JP5307462B2 - 測定装置 - Google Patents

測定装置 Download PDF

Info

Publication number
JP5307462B2
JP5307462B2 JP2008177552A JP2008177552A JP5307462B2 JP 5307462 B2 JP5307462 B2 JP 5307462B2 JP 2008177552 A JP2008177552 A JP 2008177552A JP 2008177552 A JP2008177552 A JP 2008177552A JP 5307462 B2 JP5307462 B2 JP 5307462B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
center position
image
instrument
side surfaces
minimum value
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2008177552A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2010019559A (ja
Inventor
浩幸 長谷川
Original Assignee
株式会社 ジェイネット
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社 ジェイネット filed Critical 株式会社 ジェイネット
Priority to JP2008177552A priority Critical patent/JP5307462B2/ja
Publication of JP2010019559A publication Critical patent/JP2010019559A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5307462B2 publication Critical patent/JP5307462B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)

Description

本発明は、軸状の器具が回転する際の軸ぶれを測定する測定装置に関する。
例えば、ドリルにより金属等のワークに穴あけを行う場合、当該ドリルの回転時に軸ぶれが生じると、目標とする位置に目標とする径を有する穴を形成することができなくなる。このため、穴あけの作業においては、軸ぶれをできるだけ小さくすることが必要である。例えば、特許文献1に記載の穴あけ方法では、スピンドルにドリルを保持させた際に当該スピンドルより突出させるドリルの突出長を、当該ドリルの種類又は使用態様別に予め定めておくようにしている。
特開2006−15475号公報
しかしながら、初期段階において軸ぶれをできるだけ小さくするような工夫がなされていたとしても、穴あけ作業において、ドリルとワークが接触してドリルが磨耗すること等によって次第に軸ぶれが生じてしまうことがある。このため、穴あけ作業中において軸ぶれ量を測定し、その軸ぶれ量が許容範囲内であるか否かを検査する必要がある。
本発明の目的は、上述した問題を解決するものであり、軸状の器具の軸ぶれ量を簡易に測定可能な測定装置を提供するものである。
本発明に係る測定装置は、軸状の器具が回転する際の軸ぶれを測定する測定装置であって、回転時における前記器具を撮影して画像を生成する撮影手段と、前記撮影手段により生成された画像に基づいて、回転時における前記器具の所定位置の変位を軸ぶれ量として算出する算出手段とを有し、前記算出手段は、前記撮影手段により生成された画像における、前記器具の対向する側面間の中心位置を特定する中心位置特定手段と、異なる2つのタイミングでの撮影により生成された画像に基づいて、前記中心位置特定手段により特定された中心位置の差分を算出する中心位置差分算出手段と、前記中心位置差分算出手段により得られた複数の中心位置の差分のうち、最大値及び最小値を特定する中心位置差分最大値及び最小値特定手段と、前記中心位置差分最大値及び最小値特定手段により特定された最大値と最小値との差分を最大軸ぶれ量として算出する最大軸ぶれ量算出手段とを有する。
この構成によれば、回転時の器具を撮影して得られる画像に基づいて、当該器具の所定位置の変位を軸ぶれ量として算出することにより、当該軸ぶれ量を簡易に測定することができる。
そして、回転時の器具を撮影して得られる画像に基づいて、器具の対向する側面間の中心位置の変位から軸ぶれ量を算出することができる。
同様の観点から本発明に係る測定装置は、前記中心位置特定手段が、前記撮影手段により生成された画像における、前記器具の対向する側面のそれぞれに複数定められる測定位置間の中心位置を特定し、該中心位置の平均値を特定するようにしてもよい。
また、本発明に係る測定装置は、前記算出手段が、前記撮影手段により生成された画像における、前記器具の対向する側面間の距離を算出する側面間距離算出手段と、前記側面間距離算出手段により算出された側面間距離のうち、最大値及び最小値を特定する側面間距離最大値及び最小値特定手段と、前記側面間距離最大値及び最小値特定手段により特定された最大値と最小値との差分を、前記器具の延在方向が回転軸に対して傾斜することによって生じる軸ぶれ量として算出する傾斜軸ぶれ量算出手段とを有するようにしてもよい。
この構成によれば、回転時の器具を撮影して得られる画像に基づいて、器具の対向する側面間の距離から器具の延在方向が回転軸に対して傾斜することによって生じる軸ぶれ量を算出することができる。
同様の観点から本発明に係る測定装置は、前記側面間距離算出手段が、前記撮影手段により生成された画像における、前記器具の対向する側面のそれぞれに複数定められる測定位置間の距離を算出するようにしてもよい。
本発明によれば、器具の所定位置の変位を軸ぶれ量として算出することにより、当該軸ぶれ量を簡易に測定することができる。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して具体的に説明する。図1は、本発明の測定装置を適用した工作機械の概略構成を示す図である。
図1に示す工作機械において、加工機械100は、穴あけ加工機であり、基台110上にX軸方向、Z軸方向に移動自在であるワークテーブル120が設けられている。ワークテーブル120の上方には、回転及び上下動可能となるドリルチャック130が設けられている。ドリルチャック130にドリル140のチャッキング部142が取り付けられ、チャッキング部142に続くドリル本体141がワーキングテーブル120に対して垂直に(Y軸方向に平行に)配置される。ワーキングテーブル120上には、被加工物となるワーク200がセットされており、チャッキング130を回転させながら下降させることにより、ドリル本体141がワーク200に対して穴あけ加工が行われる。ドリル本体141の直径は、例えば、50μm程度であり、ワーク200に対して50μm程度の穴あけ加工がなされる。
基台110上の所定位置には、測定装置としての測定ユニット300が設置されている。図2は、測定ユニット300の構成を示す図である。
図2において、測定ユニット300は、高輝度LEDにて平行光線を出力する光源装置301と、撮影手段に対応するカメラユニット310を備える。このカメラユニット310は、レンズユニット302、CCDカメラ303、コネクタ304及びカメラケーブル305からなるカメラユニットとからなる。レンズユニット302は、高倍率のレンズ系で構成され、CCDカメラ303の受光面に対して、例えば、448μm×388μmの視野範囲の画像を結像させる。光源装置301は、出力される平行光線がワークテーブル120の面(X−Z平面)に平行となるように、基台110上にセットされる。CCDカメラ303は、高解像度のCCDを備え、例えば、1024×760ピクセル(画素)の解像度を有する。CCDカメラ303は、受光面に結像される、視野範囲の画像に対応した画像信号を出力する。この画像信号は、ピクセル(画素)毎の多階調(例えば、256階調)輝度信号となる。
光源装置301とレンズユニット302との間に回転するドリル本体141の先端部分が位置づけられた状態で光源装置301からの平行光線が出力されると、その平行光線をバックライトとしたドリル本体141の先端部分の影(外形形状を表す)に対応した画像部分を含む視野範囲の画像がCCDカメラ302の受光面に結像される。そして、ドリル本体141の先端部分を含む、結像画像に対応した画像信号がCCDカメラ302からコネクタ304及びカメラケーブル305を介して処理ユニット350に供給される。処理ユニット350は、その画像信号に対して所定の閾値処理等を施すことによって、画素毎に明暗2値のいずれかとなる画像データを生成し、更に、その2値の画像データを処理する。また、処理ユニット350は、その処理結果に応じて加工機械100に対して制御等のための所定の信号及びデータを送る。
処理ユニット350は、撮影手段及び算出手段に対応する。この処理ユニット350は、生成した明暗2値の画像データに対応する画像に基づいて、回転時における軸状の器具であるドリル本体141の所定位置の変位を当該ドリル本体141の回転時における軸ぶれ量として算出する。
以下、フローチャートを参照しつつ、ドリル本体141の軸ぶれ量算出の動作を説明する。まず、第1実施例について説明する。図3は、第1実施例における、ドリル本体141の軸ぶれ量算出の動作を示すフローチャートである。
処理ユニット350は、まず画像におけるドリル本体141の形状を特定するとともに、第1測定位置を設定する(S101)。具体的には、カメラユニット310が、ドリル本体141を含む所定の範囲を撮影すると、処理ユニット350は、カメラユニット310からの画像信号から2値の画像データを生成する。更に、処理ユニット350は、その生成した画像データに対応する画像(第1全体画像)から、ドリル本体141の画像を含む所定範囲の画像(基準画像)を抽出する。例えば、図4では、第1全体画像400からドリル本体141の画像420を含む所定範囲410が基準画像となる。抽出された基準画像は、処理ユニット350内の図示しないメモリに記憶される。次に、処理ユニット350は、抽出した基準画像において、ドリル本体141の画像の輪郭線を特定する。例えば、図4では、ドリル本体141の画像420の外縁421が輪郭線として特定される。この輪郭線は、ドリル本体141の側面に対応するものである。次に、処理ユニット350は、抽出した基準画像について、中心を原点とするX−Y座標平面(基準画像座標平面)を設定する。例えば、図4では、基準画像410には、当該基準画像410の中心430を原点とするX−Y座標平面が設定される。次に、処理ユニット350は、基準画像における輪郭線上のいずれかの位置を第1測定位置として設定し、その第1測定位置のY座標を特定する。例えば、図4では、基準画像410における輪郭線421上のY座標が同一の位置440−1及び440−2が第1測定位置として設定される。第1測定位置のY座標は、処理ユニット350内の図示しないメモリに記憶される。
このようにしてドリル本体141の形状が特定され、第1測定位置が設定されると、その後、カメラユニット310は、回転時のドリル本体141を含む所定の範囲を撮影する(S102)。撮影における結像画像に対応した画像信号は、処理ユニット350に供給され、処理ユニット350は、その画像信号から2値の画像データを生成する。
更に、処理ユニット350は、ドリル本体141の追尾処理を行う(S103)。具体的には、処理ユニット350は、生成した画像データに対応する画像(第2全体画像)における、ドリル本体141の画像の輪郭線を特定する。例えば、図5では、第2全体画像500において、ドリル本体141の画像520の外縁521が輪郭線として特定される。次に、処理ユニット350は、第2全体画像から設定用画像を抽出した場合に、当該設定用画像における輪郭線と、基準画像における輪郭線とが最も近似するように、その設定用画像を検索する。例えば、図5では、第2全体画像500から設定用画像510が検索される。この設定用画像510における輪郭線521と、図4の基準画像410における輪郭線421とは、形状及び配置が一致している。検索された設定用画像は、処理ユニット350内の図示しないメモリに記憶される。次に、処理ユニット350は、検索した設定用画像について、中心を原点とするX−Y座標平面(設定用画像座標平面)を設定する。例えば、図5では、設定用画像510には、当該設定用画像510の中心530を原点とするX−Y座標平面が設定される。次に、処理ユニット350は、S204にて設定した設定用画像座標平面において、メモリに記憶された第1測定位置のY座標を、設定用画像における測定位置(第2測定位置)のY座標として特定する。更に、処理ユニット350は、設定した設定用画像座標平面において、第2測定位置のY座標を表す直線を特定する。例えば、図5では、設定用画像510における輪郭線521上のY座標が同一の位置540−1及び540−2がそれぞれ3つずつ第2測定位置として設定され、当該第2測定位置のY座標が特定されるとともに、これらY座標が同一の位置540−1及び540−2を通る3本の直線541が特定される。
S102におけるドリル本体141の撮影と、S103におけるドリル本体141の追尾処理の後、処理ユニット350は、ドリル本体141の軸ぶれ量を算出する(S104)。
図6は、S104における、ドリル本体141の軸ぶれ量算出の詳細な動作を示すフローチャートである。
処理ユニット350は、S103におけるドリル本体141の追尾処理にて得られた第2測定位置間の中心位置を特定する(S201)。例えば、図5における、3つの第2測定位置540−1と3つの第2測定位置540−2とが設定されているため、3本の直線541上に存在する3つの中心位置が特定される。
次に、処理ユニット350は、特定した中心位置の平均値を算出する(S202)。例えば、図5の例では、3つの中心位置が特定されているため、これら3つの中心位置の平均値が求められる。中心位置の平均値は、算出される毎に、処理ユニット350内の図示しないメモリに記憶される。
次に、処理ユニット350は、図示しないメモリに記憶された、今回のドリル本体141の撮影により得られた画像に基づいて算出した中心位置の平均値と、前回のドリル本体141の撮影により得られた画像に基づいて算出した中心位置の平均値との差分(中心位置差分)を算出する(S203)。例えば、図7では、今回のドリル本体141の撮影により得られた画像420−1に基づいて得られる中心位置の平均値を表す直線450−1と、前回のドリル本体141の撮影により得られた画像に基づいて得られる中心位置の平均値を表す直線450−2との距離Lが中心位置差分として算出される。算出された中心位置差分は、処理ユニット350内の図示しないメモリに記憶される。
次に、処理ユニット350は、図示しないメモリに記憶された、これまでにS203にて算出した中心位置差分の最大値を特定する(S204)。更に、処理ユニット350は、図示しないメモリに記憶された、これまでに算出した中心位置差分の最小値を特定する(S205)。次に、処理ユニット350は、特定した中心位置差分の最大値と、特定した中心位置差分の最小値との差分を、最大軸ぶれ量として算出する(S206)。算出された最大軸ぶれ量は、処理ユニット350内の図示しないメモリに記憶される。
再び、図3に戻って説明する。作業者は、図示しない操作部を操作することにより、処理ユニット350に対して、軸ぶれ量の測定終了を指示することができる。処理ユニット350は、S206にてドリル本体141の最大軸ぶれ量を算出した後、測定終了が指示されたか否かを判定する(S105)。そして、測定終了が指示された場合には、一連の動作を終了する。一方、測定終了が指示されていない場合には、ドリル本体141の撮影(S102)以降の動作が繰り返される。
次に、第2実施例について説明する。図8は、第2実施例における、ドリル本体141の軸ぶれ量算出の動作を示すフローチャートである。
S301乃至304の動作は、図3のS101乃至S103の動作と同様である。すなわち、処理ユニット350は、まず画像におけるドリル本体141の形状を特定するとともに、第2測定位置を設定する(S301)。その後、カメラユニット310は、回転時のドリル本体141を含む所定の範囲を撮影する(S302)。ここで、ドリル本体141の延在方向が回転軸に対して傾斜している場合、当該ドリル本体141の画像は図9に示すようなぶれを表す画像620となる。更に、処理ユニット350は、ドリル本体141の追尾処理を行う(S303)。例えば、図9の例では、ドリル本体141の追尾処理にて、ドリル本体141の側面に対応する輪郭線上の3つの第2測定位置640−1と3つの第2測定位置640−2とが設定され、Y座標が同一の第2測定位置640−1と第2測定位置640−2とを結んだ3本の直線641が特定される。
次に、処理ユニット350は、画像におけるドリル本体141の径を算出する(S304)。具体的には、処理ユニット350は、S303におけるドリル本体141の追尾処理にて得られた第2測定位置間の距離を径として算出する。例えば、図9の例では、S303におけるドリル本体141の追尾処理にて、3つの第2測定位置640−1と3つの第2測定位置640−2とが設定されているため、これら第2測定位置間の3つの距離が径として算出される。
次に、処理ユニット350は、S304において算出した径の最大値及び最小値を特定する(S305)。例えば、図9では、径の最大値Mと最小値Nが特定される。更に、処理ユニット350は、特定した径の最大値と最小値との差分を、ドリル本体141の延在方向が回転軸に対して傾斜していることによって生じる軸ぶれ量(傾斜軸ぶれ量)として算出する(S306)。その後、処理ユニット350は、作業者によって測定終了が指示されたか否かを判定する(S307)。そして、測定終了が指示された場合には、一連の動作を終了する。一方、測定終了が指示されていない場合には、ドリル本体141の撮影(S302)以降の動作が繰り返される。
このように、本実施形態の測定装置としての測定ユニット300では、処理ユニット350は、回転時のドリル本体141を撮影して得られる画像に基づいて、当該ドリル本体141の対向する側面間の中心位置の変位(第2測定位置間の中心位置の変位)から軸ぶれ量を算出することができる。また、処理ユニット350は、回転時のドリル本体141を撮影して得られる画像に基づいて、当該ドリル本体141の対向する側面間の距離(第2測定位置間の距離)からドリル本体141の延在方向が回転軸に対して傾斜することによって生じる傾斜軸ぶれ量を算出することができる。従って、軸ぶれ量を簡易に測定することができる。
なお、上述した実施形態では、第1実施例において軸ぶれ量を算出する際に、図6に示すように、第2測定位置間の中心位置を特定し、今回と前回の中心位置の差分を算出するようにしたが、画像におけるドリル本体141の所定位置(例えば先端の位置)を特定し、今回と前回の所定位置の差分を算出し、更に、これまでに算出した差分の最大値と最小値との差を最大軸ぶれ量として算出するようにしてもよい。
以上、説明したように、本発明に係る測定装置は、回転する器具の軸ぶれ量を簡易に測定することができ、測定装置として有用である。
本発明の実施の形態に係る測定装置を適用した工作機械の概略構成を示す図である。 本発明の実施の形態に係る測定ユニットの構成を示す図である。 第1実施例におけるドリル本体の軸ぶれ量算出の動作を示すフローチャートである。 第1測定位置の設定の一例を示す図である。 第2測定位置の設定の一例を示す図である。 第1実施例に於けるドリル本体の軸ぶれ量算出の詳細な動作を示すフローチャートである。 中心位置差分の算出の一例を示す図である。 第2実施例におけるドリル本体の軸ぶれ量算出の動作を示すフローチャートである。 径算出の一例を示す図である。
符号の説明
100 加工機械
110 基台
120 ワークテーブル
130 ドリルチャック
140 ドリル
141 ドリル本体
142 チャッキング部
200 ワーク
300 測定ユニット
301 光源装置
302 レンズユニット
303 CCDカメラ
304 コネクタ
305 カメラケーブル
350 処理ユニット
352 モニタ

Claims (4)

  1. 軸状の器具が回転する際の軸ぶれを測定する測定装置であって、
    回転時における前記器具を撮影して画像を生成する撮影手段と、
    前記撮影手段により生成された画像に基づいて、回転時における前記器具の所定位置の変位を軸ぶれ量として算出する算出手段とを有し、
    前記算出手段は、
    前記撮影手段により生成された画像における、前記器具の対向する側面間の中心位置を特定する中心位置特定手段と、
    異なる2つのタイミングでの撮影により生成された画像に基づいて、前記中心位置特定手段により特定された中心位置の差分を算出する中心位置差分算出手段と、
    前記中心位置差分算出手段により得られた複数の中心位置の差分のうち、最大値及び最小値を特定する中心位置差分最大値及び最小値特定手段と、
    前記中心位置差分最大値及び最小値特定手段により特定された最大値と最小値との差分を最大軸ぶれ量として算出する最大軸ぶれ量算出手段とを有する測定装置。
  2. 前記中心位置特定手段は、前記撮影手段により生成された画像における、前記器具の対向する側面のそれぞれに複数定められる測定位置間の中心位置を特定し、該中心位置の平均値を特定する請求項に記載の測定装置。
  3. 前記算出手段は、
    前記撮影手段により生成された画像における、前記器具の対向する側面間の距離を算出する側面間距離算出手段と、
    前記側面間距離算出手段により算出された側面間距離のうち、最大値及び最小値を特定する側面間距離最大値及び最小値特定手段と、
    前記側面間距離最大値及び最小値特定手段により特定された最大値と最小値との差分を、前記器具の延在方向が回転軸に対して傾斜することによって生じる軸ぶれ量として算出する傾斜軸ぶれ量算出手段とを有する請求項1または2に記載の測定装置。
  4. 前記側面間距離算出手段は、前記撮影手段により生成された画像における、前記器具の対向する側面のそれぞれに複数定められる測定位置間の距離を算出する請求項に記載の測定装置。
JP2008177552A 2008-07-08 2008-07-08 測定装置 Active JP5307462B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008177552A JP5307462B2 (ja) 2008-07-08 2008-07-08 測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008177552A JP5307462B2 (ja) 2008-07-08 2008-07-08 測定装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2010019559A JP2010019559A (ja) 2010-01-28
JP5307462B2 true JP5307462B2 (ja) 2013-10-02

Family

ID=41704637

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008177552A Active JP5307462B2 (ja) 2008-07-08 2008-07-08 測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5307462B2 (ja)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011142021A1 (ja) * 2010-05-14 2011-11-17 エフエー・ビジョン株式会社 形状測定装置および形状測定方法
CN103180094B (zh) * 2010-10-22 2015-10-21 株式会社牧野铣床制作所 工具尺寸的测定方法及测定装置
JP5725796B2 (ja) * 2010-10-27 2015-05-27 株式会社牧野フライス製作所 工具の測定方法及び測定装置、並びに工作機械
JP5832083B2 (ja) * 2010-10-27 2015-12-16 株式会社牧野フライス製作所 工具寸法の測定方法及び測定装置
JP5677814B2 (ja) * 2010-11-18 2015-02-25 三菱マテリアル株式会社 物体測定装置、物体測定方法、及び物体測定プログラム
DE112014006253T5 (de) * 2014-01-24 2016-10-27 Mitsubishi Electric Corporation Werkzeugformmessvorrichtung und Werkzeugformmessverfahren
KR101892944B1 (ko) 2015-06-30 2018-10-04 빅 다이쇼와 가부시키가이샤 공구 형상 측정 장치
JP6598807B2 (ja) 2017-03-13 2019-10-30 株式会社Screenホールディングス 検査方法および検査装置
JP6671310B2 (ja) * 2017-03-13 2020-03-25 株式会社Screenホールディングス ワーク保持装置、検査装置およびワーク位置補正方法
EP3456469A1 (en) 2017-09-13 2019-03-20 Renishaw PLC Non-contact tool setting apparatus and method
TWI735061B (zh) * 2018-10-30 2021-08-01 日商東芝機械股份有限公司 工具形狀測定裝置及工具形狀測定方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3267340B2 (ja) * 1992-09-28 2002-03-18 牧野フライス精機株式会社 工具測定装置
JP2001153757A (ja) * 1999-11-30 2001-06-08 Hitachi Ltd 回転軸傾き測定装置
JP2002357409A (ja) * 2001-05-31 2002-12-13 Fanuc Ltd 回転コード板の偏心測定方法及び位置調整方法
JP2005088176A (ja) * 2003-09-19 2005-04-07 J-Net:Kk 極細工作具の測定装置
JP2005274510A (ja) * 2004-03-26 2005-10-06 Olympus Corp 偏心測定装置及び偏心測定方法
JP4800590B2 (ja) * 2004-05-17 2011-10-26 株式会社 ジェイネット 極細工作具の測定装置、及びその測定装置を用いた基準位置設定装置及び傾き測定装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2010019559A (ja) 2010-01-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5307462B2 (ja) 測定装置
JP5437679B2 (ja) 工具の判定装置、ワーク加工装置
JP3596753B2 (ja) 画像測定装置用パートプログラム生成装置及び方法
JP6350657B2 (ja) 形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、形状測定プログラム、及び記録媒体
US8503758B2 (en) Image measurement device, method for image measurement, and computer readable medium storing a program for image measurement
WO2019168018A1 (ja) 加工支援装置、加工支援方法
US20130162806A1 (en) Enhanced edge focus tool
JP2009115512A (ja) 物品検査方法
JP2010179373A (ja) 工作機械用の工具、工具検査方法および工具検査装置
JP5021957B2 (ja) 工作具検査装置
JP2019063954A (ja) ロボットシステム、キャリブレーション方法及びキャリブレーションプログラム
JP2006284531A (ja) 工具形状測定装置、及び工具形状測定方法
JP2017062154A (ja) 欠陥検出装置及び欠陥検出方法
JP6095486B2 (ja) 画像測定装置
JP2016040531A (ja) 加工工具の測定方法及び測定装置
JP2017173142A (ja) 画像処理装置、画像処理方法およびミクロジョイント切断システム
CN115003452A (zh) 图像处理装置、机床及图像处理方法
JP4091355B2 (ja) スパークプラグの製造方法及び製造装置
JP2005088176A (ja) 極細工作具の測定装置
JP2007237196A (ja) 穿孔装置及び穿孔方法
JP4800590B2 (ja) 極細工作具の測定装置、及びその測定装置を用いた基準位置設定装置及び傾き測定装置
JP7075806B2 (ja) ツールプリセッタにおけるツール形状の測定装置及び測定方法
JP6121123B2 (ja) 計測装置および計測方法
US10521922B2 (en) End face inspection device and focused image data acquisition method therefor
JP5280918B2 (ja) 形状測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110707

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120905

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130221

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130313

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130513

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130605

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130627

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 5307462

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250