上を含有する場合それら4成分の含有量の合計は1.5%未満であることが好ましい。当該合計が1.5%以上ではイオン交換速度が低下するおそれがあり、典型的には1%以下である。
ガラスの溶融の際の清澄剤として、SO、塩化物またはフッ化物などを適宜含有してもよい。ただし、タッチパネルなどディスプレイ装置の視認性を上げるため、可視域に吸収をもつFe、NiOまたはCrなどの原料中の不純物として混入するような成分はできるだけ減らすことが好ましく、各々質量百分率表示で0.15%以下であることが好ましく、より好ましくは0.05%以下である。
本発明者らがガラスの組成を表す下記式により算出したeとエッチングレートとの相関性を解析した結果、図5に示すような相関関係にあることが分かった。図5に示すように、eが73を超えるとエッチングレートが0.5μm/cm/minより小さくなり、ガラスのエッチングに要する時間が長くなるおそれがある。したがって、本発明の第一の実施態様において、ガラスの組成は、SiO、ROおよびZrOの各含有量を用いて下記式により算出したeは73以下であり、72以下であることが好ましい。
e=SiO+0.3×RO+0.15×ZrO
化学強化処理に供するガラスとしては、例えば、以下の組成のガラスが使用される。
(i)モル%で表示した組成で、50〜80%のSiO、0〜25%のAl、0〜25%のNaO、0〜15%のROを含むガラス
(ii)モル%で表示した組成で、SiOを50〜70%、Alを0〜25%、NaOを0〜25%、CaOを0〜5%、LiOを0〜20%、KOを0〜15%、MgOを0〜20%、およびZrOを0〜10%を含むガラス
(iii)モル%で表示した組成が、SiOを55〜70%、Alを5〜20%、NaOを5〜20%、CaOを0〜1%、KOを0〜10%、MgOを0〜15%およびZrOを0〜5%含有するガラス
(iv)モル%で表示した組成が、SiOを60〜70%、Alを5〜20%、NaOを5〜20%、CaOを0〜1%、KOを0〜5%、MgOを0〜15%およびZrOを0〜3%含有するガラス
(v)モル%で表示した組成が、SiOを60〜70%、Alを5〜20%、NaOを5〜20%、CaOを0〜1%、KOを0〜5%、MgOを7〜15%およびZrOを0〜3%含有するガラス
(vi)モル%で表示した組成が、SiOを60〜70%、Alを5〜20%、NaOを5〜20%、CaOを0〜1%、KOを0〜5%、MgOを8〜15%およびZrOを0〜3%含有するガラス
(vii)モル%で表示した組成で、SiOを50〜70%、Alを0〜25%、NaOを0〜25%、CaOを0〜5%、LiOを0〜20%、KOを0〜15%、MgOを0〜20%、およびZrOを0〜10%を含み、LiO2を含有しないガラス
(viii)モル%で表示した組成が、SiOを60〜70%、Alを5〜20%、NaOを5〜20%、CaOを0〜1%、KOを0〜5%、MgOを0〜15%およびZrOを0〜3%含有し、LiOを含有しないガラス
以下、ガラスが板状である場合すなわちガラスがガラス板、特にはカバーガラスである場合について説明するが本発明はこれに限定されず、たとえばガラス容器であってもよい。ガラス板は、フロート法、フュージョンダウンドロー法、スリットダウンドロー法またはリドロー法などの方法により作製される。
また、ガラス板の厚みは、用途によって異なるが、携帯電話などのカバーガラス用途の場合、通常、0.2mm〜2.5mmであることが好ましい。
〔化学強化工程〕
化学強化工程では、ガラスの表面をイオン交換し、圧縮応力が残留する表面層を形成させる。具体的には、ガラス転移点以下の温度でイオン交換によりガラス板表面のイオン半径が小さなアルカリ金属イオン(典型的には、Liイオン、Naイオン)をイオン半径のより大きいアルカリイオン(典型的には、Liイオンに対してはNaイオンまたはKイオンであり、Naイオンに対してはKイオン)に置換する。これにより、ガラスの表面に圧縮応力が残留し、ガラスの強度が向上する。
図2に、化学強化後のガラス板の残留応力Sの厚さ方向分布を示す模式図を示す。図2において、S1はガラス板の一方の面層(表面層と呼ぶ)の最大残留圧縮応力、S2は他方の面層(裏面層と呼ぶ)の最大残留圧縮応力(通常、S1=S2である)、D1は表面層の厚さ、D2は裏面層の厚さ、Dはガラス板の厚さ、Tは表面層と裏面層との間に存在する中間層の平均残留引張応力をそれぞれ示す。また、図2における水平軸は、表面層を基準点(=0)とした場合の、板厚方向の距離を示している。
図2に示すように、表面層や裏面層に残留する圧縮応力は、表面および裏面から内部に向けて徐々に小さくなる傾向にある。一方で、圧縮応力が残留する表面層および裏面層などを形成する反作用として、表面層と裏面層との間には、引張応力が残留する中間層が形成される。この時、中間層に残留する引張応力は、ほぼ一定となる。
図2におけるS1、S2(通常S2=S1)、D1、D2(通常D2=D1)、Tは、強化処理条件で調節可能であり、化学強化用の処理液の濃度若しくは温度、または化学強化用のガラスを処理液に浸漬する時間などにて当業者が調節可能である。
化学強化の条件及び方法は、特に限定されず、公知の方法を使用できる。化学強化の方法としてはガラス表層のLiOまたはNaOと溶融塩中のNaOまたはKOとをイオン交換できるものであれば特に限定されないが、例えば、加熱された硝酸カリウム(KNO)溶融塩にガラスを浸漬する方法が挙げられる。
ガラスに所望の表面圧縮応力を有する化学強化層(表面圧縮応力層)を形成するためのイオン交換処理の条件はガラスの厚さによっても異なるが、温度条件は、520℃以下であることが好ましく、500℃以下であることがより好ましく、また、350℃以上であることが好ましく、400℃以上であることがより好ましい。
また、イオン交換処理する時間は、1〜72時間であることが好ましく、2〜24時間であることがより好ましい。生産性を向上させるためには、12時間以下が好ましい。溶融塩としては、例えば、KNOなどが挙げられる。
具体的には、例えば、400〜500℃のKNO溶融塩に1〜72時間ガラスを浸漬させることが典型的である。また、化学強化後に、ガラス板に付着する溶融塩などの付着物などを除去する目的で、水で洗浄することが好ましい。
化学強化による強度向上効果を有効なものとするためには、ガラス表面に形成されるマイクロクラックより深い表面圧縮応力層があることが好ましく、化学強化によって生じる表面圧縮応力層の深さは6μm以上が好ましい。また、使用時に表面圧縮応力層の深さを超える傷がつくとガラスの破壊につながるため、表面圧縮応力層は深い方が好ましく、より好ましくは10μm以上、さらに好ましくは20μm以上、典型的には30μm以上である。
一方、表面圧縮応力層が深いと内部引張応力が大きくなり、破壊時の衝撃が大きくなる。すなわち、内部引張応力が大きいとガラスが破壊する際に細片となって粉々に飛散する傾向があることがわかっている。厚さ1mm以下のガラスでは、表面圧縮応力層の深さが70μmを超えると、破壊時の飛散が顕著となる。したがって、本発明のカバーガラスは、表面圧縮応力層の深さは70μm以下が好ましい。
本発明のカバーガラスは、外装する電子機器にもよるが、例えば表面に接触傷がつく確率が高いパネル等の用途では、安全をみて表面圧縮応力層の深さを薄くしておくことも考えられ、より好ましくは60μm以下、さらに好ましくは50μm以下、典型的には40μm以下である。
なお、本発明のカバーガラスの表面圧縮応力CS(単位:MPa)および圧縮応力層の厚みDOL(単位:μm)は複屈折を測定することにより測定できる。また表面圧縮応力層の深さは、EPMA(electron probe micro analyzer)等を用いて測定することができる。
〔カバーガラスの割れ〕
カバーガラスの割れを分類した4つの破壊モード(1.端面・表面割れ、2.端面・裏面割れ、3.面・裏面割れ、4.面・表面割れ)に分類される。以下、4つの破壊モードについて、図1を参照しながら説明する。
(1.端面・表面割れ)
端面・表面割れは、ヘルツ破壊(ヘルツクラック割れ)とも呼ばれ、カバーガラスの端面に衝撃が加えられた際に、衝撃面(端面)に発生するヘルツコーンと呼ばれる円錐状の破面を起点として破壊が生じるものである。この端面・表面割れについては、後述するヘルツ割れ試験によりその耐性を測定することができる。
(2.端面・裏面割れ)
端面・裏面割れは、カバーガラスの端面に衝撃が加えられた際に、衝撃面とは反対側の非衝撃面(端面)に発生する引張応力により発生する傷を起点として破壊が生じるものである。この端面・裏面割れについては、後述する裏面割れ試験によりその耐性を測定することができる。
(3.面・裏面割れ)
面・裏面割れは、カバーガラスの主面に衝撃が加えられた際に、衝撃面とは反対側の非衝撃面(主面)に発生する引張応力により発生する傷を起点として破壊が生じるものである。この面・裏面割れについては、後述する落球試験によりその耐性を測定することができる。
(4.面・表面割れ)
面・表面割れは、カバーガラスの主面に衝撃が加えられた際に、圧縮応力層を突き抜ける傷を起点にガラスが比較的遅い速度で割れるスロークラックによる割れ(以下、このようなガラスの割れ方をスロークラック割れとも呼ぶ。)である。このスロークラック割れは、一般的に割れ破片が少なく、最も典型的には破壊起点から一本のクラックが延びてタッチセンサ付化学強化ガラスが2つに割れる現象であり、携帯電話、携帯情報端末(PDA)またはタブレットPC等のタッチパネル機能を有するディスプレイ装置に用いられるカバーガラスで典型的に見られる割れである。
〔エッチング工程〕
イオン交換による化学強化に供するガラスは、ガラスの表面における傷(クラック)、またはガラスの撓み若しくは凹みが存在する層を除去することが好ましい。例えば、ガラスの表面には、一般に、グリフィスフローと呼ばれるクラックが存在する。ガラスの表面に引っ張り応力がかかった場合、このクラックに応力集中が発生し、クラックが進展してガラスの破壊に至る。
そのため、本発明の第二の実施態様では、化学強化後のガラスの表面における傷(クラック)、またはガラスの撓み若しくは凹みが存在する層を、エッチングすることにより4μm以上除去することにより、エッジ強度を向上することができる。化学強化後にガラスの表面およびエッジをエッチングする層の厚みは、4μm以上であり、5μm以上であることが好ましく、7μm以上であることがより好ましい。
本発明の第二の実施態様においては、ガラス板の主表面と端面との交差部分である主表面端部を1000番(JIS R6001、1996年)以上の粗い粒度を有する研磨剤により仕上げ研磨する主表面端部研磨工程を、化学強化工程と強化後エッチング工程との間に有することが好ましい。
図6を用いて第二の実施態様の好ましい態様の具体例を説明する。図6はガラス板10の断面図を示す図である。主表面端部14とは、ガラス板10の主表面12と端面13との交差部分をいい、端面13に属する。端面13はガラス板10の側面部であり、図中の符号11は面取り部である。
主表面端部は破壊起点となる可能性が高いところであるので、主表面端部を1000番(JIS R6001、1996年)以上の粗い粒度を有する研磨剤により仕上げ研磨する主表面端部研磨工程を、化学強化工程と強化後エッチング工程との間に有することにより、ガラス板端面を鏡面研磨しなくともガラス板のエッジ強度を高めることができる。1000番(JIS R6001、1996年)よりも粒度の小さい研磨材で研磨するといわゆる鏡面研磨の領域に入ってしまい、仕上げ研磨前の研磨工程の数や時間が増大する、仕上げ研磨工程そのものの時間が長くなる、などの問題が生じる。
1000番(JIS R6001、1996年)よりも粗い粒度を有する研磨材としては、具体的には、例えば、800番および325番などが挙げられる。
ガラス板10において通常図6のように面取り加工されるが面取り部11の形状は限定されず、いわゆるR面取り(曲率のついた丸まった面で面取り)されていてもよいし、面取りされていなくてもよい。仕上げ研磨は研磨砥石で行うことが一般的であるがそれに限定されず、たとえば研磨布紙や研磨スラリーを用いて行ってもよい。主表面端部14の研磨は通常、端面13の研磨の際に同時に行われる。
また、本発明の第二の実施態様においては、ガラス板の主表面と端面との交差部分の表面粗さRaが0.1〜30μmになるように仕上げ研磨する主表面端部研磨工程を、化学強化工程と強化後エッチング工程との間に有することが好ましい。Raは0.2μm以上であることがより好ましく、10μm以下であることがさらに好ましい。主表面端部は破壊起点となる可能性が高いところであるのでこのような研磨を行うことにより、ガラス板のエッジ強度を高めることができる。
Raを0.1μm以上とすることにより、いわゆる鏡面研磨の領域に入って、仕上げ研磨前の研磨工程の数や時間が増大する、仕上げ研磨工程そのものの時間が長くなる、などの問題が生じるおそれがあるが、このような問題を防ぐことができる。Raを30μm以下とすることにより、主表面端部が破壊起点となる可能性を小さくすることができる。
第二の実施態様において、化学強化後にガラスの表面およびエッジをウェットエッチングする層の厚みは、30μm以下であることが好ましく、20μm以下であることがより好ましい。30μm以下とすることにより、325番の研磨材などで主表面端部を仕上げ研磨したときにエッジ曲げ強度が低下するのを防ぐことができる[図7(b)]。
仕上げ研磨を325番の研磨材で行うときは20μm以下であることが好ましい[図7(b)]。仕上げ研磨を800番の研磨材で行うときは7μm以下であることが好ましい[図7(a)]。なお、このエッチング量は圧縮応力層の深さの50%以下であることが好ましく、30%以下であることがより好ましい。50%以下とすることによりエッジ曲げ強度が低下するのを防ぐことができる。
本発明の第2の実施態様においては、化学強化後のガラスを4μm以上エッチングして、クラックの先端を鈍化し、クラック先端の応力集中を低減して、エッジ強度を向上することができるため、4つの破壊モードに含まれる<1.端面・表面割れ>、<2.端面・裏面割れ>に起因する割れを抑制することができる。
本発明の製造方法により得られるカバーガラスのエッジ強度は、400MPa以上であることが好ましく、500MPa以上であることがより好ましく、600MPa以上であることがさらに好ましい。エッジ強度は、「JIS R 1601(2008年)ファインセラミックスの曲げ強さ試験方法」に準じた、3点曲げ試験または4点曲げ試験によって測定することができる。
<1.端面・表面割れ>は、ヘルツ割れ試験により割れ強さを求めることができる。ヘルツ割れ試験は、ガラス端面に超硬材の細径の円柱棒を衝突させることにより、ガラス端面の表面にヘルツ応力を発生させることで、ヘルツクラック割れを生じさせるものであり、円柱棒の衝撃エネルギー(衝突エネルギーJ=高さm×重さkg×9.8m/s)により<1.端面・表面割れ>による耐性を測定することができる。
<2.端面・裏面割れ>は、裏面割れ試験により割れ強さを求めることができる。裏面割れ試験は、ガラス端面に太径の超硬材の円柱棒を衝突させることにより、ガラス端面の裏側に衝撃引っ張り応力を発生させ、端面・裏面割れを生じさせるものであり、円柱棒の衝撃エネルギー(衝突エネルギーJ=高さm×重さkg×9.8m/s)により<2.端面・裏面割れ>による耐性を測定することができる。
本発明においては、化学強化前にガラスの表面およびエッジをエッチングしてもよい。化学強化前にガラスの表面およびエッジをエッチングする層の厚みは、7μm以上であることが好ましく、10μm以上であることがより好ましく、15μm以上であることがさらに好ましい。また、50μm以下であることが好ましく、40μm以下であることがより好ましい。化学強化前にガラスの表面およびエッジをエッチングする層の厚みを10μm以上とすることにより、ガラスのエッジ強度を向上し、割れに対する耐性を高めることができる。また、化学強化前にエッチングする層の厚みを50μm以下とすることにより、クラックの先端を鈍化し、エッジ強度をより高めることができる。
化学強化前のガラスをエッチングして欠陥及び微細な凹凸を含む異質層を除去することにより、破壊の起点となる欠陥が減少することからボールオンリング強度を向上できるため、4つの破壊モードに含まれる<3.面・裏面割れに起因する割れ>を抑制することができる。
本発明の製造方法により得られるカバーガラスのボールオンリング強度は、2.0kNであることが好ましく、2.2kNであることがより好ましく、2.4kNであることがさらに好ましい。ボールオンリング強度が2.0kN以上であることにより、<3.面・裏面割れ>に起因する割れを抑制することができる。なお、ボールオンリング強度は、実施例において後述する方法により測定する。
<3.面・裏面割れ>は、落球試験により割れ強さを求めることができる。落球試験は、落球衝撃によりガラスの裏面に引っ張り応力を発生させることで、面・裏面割れを生じさせるものであり、落球エネルギー(落球エネルギーJ=高さm×重さkg×9.8m/s)により<3.面・裏面割れ>による耐性を測定することができる。
(エッチング条件)
本発明の製造方法においては、化学強化前、化学強化後の両方においてエッチング工程を含んでもよい。エッチング液としては、フッ酸(HF)、ヘキサフルオロケイ酸、及びバッファードフッ酸からなる群から選ばれる少なくとも1を含有する溶液であることが好ましく、典型的にはフッ酸を含有するエッチング液を用いる。
フッ酸を含有するエッチング液としては、例えば、フッ酸、フッ酸を主成分とする酸性溶液、フッ酸に硫酸、塩酸、リン酸、硝酸、ケイフッ酸のうちの少なくとも1つの酸を含む混酸が挙げられる。
エッチングレートは、0.50μm/cm/min以上であることが好ましく、0.60μm/cm/min以上であることがより好ましく、0.70μm/cm/min以上であることがさらに好ましい。エッチングレートを0.50μm/cm/min以上とすることにより、エッチング工程に要する時間を短縮し、より高い効率でカバーガラスを製造することができる。エッチングレートは、化学強化に供するガラスの組成、エッチング液の温度または濃度等を適宜調整することにより調整することができる。
エッチング温度は、通常10℃〜60℃であることが好ましく、より好ましくは20℃〜40℃である。さらに、エッチング時間は、通常30秒〜30分であることが好ましく、より好ましくは1分〜10分である。これらのエッチングの条件は、使用するガラス基板の材質などに応じて、反応物が析出することのないように、当業者が適宜選択できるものである。
エッチング後のガラス板の表面には、付着物が付着していることがあるため、処理後のガラス板は洗浄することが好ましい。洗浄方法としては特に限定されず、公知の方法を使用することができるが、例えば、超音波を印加した状態で、硫酸、塩酸または硝酸などの水溶液で洗浄することができる。
〔その他の工程〕
本発明のカバーガラスの製造方法は、化学強化する工程の前に、ガラス板の表面に存在する傷(クラック)またはガラス板の撓み若しくは凹みを除去する、その他の工程を含んでもよい。化学強化処理の前に、ガラス板の表面のクラックを除去する方法としては、前述の表面異質層を除去する工程と同様に、ガラス板の表面を研磨する方法が挙げられる。
ガラス板の表面を研磨してクラックを除去する場合、ガラス表面に存在するクラックを除去することができれば、研磨方法は限定されない。例えば、酸化セリウムなどの希土類酸化物、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ケイ素(コロイダルシリカを含む)、炭化ケイ素、酸化マンガン、酸化鉄、ダイヤモンド、窒化ホウ素及びジルコンなどの砥粒を含むスラリーを使用して研磨することなどが挙げられる。これらの砥粒は、1種類を単独で使用してもよく、2種類以上を併用して使用してもよい。
上述の砥粒の群において、前述の表面異質層を除去する工程と同様に、平均粒径80nm以下のコロイダルシリカを砥粒として含有するスラリーを用いて研磨を行うことが、ガラス板の表面を均一に研磨でき、十分な強度を達成できるため、好ましい。
また、酸化セリウムなどの希土類酸化物、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ケイ素、炭化ケイ素、酸化マンガン、酸化鉄、ダイヤモンド、窒化ホウ素及びジルコンなどの、公知の砥粒を含むスラリーを用いて研磨した後に、平均粒径80nm以下のコロイダルシリカを砥粒として含有するスラリーを用いて研磨を行うことが、より好ましい。
〔カバーガラス〕
本発明のカバーガラスは算術平均粗さRaが1nm以下であることが好ましく、0.7nm以下であることがより好ましく、0.5nm以下であることがさらに好ましく、0.4以下であることが特に好ましい。算術平均粗さRaが1nm以下であることにより、ボールオンリング強度を十分高くする事が可能である。
算術平均粗さRa[JIS B0601(1994年)]は粗さ曲線からその平均線の方向に基準長さだけ抜き取り、この抜き取り部分の平均線の方向にX軸を、縦倍率の方向にY軸を取り、粗さ曲線をy=f(x)で表したときに、次式によって求められる値をナノメートル(nm)で表したものをいう。
Figure 2014045809
算術平均粗さRaは、たとえば非接触表面形状測定機(Zygo社製NewView5032)を用いて測定することができる。
カバーガラスの製造方法は、用途によっても異なり、前記した化学強化工程およびエッチング工程以外のその他の工程としては特に限定されない。一例を下記に示すが、本発明はこの例に限定されない。
まず、準備したガラス素板を、切断、穴あけ、切り欠き、研磨または糸面取りなどの工程を経て、最終的に仕上げる所望の大きさ、形状に成形する。この時、後の工程のハンドリングの向上及びプロセスコストを削減するために、最終的に仕上げる所望の大きさよりも大きい大きさに切断しておき、全ての加工工程が終了した後に、所望の大きさ、形状に成形してもよい。
成形されたガラスは、本発明のガラス強化方法により、強化される。強化されたガラスには、印刷、反射防止コーティング、機能性フイルムの貼り合せなどが行なわれ、カバーガラスが製造される。
本発明のカバーガラスは、携帯電話、デジタルカメラまたはタッチパネルディスプレイ等のディスプレイ用カバーガラスに用いることができる。
本発明の製造方法はガラスの質量が1.0kg以上である場合に、本発明の効果が特に奏され、好適である。また、ガラスの大きさが1m角以上である場合に好適である。ガラスの厚みが0.3mmtである場合に好適である。
前記ガラスの質量、大きさまたは厚みである場合に特に本発明の効果が奏され好適であるのは、ガラスが大きくなると、面の大きさが大きくなるとともに、エッジの長さが長くなることから深い傷が存在する可能性が高くなり、またガラスが重くなるとガラスの自重でその深い傷に大きな力がかかるようになるためである。
以下に、実施例などにより本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの例によって限定されるものではない。
実施例及び比較例におけるボトム面及びトップ面とは、フロート法による成形の際に、溶融錫に接した面(ボトム面)と、その反対側の面(トップ面)のことを指す。
以下の実施例および比較例では、次の各工程を適宜組み合わせて行った。
(化学強化)
平板ガラスを、KNO溶融塩に浸漬し、イオン交換処理した後、室温付近まで冷却することにより化学強化する。このとき、KNO溶融塩の温度は435℃とし、浸漬時間は4時間とする。得られた化学強化ガラスは水洗いし、次の工程に供する。
(酸化セリウム研磨)
研磨スラリーとして、平均粒子直径(d50)が1μmの酸化セリウムを水に分散させてスラリーを作製し、得られたスラリーを用いて、平板ガラスを約3.0μm研磨する。
(コロイダルシリカ研磨)
研磨スラリーとして、平均粒子直径(d50)が80nmのコロイダルシリカ(コンポール80;フジミインコーポレーテッド社製)を水に分散させてスラリーを作製し、得られたスラリーを用いて平板ガラスを約0.2μm研磨する。
(エッチング)
エッチング液として、フッ酸及び塩酸の混酸(フッ酸0.55質量%、塩酸5.8質量%)を用いて、平板ガラスを20℃、5分エッチングする。
[実施例1]
実施例1−1〜1−4及び比較例1−1〜1−3において、フロート法により成形した後に切断して得た縦50mm×横50mm×厚さ1.1mmの平板ガラスを用いた。使用した平板ガラスの組成は、酸化物基準のモル%表示で、SiO:64%、Al:8%、MgO:11%、NaO:12.5%、ZrO:0.5%であった。(実施例1−1)
前記化学強化工程により平板ガラスを強化した後、ウェットエッチングを行った。前記ウェットエッチングは、トップ面に対して行った。
(実施例1−2)
平板ガラスに酸化セリウム研磨を行い、化学強化工程により平板ガラスを強化した後、ウェットエッチングを行った。前記酸化セリウム研磨およびウェットエッチングはトップ面に対して行った。
(実施例1−3)
平板ガラスに酸化セリウム研磨を行った後、コロイダルシリカ研磨を行い、化学強化工程により平板ガラスを強化した後、ウェットエッチングを行った。前記酸化セリウム研磨、コロイダルシリカ研磨およびウェットエッチングはトップ面に対して行った。
(実施例1−4)
平板ガラスのトップ面およびボトム面をウェットエッチングした後、化学強化工程により平板ガラスを強化し、再び両面に対してウェットエッチングを施した。
(比較例1−1)
平板ガラスに酸化セリウム研磨を行った。平板ガラスの化学強化及び化学強化後の処理は行わなかった。前記酸化セリウム研磨はトップ面に対して行った。
(比較例1−2)
平板ガラスに酸化セリウム研磨を行い、その後化学強化工程により平板ガラスを強化した。化学強化後の処理は行わなかった。前記酸化セリウム研磨はトップ面に対して行った。
(比較例1−3)
前記化学強化工程により平板ガラスを強化したが、化学強化の前及び後の処理はいずれも行わなかった。
実施例1−1〜1−4および比較例1−1〜1−3における各強化処理の条件を、表1に示す。
[評価方法]
以下、評価方法を説明する。各実施例および比較例に関し、化学強化前後の処理を行った面についてそれぞれ下記の評価を行った。比較例1−3(化学強化前後処理なし)についてはトップ面を評価した。
《ボールオンリング試験》
ボールオンリング(Ball on Ring;BOR)試験では、ガラス板1を水平に載置した状態で、SUS304製の加圧治具2を用いてガラス板1を加圧し、ガラス板1の強度を測定した。図3に、本発明で用いた強度試験を説明するための概略図を示す。
図3において、SUS304製の受け治具3の上に、サンプルとなるガラス板1が水平に設置されている。ガラス板1の上方には、ガラス板1を加圧するための、加圧治具2が設置されている。
本実施の形態においては、実施例及び比較例後に得られたガラス板1の上方から、ガラス板1の中央領域を加圧した。なお、試験条件は下記の通りである。サンプルの厚み:1.1(mm);加圧治具2の下降速度:1.0(mm/min):
この時、ガラスが破壊された際の、破壊荷重(単位N)をBOR強度とし、20回の測定の平均値をBOR平均強度とした。
《落球試験》
落球試験では、ガラス板に鉄球を落下させ、ガラス板の強度を評価した。具体的な試験方法としては、先ず、実施例及び比較例で得られたガラス板を、SUS304製の治具(中央に40×40mmのくり抜き部を有する縦100×横100×厚さ10mmの金属板)に乗せた。
ガラス板の中央部に、質量230kgの鉄球(SUS304)を落下させ、ガラスが破壊されたときの高さ(破壊高さ)から落球強度(J)を求めた。なお、測定は20回行い、落球強度の平均値を平均落球強度とした。
落球強度(J)=鉄球の質量(kg)×重力加速度(9.81m/s)×破壊高さ(m)
《算術平均粗さRa》
ガラス基板の表面粗さは、触針式の表面粗さ計(Veeco社製Multimode V SPM−Nanoscope V controller)を用いて測定した。なお、測定値は、ガラス板から任意2箇所の表面粗さを測定し、その平均値で示した。
《エッジ強度試験》
ガラス基板のエッジ強度は、エッジ強度は、「JIS R 1601(2008年)ファインセラミックスの曲げ強さ試験方法」に準じた、3点曲げ試験または4点曲げ試験によって測定する。
本発明のガラスの強化方法により得られたガラスにおける、上述の評価方法で評価した結果を表1に示す。
なお、実施例1−1〜1−4のエッチング量をエッチング前後の厚さを測定することにより測定したところ、すべて1μmであった。
Figure 2014045809
表1に示すように、化学強化工程後にガラスをエッチングしたガラス(実施例1−1〜1−4)は、エッチングしていないガラス(比較例1−1〜1−3)に比べ、相対的にボールオンリング強度が高くなり、表面の粗さも均一になることがわかった。
[実施例2]
それぞれ下記の組成であるガラス2Aまたは2Bからなる板状のガラスを5mm×40mm×1mmtの形状に加工し、5mm×40mmの面は酸化セリウムを用いて鏡面研磨加工し、ガラス試験片を作製した。ガラス試験片のエッジは#600のダイヤモンドを用いて面取りした。
ガラス2A:SiO:64.5%、Al:6%、MgO:11%、CaO:0.1%、SrO:0.1%、NaO:12%、KO:4%、ZrO:2.5%
ガラス2B:SiO:71.3%、Al:2%、MgO:10.4%、CaO:0.3%、NaO:10.8%、KO:4.6%、ZrO:0.5%
得られたガラス試験片の20本を5%のHFを用いて3分間12秒超音波洗浄機によりウェットエッチングした。その後、ガラス2Aからなるガラス試験片を425℃に加熱したKNO100%の溶融塩中に6時間浸漬して化学強化した。
化学強化後のガラス2Aからなるガラス試験片の表面圧縮応力は993MPa、表面圧縮応力層の深さは31μmであった。ガラス2Bからなるガラス試験片を400℃に加熱したKNO100%の溶融塩中に7時間浸漬して化学強化した。化学強化後のガラス2Bからなるガラス試験片の表面圧縮応力は648MPa、表面圧縮応力層の深さは32μmであった。表面圧縮応力および表面圧縮応力層の深さは、折原製作所社製表面応力計(FSM−6000LE)を用いて測定した。
前記ウェットエッチングを施したガラス試験片とウェットエッチングを施していないガラス試験片について、それぞれ「JIS R 1601(2008年)ファインセラミックスの曲げ強さ試験方法」に準じた、20本4点曲げ試験によりエッジ強度試験を行った。結果を表2に示す。
Figure 2014045809
表2に示すように、ソーダライムガラスと比較してエッチングレートの早いガラス2Aに関しては、エッチング後のガラスのエッジ強度はエッチング無しのものと比べて向上した(実施例2−1および比較例2−1)。一方、ソーダライムガラスと比較してエッチング速度の低いガラス2Bはエッチング処理を施してもほとんど強度が向上していなかった(実施例2−2および比較例2−2)。この結果から、エッチングすることによりガラスのエッジ強度は向上し、エッチングレートが高いほどエッチング処理による強度の向上が顕著であることがわかった。
[実施例3]
化学強化に供するガラスの組成とエッチングレートとの関係性を調べるため、表3に示す組成のガラスA〜Kを化学強化工程により強化した後、ウェットエッチングを行い、エッチングレートを調べた。その結果を表4および表5並びに図4および図5に示す。
Figure 2014045809
Figure 2014045809
Figure 2014045809
表4および表5並びに図4に示すように、化学強化に供するガラス板をモル%表示で、50〜70%のSiO、0〜25%のAl、0〜25%のNaOを含有する組成とすることにより、エッチングレートを0.50μm/cm/min以上とすることができ、カバーガラスの生産性を向上できることがわかった。
また、図5に示すように、ガラス組成のパラメータである下記式より算出したeとエッチングレートとは反比例関係にあり、eが73を超えるとエッチングレートが0.5μm/cm/minより小さくなることがわかった。
e=SiO+0.3×RO+0.15×ZrO
[実施例4]
実施例3の表3に示すガラス組成Bのフロートガラス板(0.8mm厚、大きさ400mm×500mm)の両面を、HFを含むエッチング液でエッチングして100μm(片面当たり50μm)取り除いた。その後、400℃のKNO溶融塩に1時間浸漬して化学強化を行った。表面圧縮応力は700MPa、表面圧縮応力層の深さは20μmであった。
その後、超硬合金製ホイールカッターを用い50mm×50mmの大きさに切断した。その後、800番または325番の砥石を用いて主表面端部を0.2mmR面取りした。次に5質量%のHFを含むエッチング液により5μm/分のエッチングレートでエッチングを行った。このようにして得られたガラス板について曲げ試験装置を用いて4点曲げ試験を行い、強度を評価した。
その結果を表6および図7(a)および(b)に示す。図7(a)は、800番の砥石を用いた結果であり、図7(b)は325番の砥石を用いた結果である。図7(a)および(b)において、各強化後エッチング量の強度を強化後エッチング量が0μmの時の強度で除した値を強度向上割合とした。
Figure 2014045809
表6および図7(a)および図7(b)に示すように、ガラス板の主表面端部を1000番以上の粗い粒度を有する研磨材により仕上げ研磨する工程を、化学強化工程と強化後エッチング工程との間に有することにより、ガラス板のエッジ強度が向上することがわかった。なお、325番の研磨材を用いて40μm強化後エッチングした場合は、化学強化処理による表面圧縮応力層がエッチングにより削り取られて強度が低下していると考えられる。
本発明を特定の態様を用いて詳細に説明したが、本発明の意図と範囲を離れることなく様々な変更および変形が可能であることは、当業者にとって明らかである。なお本出願は、2012年9月20日付で出願された日本特許出願(特願2012−207318)に基づいており、その全体が引用により援用される。
1,10 ガラス板
2 加圧治具
3 受け治具
11 面取り部
12 主表面
13 端面
14 主表面端部

Claims (13)

  1. ガラスを化学強化する化学強化工程と、
    該化学強化工程後に、該ガラスの表面およびエッジをエッチングする強化後エッチング工程とを含む化学強化ガラスの製造方法。
  2. ガラスを化学強化する化学強化工程と、
    該化学強化工程後に、該ガラスの表面およびエッジをエッチングする強化後エッチング工程とを含む化学強化ガラスの製造方法であって、該ガラスが下記酸化物基準のモル百分率表示でSiOを55〜80%、Alを0〜20%、Bを0〜10%、MgOを0〜15%、CaOを0〜10%、LiOを0〜20%、NaOを0〜25%、KOを0〜15%、ZrOを0〜10%含有し、LiOおよびNaOの含有量の合計が8〜25%であり、SiOの含有量、LiO、NaOおよびKOの含有量の合計ROならびにZrOの含有量を用いて下記式により算出したeが73以下である化学強化ガラスの製造方法。
    e=SiO+0.3×RO+0.15×ZrO
  3. 前記ガラスのMgOおよびCaOの含有量の合計が0〜15%である請求項2に記載の化学強化ガラスの製造方法。
  4. 前記ガラスのLiO、NaOおよびKOの含有量の合計ROが25%以下である請求項2または3に記載の化学強化ガラスの製造方法。
  5. 前記ガラスのNaOが0〜20%、KOが0〜10%、ZrOが0〜5%である請求項2〜4のいずれか1項に記載の化学強化ガラスの製造方法。
  6. 前記ガラスのZrOが0〜2.5%である請求項2〜5のいずれか1項に記載の化学強化ガラスの製造方法。
  7. ガラスを化学強化する化学強化工程と、
    該化学強化工程後に、該ガラスの表面およびエッジを4μm以上エッチングする強化後エッチング工程とを含む化学強化ガラスの製造方法。
  8. 前記ガラスがガラス板であり、該ガラス板の主表面と端面との交差部分を1000番以上の粗い粒度を有する研磨材により仕上げ研磨する主表面端部研磨工程を、化学強化工程と強化後エッチング工程との間に有する請求項7の化学強化ガラスの製造方法。
  9. 前記ガラスがガラス板であり、該ガラス板の主表面と端面との交差部分の表面粗さRaが0.1〜30μmになるように仕上げ研磨する主表面端部研磨工程を、化学強化工程と強化後エッチング工程との間に有する請求項7または8に記載の化学強化ガラスの製造方法。
  10. 前記強化後エッチング工程において、前記ガラス板の表面およびエッジを30μm以下エッチングする請求項8または9に記載の化学強化ガラスの製造方法。
  11. 前記化学強化ガラスが化学強化されたカバーガラスである請求項1〜10のいずれか1項に記載の化学強化ガラスの製造方法。
  12. 前記化学強化ガラス表面の算術平均粗さRaが1nm以下である請求項1〜11のいずれか1項に記載の化学強化ガラスの製造方法。
  13. 前記ガラスの25℃の5%HF水溶液でのエッチングレートが0.50μm/cm/min以上である請求項1〜12のいずれか1項に記載の化学強化ガラスの製造方法。
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