CN110376854A - 光致抗蚀剂剥离剂 - Google Patents

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Abstract

提供了用于从衬底除去光致抗蚀剂的改进的剥离剂溶液，其表现出与铜、无铅焊料和环氧基模塑料的改善的相容性。该剥离剂溶液包含主要溶剂、次要二醇醚溶剂、氢氧化钾和胺。该溶液还表现出与含有氢氧化钾的常规制剂相比减少的碳酸钾晶体形成，和与含四甲基氢氧化铵的制剂相比延长的浴寿命。

Description

光致抗蚀剂剥离剂
相关申请的交叉引用
本申请要求2018年4月12日提交的美国临时申请62/656,843的优先权，其全部内容为了所有允许的目的通过引用并入本文。
背景技术
本发明一般涉及具有从衬底有效除去光致抗蚀剂的能力的组合物，以及使用这种组合物的方法。所公开的组合物是用于除去光致抗蚀剂的剥离剂溶液，所述溶液可基本上不含DMSO和/或NMP，和/或TMAH，并且优选具有与铜、无铅SnAg焊料和环氧基模塑料的相容性。
用于除去晶片级封装中使用的厚光致抗蚀剂的光致抗蚀剂剥离剂通常由溶剂、胺、季铵氢氧化物、无机氢氧化物、共溶剂、腐蚀抑制剂和其他添加剂的不同组合组成。用于该应用的许多产品包括作为溶剂的DMSO或NMP加上胺或季铵氢氧化物或两者。四甲基氢氧化铵(TMAH)是最常用的季铵氢氧化物，因为它具有比其他季铵氢氧化物更低的成本和更好的性能。然而，与TMAH相关的潜在健康影响是众所周知的。含TMAH剥离剂组合物的替代物是期望的。
氢氧化钾(KOH)是无机强碱，其在用于光致抗蚀剂剥离剂时提供有利的性能，而没有与TMAH相关的潜在健康影响。KOH成本低并且具有良好的热稳定性，导致光致抗蚀剂剥离剂具有比使用TMAH的光致抗蚀剂剥离剂更长的浴寿命。与KOH相关的一个问题是它与来自大气的二氧化碳反应生成碳酸钾。碳酸钾是水溶性的，但通常不易溶于有机溶剂。使用KOH的光致抗蚀剂剥离剂通常具有碳酸钾晶体的沉淀问题。晶体去除可以需要对加工设备的额外清洁，使用水以溶解和/或冲洗掉它们。
发明内容
在本发明的一个方面，提供了用于从衬底有效除去或剥离正或负性光致抗蚀剂、蚀刻工艺后的光致抗蚀剂或蚀刻残留物的光致抗蚀剂剥离剂溶液。本发明的剥离剂溶液对于抗蚀剂材料具有特别高的负载能力，且具有在经历运输、仓储和一些生产设施的使用中经常遇到的低于正常室温的温度时保持液态的能力。
组合物提供表现出减少的碳酸钾晶体形成和延长的浴寿命的KOH光致抗蚀剂剥离剂组合物。组合物另外不含含硫溶剂，并表现出与铜、无铅焊料和环氧基模塑料的改善的相容性。
根据本发明的组合物通常包括主要的二醇醚溶剂、无机碱、与主要溶剂不同的次要二醇醚溶剂、胺和腐蚀抑制剂。合适的二醇醚溶剂包括二乙二醇丁醚(DB)、二乙二醇乙醚(DE)、二乙二醇甲乙醚(DME)、3-甲氧基-3-甲基-1-丁醇(MMB)和/或二甘醇(DEG)。合适的无机碱包括氢氧化钾(KOH)、氢氧化锂(LiOH)和/或氢氧化钠(NaOH)。合适的胺包括单乙醇胺(MEA)、二乙醇胺(DEA)、三乙醇胺(TEA)、二亚乙基三胺(DETA)、三亚乙基四胺(TETA)和/或2-(2-氨基乙氧基)乙醇(AEE)。组合物基本上不含DMSO、NMP和TMAH。根据本发明的另一实施方式包含不同于主要和次要溶剂两者的另外的或第三溶剂。合适的第三溶剂包括二醇醚、多羟基化合物(如二醇、三醇等)等。
根据本发明的另一个实施方式包含DB、次要二醇醚溶剂、无机碱，例如氢氧化钾(KOH)、胺和腐蚀抑制剂。该实施方式基本上不含第三二醇醚溶剂、DMSO、NMP和TMAH。
根据本发明的另一个实施方式包含DE、次要二醇醚溶剂、无机碱，例如氢氧化钾(KOH)和腐蚀抑制剂。该实施方式基本上不含第三二醇醚溶剂、DMSO、NMP和TMAH。
本发明的第二方面提供了使用上述新型剥离剂溶液从衬底除去光致抗蚀剂和相关聚合物材料的方法。光致抗蚀剂可以通过使其上具有光致抗蚀剂的所选衬底与剥离剂溶液接触足以除去期望量的光致抗蚀剂的时间，通过从剥离剂溶液中移除衬底，用去离子水或溶剂从衬底冲洗剥离剂溶液和干燥衬底而从衬底除去。
本发明的第三方面包括通过所公开的新颖方法制造的电子器件。
通过以下更详细的描述，结合以示例的方式示出本发明的原理的附图，本发明的其他特征和优点将变得显而易见。
本发明的实施方式提供了以下益处中的一个或多个：使用过程中的低固体沉淀；组合物具有在低于正常室温的温度和在运输和仓储中经常遇到的温度下保持液体的能力，和具有远高于正常加工温度的闪点；具有良好清洁能力、高负载能力、减少的碳酸钾或其它碱金属化合物的结晶和沉淀的光致抗蚀剂剥离剂，即使在本发明的剥离剂溶液包含碱金属氢氧化物时，具有与铜、无铅SnAg焊料和环氧基模塑料的相容性，以及延长的浴寿命。
具体实施方式
本文引用的所有参考文献，包括出版物、专利申请和专利均通过引用并入本文，其程度如同每个参考文献被单独且具体地指出通过引用并入并且在本文中完整地阐述。
除非在本文中另有说明或与上下文明显矛盾，否则在描述本发明的上下文中(特别是在以下权利要求的上下文中)术语“一个/种(a/an)”和“该/所述(the)”以及类似指代应被解释为涵盖单数和复数，即“一个/种或多于一个/种”。除非另有说明，否则术语“包含”、“具有”、“包括”和“含有”及其各自的同源词应被解释为开放式术语(即，“包括但不限于”)，但是还包括“基本上由......组成”和“由......组成”的部分封闭或封闭式术语。除非本文另有说明，否则本文中对数值范围的描述仅旨在用作单独提及落入该范围内的每个单独值的简写方法，并且每个单独值并入本说明书中，如同其在本文中单独陈述一样，并且本文记录的任何值可以以任何组合使用，作为其描述的方面的范围的开始或结束。除非本文另有说明或上下文明显矛盾，否则本文所述的所有方法均可以以任何合适的顺序进行。除非另外声明，否则本文提供的任何和所有实例或示例性语言(例如，“如”)的使用仅旨在更好地说明本发明，而不对本发明的范围构成限制。说明书中的任何语言都不应被解释为表明任何未要求保护的要素对于本发明的实施是必要的。所有百分比均为重量％，并且所有重量％均基于组合物的总重量(在任何任选的浓缩和/或稀释之前)。本文(包括实施例)中所描述的组分的所有重量％均基于纯组分，即加入本发明组合物中的无水组分。“一个/种或多个/种”的每次使用都意味着可以在其出现的任何地方用“一个/种或多于一个/种”代替。另外，“一个/种或多个/种”也可以用“两个/种或多于两个/种”或“三个/种或多于三个/种”或“四个/种或多于四个/种”等代替。
本文描述了本发明的优选实施方式，包括发明人已知的实施本发明的最佳方式。在阅读前面的描述后，那些优选实施方式的变化对于本领域普通技术人员来说可以变得显而易见。发明人预期熟练的技术人员适当地采用这些变化，并且发明人希望本发明以不同于本文具体描述的方式实施。因此，本发明包括适用法律所允许的所附权利要求中记载的主题内容的所有修改和等同方式。此外，除非本文另有说明或上下文明显矛盾，否则本发明涵盖上述要素以所有可能变化方式的任何组合。
出于促进对于要求保护的内容的理解的目的，现将参考所举例说明的实施方式，并将使用特定语言描述所述实施方式。尽管如此，应理解，并不由此意图限制要求保护的内容的范围，如其中所说明的其原理的这样的改变和进一步的修改和这样的进一步的应用是被设想的，正如对于本发明涉及的领域中的技术人员所通常会发生的。
根据本发明的组合物通常包括主要二醇醚溶剂、无机碱、次要二醇醚溶剂、胺和腐蚀抑制剂。在一些实施方式中，二醇醚溶剂包括二乙二醇丁醚(DB)、二乙二醇乙醚(DE)、二乙二醇甲乙醚(DME)、3-甲氧基-3-甲基-1-丁醇(MMB)和/或二乙二醇(DEG)。在一些实施方式中，无机碱包括氢氧化钾(KOH)、氢氧化锂(LiOH)和/或氢氧化钠(NaOH)。在一些实施方式中，胺包括单乙醇胺(MEA)、二乙醇胺(DEA)、三乙醇胺(TEA)、二亚乙基三胺(DETA)、三亚乙基四胺(TETA)和/或2-(2-氨基乙氧基)乙醇(AEE)(或其组合)。根据本发明的进一步实施方式包含另外的或第三溶剂。合适的第三溶剂包括二醇醚、多羟基化合物等。在一些实施方式中，组合物不含或基本上不含二甲基亚砜(DMSO)和N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)。在一些实施方式中，组合物可以不含或基本上不含含硫溶剂。在一些实施方式中，组合物可以不含或基本上不含含酰胺溶剂。在一些实施方式中，组合物可以不含或基本上不含季铵氢氧化物。在一些实施方式中，组合物可以不含或基本上不含四烷基氢氧化铵。在一些实施方式中，组合物可以不含或基本上不含四甲基氢氧化铵(TMAH)。基本上不含是指小于1重量％，或者小于0.1重量％，或者小于0.01重量％，或小于0.001重量％的量，或者不含，其中不含是不可检测或0。
在一个实施方式中，根据本发明的组合物包含二乙二醇丁醚(DB)作为主要溶剂、3-甲氧基-3-甲基-1-丁醇(MMB)作为次要溶剂和二乙二醇作为第三溶剂、单乙醇胺、氢氧化钾(KOH)和腐蚀抑制剂。组合物还表现出与铜、无铅SnAg焊料和环氧基模塑料的改善的相容性，以及延长的浴寿命和抗沉淀性。
在一个实施方式中，根据本发明的组合物包含二乙二醇乙醚(DE)作为主要溶剂、3-甲氧基-3-甲基-1-丁醇作为次要溶剂、氢氧化钾(KOH)和腐蚀抑制剂。组合物还表现出与铜、无铅SnAg焊料和环氧基模塑料的改善的相容性，以及延长的浴寿命和抗沉淀性。
在一个实施方式中，根据本发明的组合物包含二乙二醇乙醚(DE)、胺、氢氧化钾(KOH)和腐蚀抑制剂。组合物还表现出与铜、无铅SnAg焊料和环氧基模塑料的改善的相容性，以及延长的浴寿命和抗沉淀性。
在一个实施方式中，根据本发明的组合物包含二乙二醇乙醚(DE)作为主要溶剂、3-甲氧基-3-甲基-1-丁醇作为次要溶剂、氢氧化钾(KOH)、胺和腐蚀抑制剂。组合物还表现出与铜、无铅SnAg焊料和环氧基模塑料的改善的相容性，以及延长的浴寿命和抗沉淀性。
在一些实施方式中，主要溶剂可包括二乙二醇丁醚(DB)、二乙二醇甲醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇丙醚、丙二醇甲醚、二丙二醇甲醚、丙二醇丙醚、二丙二醇丙醚、丙二醇苯醚、丙二醇正丁醚、二丙二醇正丁醚、乙二醇丙醚、乙二醇丁醚、乙二醇苯醚、三丙二醇甲醚、二丙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、3-甲氧基-3-甲基-1-丁醇(MMB)、二乙二醇(DEG)或二丙二醇。在一些实施方式中，主要溶剂的存在量可以是组合物的至少约20重量％，或至少约30重量％，或至少约40重量％，或至少约50重量％，或至少约60重量％，或至少约65重量％，和/或小于约95重量％，和/或小于约90重量％，和/或小于约85重量％，和/或小于约80重量％，和/或小于约75重量％。在一些实施方式中，主要溶剂的存在量可以是组合物的约20重量％至约90重量％，约20重量％至约80重量％，约20重量％至约70重量％，约30重量％至约90重量％，约30重量％至约80重量％，约30重量％至约75重量％，和/或约30重量％至约70重量％，或任一以下端点定义的组合物的任何重量％范围：20、30、40、42、46、50、52、55、58、60、62、65、70、72、75、78、80、82、85、90、95。主要溶剂为组合物提供光致抗蚀剂溶解能力。
在一些实施方式中，次要溶剂可包括二乙二醇丁醚、二乙二醇甲醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇丙醚、丙二醇甲醚、二丙二醇甲醚、丙二醇丙醚、二丙二醇丙醚、丙二醇苯醚、丙二醇正丁醚、二丙二醇正丁醚、乙二醇丙醚、乙二醇丁醚、乙二醇苯醚、三丙二醇甲醚、二丙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、3-甲氧基-3-甲基-1-丁醇(MMB)、二乙二醇(DEG)、二丙二醇或丙二醇(PG)。在一些实施方式中，次要溶剂不同于主要溶剂。在一些实施方式中，次要溶剂的存在量可以是组合物的至少约5重量％，或至少约10重量％，或至少约15重量％，或至少约20重量％，和/或小于约60重量％，和/或小于约50重量％，和/或小于约40重量％。在一些实施方式中，次要溶剂的存在量可以是组合物的约5重量％至约60重量％，或约5重量％至约50重量％，或约5重量％至约45重量％，或约5重量％至约40重量％，或约10重量％至约60重量％，或约10重量％至约50重量％，或约10重量％至约45重量％，和/或约10重量％至约40重量％，或任一以下端点定义的组合物的任何重量％范围：2、5、8、10、12、15、18、20、25、28、30、35、38、40、42、45、46、50、52、55、58、60。可以添加次要溶剂以改善无机碱的稳定性以增加浴寿命，减少沉淀，通过改善溶解特性而协助光致抗蚀剂去除，和/或改善与材料如金属、聚合物电介质和环氧基模塑料的相容性。
在一些实施方式中，组合物可另外包含第三溶剂。在一个实施方式中，制剂可含有约0.1重量％至约50重量％的第三溶剂。特别有用的第三溶剂包括二醇醚和下文更详细描述的多羟基化合物。在一些实施方式中，第三溶剂包括3-甲氧基-3-甲基-1-丁醇(MMB)、二乙二醇(DEG)、二乙二醇甲乙醚(DME)或丙二醇(PG)。当存在时，第三溶剂不同于主要溶剂和次要溶剂。可加入第三溶剂以改善碳酸钾晶体的稳定性而减少沉淀。
特别合适的制剂具有充分低于0℃的凝固点以最小化运输和仓储期间的凝固。更优选的制剂具有低于约-10℃，或低于约-15℃，或低于约-19℃的冰点和约10cm3/升至约90cm3/升的负载能力。优选的制剂具有充分高于85℃的闪点以使使用期间的可燃性危害最小化。更优选的制剂具有高于约90℃和/或高于约94℃的闪点。因为优选的剥离剂溶液在低温下保持液态，所以消除了或最小化溶液在可以使用之前使在寒冷天气期间接收的或在未加热的仓库中储存的剥离剂溶液的固化鼓状物液化的需要。使用鼓式加热器熔化固化的剥离剂溶液是耗时的，需要额外的处理，并且可以导致不完全的熔化和熔融溶液的组成的改变。
另外，根据本发明的组合物显示出高负载能力，使得组合物能够除去更高水平的光致抗蚀剂而无固体沉淀。负载能力定义为在材料再沉积到晶片上之前或在残留物保留在晶片上之前，每升剥离剂溶液可以除去的光致抗蚀剂或双层材料的cm3数。例如，如果20升剥离剂溶液在再沉积发生或残留物保留在晶片上之前可以除去300cm3的光致抗蚀剂，则负载能力为300cm3/20升＝15cm3/升。在一个实施方式中，根据本发明的组合物表现出对于负性旋涂光致抗蚀剂具有约10cm3/升，约13cm3/升，约15cm3/升，约17cm3/升，约19cm3/升，和/或约21cm3/升的负载能力。在某些实施方式中，组合物对于负性旋涂光致抗蚀剂可以具有大于约10cm3/升，大于约13cm3/升，大于约15cm3/升，大于约17cm3/升，大于约19cm3/升，和/或大于约21cm3/升的负载能力。
根据本发明的组合物还可表现出抗沉淀性。如本文所用，“抗沉淀性”是指根据本发明的组合物保持透明或者以其他方式缺少可见沉淀，包括当加热时，例如加热至70摄氏度或更高的温度，持续3小时或更长的时间。
在一个实施方式中，本发明组合物中主要、次要和/或第三溶剂的重量％之和可以为组合物的至少约50重量％，或至少约60重量％，或至少约70重量％，或至少约75重量％，或至少约80重量％，或至少约85重量％，和/或小于约99.5重量％，和/或小于约99重量％，和/或小于约95重量％，和/或小于约90重量％。在一个实施方式中，组合物中主要、次要和/或第三溶剂的重量％之和可以为组合物的约50重量％至约99.5重量％，或约60重量％至约99.5重量％，或约70重量％至约99.5重量％，或约75重量％至约99.5重量％，或约80重量％至约99.5重量％，或约50重量％至约98重量％，约60重量％至约98重量％，或约70重量％至约98重量％，或约75重量％至约98重量％，或约80重量％至约98重量％，或约50重量％至约90重量％，或约60重量％至约90重量％，或约70重量％至约90重量％，或约75重量％至约90重量％，和/或约80重量％至约90重量％，或任一以下端点定义的组合物的任何重量％范围：45、48、50、52、55、58、60、62、65、68、70、72、75、78、80、82、85、88、90、95、98、99和99.5。
在一些实施方式中，基于组合物的总重量，胺的存在量可以是至少约1重量％，或至少约2重量％，或至少约3重量％，或至少约4重量％，或至少约5重量％，或至少约7重量％，和/或小于约30重量％，和/或小于约25重量％，和/或小于约20重量％，和/或小于约15重量％，和/或小于约10重量％。在一个实施方式中，胺的存在量可以是组合物的约1重量％至约30重量％，或约1重量％至约25重量％，或约1重量％至约20重量％，或约1重量％至约15重量％，或约3重量％至约30重量％，或约3重量％至约25重量％，或约3重量％至约20重量％，或约3重量％％至约15重量％，约5重量％至约30重量％，或约5重量％至约25重量％，或约5重量％至约20重量％，和/或约5重量％至约15重量％，或任一以下端点定义的组合物的任何重量％范围：1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、12、15、18、20、22、25、28、30和33。
主要溶剂以等于或大于(优选大于)次要溶剂或第三溶剂(存在时)的重量％的剥离剂组合物重量％存在于组合物中，而次要溶剂以等于或大于(优选大于)第三溶剂(如存在)的重量％存在。在一些实施方式中，组合物中主要溶剂的重量％与次要溶剂的重量％的比率大于约1，大于约1.5，大于约2，大于约2.5，大于约3，或大于约3.5。在另一个实施方式中，组合物中次要溶剂的重量％与胺的重量％的比率大于约1，大于约1.5，大于约2，大于约2.5，大于约3，大于约3.5，大于约4，大于约5，大于约6，或大于约7。
在一些实施方式中，基于组合物的总重量，无机碱的存在量可以是至少约0.1重量％，至少约0.5重量％，至少约1重量％，至少约1.5重量％，和/或小于约10重量％，和/或小于约7重量％，和/或小于约5重量％，和/或小于约4重量％，和/或小于约3重量％。在一个实施方式中，无机碱的存在量可以是组合物的约0.1重量％至约10重量％，约0.1重量％至约7重量％，约0.1重量％至约3重量％，约1重量％至约10重量％，约1重量％至约7重量％，约1重量％至约5重量％，约1重量％至约4重量％，约1重量％至约3重量％，约0.5重量％至约10重量％，约0.5重量％至约7重量％，约0.5重量％至约5重量％，和/或约0.5重量％至约3重量％，或任一以下端点定义的组合物的任何重量％范围：0.1、0.5、1、1.5、2、3、4、5、6、7、8、9和10。
当存在时，第三溶剂的存在量可以是组合物的至少约0.1重量％，至少约0.2重量％，至少约0.5重量％，至少约1重量％，至少约2重量％，至少约5重量％，小于约50重量％，小于约40重量％，小于约35重量％，小于约30重量％，小于约25重量％，小于约20重量％。在一个实施方式中，第三溶剂的存在量可以是组合物的约0.1重量％至约50重量％，约0.1重量％至约40重量％，约0.1重量％至约30重量％，约0.1重量％至约25重量％，约0.5重量％至约50重量％，约0.5重量％至约40重量％，约0.5重量％至约30重量％，约0.5重量％至约25重量％，约1重量％至约50重量％，约1重量％至约40重量％，约1重量％至约30重量％，和/或约1重量％至约25重量％，或任一以下端点定义的组合物的任何重量％范围：0.1、0.2、0.5、1、1.5、2、3、4、5、6、7、8、9、10和12、15、20、22、25、28、30、33、35、40、45和50。
在一个实施方式中，组合物不含或基本上不含表面活性剂、非离子表面活性剂、阴离子表面活性剂和/或含氟表面活性剂。
当存在于本发明的组合物中时，水的存在量可以是组合物的至少约0.01重量％，至少约0.1重量％，至少约0.5重量％，至少约1重量％，小于约5重量％，小于约4重量％，小于约3重量％，小于约2重量％，小于约1重量％，和/或小于约0.5重量％。在一个实施方式中，水的存在量可以是组合物的约0.01重量％至约5重量％，约0.01重量％至约2重量％，约0.01至约1重量％，约0.01至约0.5重量％，约0.1重量％至约5重量％，约0.1重量％至约2重量％，约0.1重量％至约1重量％，或约0.1重量％至约0.5重量％。在一个实施方式中，组合物可以不含或基本上不含水。可以将水加入组合物中，或者可以不将水加入组合物中。水可以作为与组合物的其他组分如溶剂、胺、腐蚀抑制剂或无机碱相关的稳定剂或杂质存在。例如，无机碱氢氧化钾是吸湿的并且通常含有水合物形式的水。在一个实施方式中，组合物可以不含或基本上不含添加的水。
合适的胺可以是具有至少两个碳原子并且在不同碳原子上具有氨基和羟基取代基的烷醇胺。合适的烷醇胺包括但不限于乙醇胺、N-甲基乙醇胺、N-乙基乙醇胺、N-丙基乙醇胺、N-丁基乙醇胺、二甲基乙醇胺、二乙基乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、N-甲基二乙醇胺、N-乙基二乙醇胺、异丙醇胺、二异丙醇胺、三异丙醇胺、N-甲基异丙醇胺、N-乙基异丙醇胺、N-丙基异丙醇胺、2-氨基丙-1-醇、N-甲基-2-氨基丙-1-醇、N-乙基-2-氨基丙-1-醇、1-氨基丙-3-醇、N-甲基-1-氨基丙-3-醇、N-乙基-1-氨基丙-3-醇、1-氨基丁-2-醇、N-甲基-1-氨基丁-2-醇、N-乙基-1-氨基丁-2-醇、2-氨基丁-1-醇、N-甲基-2-氨基丁-1-醇、N-乙基-2-氨基丁-1-醇、3-氨基丁-1-醇、N-甲基-3-氨基丁-1-醇、N-乙基-3-氨基丁-1-醇、1-氨基丁-4-醇、N-甲基-1-氨基丁-4-醇、N-乙基-1-氨基丁-4-醇、1-氨基-2-甲基丙-2-醇、2-氨基-2-甲基丙-1-醇、1-氨基戊-4-醇、2-氨基-4-甲基戊-1-醇、2-氨基己-1-醇、3-氨基庚-4-醇、1-氨基辛-2-醇、5-氨基辛-4-醇、1-氨基丙-2,3-二醇、2-氨基丙-1,3-二醇、三(羟甲基)氨基甲烷、1,2-二氨基丙-3-醇、1,3-二氨基丙-2-醇、2-(2-氨基乙氧基)乙醇、氨基乙基乙醇胺、4-(2-羟乙基)吗啉、1-(2-羟乙基))哌啶和1-(2-羟乙基)哌嗪，或其组合。
或者，合适的胺可以是具有一个或多个氮原子的烷基胺，具有与非芳基烃连接的孤对电子。该化合物可以是直链、支链或环状的。合适的烷基胺包括二亚乙基三胺、三亚乙基四胺、1,5-二氨基-2-甲基戊烷、1,3-二氨基戊烷、哌嗪、1-(2-氨基乙基)哌嗪、1,2-二氨基环己烷、1,3-二氨基丙烷、1-(2-氨基乙基)哌啶和四亚乙基五胺，或其组合。
可以添加胺以通过改善组合物的溶解特性而协助光致抗蚀剂去除。烷醇胺和/或烷基胺提供相同的益处。一种或多种胺可用于本发明的组合物，即，可使用胺(例如上文列出的那些)的任何组合。
第三溶剂可包括二醇醚、二醇或多羟基化合物，或这些中的两种或更多种的组合。
第三溶剂二醇醚和/或多羟基化合物不包含(不含)酯或胺基。二醇醚或多羟基化合物可以是脂族、脂环族、环状或芳族的，但理想地是脂族或脂环族的。二醇醚或多羟基化合物可以是饱和的或不饱和的，并且理想地具有一个或多个不饱和键，或不具有不饱和键。二醇醚和多羟基化合物理想地不包含(不含)杂原子。二醇醚和多羟基化合物理想地仅含有碳、氧和氢原子。
如上所述，第三溶剂可以是具有两个或更多个羟基的多羟基化合物。多羟基化合物理想地数均分子量不大于500，或不大于400，或不大于350，或不大于300，或不大于275，或不大于250，或不大于225，或不大于200，或不大于175，或不大于150，或不大于125，或不大于100，或不大于75。
多羟基化合物可包括乙二醇；1,2-丙二醇(丙二醇)；1,3-丙二醇，1,2,3-丙三醇；1,2-丁二醇；1,3-丙二醇；2,3-丁二醇；1,4-丁二醇；1,2,3-丁三醇；1,2,4-丁三醇；1,2-戊二醇；1,3-戊二醇；1,4-戊二醇；1,5-戊二醇；2,3-戊二醇；2,4-戊二醇；3,4-戊二醇；1,2,3-戊三醇；1,2,4-戊三醇；1,2,5-戊三醇；1,3,5-戊三醇；驱蚊醇(etohexadiol)；对-甲烷-3,8-多羟基化合物；2-甲基-2,4-戊二醇；2,2-二甲基-1,3-丙二醇；甘油；三羟甲基丙烷；木糖醇；阿拉伯糖醇；1,2-或1,3-环戊二醇；1,2-或1,3-环己二醇；2,3-降冰片烷二醇；1,8-辛二醇；1,2-环己烷-二甲醇；1,3-环己烷二甲醇；1,4-环己烷二甲醇；2,2,4-三甲基-1,3-戊二醇；羟基新戊酰基羟基新戊酸酯；2-甲基-1,3-丙二醇；2-丁基-2-乙基-1,3-丙二醇；2-乙基-2-异丁基-1,3-丙二醇；1,6-己二醇；2,2,4,4-四甲基-1,6-己二醇；1,10-癸二醇；1,4-苯二甲醇；氢化双酚A；1,1,1-三羟甲基丙烷；1,1,1-三羟甲基乙烷；季戊四醇；赤藓糖醇；苏糖醇；二季戊四醇；山梨糖醇；甘油；木糖醇；等等，以及上述多羟基化合物中的两种或更多种的组合。
在说明性实例中，溶液可包含乙二醇、1,2-丙二醇(丙二醇)、1,3-丙二醇、1,4-戊二醇、1,5-戊二醇、1,2-丁二醇、1,4-丁二醇或1,3-丁二醇的一种或多种第三多羟基溶剂。
作为第三溶剂的二醇醚化合物可包括二乙二醇丁醚、二乙二醇甲醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇丙醚、丙二醇甲醚、二丙二醇甲醚、丙二醇丙醚、二丙二醇丙醚、丙二醇苯醚、丙二醇正丁醚、二丙二醇正丁醚、乙二醇丙醚、乙二醇丁醚、乙二醇苯醚、三丙二醇甲醚、二丙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、3-甲氧基-3-甲基-1-丁醇、二乙二醇和二丙二醇。
组合物还可任选含有一种或多种腐蚀抑制剂。合适的腐蚀抑制剂包括但不限于芳族羟基化合物，例如儿茶酚和间苯二酚；烷基儿茶酚，如甲基儿茶酚、乙基儿茶酚和叔丁基儿茶酚，苯酚类和连苯三酚；芳族三唑，如苯并三唑；烷基苯并三唑；糖醇如甘油、山梨糖醇、赤藓糖醇、木糖醇；羧酸，如甲酸、乙酸、丙酸、丁酸、异丁酸、草酸、丙二酸、琥珀酸、癸二酸、十二烷酸、十一烷酸、戊二酸、马来酸、富马酸、苯甲酸、邻苯二甲酸、1,2,3-苯三甲酸、乙醇酸、乳酸、苹果酸、柠檬酸、乙酸酐、邻苯二甲酸酐、马来酸酐、琥珀酸酐、水杨酸、没食子酸和没食子酸酯，如没食子酸甲酯和没食子酸丙酯；金属盐，如硝酸铜(II)的水合物，如硝酸铜(II)半(五水合物)；上述含羧基有机化合物的有机盐，碱性物质，如乙醇胺、三甲胺、二乙胺和吡啶类，如2-氨基吡啶，等等，以及螯合化合物，如基于磷酸的螯合化合物，包括1,2-丙二胺四亚甲基膦酸和羟基乙烷膦酸，基于羧酸的螯合化合物，如乙二胺四乙酸及其钠盐和铵盐，二羟乙基甘氨酸和次氮基三乙酸，基于胺的螯合化合物，如联吡啶、四苯基卟啉和菲咯啉，和基于肟的螯合化合物，如二甲基乙二肟和二苯基乙二肟，或其组合。
可以使用单一腐蚀抑制剂，或者可以使用腐蚀抑制剂的组合。腐蚀抑制剂已证明以组合物的约0.0001重量％(1ppm)至约10重量％范围的含量是有用的。在一些实施方式中，组合物可含有约0.0001重量％至约7重量％，约0.0001重量％至约3重量％，约0.001重量％至约10重量％，约0.001至约7重量％，约0.001至约3重量％，约0.001重量％至约2重量％，约0.001重量％至约1重量％，0.001重量％至约0.1重量％，约0.01重量％至约7重量％，约0.01重量％至约5重量％，约0.01重量％至约3重量％，约0.01重量％至约2重量％，约0.01重量％至约1重量％，约0.05重量％至约7重量％，约0.05重量％至约5重量％，约0.05重量％至约3重量％，约0.05重量％至约2重量％，约0.05重量％至约1重量％，约0.1重量％至约7重量％，约0.1重量％至约5重量％，约0.1重量％至约3重量％，约0.1重量％至约2重量％，约0.1重量％至约1重量％，至少0.0001重量％，至少0.001重量％，至少0.01重量％，至少0.05重量％，至少0.1重量％％，至少0.5重量％，小于约0.05重量％，小于约0.1重量％，小于约0.5重量％，小于约1重量％，小于约2重量％，小于约3重量％，小于约5重量％，和/或小于约7重量％的腐蚀抑制剂。
在一些实施方式中，溶液可含有约0.001重量％至约3重量％的第一腐蚀抑制剂。在一个实施方式中，第一腐蚀抑制剂是硝酸铜(II)水合物。在一些实施方式中，溶液可另外含有约0.05重量％至约7重量％的第二腐蚀抑制剂。在其他实施方式中，溶液可含有约0.001重量％至约2重量％，约0.001重量％至约1重量％，0.001重量％至约0.1重量％，约0.01重量％至约3重量％，约0.01重量％至约2重量％，约0.01重量％至约1重量％，至少0.001重量％，至少0.01重量％，至少0.1重量％，少于约0.05重量％，少于约0.1重量％，少于约0.5重量％，少于约1重量％，少于约2重量％和/或少于约3重量％的第一腐蚀抑制剂。在其他实施方式中，溶液可含有约0.05重量％至约5重量％，约0.05重量％至约3重量％，约0.05重量％至约2重量％，约0.05重量％至约1重量％，约0.1重量％至约7重量％，约0.1重量％至约5重量％，约0.1重量％至约3重量％，约0.1重量％至约2重量％，约0.1重量％至约1重量％，至少0.05重量％，至少0.1重量％，至少1重量％，少于1重量％，少于2重量％，少于约3重量％，少于约5重量％和/或少于约7重量％的第二腐蚀抑制剂。第一和第二腐蚀抑制剂不相同。第一腐蚀抑制剂和第二腐蚀抑制剂均可选自上述腐蚀抑制剂。在一些实施方式中，组合物可以基本上不含金属盐。在一些实施方式中，组合物可以基本上不含糖醇。
至少50℃的优选温度对于接触衬底是优选的，而对于大多数应用，更优选约50℃至约80℃的温度。在另一个实施方式中，优选的温度比溶液的闪点低至少5℃，或比溶液的闪点低至少10℃，或比溶液的闪点低至少20℃。或者，优选的温度低于94℃，或低于90℃，或低于85℃，或至少55℃，或至少60℃，或至少65℃，或至少70℃，或至少75℃，或至少80℃。在另一个实施方式中，优选的温度为约60℃至约80℃，约60℃至约85℃，约60℃至约90℃，约60℃至约95℃，约60℃至约100℃，约50℃至约85℃，约50℃至约90℃，约50℃至约95℃，和/或约50℃至约100℃。对于其中衬底敏感或需要更长去除时间的特定应用，较低的接触温度是合适的。例如，当再加工衬底时，将剥离剂溶液保持在至少20℃的温度下较长时间以除去光致抗蚀剂并避免损坏衬底可能是合适的。
当浸泡衬底时，组合物的搅拌额外地促进光致抗蚀剂去除。搅拌可以通过机械搅拌、循环或通过使惰性气体鼓泡经过组合物实现。在除去期望量的光致抗蚀剂后，使衬底从与剥离剂溶液的接触移除，并用水或醇冲洗。去离子水是水的优选形式，并且异丙醇(IPA)是优选的醇。对于具有易受氧化的组分的衬底，冲洗优选在惰性气氛下进行。与现有商业产品相比，根据本公开的优选剥离剂溶液具有改善的对光致抗蚀剂材料的负载能力，并且能够用给定体积的剥离剂溶液处理更大数量的衬底。
本公开中提供的剥离剂溶液可用于除去以单层存在的聚合物抗蚀剂材料或某些类型的双层抗蚀剂。例如，双层抗蚀剂通常具有被第二聚合物层覆盖的第一无机层或可具有两个聚合物层。利用下面教导的方法，可以从具有单个聚合物层的标准晶片有效地除去单一聚合物抗蚀剂层。相同的方法也可用于从具有由第一无机层和第二或外层聚合物层组成的双层的晶片除去单一聚合物层。最后，可以使用本发明的剥离剂组合物和/或方法从具有由两个聚合物层组成的双层的晶片有效地除去两个聚合物层。
本发明描述了用于除去在半导体器件的高级封装应用中的厚光致抗蚀剂的化学溶液。在一个实施方式中，所述溶液含有二乙二醇丁醚(DB)、无机碱、胺、次要溶剂和至少一种腐蚀抑制剂。在一些实施方式中，溶液基本上不含DMSO和NMP。在一些实施方式中，溶液不含或基本上不含季铵氢氧化物。在一些实施方式中，溶液不含或基本上不含沸点为至少100℃的醇。在一些实施方式中，胺是单乙醇胺、二亚乙基三胺、三亚乙基四胺和/或2-(2-氨基乙氧基)乙醇。在一些实施方式中，次要溶剂是3-甲基-3-甲氧基-1-丁醇或二乙二醇。基本上不含是指小于1重量％，或者小于0.1重量％，或者小于0.01重量％或小于0.001重量％的量。基本上不含也包括不含，即没有季铵氢氧化物存在。溶液通常含有少于约5重量％的水。
本发明组合物的一些实施方式可以基本上不含，或者不含(如前文定义的那些术语)沸点为至少100℃的醇，其中醇具有化学通式R-OH，其中R是C4-C30烃基，例如苯甲醇和2-乙基己醇。
本发明组合物的一些实施方式可以基本上不含，或者不含(如前文定义的那些术语)任意组合的以下物质中的一种或多于一种：极性非质子溶剂、含硫化合物、含氮溶剂如酰胺、丙二醇甲醚乙酸酯、二醇醚乙酸酯溶剂、氧合铵(oxoammonium)化合物、羟胺及其衍生物、过氧化氢、氧化剂、无机酸、有机酸、吡唑、非碱金属氢氧化物、二醇、多元醇、NMP、DMSO、二甲基乙酰胺、含氟化合物、含磷化合物、二甲基甲酰胺、二甲基砜、内酯溶剂、γ-丁内酯、乙二醇、丙二醇、四氢糠醇、糠醇、甘油、季铵氢氧化物、四烷基氢氧化铵、四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、表面活性剂、碳酸钾、含金属化合物、糖醇、三唑和三唑衍生物、苯并三唑和芳香族羟基化合物。
实施例
以下缩写用于下文列出的各种组合物中：DB＝二乙二醇丁醚；DEG＝二乙二醇；MEA＝单乙醇胺；DETA＝二亚乙基三胺；TETA＝三亚乙基四胺；MMB＝3-甲氧基-3-甲基-1-丁醇；KOH＝氢氧化钾；NMP＝N-甲基-2-吡咯烷酮；DE＝二乙二醇乙醚；AEE＝2-(2-氨基乙氧基)乙醇；DME＝二乙二醇甲乙醚。
在以下实施例中，在烧杯中使用浸没过程进行光致抗蚀剂的去除。对于浸没过程，在烧杯中处理试样大小的半导体晶片样品。在烧杯中装入100mL剥离组合物并加热至目标温度70℃。当剥离组合物处于目标温度时，将试样放入烧杯中的支架中，并通过搅拌棒提供轻微搅拌。在整个过程中使温度保持在70℃的目标温度。在15分钟的总处理时间之后，将试样从烧杯中取出，用去离子水和IPA冲洗，并用空气流干燥。
表1列出了各种本发明剥离组合物和对比剥离组合物。
(所有百分比是基于制剂的总重量的重量％)
表1.制剂
对比制剂1
83.14％MMB
10％NMP
5％苯酚乙氧基化物表面活性剂
1.674％KOH
0.186％水
实施例1
表2列出了实施例1使用浸没过程和具有60μm-70μm厚的JSR THB-151N负性旋涂光致抗蚀剂、镀Cu柱或微凸块和Sn/Ag焊料帽的半导体晶片而测试的剥离组合物。表2中所有组合物的处理温度分别为70℃。
对于下面描述的实验，观察并相应记录抗蚀剂去除。如果从晶片试样表面除去所有抗蚀剂，则将抗蚀剂去除定义为“清洁”；如果从表面除去至少95％的抗蚀剂，但不是所有的抗蚀剂，则定义为“大部分清洁”；如果从表面除去至少约80％的抗蚀剂，但少于95％的抗蚀剂，则定义为“部分清洁”。通常，较高浓度的胺导致较好的抗蚀剂去除性能。
表2
实施例2
在实施例2中，使用各种剥离组合物从镀有Cu柱特征和Sn/Ag焊料帽的硅晶片除去50μm厚的JSR THB-164N负性旋涂光致抗蚀剂。使用浸没过程进行抗蚀剂去除。对于浸没过程，在烧杯中处理试样大小的半导体晶片样品。在烧杯中装入100mL剥离组合物并加热至目标温度70℃。当剥离组合物处于目标温度时，将试样放入烧杯中的支架中，并通过搅拌棒提供轻微搅拌。在整个过程中使温度保持在70℃的目标温度。在15分钟的总处理时间之后，将试样从烧杯中取出，用去离子水和IPA冲洗，并用空气流干燥。
对于下述实验，观察并相应地记录抗蚀剂去除。如果从晶片试样表面除去所有抗蚀剂，则将抗蚀剂去除定义为“清洁”；如果从表面除去至少95％的抗蚀剂，则定义为“大部分清洁”；如果从表面除去约80％的抗蚀剂，则定义为“部分清洁”。
表3列出了实施例2使用浸没过程和在具有镀Cu特征和Sn/Ag焊料帽的厚旋涂光致抗蚀剂的半导体晶片而测试的剥离组合物。表3中的加热温度为70℃。通常，较高浓度的胺导致较好的抗蚀剂除去性能。
表3
制剂 Cu柱晶片的抗蚀剂去除@60min
2 清洁
9 清洁
11 部分清洁
12 部分清洁
13 清洁
15 清洁
16 清洁
17 清洁
18 清洁
27 大部分清洁
28 清洁
29 清洁
实施例3
在实施例3中，在热板上在70℃或85℃下加热各种剥离剂组合物几小时，其上覆盖有表面皿。在加热之前和之后滴定KOH以监测从开始时的每小时强碱下降(strong basedrop)。
表4列出了实施例3测试的剥离组合物。表4中的加热温度为70℃或85℃。KOH的较小降低是优选的。通常，较高浓度的MMB导致KOH的较小降低。
表4
实施例4
在实施例4中，使用各种剥离组合物检验在70℃或85℃下30分钟、60分钟和90分钟与环氧模塑料的相容性。监测重量损失以验证相容性。较少的重量损失是优选的。通常，较高浓度的DEG导致模塑料的较多重量损失。
表5列出了实施例4测试的剥离组合物。表5中的加热温度为70℃或85℃。
表5
实施例5
在实施例5中，使用各种剥离组合物，并在热板上在70℃下加热约3小时，烧杯覆盖有表面皿。目视检查溶液透明度和沉淀物形成以监测结晶。对于以下描述的实验，描述为“无”的结晶是溶液保持透明并且没有观察到结晶或固体的沉淀。如果溶液变雾浊，但没有观察到结晶或固体沉淀，则结晶被描述为“低”。如果溶液变雾浊并且观察到烧杯侧壁上的少量结晶或固体沉淀，则结晶被描述为“中等”。如果溶液变雾浊并且在烧杯底部观察到大量固体沉淀，则结晶被描述为“高”。通常，较高浓度的DEG导致较少的固体沉淀。
表6列出了实施例5测试的剥离组合物。表6中的加热温度为70℃。
表6
实施例6
在实施例6中，使用各种剥离组合物测定用于从镀有Cu柱特征和Sn/Ag焊料帽的硅晶片除去60μm厚的JSR THB-164N负性旋涂光致抗蚀剂的抗蚀剂负载能力。使用浸没过程进行抗蚀剂去除。对于浸没过程，在烧杯中处理试样大小的半导体晶片样品。对于测试的每种组合物，在烧杯中装入100mL剥离组合物并加热至相应的目标温度。当剥离组合物处于目标温度时，将多个试样置于烧杯中的支架中，并通过搅拌棒提供轻微搅拌。在整个过程中使温度保持在目标温度。在50-60分钟的总处理时间之后，将试样从烧杯中取出，用去离子水和IPA冲洗，并用空气流干燥。用多个试样重复实验。检查试样的抗蚀剂去除，直到观察到不完全的抗蚀剂去除。抗蚀剂负载能力是通过将其中光致抗蚀剂被完全除去的所有试样的表面积乘以光致抗蚀剂的60μm厚度的值相加以计算除去的光致抗蚀剂的体积而测定。将除去的光致抗蚀剂的总体积除以100mL以计算抗蚀剂负载能力，并将该值转换为cm3/升。
表7列出了实施例6测试的剥离组合物及其相应的光致抗蚀剂负载能力。
表7
制剂 温度℃ 时间 负载能力
1 80 50min 21.4cm<sup>3</sup>/升
2 70 60min 17.3cm<sup>3</sup>/升
对比例1 85 50min 17.6cm<sup>3</sup>/升
实施例7
表8列出了各种制剂的闪点。
表8.闪点
制剂 闪点(℃)
1 94.5
对比例1 81
虽然已经参考一个或多个实施方式描述了本发明，但是本领域技术人员将理解，在不脱离本发明的范围的情况下，可以进行各种改变，并且可以用等同物替换其要素。另外，在不脱离本发明的实质性范围的情况下，可以进行许多修改以使特定情况或材料适应本发明的教导。因此，意图是本发明不限于作为实施本发明的最佳方式公开的特定实施方式，而是本发明将包括落入所附权利要求范围内的所有实施方式。另外，在详细描述中确定的所有数值应被解释为如同精确值和近似值两者都被明确地确定。

Claims (19)

1.一种用于从衬底除去光致抗蚀剂的剥离剂溶液，其包含：
约20重量％至约90重量％的主要溶剂；
约5重量％至约50重量％的次要溶剂；
约1重量％至约7重量％的无机碱；
约1重量％至约30重量％的胺；
约0.0001重量％至约10重量％的腐蚀抑制剂；
其中所述溶液表现出高于约90摄氏度的闪点；
和
其中所述溶液基本上不含季铵氢氧化物。
2.根据权利要求1所述的剥离剂溶液，其中所述主要溶剂是二乙二醇丁醚、二乙二醇甲醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇丙醚、丙二醇甲醚、二丙二醇甲醚、丙二醇丙醚、二丙二醇丙醚、丙二醇苯醚、丙二醇正丁醚、二丙二醇正丁醚、乙二醇丙醚、乙二醇丁醚、乙二醇苯醚、三丙二醇甲醚、二丙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、3-甲基-3-甲氧基-1-丁醇、二乙二醇或二丙二醇。
3.根据权利要求1或2所述的剥离剂溶液，其中所述无机碱的存在量为约1重量％至约4重量％。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的剥离剂溶液，其中所述无机碱包括氢氧化钾。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的剥离剂溶液，其还包含约0.1重量％至约5重量％的水。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的剥离剂溶液，其中所述胺的存在量为约1％重量至约20％重量。
7.根据权利要求1-6中任一项所述的剥离剂溶液，其还包含第三溶剂，其中所述主要、次要和第三溶剂的总量为约50重量％至约99.5重量％。
8.根据权利要求1-7中任一项所述的剥离剂溶液，其中所述胺包括单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、二亚乙基三胺、三亚乙基四胺或2-(2-氨基乙氧基)乙醇，或其组合。
9.根据权利要求1-8中任一项所述的剥离剂溶液，
其中所述主要溶剂是二乙二醇丁醚，且其存在量为约20％重量至约80％重量；
其中所述无机碱的存在量为约1％重量至约3％重量；
其中所述胺的存在量为约3％重量至约20％重量；和
其中所述腐蚀抑制剂的存在量为约0.001％重量至约1％重量。
10.根据权利要求1-9中任一项所述的剥离剂溶液，其中所述腐蚀抑制剂是间苯二酚、甘油、木糖醇、山梨糖醇或硝酸铜(II)半(五水合物)，或其组合。
11.根据权利要求1-10中任一项所述的剥离剂溶液，其中所述腐蚀抑制剂的存在量为约0.001重量％至约0.1重量％。
12.根据权利要求1-10中任一项所述的剥离剂溶液，其中所述腐蚀抑制剂的存在量为约0.001重量％至约3重量％。
13.根据权利要求1-12中任一项所述的剥离剂溶液，其中所述溶液基本上不含有含硫溶剂。
14.根据权利要求1-13中任一项所述的剥离剂溶液，其中所述溶液基本上不含沸点为至少100℃的醇。
15.根据权利要求1-14中任一项所述的剥离剂溶液，其中所述主要溶剂是二乙二醇丁醚、二乙二醇甲醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇丙醚、丙二醇甲醚、二丙二醇甲醚、丙二醇丙醚、二丙二醇丙醚、丙二醇苯醚、丙二醇正丁醚、二丙二醇正丁醚、乙二醇丙醚、乙二醇丁醚、乙二醇苯醚、三丙二醇甲醚、二丙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、3-甲基-3-甲氧基-1-丁醇、二乙二醇或二丙二醇；
所述次要溶剂为二乙二醇甲醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇丙醚、丙二醇甲醚、二丙二醇甲醚、丙二醇丙醚、二丙二醇丙醚、丙二醇苯醚、丙二醇正丁醚、二丙二醇正丁醚、乙二醇丙醚、乙二醇丁醚、乙二醇苯醚、三丙二醇甲醚、二丙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、3-甲基-3-甲氧基-1-丁醇、二乙二醇、二丙二醇或丙二醇；
所述无机碱包括氢氧化钾；
所述胺包括单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、二亚乙基三胺、三亚乙基四胺或2-(2-氨基乙氧基)乙醇，或其组合；
所述腐蚀抑制剂包含约0.001重量％至约3重量％的间苯二酚、甘油、木糖醇、山梨糖醇或硝酸铜(II)水合物，或其组合；
其中所述主要溶剂和所述次要溶剂是不同的；和
其中所述溶液基本上不含沸点为至少100℃的醇。
16.根据权利要求1-15中任一项所述的剥离剂溶液，其中所述次要溶剂选自3-甲基-3-甲氧基-1-丁醇、二乙二醇和二乙二醇甲乙醚。
17.根据权利要求15所述的剥离剂溶液，
其中所述氢氧化钾的存在量为约1％重量至约3％重量；
其中所述胺的存在量为约3％重量至约20％重量；和
其中所述腐蚀抑制剂的存在量为约0.001％重量至约1％重量。
18.根据权利要求1-17中任一项所述的剥离剂溶液，其中基于所述组合物的总重量，所述主要溶剂的重量％和所述次要溶剂的重量％之和为约50重量％至99.5重量％。
19.一种清洁衬底的方法，其包括以下步骤：
将衬底浸入根据权利要求1-18中任一项所述的溶液中。
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