KR101312682B1 - 기판 세정장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 세정장치를 개시한 것으로, 이러한 본 발명은 성막 공정의 이전 단계에서 대면적을 가지는 기판을 세정하는 한편, 상기와 같은 세정작업이 이루어질 때 그 세정이 제대로 이루어졌는지를 실시간으로 동시에 검사할 수 있도록 한 것으로, 이에따라 기판의 표면에 성막 도포시 유기물과 파티클에 의한 전기적 특성 불량이 발생하는 것을 방지하면서 제품에 대한 품질 만족도를 높이고, 특히 세정공정과 검사공정의 분리에 따른 불편함을 개선할 수 있도록 한 것이다.

Description

기판 세정장치{Glass cleaning device}
본 발명은 대면적을 가지는 기판을 세정하는 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 성막 공정의 이전 단계에서 대면적을 가지는 기판을 세정하는 한편, 기판 세정이 제대로 이루어졌는지를 실시간 검사할 수 있도록 하는 기판 세정장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 및 OLED나 LCD 등과 같은 표시장치 등 정밀한 제조 공정이 요구되는 기술 분야에서는 공정 진행 중 또는 공정 진행 전에 공정이 진행되는 기판(예; 웨이퍼 또는 유리기판 또는 필름과 같은 유연기판)에 대한 철저한 세정작업이 필수적으로 요구되는 것이다.
즉, LCD 또는 OLED의 기판을 제조하는 공정에 있어, 상기 기판 표면에 도포되어 형성되는 성막들은 그 도포가 정교하게 이루어져야 하며, 만약 그 도포에 불량이 발생할 경우에는 기판의 표시 불량이 발생하기 때문이다.
일예로, 기판의 표면에 유기물과 파티클이 잔존하는 상태에서 성막을 도포시, 상기 유기물과 파티클에 의해 원하는 전기적 특성을 얻을 수 없게 된다.
이에따라, 종래에는 성막공정에서 하부에 유기물과 파티클이 잔존하는 상태에서 박막을 형성하는 경우 원하는 전기적인 특성을 얻을 수 없기 때문에 전세정공정을 진행하게 되며, 이러한 전세정공정은 유기물 및 파티클을 제거하며, 기판의 표면을 개질하게 되는 것이다.
이때, 상기와 같은 전세정공정은 대면적 기판을 습식세정하는 경우가 있는데, 이러한 습식세정공정은 세정수를 이용하여 부유성 파티클과 유기물을 제거할 수 있으나, 반드시 세정된 기판을 건조하여야 하기 때문에 공정 시간이 지연되고 전세정공정을 위한 장치의 면적이 증가하는 등의 문제점이 있음은 물론, 세정수를 이용함으로써 환경오염을 유발할 수 있는 문제점이 있었다.
이에따라, 종래에는 공개특허공보 제 10-2007-88173 호(2007.08.29.자 공개, 이하 선행특허 1 이라함)와, 공개특허공보 제 10-2011-54939 호(2011.05.25.자 공개, 이하 선행특허 2 이라함)의 건식세정공정을 통해 상기 습식세정공정에서 제기되는 문제점들을 개선하도록 하였다.
그러나, 상기 선행특허 1,2는 모두 건식 세정에 국한되어 있고, 그 건식세정이 제대로 이루어졌는지를 실시간 검사하는 기술적 수단이 부가되어 있지 않았으며, 이에따라 선행특허 1,2는 건식세정공정이 종료된 이후에 별도의 검사공정을 추가적으로 진행해야 하는 불편함이 있었다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 선행특허들이 가지는 문제점을 개선하기 위한 것으로, 성막 공정의 이전 단계에서 대면적을 가지는 기판을 세정이 이루어질 때 그 기판 세정이 제대로 이루어졌는지를 실시간 검사하는 기판 세정장치를 제공함에 그 목적이 있는 것이다.
상기 목적 달성을 위한 본 발명 기판 세정장치는, 기판을 진공 흡착하여 고정하는 스테이지; 상하로 이동이 가능하고, 상기 스테이지에 고정되는 기판의 로딩 및 언로딩 상태를 조절하는 고정부; 상기 스테이지에 고정되는 기판의 위에서 전후 이동하는 이동프레임; 상기 이동프레임에 구성되며, 상기 기판의 오염원을 제거하는 세정유닛; 을 포함하고, 상기 이동프레임에는 상기 세정유닛에 의한 기판의 오염원 제거 세정작업시 그 세정상태를 검사하는 검사유닛을 구성하며, 상기 이동프레임 및 상기 세정유닛과 상기 검사유닛의 동작은 제어유닛에 의해 제어되도록 하되, 상기 제어유닛은 상기 검사유닛으로부터 검사되는 세정상태의 정보를 분석하여 상기 기판의 표면에 대한 오염원 제거의 세정작업이 정상적으로 이루어졌는지를 판단하도록 구성한 것이다.
다른 한편으로, 구동부에 의해 동작하여 기판을 이송시키는 이송부; 상기 이송부 위에 위치하는 고정프레임; 상기 고정프레임에 구성되며, 상기 이송부를 따라 이송되는 기판의 오염원을 제거하는 세정유닛; 을 포함하고, 상기 고정프레임에는 상기 세정유닛에 의한 기판의 오염원 제거 세정작업시 그 세정상태를 검사하는 검사유닛을 구성하며, 상기 이동프레임 및 상기 세정유닛, 그리고 상기 구동부와 상기 검사유닛의 동작은 제어유닛에 의해 제어되도록 하되, 상기 제어유닛은 상기 검사유닛으로부터 검사되는 세정상태의 정보를 분석하여 상기 기판의 표면에 대한 오염원 제거의 세정작업이 정상적으로 이루어졌는지를 판단하도록 구성한 것이다.
또한, 상기 세정유닛은, 기판에 존재하는 유기물을 제거하는 상압플라즈마 처리부와, 상기 유기물이 제거된 기판의 파티클을 진동시켜 분리하고 그 분리된 파티클을 진공 흡입하여 제거하는 초음파 처리부를 포함하는 것이다.
또한, 상기 검사유닛은, 상기 스테이지의 하단 또는 상기 스테이지의 상단에 위치하는 이동프레임에 설치되고, 상기 스테이지에 고정되는 기판으로 광원을 조사하는 조명부; 및, 상기 이동프레임에 설치되고, 상기 이동프레임의 이동으로 기판의 표면에 대한 세정작업이 상기 세정유닛에 의해 진행시, 상기 조명부로부터 조사되는 광원에 따라 상기 기판의 표면을 촬영한 후 이를 상기 제어유닛에 전송하는 영상처리부; 를 포함하여 구성한 것이다.
또한, 상기 검사유닛은, 상기 이송부의 하단 또는 상기 이송부의 상단에 위치하는 고정프레임에 설치되고, 상기 이송부를 따라 이송하는 기판으로 광원을 조사하는 조명부; 및, 상기 고정프레임에 설치되고, 상기 고정프레임의 이동으로 기판의 표면에 대한 세정작업이 상기 세정유닛에 의해 진행시, 상기 조명부로부터 조사되는 광원에 따라 상기 기판의 표면을 촬영한 후 이를 상기 제어유닛에 전송하는 영상처리부; 를 포함하여 구성한 것이다.
또한, 상기 영상처리부는 라인스캔 카메라인 것이다.
또한, 상기 라인스캔 카메라는, 원통형의 본체와, 상기 원통형 본체의 일단에 고정되는 촬영소자를 포함하여 구성하는 것이다.
또한, 상기 라인스캔 카메라는, 박스형의 본체와, 상기 본체의 일단에 복수로 배열되는 촬영소자를 포함하여 구성하는 것이다.
또한, 상기 영상처리부는 기판의 진행방향에 대한 전후단측의 에지는 물론 표면을 촬영하도록 상기 기판과 수직으로 위치하는 복수의 중앙 카메라; 및, 상기 중앙 카메라들을 대칭축으로 양측에 상기 기판의 양단부를 연결하는 양측단부의 에지부분을 촬영하는 적어도 한 쌍의 측부 카메라; 를 포함할 수도 있는 것이다.
또한, 상기 제어유닛에는, 상기 세정유닛에 포함되는 상압플라즈마 처리부와 초음파 처리부의 동작 제어는 물론, 상기 이동프레임 또는 상기 이송부의 전후 이동을 제어하는 세정제어 프로그램; 및, 상기 검사유닛에 포함되는 조명부와 영상처리부의 동작을 제어하되, 상기 영상처리부로부터 촬영되는 영상정보를 디지털 코드로 변환시킨 후 이를 오염원이 존재하지 않는 정상적인 기준값과 비교 연산하여 상기 기판의 표면에 대한 오염원 제거의 세정작업이 정상적인지를 판단하는 검사제어 프로그램; 을 탑재 구성한 것이다.
이와 같이, 본 발명은 성막 공정의 이전 단계에서 대면적을 가지는 기판을 세정하는 한편, 상기와 같은 세정작업이 이루어질 때 그 세정이 제대로 이루어졌는지를 실시간으로 동시에 검사할 수 있도록 한 것이며, 이를 통해 기판의 표면에 성막 도포시 유기물과 파티클에 의한 전기적 특성 불량이 발생하는 것을 방지하면서 제품에 대한 품질 만족도를 높이고, 특히 세정공정과 검사공정의 분리에 따른 불편함을 개선하는 효과를 기대할 수 있는 것이다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예로 기판 세정장치의 개략적인 구성도.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예로 세정유닛과 검사유닛의 측면도.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예로 세정유닛과 검사유닛의 정면도.
도 4는 본 발명의 제 2 실시예로 이송부를 적용하는 기판 세정장치의 개략적인 구성도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 라인스캔 카메라의 구조도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예로 기판 세정장치의 개략적인 구성도이고, 도 2는 본 발명의 제 1 실시예로 세정유닛과 검사유닛의 측면도이며, 도 3은 본 발명의 제 1 실시예로 세정유닛과 검사유닛의 정면도를 도시한 것이다.
첨부된 도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 세정장치는 스테이지(10), 고정부(20), 이동프레임(30), 세정유닛(40), 검사유닛(50), 그리고 제어유닛(60)을 포함하는 것이다.
상기 스테이지(10)는 투명 또는 불투명한 재질로 구성되는 것으로, 대면적의 기판(100)을 진공 흡착하도록 구성된다.
상기 고정부(20)는 상하방향으로 이동이 가능하도록 상기 스테이지(10)의 저면에 위치하는 것으로, 상기 스테이지(10)에 고정되는 기판(100)의 로딩 및 언로딩 상태를 조절하도록 구성되는 것이다.
상기 이동프레임(30)은 상기 스테이지(10)에 고정되는 기판(100)의 위에서 상기 제어유닛(60)의 제어에 따라 전후방향으로의 이동이 가능하도록 구성되는 것이다.
상기 세정유닛(40)은 상기 이동프레임(30)에 구성되는 것으로, 상기 기판(100)의 표면에 존재하는 오염원을 제거하는 것이며, 상압플라즈마(atmospheric plasma) 처리부(41)와 초음파 처리부(42)를 포함한다.
상기 상압플라즈마 처리부(41)는 상기 기판(100)에 존재하는 유기물을 상압이나 상온에서 플라즈마를 발생시켜 제거하도록 구성되는 것이며, 이는 글로우 방전(glow discharge), 코로나 방전(corona discharge) 또는 아크 방전(arc discharge)을 통해 상압, 상온에서 플라즈마를 생성할 수 있는 것이며, 특히 진공 플라즈마에 비하여 반응활성종(radical)의 농도가 100배 이상 높으며, 상온에서 100℃의 범위 내에서 플라즈마를 발생시킬 수 있는 것이다.
여기서, 상기 상압플라즈마 처리부(41)에서 발생하는 플라즈마는 반응활성종과 산소, 오존, 수산기 이온이 포함되는 것으로, 대면적의 기판(10) 상부에 존재하는 탄소화합물인 유기물과 화학적으로 결합하면서 이를 기상의 이산화탄소 및 물로 변환시켜 제거하게 되는 것이다.
상기 초음파 처리부(42)는 상기 상압플라즈마 처리부(41)에 의해 유기물이 제거된 상기 기판(100)의 표면에서 파티클을 진동시켜 분리하고 그 분리된 파티클을 진공 흡입하여 제거하도록 구성되며, 상기 초음파 처리부(42)는 초음파를 발생시키는 초음파 발생부(42a)와, 상기 초음파 발생부(42a)에서 발생된 초음파를 기판(100)에 충격시키기 위한 가압공기 공급부(42b)와, 상기 초음파 발생부(42a)의 주변부에 마련되어 진공분위기를 제공하는 진공흡입부(42c)를 포함하는 것이다.
상기 검사유닛(50)은 상기 이동프레임(30)의 전방측 또는 후방측, 바람직하게는 후방측에 설치되어 상기 세정유닛(40)에 의한 기판(100)의 오염원 제거 세정작업시 그 세정상태를 검사하는 것으로, 조명부(51)와 영상처리부(52)를 포함하는 것이다.
상기 조명부(51)는 상기 스테이지(10)의 하단에 설치되는 것으로, 상기 스테이지(10)에 고정되는 기판(100)으로 광원을 조사하도록 구성된다.
여기서, 상기 스테이지(10)가 투명재질로 구성시 상기 조명부(51)는 상기 스테이지(10)의 하단에 설치되지만, 상기 스테이지(10)가 불투명재질로 구성시 상기 조명부(51)는 상기 스테이지(10)의 상단 즉, 상기 이동프레임(30)에 구성하는 것이 바람직하다.
상기 영상처리부(52)는 상기 이동프레임(30)의 전방측 또는 후방측, 바람직하게는 후방측에 설치되는 것으로, 상기 이동프레임(30)의 이동으로 기판(100)의 표면에 대한 세정작업이 상기 세정유닛(40)에 의해 진행시, 상기 조명부(51)로부터 조사되는 광원에 따라 상기 기판(100)의 표면을 촬영한 후 이를 상기 제어유닛(60)에 전송하도록 구성되는 것이다.
이때, 상기 영상처리부(52)는 첨부된 도 5에서와 같이 박스형의 본체(91()와, 상기 본체(91)의 일단에 복수로 배열되는 촬영소자(92)를 포함하는 라인스캔 카메라(90)로 구성하거나, 또는 첨부된 도 3에서와 같이 기판(100)의 진행방향에 대한 전후단측의 에지는 물론 표면을 촬영하도록 상기 스테이지(10)에 고정되는 기판(100)과 수직으로 위치하는 복수의 중앙 카메라(52a) 및, 상기 중앙 카메라(52a)들을 대칭축으로 양측에 상기 기판(100)의 양단부를 연결하는 양측단부의 에지부분을 촬영하는 적어도 한 쌍의 측부 카메라(52b)를 포함하여 구성할 수도 있는 것이다.
여기서, 상기 라인스캔 카메라는 도면에는 도시하지 않았지만, 하측단에 하나의 촬영소자를 적용한 원통형 본체를 라인 스캔이 가능하도록 다단으로 구성할 수도 있는 것이다.
상기 제어유닛(60)은 상기 세정유닛(40)에 포함되는 상압플라즈마 처리부(41)와 초음파 처리부(42)의 동작을 제어함은 물론, 상기 검사유닛(50)에 포함되는 조명부(51) 및 영상처리부(52)에 대한 동작을 제어하는 한편, 상기 이동프레임(30)에 대한 전후 방향 이동을 제어하도록 구성하는 것이며, 특히 상기 검사유닛(50)으로부터 검사되는 세정상태의 정보 즉, 상기 영상처리부(52)로부터 촬영되는 영상정보를 분석하여 상기 기판(100)의 표면에 대한 오염원 제거의 세정작업이 정상적으로 이루어졌는지를 판단하도록 구성되는 것이다.
즉, 상기 제어유닛(60)에는 세정제어 프로그램과 검사제어 프로그램이 탑재되어 있는 것으로, 상기 세정제어 프로그램은 상기 세정유닛(40)에 포함되는 상압플라즈마 처리부(41)와 초음파 처리부(42), 그리고 상기 이동프레임(30)에 대한 동작을 제어하는 것이다.
그리고, 상기 제어유닛(60)에 탑재된 검사제어 프로그램은 상기 검사유닛(50)에 포함되는 조명부(51)와 영상처리부(52)의 동작을 제어하면서, 상기 영상처리부(52)로부터 촬영되는 영상정보를 디지털 코드로 변환시킨 후 이를 오염원이 존재하지 않는 정상적인 기준값과 비교 연산하여 상기 기판(100)의 표면에 대한 오염원 제거의 세정작업이 정상적인지를 판단하는 것이다.
여기서, 상기 정상적인 기준값은 기판(100)의 표면에 오염원이 존재하지 않는 기판의 표면을 영상처리부로 촬영한 후 이를 디지털 코드로 변환한 것이고, 이러한 디지털 코드의 정상적인 기준값은 제어유닛(60)의 메모리(미도시)에 저장시킨 것을 의미하는 것이다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 실시예에 따른 기판 세정장치는 첨부된 도 1 내지 도 3에서와 같이, 우선 대면적의 기판(100)이 스테이지(10)의 상부측으로 로봇에 의해 이송되어 스테이지(10) 상에 돌출된 고정부(20)의 상부에 로딩된다.
이때, 상기 고정부(20)는 기판(100)이 로딩된 상태에서 하향으로 이동하여, 상기 기판(100)을 스테이지(10)에 밀착시키게 되며, 이에따라 상기 스테이지(10)는 대면적의 기판(10)을 진공으로 밀착 고정시킬 수 있는 것이다.
다음으로, 상기와 같이 대면적의 기판(100)이 스테이지(10)에 고정된 상태에서, 제어유닛(60)은 이동프레임(30)의 이동 동작상태를 제어하게 되고, 이에따라 상기 이동프레임(30)은 기판(100)과 소정거리 이격된 상태로 상기 기판(100)을 따라 이동이 이루어지게 된다.
이때, 상기 이동프레임(30)에는 세정유닛(40)에 포함되는 상압플라즈마 처리부(41)와 초음파 처리부(42)가 구성되어 있는 바,
상기 상압플라즈마 처리부(41)는 상기 이동프레임(30)의 이동시 상기 제어유닛(60)의 제어에 따라 동작하면서 반응활성종과 산소, 오존, 수산기 이온이 포함되는 플라즈마를 발생시키게 되고, 상기 발생된 플라즈마는 대면적의 기판(10) 상부에 존재하는 탄소화합물인 유기물과 화학적으로 결합하면서, 상기 유기물을 기상의 이산화탄소 및 물로 변환시켜 제거하게 되는 것이다.
한편, 상기 상압플라즈마 처리부(41)에 의해 기판(100)의 표면에서 유기물 제거가 이루어짐과 동시에, 상기 초음파 처리부(42) 또한 상기 제어유닛(60)의 제어동작에 따라 동작하게 된다.
즉, 상기 초음파 처리부(42)에 포함되는 초음파 발생부(42a)에서 초음파를 발생시키게 되는데, 상기 초음파는 상기 초음파 처리부(42)에 포함되는 가압공기 공급부(42b)에서 발생하는 가압공기에 의해 기판(100)을 충격하여 상기 상압플라즈마 처리부(41)에 의해 유기물이 제거된 상기 기판(100)의 표면에서 파티클을 분리시키게 되고, 이에따라 상기 초음파 처리부(42)에 포함되는 진공흡입부(42c)는 기판(100)의 표면에서 분리되는 파티클을 진공 흡입하여 제거하게 되는 것이다.
이때, 상기 이동프레임(30)에 구성되는 검사유닛(50)에 포함되는 영상처리부(52)인 라인스캔 카메라(90) 또는 중앙카메라(52a) 및 측부카메라(52b)는 스테이즈(10)의 하단 또는 상단에 위치하는 조명부(51)에서 제공하는 광원에 따라 상기 초음파 처리부(42)에 의해 파티클이 제거될 때, 상기 파티클이 제거되는 부분을 촬영한 후 이를 제어유닛(60)에 전송하게 되는 바,
상기 제어유닛(60)은 상기 영상처리부(52)로부터 촬영되는 영상정보를 디지털 코드로 변환시킨 후 이를 오염원이 존재하지 않는 정상적인 기준값과 비교 연산하면서, 상기 기판(100)의 표면에 대한 오염원 제거의 세정작업이 정상적으로 이루어졌는지 또는 오염원이 존재하는지를 판단한 후 그 판단결과를 작업자에게 표시수단을 통해 제공하게 되는 것이다.
즉, 상기 영상처리부(52)를 이루는 라인스캔 카메라(90) 또는 중앙카메라(52a) 및 측부카메라(52b)에서 촬영되는 기판(100)의 영상정보가 제어유닛(60)에 전송시, 상기 제어유닛(60)은 상기 영상정보를 디지털 코드 등의 숫자로 변환을 한 후 이를 미리 저장된 오염원이 존재하지 않는 정상적인 기준값과 실시간으로 수학적 비교 연산하게 되고, 상기 수학적인 비교 연산으로부터 나타나는 차이를 확인하면서 상기 기판(100)의 표면에서 오염원이 정상적으로 제거되었는지, 아니면 오염원이 제대로 제거되지 않았는지를 판단한 후 이를 표시수단을 통해 제공할 수 있도록 한 것이다.
여기서, 상기 표시수단은 도면에는 도시하지 않았지만, 모니터 또는 프린터를 통한 인쇄물일 수도 있는 것이다.
이와 같이, 본 발명은 세정유닛(40)을 통해 기판(100)의 표면에서 오염원인 유기물과 파티클을 제거한 후, 상기 오염원이 제거된 기판(100)의 표면을 검사유닛(50)의 영상처리부(52)를 통해 촬영하도록 구성함으로써, 상기 세정유닛(40)에 의한 오염원 제거가 정상적으로 이루어졌는지 또는 일부의 오염원이 존재하는지를 실시간 검사할 수 있고, 이에따라 오염원이 제거된 정상적인 기판(100)은 바로 성막장치로 이송할 수 있도록 하는 한편, 오염원 제거의 불량시에는 기판(100)이 바로 성막장치로 이송되는 것을 차단하여, 오염원이 존재하는 기판(100)에 성막이 형성되는 것을 보다 효과적으로 방지하는 기술적 특징을 가지는 것이다.
한편, 첨부된 도 4는 본 발명의 제 2 실시예로, 이는 세정유닛(40)과 검사유닛(50)을 이동시키지 않고 고정프레임(70)에 고정시킨 상태에서, 이송컨베이어와 같은 이송부(80)를 통해 기판(100)을 이동시키면서, 상기 기판(100)의 표면에 대한 세정 및 그 세정상태를 실시간 검사할 수 있도록 한 것이다.
즉, 본 발명의 제 2 실시예는 이송부(80)의 상단에 고정프레임(70)을 위치시킨 후, 상기 고정프레임(70)에 세정유닛(40)과 검사유닛(50)을 설치 구성하도록 한 것이다.
이에따라, 상기 이송부(80)의 위에 올려진 기판(100)의 이송이 이루어질 때, 상기 세정유닛(40)은 물론 검사유닛(50)이 제어유닛(60)의 제어되어 동작하면서, 오염원을 제거하는 세정작업을 수행함은 물론, 상기 세정작업이 제대로 이루어졌는지를 실시간 검사할 수 있도록 한 것이다.
이하, 상기 세정유닛(40) 및 검사유닛(50)에 포함되는 구성요소들은 본 발명의 제 1 실시예에서와 동일하므로 동일부호로 표시하여 그 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이상에서 본 발명의 기판 세정장치에 대한 기술사상을 첨부도면과 함께 서술하였지만, 이는 본 발명의 가장 양호한 실시예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다.
따라서, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와같은 변경은 청구범위 기재의 범위내에 있게 된다.
10; 스테이지 20; 고정부
30; 이동프레임 40; 세정유닛
41; 상압플라즈마 처리부 42; 초음파 처리부
42a; 초음파 발생부 42b; 가압공기 공급부
42c; 진공흡입부 50; 검사유닛
51; 조명부 52; 영상처리부
60; 제어유닛 70; 고정프레임
80; 이송부 90; 라인스캔 카메라
91; 본체 92; 촬영소자
100; 기판

Claims (9)

  1. 기판을 진공 흡착하여 고정하는 스테이지; 상하로 이동이 가능하고, 상기 스테이지에 고정되는 기판의 로딩 및 언로딩 상태를 조절하는 고정부; 상기 스테이지에 고정되는 기판의 위에서 전후 이동하는 이동프레임; 상기 이동프레임에 구성되며, 상기 기판에 존재하는 유기물을 제거하는 상압플라즈마 처리부와, 유기물이 제거된 상기 기판의 파티클을 진동시켜 분리하고 그 분리된 파티클을 진공 흡입하여 제거하는 초음파 처리부를 포함하는 세정유닛; 을 포함하고,
    상기 이동프레임에는 상기 세정유닛에 의한 기판의 오염원 제거 세정작업시 그 세정상태를 검사하는 검사유닛을 구성하며, 상기 이동프레임 및 상기 세정유닛과 상기 검사유닛의 동작은 제어유닛에 의해 제어되도록 하되,
    상기 제어유닛에는 상기 세정유닛에 포함되는 상압플라즈마 처리부와 초음파 처리부의 동작 제어는 물론, 상기 이동프레임의 전후 이동을 제어하는 세정제어 프로그램; 및, 상기 검사유닛에 포함되는 조명부와 영상처리부의 동작을 제어하되, 상기 영상처리부에 의해 촬영되는 영상정보를 통해 기판의 표면에 대한 오염원 제거의 세정작업이 정상적인지를 판단하는 검사제어 프로그램; 을 탑재 구성하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  2. 구동부에 의해 동작하여 기판을 이송시키는 이송부; 상기 이송부 위에 위치하는 고정프레임; 상기 고정프레임에 구성되며, 상기 이송부를 따라 이송되는 상기 기판에 존재하는 유기물을 제거하는 상압플라즈마 처리부와, 유기물이 제거된 상기 기판의 파티클을 진동시켜 분리하고 그 분리된 파티클을 진공 흡입하여 제거하는 초음파 처리부를 포함하는 세정유닛; 을 포함하고,
    상기 고정프레임에는 상기 세정유닛에 의한 기판의 오염원 제거 세정작업시 그 세정상태를 검사하도록 조명부와 영상처리부를 포함하는 검사유닛을 구성하며, 상기 고정프레임 및 상기 세정유닛, 그리고 상기 구동부와 상기 검사유닛의 동작은 제어유닛에 의해 제어되도록 하되,
    상기 제어유닛에는 상기 세정유닛에 포함되는 상압플라즈마 처리부와 초음파 처리부의 동작 제어는 물론, 상기 이송부의 전후 이동을 제어하는 세정제어 프로그램; 및, 상기 검사유닛에 포함되는 조명부와 영상처리부의 동작을 제어하되, 상기 영상처리부에 의해 촬영되는 영상정보를 통해 기판의 표면에 대한 오염원 제거의 세정작업이 정상적인지를 판단하는 검사제어 프로그램; 을 탑재 구성하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 조명부는 스테이지에 고정되는 기판으로 광원을 조사하도록 상기 스테이지의 하단 또는 상기 스테이지의 상단에 위치하는 이동프레임에 설치 구성하고,
    상기 영상처리부는 상기 이동프레임의 이동으로 기판의 표면에 대한 세정작업이 상기 세정유닛에 의해 진행시, 상기 조명부로부터 조사되는 광원에 따라 상기 기판의 표면을 촬영한 후 이를 상기 제어유닛에 전송하도록 상기 이동프레임에 설치 구성하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 조명부는 이송부를 따라 이송하는 기판으로 광원을 조사하도록 상기 이송부의 하단 또는 상기 이송부의 상단에 위치하는 고정프레임에 설치 구성하고,
    상기 영상처리부는 상기 고정프레임의 이동으로 기판의 표면에 대한 세정작업이 상기 세정유닛에 의해 진행시, 상기 조명부로부터 조사되는 광원에 따라 상기 기판의 표면을 촬영한 후 이를 상기 제어유닛에 전송하도록 상기 고정프레임에 설치 구성하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  6. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서, 상기 영상처리부는 라인스캔 카메라인 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 라인스캔 카메라는, 박스형의 본체와, 상기 본체의 일단에 복수로 배열되는 촬영소자를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  8. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서, 상기 영상처리부는,
    기판의 진행방향에 대한 전후단측의 에지는 물론 표면을 촬영하도록 기판과 수직으로 위치하는 복수의 중앙 카메라; 및, 상기 중앙 카메라들을 대칭축으로 양측에 상기 기판의 양단부를 연결하는 양측단부의 에지부분을 촬영하는 적어도 한 쌍의 측부 카메라; 를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  9. 삭제
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