CN111103747B - 冷却装置和投影仪 - Google Patents

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Abstract

冷却装置和投影仪。可提高冷却对象的冷却效率。冷却装置具有蒸发部、冷凝部、蒸气管以及液管，蒸发部具有壳体、设置在壳体内且输送液相的工作流体的芯部、设置在壳体内且贮留液相的工作流体的储液器、具有供从液相变化为气相的工作流体流通的多个蒸气流路且与芯部连接的槽部件，槽部件构成为沿着与从槽部件朝向储液器的第1方向垂直的第2方向交替重叠有多个与芯部连接的第1金属板和以比第1金属板离芯部远的方式配置的第2金属板，多个蒸气流路在槽部件的芯部侧形成于相互相邻的第1金属板之间，在沿着与第1方向以及第2方向垂直的方向观察槽部件的情况下的蒸气流路的截面中，沿着第1方向的尺寸比沿着第2方向的尺寸大。

Description

冷却装置和投影仪
技术领域
本发明涉及冷却装置和投影仪。
背景技术
以往，作为电子装置等的冷却所使用的冷却装置，公知有如下的环型热管：向在循环路径中流通的制冷剂即工作流体传递从冷却对象受到的热，通过其他部位释放传递到工作流体的热，由此对冷却对象进行冷却。作为这种环型热管，公知有环状地连接蒸发器、蒸气管、冷凝部和液管的循环型冷却装置(例如参照专利文献1)。
在专利文献1记载的循环型冷却装置中，蒸发器是以能够进行热传递的方式与发热体连接、且通过内部具有的制冷剂的蒸发潜热夺走发热体的热的装置。蒸发器由液管侧的制冷剂供给部和蒸气管侧的传热部构成。在传热部内收纳有芯部，而且设置有朝向芯部突起的多个传热翅片。
芯部由多孔质体或烧结金属等形成。芯部通过毛细管力使制冷剂供给部收纳的制冷剂向多个传热翅片侧移动。
芯部和多个传热翅片的上表面紧密贴合，来自发热体的热被传递到制冷剂，由此，制冷剂进行相变化，所产生的蒸气穿过多个传热翅片之间而向蒸气管流通。
专利文献1：日本特开2008-281229号公报
发明内容
发明要解决的课题
在环型热管所使用的蒸发器中，专利文献1所记载的传热部中的多个传热翅片例如是对金属进行切削加工等而形成的。
但是，在对金属进行加工而形成多个传热翅片的情况下，很难增大形成于多个传热翅片之间且供气相的工作流体流通的流路的截面面积。因此，气相的工作流体的排出时产生的压力损失较大，工作流体从液相变化为气相的蒸发温度变高，存在很难对冷却对象进行冷却的问题。
另一方面，当增大传热翅片之间的距离而增大流路的截面面积时，与芯部接触的传热翅片的端部变少。该端部中主要产生从液相到气相的工作流体的相变化，因此，从液相变化为气相的工作流体的量变小，存在很难对冷却对象进行冷却的问题。
用于解决课题的手段
本发明的第1方式的冷却装置的特征在于，其具有：蒸发部，其利用从冷却对象传递的热使液相的工作流体蒸发而变化为气相的所述工作流体；冷凝部，其使气相的所述工作流体冷凝而变化为液相的所述工作流体；蒸气管，其使所述蒸发部中变化为气相的所述工作流体流通到所述冷凝部；以及液管，其使所述冷凝部中变化为液相的所述工作流体流通到所述蒸发部，所述蒸发部具有：壳体，其与所述液管连接，液相的所述工作流体流入该壳体的内部；芯部，其设置在所述壳体内，液相的所述工作流体浸入该芯部，该芯部输送液相的所述工作流体；储液器，其设置在所述壳体内，贮留流入所述壳体中的液相的所述工作流体；以及槽部件，其具有供从液相变化为气相的所述工作流体流通的多个蒸气流路，与所述芯部连接，所述槽部件构成为：沿着与从所述槽部件朝向所述储液器的第1方向垂直的第2方向交替重叠有多个与所述芯部连接的第1金属板和多个以比所述第1金属板离所述芯部远的方式配置的第2金属板，所述多个蒸气流路在所述槽部件的所述芯部侧形成于所述第1金属板和与所述第1金属板相邻的另一个所述第1金属板之间，在沿着与所述第1方向以及所述第2方向垂直的方向观察所述槽部件的情况下的所述多个蒸气流路各自的截面中，沿着所述第1方向的尺寸比沿着所述第2方向的尺寸大。
在上述第1方式中，优选所述第1金属板的导热率比所述第2金属板的导热率高。
在上述第1方式中，优选所述槽部件和所述芯部被一体化。
在上述第1方式中，优选所述芯部构成为：沿着所述第2方向交替重叠有多个所述第1金属板和多个相对于所述第2金属板配置在所述第1方向的第3金属板，所述第3金属板通过与所述第1金属板组合，形成向与所述第1方向相反的方向输送所述储液器中贮留的液相的所述工作流体的输送流路。
本发明的第2方式的投影仪的特征在于，所述投影仪具有：光源装置，其具有出射光的光源；光调制装置，其对从所述光源装置出射的光进行调制；投射光学装置，其投射由所述光调制装置调制后的光；以及上述冷却装置。
在上述第2方式中，优选所述冷却对象是所述光源。
附图说明
图1是示出第1实施方式中的投影仪的外观的立体图。
图2是示出第1实施方式中的投影仪的内部结构的示意图。
图3是示出第1实施方式中的光源装置的结构的示意图。
图4是示出第1实施方式中的蒸发部的内部构造的剖视图。
图5是示出第1实施方式中的槽部件的立体图。
图6是放大示出第1实施方式中的槽部件的一部分的立体图。
图7是示出第1实施方式中的槽部件的剖视图。
图8是示出第2实施方式中的投影仪具有的蒸气生成部的立体图。
图9是说明第2实施方式中的第1～第3金属板的配置位置的图。
图10是示出第2实施方式中的蒸气生成部的剖视图。
图11是说明第2实施方式中的蒸气生成部的制造工序的一个工序的图。
图12是示出第3实施方式中的投影仪具有的蒸气生成部的立体图。
图13是示出第3实施方式中的蒸气生成单元的分解立体图。
图14是示出第3实施方式中的蒸气生成单元的图。
图15是示出第3实施方式中的第1～第3板部件的图。
图16是示出第3实施方式中的第2～第4板部件的图。
图17是示出第3实施方式中的第4～第6板部件的图。
图18是示出第3实施方式中的第1、第5和第6板部件的图。
标号说明
1：投影仪；343(343B、343G、343R)：光调制装置；36：投射光学装置；4：光源装置；411：光源(冷却对象)；5：冷却装置；51：环型热管；52：蒸气管；53：冷凝部；54：液管；6：蒸发部；61：壳体；62：储液器；63A、63B、63C：蒸气生成部；64A、64B、64C：芯部；65A、65B、65C：槽部件；71、81：第1金属板；72、82：第2金属板；83：第3金属板；91：第1板部件(第1金属板)；92：第2板部件(第2金属板)；93：第3板部件(第3金属板)；94：第4板部件(第1金属板)；95：第5板部件(第2金属板)；96：第6板部件(第3金属板)；a：尺寸(蒸气流路的截面面积中的第1方向的尺寸)；b：尺寸(蒸气流路的截面面积中的第2方向的尺寸)；GP1：间隙；RF：输送流路；VC：蒸气流路。
具体实施方式
[第1实施方式]
下面，根据附图对本发明的第1实施方式进行说明。
[投影仪的概略结构]
图1是示出本实施方式的投影仪1的外观的立体图。
本实施方式的投影仪1是如下的图像显示装置：对从后述的光源装置4出射的光进行调制，形成与图像信息对应的图像，将所形成的图像放大投射到屏幕等被投射面上。如图1所示，投影仪1具有构成投影仪1的外装的外装壳体2。
[外装壳体的结构]
外装壳体2具有顶面部21、底面部22、正面部23、背面部24、左侧面部25和右侧面部26，形成为大致长方体形状。
底面部22具有与载置投影仪1的设置面接触的多个脚部221。
正面部23在外装壳体2中位于图像的投射侧。正面部23具有使后述的投射光学装置36的一部分露出的开口部231，由投射光学装置36投射的图像通过开口部231。此外，正面部23具有将对投影仪1内的冷却对象进行冷却后的冷却气体排出到外装壳体2的外部的排气口232。
右侧面部26具有将外装壳体2外的空气等气体作为冷却气体导入到内部的导入口261。
[投影仪的内部结构]
图2是示出投影仪1的内部结构的示意图。
如图2所示，投影仪1还具有分别收容在外装壳体2内的图像投射装置3和冷却装置5。除此以外，省略图示，但是，投影仪1还具有对投影仪1的动作进行控制的控制装置和向投影仪1的电子部件供给电力的电源装置。
[图像投射装置的结构]
图像投射装置3形成并投射与从控制装置输入的图像信息对应的图像。图像投射装置3具有光源装置4、均匀化装置31、色分离装置32、中继装置33、图像形成装置34、光学部件用壳体35和投射光学装置36。
光源装置4出射照明光。光源装置4的结构在后面详细叙述。
均匀化装置31对从光源装置4出射的照明光进行均匀化。该均匀化后的照明光经由色分离装置32和中继装置33对图像形成装置34的后述的光调制装置343的调制区域进行照明。均匀化装置31具有2个透镜阵列311、312、偏振转换元件313和重叠透镜314。
色分离装置32将从均匀化装置31入射的光分离成红、绿和蓝的各色光。色分离装置32具有2个分色镜321、322、以及使由分色镜321分离后的蓝色光反射的反射镜323。
中继装置33设置在比其他色光的光路长的红色光的光路上，抑制红色光的损耗。中继装置33具有入射侧透镜331、中继透镜333、反射镜332、334。另外，在本实施方式中，设光路比其他色光长的色光为红色光，在红色光的光路上设置中继装置33。但是，不限于此，例如也可以构成为设光路比其他色光长的色光为蓝色光，在蓝色光的光路上设置中继装置33。
图像形成装置34对所入射的红、绿和蓝的各色光进行调制，对调制后的各色光进行合成，形成图像。图像形成装置34具有分别与入射的色光对应地设置的3个场透镜341、3个入射侧偏振板342、3个光调制装置343、3个视野角补偿板344和3个出射侧偏振板345、1个色合成装置346。
光调制装置343根据图像信息对从光源装置4出射的光进行调制。光调制装置343包含红色光用的光调制装置343R、绿色光用的光调制装置343G和蓝色光用的光调制装置343B。在本实施方式中，光调制装置343由透过型的液晶面板构成，通过入射侧偏振板342、光调制装置343、出射侧偏振板345构成液晶光阀。
色合成装置346对由光调制装置343B、343G、343R调制后的各色光进行合成，形成图像。在本实施方式中，色合成装置346由十字分色棱镜构成，但不限于此，例如还能够由多个分色镜构成。
光学部件用壳体35在内部收容上述各装置31～34。另外，在图像投射装置3中设定了设计上的光轴即照明光轴Ax，光学部件用壳体35在照明光轴Ax中的规定位置保持各装置31～34。另外，光源装置4和投射光学装置36配置在照明光轴Ax中的规定位置。
投射光学装置36将从图像形成装置34入射的图像放大投射到被投射面上。即，投射光学装置36投射由光调制装置343B、343G、343R调制后的光。投射光学装置36例如构成为在筒状的镜筒内收纳有多个透镜的组透镜。
[光源装置的结构]
图3是示出光源装置4的结构的示意图。
光源装置4向均匀化装置31出射照明光。如图3所示，光源装置4具有光源用壳体CA、分别收容在光源用壳体CA内的光源部41、远焦光学元件42、均束器光学元件43、偏振分离元件44、第1会聚元件45、波长转换元件46、第1相位差元件47、第2会聚元件48、扩散反射装置49和第2相位差元件RP。
光源用壳体CA构成为尘埃等不易侵入内部的密闭壳体。
光源部41、远焦光学元件42、均束器光学元件43、偏振分离元件44、第1相位差元件47、第2会聚元件48和扩散反射装置49配置在照明光轴Ax1上，该照明光轴Ax1设定在光源装置4中。
波长转换元件46、第1会聚元件45、偏振分离元件44和第2相位差元件RP配置在照明光轴Ax2上，该照明光轴Ax2设定在光源装置4中，并且与照明光轴Ax1正交。
[光源部的结构]
光源部41具有出射光的光源411和准直透镜415。
光源411具有多个第1半导体激光器412和多个第2半导体激光器413、支承部件414。
第1半导体激光器412出射作为激励光的s偏振的蓝色光L1s。蓝色光L1s例如是峰值波长为440nm的激光。从第1半导体激光器412出射的蓝色光L1s入射到波长转换元件46。
第2半导体激光器413出射p偏振的蓝色光L2p。蓝色光L2p例如是峰值波长为460nm的激光。从第2半导体激光器413出射的蓝色光L2p入射到扩散反射装置49。
支承部件414支承分别呈阵列状配置在与照明光轴Ax1正交的平面中的多个第1半导体激光器412和多个第2半导体激光器413。支承部件414是具有导热性的金属制部件，与后述的蒸发部6连接。而且，作为热源的各半导体激光器412、413即光源411的热传递到蒸发部6。
从第1半导体激光器412出射的蓝色光L1s和从第2半导体激光器413出射的蓝色光L2p通过准直透镜415转换为平行光束，入射到远焦光学元件42。
另外，在本实施方式中，光源411构成为出射s偏振的蓝色光L1s和p偏振的蓝色光L2p。但是，不限于此，光源411也可以构成为出射偏振方向相同的线偏振光的蓝色光。该情况下，将相位差元件配置在光源部41与偏振分离元件44之间即可，该相位差元件使入射的1种线偏振光成为包含s偏振光和p偏振光的光。
[远焦光学元件和均束器光学元件的结构]
远焦光学元件42对从光源部41入射的蓝色光L1s、L2p的光束直径进行调整，使其入射到均束器光学元件43。远焦光学元件42由对所入射的光进行会聚的透镜421、对由透镜421会聚后的光束进行平行化的透镜422构成。
均束器光学元件43对蓝色光L1s、L2p的照度分布进行均匀化。均束器光学元件43由一对多透镜阵列431、432构成。
[偏振分离元件的结构]
通过均束器光学元件43后的蓝色光L1s、L2p入射到偏振分离元件44。
偏振分离元件44是棱镜型的偏振分束器，对所入射的光中包含的s偏振成分和p偏振成分进行分离。具体而言，偏振分离元件44使s偏振成分反射，使p偏振成分透过。此外，偏振分离元件44具有无论是s偏振成分和p偏振成分中的哪个偏振成分、都使规定波长以上的光透过的色分离特性。因此，s偏振的蓝色光L1s被偏振分离元件44反射，入射到第1会聚元件45。另一方面，p偏振的蓝色光L2p透过偏振分离元件44，入射到第1相位差元件47。
[第1会聚元件的结构]
第1会聚元件45将被偏振分离元件44反射的蓝色光L1s会聚在波长转换元件46。此外，第1会聚元件45对从波长转换元件46入射的荧光YL进行平行化。在图3的例子中，第1会聚元件45由2个透镜451、452构成，但是，构成第1会聚元件45的透镜的数量是任意的。
[波长转换元件的结构]
波长转换元件46被所入射的光激励，生成波长比所入射的光长的荧光YL，向第1会聚元件45出射荧光YL。换言之，波长转换元件46对所入射的光的波长进行转换，出射被转换后的光。由波长转换元件46生成的荧光YL例如是峰值波长为500～700nm的光。波长转换元件46具有波长转换部461和散热部462。
省略图示，但是，波长转换部461具有波长转换层和反射层。波长转换层包含荧光体，该荧光体扩散出射对所入射的蓝色光L1s进行波长转换后的作为非偏振光的荧光YL。反射层使从波长转换层入射的荧光YL向第1会聚元件45侧反射。
散热部462设置在波长转换部461中的与光入射侧相反的一侧的面上，释放由波长转换部461产生的热。
从波长转换元件46出射的荧光YL沿着照明光轴Ax2通过第1会聚元件45后，入射到具有上述色分离特性的偏振分离元件44。然后，荧光YL沿着照明光轴Ax2通过偏振分离元件44，入射到第2相位差元件RP。
另外，波长转换元件46也可以构成为通过电机等旋转装置而以与照明光轴Ax2平行的旋转轴为中心旋转。
[第1相位差元件和第2会聚元件的结构]
第1相位差元件47配置在偏振分离元件44与第2会聚元件48之间。第1相位差元件47将通过偏振分离元件44后的蓝色光L2p转换为圆偏振的蓝色光L2c。蓝色光L2c入射到第2会聚元件48。
第2会聚元件48将从第1相位差元件47入射的蓝色光L2c会聚在扩散反射装置49。此外，第2会聚元件48对从扩散反射装置49入射的蓝色光L2c进行平行化。另外，构成第2会聚元件48的透镜的数量能够适当变更。
[扩散反射装置的结构]
扩散反射装置49使所入射的蓝色光L2c以与由波长转换元件46生成并出射的荧光YL相同的扩散角进行扩散反射。作为扩散反射装置49的结构，能够例示具有使所入射的蓝色光L2c进行朗伯特反射的反射板、以及使反射板以与照明光轴Ax1平行的旋转轴为中心旋转的旋转装置的结构。
被扩散反射装置49扩散反射的蓝色光L2c通过第2会聚元件48后，入射到第1相位差元件47。蓝色光L2c在被扩散反射装置49反射时，被转换为旋转方向为相反方向的圆偏振光。因此，经由第2会聚元件48入射到第1相位差元件47的蓝色光L2c不是从偏振分离元件44入射到第1相位差元件47时的p偏振的蓝色光L2p，而被转换为s偏振的蓝色光L2s。然后，蓝色光L2s被偏振分离元件44反射，入射到第2相位差元件RP。即，从偏振分离元件44入射到第2相位差元件RP的光是蓝色光L2s和荧光YL混合后的白色光。
[第2相位差元件的结构]
第2相位差元件RP将从偏振分离元件44入射的白色光转换为s偏振光和p偏振光混合后的光。这样转换后的白色的照明光WL入射到上述均匀化装置31。
[冷却装置的结构]
冷却装置5对构成投影仪1的冷却对象进行冷却。在本实施方式中，冷却对象为光源装置4的光源411。如图2所示，冷却装置5具有环型热管51和冷却风扇55。
冷却风扇55在外装壳体2内的空间中设置在排气口232与环型热管51的后述冷凝部53之间。冷却风扇55在抽吸外装壳体2内的冷却气体并从排气口232排出的过程中，使冷却气体流通到冷凝部53，由此，对冷凝部53进行冷却。另外，冷却风扇55例如也可以构成为，在外装壳体2内的空间中设置在导入口261与后述冷凝部53之间，抽吸外装壳体2外的冷却气体并向冷凝部53送出冷却气体。
环型热管51具有供以减压状态封入从而相状态以较低温度变化的工作流体进行循环的循环流路。详细地讲，环型热管51通过从冷却对象传递的热，使以减压状态在内部封入的工作流体的相状态从液相相变化为气相，在工作流体从液相相变化为气相的部位以外的部位从气相的工作流体夺走热，使工作流体的相状态从气相变化为液相，并且，释放夺走的热，由此，对冷却对象进行冷却。
这种环型热管51具有蒸发部6、蒸气管52、冷凝部53和液管54。另外，蒸发部6的结构在后面详细叙述。
[蒸气管的结构]
蒸气管52是在工作流体的循环流路中以气相的工作流体能够流通的方式连接蒸发部6和冷凝部53的管状部件。蒸气管52使蒸发部6中变化为气相且从蒸发部6流入蒸气管52的气相的工作流体流通到冷凝部53。
[冷凝部的结构]
冷凝部53夺走气相的工作流体的热而进行散热，使工作流体从气相相变化为液相，使液相的工作流体向液管54流出。即，冷凝部53使气相的工作流体冷凝，变化为液相的工作流体。省略图示，但是，冷凝部53具有连接有蒸气管52以及液管54的主体部、以及与主体部连接的散热部。
主体部在内部具有供从蒸气管52流入的气相的工作流体流通且与液管54连通的相变化流路。气相的工作流体在相变化流路中流通的过程中，被主体部接收热而被冷却，由此，变化为液相的工作流体。然后，变化为液相的工作流体进一步在相变化流路内流通，被主体部接收热而被冷却后，向液管54流出。
散热部是释放传递到主体部的工作流体的热的部件，是所谓的散热器。通过冷却风扇55的驱动而使冷却气体在散热部流通，由此，冷凝部53被冷却。
[液管的结构]
液管54是在工作流体的循环流路中以液相的工作流体能够流通的方式连接冷凝部53和蒸发部6的管状部件。液管54使冷凝部53中变化为液相的工作流体流通到蒸发部6。
[蒸发部的结构]
图4是示意地示出蒸发部6的内部构造的剖视图。
如图4所示，蒸发部6是如下的蒸发器：与作为冷却对象的光源411连接，通过从光源411传递的热使液相的工作流体蒸发，变化为气相的工作流体。具体而言，蒸发部6与光源411的支承部件414连接，通过经由支承部件414传递的半导体激光器412、413的热使液相的工作流体蒸发，由此，对半导体激光器412、413进行冷却。
如图4所示，蒸发部6具有壳体61、储液器62、蒸气生成部63A和受热部件66。此外，在后面详细叙述，但是，位于储液器62与受热部件66之间的蒸气生成部63A具有位于储液器62侧的芯部64A和位于受热部件66侧的槽部件65A。
其中，受热部件66与环型热管51的冷却对象即光源411的支承部件414连接，将由半导体激光器412、413产生的热传递到槽部件65A。
另外，在以下的说明中，设蒸发部6中从槽部件65A朝向芯部64A和储液器62的方向为+Y方向。+Y方向相当于第1方向。此外，设与+Y方向正交且槽部件65A具有的多个蒸气流路VC的排列方向为+Z方向。+Z方向相当于第2方向。进而，设与+Y方向以及+Z方向分别正交的方向为+X方向。具体而言，在图4的附图观察中，设+Z方向为沿着排列有后述多个蒸气流路VC的方向从右向左的方向。设+X方向为沿着蒸气流路VC延伸的方向从近前朝向里侧的方向。
此外，省略图示，但是，为了便于说明，设+X方向的相反方向为-X方向，设+Y方向的相反方向为-Y方向，设+Z方向的相反方向为-Z方向。
壳体61是金属制的壳体，具有连接有蒸气管52的蒸气管连接部611、以及位于与蒸气管连接部611相反的一侧且连接有液管54的液管连接部612。除此之外，壳体61具有通过与槽部件65A组合而形成于内部的空间613。
空间613是通过槽部件65A对在蒸气管连接部611侧的端部开口的凹部614进行封闭而形成的。空间613经由蒸气管连接部611与蒸气管52连通，此外，经由液管连接部612与液管54连通。即，壳体61连接有液管54，液相的工作流体从液管54流入内部的空间613。在空间613内配置有芯部64A。
储液器62设置在壳体61内，贮留经由液管54流入空间613的液相的工作流体WF。换言之，储液器62是壳体61内的空间613中贮留未被芯部64A吸引的液相的工作流体WF的部位。
蒸气生成部63A通过从冷却对象即光源411传递的热使从储液器62吸引的液相的工作流体WF变化为气相的工作流体，使气相的工作流体即蒸气流通到蒸气管52。如上所述，蒸气生成部63A具有芯部64A和槽部件65A。
芯部64A是供液相的工作流体WF浸入的平板状的多孔质体，以与储液器62中贮留的液相的工作流体WF接触的方式设置在壳体61内。而且，芯部64A通过毛管力向槽部件65A侧即-Y方向输送储液器62中贮留的液相的工作流体WF。芯部64A例如由铜或不锈钢等金属纤维或者玻璃等材料形成。
槽部件65A设置在壳体61中，与芯部64A连接。槽部件65A通过经由受热部件66从冷却对象即光源411传递的热使由芯部64A输送的液相的工作流体WF蒸发。这样，从光源411夺走的热被用于从液相到气相的工作流体WF的相变化，由此促进热传递，光源411被冷却。
槽部件65A具有供从液相变化为气相的工作流体流通的多个蒸气流路VC。多个蒸气流路VC与蒸气管52连通，从液相变化为气相的工作流体穿过多个蒸气流路VC向蒸气管52流出。
图5是示出槽部件65A的立体图，图6是放大示出槽部件65A的一部分的立体图。另外，在图5中，考虑到观察容易度，仅对构成槽部件65A的第1金属板71、第2金属板72和间隙GP1的一部分标注标号。
如图5和图6所示，槽部件65A具有多个第1金属板71和多个第2金属板72，构成为沿着+Z方向交替重合多个第1金属板71和第2金属板72。即，+Z方向(第2方向)是构成槽部件65A的多个第1金属板71和第2金属板72相互重合的方向。第1金属板71和第2金属板72是金属制的薄板，通过扩散接合等而相互接合。
第1金属板71中的+X方向的尺寸与第2金属板72中的+X方向的尺寸大致相同。即，第1金属板71的宽度尺寸和第2金属板72的宽度尺寸大致相同。此外，第1金属板71中的+Z方向的尺寸与第2金属板72中的+Z方向的尺寸大致相同。即，第1金属板71的厚度尺寸和第2金属板72的厚度尺寸大致相同。
另一方面，第1金属板71中的+Y方向的尺寸比第2金属板72中的+Y方向的尺寸大。即，第1金属板71的高度尺寸比第2金属板72的高度尺寸大。
第1金属板71和第2金属板72以±X方向的端部分别大致一致且-Y方向的端部大致一致的方式接合。因此，各第1金属板71中的+Y方向的端部比各第2金属板72中的+Y方向的端部更靠+Y方向。换言之，各第2金属板72中的+Y方向的端部比各第1金属板71中的+Y方向的端部更靠-Y方向。
图7是示出槽部件65A的剖视图。详细叙述，图7是示出沿着YZ平面的槽部件65A的截面的图。
如图7所示，第1金属板71与芯部64A连接。在本实施方式中，第1金属板71的端部与芯部64A接触。此外，第2金属板72以比第1金属板71离芯部64A远的方式配置。这样，在组合第1金属板71和第2金属板72而构成的槽部件65A中，如图6和图7所示，在夹着1个第2金属板72的相邻的一对第1金属板71之间，在相对于第2金属板72的+Y方向的部位形成有沿着+X方向延伸的间隙GP1。如图7所示，间隙GP1在配置成各第1金属板71中的+Y方向的端部与芯部64A中的-Y方向的端面641接触时，成为供由芯部64A或槽部件65A产生的蒸气沿着+X方向流通的蒸气流路VC。即，各蒸气流路VC在槽部件65A的芯部64A侧形成于1个第1金属板71和与这1个第1金属板71相邻的另一个第1金属板71之间。
另外，通过调整第2金属板72中的+Y方向的尺寸和+Z方向的尺寸，能够设定间隙GP1的沿着YZ平面的截面的面积、即蒸气流路VC中与蒸气的流通方向正交的截面的面积。
如图5和图6所示，第1金属板71中的-Y方向的端部和第2金属板72中的-Y方向的端部大致一致。因此，从第1金属板71中的+Y方向的尺寸减去第2金属板72中的+Y方向的尺寸而得到的值成为间隙GP1中的+Y方向的尺寸a。
此外，间隙GP1中的+Z方向的尺寸b与第2金属板72中的+Z方向的尺寸即第2金属板72的厚度尺寸一致。
在本实施方式中，间隙GP1中的+Y方向的尺寸a比间隙GP1中的+Z方向的尺寸b大。即，在沿着与+Y方向(第1方向)以及+Z方向(第2方向)垂直的+X方向观察槽部件65A的情况下的多个蒸气流路VC各自的截面中，沿着+Y方向的尺寸a比沿着+Z方向的尺寸b大。
这样，通过调整第2金属板72中的+Y方向的尺寸和+Z方向的尺寸，能够调整矩形的间隙GP1的+Z方向的尺寸b相对于+Y方向的尺寸a的比率(纵横比)，因此，能够调整间隙GP1的沿着YZ平面的截面的面积、乃至各蒸气流路VC中与蒸气流通的方向正交的截面面积。由此，通过增大纵横比，能够增大蒸气流路VC的流路截面面积，乃至能够降低蒸气排出时产生的压力损失。
另一方面，通过增大纵横比，能够减小第1金属板71的排列间距。由此，能够增加槽部件65A整体中第1金属板71中的+Y方向的端部的每单位面积的数量、即与芯部64A接触而产生蒸气的蒸气产生部位的每单位面积的数量，因此，能够增加蒸气的产生量。
因此，通过增加蒸发部6的蒸气的产生量并降低蒸气的排出时的压力损失，能够促进来自冷却对象即光源411的受热，能够提高光源411的冷却效率。
另外，在本实施方式中，沿着YZ平面的蒸气流路VC的截面中的+Z方向的尺寸b相对于+Y方向的尺寸a的比率、即间隙GP1的纵横比(“纵/横”的值)为大致19。但是，不限于此，例如，如果为2以上，则能够良好地排出所产生的蒸气。
另外，在本实施方式中，与芯部64A连接的第1金属板71的导热率比第2金属板72的导热率高。因此，能够容易地将经由受热部件66从光源411传递到第1金属板71的热传递到输送液相的工作流体WF的芯部64A。由此，能够通过芯部64A或第1金属板71促进从液相到气相的工作流体的相变化。
除此之外，如果通过轻量的金属形成第2金属板72，则能够使槽部件65A轻量化，此外，如果通过低成本的金属形成，则能够降低槽部件65A的制造成本。
但是，不限于此，第1金属板71的材料和第2金属板72的材料也可以相同。
[第1实施方式的效果]
以上说明的本实施方式的投影仪1具有以下的效果。
投影仪1具有：光源装置4，其具有出射光的光源411；光调制装置343(343B、343G、343R)，其对从光源装置4出射的光进行调制；投射光学装置36，其投射由光调制装置343调制后的光；以及冷却装置5。冷却装置5的冷却对象是光源411。
而且，冷却装置5具有环型热管51。环型热管51具有：蒸发部6，其通过从冷却对象即光源411传递的热使液相的工作流体蒸发而变化为气相的工作流体；冷凝部53，其使气相的工作流体冷凝而变化为液相的工作流体；蒸气管52，其使蒸发部6中变化为气相的工作流体流通到冷凝部53；以及液管54，其使冷凝部53中变化为液相的工作流体流通到蒸发部6。蒸发部6具有：壳体61，其与液管54连接，液相的工作流体流入该壳体61的内部；芯部64A，其设置在壳体61内，液相的工作流体浸入该芯部64A，该芯部64A输送液相的工作流体；储液器62，其设置在壳体61内，贮留流入壳体61中的液相的工作流体；以及槽部件65A，其具有供从液相变化为气相的工作流体流通的多个蒸气流路VC，与芯部64A连接。槽部件65A构成为沿着与从槽部件65A朝向储液器62的第1方向即+Y方向垂直的第2方向即+Z方向交替重叠多个与芯部64A连接的第1金属板71和以比第1金属板71离芯部64A远的方式配置的第2金属板72。多个蒸气流路VC在槽部件65A的芯部64A侧形成于第1金属板71和与该第1金属板71相邻的另一个第1金属板71之间。而且，在沿着与+Y方向以及+Z方向垂直的+X方向观察槽部件65A的情况下的多个蒸气流路VC各自的截面中，沿着+Y方向的尺寸a比沿着+Z方向的尺寸b大。
根据这种结构，通过调整第2金属板72中的沿着+Y方向的尺寸和沿着+Z方向的尺寸、即第2金属板72的高度尺寸和厚度尺寸，能够增大蒸气流路VC的流路截面面积中的纵横比(纵/横之比)。由此，能够增大蒸气流路VC的流路截面面积，并且，能够减小与芯部64A接触的第1金属板71的排列间距。因此，能够降低在蒸气流路VC中流通的气相的工作流体的排出时的压力损失，并且，能够增大槽部件65A中的从液相到气相的工作流体的相变化部位(蒸气产生部位)的每单位面积的数量。因此，能够迅速排出从液相变化为气相的工作流体，能够促进从液相到气相的工作流体的相变化，因此，能够提高冷却对象即光源411的冷却效率。
第1金属板71的导热率比第2金属板72的导热率高。
由此，能够容易地将经由受热部件66从光源411传递到第1金属板71的热传递到输送液相的工作流体WF的芯部64A。由此，能够通过芯部64A或第1金属板71促进从液相到气相的工作流体的相变化。
[第2实施方式]
接着，对本发明的第2实施方式进行说明。
本实施方式的投影仪具有与第1实施方式所示的投影仪1相同的结构，但是，不同之处在于具有芯部和槽部件被一体化的蒸气生成部。另外，在以下的说明中，对与已经说明的部分相同或大致相同的部分标注相同标号并省略说明。
图8是示出本实施方式的投影仪具有的蒸气生成部63B的立体图。
本实施方式的投影仪除了代替蒸气生成部63A而具有蒸气生成部63B以外，具有与投影仪1相同的结构和功能。即，本实施方式的冷却装置的蒸发部6具有壳体61、储液器62、受热部件66以及图8所示的蒸气生成部63B。
与蒸气生成部63A同样，蒸气生成部63B具有芯部64B和槽部件65B，但是，在本实施方式中的蒸气生成部63B中，芯部64B和槽部件65B被一体化。具体而言，蒸气生成部63B具有多个第1金属板81、多个第2金属板82和多个第3金属板83，通过这些金属板81～83一体地构成芯部64B和槽部件65B。
图9是说明第1金属板81、第2金属板82和多个第3金属板83的配置位置的图。在图9中，考虑到观察容易度，仅对多个第3金属板83中的1个第3金属板83标注标号。
与第1实施方式中的第1金属板71、第2金属板72同样，第1金属板81、第2金属板82和第3金属板83由金属制的薄板构成。具体而言，第1金属板81和第2金属板82分别是沿着XY平面配置的平板的金属板，第3金属板83是向+Y方向延伸且被沿着+X方向排列的间隙GP2分断的平板的金属板。
第1金属板81、第2金属板82和第3金属板83的+Z方向的尺寸分别相同。换言之，第1金属板81、第2金属板82和第3金属板83的厚度尺寸分别大致相同。此外，第1金属板81和第2金属板82的+X方向的尺寸分别相同。换言之，第1金属板81和第2金属板82的宽度尺寸分别相同。此外，如图9所示，1个第3金属板83的+X方向的尺寸远远小于第1金属板81的+X方向的尺寸和第2金属板82的+X方向的尺寸。
另一方面，第1金属板81中的+Y方向的尺寸比第2金属板82中的+Y方向的尺寸和第3金属板83中的+Y方向的尺寸大。换言之，第1金属板81的高度尺寸比第2金属板82的高度尺寸和第3金属板83的高度尺寸大。
第2金属板82根据第1金属板81中的-Y方向的部位进行配置。详细叙述，以第1金属板81中的±X方向的2个端部和第2金属板82中的±X方向的2个端部大致一致、第1金属板81中的-Y方向的端部和第2金属板82中的-Y方向的端部大致一致的方式，沿着+Z方向相互重合多个第1金属板81和第2金属板82。
多个第3金属板83根据1个第1金属板81中的+Y方向的部位进行配置。换言之，如图8和图9所示，多个第3金属板83相对于1个第2金属板82配置在+Y方向侧。详细叙述时，1个第1金属板81和根据这1个第1金属板81沿着+X方向排列的多个第3金属板83配置成这1个第1金属板81中的+X方向的端部和多个第3金属板83中的配置在+X方向的最端部侧的第3金属板83的端部大致一致，并且这1个第1金属板81中的-X方向的端部和多个第3金属板83中的配置在-X方向的最端部侧的第3金属板83的端部大致一致，沿着+Z方向相互重合多个1个第1金属板81和多个第3金属板。进而，以第1金属板81中的+Y方向的端部和多个第3金属板83中的+Y方向的端部大致一致的方式，沿着+Z方向多次相互重合1个第1金属板81和多个第3金属板83。
另外，第1金属板81的导热率比第2金属板82的导热率和第3金属板83的导热率高。
这样，沿着+Z方向交替重合第1金属板81和第2金属板82，并且沿着+Z方向交替重合第1金属板81和多个第3金属板83，由此，构成蒸气生成部63B。
另外，芯部64B由多个第3金属板83和在第1金属板81中与多个第3金属板83重叠的部位构成。即，芯部64B构成为沿着+Z方向交替重叠多个第1金属板81和相对于第2金属板82配置在+Y方向侧的多个第3金属板83。
此外，槽部件65B由第2金属板82和在第1金属板81中与第2金属板82重叠的部位、以及间隙GP1和在第1金属板81中与间隙GP1重叠的部位构成。即，槽部件65B是蒸气生成部63B中相对于芯部64B位于-Y方向的部位。
图10是示出第2金属板82和第3金属板83的配置位置处的沿着XY平面的蒸气生成部63B的截面的图。
如图10所示，在1个第3金属板83和与这1个第3金属板83相邻的另一个第3金属板83之间设置有使相对于多个第3金属板83位于+Y方向的空间和相对于多个第3金属板83位于-Y方向的空间沿着+Y方向连通的间隙GP2。即，在沿着+X方向排列的多个第3金属板83之间设置有间隙GP2。换言之，在相互相邻的第1金属板81之间，通过多个第3金属板83设置有多个间隙GP2。多个间隙GP2在蒸气生成部63B中使构成蒸气流路VC的间隙GP1和储液器62连通，构成利用毛管力向-Y方向输送储液器62中贮留的液相的工作流体的多个输送流路RF。在+X方向上排列有多个间隙GP2，因此，蒸气生成部63B具有多个输送流路RF。即，多个第3金属板83通过与第1金属板81组合而形成多个输送流路RF。
多个第3金属板83和第2金属板82在+Y方向上分开配置。即，第2金属板82以在第2金属板82与多个第3金属板83之间形成上述间隙GP1的方式，相对于多个第3金属板83隔开规定间隔位于-Y方向。
在本实施方式中，间隙GP1中的+Y方向的尺寸为从第1金属板81中的+Y方向的尺寸减去第2金属板82中的+Y方向的尺寸和第3金属板83中的+Y方向的尺寸而得到的值。换言之，通过+Y方向中的第2金属板82与多个第3金属板83的间隔量设定间隙GP1中的+Y方向的尺寸。这样，通过调整第1金属板81、第2金属板82和第3金属板83的+Y方向中的尺寸，对间隙GP1中的+Y方向的尺寸进行调整。
此外，通过第2金属板82中的+Z方向的尺寸和第3金属板83中的+Z方向的尺寸中的较大一方的尺寸规定间隙GP1中的+Z方向的尺寸。另外，在本实施方式中，第2金属板82中的+Z方向的尺寸和第3金属板83中的+Z方向的尺寸大致相同。这是由于第2金属板82和第3金属板83由相同的第2基板8B(参照图11)形成。
而且，在本实施方式中，间隙GP1中的+Y方向的尺寸比第2金属板82的+Z方向的尺寸和第3金属板83的+Z方向的尺寸大。因此，在由间隙GP1构成的蒸气流路VC的沿着YZ平面的截面的面积、即与蒸气流路VC中流通的蒸气的流通方向正交的截面的面积中，+Y方向的尺寸比+Z方向的尺寸大。
[蒸气生成部的制造工序]
图11是说明蒸气生成部63B的制造工序中的一个工序的图。另外，在图11中，考虑到观察容易度，仅对设置在多个突出部8B2之间的间隙8B3的一部分标注标号。
下面，对蒸气生成部63B的制造工序的一例进行说明。
如上所述，通过扩散接合等将第2金属板82以及第3金属板83与第1金属板81接合，使多个金属板81～83相互重合，从而构成蒸气生成部63B。如图11所示，切断与形成第1金属板81的第1基板8A重合的第2基板8B，由此，形成第2金属板82和第3金属板83。另外，虽然省略详细图示，但是，第1基板8A是金属制的薄板。
第2基板8B是金属制的薄板。
第2基板8B在中央具有+X方向的尺寸比+Y方向的尺寸长的长方形状的开口部8B1。除此之外，第2基板8B具有相对于开口部8B1位于+Y方向、且向-Y方向突出的梳齿状的多个突出部8B2。即，沿着+X方向排列的多个突出部8B2从第2基板8B中的+Y方向的端部朝向开口部8B1向-Y方向突出。换言之，多个突出部8B2在+Y方向的部位相互连接，形成于多个突出部8B2之间的间隙8B3与开口部8B1连通。
沿着图11的虚线所示的切断线LA、LB、LC切断沿着+Z方向交替重合多个第1基板8A和第2基板8B并进行接合而得到的制造中间体PR，由此，制造蒸气生成部63B。
切断线LA、LB是相对于多个突出部8B2在+X方向和-X方向的位置沿着+Y方向设定的切断线。此外，切断线LC是沿着+X方向分别切断多个突出部8B2的切断线。
这样，通过切断线LA、LB、LC切断制造中间体PR，由此，通过开口部8B1形成间隙GP1，此外，通过突出部8B2之间的间隙8B3形成间隙GP2。然后，如上所述，在制造出的蒸气生成部63B中，通过各间隙GP1形成蒸气流路VC，通过各间隙GP2形成输送流路RF。
[第2实施方式的效果]
根据以上说明的本实施方式的投影仪，除了能够发挥与第1实施方式所示的投影仪1相同的效果以外，还能够发挥以下的效果。
由第1金属板81、第2金属板82和第3金属板83构成的蒸气生成部63B具有芯部64B和槽部件65B一体化的结构。
由此，能够成为在芯部64B直接连接槽部件65B的结构，能够容易地将经由受热部件66传递的光源411的热传递到供液相的工作流体流通的部位。因此，能够促进从液相到气相的工作流体的相变化，因此，能够提高冷却对象即光源411的冷却效率。
此外，芯部64B和槽部件65B一体化，由此，能够简化蒸发部6的结构。
芯部64B构成为沿着第2方向即+Z方向交替重叠多个第1金属板81和相对于第2金属板82配置在第1方向即+Y方向的第3金属板83。第3金属板83通过与第1金属板81组合，形成向与第1方向相反的方向即-Y方向输送储液器62中贮留的液相的工作流体WF的输送流路RF。
由此，通过形成于第1金属板81之间的输送流路RF，能够利用毛管力向槽部件65B侧输送储液器62中贮留的液相的工作流体WF，而且，能够简化与槽部件65B一体化的芯部64B的结构。因此，能够简化蒸发部6、乃至冷却装置5的结构。
[第3实施方式]
接着，对本发明的第3实施方式进行说明。
本实施方式的投影仪具有与第2实施方式所示的投影仪1相同的结构，但是，与第2实施方式所示的投影仪的不同之处在于，芯部和槽部件一体化的蒸气生成部的输送流路的形状不同，而且，蒸气生成部由更多种类的金属板构成。另外，在以下的说明中，对与已经说明的部分相同或大致相同的部分标注相同标号并省略说明。
图12是示出本实施方式的投影仪具有的蒸气生成部63C的立体图。
本实施方式的投影仪除了代替蒸气生成部63A而具有蒸气生成部63C以外，具有与投影仪1相同的结构和功能。即，本实施方式的冷却装置的蒸发部6具有壳体61、储液器62和受热部件66以及图12所示的蒸气生成部63C。
与蒸气生成部63B同样，蒸气生成部63C具有相互一体化的芯部64C和槽部件65C。换言之，芯部64C和槽部件65C被一体化。芯部64C在蒸气生成部63C中位于+Y方向，槽部件65C在蒸气生成部63C中位于-Y方向。
这种蒸气生成部63C具有分别为金属板的第1板部件91、第2板部件92、第3板部件93、第4板部件94、第5板部件95和第6板部件96。而且，蒸气生成部63C具有如下构造：将多个相对于第1板部件91在+Z方向上重叠有第2板部件92和第3板部件93、相对于第2板部件92和第3板部件93在+Z方向上重叠有第4板部件94、相对于第4板部件94在+Z方向上重叠有第5板部件95和第6板部件96的结构进一步沿着+Z方向重合。
在第1板部件91～第6板部件96中，+X方向的尺寸分别大致相同，+Z方向的尺寸分别大致相同。换言之，第1板部件91～第6板部件96的宽度尺寸分别大致相同，第1板部件91～第6板部件96的厚度尺寸分别大致相同。
另一方面，第1板部件91和第4板部件94中的+Y方向的尺寸大致相同，第2板部件92和第5板部件95中的+Y方向的尺寸大致相同，第3板部件93和第6板部件96中的+Y方向的尺寸大致相同。而且，第1板部件91和第4板部件94中的+Y方向的尺寸比第2板部件92和第5板部件95中的+Y方向的尺寸大，第2板部件92和第5板部件95中的+Y方向的尺寸比第3板部件93和第6板部件96中的+Y方向的尺寸大。
而且，第2板部件92在第1板部件91与相对于第1板部件91位于+Z方向的第4板部件94之间，以使-Y方向的端缘与第1板部件91以及第4板部件94一致的方式配置在第1板部件91和第4板部件94中的-Y方向的位置。
第3板部件93在第1板部件91与第4板部件94之间，以使+Y方向的端缘与第1板部件91以及第4板部件94一致的方式配置在第1板部件91和第4板部件94中的+Y方向的位置。
第5板部件95在第4板部件94与相对于第4板部件94位于+Z方向的第1板部件91之间，以使-Y方向的端缘与第4板部件94以及第1板部件91一致的方式配置在第4板部件94和第1板部件91中的-Y方向的位置。
第6板部件96在第4板部件94与第1板部件91之间，以使+Y方向的端缘与第4板部件94以及第1板部件91一致的方式配置在第4板部件94和第1板部件91中的+Y方向的位置。
第1板部件91和第4板部件94分别相当于第1金属板，第2板部件92和第5板部件95分别相当于第2金属板，第3板部件93和第6板部件96分别相当于第3金属板。而且，第1板部件91的导热率和第4板部件94的导热率比第2板部件92、第3板部件93、第5板部件95和第6板部件96各自的导热率高。
图13是构成蒸气生成部63C的蒸气生成单元UT的分解立体图。此外，图14是从+Z方向观察蒸气生成单元UT的俯视图，详细而言，是示出蒸气生成单元UT中设定的切断线LD、LE的位置的图。
沿着+Z方向重合多个图13所示的蒸气生成单元UT后，在图14所示的切断线LD、LE处进行切断，由此，构成蒸气生成部63C。切断线LD、LE是沿着+Y方向的切断线，切断线LD在蒸气生成单元UT中设定在+X方向，切断线LE在蒸气生成单元UT中设定在-X方向。
蒸气生成单元UT具有第1基板9A、第2基板9B、第3基板9C和第4基板9D。而且，沿着+Z方向重合第1基板9A、第2基板9B、第3基板9C和第4基板9D，分别通过扩散接合等进行接合，构成蒸气生成单元UT。
通过在切断线LD、LE处切断蒸气生成单元UT，第1基板9A构成第1板部件91，第2基板9B构成第2板部件92和第3板部件93。同样，第3基板9C构成第4板部件94，第4基板9D构成第5板部件95和第6板部件96。
如图13所示，从+Z方向观察时，第1基板9A、第2基板9B、第3基板9C和第4基板9D分别是形成为沿着+X方向的尺寸比沿着+Y方向的尺寸长的大致长方形状的金属制薄板。
各基板9A～9D的沿着+Y方向的尺寸分别大致相同。各基板9A～9D的沿着+X方向的尺寸分别大致相同，各基板9A～9D的沿着+Z方向的尺寸分别大致相同。换言之，高度尺寸、宽度尺寸以及厚度尺寸在各基板9A～9D之间大致相同。
第1基板9A具有在蒸气生成部63C中形成向-Y方向输送液相的工作流体的输送流路RF的输送流路形成部9A1。输送流路形成部9A1具有多个开口部9A2、多个开口部9A3和多个开口部9A4。
多个开口部9A2在第1基板9A中的+Y方向的端缘沿着+X方向等间隔地形成。从+Z方向观察时，多个开口部9A2是向+Y方向开口的凹部，沿着+Z方向贯通第1基板9A。
多个开口部9A3相对于多个开口部9A2隔开规定间隔位于-Y方向。多个开口部9A3沿着+X方向等间隔地形成，沿着+Z方向贯通第1基板9A。
多个开口部9A4相对于多个开口部9A3隔开规定间隔位于-Y方向。多个开口部9A4沿着+X方向等间隔地形成，沿着+Z方向贯通第1基板9A。
而且，1个开口部9A2、1个开口部9A3和1个开口部9A4沿着+Y方向排列。
从+Z方向观察时，各开口部9A3、9A4形成为具有沿着+X方向的第1边缘和沿着+Y方向的第2边缘的十字形状。
此外，从+Z方向观察时，各开口部9A2形成为与开口部9A3相同尺寸的十字形状的下侧一半的形状。即，各开口部9A2具有沿着+X方向的第1边缘和沿着+Y方向的第2边缘，第2边缘从第1边缘中的+X方向的中央向-Y方向延伸。
第2基板9B具有形成输送流路RF的输送流路形成部9B1、以及相对于输送流路形成部9B1位于-Y方向且形成蒸气流路VC的蒸气流路形成部9B5。
输送流路形成部9B1具有分别形成为与多个开口部9A2相同形状和尺寸的多个开口部9B2、以及分别形成为与多个开口部9A3相同形状和尺寸的多个开口部9B3和多个开口部9B4。
多个开口部9B2在第2基板9B中的+Y方向的端缘沿着+X方向等间隔地形成。从+Z方向观察时，多个开口部9B2是向+Y方向开口的凹部，沿着+Z方向贯通第2基板9B。
多个开口部9B3相对于多个开口部9B2隔开规定间隔位于-Y方向。多个开口部9B3沿着+X方向等间隔地形成，沿着+Z方向贯通第2基板9B。
多个开口部9B4相对于多个开口部9B3隔开规定间隔位于-Y方向。多个开口部9B4沿着+X方向等间隔地形成，沿着+Z方向贯通第2基板9B。
而且，1个开口部9B2、1个开口部9B3和1个开口部9B4沿着+Y方向排列。
从第2基板9B的法线方向即+Z方向观察时，蒸气流路形成部9B5是沿着+X方向的尺寸比沿着+Y方向的尺寸长的大致长方形状的开口部。形成蒸气流路形成部9B5的+Y方向的端缘与各开口部9B4中的-Y方向的端部连接。即，蒸气流路形成部9B5与构成输送流路形成部9B1的各开口部9B4连通。
图14所示的切断线LD沿着在蒸气流路形成部9B5中沿+Y方向的一对端缘中的+X方向的端缘设定，切断线LE沿着-X方向的端缘设定。因此，通过在切断线LD、LE处切断蒸气生成单元UT，第2基板9B被分割成相对于蒸气流路形成部9B5为+Y方向的区域9BA和相对于蒸气流路形成部9B5为-Y方向侧的区域9BB。
而且，在蒸气生成部63C中，区域9BB构成第2板部件92，区域9BA构成第3板部件93。即，第3板部件93具有输送流路形成部9B1，第2板部件92和第3板部件93在+Y方向上分开，与第1板部件91重合。
另外，蒸气流路形成部9B5是通过在切断线LD、LE处切断蒸气生成单元UT而形成向+X方向延伸的蒸气流路VC的部位。蒸气流路形成部9B5中的+Y方向的尺寸比第2基板9B中的+Z方向的尺寸大。因此，在沿着+X方向观察由蒸气流路形成部9B5构成的蒸气流路VC中的沿着YZ平面的截面、即与蒸气在蒸气流路VC中流通的方向正交的截面的情况下，沿着+Y方向的尺寸比沿着+Z方向的尺寸大。
第3基板9C具有形成输送流路RF的输送流路形成部9C1。
输送流路形成部9C1具有分别形成为与多个开口部9A3相同形状以及尺寸的多个开口部9C2和多个开口部9C3。
多个开口部9C2从第3基板9C中的+Y方向的端缘隔开规定间隔位于-Y方向。多个开口部9C2沿着+X方向等间隔地形成，沿着+Z方向贯通第3基板9C。
多个开口部9C3相对于多个开口部9C2隔开规定间隔位于-Y方向。多个开口部9C3沿着+X方向等间隔地形成，沿着+Z方向贯通第3基板9C。
而且，1个开口部9C2和1个开口部9C3沿着+Y方向排列。
第4基板9D具有形成输送流路RF的输送流路形成部9D1、以及相对于输送流路形成部9D1位于-Y方向且构成蒸气流路VC的蒸气流路形成部9D5。
输送流路形成部9D1具有分别形成为与多个开口部9A3相同形状以及尺寸的多个开口部9D2和多个开口部9D3、以及多个开口部9D4。
多个开口部9D2从第4基板9D中的+Y方向的端缘隔开规定间隔位于-Y方向。多个开口部9D2沿着+X方向等间隔地形成，沿着+Z方向贯通第4基板9D。
多个开口部9D3相对于多个开口部9D2隔开规定间隔位于-Y方向。多个开口部9D3沿着+X方向等间隔地形成，沿着+Z方向贯通第4基板9D。
多个开口部9D4相对于多个开口部9D3隔开规定间隔位于-Y方向，形成为沿着+Y方向的直线状。多个开口部9D4沿着+X方向等间隔地形成，沿着+Z方向贯通第4基板9D，而且还与蒸气流路形成部9D5连通。
而且，1个开口部9D2、1个开口部9D3和1个开口部9D4沿着+Y方向排列。
从第4基板9D的法线方向即+Z方向观察时，蒸气流路形成部9D5是沿着+X方向的尺寸比沿着+Y方向的尺寸长的大致长方形状的开口部。形成蒸气流路形成部9D5的+Y方向的端缘与各开口部9D4中的-Y方向的端部连接。即，蒸气流路形成部9D5与构成输送流路形成部9D1的各开口部9D4连通。
而且，上述切断线LD沿着在蒸气流路形成部9D5中沿+Y方向的一对端缘中的+X方向的端缘设定，上述切断线LE沿着-X方向的端缘设定。因此，通过在切断线LD、LE处切断蒸气生成单元UT，第4基板9D被分割成相对于蒸气流路形成部9D5为+Y方向的区域9DA和相对于蒸气流路形成部9D5为-Y方向的区域9DB。
在蒸气生成部63C中，区域9DB构成第5板部件95，区域9DA构成第6板部件96。即，第6板部件96具有输送流路形成部9D1，第5板部件95和第6板部件96在+Y方向上分开且与第4板部件94重合。
另外，与蒸气流路形成部9B5同样，蒸气流路形成部9D5是通过在切断线LD、LE处切断蒸气生成单元UT而形成向+X方向延伸的蒸气流路VC的部位。蒸气流路形成部9D5中的+Y方向的尺寸比第4基板9D中的+Z方向的尺寸大。因此，在沿着+X方向观察由蒸气流路形成部9D5构成的蒸气流路VC中的沿着YZ平面的截面、即与蒸气在蒸气流路VC中流通的方向正交的截面的情况下，沿着+Y方向的尺寸比沿着+Z方向的尺寸大。
[输送流路形成部的配置]
图15是从第2板部件92和第3板部件93侧观察相互接合的第1板部件91～第3板部件93的俯视图。图16是从第4板部件94侧观察第2板部件92～第4板部件94的俯视图。图17是从第5板部件95和第6板部件96侧观察第4板部件94～第6板部件96的俯视图。图18是从第1板部件91侧观察第5板部件95、第6板部件96和第1板部件91的俯视图。另外，在图15～图18中，通过虚线示出位于-Z方向的板部件的结构中的从+Z方向观察时无法看到的结构。
在蒸气生成部63C中，如图15和图18所示，由第1基板9A构成的第1板部件91具有输送流路形成部9A1。如图15和图16所示，由第2基板9B构成的第3板部件93具有输送流路形成部9B1。如图16和图17所示，由第3基板9C构成的第4板部件94具有输送流路形成部9C1。如图17和图18所示，由第4基板9D构成的第6板部件96具有输送流路形成部9D1。
如图15所示，从+Z方向观察时，多个开口部9B2分别配置成与多个开口部9A2中的在+X方向上相邻的2个开口部9A2各自的一部分重叠。从+Z方向观察时，多个开口部9B3分别配置成与多个开口部9A3中的在+X方向上相邻的2个开口部9A3各自的一部分重叠。此外，从+Z方向观察时，多个开口部9B4分别配置成与多个开口部9A4中的在+X方向上相邻的2个开口部9A4各自的一部分重叠。
如图16所示，从+Z方向观察时，多个开口部9C2分别配置成与沿着+Y方向排列的开口部9B2以及开口部9B3各自的一部分重叠。同样，从+Z方向观察时，多个开口部9C3分别配置成与沿着+Y方向排列的开口部9B3以及开口部9B4各自的一部分重叠。
如图17所示，从+Z方向观察时，多个开口部9D2分别配置成与多个开口部9C2中的在+X方向上相邻的2个开口部9C2各自的一部分重叠。从+Z方向观察时，多个开口部9D3分别配置成与多个开口部9C3中的在+X方向上相邻的2个开口部9C3各自的一部分重叠。
如图18所示，从+Z方向观察时，多个开口部9A2分别配置成与多个开口部9D2各自的一部分重叠。从+Z方向观察时，多个开口部9A3分别配置成与沿着+Y方向排列的开口部9D2以及开口部9D3各自的一部分重叠。此外，从+Z方向观察时，多个开口部9A4分别配置成与沿着+Y方向排列的开口部9D3以及开口部9D4各自的一部分重叠。
这样，沿着+Z方向重合第1板部件91～第4板部件94而构成的芯部64C具有通过相互重合输送流路形成部9A1、9B1、9C1、9D1而构成的、从储液器62向-Y方向输送液相的工作流体WF的输送流路RF。
[在输送流路中流通的液相的工作流体的流动]
下面，使用图15～图18对在芯部64C具有的输送流路RF内流通的液相的工作流体WF的流通路径进行说明。
如图15所示，在芯部64C中向+Y方向开口的开口部9B2内，通过毛管力引入储液器62中贮留的液相的工作流体WF。
如图16所示，流入开口部9B2内的液相的工作流体WF流入开口部9C2内。流入开口部9C2内的液相的工作流体WF的一部分流入开口部9B3内，如图17所示，另一部分流入开口部9D2内。
此外，如图18所示，在芯部64C中向+Y方向开口的开口部9A2内，通过毛管力引入储液器62中贮留的液相的工作流体WF。而且，流入开口部9A2内的液相的工作流体WF流入开口部9D2内。
如图18所示，流入开口部9D2内的液相的工作流体WF流入开口部9A3内。流入开口部9A3内的液相的工作流体WF的一部分流入开口部9D3内，如图15所示，另一部分流入开口部9B3内。
如图16所示，流入开口部9B3内的液相的工作流体WF流入开口部9C3内。流入开口部9C3内的液相的工作流体WF的一部分流入开口部9B4内，如图17所示，另一部分流入开口部9D3内。
如图18所示，流入开口部9D3内的液相的工作流体WF流入开口部9A4内。如图17和图18所示，流入开口部9A4内的液相的工作流体WF的一部分经由开口部9D4向由蒸气流路形成部9D5形成的蒸气流路VC侧流通。
如图15和图16所示，流入开口部9B4内的液相的工作流体WF经由开口部9B4向由蒸气流路形成部9B5形成的蒸气流路VC侧流通。
这样，液相的工作流体WF通过毛管力在芯部64C具有的输送流路RF内流通，由此，从储液器62向槽部件65C侧输送。
[第3实施方式的效果]
根据以上说明的本实施方式的投影仪，除了能够发挥与第2实施方式所示的投影仪相同的效果以外，还能够发挥以下的效果。
即，芯部64C构成为沿着第2方向即+Z方向交替重叠多个分别作为第1金属板的第1板部件91和第4板部件94、以及根据第1板部件91和第4板部件94中的储液器62侧的部位配置的作为第3金属板的第3板部件93和第6板部件96。第3板部件93以及第6板部件96通过与第1板部件91以及第4板部件94组合，形成向与第1方向相反的方向即-Y方向输送储液器62中贮留的液相的工作流体WF的输送流路RF。
由此，通过设置于芯部64C的输送流路RF，能够通过毛管力向槽部件65C侧可靠地输送储液器62中贮留的液相的工作流体WF，除此之外，能够简化与槽部件65C一体化的芯部64C的结构。因此，能够简化蒸发部6、乃至冷却装置5的结构。
[实施方式的变形]
本发明不限于上述各实施方式，能够实现本发明目的的范围内的变形、改良等包含在本发明中。
在上述第1实施方式中，第1金属板71的导热率比第2金属板72的导热率高。在上述第2实施方式中，第1金属板81的导热率比第2金属板82的导热率和第3金属板83的导热率高。在上述第3实施方式中，分别作为第1金属板的第1板部件91的导热率和第4板部件94的导热率比其他板部件92、93、95、96各自的导热率高。但是，不限于此，各金属板彼此的导热率以及各板部件彼此的导热率也可以相同，第1金属板的导热率也可以比其他金属板的导热率低。
在上述第1实施方式中，第1金属板71中的+Y方向的尺寸比第2金属板72中的+Y方向的尺寸大。但是，不限于此，只要相互重合的第1金属板71和第2金属板72中的第1金属板71与芯部64A连接、第2金属板72从芯部64A分开地配置，则第1金属板71中的+Y方向的尺寸可以与第2金属板72中的+Y方向的尺寸相同，也可以比第2金属板72中的+Y方向的尺寸小。换言之，第1金属板71中的-Y方向的端部和第2金属板72中的-Y方向的端部可以不大致一致。
在上述第1实施方式中，第1金属板71中的+Z方向的尺寸(厚度尺寸)和第2金属板72中的+Z方向的尺寸大致相同。在上述第2实施方式中，第1金属板81、第2金属板82和第3金属板83各自的+Z方向的尺寸大致相同。在上述第3实施方式中，第1板部件91、第2板部件92、第3板部件93、第4板部件94、第5板部件95和第6板部件96各自的+Z方向的尺寸大致相同。但是，不限于此，各个金属板中的+Z方向的尺寸也可以相互不同，各个板部件中的+Z方向的尺寸也可以相互不同。例如，通过调整配置在多个第1金属板71之间的第2金属板72中的+Z方向的尺寸，能够调整蒸气流路VC的纵横比。
在上述第2实施方式中，输送流路RF沿着+Y方向呈直线状延伸。在上述第3实施方式中，输送流路RF由包含从+Z方向观察时形成为十字形状的开口部的输送流路形成部9A1、9B1、9C1、9D1形成。但是，不限于此，输送流路RF的形状和在输送流路RF中流通的液相的工作流体WF的流通路径可以适当变更。即，只要能够通过毛管力向槽部件侧输送储液器62中贮留的液相的工作流体WF，则输送流路RF的形状和结构能够适当变更。
在上述各实施方式中，在作为冷却对象的光源411的支承部件414与槽部件65A、65B、65C之间配置用于容易地将光源411中产生的热传递到槽部件65A、65B、65C的受热部件66。但是，不限于此，支承部件414和槽部件65A、65B、65C也可以不经由受热部件66而以能够进行热传递的方式连接。
在上述第2实施方式中，在重合第1基板8A和第2基板8B后通过在切断线LA、LB、LC处进行切断，制造具有第1金属板81～第3金属板83的蒸气生成部63B。在上述第3实施方式中，在重合第1基板9A～第4基板9D后通过在切断线LD、LE处进行切断，制造具有第1板部件91～第6板部件96的蒸气生成部63C。但是，不限于此，蒸气生成部的制造方法也可以是其他方法。例如，可以通过扩散接合等接合第1金属板81与第2金属板82以及第3金属板83，由此制造蒸气生成部63B，也可以相互接合第1板部件91～第6板部件96，由此制造蒸气生成部63C。此外，接合方法也可以是扩散接合以外的方法，例如可以是焊接、钎焊、点焊或铆接。
在上述各实施方式中，光源装置4的光源411具有半导体激光器412、413。但是，不限于此，光源装置也可以具有超高压汞灯等光源灯、LED(Light Emitting Diode)等其他固体光源作为光源。该情况下，环型热管51的冷却对象也可以是光源灯、其他固体光源。
在上述各实施方式中，投影仪具有3个光调制装置343(343B、343G、343R)。但是，不限于此，在具有2个以下或4个以上的光调制装置的投影仪中也能够应用本发明。
在上述各实施方式中，光调制装置343是光入射面和光出射面不同的透过型的液晶面板。但是，不限于此，作为光调制装置，也可以使用光入射面和光出射面相同的反射型的液晶面板。此外，只要是能够对入射光束进行调制而形成基于图像信息的图像的光调制装置，也可以利用使用了微镜的器件例如DMD(Digital Micromirror Device)等的装置等、液晶以外的光调制装置。
在上述各实施方式中，举出将具有环型热管51的冷却装置5应用于投影仪的例子。但不限于此，本发明的冷却装置除了能够应用于投影仪以外的装置和设备以外，还能够以单体形式进行利用。即，本发明的冷却装置的用途不限于对投影仪的结构部件进行冷却。

Claims (5)

1.一种冷却装置，其特征在于，其具有：
蒸发部，其利用从冷却对象传递的热使液相的工作流体蒸发而变化为气相的所述工作流体；
冷凝部，其使气相的所述工作流体冷凝而变化为液相的所述工作流体；
蒸气管，其使所述蒸发部中变化为气相的所述工作流体流通到所述冷凝部；以及
液管，其使所述冷凝部中变化为液相的所述工作流体流通到所述蒸发部，
所述蒸发部具有：
壳体，其与所述液管连接，液相的所述工作流体流入该壳体的内部；
芯部，其设置在所述壳体内，液相的所述工作流体浸入该芯部，该芯部输送液相的所述工作流体；
储液器，其设置在所述壳体内，贮留流入所述壳体中的液相的所述工作流体；以及
槽部件，其具有供从液相变化为气相的所述工作流体流通的多个蒸气流路，与所述芯部连接，
所述槽部件构成为：沿着与从所述槽部件朝向所述储液器的第1方向垂直的第2方向交替重叠有多个与所述芯部连接的第1金属板和多个以比所述第1金属板离所述芯部远的方式配置的第2金属板，
所述多个蒸气流路在所述槽部件的所述芯部侧形成于所述第1金属板和与所述第1金属板相邻的另一个所述第1金属板之间，
在沿着与所述第1方向以及所述第2方向垂直的方向观察所述槽部件的情况下的所述多个蒸气流路各自的截面中，沿着所述第1方向的尺寸比沿着所述第2方向的尺寸大，
所述第1金属板的导热率比所述第2金属板的导热率高。
2.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，
所述槽部件和所述芯部被一体化。
3.一种冷却装置，其特征在于，其具有：
蒸发部，其利用从冷却对象传递的热使液相的工作流体蒸发而变化为气相的所述工作流体；
冷凝部，其使气相的所述工作流体冷凝而变化为液相的所述工作流体；
蒸气管，其使所述蒸发部中变化为气相的所述工作流体流通到所述冷凝部；以及
液管，其使所述冷凝部中变化为液相的所述工作流体流通到所述蒸发部，
所述蒸发部具有：
壳体，其与所述液管连接，液相的所述工作流体流入该壳体的内部；
芯部，其设置在所述壳体内，液相的所述工作流体浸入该芯部，该芯部输送液相的所述工作流体；
储液器，其设置在所述壳体内，贮留流入所述壳体中的液相的所述工作流体；以及
槽部件，其具有供从液相变化为气相的所述工作流体流通的多个蒸气流路，与所述芯部连接，
所述槽部件构成为：沿着与从所述槽部件朝向所述储液器的第1方向垂直的第2方向交替重叠有多个与所述芯部连接的第1金属板和多个以比所述第1金属板离所述芯部远的方式配置的第2金属板，
所述多个蒸气流路在所述槽部件的所述芯部侧形成于所述第1金属板和与所述第1金属板相邻的另一个所述第1金属板之间，
在沿着与所述第1方向以及所述第2方向垂直的方向观察所述槽部件的情况下的所述多个蒸气流路各自的截面中，沿着所述第1方向的尺寸比沿着所述第2方向的尺寸大，
所述槽部件和所述芯部被一体化，
所述芯部构成为：沿着所述第2方向交替重叠有多个所述第1金属板和多个相对于所述第2金属板配置在所述第1方向的第3金属板，
所述第3金属板通过与所述第1金属板组合，形成向与所述第1方向相反的方向输送所述储液器中贮留的液相的所述工作流体的输送流路。
4.一种投影仪，其特征在于，其具有：
光源装置，其具有出射光的光源；
光调制装置，其对从所述光源装置出射的光进行调制；
投射光学装置，其投射由所述光调制装置调制后的光；以及
权利要求1～3中的任意一项所述的冷却装置。
5.根据权利要求4所述的投影仪，其特征在于，
所述冷却对象是所述光源。
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