JP4800590B2 - 極細工作具の測定装置、及びその測定装置を用いた基準位置設定装置及び傾き測定装置 - Google Patents
極細工作具の測定装置、及びその測定装置を用いた基準位置設定装置及び傾き測定装置 Download PDFInfo
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 47
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 26
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 11
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 4
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
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- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Description
日刊工業新聞社 日刊工業新聞平成15年6月26日付け記事
前記極細工作具の画像部分のエッジ部分を当該エッジ部分を横切る方向に第一の走査ライン上で走査して第一の画素濃度値の位置から該第一の画素濃度値より低い第二の画素濃度値の位置までの距離に基づいて数値化して前記極細工作具の画像部分の第一の画像ボケ量を測定情報として生成し、また、当該画像部分のエッジ部分を当該エッジ部分を横切る方向に第二の走査ライン上で走査して第一の画素濃度値の位置から該第一の画素濃度値より低い第二の画素濃度値の位置までの距離に基づいて数値化して前記極細工作具の画像部分の画像第二のボケ量を測定情報として生成する。画像ボケ量は、撮影手段にて設定されたフォーカス面からの撮影方向における極細工作具のズレ量を表しており、前記第一の画像ボケ量と前記第二の画像ボケ量との差異は、前記フォーカス面からの撮影方向における極細工作具の前記第一の位置でのズレ量と前記第二の位置でのズレ量との差異に相当する。このことから、前記第一の画像ボケ量と前記第二の画像ボケ量とに基づいて前記極細工作具の前記軸方向における傾きに係る情報が生成される。
110 基台
120 ワークテーブル
130 ドリルチャック
140 ドリル
141 ドリル本体
142 チャッキング部
200 ワーク
300 測定ユニット
301 光源装置
302 レンズユニット
303 CCDカメラ
304 コネクタ
305 カメラケーブル
350 処理ユニット
Claims (8)
- 加工機械の極細工作具のエッジ部分を含む所定視野範囲を撮影して画像信号を生成する撮影手段と、
該撮影手段にて得られた画像信号を多階調画像データに変換する画像データ生成手段と、
前記多階調画像データに基づいて、前記極細工作具の画像部分のエッジ部分を当該エッジ部分を横切る方向に所定の走査ライン上で走査して第一の画素濃度値の位置から該第一の画素濃度値より低い第二の画素濃度値の位置までの距離に基づいて数値化した情報を前記極細工作具の画像部分の画像ボケ量として生成する画像ボケ量生成手段とを有し、
前記画像ボケ量を前記撮影手段の撮影方向と平行な軸方向における前記極細工作具の位置に係る測定情報として得る測定装置。 - 前記第一の画素濃度値は、最大濃度に対応した値とした請求項1記載の測定装置。
- 前記第二の画素濃度値は、最小濃度に対応した値とした請求項1または2記載の測定装置。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載の測定装置を備え、前記撮影手段の撮影方向に平行となる軸方向における前記極細工作具の基準位置を設定する基準位置設定装置であって、
前記加工機械が前記軸方向に前記極細工作具をステップ的に移動させる過程の各ステップにおいて前記画像ボケ量生成手段にて得られる画像ボケ量の最小量を検出する最小画像ボケ量検出手段と、
前記画像ボケ量の最小量が検出された際の前記加工機械での前記極細工作具の前記軸方向における位置を指定する位置指定情報を生成する位置指定手段と、
前記位置指定情報を前記極細工作具の前記軸方向における基準位置を指定する情報として前記工作機械に通知する通知手段とを備えた基準位置設定装置。 - 前記位置指定手段は、前記加工機械が前記極細工作具をステップ的に移動させる際に前記極細工作具が停止する毎にその停止位置を表す設定位置情報を前記加工機械から取得する位置取得手段を有し、前記画像ボケ量の最小量が検出された際に前記位置取得手段にて取得された設定位置情報を前記位置指定情報とするようにした請求項4記載の基準位置設定装置。
- 前記位置指定手段は、前記極細工作具をステップ的に移動させる過程でそのステップ数をカウントするカウント手段を有し、
前記画像ボケ量の最小量が検出された際の前記カウント値を前記位置指定情報とするようにした請求項4記載の基準位置設定装置。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の測定装置を備え、前記極細工作具の前記軸方向における傾きを測定する傾き測定装置であって、
前記測定装置にて生成される前記極細工作具の画像部分のエッジ部分を当該エッジ部分を横切る方向に第一の走査ライン上で走査して第一の画素濃度値の位置から該第一の画素濃度値より低い第二の画素濃度値の位置までの距離に基づいて数値化された前記極細工作具の画像部分の第一の画像ボケ量を取得する第一の画像ボケ量取得手段と、
前記測定装置で生成される前記極細工作具の画像部分のエッジ部分を当該エッジ部分を横切る方向に第二の走査ライン上で走査して第一の画素濃度値の位置から該第一の画素濃度値より低い第二の画素濃度値の位置までの距離に基づいて数値化した前記極細工作具の画像部分の第二の画像ボケ量を取得する第二の画像ボケ量取得手段と、
前記第一の画像ボケ量と前記第二の画像ボケ量とに基づいて前記極細工作具の前記軸方向における傾きに係る情報を生成する傾き情報生成手段とを有する傾き測定装置。 - 前記傾き情報生成手段は、前記第一の画像ボケ量と前記第二の画像ボケ量とに基づいて前記極細工作具の前記軸方向における傾きが所定の傾き以下であるか否かを判定する判定手段を有し、
前記判定手段にて得られる判定結果を前記極細工作具の前記軸方向における傾きに係る情報として生成する請求項7記載の傾き測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004145910A JP4800590B2 (ja) | 2004-05-17 | 2004-05-17 | 極細工作具の測定装置、及びその測定装置を用いた基準位置設定装置及び傾き測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004145910A JP4800590B2 (ja) | 2004-05-17 | 2004-05-17 | 極細工作具の測定装置、及びその測定装置を用いた基準位置設定装置及び傾き測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005324300A JP2005324300A (ja) | 2005-11-24 |
JP4800590B2 true JP4800590B2 (ja) | 2011-10-26 |
Family
ID=35471047
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004145910A Expired - Fee Related JP4800590B2 (ja) | 2004-05-17 | 2004-05-17 | 極細工作具の測定装置、及びその測定装置を用いた基準位置設定装置及び傾き測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4800590B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014028814A1 (en) * | 2012-08-17 | 2014-02-20 | Baker Hughes Incorporated | System and method for forming a bore in a workpiece |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009150865A (ja) * | 2007-11-30 | 2009-07-09 | Waida Seisakusho:Kk | エッジ検出方法、エッジ検出装置及びこれを用いた工作機械 |
JP5307462B2 (ja) * | 2008-07-08 | 2013-10-02 | 株式会社 ジェイネット | 測定装置 |
JP5725796B2 (ja) | 2010-10-27 | 2015-05-27 | 株式会社牧野フライス製作所 | 工具の測定方法及び測定装置、並びに工作機械 |
JP2013250126A (ja) * | 2012-05-31 | 2013-12-12 | Jfe Steel Corp | 光学式ねじ要素測定装置における光軸調整方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57118106A (en) * | 1981-01-14 | 1982-07-22 | Hitachi Ltd | Measuring device for film thickness of thick film hybrid ic or the like |
US4584704A (en) * | 1984-03-01 | 1986-04-22 | Bran Ferren | Spatial imaging system |
JPH0453508U (ja) * | 1990-09-14 | 1992-05-07 | ||
JPH05138504A (ja) * | 1991-11-15 | 1993-06-01 | Hitachi Ltd | 加工方法及びその装置並びにvtrヘツド |
JPH0829163A (ja) * | 1994-07-20 | 1996-02-02 | Fujitsu Ltd | カメラ撮影測距装置 |
JPH09192986A (ja) * | 1996-01-16 | 1997-07-29 | Toshiba Mach Co Ltd | 画像処理による工具刃先位置の自動認識方法 |
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-
2004
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014028814A1 (en) * | 2012-08-17 | 2014-02-20 | Baker Hughes Incorporated | System and method for forming a bore in a workpiece |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005324300A (ja) | 2005-11-24 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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