JP2007231402A - 固体潤滑膜及びその製造方法 - Google Patents
固体潤滑膜及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007231402A JP2007231402A JP2006057546A JP2006057546A JP2007231402A JP 2007231402 A JP2007231402 A JP 2007231402A JP 2006057546 A JP2006057546 A JP 2006057546A JP 2006057546 A JP2006057546 A JP 2006057546A JP 2007231402 A JP2007231402 A JP 2007231402A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- molybdenum sulfide
- temperature
- lubricating film
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
- Rolling Contact Bearings (AREA)
- Lubricants (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
【解決手段】スパッタリング法により硫化モリブデン膜を所定の基材に付け、その基材と共に同硫化モリブデン膜を所定温度以上、かつ、該基材の焼き戻し温度以下で、所定時間以上、所定の雰囲気で保管処理を行うことを特徴とする。このように処理した硫化モリブデン膜は、すべり摩擦試験で潤滑寿命が著しく向上した。
【選択図】なし
Description
固体潤滑膜を付ける基材として、中央にφ8mmの穴が開いたφ50mmで厚みが8mmのSUS440C製の円板を準備した。円板のスパッタ付着面は、研磨により、Raで1μm程度に仕上げた。尚、このSUS440C円板は、焼き入れ後180℃で焼き戻しを行った。
マグネトロン型高周波スパッタリング装置(アネルバ社製、型番SPF−210H)を用いて、上記基材上にスパッタリング法で硫化モリブデン膜を形成した。ターゲットには、冷間等圧加工した二硫化モリブデン圧粉体を用いた.この時のスパッタリング条件は、次の通りである。
電極間距離 40mm
雰囲気 Ar (0.6Pa)
高周波電力密度 1.6W/cm2
基板温度 5℃
スパッタ時間 20分
電極間距離 30mm
雰囲気 Ar (2.7Pa)
高周波電力 5W/cm2
基板温度 20℃
スパッタ時間 36分
厚さ1μmの硫化モリブデン膜を付けたSUS440C円板基板5枚を、デシケータ(相対湿度25%±5%)中で5年、室温にて保持した。温度管理は特にせずに、いわゆる常温で保管した。一方、厚さ1.3μmの硫化モリブデン膜(主に二硫化モリブデン膜)を付けたSUS440C円板基板1枚を、真空槽(10−5Pa以下)中で7年、室温にて保持した。温度管理は特にせずに、いわゆる常温で保管した。
被膜を評価するために、デシケータ保管の被膜5枚には、高純度物質研究所製のFT−5型のピン/円板型真空すべり摩擦実験機を使用した。真空槽保管の1枚は、同所製のFT−1型のピン/円板型真空すべり摩擦実験機を使用した。ピン試験片には直径7.94mm(5/16インチ)のSUS440C鋼球を用いた。試験条件は、荷重9.8N,雰囲気圧力10−5Pa,すべり速度はデシケータ保管の被膜が0.5m/s、真空槽保管の被膜が0.01m/sである。尚、この評価は、上記保管の前後において、各試験片1回ずつ行ったが,デシケータ保管の試験片のみ保管後の評価を各2回ずつ行った。
上述の方法で、硫化モリブデンの固体潤滑膜(厚さ1μm)を形成し、円板基材と共に、雰囲気温度が100℃〜180℃の範囲で、10−5Paの真空中及び空気中で、42時間熱処理を行った。このような硫化モリブデンの固体潤滑膜について、熱処理の前後で、上述のすべり摩擦試験を行った。
Claims (5)
- スパッタにより基材に付けた固体潤滑膜を50℃以上かつ該基材の焼き戻し温度以下で、1時間以上熱処理を行う潤滑膜の製造方法。
- 前記熱処理は、真空中で行うことを特徴とする請求項1記載の潤滑膜の製造方法。
- スパッタにより基材に付けた固体潤滑膜を該基材の焼き戻し温度以下で、20時間以上保持することを特徴とする固体潤滑膜の潤滑特性向上方法。
- 前記保持は、真空中で行うことを特徴とする請求項4記載の潤滑特性向上方法。
- スパッタにより基材に付けた硫化モリブデンにおいて、二硫化モリブデンとしての格子常数のcが、12.5オングストローム以下である硫化モリブデンを含むことを特徴とする硫化モリブデン膜。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006057546A JP4480687B2 (ja) | 2006-03-03 | 2006-03-03 | 固体潤滑膜の製造方法及び潤滑特性向上方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006057546A JP4480687B2 (ja) | 2006-03-03 | 2006-03-03 | 固体潤滑膜の製造方法及び潤滑特性向上方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007231402A true JP2007231402A (ja) | 2007-09-13 |
JP4480687B2 JP4480687B2 (ja) | 2010-06-16 |
Family
ID=38552287
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006057546A Expired - Fee Related JP4480687B2 (ja) | 2006-03-03 | 2006-03-03 | 固体潤滑膜の製造方法及び潤滑特性向上方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4480687B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8389129B2 (en) | 2010-07-09 | 2013-03-05 | Climax Engineered Materials, Llc | Low-friction surface coatings and methods for producing same |
US8507090B2 (en) | 2011-04-27 | 2013-08-13 | Climax Engineered Materials, Llc | Spherical molybdenum disulfide powders, molybdenum disulfide coatings, and methods for producing same |
US8834785B2 (en) | 2010-07-09 | 2014-09-16 | Climax Engineered Materials, Llc | Methods for producing molybdenum/molybdenum disulfide metal articles |
CN105441870A (zh) * | 2014-08-18 | 2016-03-30 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 一种高硬度、低摩擦系数、低磨损率的固体自润滑涂层 |
CN110527951A (zh) * | 2019-10-15 | 2019-12-03 | 河南科技大学 | 一种复合润滑膜及其制备方法、工件 |
CN111378928A (zh) * | 2020-04-22 | 2020-07-07 | 中国科学院兰州化学物理研究所 | 一种纳米晶MoS2固体润滑薄膜及其制备方法和应用 |
CN113151782A (zh) * | 2021-04-21 | 2021-07-23 | 金堆城钼业股份有限公司 | 一种二硫化钼薄膜的制备方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6050163A (ja) * | 1983-08-26 | 1985-03-19 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 二硫化モリブデン薄膜の形成方法 |
JP2003301282A (ja) * | 2002-04-10 | 2003-10-24 | Kobe Steel Ltd | 高面圧下での摺動特性に優れる摺動部材 |
-
2006
- 2006-03-03 JP JP2006057546A patent/JP4480687B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6050163A (ja) * | 1983-08-26 | 1985-03-19 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 二硫化モリブデン薄膜の形成方法 |
JP2003301282A (ja) * | 2002-04-10 | 2003-10-24 | Kobe Steel Ltd | 高面圧下での摺動特性に優れる摺動部材 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8389129B2 (en) | 2010-07-09 | 2013-03-05 | Climax Engineered Materials, Llc | Low-friction surface coatings and methods for producing same |
US8834785B2 (en) | 2010-07-09 | 2014-09-16 | Climax Engineered Materials, Llc | Methods for producing molybdenum/molybdenum disulfide metal articles |
US9162424B2 (en) | 2010-07-09 | 2015-10-20 | Climax Engineered Materials, Llc | Low-friction surface coatings and methods for producing same |
US8507090B2 (en) | 2011-04-27 | 2013-08-13 | Climax Engineered Materials, Llc | Spherical molybdenum disulfide powders, molybdenum disulfide coatings, and methods for producing same |
US8956724B2 (en) | 2011-04-27 | 2015-02-17 | Climax Engineered Materials, Llc | Spherical molybdenum disulfide powders, molybdenum disulfide coatings, and methods for producing same |
CN105441870A (zh) * | 2014-08-18 | 2016-03-30 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 一种高硬度、低摩擦系数、低磨损率的固体自润滑涂层 |
CN110527951A (zh) * | 2019-10-15 | 2019-12-03 | 河南科技大学 | 一种复合润滑膜及其制备方法、工件 |
CN110527951B (zh) * | 2019-10-15 | 2021-10-15 | 河南科技大学 | 一种复合润滑膜及其制备方法、工件 |
CN111378928A (zh) * | 2020-04-22 | 2020-07-07 | 中国科学院兰州化学物理研究所 | 一种纳米晶MoS2固体润滑薄膜及其制备方法和应用 |
CN113151782A (zh) * | 2021-04-21 | 2021-07-23 | 金堆城钼业股份有限公司 | 一种二硫化钼薄膜的制备方法 |
CN113151782B (zh) * | 2021-04-21 | 2023-03-10 | 金堆城钼业股份有限公司 | 一种二硫化钼薄膜的制备方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4480687B2 (ja) | 2010-06-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4480687B2 (ja) | 固体潤滑膜の製造方法及び潤滑特性向上方法 | |
Li et al. | Low humidity-sensitivity of MoS2/Pb nanocomposite coatings | |
Kutschej et al. | Structure, mechanical and tribological properties of sputtered Ti1–xAlxN coatings with 0.5≤ x≤ 0.75 | |
Ding et al. | Tribological properties of Cr-and Ti-doped MoS2 composite coatings under different humidity atmosphere | |
EP2316983B1 (en) | Nitrogen-containing amorphous carbon and amorphous carbon layered film, and sliding member | |
Barshilia et al. | Superhard nanocomposite coatings of TiN/Si3N4 prepared by reactive direct current unbalanced magnetron sputtering | |
US9447491B2 (en) | Coated cutting tool and method of making the same | |
Xu et al. | Microstructure evolution and enhanced tribological properties of Cu-doped WS 2 films | |
Zhang et al. | Towards high adherent and tough aC coatings | |
US9968980B2 (en) | Coatings for forming tools | |
JP2008001951A (ja) | ダイヤモンド状炭素膜およびその形成方法 | |
Zhang et al. | Microstructure and friction behavior of LaF3 doped Ti-MoS2 composite thin films deposited by unbalanced magnetron sputtering | |
Oliveira et al. | Detailed surface analyses and improved mechanical and tribological properties of niobium treated by high temperature nitrogen plasma based ion implantation | |
Polcar et al. | Self‐Lubricating W–S–C Nanocomposite Coatings | |
JP5616082B2 (ja) | セラミックス被覆材の製造方法 | |
Lackner | Industrially-styled room-temperature pulsed laser deposition of titanium-based coatings | |
El-Hossary et al. | Properties of TiAlN coating deposited by MPIIID on TiN substrates | |
KR101673712B1 (ko) | 자동차 습동 부품용 코팅재 및 이를 이용한 자동차 습동부품 표면처리 방법 | |
Sytchenko et al. | The effect of the Ar/N2 gas ratio on the structure and properties of Ta-Si-N coatings produced by magnetron sputtering of TaSi2 target | |
Chen et al. | Annealing and oxidation study of Mo–Ru hard coatings on tungsten carbide | |
KR101493357B1 (ko) | 비정질 합금막의 제조방법 | |
JP2005232471A (ja) | スパッタリングターゲット並びに光情報記録媒体及びその製造方法 | |
Jalali et al. | Characterization of nano-crystalline Ti–W–N thin films for diffusion barrier application: A structural, microstructural, morphological and mechanical study | |
JP3638332B2 (ja) | 被覆硬質合金 | |
Cavaleiro et al. | The role of interfaces and morphology on silver diffusion in hard coatings |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090707 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090714 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090909 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100309 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100316 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130326 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160326 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |