CN110527951B - 一种复合润滑膜及其制备方法、工件 - Google Patents

一种复合润滑膜及其制备方法、工件 Download PDF

Info

Publication number
CN110527951B
CN110527951B CN201910980092.7A CN201910980092A CN110527951B CN 110527951 B CN110527951 B CN 110527951B CN 201910980092 A CN201910980092 A CN 201910980092A CN 110527951 B CN110527951 B CN 110527951B
Authority
CN
China
Prior art keywords
lubricating film
composite lubricating
composite
target
sputtering
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201910980092.7A
Other languages
English (en)
Other versions
CN110527951A (zh
Inventor
薛玉君
蔡海潮
贺江涛
李航
司东宏
杨芳
刘春阳
马喜强
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Henan University of Science and Technology
Original Assignee
Henan University of Science and Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Henan University of Science and Technology filed Critical Henan University of Science and Technology
Priority to CN201910980092.7A priority Critical patent/CN110527951B/zh
Publication of CN110527951A publication Critical patent/CN110527951A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN110527951B publication Critical patent/CN110527951B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
    • C23C14/024—Deposition of sublayers, e.g. to promote adhesion of the coating
    • C23C14/025—Metallic sublayers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0623—Sulfides, selenides or tellurides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/35—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
    • C23C14/352—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering using more than one target

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

本发明属于固体润滑技术领域，具体涉及一种复合润滑膜及其制备方法、工件。本发明的复合润滑膜由润滑材料以及掺杂元素Ti元素和La元素组成，所述润滑材料为MoS2或WS2；所述复合润滑膜中Ti元素的质量百分含量为1.5～11％，La元素的质量百分含量为4.5～13.5％。本发明采用磁控溅射法制备复合润滑膜，在膜的生长过程中引入La元素以及Ti元素，有效细化了MoS2或WS2晶粒，使复合润滑膜的结构更加致密，从而有效改善了固体润滑膜的性能。

Description

一种复合润滑膜及其制备方法、工件
技术领域
本发明属于固体润滑技术领域，具体涉及一种复合润滑膜及其制备方法、工件。
背景技术
具有普通层状结构的过渡族金属硫化物如MoS2、WS2晶体是S-M-S(M＝W，Mo)原子形成的六方体结构，层内以强的化学键结合，层间以弱的范德瓦尔斯键结合，层与层之间易于滑动，具有较好的润滑性能，因此常作为固体润滑材料应用于轴承、齿轮、刀具等运动部件以及加工模具中。但是由于MoS2、WS2晶体边缘不饱和的悬挂键具有化学活性，容易被氧化，导致其摩擦性能急剧下降，继而失去润滑作用；目前现有技术中常采用磁控溅射法溅射沉积MoS2以及WS2薄膜，在沉积过程中薄膜的生长方式为柱状生长，孔隙率较高，其力学性能较差。
研究表明，掺杂是一种简单有效的提高薄膜性能的方法，常见的掺杂元素有Ti、Cr、Al等，并且通过引入多种元素可以有效弥补单一掺杂元素的不足，达到优势互补的效果，因此二元或多元共掺杂薄膜具有潜在的研究价值，但目前有关向MoS2或者WS2薄膜中掺杂Ti元素以及La元素的研究尚未见报道。
发明内容
本发明的目的在于提供一种复合润滑膜及其制备方法，该复合润滑膜中掺杂有Ti元素和La元素，提高了复合润滑膜的力学及摩擦磨损性能。
本发明的目的还在于提供一种表面设有上述复合润滑膜的工件。
本发明的复合润滑膜采用的技术方案为：
一种复合润滑膜，该所述复合润滑膜由润滑材料以及掺杂元素Ti元素和La元素组成，所述润滑材料为MoS2或WS2；所述复合润滑膜中Ti元素的质量百分含量为1.5～11％，La元素的质量百分含量为4.5～13.5％。
本发明向润滑材料MoS2或WS2中掺杂稀土元素La以及金属Ti形成复合润滑膜，实现了固体润滑膜的改性。稀土元素La以及金属Ti细化了MoS2或WS2晶粒，并有效抑制了MoS2或WS2柱状晶的快速生长，从而使得复合润滑膜的结构更加致密，结晶强度较高。其中Ti元素主要起提高复合润滑膜的硬度和弹性模量的作用，稀土元素La的作用为改善复合润滑膜的微观组织结构从而提高摩擦磨损性能，通过调整二者在复合润滑膜中的质量百分含量使得复合润滑膜的力学以及摩擦磨损性能得到提高。相比于纯的MoS2膜或WS2膜，本发明的复合润滑膜的硬度以及弹性模量均提高了300％～400％，膜基结合力也提高了30～50％。
对于不同的润滑材料，通过优化复合润滑膜中的La和Ti的质量百分含量，来进一步提高复合润滑膜的力学以及摩擦磨损性能。优选的，润滑材料为MoS2时，复合润滑膜中Ti元素的质量百分含量为1.7～10.5％，La元素的质量百分含量为5～13.5％。润滑材料为WS2时，复合润滑膜中Ti元素的质量百分含量为1.5～9％，La元素的质量百分含量为4.9～12.5％。
本发明的复合润滑膜的制备方法采用的技术方案为：
一种上述复合润滑膜的制备方法，包括以下步骤：采用磁控溅射法向预处理后的基体表面溅射沉积复合润滑膜。
本发明的采用磁控溅射的方式在沉积MoS2膜或WS2膜的同时将稀土元素La以及金属Ti元素掺入，能够消除成膜粒子在快速扩散时形成的孔洞，使得复合润滑膜的结构更加致密，从而使得复合润滑膜的力学性能得到增强，继而表现出有优异的耐磨损性能。本发明所用基体为可以为硅片、玻璃、不锈钢或其他金属材料，适用范围广，同时操作简单，成本低廉，方便推广应用。
通过优化磁控溅射的各参数来进一步提高复合润滑膜的性能，优选的，溅射沉积时所用靶材包括润滑材料靶和La/Ti合金靶；磁控溅射时，润滑材料靶与La/Ti合金靶共溅射，工作压强为0.4～1.6Pa，溅射时间为100～150min，润滑材料靶的溅射功率为150～250W，La/Ti合金靶的溅射功率为10～50W。溅射沉积过程在工作气体保护下进行。所述工作气体为氩气。
为提高复合润滑膜与基体之间的结合力，优选的，所述预处理后的基体包括基体和设置在基体上的过渡层，所述过渡层为La/Ti合金层，La/Ti合金层由以下质量百分比的组分组成：La 5-50％，余量为Ti。
为便于操作，所述过渡层采用磁控溅射制得，磁控溅射时所用靶材为La/Ti合金靶，溅射时的工作压强为0.4～1.6Pa，La/Ti合金靶的溅射功率为10～50W。
本发明的工件采用的技术方案为：
一种工件，包括工件基体，所述工件基体表面设有复合润滑膜，所述复合润滑膜为上述复合润滑膜。
在工件表面设置本发明的复合润滑膜，其具有较高的硬度以及耐摩擦磨损性能，因此有效延长了工件的使用寿命。
优选的，复合润滑膜的厚度为2～3μm。
优选的，工件表面还在工件基体和复合润滑膜之间设有过渡层，所述过渡层为La/Ti合金层。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明作进一步说明。
一、复合润滑膜的实施例
实施例1～14
实施例1～14的复合润滑膜由润滑材料WS2以及掺杂元素Ti元素和La元素组成，其中掺杂元素Ti和La的质量百分比如表1所示。
表1实施例1～14中的复合润滑膜中掺杂元素的质量百分比
实施例 La元素的质量百分比/％ Ti元素的质量百分比/％
1 6.11 1.83
2 8.53 2.22
3 10.5 2.23
4 6.85 1.7
5 5.95 1.56
6 8.88 3.61
7 12.46 2.82
8 9.91 3.61
9 7.42 1.71
10 9.96 3.55
11 10.33 2.91
12 7.36 2.05
13 5.28 8.69
14 4.96 8.92
实施例15～28
实施例15～28的复合润滑膜中的润滑材料MoS2以及掺杂元素Ti元素和La元素组成，其中掺杂元素Ti和La的质量百分比如表2所示。
表2实施例15～28中的复合润滑膜中掺杂元素的质量百分比
Figure BDA0002234908610000031
Figure BDA0002234908610000041
二、复合润滑膜的制备方法的实施例
实施例29
本实施例为实施例1的复合润滑膜的制备方法，采用磁控溅射法向基体表面溅射复合润滑膜时，所用靶材为纯钛靶，La/Ti合金靶(La的原子分数为50％，Ti的原子分数为50％)以及WS2靶，具体包括以下步骤：
(1)将不锈钢片以及单晶硅片两种基体分别在无水乙醇中采用超声波清洗15min，然后在高纯丙酮中清洗10min，然后将清洗后的两种基体装入真空室，先对真空室抽真空至压强为5e-4Pa，然后通入工作气体氩气(气体流量为40sccm)至工作压强为0.4Pa，然后对基体加热60min，加热至300℃；
(2)保持工作压强为0.4Pa的条件下，不施加基体偏压，先采用纯钛靶向基体表面预溅射5min的等离子金属层，然后关闭纯钛靶电源；
(3)打开La/Ti合金靶挡板，先用20W的直流电源激励La/Ti合金靶，形成稳定的辉光后，溅射20min，得厚度为0.1μm的La/Ti合金过渡层；
(4)打开WS2靶电源以及靶挡板，与La/Ti合金靶共溅射，溅射时WS2靶的功率为200W，La/Ti合金靶的溅射功率保持在20W，溅射120min，得厚度为2μm的复合润滑膜。
实施例30～32
实施例30～32分别为实施例2～4的复合润滑膜的制备方法，制备过程基本与实施例29相同，区别仅在于：实施例30的制备过程中工作压强为0.8Pa，实施例31的制备过程中工作压强为1.2Pa，实施例32的制备过程中工作压强为1.6Pa。
实施例33
本实施例为实施例5的复合润滑膜的制备方法，采用磁控溅射法向基体表面溅射复合润滑膜时，所用靶材为纯钛靶，La/Ti合金靶(La的原子分数为50％，Ti的原子分数为50％)以及WS2靶，具体包括以下步骤：
(1)将不锈钢片以及单晶硅片两种基体分别在无水乙醇中采用超声波清洗15min，然后在高纯丙酮中清洗10min，然后将清洗后的两种基体装入真空室，先对真空室抽真空至压强为5e-4Pa，然后通入工作气体氩气(气体流量为40sccm)至工作压强为1.2Pa，然后对基体加热60min，加热至300℃；
(2)保持工作压强为1.2Pa的条件下，不施加基体偏压，先采用纯钛靶向基体表面预溅射5min的等离子金属层，然后关闭纯钛靶电源；
(3)打开La/Ti合金靶挡板，先用10W的直流电源激励La/Ti合金靶，形成稳定的辉光后，溅射20min，得厚度为0.06μm的La/Ti合金过渡层；
(4)打开WS2靶电源以及靶挡板，与La/Ti合金靶共溅射，溅射时WS2靶的功率为200W，La/Ti合金靶的溅射功率保持在10W，溅射120min，得厚度为2μm的复合润滑膜。
实施例34～36
实施例34～36分别为实施例6～8的复合润滑膜的制备方法，其制备过程基本与实施例33相同，区别仅在于：实施例34的制备过程中La/Ti合金靶的溅射功率为30W，实施例35的制备过程中La/Ti合金靶的溅射功率为40W，实施例36的制备过程中La/Ti合金靶的溅射功率为50W。
实施例37
本实施例为实施例9的复合润滑膜的制备方法，采用磁控溅射法向基体表面溅射复合润滑膜时，所用靶材为纯钛靶，La/Ti合金靶(La的原子分数为50％，Ti的原子分数为50％)以及WS2靶，具体包括以下步骤：
(1)将不锈钢片以及单晶硅片两种基体分别在无水乙醇中采用超声波清洗15min，然后在高纯丙酮中清洗10min，然后将清洗后的两种基体装入真空室，先对真空室抽真空至压强为5e-4Pa，然后通入工作气体氩气(气体流量为20sccm)至工作压强为1.2Pa，然后对基体进行加热60min，加热至300℃；
(2)保持工作压强为1.2Pa的条件下，不施加基体偏压，先采用纯钛靶向基体表面预溅射5min的等离子金属层，然后关闭纯钛靶电源；
(3)打开La/Ti合金靶挡板，先用20W的直流电源激励La/Ti合金靶，形成稳定的辉光后，溅射20min，得厚度为0.1μm的La/Ti合金过渡层；
(4)打开WS2靶电源以及靶挡板，与La/Ti合金靶共溅射，溅射时WS2靶的功率为200W，La/Ti合金靶的溅射功率保持在20W，溅射120min，得厚度为2μm的复合润滑膜。
实施例38～40
实施例38～40分别为实施例10～12的复合润滑膜的制备方法，其制备过程基本与实施例37相同，区别仅在于：实施例38的制备过程中氩气流量为60sccm，实施例39的制备过程中氩气流量为80sccm，实施例40的制备过程中氩气流量为100sccm。
实施例41
本实施例为实施例13的复合润滑膜的制备方法，具体过程与实施例31基本相同，区别仅在于：所用La/Ti合金靶不同，其中La的原子百分含量为10％，Ti的原子百分含量为90％。
实施例42
本实施例为实施例14复合润滑膜的制备方法，具体过程与实施例31基本相同，区别仅在于：所用La/Ti合金靶不同，其中La的原子百分含量为5％，Ti的原子百分含量为95％。
实施例43～54
实施例43～54分别为实施例15～26的复合润滑膜的制备方法，制备过程中各参数分别与实施例29～40基本相同(如实施例43的制备方法基本与实施例29相同)，区别仅在于润滑材料为MoS2，所用润滑材料靶为MoS2靶，最终制得的复合润滑膜厚度为2.6μm。
实施例55
本实施例的复合润滑膜的制备过程与实施例31基本相同，区别仅在于：所用La/Ti合金靶不同，其中La的原子百分含量为10％，Ti的原子百分含量为90％；润滑材料为MoS2，所用靶为MoS靶。
实施例56
本实施例的复合润滑膜的制备过程与实施例31基本相同，区别仅在于：所用La/Ti合金靶不同，其中La的原子百分含量为5％，Ti的原子百分含量为95％；润滑材料为MoS2，所用靶为MoS靶。
在本发明的复合润滑膜的制备方法的其他实施例中，也可以不预溅射等离子金属层。
三、工件的实施例
根据实际需要，可采用本发明的制备方法在工件表面镀制掺杂MoS2复合润滑膜或掺杂WS2复合润滑膜，或者过渡层和掺杂MoS2复合润滑膜、过渡层和掺杂WS2复合润滑膜。
四、对比例部分
对比例1
本对比例的润滑膜为纯的WS2薄膜，基体分别为不锈钢和单晶硅片，其制备方法参照实施例31中的制备方法，区别仅在于：撤去La/Ti合金靶，其余均相同。
对比例2
本对比例的润滑膜为纯的MoS2薄膜，基体分别为不锈钢和单晶硅片，其制备方法参照实施例45中的制备方法，区别仅在于：撤去La/Ti合金靶，其余均相同。
五、试验例部分
试验例1
对实施例31、41、42、45、55和56中以单晶硅为基体制得的复合润滑膜以及对比例1～2中以单晶硅为基体的纯WS2膜以及MoS2膜进行力学性能测试，具体测试方法过程为：硬度和弹性模量采用纳米压痕仪进行测量；摩擦系数采用高温摩擦磨损试验机进行测试。测试结果如表3所示。
表3力学性能测试结果
Figure BDA0002234908610000071
试验例2
对实施例31、41、42、45、55和56中以不锈钢为基体制得的复合润滑膜以及对比例1～2中以不锈钢为基体的纯WS2膜以及MoS2膜测试膜基结合力测试，具体测试过程为采用纳米划痕仪对膜基结合力进行测量，测试结果如表4所示。
表4结合力测试结果
Figure BDA0002234908610000081
相比于纯的MoS2以及WS2膜，本发明的复合润滑膜与基体之间的结合力有所增加，其力学性能也有所改善。

Claims (8)

1.一种复合润滑膜，其特征在于，所述复合润滑膜由润滑材料以及掺杂元素Ti元素和La元素组成，所述润滑材料为MoS2或WS2；所述润滑材料为MoS2时，所述复合润滑膜中Ti元素的质量百分含量为2.87%，La元素的质量百分含量为10.84%；或者所述润滑材料为WS2时，所述复合润滑膜中Ti元素的质量百分含量为2.23%，La元素的质量百分含量为10.5%；
所述复合润滑膜的制备方法包括以下步骤：采用磁控溅射法向预处理后的基体表面溅射沉积复合润滑膜。
2.一种如权利要求1所述的复合润滑膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：采用磁控溅射法向预处理后的基体表面溅射沉积复合润滑膜。
3.根据权利要求2所述的复合润滑膜的制备方法，其特征在于，溅射沉积时所用靶材包括润滑材料靶和La/Ti合金靶；磁控溅射时，润滑材料靶与La/Ti合金靶共溅射，工作压强为0.4~1.6Pa，溅射时间为100~150min，润滑材料靶的溅射功率为150~250W，La/Ti合金靶的溅射功率为10~50W。
4. 根据权利要求2或3所述的复合润滑膜的制备方法，其特征在于，所述预处理后的基体包括基体和设置在基体上的过渡层，所述过渡层为La/Ti合金层，La/Ti合金层由以下质量百分比的组分组成：La 5-50%，余量为Ti。
5.根据权利要求4所述的复合润滑膜的制备方法，其特征在于，所述过渡层采用磁控溅射制得，磁控溅射时所用靶材为La/Ti合金靶，溅射时的工作压强为0.4~1.6Pa，La/Ti合金靶的溅射功率为10~50W。
6.一种工件，其特征在于，包括工件基体，所述工件基体表面设有复合润滑膜，所述复合润滑膜为权利要求1所述的复合润滑膜。
7.根据权利要求6所述的工件，其特征在于，所述复合润滑膜的厚度为2~3μm。
8.根据权利要求6或7所述的工件，其特征在于，工件表面还在工件基体和复合润滑膜之间设有过渡层，所述过渡层为La/Ti合金层。
CN201910980092.7A 2019-10-15 2019-10-15 一种复合润滑膜及其制备方法、工件 Active CN110527951B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910980092.7A CN110527951B (zh) 2019-10-15 2019-10-15 一种复合润滑膜及其制备方法、工件

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910980092.7A CN110527951B (zh) 2019-10-15 2019-10-15 一种复合润滑膜及其制备方法、工件

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN110527951A CN110527951A (zh) 2019-12-03
CN110527951B true CN110527951B (zh) 2021-10-15

Family

ID=68671864

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910980092.7A Active CN110527951B (zh) 2019-10-15 2019-10-15 一种复合润滑膜及其制备方法、工件

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110527951B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115058688B (zh) * 2022-07-01 2023-10-20 中国科学院兰州化学物理研究所 一种复合润滑薄膜及其制备方法和应用

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007231402A (ja) * 2006-03-03 2007-09-13 Kazuhito Sagara 固体潤滑膜及びその製造方法
WO2008014801A1 (en) * 2006-07-31 2008-02-07 Ab Skf A method for deposition of dispersion-strengthened coatings and composite electrode material for deposition of such coatings
CN104495938A (zh) * 2014-11-27 2015-04-08 江苏理工学院 一种钛掺杂二硫化钨固体润滑剂的制备方法
CN105887023A (zh) * 2016-06-15 2016-08-24 济宁学院 TiCrN+MoS2/Cr/Ti组合润滑涂层刀具及其制备工艺
KR20180004476A (ko) * 2016-07-04 2018-01-12 고려대학교 산학협력단 희토류계 영구 자석의 결정립 성장 제어 방법
CN107686976A (zh) * 2017-08-15 2018-02-13 上海卫星装备研究所 一种星用二硫化钼基复合润滑膜的制备方法
CN108149220A (zh) * 2016-12-02 2018-06-12 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种稀土钇掺杂的二硫化钼自润滑复合涂层及其制备方法
CN109576641A (zh) * 2018-12-10 2019-04-05 上海航天设备制造总厂有限公司 一种空间机构高结合力固体抗菌润滑膜层及其制备方法
CN110016644A (zh) * 2019-04-19 2019-07-16 中国人民解放军空军勤务学院 一种钛、铅共掺杂二硫化钨复合薄膜的制备方法
CN110195207A (zh) * 2019-06-06 2019-09-03 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种基体表面的二硫化钼/锡共掺杂复合薄膜及其制备方法
CN111304616A (zh) * 2020-04-03 2020-06-19 中国科学院兰州化学物理研究所 一种掺杂Ti、C的二硫化钼基纳米复合薄膜的制备方法

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007231402A (ja) * 2006-03-03 2007-09-13 Kazuhito Sagara 固体潤滑膜及びその製造方法
WO2008014801A1 (en) * 2006-07-31 2008-02-07 Ab Skf A method for deposition of dispersion-strengthened coatings and composite electrode material for deposition of such coatings
CN104495938A (zh) * 2014-11-27 2015-04-08 江苏理工学院 一种钛掺杂二硫化钨固体润滑剂的制备方法
CN105887023A (zh) * 2016-06-15 2016-08-24 济宁学院 TiCrN+MoS2/Cr/Ti组合润滑涂层刀具及其制备工艺
KR20180004476A (ko) * 2016-07-04 2018-01-12 고려대학교 산학협력단 희토류계 영구 자석의 결정립 성장 제어 방법
CN108149220A (zh) * 2016-12-02 2018-06-12 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种稀土钇掺杂的二硫化钼自润滑复合涂层及其制备方法
CN107686976A (zh) * 2017-08-15 2018-02-13 上海卫星装备研究所 一种星用二硫化钼基复合润滑膜的制备方法
CN109576641A (zh) * 2018-12-10 2019-04-05 上海航天设备制造总厂有限公司 一种空间机构高结合力固体抗菌润滑膜层及其制备方法
CN110016644A (zh) * 2019-04-19 2019-07-16 中国人民解放军空军勤务学院 一种钛、铅共掺杂二硫化钨复合薄膜的制备方法
CN110195207A (zh) * 2019-06-06 2019-09-03 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种基体表面的二硫化钼/锡共掺杂复合薄膜及其制备方法
CN111304616A (zh) * 2020-04-03 2020-06-19 中国科学院兰州化学物理研究所 一种掺杂Ti、C的二硫化钼基纳米复合薄膜的制备方法

Non-Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
CVD沉积MoS2/Y复合涂层及其摩擦磨损性能研究;李明磊等;《硬质合金》;20170215;第34卷(第1期);第1-6页 *
Exploring the Tribophysics and Tribochemistry of MoS2 by Sliding MoS2/Ti Composite Coating Under Different Humidity;Hao Li et al.;《Tribology Letters》;20170209;第65卷(第2期);第1-10页 *
La,Ce,Nd掺杂对单层MoS2电子结构的影响;雷天民等;《物理学报》;20140323;第63卷(第6期);第1-8页 *
非平衡磁控溅射沉积MoS_2-Ti复合薄膜结构与摩擦磨损性能研究;周晖等;《摩擦学学报》;20060330;第26卷(第2期);第183-186页 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN110527951A (zh) 2019-12-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110453190B (zh) 一种AlCrSiN/Mo自润滑薄膜的复合磁控溅射制备方法
CN104928638A (zh) 一种AlCrSiN基多层纳米复合刀具涂层及其制备方法
CN109402564B (zh) 一种AlCrSiN和AlCrSiON双层纳米复合涂层及其制备方法
CN113151795A (zh) 一种NbMoTaWAl难熔高熵合金薄膜及其制备方法
CN112410728B (zh) 高Cr含量CrB2-Cr涂层的制备工艺
CN102021513B (zh) 一种基体表面的高韧性抗氧化减磨涂层及其制备方法
CN110670038A (zh) 具有自润滑和耐磨性能的AlCrN/MoS2纳米复合薄膜及其制备方法
CN110527951B (zh) 一种复合润滑膜及其制备方法、工件
CN105886870A (zh) 一种具备CrAlSiN复合涂层的钨合金的制备方法
CN112410727B (zh) 一种新型WCrSiN梯度涂层及其制备方法
CN104032269A (zh) NbN-Ag硬质薄膜及制备方法
CN111485219B (zh) 具有高耐磨性的AlCrSiN/Mo热处理型涂层及其制备工艺
CN107354442B (zh) 一种基体表面硬且韧的减磨防护涂层及其制备方法
CN110643943B (zh) 一种掺杂类石墨碳膜及其制备方法、工件
CN110578115B (zh) 一种掺杂的硫化物复合薄膜及其制备方法、含有掺杂的硫化物复合薄膜的工件
CN114959582B (zh) 一种高硬度六元高熵合金薄膜及其制备方法
CN114000118B (zh) 一种钛合金表面硬度梯度分布层厚可调的氮化层制备方法
CN112501553A (zh) 一种Mo掺杂型AlCrSiN/Mo自润滑薄膜及其制备方法
CN108893718B (zh) 一种聚晶金刚石复合片的基底材料及其制备方法、聚晶金刚石复合片
CN111304612A (zh) 具有高硬度和高抗氧化性能的CrAlN/AlN纳米多层涂层及其制备方法
CN115161607B (zh) 一种稀土掺杂高熵合金氮化物涂层及其制备方法
CN111424254B (zh) 一种提高AlCrSiN/Mo纳米复合涂层韧性与耐磨性的热处理工艺
CN104073770A (zh) TiWAlN硬质薄膜及制备方法
CN112626456A (zh) 一种兼具高硬度和高韧性的ZrB2-Ni涂层及其制备工艺
CN109338312B (zh) 一种含银的氮化铬基硬质纳米结构复合膜及制备方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant