CN110178021A - 改进的清洁检查系统 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用于检查玻璃基板（S）的检查系统（100），包括用于供给所述玻璃基板的传送装置（102），适于清洁所述玻璃基板的第一表面的第一清洁装置（104）和用于捕获所述玻璃基板的经清洁表面的清洗后图像的第一视觉检查装置（103a），其特征在于，所述检查系统还包括适于清洁所述玻璃基板的第二表面的第二清洁装置（104）。

Description

改进的清洁检查系统

技术领域

本发明涉及一种用于检查玻璃基板的检查系统领域。

背景技术

目前，在通过沉积涂层进行处理之前，玻璃基板经历能够对玻璃基板进行质量控制的检查步骤。如能够在图1中看到的检查系统用于执行这种检查。目前，这些检查系统1包括运输玻璃基板S的传送系统2，例如传送带或基板S在其上移动的多个辊。

清洁装置3布置在该传送线上。这种清洁装置用于去除灰尘。该清洁装置之后是视觉检查装置4。这种视觉检查装置4包括光学传感器，例如高分辨率摄像机，能够进行图像捕获以分析和检测灰尘。

已知的清洁装置3采用呈气刀或刷子形式的清洁工具。气刀使用涡轮机产生空气射流，所述空气射流穿过狭槽形状的漏斗状物以产生气刀。该刀片朝向基板的方向定向以驱除杂质。

在刷子的情况下，这里涉及的是固定至马达以旋转的鼓状物。该鼓状物设有多个柔性股线。旋转鼓状物导致股线与玻璃基板接触。

该刷子可以与水射流和干燥装置相关联。

然而，已知的清洁装置具有不能进行有效清洁的缺点。

发明内容

因此，本发明提出通过提供具有用于提供更有效的缺陷检测的改进的清洁的检查系统来解决这些缺点。

为此，本发明涉及一种用于检查玻璃基板的检查系统，包括用于供给所述玻璃基板的传送装置，适于清洁玻璃基板的第一表面的第一清洁装置和用于捕获玻璃基板的经清洁表面的清洗后图像的第一视觉检查装置，其特征在于，所述检查系统还包括适于清洁玻璃基板的第二表面的第二清洁装置。

本发明有利地使得能够通过更有效地清洁基板来更好地检测基板的缺陷。为此，清洁基板的第二表面，便于检测缺陷。

根据本发明的一个特征，第二表面是与传送装置接触的表面，即与第一表面相反的表面。

根据本发明的一个特征，第二清洁装置包括产生气刀的至少一个空气喷射器。

根据本发明的一个特征，第二清洁装置还包括至少一个旋转刷。

根据本发明的一个特征，产生气刀的所述空气喷射器使得气刀在与供给方向基本相反的方向上传播。

根据本发明的一个特征，第一清洁装置包括产生气刀的至少一个空气喷射器。

根据本发明的一个特征，第一清洁装置还包括至少一个旋转刷。

根据本发明的一个特征，第一清洁装置包括产生气刀的另一个空气喷射器，并且其中旋转刷在两个空气喷射器之间。

附图说明

其它特定的特征和优点将从下面通过非限制性说明并参考附图给出的描述中清楚地显现，其中：

- 图1是表示现有技术的检查系统的图；

- 图2和图3是表示根据本发明的检查系统的图；

- 图4和图5示出了根据本发明的检查系统的配置；

- 图6是表示根据本发明的检查系统的变型的图。

具体实施方式

在图2中示出了根据本发明的用于检查基板S的检查系统100。基板S例如是宽玻璃基板，例如出自浮法玻璃工艺的“巨型”尺寸（6m×3.21m）平的玻璃板。当然，根据本发明的用于检查基板S的系统可以适用于不同尺寸的基板。该基板在处理之前被检查。

该检查系统100包括用于运输玻璃基板S的传送装置102。这种传送装置102可以采用其上布置有底盘的两个平行轨道的形式，该底盘设有用于玻璃基板S的支撑件。传送装置102也可以采用其上安装有使基板能够移动的轮子的两个平行轨道的形式。然后一些轮子被连接至马达以使得能够驱动基板S。

清洁系统100包括第一清洁装置104和视觉检测装置103。视觉检测装置103包括用于捕获玻璃基板的清洗后图像I_P2的光学传感器。第一清洁装置104用于在图像捕获之前去除灰尘。为此，第一清洁装置采用清洁工具104'，这些清洁工具采用不同的形式。

在第一形式中，清洁工具104'采用气刀A的形式。气刀由空气喷射器产生，该空气喷射器包括结构，该结构包括产生空气射流的涡轮机，所述空气射流穿过在结构中设有的狭槽以产生气刀。该气刀A朝向玻璃基板S的方向定向，以驱除杂质。一种选择是使该气刀A是电离的。

在第二形式中，清洁工具104'采用刷子的形式。这种刷子包括固定至马达以便旋转的鼓状物。该鼓状物设有多个柔性股线。旋转鼓状物导致股线与玻璃基板接触以去除灰尘。一种选择是使这些股线是电离的，以便吸引至其诸如灰尘的杂质，从而清洁基板S。

在图3中能够看到的配置中，清洁装置包括第一气刀A，然后是刷子B。这些清洁工具适于清洁玻璃基板S的第一表面S1，该第一表面S1是与传送装置102接触的面相反的面。因此清楚的是，第一空气射流A相对于供给方向布置在刷子B的上游。

清洁装置104可以还包括产生气刀A的第二空气喷射器。该第二气刀相对于供给方向布置在刷子的下游。因此清楚的是，刷子B在两个空气喷射器之间。

然而，清洁装置的配置不限于图3的配置。因此，清洁装置104可包括多个气刀A或多个刷子B或一个或多个气刀和刷子的混合。

根据本发明，清洁系统100巧妙地还包括第二清洁装置104，在图2中能够看到。该第二清洁装置104布置在传送装置102处，在传送装置102的下方。然后，传送装置2被修改或专门为该集成而生产。例如，在传送装置102采用其上安装有能够使基板移动的轮子的两个平行轨道的形式的情况下，可以设想在给定位置处具有两排轮子之间的距离，以便在其中放置第二清洁装置104。

第二清洁装置104可包括清洁工具104'，其可采用如上所述的空气喷射器A'和/或刷子B'的形式。

第二清洁装置104在玻璃基板S下方的这种布置使得能够消除基板的第二表面S2上的灰尘和纤维。该第二表面是与基板的第一表面相反的表面，即与传送装置102接触的表面，传送装置102促使在所述表面上沉积灰尘。

这种配置的好处是它可以实现更好的检查。事实上，从玻璃基板清洁/去除灰尘是检查步骤之前的步骤，在检查步骤中检查玻璃基板S以确定是否存在缺陷。缺陷的存在通常导致所述基板S的否定，从而其可以重新熔化。

现在，检测过程采用光学传感器并且包括捕获玻璃基板的图像。然后，该图像由处理它的计算单元使用。通过识别具有不同对比度的图像区域来检测缺陷。实际上，光学传感器安装在检查装置103中，其中包括插入的玻璃基板S。该检查装置103运转在成像表面上。该成像表面可以布置成若干配置。

第一配置在于具有布置在玻璃基板下方的光源，面向摄像机。如果区域较暗，则存在足够不透明的物体，即在光路上的缺陷。

在第二配置中，成像表面从上方被照射，光源相对于垂直于基板平面的轴线倾斜。因此，只有当面向摄像机的表面上的缺陷朝向摄像机漫反射光的一部分时，摄像机才接收光。

这两种配置可以通过透射或反射来起作用。因此，最大程度地消除灰尘减少检测到的假缺陷的数量。

在图4和图5中能够看到的第一配置中，第二清洁装置104仅包括一个空气喷射器，以在玻璃基板S的与传送装置102接触的第二表面S2上产生一个气刀A'。空气喷射器布置成使得气刀垂直于基板的表面。

在图6中能够看到的该第一配置的变型中，空气喷射器布置成使得气刀A'相对于玻璃基板S倾斜。空气喷射器优选地布置成使得气刀A'倾斜以沿与供给方向相反的方向吹。因此清楚的是，相对于其轴线x与玻璃基板重合的三角圆，喷射器具有包括在270°和360°之间的角度。该变型有利地使得能够清洁与传送装置102接触的表面的灰尘，并将其推到玻璃基板的周边之外。

在第二配置中，第二清洁装置104包括空气喷射器和刷子B，即已知的配置。该第二构造有利地使得能够使用相同的元件来清洁玻璃基板的两个表面，并且因此理论上，使得能够对于玻璃基板S的两个表面获得相同的清洁质量。

当然，本发明不限于所示的示例，并且使其自身具有对于本领域技术人员将是显而易见的各种变型和修改。

Claims (8)

1.一种用于检查玻璃基板（S）的检查系统（100），包括用于供给所述玻璃基板的传送装置（102），适于清洁所述玻璃基板的第一表面的第一清洁装置（104）和用于捕获所述玻璃基板的经清洁表面的清洗后图像（I_P2）的第一视觉检查装置（103a），其特征在于，所述检查系统还包括适于清洁所述玻璃基板的第二表面的第二清洁装置（104）。

2.根据权利要求1所述的检查系统（100），其中，所述第二表面是与所述第一表面相反的表面。

3.根据权利要求1或2所述的检查系统（100），其中，所述第二清洁装置（104）包括产生气刀的至少一个空气喷射器。

4.根据权利要求1或2所述的检查系统（100），其中，所述第二清洁装置（104）还包括至少一个旋转刷。

5.根据权利要求3所述的检查系统（100），其中，产生气刀的所述空气喷射器使得气刀在与供给方向基本相反的方向上传播。

6.根据前述权利要求中的任一项所述的检查系统（100），其中，所述第一清洁装置（104）包括产生气刀的至少一个空气喷射器。

7.根据前述权利要求中的任一项所述的检查系统（100），其中，所述第一清洁装置（104）包括至少一个旋转刷。

8.根据权利要求6和7所述的检查系统（100），其中，所述第一清洁装置包括产生气刀的另一个空气喷射器，并且其中所述旋转刷在所述两个空气喷射器之间。