CN110114658A - 工件保持装置、检查装置及工件位置校正方法 - Google Patents

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Abstract

使工件的对称轴与保持该工件并使其旋转的工件保持装置的旋转轴高精度地一致。包括：保持台，其具有：保持工件的卡盘机构、支承卡盘机构并使卡盘机构在与旋转轴正交的方向移动而对工件进行定位的定位机构、和通过使定位机构绕旋转轴旋转而使保持于卡盘机构的工件绕旋转轴旋转的旋转机构；对准用拍摄部，其对保持于卡盘机构的工件的外周部进行拍摄；偏心检测部，其基于由对准用拍摄部对在旋转机构的作用下旋转的工件进行拍摄所取得的图像，检测对称轴相对于旋转轴的偏心；和工件位置校正部，其通过定位机构使卡盘机构移动而以使对称轴与旋转轴一致的方式进行工件的位置校正，以消除偏心。

Description

工件保持装置、检查装置及工件位置校正方法
技术领域
本发明涉及保持具有绕对称轴旋转对称的外周部的工件并使其绕旋转轴旋转的工件保持装置、对保持于该工件保持装置的工件进行检查的检查装置、以及该工件保持装置中的工件位置校正方法。
关联申请的相互参考
通过参考将以下所示的日本申请的说明书、附图及权利要求书的公开内容的全部内容引入本文件：
日本特愿2017-47285(2017年3月13日申请)。
背景技术
作为对绕对称轴旋转对称的工件的外观进行检查的装置，已知有例如专利文献1所记载的工件检查装置。在该工件检查装置中，利用与电动机连结的保持部保持工件。并且，在利用上述电动机使工件旋转的同时使用多台相机对该工件进行拍摄，并基于这些拍摄图像对工件的外观进行检查。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2012-63268号公报
发明内容
专利文献1所记载的装置是以齿轮作为工件的装置，检查齿轮是否存在伤痕和/或缺陷等。该装置中，保持部具有：从沿轴向贯通工件的贯通孔通过的轴部；和以与轴部同轴的方式夹持工件的夹持机构。并且，通过电动机的旋转轴旋转而使轴部和工件一体地旋转。此处，在工件的对称轴与电动机的旋转轴不一致、也就是发生了偏心的情况下，难以基于拍摄到的图像进行高精度的检查。因此，为了实现高精度的工件检查，能够校正工件相对于电动机的偏心并使工件在工件的对称轴与电动机的旋转轴一致的所谓定心状态下旋转的技术备受期待。
本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于在保持具有绕对称轴旋转对称的外周部的工件并使其绕旋转轴旋转的工件保持装置中，使对称轴与旋转轴高精度地一致。
本发明的第1方式为一种工件保持装置，其保持具有绕对称轴旋转对称的外周部的工件并使工件绕旋转轴旋转，其特征在于，包括：保持台，其具有：保持工件的卡盘机构、支承卡盘机构并使卡盘机构在与旋转轴正交的方向移动而对工件进行定位的定位机构、和通过使定位机构绕旋转轴旋转而使保持于卡盘机构的工件绕旋转轴旋转的旋转机构；对准用拍摄部，其对保持于卡盘机构的工件的外周部进行拍摄；偏心检测部，其基于由对准用拍摄部对在旋转机构的作用下旋转的工件进行拍摄所取得的图像，检测对称轴相对于旋转轴的偏心；和工件位置校正部，其通过定位机构使卡盘机构移动而以使对称轴与旋转轴一致的方式进行工件的位置校正，以消除偏心。
此外，本发明的第2方式为一种检查装置，其对具有绕对称轴旋转对称的外周部的工件进行检查，其特征在于，包括：上述工件保持装置；检查用拍摄部，其对在通过工件保持装置使对称轴与旋转轴一致的状态下绕旋转轴旋转的工件进行拍摄；和工件检查部，其基于由检查用拍摄部拍摄到的图像对工件进行检查。
此外，本发明的第3方式为一种工件位置校正方法，其是工件保持装置中的工件位置校正方法，工件保持装置保持具有绕对称轴旋转对称的外周部的工件并使工件绕旋转轴旋转，其特征在于，包括：利用工件保持装置的卡盘机构保持工件的第1工序；基于在使保持着工件的卡盘机构绕旋转轴旋转的同时对工件的外周部进行拍摄所得到的图像，检测对称轴相对于旋转轴的偏心的第2工序；和使卡盘机构在相对于旋转轴正交的方向上移动而使对称轴与旋转轴一致，以消除偏心的第3工序。
在像这样构成的发明中，具有绕旋转轴旋转对称的外周部的工件被保持于卡盘机构并绕旋转轴旋转。并且，基于在该旋转中拍摄到的工件而检测对称轴相对于旋转轴的偏心，使卡盘机构在相对于旋转轴正交的方向移动而使对称轴与旋转轴一致，以消除该偏心。
发明效果
如上述那样，根据本发明，由于使卡盘机构在相对于旋转轴正交的方向移动而进行工件位置校正，以消除对称轴相对于旋转轴的偏心，所以能够使对称轴与旋转轴高精度地一致。
上述本发明的各方式所具有的多个构成要素并非全部是必须的，为了解决上述一部分或全部问题，或为了达成本说明书所记载的一部分或全部效果，能够适当地对所述多个构成要素的一部分构成要素进行变更、删除、替换为新的其他构成要素、限定内容的部分删除。此外，为了解决上述一部分或全部问题，或为了达成本说明书所记载的一部分或全部效果，也能够将包含于上述本发明的一个方式的一部分或全部技术特征与包含于上述本发明的其他方式的一部分或全部技术特征进行组合，而作为本发明的独立的一个方式。
附图说明
图1是表示配备有本发明的工件保持装置的一实施方式的检查装置的整体构成的图。
图2是表示图1所示的检查装置的电气构成的框图。
图3是表示作为本发明的工件保持装置的一实施方式的工件保持单元的构成的立体图。
图4是表示由图1所示的检查装置进行的工件的检查动作的流程图。
图5是示意性地表示检查动作的图。
具体实施方式
图1是表示本发明的检查装置的一实施方式的整体构成的图。此外，图2是表示图1所示的检查装置的电气构成的框图。该检查装置100是检查工件W的外观的装置，该工件W如齿轮、叶轮等那样具有为绕对称轴旋转对称的形状且周期性地反复设有凸部和凹部的外周部，该检查装置100具有装载单元1、工件保持单元2、拍摄单元3、卸载单元4及控制单元5。另外，此处，工件W是如图1所示那样在轴部Wa的上部设有齿轮Wb的机械部件，通过例如锻造或铸造处理而形成。并且，在部件制造后，该工件W被外部搬运机械手或操作员搬运到装载单元1。
在装载单元1设有工作台和/或储存器等工件收容部(图示省略)。并且，当利用外部搬运机械手等将工件W暂时收容在工件收容部时，设于工件收容部的工件检测传感器11(图2)检测到工件W，并将该内容的信号发送到控制装置整体的控制单元5。此外，在装载单元1设有装载机(loader)12(图2)，装载机12根据来自控制单元5的动作指令而接收收容于工件收容部的未检查的工件W，并将其搬运到工件保持单元2。
图3是表示工件保持单元的构成的立体图。工件保持单元2配备有保持台21A、21B，其保持由装载机12搬运来的工件W。这些保持台21A、21B均具有相同的构成，能够以使齿轮Wb呈水平状态的姿势抓持工件W的轴部Wa的一部分而保持工件W。以下，参照图3对保持台21A的构成进行说明，而由于保持台21B具有与保持台21A相同的构成，因此对保持台21B标注相同的附图标记并省略说明。
如图3所示，保持台21A中，沿铅垂方向层叠配置有卡盘机构22、水平定位机构23、旋转机构24及铅垂定位机构25。卡盘机构22具有侧面观察时呈大致L字状的可动部件221～223、和根据来自控制单元5的移动指令使可动部件221～223以放射状连动地移动的移动部224。在各可动部件221～223的上端面突出设置有突起部件225，能够利用上端面和突起部件225与轴部Wa的台阶部位卡合。因此，移动部224根据来自控制单元5的抓持指令而使可动部件221～223相互接近移动，由此能够使卡盘机构22的中心轴(图5中的附图标记AX2)与轴部Wa的轴心一致地保持工件W。另一方面，移动部224根据来自控制单元5的释放指令而使可动部件221～223相互远离移动，由此能够进行基于装载单元1对未检查的工件W的装载和/或基于卸载单元4对检查完毕的工件W的卸载。
像这样构成的卡盘机构22被支承于水平定位机构23。水平定位机构23具有在水平方向上沿相互正交的方向移动的所谓XY工作台。因此，能够根据来自控制单元5的移动指令驱动XY工作台，将卡盘机构22在水平面上高精度地定位。需要说明的是，作为XY工作台，能够使用将电动机和滚珠丝杠机构组合而形成的装置，和/或将在水平方向上相互正交的两个线性电动机组合而形成的装置等。
旋转机构24具有电动机241。电动机241的旋转轴(图5中的附图标记242)向铅垂上方延伸设置，其上端部与水平定位机构23连结。因此，当从控制单元5接收到旋转指令时，电动机241工作，使水平定位机构23、卡盘机构22、以及由卡盘机构22抓持的工件W绕电动机241的旋转轴(图5中的附图标记AX3)一体地旋转。
此处，在本实施方式中，在卡盘机构22与旋转机构24之间设置水平定位机构23，其技术意义在于：能够通过水平定位机构23调整卡盘机构22的中心轴、由卡盘机构22抓持的工件W的齿轮Wb的对称轴(图5中的附图标记AX4)及电动机241的旋转轴的相对位置关系。即，水平定位机构23能够使卡盘机构22的中心轴与电动机241的旋转轴一致，由此使由卡盘机构22抓持的工件W绕轴部Wa旋转。但是，在齿轮Wb的对称轴从轴部Wa偏离的情况下，相对于电动机241发生偏心，导致齿轮Wb偏心地旋转。对此，设置水平定位机构23并以校正偏移量和偏移方向的方式进行驱动，从而能够使齿轮Wb的对称轴与电动机241的旋转轴一致。由此，能够利用拍摄单元3高精度地拍摄齿轮Wb的图像，能够提高工件W的检查精度。
铅垂定位机构25具有：保持电动机241的保持板251；配置于电动机241的下方位置的底板252；连结保持板251及底板252的4根连结销253；和使底板252沿铅垂方向升降的升降部254。升降部254根据来自控制单元5的升降指令使底板252升降，从而能够使旋转机构24、水平定位机构23及卡盘机构22在铅垂方向上一体地移动，使工件W的高度位置最佳地处于下文说明的预对准位置PA及检查位置PI。
如图3所示，像这样构成的保持台21A、21B隔开一定距离地被固定在支承板261上。此外，支承板261在保持台21A、21B的中间位置被支承在转动驱动部262上。该转动驱动部262能够根据来自控制单元5的转动指令，使支承板261绕沿铅垂方向延伸的转动轴AX1转动180°，并能够在如图3所示使保持台21A、21B分别位于预对准位置PA及检查位置PI的第1位置、和使保持台21A、21B分别位于检查位置PI及预对准位置PA的第2位置之间切换。例如能够与对工件W(其被保持在位于预对准位置PA的保持台21A上)实施预对准处理并行地、通过转动驱动部262从第1位置切换到第2位置，由此将保持台21A从预对准位置PA变换到检查位置PI，将预对准处理完毕的工件W定位于检查位置PI。此外，能够在该工件W的检查结束后逆向转动，由此将保持台21A从检查位置PI变换到预对准位置PA，将检查处理完毕的工件W定位于预对准位置PA。像这样在本实施方式中，由支承板261及转动驱动部262构成能够切换工件W的位置的位置切换机构26。
预对准位置PA如上所述是进行预对准处理的位置，在被定位于预对准位置PA的保持台21A(或21B)的上方配置有对准相机27。如图3所示，该对准相机27相对于工件W配置在电动机241的相反侧，即工件W的上方侧，且具有相对于工件W的对称轴AX4向径向外侧延伸设置的线传感器271。因此，能够在使工件W旋转的同时利用该线传感器271拍摄工件W的上表面，通过使工件W旋转至少1周而得到包括形成于齿轮Wb外周部的全部凸部(齿顶)及凹部(齿根)在内的图像。
此外，图3中省略了图示，但设置有对准照明部28(图2)，其用于对被保持于该保持台21A(或21B)的工件W进行照明以便良好地进行对准处理。因此，能够在通过旋转机构24使工件W旋转并且通过对准照明部28对工件W进行照明的同时，利用对准相机27对工件W进行拍摄。并且，工件W的图像数据被发送到控制单元5，校正偏心而使齿轮Wb的对称轴与电动机241的旋转轴一致、即执行预对准处理。
另一方面，检查位置PI是进行检查处理的位置，在被定位于检查位置PI的保持台21A(或21B)的上方配置有拍摄单元3。在该检查位置PI，能够在齿轮Wb的对称轴与电动机241的旋转轴一致的状态下使工件W旋转的同时利用拍摄单元3拍摄工件W。并且，工件W的图像数据被发送到控制单元5，执行检查齿轮Wb有无伤痕和/或缺陷等的检查处理。
如图2所示，该拍摄单元3具有多个检查相机31和多个检查照明部32。在该拍摄单元3中，多个检查照明部32配置为，从各种方向对定位于检查位置PI的保持台21A(或21B)所保持的工件W进行照明。并且，能够在通过旋转机构24使工件W旋转并且通过检查照明部32对工件W进行照明的同时，利用多个检查相机31从各种方向对工件W进行拍摄。这些多个图像数据被发送到控制单元5，由控制单元5执行工件W的检查。
如上所述通过位置切换机构26使保持像这样进行了检查的工件W的保持台21A(或21B)从检查位置PI变换到预对准位置PA。并且，由卸载单元4将检查完毕的工件W从保持台21A(或21B)搬出。需要说明的是，卸载单元4基本上与装载单元1相同。也就是说，卸载单元4具有暂时收容检查完毕的工件W的工件收容部(图示省略)、工件检测传感器41(图2)及卸载机42(图2)，根据来自控制单元5的动作指令将检查完毕的工件W从保持台21A(或21B)向工件收容部搬运。
如图2所示，控制单元5由进行逻辑运算的公知的CPU(Central Processing Unit，中央处理器)、存储有初始设定等的ROM(Read Only Memory，只读存储器)、暂时存储装置动作中的各种数据的RAM(Random Access Memory，随机存取存储器)等构成。控制单元5在功能上具备运算处理部51、存储器52、驱动控制部53、外部输入输出部54、图像处理部55及照明控制部56。
上述驱动控制部53对设置于装置各部分的驱动机构，例如装载机12、卡盘机构22等的驱动进行控制。外部输入输出部54输入来自配备于装置各部分的各种传感器类的信号，另一方面，对配备于装置各部分的各种促动器等输出信号。图像处理部55从对准相机27及检查相机31取入图像数据，进行二值化等图像处理。照明控制部56控制对准照明部28及检查照明部32的点亮及熄灭等。
上述运算处理部51具有运算功能，遵照存储于上述存储器52中的程序控制驱动控制部53、图像处理部55、照明控制部56等，由此执行如下说明的一系列处理。
需要说明的是，图2中的附图标记6是作为与操作员的交互界面发挥作用的显示单元，其与控制单元5连接，除显示检查装置100的动作状态的功能之外，还由触控面板构成而具有作为受理来自操作员的输入的输入终端的功能。此外，不限于该构成，也可以采用用于显示动作状态的显示装置、键盘和/或鼠标等输入终端。
图4是表示利用图1所示的检查装置进行的工件的检查动作的流程图。此外，图5是示意性地表示检查动作的图。需要说明的是，图5中，为了明确区分保持台21A、21B的动作，对保持台21B及由该保持台21B保持的工件W标注点状阴影。
在该检查装置100中，运算处理部51遵照预先存储在控制单元5的存储器52中的检查程序而控制装置各部分并执行以下动作。此处，参照图4及图5，着眼于一个工件W来说明对该工件W执行的各种动作。当如图5的(a)栏所示在位于预对准位置PA的保持台21A不存在工件W，且利用工件检测传感器11确认到装载单元1的工件收容部中收容有未检查的工件W时，控制单元5开始工件W向保持台21A的装载(步骤S1)。在该装载工序中，装载机12抓持工件收容部的未检查的工件W，从装载单元1向保持台21A搬运。需要说明的是，在本实施方式中，为了顺利地进行装载工序及之后的偏心的检测工序，在向保持台21A搬运工件W之前，如图5的(a)栏所示利用水平定位机构23使卡盘机构22的中心轴AX2与电动机241的旋转轴AX3一致，并且使三根可动部件221～223相互远离而进行工件W的接收准备。
当利用装载机12将工件W搬运到保持台21A后，卡盘机构22如上述那样使三根可动部件221～223相互接近移动来夹入工件W的轴部Wa的一部分从而抓持工件W。更详细而言，在装载动作中，可动部件221～223相互接近移动，可动部件221～223的各上端面和突起部件225与轴部Wa的台阶部位卡合而使卡盘机构22的中心轴AX2与轴部Wa的轴心一致地保持工件W(参照图5的(b)栏)。像这样装载工序完成，在该完成的时间点，电动机241的旋转轴AX3、卡盘机构22的中心轴AX2及轴部Wa的轴心一致。但是，在通过锻造或铸造处理所制造的工件W中，有时例如图5的(b)栏所示那样齿轮Wb的对称轴AX4从轴部Wa的轴心偏离而发生工件W相对于电动机241偏心。
于是，在本实施方式中，利用对准照明部28(图2)对未检查的工件W进行照明，并且在通过保持台21A的电动机241使未检查的工件W旋转的同时，利用对准相机27对齿轮Wb进行拍摄，并将该图像数据存储在存储器52中(步骤S2)。
在该拍摄完成后，利用转动驱动部262进行从第1位置向第2位置的切换。即，转动驱动部262使支承板261绕转动轴AX1转动180°，由此，如图5的(c)栏所示，保持未检查的工件W的保持台21A从预对准位置PA移动到检查位置PI，并且利用升降部254使工件W移动到可由拍摄单元3进行拍摄的高度位置(步骤S3)。
此外，在本实施方式中，与上述移动并行地从存储器52读出工件W的图像数据，并检测工件W相对于旋转机构24(电动机241)的偏心(在本实施方式中，相当于包括偏移量Δ和偏移方向的信息)(步骤S4)，接下来，进行保持台21A处的偏心校正(步骤S5)。该偏心校正利用水平定位机构23使卡盘机构22移动，以消除上述步骤S4中检测到的偏心，。由此，如图5的(c)栏所示，在保持台21A到达检查位置PI之时或到达前后，齿轮Wb的对称轴与电动机241的旋转轴一致，能够即刻开始工件拍摄工序(步骤S6)。
在该步骤S6中，被定位于检查位置PI的保持台21A的旋转机构24工作，开始工件旋转。此时，保持于保持台21A的工件W处于接受了上述偏心校正后的所谓定心状态，绕对称轴AX4旋转。此外，与该旋转对应地，多个检查照明部32点亮而从多个方向对旋转中的工件W进行照明。需要说明的是，此处是在工件旋转后使检查照明部32点亮，但点亮时刻不限于此，也可以与旋转开始同时、或在旋转开始前就开始点亮检查照明部32。
在像这样进行工件W的旋转和照明的期间，多个检查相机31从各种方向拍摄工件W，将来自多个方向的工件W的图像(以下称为“工件图像”)的图像数据发送到控制单元5。另一方面，控制单元5将上述图像数据存储在存储器52中，并在以下时刻基于该图像数据进行工件W的检查。
像这样取得图像后，在保持台21A，工件旋转停止，在拍摄单元3，检查照明部32熄灭。此外，转动驱动部262使支承板261绕转动轴AX1反向转动180°，由此，保持台21A在保持着检查完毕的工件W的状态下从检查位置PI移动到预对准位置PA，并且利用升降部254将工件W移动到原始的高度位置(步骤S7)。与该工件W的移动并行地，控制单元5从存储器52读出图像数据，基于工件图像判定齿轮Wb是否存在伤痕和/或缺陷等，来对保持在保持台21A的工件W进行工件检查(步骤S8)。
利用卸载机42抓持返回到预对准位置PA的工件W，然后，通过使基于可动部件221～223的抓持解除，工件W被从保持台21A交接给卸载机42。接下来，卸载机42将工件W搬运到卸载单元4，并向工件收容部(图示省略)搬运(步骤S9)。利用保持台21A、21B交替地反复进行上述一系列工序(步骤S1～S9)。
如以上那样，在本实施方式中，基于在利用保持台21A、21B使工件W绕旋转轴AX3旋转的同时对其进行拍摄而得到的工件W的图像，检测对称轴AX4相对于旋转轴AX3的偏移，即偏心。此外，在保持台21A、21B设有水平定位机构23，使卡盘机构22在与旋转轴AX3正交的方向(在本实施方式中为水平方向)移动而进行工件位置校正，以消除上述偏心。其结果是，能够使工件W的对称轴AX4与电动机241的旋转轴AX3高精度地一致。
此外，在本实施方式中，能够通过使3根可动部件221～223同时向中心轴AX2移动来保持工件W，使工件W的对称轴AX4接近中心轴AX2。并且，在使中心轴AX2相对于旋转轴AX3一致的状态下使由可动部件221～223保持的工件W旋转的同时对其进行拍摄。通过具有这样的构成，能够利用对准相机27可靠地对工件W进行拍摄，能够良好地进行上述偏心的检测
此外，在本实施方式中，在保持台21A、21B从预对准位置PA向检查位置PI移动的期间，并行地进行偏心的检测及基于校正的工件W的位置校正。因此，能够缩短节拍时间。另外，也可以在基于由对准相机27拍摄到的工件W的图像而检测偏心后，开始保持台21A、21B向检查位置PI的移动，并在该移动中进行偏心的校正，能够得到同样的作用效果。也就是说，能够与保持台21A、21B从预对准位置PA向检查位置PI的移动并行地执行偏心的检测及偏心的校正(工件W的位置校正)的至少一部分，从而能够实现节拍时间的缩短。
像这样，本实施方式中的水平定位机构23相当于本发明的“定位机构”的一例。对准相机27及检查相机31分别相当于本发明的“对准用拍摄部”及“检查用拍摄部”的一例。位置切换机构26作为本发明的“工作台移动机构”发挥作用，使保持台22A、22B在预对准位置PA和相当于本发明的“非预对准位置”的一例的检查位置PI之间移动。此外，由工件保持单元2和控制单元5构成本发明的“工件保持装置”，尤其是控制单元5的运算处理部51作为本发明的“偏心检测部”及“工件位置校正部”发挥作用。而且，控制单元5作为本发明的“工件检查部”发挥作用。
另外，本发明不限于上述实施方式，能够在不脱离其主旨的范围内进行上述方式以外的各种变更。例如在上述实施方式中，对保持具有齿轮Wb的工件W的工件保持装置及配备了该装置的检查装置适用了本发明，但工件W的种类不限于此，本发明的“工件”包括具有绕对称轴旋转对称的外周部的所有工件。
此外，在上述实施方式中，构成为通过3根可动部件221～223保持工件W，但也可以构成为通过2根或4根以上可动部件来保持工件W。
此外，在上述实施方式中，对使两个保持台21A、21B交替地位于预对准位置PA而检测偏心的检查装置100适用了本发明的工件保持装置和工件位置校正方法，但也能够对具有1个或3个以上的保持台的工件保持装置和检查装置适用本发明。
此外，在上述实施方式中，对预对准位置PA与检查位置PI隔开间隔的检查装置100适用了本发明，但也能够对使预对准位置PA与检查位置PI一致的、即在检查位置进行偏心检测及偏心校正后进行检查处理的检查装置适用本发明。此外，在像这样构成的检查装置中，可以使检查相机31的一部分作为对准相机27发挥作用。
以上，根据特定的实施例对发明进行了说明，但并非意图以限定的含义来解释该说明。只要参照发明的说明，则公开的实施方式的各种变形例与本发明的其他实施方式同样地对本领域技术人员而言是显而易见的。因而，可以认为，所附权利要求书在不脱离发明的真正范围的范围内，也包括该变形例或实施方式。
工业实用性
本发明能够适用于保持具有绕对称轴旋转对称的外周部的工件并使其绕旋转轴旋转的所有工件保持装置、对保持于该工件保持装置的工件进行检查的所有检查装置以及该工件保持装置中的所有工件位置校正方法。
附图标记说明
5…控制单元(工件检查部)
21A、21B…保持台
22…卡盘机构
23…水平定位机构
24…旋转机构
27…对准相机(对准用拍摄部)
31…检查相机(检查用拍摄部)
51…运算处理部(偏心检测部、工件位置校正部)
100…检查装置
221～223…可动部件
271…线传感器
AX2…(卡盘机构的)中心轴
AX3…(电动机241的)旋转轴
AX4…对称轴
PA…预对准位置
PI…检查位置(非预对准位置)
W…工件
△…偏移量。

Claims (6)

1.一种工件保持装置，其保持具有绕对称轴旋转对称的外周部的工件并使所述工件绕旋转轴旋转，其特征在于，包括：
保持台，其具有：保持所述工件的卡盘机构、支承所述卡盘机构并使所述卡盘机构在与所述旋转轴正交的方向移动而对所述工件进行定位的定位机构、和通过使所述定位机构绕所述旋转轴旋转而使保持于所述卡盘机构的所述工件绕所述旋转轴旋转的旋转机构；
对准用拍摄部，其对保持于所述卡盘机构的所述工件的所述外周部进行拍摄；
偏心检测部，其基于由所述对准用拍摄部对在所述旋转机构的作用下旋转的所述工件进行拍摄所取得的图像，检测所述对称轴相对于所述旋转轴的偏心；和
工件位置校正部，其通过所述定位机构使所述卡盘机构移动而以使所述对称轴与所述旋转轴一致的方式进行所述工件的位置校正，以消除所述偏心。
2.如权利要求1所述的工件保持装置，其特征在于，
所述卡盘机构具有多个可动部件和使所述多个可动部件相对于中心轴接近或远离的移动部，通过所述移动部使所述多个可动部件分别同时向所述中心轴移动而保持所述工件。
3.如权利要求2所述的工件保持装置，其特征在于，
所述偏心检测部使得由所述多个可动部件保持的所述工件在所述旋转机构的作用下以定位成所述中心轴相对于所述旋转轴一致的状态旋转。
4.如权利要求1～3中任一项所述的工件保持装置，其特征在于，
还具备工作台移动机构，所述工作台移动机构使所述保持台在由所述对准用拍摄部进行所述工件的拍摄的预对准位置、和与所述预对准位置隔开间隔的非预对准位置之间移动，
在使所述保持台从所述预对准位置向所述非预对准位置移动的期间，并行地执行所述偏心的检测及所述工件的位置校正的至少一部分。
5.一种检查装置，其对具有绕对称轴旋转对称的外周部的工件进行检查，其特征在于，包括：
权利要求1～4中任一项所述的工件保持装置；
检查用拍摄部，其对在通过所述工件保持装置使所述对称轴与所述旋转轴一致的状态下绕所述旋转轴旋转的所述工件进行拍摄；和
工件检查部，其基于由所述检查用拍摄部拍摄到的图像对所述工件进行检查。
6.一种工件位置校正方法，其是工件保持装置中的工件位置校正方法，所述工件保持装置保持具有绕对称轴旋转对称的外周部的工件并使所述工件绕旋转轴旋转，其特征在于，包括：
利用所述工件保持装置的卡盘机构保持所述工件的第1工序；
基于在使保持着所述工件的所述卡盘机构绕所述旋转轴旋转的同时对所述工件的所述外周部进行拍摄所得到的图像，检测所述对称轴相对于所述旋转轴的偏心的第2工序；和
使所述卡盘机构在相对于所述旋转轴正交的方向上移动而使所述对称轴与所述旋转轴一致，以消除所述偏心的第3工序。
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