CN110324981A - 层压装置及柔性印刷电路板的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供的层压装置和柔性印刷电路板的制造方法，能够防止离型膜中产生皱褶或隆起，并且能够使离型膜的凹凸追随性变得良好；该层压装置(100)具备：与外部气密性地封闭的腔室(102)；对腔室(102)的内部进行抽真空的真空泵(121)；对临时粘接体(40)和离型膜(30)进行加热的加热板(116)；以加压状态挤压临时粘接体(40)和离型膜(30)的伸缩板(137)；用于供给临时粘接体(40)的临时粘接体供给源(140)；用于向临时粘接体(40)的表面侧和背面侧的至少一侧供给热膨胀系数大于保护膜(20)的离型膜(30)的离型膜供给源(150)；以及对被加热的离型膜(30)施加拉伸力的张力施加机构(200)。

Description

层压装置及柔性印刷电路板的制造方法

技术领域

本发明涉及一种层压装置及柔性印刷电路板的制造方法。

背景技术

柔性印刷电路板的制造工序中具有层压工序。在层压工序中，将保护膜层压在基底膜(base film)上，该基底膜具有对铜箔进行蚀刻而形成的图案层(pattern layer)。此时，不仅层压保护膜，而且是隔着之后剥离的离型膜进行层压。由此，抑制粘接材料从存在于保护膜中的粘接材料层流出。

作为上述对基底膜层压覆盖膜的层压装置，例如有专利文献1、2所示的装置。在专利文献1、2公开的构成中，将卷状的基底膜形成为片状并间歇性地抽出，另外，从卷状的覆盖膜形成长条状的覆盖膜。然后，利用临时压接装置将长条状的覆盖膜临时压接在片状的基底膜上。此外，专利文献1、2中还公开了使用离型膜。

【在先技术文献】

【专利文献】

专利文献1：日本专利特许第4097679号公报

专利文献2：日本专利特许第4892551号公报

发明内容

然而，在目前的制造工序中，被称为多层产品的存在三层以上铜箔层的产品，是在将基底膜、保护膜及离型膜切割成长条状的状态下，通过人工进行重叠，然后利用层压装置进行层压。另外，在多层产品以外的柔性印刷电路板中，有时使用专利文献1、2所公开的层压装置，并在至少基底膜未被切割成长条状而相连的状态下执行层压。

然而，在以所有的薄膜都未被切割成长条状而相连的状态层压时，存在如下问题。具体而言，正在研究在以相连的状态对于由基底膜和保护膜的临时粘接体与离型膜重叠而成的层压体进行层压的情况下，使用具有对导入装置内的层压体进行加热和加压的加热加压部的连续真空冲压装置。并且，在该连续真空冲压装置内的加热加压部的入口附近配置具有冷却管的冷却机构。因为通过该冷却机构，可以防止热量从加热加压部传递至存在于输送方向上游侧的薄膜，而使临时粘接体中的基底膜或保护膜的粘接材料热固化。

基于这一认知，使用试验性的连续真空冲压装置对层压体执行了层压，结果产生如下问题。即，当利用冷却机构冷却后的离型膜移动至加热加压部时，离型膜被加热而热膨胀并扩展，从而在该离型膜上产生褶皱或隆起。若以产生上述褶皱或隆起的状态将离型膜重叠在保护膜和基底膜上并进行层压，则上述褶皱或隆起会被转印到基底膜和保护膜的层压体上。

另外，若离型膜不能良好地追随基底膜或保护膜上存在的凹凸部分，则无法良好地防止粘接材料的流出。然而，在专利文献1、2所公开的构成中，如其说明书第0014段所记载，仅进行临时压接，而正式压接需要准备另外的真空冲压机。因此，使用专利文献1、2所公开的构成，也难以提高对于凹凸部分的追随性。

在此，在基底膜上仅存在一层铜箔的单面基板、或者在基底膜的表面侧和背面侧存在铜箔的双面基板中，大多情况下凹凸部分的深度比较浅，另外，大多情况下凹凸部分也较少。然而，在基底膜上存在三层以上铜箔的多层基板中，在内部的铜箔上也存在孔或凹部等这样的凹凸部分。因此，通常凹凸部分较深，并且凹凸部分较多。因此，在专利文献1、2所公开的构成中，在上述多层基板中，使离型膜追随凹凸部分尤为困难。

本发明是基于上述情况完成的，其目的在于，提供一种能够防止在离型膜中产生皱褶或隆起，并且能够使离型膜相对于临时粘接体上存在的凹凸部分的凹凸追随性变得良好的层压装置及柔性印刷电路板的制造方法。

为了解决上述课题，本发明的第一观点提供的层压装置，用于在由基底层压体和保护膜临时粘接而成的临时粘接体上重叠离型膜并进行热压接，其特征在于具备：腔室，其通过将设置于第一腔室中的第一密封部件与设置于第二腔室中的第二密封部件对接而形成，且与外部气密性地封闭；吸引单元，其用于对腔室的内部进行抽真空；加热单元，其配置于腔室的内部，并对临时粘接体和离型膜进行加热；挤压单元，其配置于腔室的内部，并以加压状态挤压临时粘接体和离型膜；临时粘接体供给源，其用于供给由基底层压体和保护膜临时粘接而成的临时粘接体，其中，该基底层压体具备具有导电性的多个图案层和存在于这些图案层之间的绝缘树脂层，该保护膜具备通过加热而变形的粘接材料层；离型膜供给源，其用于向临时粘接体的表面侧和背面侧的至少一侧供给热膨胀系数大于保护膜的离型膜；以及张力施加机构，其用于对通过加热单元加热后的离型膜施加拉伸力。

另外，本发明的另一方面是在上述发明中，优选在第一腔室的外周侧中位于离型膜和临时粘接体的输送方向上游侧的位置处，设置有用于对该离型膜和该临时粘接体进行冷却的冷却机构。

进而，本发明的另一方面是在上述发明中，优选张力施加机构配置于离型膜供给源与腔室之间。

另外，本发明的另一方面是在上述发明中，优选张力施加机构具备：夹持离型膜的夹紧机构、朝向离型膜的输送方向的相反侧推动夹紧机构的挤压单元、以及调节挤压单元的挤压力的调节单元。

进而，本发明的另一方面是在上述发明中，优选张力施加机构具备：通过将离型膜朝向其输送方向的相反侧进行驱动，从而对该离型膜施加拉伸力的驱动单元、和检测通过驱动单元的驱动作用于离型膜上的拉伸力的张力检测机构。

另外，本发明的另一方面是在上述发明中，优选张力施加机构具备阶梯辊，该阶梯辊能够沿上下方向移动，并且通过调节配重对离型膜施加规定的负荷。

另外，本发明的第二观点提供的柔性印刷电路板的制造方法，通过在由基底层压体和保护膜临时粘接而成的临时粘接体上重叠离型膜并进行热压接，从而形成柔性印刷电路板，其特征在于包括：加热工序：对于在具有绝缘树脂层和图案层的基底层压体上临时粘接保护膜而成的临时粘接体，以重叠有热膨胀系数大于该保护膜的离型膜的状态进行加热；张力施加工序：对于在加热工序中被加热而热膨胀的离型膜施加拉伸力；夹持工序：使设置于第一腔室的第一密封部件与设置于第二腔室的第二密封部件对接而形成与外部气密性地封闭的腔室，并且形成为临时粘接体和离型膜被第一密封部件和第二密封部件夹持的状态；吸引工序：对腔室的内部进行抽真空；以及加压工序：对临时粘接体和离型膜进行加压。

(发明效果)

根据本发明，能够提供一种能够防止离型膜中产生皱褶或隆起，并且能够使离型膜相对于临时粘接体中存在的凹凸部分的凹凸追随性变得良好的层压装置及柔性印刷电路板的制造方法。

附图说明

图1是表示本发明的一实施方式涉及的基底层压体、保护膜以及离型膜的构成的剖面图。

图2是表示本发明的一实施方式涉及的层压体的构成的剖面图。

图3是表示本发明的一实施方式涉及的层压装置的概略构成的图。

图4是表示构成图3所示层压装置的主体部的下侧腔室和上侧腔室的概略立体图。

图5是表示图3所示层压装置的构成的主要部分的概略剖面图。

图6是表示从上方观察图3所示层压装置的下侧腔室时的构成的俯视图。

图7是表示图3所示层压装置的张力施加机构的第一构成例的概略构成的立体图。

图8是表示图3所示层压装置的张力施加机构的第二构成例的概略构成的立体图。

图9是表示图3所示层压装置的张力施加机构的第三构成例的概略构成的图。

图10是表示本发明的变形例涉及的层压装置的概略构成的图。

(符号说明)

10…基底层压体

11…图案层

12…绝缘树脂层

13…粘接材料层

20…保护膜

21…保护层

22…粘接材料层

23…开口部

30…离型膜

31…基底层

32…缓冲层

40…临时粘接体

50…层压体

60…布片材

100、100B…层压装置

101…主体部

102…腔室

110…下侧腔室(对应于第一腔室)

111…下部基台

112…腔室块

113…定位机构

114…收纳部

115…隔热材料

116…加热板(对应于加热单元)

116a…加热器

117…冷却机构

117a…冷却水用路径

118…下侧密封部件

119…上下驱动机构

119a…液压缸

120a…大气释放阀

120b…空气导入通道

121…真空泵(对应于吸引单元)

122…空气排出通道

130…上侧腔室(对应于第二腔室)

131…上部基台

132…腔室块

133…加热板

133a…加热器

135…冷却机构

136…上侧密封部件

137…伸缩板(对应于挤压单元)

137a…密闭空间

138a…空气导入通道

138b…加压机构

139a…空气排出通道

139b…真空泵

140…FPC供给源(对应于临时粘接体供给源)

141、151、161…供给辊

150…离型膜供给源

160…布片材供给源

170…FPC卷绕部

171、181、191…卷绕辊

172、182、192…驱动电机

180…离型膜卷绕部

190…布片材卷绕部

200、200A、200B、200C…张力施加机构

210…夹紧机构

211…上侧夹紧部件

212…下侧夹紧部件

213…夹紧用缸

213a…缸筒

214…滑动导轨

215…挡板

220…挤压缸

221…缸筒

222…活塞

230…调节器(对应于调节单元)

240…驱动辊

241…驱动电机(对应于驱动单元)

242…从动辊

250…张力检测器

251…辊部

252…传感器部

260…阶梯辊

M1…衬垫部件

具体实施方式

以下，对本发明的一实施方式涉及的柔性印刷电路板的层压装置100及柔性印刷电路板的制造方法进行说明。另外，在以下的说明中，首先对作为层压对象的基底层压体10、保护膜20以及离型膜30进行说明，然后对层压后的层压体50进行说明。

＜关于基底层压体和保护膜的构成＞

图1是表示基底层压体10、保护膜20以及离型膜30的构成的剖面图。如图1所示，基底层压体10是具有三层图案层11的多层基板。即，基底层压体10具备图案层11、绝缘树脂层12以及介于它们之间的粘接材料层13。

图案层11是对例如铜箔等规定厚度的金属箔实施蚀刻加工，将该金属箔形成为所期望的图案形状而制成的。如上所述，在图1所示的构成中，存在三层图案层11。另外，绝缘树脂层12具有规定的厚度，且以具有电绝缘性的聚酰亚胺为材质。然而，绝缘树脂层12的材质也可以为聚酰亚胺以外的其他绝缘树脂。在图1所示的构成中，绝缘树脂层12介于三层图案层11之间，因而共存在两层。另外，粘接材料层13是用于粘接图案层11与绝缘树脂层12的部分。

层压在上述基底层压体10上的保护膜20具有保护层21和粘接材料层22。保护层21的材质例如为聚酰亚胺。然而，保护层21的材质也可以为聚酰亚胺以外的其他绝缘树脂。另外，粘接材料层22的主要材质为例如环氧类的粘接材料，除此之外，也可以使用聚氨酯类的粘接材料、丙烯酸类的粘接材料。

另外，如图1所示，保护膜20上设有开口部23。该开口部23是利用例如激光加工、或者利用模具进行冲孔或冲切的开孔加工而形成的部分。

另外，上述基底层压体10和保护膜20在位置对准的状态下被临时粘接。在以下的说明中，将基底层压体10和保护膜20临时粘接而形成的物体称为临时粘接体40。

接着，对于离型膜30的构成进行说明。如图1所示，离型膜30具有基底层31、缓冲层32以及介于它们之间的省略图示的粘接层。该离型膜30的热膨胀系数大于保护膜20的热膨胀系数。

基底层31例如以聚酯类树脂作为主要成分而构成。上述聚酯类树脂可以例举出：以PET(Polyethylene Terephthalate、聚对苯二甲酸乙二醇酯)为主要成分的树脂、以PBT(Polybutylene Terephthalate、聚对苯二甲酸丁二醇酯)为主要成分的树脂、以PTT(Polytrimethylene Terephtalate、聚对苯二甲酸丙二醇酯)为主要成分的树脂、以PEN(Polyethylene Naphthalate、聚萘二甲酸乙二醇酯)为主要成分的树脂、以PBN(Polybutylene Naphthalate、聚萘二酸丁二醇酯)为主要成分的树脂、以及由上述树脂中选择的树脂混合而成的混合物。但是，只要是聚酯类树脂，则以所列举的成分或列举以外的其他成分为主要成分均可。

另外，缓冲层32是在通过加热和加压来层压保护膜20和基底层压体10时，从保护膜20侧(上方侧；Z1侧)将保护膜20覆盖，并追随保护膜20和基底层压体10的凹凸进行变形的部分。即，缓冲层32是在将保护膜20层压至基底层压体10上时，良好地追随存在于保护膜20与基底层压体10之间的凹凸进行变形，从而防止粘接材料从粘接材料层22流出的部分。

该缓冲层32的主要成分为例如烯烃类树脂，上述烯烃类树脂可以例举出聚丙烯类树脂、聚乙烯类树脂、聚戊烯类树脂。

另外，省略图示的粘接层的主要材质为例如环氧类的粘接材料，除此之外，也可以使用聚氨酯类的粘接材料、丙烯酸类的粘接材料。另外，也可以取代粘接材料层而设置粘合材料层。粘合材料层可以例举出：以丙烯酸类树脂、在天然橡胶中添加赋粘剂而成的橡胶类粘合剂、在硅酮橡胶中添加赋粘剂而成的硅酮类粘合剂、以聚氨酯为主要成分的氨基甲酸乙酯类粘合剂等为材质的粘合材料层。

在此，在后述的层压装置100中，在使临时粘接体40与离型膜30重叠的状态下，进行对临时粘接体40进行加热的同时进行加压的正式粘接。于是，熔融的缓冲层32先于熔融的粘接材料层22进入开口部23中，并占据开口部23。因此，能够抑制粘接材料层22流出至开口部23中。同样地，在基底层压体10的端部，熔融的缓冲层32也先于熔融的粘接材料层22蔓延至基底层压体10的端部而将其侧面覆盖，从而能够抑制粘接材料层22流出。

在进行上述正式粘接之后，从层压体50上剥离离型膜30。由此，仅剩下图2所示那样的层压体50，并将该层压体50进行卷绕。另外，图2是表示利用层压装置100形成的层压体50的构成的剖面图。

但是，离型膜30被设置为比临时粘接体40更容易热膨胀。因此，当利用后述的加热板116对临时粘接体40和离型膜30加热时，离型膜30的热膨胀幅度比临时粘接体40更大，由此在离型膜30上产生褶皱或隆起。为了防止产生上述褶皱或隆起，使用后述的层压装置100对临时粘接体40和离型膜30进行正式粘接。

在此，层压体50对应于柔性印刷电路板，但也可以理解为对层压体50执行各种工序而形成的物体对应于柔性印刷电路板。

＜关于层压装置的构成＞

以下，对于用于形成上述层压体50的层压装置100的构成进行说明。图3是表示层压装置100的概略构成的图。图4是表示构成层压装置100的主体部101的下侧腔室110和上侧腔室130的概略立体图。图5是表示层压装置100的构成的主要部分的概略剖面图。图6是表示从上方观察下侧腔室110时的构成的俯视图。如图3所示，层压装置100具备主体部101、FPC供给源140、离型膜供给源150、布片材(cloth sheet)供给源160、FPC卷绕部170、离型膜卷绕部180以及布片材卷绕部190。

主体部101是通过以使临时粘接体40与离型膜30重叠，进而重叠布片材60的状态实施热压接，从而由临时粘接体40形成层压体50的部分。在此，布片材60是包含相对于粘接材层22的粘接性低的材质的布片材，例如包含玻璃纤维的玻璃布，并且，布片材60是用于防止层压体50粘贴在后述的上侧腔室130或下侧腔室110上的片材。

而且，在利用层压装置100进行正式粘接之后，从由腔室102取出的层压体50上剥离离型膜30。于是，能够以粘接材料层22朝向开口部23的流出被抑制的状态形成层压体50。

层压装置100的主体部101具有铝制的下侧腔室110和同样为铝制的上侧腔室130，并通过该下侧腔室110和上侧腔室130形成腔室102(参照图5)。下侧腔室110具有下部基台111和腔室块(chamber block)112。下部基台111是从下方侧支撑下侧腔室110的部分，安装在后述的上下驱动机构119上。

另外，腔室块112经由例如插销或V型块等的定位机构113安装在下部基台111上。该腔室块112以导热性良好的金属(例如铝)作为材质而形成。在腔室块112的上表面侧设置有凹状的收纳部114。收纳部114中收纳有隔热材料115。隔热材料115可以使用例如硅化合物、氧化铝或它们的混合物，也可以使用除此以外的其他无机化合物。

进而，隔热材料115的上部收纳有加热板116，该加热板116的上部配置有以例如橡胶等弹性部件为材质的衬垫部件M1。在此，加热板116中内置有例如筒式加热器这样的加热器116a，并通过该加热器116a对于由临时粘接体40和离型膜30构成的层压体进行加热。由此，加热板116能够经由衬垫部件M1从下侧(Z2侧)对临时粘接体40和离型膜30进行热压接。另外，加热板116对应于加热单元。

另外，如图4至图6所示，在下侧腔室110中相比收纳部114更靠近外周侧的位置处设有冷却机构117。冷却机构117是用于防止相比腔室102更靠近上游侧的位置处的临时粘接体40发生热固化的机构。即，在腔室102的内部，对临时粘接体40和离型膜30进行热压接，但是，若此时的热量传递至临时粘接体40的上游侧，则在相比腔室102更靠近上游侧的部位处，临时粘接体40的粘接材层22开始热固化。为了防止上述热固化而设置上述冷却机构117。

该冷却机构117具有供冷却水通过的冷却水用路径117a。冷却水用路径117a在临时粘接体40和离型膜30的输送方向上设置有多条。另外，冷却水用路径117a也可以通过将一条冷却水用路径117a在下侧腔室110中设置成曲折状，从而在上述输送方向上存在多条，还可以在下侧腔室110中设置多条另外的冷却水用路径117a。

通过设置该冷却机构117，存在冷却机构117的冷却区域A(参照图6)的温度相比腔室102内进行层压的层压区域B大幅降低。作为一例，若在层压区域B中以180℃形成层压体50，则在冷却区域A中，能够将临时粘接体40和离型膜30维持在远低于180℃的温度(例如60℃)。

另外，下侧腔室110中安装有下侧密封部件118。下侧密封部件118中的输送方向上游侧的部位配置在冷却机构117在输送方向上的配置范围内。因此，被冷却机构117冷却的下侧腔室110的上表面侧的部位，通过下侧密封部件118分割为两个。因此，成为在被下侧密封部件118包围的内部，也存在通过冷却机构117冷却临时粘接体40和层压体50的部位的状态。

另外，下侧密封部件118在下侧腔室110中的安装位置被设定为：在挤压时使后述的伸缩板137膨胀时，不会妨碍伸缩板137的膨胀，并且在如下所述对腔室102的内部进行抽真空时，能够充分确保腔室102的真空度。

上述下侧密封部件118由例如橡胶或弹性体等能够弹性变形的材质形成。该下侧密封部件118是与后述的上侧密封部件对接而将临时粘接体40和离型膜30夹住的部件。通过该对接，形成与外部封闭的腔室102。并且，通过使后述的真空泵121进行工作，能够对腔室102的内部进行抽真空。

另外，作为下侧密封部件118，例如可以是唇形密封，也可以是O形环，还可以使用其他部件。

另外，主体部101中设有上下驱动机构119，通过该上下驱动机构119的动作而使下侧腔室110上下移动。另外，上下驱动机构119可以构成为：具备例如液压缸119a，并通过该液压缸119a的动作而产生使下侧腔室110上下移动的驱动力。但是，上下驱动机构119也可以通过电动机的驱动而使下侧腔室110上下移动，还可以通过利用气压的气缸而使下侧腔室110上下移动。

另外，主体部101中设置有大气释放阀120a，该大气释放阀120a设置于空气导入通道120b的中间部分。另外，空气导入通道120b的一端部在下侧腔室110中被下侧密封部件118包围的规定部位处开口。因此，在对腔室102的内部进行抽真空后打开大气释放阀120a时，能够经由空气导入通道120b使腔室102的内部压力与大气压相等。

另外，主体部101中设置有真空泵121，该真空泵121与空气排出通道122连接。该空气排出通道122的端部在下侧腔室110中被下侧密封部件118包围的规定部位处开口。因此，当真空泵121进行工作时，经由空气排出通道122对腔室102的内部进行抽真空。由此，能够排出临时粘接体40内部的凹凸中残留的空气。另外，真空泵121也可以设置在主体部101的外部。另外，真空泵121对应于吸引单元。

另外，与下侧腔室110相对的上侧腔室130具有上部基台131和腔室块132。上部基台131是从上方侧支撑腔室块132的部分。另外，上部基台131安装在未图示的固定部位上。另外，腔室块132经由例如插销或V型块等的定位机构133安装在上部基台131上。与腔室块112同样地，腔室块132也以导热性良好的金属(例如铝)作为材质而形成。

另外，上部基台131的上表面侧设有凹状的收纳部131a，该收纳部131a中收纳有隔热材料131b。与上述隔热材料115同样地，隔热材料131b也可以使用例如硅化合物、氧化铝或它们的混合物，但也可以使用除此以外的其他无机化合物。该隔热材料131b是防止来自后述加热板133的热传递至层压装置100的上方的部件。

另外，上部基台131的下方配置有加热板133。加热板133中内置有例如筒式加热器这样的加热器133a，并通过该加热器133a经由腔室块132对后述的伸缩板137进行加热，进而经由伸缩板137从上方侧对于由临时粘接体40和离型膜30构成的层压体进行加热。由此，能够从上侧(Z 1侧)对临时粘接体40和离型膜30进行热压接。

另外，上侧腔室130中也设有与冷却机构117同样的冷却机构135，通过该冷却机构135从上方侧防止相比腔室102更靠近上游侧的临时粘接体40中发生热固化。该冷却机构135具有与冷却水用路径117a同样的冷却水用路径135a。冷却水用路径135a也在临时粘接体40和离型膜30的输送方向上设置有多条。另外，冷却水用路径135a也可以通过将一条冷却水用路径135a在上侧腔室130中设置成曲折状，从而在上述输送方向上存在多条，也可以在上侧腔室130中存在多条另外的冷却水用路径135a。

另外，上侧腔室130中安装有上侧密封部件136。上侧密封部件136与下侧密封部件118同样由例如橡胶或弹性体等能够弹性变形的材质形成。另外，作为上侧密封部件136，例如可以是唇形密封，也可以是O形环，还可以使用其他部件。该上侧密封部件136和下侧密封部件118以将临时粘接体40和离型膜30夹在中间的状态对接，从而形成与外部封闭的腔室102。并且，通过使真空泵121进行动作，能够对腔室102的内部进行抽真空。另外，下侧密封部件118对应于第一密封部件，上侧密封部件136对应于第二密封部件。但是，也可以是下侧密封部件118对应于第二密封部件，上侧密封部件136对应于第一密封部件。

另外，上侧腔室130中安装有伸缩板137。伸缩板137是由例如硅酮橡胶或聚氨酯、天然橡胶等具有伸缩性的材质形成的片状部件。该伸缩板137的外周边缘部连续地紧密固定在上侧腔室130上。另一方面，被伸缩板137的外周边缘部包围的部分并未紧密固定在上侧腔室130上。因此，在上侧腔室130与伸缩板137之间形成与外部封闭的密闭空间137a，该密闭空间137a无法使空气朝向隔着伸缩板137的下侧流通。另外，伸缩板137对应于挤压单元。但是，也可以是伸缩板137以及真空泵139b或空气导入通道138a对应于挤压单元。

另外，空气导入通道138a的端部在腔室块132的上底部132a上开口，并且，空气排出通道139a的端部也在腔室块132的上底部132a上开口。空气导入通道138a是向密闭空间137a导入空气的流道。该空气导入通道138a与加压机构138b连接，从而能够通过该加压机构138b的动作对密闭空间137a进行加压。因此，当在腔室102的内部被抽真空的状态下，使加压机构138b进行动作而向密闭空间137a的内部导入空气进行加压时，伸缩板137膨胀。

另外，作为加压机构138b，适合为能够施加规定加压力的压缩机或增压阀。另外，在加压力无需太大的情况下，加压机构138b也可以使用大气释放阀。

另外，空气排出通道139a与真空泵139b连接。因此，当真空泵139b进行动作时，经由空气排出通道139a排出密闭空间137a内部的空气。因此，当在伸缩板137膨胀的状态下使真空泵139b进行动作时，能够使该伸缩板137收缩。另外，加压机构138b和真空泵139b中的至少一个可以设置在主体部101内，也可以设置在主体部101的外部。

另外，下侧腔室110对应于第一腔室，上侧腔室130对应于第二腔室。但是，也可以是下侧腔室110对应于第二腔室，上侧腔室130对应于第一腔室。

另外，层压装置100中设置有FPC供给源140、离型膜供给源150以及布片材供给源160。FPC供给源140中设置有供给辊141，临时粘接体40以卷绕成卷状的状态保持在该供给辊141上。因此，能够从供给辊141朝向主体部101侧引出并供给临时粘接体40。另外，FPC供给源140对应于临时粘接体供给源。

另外，如图3所示，离型膜供给源150夹着临时粘接体40分别设置于上侧(一侧；Z 1侧)和下侧(另一侧；Z2侧)。该离型膜供给源150中也设有供给辊151，离型膜30以卷绕成卷状的状态保持在该供给辊151上。因此，能够从供给辊151朝向主体部101侧引出并供给离型膜30。

另外，布片材供给源160也夹着临时粘接体40分别设置于上侧(一侧；Z 1侧)和下侧(另一侧；Z2侧)。该布片材供给源160中也设有供给辊161，布片材60以卷绕成卷状的状态保持在该供给辊161上。在此，位于上侧(一侧；Z 1侧)的布片材供给源160，以配置于离型膜30的上侧(一侧；Z 1侧)的状态供给布片材60。另外，位于下侧(另一侧；Z2侧)的布片材供给源160，以配置于离型膜30的下侧(另一侧；Z2侧)的状态供给布片材60。由此，能够从供给辊161朝向主体部101侧引出并供给布片材60。

另外，层压装置100中设置有FPC卷绕部170、离型膜卷绕部180以及布片材卷绕部190。FPC卷绕部170中设有卷绕辊171和驱动电机172。因此，通过驱动电机172的驱动，将层压体50卷绕在卷绕辊171上。

另外，离型膜卷绕部180中也设有卷绕辊181和驱动电机182。因此，通过驱动电机182的驱动，将离型膜30卷绕在卷绕辊181上。同样地，布片材卷绕部190中也设置有卷绕辊191和驱动电机192。因此，通过驱动电机192的驱动，将布片材60卷绕在卷绕辊191上。

在此，层压装置100具备张力施加机构200。张力施加机构200是通过拉伸离型膜30而对该离型膜30施加张力的机构。作为这样的张力施加机构200，可以举出接下来说明的第一构成例至第三构成例。

(张力施加机构的第一构成例)

图7是表示张力施加机构200的第一构成例的图。在以下的说明中，将第一构成例涉及的张力施加机构200设为张力施加机构200A进行说明。但是，在不需要分别区分第一构成例涉及的张力施加机构200A、后述第二构成例涉及的张力施加机构200B以及后述第三构成例涉及的张力施加机构200C时，将张力施加机构200A～200C简称为张力施加机构200。如图7所示，张力施加机构200A具备夹紧机构210、挤压缸220以及调节器230。夹紧机构210具备一对夹紧部件211、212、夹紧用缸213以及滑动导轨214。

一对夹紧部件211、212是长条状的板状部件。该一对夹紧部件211、212由上侧夹紧部件211和下侧夹紧部件212构成。上侧夹紧部件211配置于隔着离型膜30的上侧(一侧；Z 1侧)。另外，下侧夹紧部件212配置于隔着离型膜30的下侧(另一侧；Z2侧)。

另外，夹紧用缸213是例如使上侧夹紧部件211以施加压力的状态朝向下侧夹紧部件212移动的机构。具体而言，夹紧用缸213的缸筒213a固定于未图示的固定部位上，上侧夹紧部件211安装在夹紧用缸体213的活塞(省略图示)的下端。因此，通过夹紧用缸213朝向加压方向进行动作，使上侧夹紧部件211以施加压力的状态朝向下侧夹紧部件212移动，从而能够利用上侧夹紧部件211和下侧夹紧部件212夹住离型膜30。

另外，上侧夹紧部件211能够通过省略图示的引导机构相对于下侧夹紧部件212在上下方向(Z方向)上移动。

另外，滑动导轨214是用于使夹紧机构210整体滑动的轨道状的部分。另外，作为滑动导轨214，优选为例如线性导轨等滑动负载小的机构。

挤压缸220是施加使夹紧机构210沿滑动导轨214移动的驱动力的部分。该挤压缸220与夹紧用缸213同样地也具备缸筒221，活塞222能够相对于该缸筒221出入。另外，在图7所示的构成中，下侧夹紧部件212上固定有从该下侧夹紧部件212朝向下方侧(Z2侧)突出的挡板215，活塞222的前端侧抵在该挡板215上(或者与之相连)。但是，也可以采用活塞222的前端侧直接抵在下侧夹紧部件212或上侧夹紧部件211上(或者与之相连)的构成。

在此，通过在使夹紧用缸213进行动作而由一对夹紧部件211、212夹住离型膜30的状态下，使挤压缸220进行动作，从而对离型膜30施加朝向供给辊151侧(上游侧)拉伸的张力。

另外，调节器230是测量挤压缸220工作时的挤压力，并调节该挤压缸220的挤压力的机构。因此，通过经由调节器230高精度地调节挤压缸220的挤压力，从而能够高精度地调节施加于离型膜30上的张力。另外，调节器230对应于调节单元。

在上述第一构成例涉及的张力施加机构200A中，在离型膜卷绕部180侧的卷绕辊181不旋转的状态(或者旋转需要较大转矩的状态)下，使夹紧用缸213进行动作，从而利用一对夹紧部件211、212夹住离型膜30。在该状态下，在利用调节器230调节挤压力的同时使挤压缸220进行工作，将活塞222推出。于是，对离型膜30施加朝向输送方向上游侧的张力。

通过施加该张力，并利用调节器230调节该张力，从而能够防止在通过加热板116加热而热膨胀的离型膜30上产生褶皱或隆起。

(张力施加机构的第二构成例)

图8是表示张力施加机构200的第二构成例的图。在以下的说明中，将第二构成例涉及的张力施加机构200设为张力施加机构200B进行说明。如图8所示，第二构成例涉及的张力施加机构200B具备驱动辊240和张力检测器250。驱动辊240是对离型膜30至少施加从输送方向的下游侧朝向上游侧的驱动力的辊轮。因此，通过驱动电机241向驱动辊240施加上述驱动力。另外，在图8所示的构成中，除了驱动辊240以外，还设置有从动辊242。然而，也可以采用省略从动辊242的构成。另外，驱动电机241对应于驱动单元。

另外，张力检测器250具备辊部251和传感器部252。辊部251是以对离型膜30施加张力的状态追随该离型膜30的输送的辊轮。另外，传感器部252是测量施加于辊部251的张力的传感器。该传感器部252有采用例如应变仪方式的传感器部，除此以外，也可以使用将离型膜30在辊部251上卷绕规定角度，并测量从该离型膜30施加的负载等的其他方式的传感器部。

在上述第二构成例涉及的张力施加机构200B中，通过驱动电机241的动作对离型膜30施加朝向输送方向上游侧的张力。此时，能够利用张力检测器250测量施加于离型膜30上的张力。因此，无需夹住离型膜30，能够在朝向输送方向的上游侧输送离型膜30的同时，测量对离型膜30施加的张力，从而能够直接测量对离型膜30施加的张力，并立即调节该张力。

通过调节该张力，能够防止在通过加热板116加热而热膨胀的离型膜30上产生褶皱或隆起。

(张力施加机构的第三构成例)

图9是表示张力施加机构200的第三构成例的图。在以下的说明中，将第三构成例涉及的张力施加机构200设为张力施加机构200C进行说明。如图9所示，张力施加机构200C具备阶梯辊260。阶梯辊260是设置为能够经由未图示的移动机构以自由状态朝向下方侧移动的辊轮。但是，移动机构能够朝向上方侧抬起阶梯辊260，从而释放离型膜30的拉伸状态。该阶梯辊260上连接有省略图示的规定重量的调节配重。调节配重被设定为在通过利用加热板116加热而使离型膜30热膨胀时能够除去褶皱或隆起的程度的重量。

经由上述阶梯辊260，对离型膜30施加朝向输送方向上游侧的张力。而且，通过上述调节配重，对离型膜30施加利用加热板116加热而使离型膜30热膨胀时能够除去褶皱或隆起的程度的张力。因此，能够防止在通过加热板116加热而热膨胀的离型膜30上产生褶皱或隆起。

＜关于柔性印刷电路板的制造方法＞

以下，对于使用如上构成的层压装置100的柔性印刷电路板的制造方法进行说明。另外，在以下的说明中，按照第一工序至第十工序的顺序进行说明，但是，当然也可以存在除此之外的其他各种工序。

(1)第一工序：新的临时粘接体40的加热(对应于加热工序)

首先，将尚未形成为层压体50的状态的临时粘接体40与离型膜30及布片材60一起供给至加热板116的上部。此时，加热板116的温度设定为使粘接材料层22和缓冲层32熔融的程度。另外，通过使用加热板116进行加热，临时粘接体40和离型膜30热膨胀。此时离型膜30的热膨胀大于临时粘接体40的热膨胀。因此，由于离型膜30的尺寸大于临时粘接体40的尺寸，因而会在离型膜30上形成褶皱或隆起。

(2)第二工序：通过张力施加机构200对离型膜30施加张力(对应于张力施加工序)

接着，在从使用加热板116对临时粘接体40和离型膜30进行加热起经过规定时间之后，使张力施加机构200进行动作，以使离型膜30朝向输送方向上游侧移动规定距离。此时，在主体部101的输送方向的下游侧，离型膜卷绕部180的卷绕辊181处于不动作且不旋转的状态。于是，离型膜30在输送方向上被拉伸。此时，对于尤其存在于加热板116的上部且变得柔软的离型膜30也施加拉伸力，通过该拉伸力，使离型膜30变为在输送方向上伸长的状态。

另一方面，在离型膜30的宽度方向上，离型膜30对应于输送方向上的伸长而稍微收缩。此时，通过张力施加机构200施加的拉伸力为能够消除离型膜30中产生的褶皱或隆起的程度。

另外，在第一构成例涉及的张力施加机构200A的情况下，使夹紧机构210进行动作，利用一对夹紧部件211、212夹住离型膜30。在该状态下，在利用调节器230调节挤压力的同时使挤压缸220进行动作，从而能够对离型膜30施加消除褶皱或隆起的拉伸力。

另外，在第二构成例涉及的张力施加机构200B的情况下，通过使驱动电机241进行动作，从而能够通过驱动辊240对离型膜30施加拉伸力。此时，通过在利用张力检测器250测量施加于离型膜30的张力的同时，使驱动辊240进行驱动，从而能够对离型膜30施加消除褶皱或隆起的拉伸力。

另外，在第三构成例涉及的张力施加机构200C的情况下，能够经由阶梯辊260对离型膜30施加拉伸力。此时，通过对调节配重的重量进行调节，以使通过阶梯辊260对离型膜30施加消除褶皱或隆起的拉伸力，从而能够消除离型膜30中的褶皱或隆起。

(3)第三工序：下侧腔室110的上升(对应于夹持工序)

接着，使上下驱动机构119进行动作，从而使下侧腔室110上升。此时，使真空泵139b进行动作，从而排出密闭空间137a内的空气。由此，能够使伸缩板137收缩，变为即便使上下驱动机构119进行动作，伸缩板137也不会对临时粘接体40和离型膜30施加压力的退避状态。

然后，在使下侧腔室110朝向上侧腔室130上升规定距离之后，下侧密封部件118与上侧密封部件136以将临时粘接体40、离型膜30以及布片材60夹住的状态对接。由此，形成与外部封闭的腔室102。

(4)第四工序：腔室102的抽真空(对应于吸引工序)

接着，使真空泵121进行动作，从而对腔室102的内部进行抽真空。由此，排出进入到临时粘接体40的凹凸部分(包括开口部23)等的空气。

(5)第五工序：通过加压机构138b的动作进行加压(对应于加压工序)

接着，使加压机构138b进行动作，以加压状态向密闭空间137a中导入空气。由此，伸缩板137伸长，经由布片材60以加压状态朝向临时粘接体40挤压离型膜30。在进行该加压时，通过利用上述加热板116进行加热，保护膜20的粘接材层22和离型膜30的缓冲层32熔化。另外，缓冲层32在粘接材料层22熔化之前熔化，并追随包括开口部23的凹凸部分进行变形。因此，能够防止粘接材料层22流出至开口部23等的剩余部位，并且能够将保护膜20粘接在基底层压体10上。由此，形成离型膜30紧密粘合的状态的层压体50。

(6)第六工序：张力施加机构200对离型膜30施加的拉伸力的解除

接着，解除张力施加机构200对离型膜30施加的拉伸力。在此，在第一构成例涉及的张力施加机构200A的情况下，使夹紧机构210进行动作，解除一对夹紧部件211、212对于离型膜30的夹持，从而解除离型膜30的拉伸力。

另外，在第二构成例涉及的张力施加机构200B的情况下，使驱动电机241停止进行动作，变为不从该驱动电机241施加旋转转矩的状态，从而解除离型膜30的拉伸力。另外，在第三构成例涉及的张力施加机构200C的情况下，通过移动机构抬起阶梯辊260，从而解除离型膜30的拉伸力。

(7)第七工序：密闭空间137a内的排气

接着，使真空泵139b进行工作，从而排出密闭空间137a内部的空气。由此，伸缩板137与布片材60分离。因此，经由布片材60压接层压体50和离型膜30的状态被解除。

(8)第八工序：腔室102内的大气释放

接着，打开大气释放阀120a，使腔室102的内部压力与大气压相同。通过该大气释放，下侧密封部件118与上侧密封部件136牢固对接的状态被解除。

(9)第九工序：下侧腔室110的下降

接着，使上下驱动机构119进行动作，从而使下侧腔室110下降。由此，层压体50成为能够朝向下游侧移动的状态。

(10)第十工序：层压体50的输出(向加热板116供给新的临时粘接体40)

接着，使FPC卷绕部170的驱动电机172进行动作，将在腔室102的内部形成的层压体50朝向下游侧输出。此时，使布片材卷绕部190的驱动电机192也进行动作。由此，使布片材60与离型膜30分离并卷绕至卷绕辊191上。另外，使离型膜卷绕部180的驱动电机182也与驱动电机172一起动作。由此，使离型膜30从层压体50上剥离，并被卷绕在卷绕辊181上。

由此，形成对应于柔性印刷电路板的层压体50。

＜关于效果＞

根据上述构成的层压装置100及柔性印刷电路板的制造方法，能够产生如下效果。

即，本实施方式的层压装置100具备腔室102和对腔室102的内部进行抽真空的真空泵121(吸引单元)，其中，腔室102由设置于下侧腔室110(第一腔室)中的下侧密封部件118(第一密封部件)和设置于上侧腔室130(第二腔室)中的上侧密封部件136(第二密封部件)对接而形成，并且与外部气密性地封闭。另外，本实施方式的层压装置100具备加热板116(加热单元)和伸缩板137(挤压单元)，加热板116配置在腔室102的内部，并且对临时粘接体40和离型膜30进行加热；伸缩板137配置在腔室102的内部，并且以加压状态挤压临时粘接体40和离型膜30；进而还具备用于供给临时粘接体40的FPC供给源140(临时粘接体供给源)，该临时粘接体40是由基底层压体10和保护膜20临时粘接而成的，其中，基底层压体10具备具有导电性的多个图案层11和存在于这些图案层11之间的绝缘树脂层12，保护膜20具备通过加热而变形的粘接材料层22。另外，层压装置100具备离型膜供给源150和张力施加机构200，其中，离型膜供给源150用于向临时粘接体40的表面侧和背面侧的至少一侧供给热膨胀系数大于保护膜20的离型膜30，张力施加机构200对于通过加热板116(加热单元)加热后的离型膜30施加拉伸力。

因此，能够将临时粘接体40以未切割成长条状而相连的状态进行热压接，从而形成层压体50。而且，通过利用张力施加机构200对离型膜30施加拉伸力，从而使离型膜30的热膨胀引起的褶皱或隆起在离型膜30的输送方向上被拉伸。此外，在离型膜30的宽度方向上，离型膜30对应于输送方向上的伸长而稍微收缩。因此，能够防止离型膜30因为热膨胀而产生褶皱或隆起。

由此，通过防止在离型膜30上产生褶皱或隆起，从而能够防止褶皱或隆起转印至层压体50上。因此，能够防止层压体50成为不良品。

另外，本实施方式的层压装置100具备真空泵121(吸引单元)，对腔室102的内部进行抽真空。因此，能够使离型膜30的缓冲层32良好地追随临时粘接体40的凹凸部分进行变形。由此，即使是具有例如三层或更多的图案层11且凹凸部分的尺寸大的多层基板，也能够使离型膜30的缓冲层32良好地追随该凹凸部分进行变形。因此，能够良好地防止粘接材料层22流出。

另外，在本实施方式中，在下侧腔室110(第一腔室)外周侧的离型膜30和临时粘接体40的输送方向的上游侧，设有用于对离型膜30和临时粘接体40进行冷却的冷却机构117。由此，通过设置冷却机构117，能够防止热量传递至相比下侧腔室110(第一腔室)更靠近输送方向上游侧的离型膜30和临时粘接体40。因此，能够防止输送方向上游侧的离型膜30和临时粘接体40因为被传递热量而开始固化。

另外，在本实施方式中，张力施加机构200配置在离型膜供给源150与腔室102之间。因此，能够通过张力施加机构200对离型膜30施加朝向其输送方向相反侧的拉伸力。因此，能够良好地防止离型膜30上产生褶皱或隆起。

进而，第一构成例涉及的张力施加机构200A具备夹持离型膜30的夹紧机构210、朝向离型膜30的输送方向的相反侧推动夹紧机构210的挤压缸220(挤压单元)、以及调节挤压缸220(挤压单元)的挤压力的调节器230(调节单元)。

因此，能够利用调节器230(调节单元)高精度地调节挤压缸220(挤压单元)的挤压力，由此能够良好地消除离型膜30的褶皱或隆起。

另外，第二构成例涉及的张力施加机构200B具备驱动电机241(驱动单元)和张力检测器250(张力检测单元)，其中，驱动电机241通过将离型膜30朝向其输送方向的相反侧进行驱动，从而对该离型膜30施加拉伸力，张力检测器250用于检测通过驱动电机241(驱动单元)的驱动施加于离型膜30的拉伸力。

因此，能够利用张力检测器250(张力检测单元)高精度地测量驱动电机241(驱动单元)的挤压力，由此能够良好地消除离型膜30的褶皱或隆起。

进而，第三构成例涉及的张力施加机构200C具备阶梯辊260，该阶梯辊260能够在上下方向上移动，并且通过调节配重对离型膜30施加规定的负荷。因此，能够良好地经由阶梯辊260对离型膜30施加拉伸力。由此，能够良好地消除离型膜30的褶皱或隆起。

另外，本实施方式的柔性印刷电路板的制造方法包括：加热工序，以重叠有离型膜30的状态对临时粘接体40进行加热，其中，临时粘接体40通过将保护膜20临时粘接在具有绝缘树脂层12和图案层11的基底层压体10上而形成，离型膜30的热膨胀系数大于保护膜20的热膨胀系数；张力施加工序，对于在加热工序中被加热而热膨胀的离型膜30施加拉伸力；夹持工序，使设置于下侧腔室110(第一腔室)的下侧密封部件118(第一密封部件)与设置于上侧腔室130(第二腔室)的上侧密封部件136(第二密封部件)对接，从而形成与外部气密性地封闭的腔室102，并成为利用下侧腔室110(第一密封部件)和上侧腔室130(第二密封部件)将临时粘接体40和离型膜30夹持的状态；吸引工序，对腔室102的内部进行抽真空；以及加压工序，对临时粘接体40和离型膜30进行加压。

因此，能够将临时粘接体40以未切割成长条状而相连的状态进行热压接，从而形成层压体50。而且，通过在张力施加工序中对离型膜30施加拉伸力，从而使离型膜30的热膨胀引起的褶皱或隆起在离型膜30的输送方向上被拉伸。此外，在离型膜30的宽度方向上，离型膜30对应于输送方向上的伸长而稍微收缩。因此，能够防止离型膜30因为热膨胀而产生褶皱或隆起。

由此，通过防止在离型膜30上产生褶皱或隆起，从而能够防止褶皱或隆起转印至层压体50上。因此，能够防止层压体50成为不良品。

另外，在本实施方式中，在吸引工序中对腔室102的内部进行抽真空。因此，能够使离型膜30的缓冲层32良好地追随临时粘接体40的凹凸部分进行变形。由此，即使是具有例如三层或更多的图案层11且凹凸部分的尺寸大的多层基板，也能够使离型膜30的缓冲层32良好地追随该凹凸部分进行变形。因此，能够良好地防止粘接材料层22流出。

＜变形例＞

以上，对本发明的一实施方式进行了说明，但本发明除此之外还可以进行各种变形。以下，对此进行叙述。

在上述实施方式中，基底层压体10中存在三层图案层11。但是，基底层压体10只要具有两层以上的图案层11，便可以具有任意层的图案层11。另外，绝缘树脂层12和粘接材料层13也可以根据图案层11的总数适当地进行变更。

另外，基底层压体10也可以是具有一层图案层11的所谓的单面基板。在上述基底层压体10上层压保护膜20的层压装置100B的构成如图10所示。在图10所示的层压装置100B中，在基底层压体10的一面侧(例如表面侧)层压保护膜20，而在基底层压体10的另一面侧(例如背面侧)未层压保护膜20。另外，与保护膜20相对应地，离型膜30也配置在基体层压体10的一面侧(例如表面侧)，并在上述腔室102内进行层压。

通过使用该图10所示的层压装置100B，能够良好地在基底层压体10的单面侧层压保护膜20。而且，与上述实施方式同样地，通过利用张力施加机构200对离型膜30施加拉伸力，从而使离型膜30的热膨胀引起的褶皱或隆起在离型膜30的输送方向上被拉伸。此外，在离型膜30的宽度方向上，离型膜30对应于输送方向上的伸长而稍微收缩。因此，能够防止离型膜30因为热膨胀而产生褶皱或隆起。

另外，在上述实施方式中，也可以采用设置有控制装置的构成。在该情况下，控制装置能够对于例如加热板116的加热、冷却机构117的动作、上下驱动机构119的动作、大气释放阀120a的动作、真空泵121的动作、加压机构138b的动作、真空泵139b的动作，驱动电机172、182、192的动作、夹紧用缸213的动作、挤压缸220的动作、驱动电机241的动作中的至少一个的驱动进行控制。

Claims (7)

1.一种层压装置，其用于在由基底层压体和保护膜临时粘接而成的临时粘接体上重叠离型膜并进行热压接，

所述层压装置的特征在于，具备：

腔室，其通过将设置于第一腔室中的第一密封部件与设置于第二腔室中的第二密封部件对接而形成，且与外部气密性地封闭；

吸引单元，其用于对所述腔室的内部进行抽真空；

加热单元，其配置于所述腔室的内部，并对所述临时粘接体和所述离型膜进行加热；

挤压单元，其配置于所述腔室的内部，并以加压状态挤压所述临时粘接体和所述离型膜；

临时粘接体供给源，其用于供给由基底层压体和保护膜临时粘接而成的所述临时粘接体，其中，所述基底层压体具备具有导电性的多个图案层和存在于这些图案层之间的绝缘树脂层，所述保护膜具备通过加热而变形的粘接材料层；

离型膜供给源，其用于向所述临时粘接体的表面侧和背面侧的至少一侧供给热膨胀系数大于所述保护膜的所述离型膜；以及

张力施加机构，其用于对通过所述加热单元加热后的所述离型膜施加拉伸力。

2.如权利要求1所述的层压装置，其特征在于，

在所述第一腔室的外周侧中位于所述离型膜和所述临时粘接体的输送方向上游侧的位置处，设置有用于对该离型膜和该临时粘接体进行冷却的冷却机构。

3.如权利要求1或2所述的层压装置，其特征在于，

所述张力施加机构配置于所述离型膜供给源与所述腔室之间。

4.如权利要求3所述的层压装置，其特征在于，

所述张力施加机构具备：

夹紧机构，其用于夹持所述离型膜；

挤压单元，其朝向所述离型膜的输送方向的相反侧推动所述夹紧机构；以及

调节单元，其用于调节所述挤压单元的挤压力。

5.如权利要求3所述的层压装置，其特征在于，

所述张力施加机构具备：

驱动单元，其通过将所述离型膜朝向其输送方向的相反侧进行驱动，从而对所述离型膜施加拉伸力；和

张力检测单元，其用于检测通过所述驱动单元的驱动作用于所述离型膜上的拉伸力。

6.如权利要求3所述的层压装置，其特征在于，

所述张力施加机构具备阶梯辊，所述阶梯辊能够沿上下方向移动，并且通过调节配重对所述离型膜施加规定的负荷。

7.一种柔性印刷电路板的制造方法，其通过在由基底层压体和保护膜临时粘接而成的临时粘接体上重叠离型膜并进行热压接，从而形成柔性印刷电路板，

所述柔性印刷电路板的特征在于，包括：

加热工序：对于在具有绝缘树脂层和图案层的基底层压体上临时粘接保护膜而成的临时粘接体，以重叠有热膨胀系数大于所述保护膜的离型膜的状态进行加热；

张力施加工序：对于在所述加热工序中被加热而热膨胀的所述离型膜施加拉伸力；

夹持工序：使设置于第一腔室的第一密封部件与设置于第二腔室的第二密封部件对接而形成与外部气密性地封闭的腔室，并且形成为所述临时粘接体和所述离型膜被所述第一密封部件和所述第二密封部件夹持的状态；

吸引工序：对所述腔室的内部进行抽真空；以及

加压工序：对所述临时粘接体和所述离型膜进行加压。