JP2005324300A - 極細工作具の測定装置、及びその測定装置を用いた基準位置設定装置及び傾き測定装置 - Google Patents
極細工作具の測定装置、及びその測定装置を用いた基準位置設定装置及び傾き測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005324300A JP2005324300A JP2004145910A JP2004145910A JP2005324300A JP 2005324300 A JP2005324300 A JP 2005324300A JP 2004145910 A JP2004145910 A JP 2004145910A JP 2004145910 A JP2004145910 A JP 2004145910A JP 2005324300 A JP2005324300 A JP 2005324300A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tool
- image blur
- ultrafine
- blur amount
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 49
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 26
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 4
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Abstract
【解決手段】 加工機械100の極細工作具141のエッジ部分を含む所定視野範囲を撮影して画像信号を生成する撮影手段302、303と、該撮影手段にて得られた画像信号を多階調画像データに変換する画像データ生成手段350と、前記多階調画像データに基づいて前記極細工作具のエッジ部分の当該エッジ部分を横切る方向における画像ボケ量を生成する画像ボケ量生成手段350とを有し、前記画像ボケ量を前記撮影手段の撮影方向と平行な軸方向における前記極細工作具の位置に係る測定情報とするように構成される。
【選択図】 図2
Description
日刊工業新聞社 日刊工業新聞平成15年6月26日付け記事
110 基台
120 ワークテーブル
130 ドリルチャック
140 ドリル
141 ドリル本体
142 チャッキング部
200 ワーク
300 測定ユニット
301 光源装置
302 レンズユニット
303 CCDカメラ
304 コネクタ
305 カメラケーブル
350 処理ユニット
Claims (9)
- 加工機械の極細工作具のエッジ部分を含む所定視野範囲を撮影して画像信号を生成する撮影手段と、
該撮影手段にて得られた画像信号を多階調画像データに変換する画像データ生成手段と、
前記多階調画像データに基づいて前記極細工作具のエッジ部分の当該エッジ部分を横切る方向における画像ボケ量を生成する画像ボケ量生成手段とを有し、
前記画像ボケ量を前記撮影手段の撮影方向と平行な軸方向における前記極細工作具の位置に係る測定情報とする測定装置。 - 前記画像ボケ量生成手段は、前記エッジ部分を横切る前記方向に前記多階調画像データを走査して第一の画素濃度値の位置から該第一の画素濃度値より低い第二の画素濃度値の位置までの距離に基づいて前記画像ボケ量を生成する請求項1記載の測定装置。
- 前記第一の画素濃度値は、最大濃度に対応した値とした請求項2記載の測定装置。
- 前記第二の画素濃度値は、最小濃度に対応した値とした請求項2または3記載の測定装置。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載の測定装置を備え、前記撮影手段の撮影方向に平行となる軸方向における前記極細工作具の基準位置を設定する基準位置設定装置であって、
前記加工機械が前記軸方向に前記極細工作具をステップ的に移動させる過程の各ステップにおいて前記画像ボケ量生成手段にて得られる画像ボケ量の最小量を検出する最小画像ボケ量検出手段と、
前記画像ボケ量の最小量が検出された際の前記加工機械での前記極細工作具の前記軸方向における位置を指定する位置指定情報を生成する位置指定手段と、
前記位置指定情報を前記極細工作具の前記軸方向における基準位置を指定する情報として前記工作機械に通知する通知手段とを備えた基準位置設定装置。 - 前記位置指定手段は、前記加工機械が前記極細工作具をステップ的に移動させる際に前記極細工作具が停止する毎にその停止位置を表す設定位置情報を前記加工機械から取得する位置取得手段を有し、前記画像ボケ量の最小量が検出された際に前記位置取得手段にて取得された設定位置情報を前記位置指定情報とするようにした請求項5記載の基準位置設定装置。
- 前記位置指定手段は、前記極細工作具をステップ的に移動させる過程でそのステップ数をカウントするカウント手段を有し、
前記画像ボケ量の最小量が検出された際の前記カウント値を前記位置指定情報とするようにした請求項5記載の基準位置設定装置。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載の測定装置を備え、前記極細工作具の前記軸方向における傾きを測定する傾き測定装置であって、
前記測定装置にて生成される前記極細工作具のエッジ部分の当該エッジ部分を第一の位置にて横切る方向における第一の画像ボケ量を取得する第一の画像ボケ量取得手段と、
前記測定装置にて生成される前記極細工作具のエッジ部分の当該エッジ部分を第二の位置にて横切る前記方向における第二の画像ボケ量を取得する第二の画像ボケ量取得手段と、
前記第一の画像ボケ量と前記第二の画像ボケ量とに基づいて前記極細工作具の前記軸方向における傾きに係る情報を生成する傾き情報生成手段とを有する傾き測定装置。 - 前記傾き情報生成手段は、前記第一の画像ボケ量と前記第二の画像ボケ量とに基づいて前記極細工作具の前記軸方向における傾きが所定の傾き以下であるか否かを判定する判定手段を有し、
前記判定手段にて得られる判定結果を前記極細工作具の前記軸方向における傾きに係る情報として生成する請求項8記載の傾き測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004145910A JP4800590B2 (ja) | 2004-05-17 | 2004-05-17 | 極細工作具の測定装置、及びその測定装置を用いた基準位置設定装置及び傾き測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004145910A JP4800590B2 (ja) | 2004-05-17 | 2004-05-17 | 極細工作具の測定装置、及びその測定装置を用いた基準位置設定装置及び傾き測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005324300A true JP2005324300A (ja) | 2005-11-24 |
JP4800590B2 JP4800590B2 (ja) | 2011-10-26 |
Family
ID=35471047
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004145910A Expired - Fee Related JP4800590B2 (ja) | 2004-05-17 | 2004-05-17 | 極細工作具の測定装置、及びその測定装置を用いた基準位置設定装置及び傾き測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4800590B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009150865A (ja) * | 2007-11-30 | 2009-07-09 | Waida Seisakusho:Kk | エッジ検出方法、エッジ検出装置及びこれを用いた工作機械 |
JP2010019559A (ja) * | 2008-07-08 | 2010-01-28 | J-Net:Kk | 測定装置 |
WO2012057280A1 (ja) | 2010-10-27 | 2012-05-03 | 株式会社牧野フライス製作所 | 工具寸法の測定方法及び測定装置、並びに工作機械 |
JP2013250126A (ja) * | 2012-05-31 | 2013-12-12 | Jfe Steel Corp | 光学式ねじ要素測定装置における光軸調整方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9272337B2 (en) * | 2012-08-17 | 2016-03-01 | Baker Hughes Incorporated | System and method for forming a bore in a workpiece |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57118106A (en) * | 1981-01-14 | 1982-07-22 | Hitachi Ltd | Measuring device for film thickness of thick film hybrid ic or the like |
JPS61501346A (ja) * | 1984-03-01 | 1986-07-03 | フア−レン,ブラン | 空間結像システム |
JPH0453508U (ja) * | 1990-09-14 | 1992-05-07 | ||
JPH05138504A (ja) * | 1991-11-15 | 1993-06-01 | Hitachi Ltd | 加工方法及びその装置並びにvtrヘツド |
JPH0829163A (ja) * | 1994-07-20 | 1996-02-02 | Fujitsu Ltd | カメラ撮影測距装置 |
JPH09192986A (ja) * | 1996-01-16 | 1997-07-29 | Toshiba Mach Co Ltd | 画像処理による工具刃先位置の自動認識方法 |
JP2001280915A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-10 | Nikon Corp | 画像測定システム及び画像測定方法 |
JP2003159607A (ja) * | 2001-09-04 | 2003-06-03 | Japan Science & Technology Corp | 深穴加工装置および深穴加工方法、深穴評価装置および深穴評価方法ならびに位置ずれ評価方法、深穴加工装置および深穴評価装置の光軸調整装置、光軸調整方法 |
-
2004
- 2004-05-17 JP JP2004145910A patent/JP4800590B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57118106A (en) * | 1981-01-14 | 1982-07-22 | Hitachi Ltd | Measuring device for film thickness of thick film hybrid ic or the like |
JPS61501346A (ja) * | 1984-03-01 | 1986-07-03 | フア−レン,ブラン | 空間結像システム |
JPH0453508U (ja) * | 1990-09-14 | 1992-05-07 | ||
JPH05138504A (ja) * | 1991-11-15 | 1993-06-01 | Hitachi Ltd | 加工方法及びその装置並びにvtrヘツド |
JPH0829163A (ja) * | 1994-07-20 | 1996-02-02 | Fujitsu Ltd | カメラ撮影測距装置 |
JPH09192986A (ja) * | 1996-01-16 | 1997-07-29 | Toshiba Mach Co Ltd | 画像処理による工具刃先位置の自動認識方法 |
JP2001280915A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-10 | Nikon Corp | 画像測定システム及び画像測定方法 |
JP2003159607A (ja) * | 2001-09-04 | 2003-06-03 | Japan Science & Technology Corp | 深穴加工装置および深穴加工方法、深穴評価装置および深穴評価方法ならびに位置ずれ評価方法、深穴加工装置および深穴評価装置の光軸調整装置、光軸調整方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009150865A (ja) * | 2007-11-30 | 2009-07-09 | Waida Seisakusho:Kk | エッジ検出方法、エッジ検出装置及びこれを用いた工作機械 |
JP2010019559A (ja) * | 2008-07-08 | 2010-01-28 | J-Net:Kk | 測定装置 |
WO2012057280A1 (ja) | 2010-10-27 | 2012-05-03 | 株式会社牧野フライス製作所 | 工具寸法の測定方法及び測定装置、並びに工作機械 |
US9329029B2 (en) | 2010-10-27 | 2016-05-03 | Makino Milling Machine Co., Ltd. | Method of measurement and apparatus |
JP2013250126A (ja) * | 2012-05-31 | 2013-12-12 | Jfe Steel Corp | 光学式ねじ要素測定装置における光軸調整方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4800590B2 (ja) | 2011-10-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8581162B2 (en) | Weighting surface fit points based on focus peak uncertainty | |
JP5296413B2 (ja) | 複合荷電粒子ビーム装置を用いた断面画像取得方法および複合荷電粒子ビーム装置 | |
JP5307462B2 (ja) | 測定装置 | |
JP5896844B2 (ja) | ワーク径計測機能付き工作機械 | |
JP5484787B2 (ja) | 断面形状検出方法、加工装置および断面形状検出用プログラム | |
CN107993958B (zh) | 半导体缺陷检测/光刻中的正交性补偿方法及补偿系统 | |
JP2008268199A (ja) | 半導体デバイスの欠陥検査方法及び欠陥検査装置 | |
JP2009139139A (ja) | 画像測定装置の校正方法 | |
JP6095486B2 (ja) | 画像測定装置 | |
JP2008045983A (ja) | ステレオカメラの調整装置 | |
JP4800590B2 (ja) | 極細工作具の測定装置、及びその測定装置を用いた基準位置設定装置及び傾き測定装置 | |
KR100694320B1 (ko) | 길이 측정장치 및 방법 | |
JP6552074B2 (ja) | 画像測定器 | |
JP2008102123A (ja) | 形状測定方法及び形状測定装置 | |
KR101116456B1 (ko) | Ct 장치 | |
JP2010141189A (ja) | 半導体ウェハ検査装置 | |
JP2018046110A (ja) | 調整方法及び装置 | |
JP2005088176A (ja) | 極細工作具の測定装置 | |
TWI626421B (zh) | 直線度測定裝置及方法 | |
JP2017161421A (ja) | ねじ形状自動計測システム | |
JP2018027589A (ja) | 溝入れ工具の刃幅計測方法 | |
JP5610579B2 (ja) | 3次元寸法測定装置 | |
JP2008154195A (ja) | レンズのキャリブレーション用パターン作成方法、レンズのキャリブレーション用パターン、キャリブレーション用パターンを利用したレンズのキャリブレーション方法、レンズのキャリブレーション装置、撮像装置のキャリブレーション方法、および撮像装置のキャリブレーション装置 | |
JP2009192296A (ja) | 形状測定装置 | |
JP2004184411A (ja) | 位置認識方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070510 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100401 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100602 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100802 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101124 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110706 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110804 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140812 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4800590 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |