JP5896844B2 - ワーク径計測機能付き工作機械 - Google Patents
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Description
また、強化プラスチック複合管等の回転体の外径計測装置として、レーザドップラ測長計等の非接触型の周長計測手段を用い、被計測材と周長計測手段とを相対回転させながら、周長および回転角を計測し、被計測材の平均外径を求める装置が提案されている(特許文献4)。
また、従来のタッチセンサによる計測では、Z軸(主軸軸心方向)方向に長いワークのチャックに近い位置を計測するにも、大きな突き出しの治具が必要となり、その場合には逆にチャックから遠い位置を計測することが困難になる。さらに、心押し台を利用する場合は、ワークの軸心を横切ることができず、旋盤の加工のために備えられた動作可能範囲を利用して計測することができない。
しかも、タッチセンサは、静止したワークに対して、ゆっくりと接触させる必要があるため、計測には比較的時間を要する。
この発明の他の目的は、焦点合わせの誤差によって結像倍率に変化が生じず、高精度に表面移動量を計測できるようにすることである。
この発明のさらに他の目的は、工作機械の特徴を利用して少ない計算量で精度良くワークの径を計測可能とすることである。
この発明のさらに他の目的は、鮮明な画像を得て、ワークの径をより精度良く計測できるようにすることである。
この発明のさらに他の目的は、撮影手段の光軸が被撮影面に対して傾きを生じる取付誤差に対して、その傾き誤差の検出を可能にし、また傾き誤差を補正してワークの径をより一層精度良く計測できるようにすることである。
この発明のさらに他の目的は、ワークの径の計測を利用して、熱変位補正を精度良く行えるようにすることである。
この発明のさらに他の目的は、熱変位を除いた加工力による変位と摩耗による刃先後退量の和が求められるようにすることである。
この発明のさらに他の目的は、ワークまたは主軸の中心の位置と傾き成分、およびワークのたわみ成分を検出して、加工時の工具移動の補正が行えるようにすることである。
この発明のさらに他の目的は、刃物台の動きを利用して撮影手段の動作を可能とすることである。
この発明のさらに他の目的は、加工を行いながら計測可能とすることである。
前記ワーク径機上計測装置(3)は、前記主軸(1)に支持されたワーク(3)の周面の主軸回転による表面移動量(L)を計測する表面移動量センサ(4)と、前記ワーク(W)の回転角(θ)を検出する回転位置センサ(5)と、前記表面移動量センサ(4)で計測された表面移動量(L)を、この表面移動量(L)の範囲を移動する間に前記回転位置センサ(5)で計測された回転角(θ)で除することによってワーク(W)の径を計算するワーク径計算手段(6)とを備える。
前記表面移動量センサ(4)は、前記ワーク(W)の表面を撮影する撮影手段(7)と、撮影された画像を処理して表面移動量を計算する表面移動量計算手段(8)とでなる。前記撮影手段(7)は、テレセントリック光学系を有することが好ましい。
なお、前記ワークの周面は、外周面であっても内周面であっても良い。また、計測するワークの径は、直径であっても、半径であっても良い。
このワーク径機上計測装置(3)は、表面移動量センサ(4)を用いるため、ワーク(W)の直径上の片側に表面移動量センサ(4)を位置させて計測でき、ワーク軸心を挟む両側に移動させて計測する必要がない。このため、治具類の交換等を必要とすることなく、加工した形状のどの位置の径も計測可能であり、ワーク(W)の大きさや心押し台の有無に計測の可否が左右されることもない。回転位置センサ(5)は、主軸(1)の回転を検出するセンサであるため、配置上の問題が生じず、また工作機械として主軸(1)の回転制御に用いられているエンコーダ等を利用することも可能である。これらのため、ワーク径機上計測装置(3)の工作機械への設置上の自由度が高く、工作機械の形式を選ばずに設置することができる。
撮影手段(7)は、画素数が多い高精度のものが、量産により安価に販売されており、そのような一般的なものが使用でき、回転位置センサ(5)も一般的なものが使用できるため、高価な特殊品が不要で、このワーク径機上計測装置(3)を安価に製造できる。
なお、従来の2枚の画像間での表面移動量を求める一般的な画像処理は、平面上での移動量の計算であるのに対して、この発明では周面、すなわち円筒面上の移動量を求める処理となるが、撮影間隔に応じた微小距離だけ離れた画像間の計算であるため、円筒面上の移動量であっても、平面上の移動量と同様に計算することができる。この多角形の辺の和と円の周長との差は一般に非常に小さいが、この幾何学的な補正(変換)は少ない計算量で可能であり、補正してより正確に径の計測を行うこともできる。
テレセントリック光学系を有する場合は、焦点ずれでの倍率変化は殆どないため、フォーカス検知は必ずしも必要ではない。しかし、テレセントリック光学系を用いても焦点が合わない場合は画像がぼやけるため、2枚の画像の一致度を求めて画像間表面移動量を求めるにつき、高精度に求められないことがある。フォーカス検知を行って鮮明な画像を撮影することで、より一層高精度に画像間表面移動量(ΔL)を求め、ワーク(W)の径の計算に用いる表面移動量(L)を求めることができる。
フォーカス検知は、次に説明する傾き補正に、より効果的に利用できる。また、フォーカス検知によって、撮影手段(7)とワーク(W)の表面間の画像が最も鮮明になるギャップが分かれば、そのギャップとワークの径の計測値とを用いて、工作機械の運転における種々の補正を精度良く行うことができる。
前記撮影手段(7)は、その支持体への取付誤差等により、光軸(Q)がワークの直径を成す線からずれる心高誤差(Δh)、または光軸(Q)がワーク表面の被撮影面に垂直な線に対して傾く誤差により、計測誤差を生じることがある。これにつき、上記のようにフォーカス検知を、ワーク周方向に並ぶ複数の分割画像(Fg,Ff)に分割してそれぞれ行えば、これら複数の分割画像(Fg,Ff)につき計測されたギャップの差から、心高誤差または傾き誤差が生じていることが分かる。この誤差ができるだけ零になるように、撮影手段(7)の取付位置や取付角度を調整すれば、前記心高誤差,傾き誤差を無くし、または小さくすることができる。また、調整することなく、あるいは調整しても残る誤差につき、次のように補正を行うこともできる。
前記複数の分割画像(Fg,Ff)の前記ギャップの差が分かれば、このギャップの差と、複数の分割画像の中心間距離とから、撮影手段(7)の光軸(Q)が被計測面に垂直でないことに起因する計測誤差に対して、表面移動量(L)を正しく補正することができる。
すなわち、主軸(1)に対して熱変位を生じた刃物台(15)に撮影手段(7)が載っているため、フォーカスが合うと検知したX軸位置(x1 )の値は、熱変位(ΔT)を含まない値として検知される。前記撮影手段(7)による撮影時には工具(16)の刃先がワーク(W)に接していないため、工具−ワーク間変位や摩耗による誤差は発生しない。
このように、計算したワーク(W)の径(R)と想定したワークの径(R0 )との誤差(R −R0)には熱変位(ΔT)と刃先後退量の和(ΔF)とが含まれるが、フォーカスが合うと検知したX軸位置(x1 )と想定したX軸位置(x0)との誤差(x1 −x0)の値は熱変位は含まない値であるため、両者の差(x1 −x0)−(R −R0)を取ることで、前記切り込み方向の相対熱変位(ΔT)が求められる。前記相対熱変位監視手段(54)は、この計算を行う。(なお、参照符号は、簡明のために半径値で示した場合につき付したが、直径値で計算しても良い。)
これにより、旋盤等の工作機械にとって最も重要な切込み方向の相対熱変位(ΔT)を監視することも可能となる。この監視により、旋削加工において最も重要なワーク(W)の径について、長時間の電源オフ時からの運転開始等にも、暖気運転等の無駄を省き、常に計測精度に近い加工精度まで補正することが可能となる。
熱変位補正は、フォーカス検知で得られる値を用いずに、ワーク(W)の径(D,R)の計測値のみからでも行うこともできるが、前記撮影手段(7)が刃物台(15)に取付けられている場合、前記フォーカス検知で得られる値を用いることで、ワーク(W)の径(D,R)を求めるために計測したときの撮影手段(7)の位置となる刃物台(15)の位置が精度良く分かる。そのため、前記ギャップを用いることで、より一層精度良く補正することができる。
上述のように、撮影手段(7)による撮影時には工具(16)の刃先がワーク(W)に接していないため、工具(16)の変形や摩耗による誤差は発生しない。撮影手段(7)が刃物台(15)に取付けられていると、フォーカス検知手段(10)がフォーカスが合うと検知したX軸位置(x1 )とフォーカスが合うと想定したX軸位置(x0)との誤差は、熱変位は含まず、前記刃先後退量の和(ΔF)となる。力学的相対変位監視手段(56)は、このような計算により、熱変位を除いた加工力による相対変位と、摩耗による刃先後退量の和(ΔF)を求める。
なお、加工する前に、チャック部分や加工する前のワークを測定すると、その直径にはあまり意味がない(加工前のワーク径を知ることもできる)が、その際に求められる熱変位分を補正すると一つ目のワークから加工精度が高まる。
また、同じワークを量産し続ける場合、2つ目のワークからは、ワーク径のみを用いて補正すれば、すべてが補正されて加工精度が高まる。しかし、この加工誤差=補正すべき量は、熱変位だけによって生じるのではなく、ワーク・工具・工作機械構造の変形、工具の刃先位置の設定誤差や摩耗による後退、サーボの位置決め誤差などが積み重なって生じる。従って、異なる加工条件で加工力が変わったり、ワーク形状が変わったり、使用する工具が変わったり、加工位置が変わったりすると、熱変位以外は大きく変わる可能性がある。しかし、熱変位は短時間ではあまり変化しないため、前回と異なる加工をする際には、前回の加工のワーク径の誤差を用いるのではなく、熱変位分のみを補正する方が適切となる。以上のように、最初の一つ目の加工の際、あるいは加工条件などが変わる際などに熱変位補正が有効になる。
工作機械の持つ組立誤差や熱変形等で加工手段(2)における主軸軸心方向(Z軸方向)の案内が微妙に斜めになっている場合があるが、多点計測によりワーク(W)または主軸の中心の位置と傾き成分、およびワークのたわみ成分を検出することで、前記組立誤差や熱変形等に対して、Z軸送りの動作に切込み方向の動作を加えるなどして補正を行い、高精度に加工することができる。
このように刃物台(15)に撮影手段(7)を取付けることで、刃物台(15)を移動させる機構を利用して、前記撮影手段(7)をワークに対して計測のために近づけたり退避させたりする相対移動を行わせることができる。特に、工具ステーション(15a)の一つに取付けた場合は、工具(16)で加工する場合と類似の動作や制御によって計測が行える。また、熱変位補正を行う際に、工具ステーションの熱変位も含めて補正することができる。このように刃物台に撮影手段(7)を取付ける場合に、従来のタッチセンサによる直径方向両端の2点計測では、ワーク(W)の軸心(O)を横切ることができず、適用できる工作機械の仕様が制限されるが、この発明は表面移動量(L)の検出によるため、ワーク(W)の加工箇所と反対側を計測する必要がなくて、適用できる工作機械の仕様の制限が無くなる。
このように、加工する工具と同じ工具ステーションに撮影手段(7)が取付けられていると、加工しながら、その加工のための工具の移動を利用して撮影手段(7)による撮影が行え、加工中にワークの径の計測が行える。そのため、専用の計測サイクルが不要となり、稼働率が向上する。また、リアルタイムで補正が可能となるため、次のワークの加工に補正を加えるのではなく、加工中のワークの径を補正することが可能となる(短い時間遅れは伴う)。
この発明において、ワークの径の予測値、回転速度、撮影間隔から求まる画像間表面移動量の推定移動量を用い、対比する2枚の画像のうち、推定移動量に対応する位置の近傍でのみ対比するようにした場合は、工作機械の特徴を利用して少ない計算量で精度良くワークの径を計測することができる。
この発明において、フォーカス検知を行うようにした場合は、鮮明な画像を得て、ワークの径をより精度良く計測できる。
この発明において、画像をワークの周方向に並ぶ複数の領域に分割してフォーカス検知をそれぞれ行うようにした場合は、撮影手段の光軸が被撮影面に対して傾きを生じる取付誤差に対して、その傾き誤差の検出が行える。
その誤差の誤差補正部を設けた場合は、傾き誤差を補正してワークの径をより一層精度良く加工することができる。
計測したワークの径とフォーカス検知のギャップとを監視する相対変位監視手段、およびその熱変位補正手段を設けた場合は、ワーク径の計測を利用して、熱変位補正を精度良く行うことができる。
前記ワーク径機上計測装置による計測とフォーカス検知を、前記ワークの軸方向の複数箇所で行わせ、これら複数箇所のワークの径とギャップの計測値から、ワークまたは主軸の中心の位置と傾き成分、およびワークのたわみ成分を検出する多点計測手段を設けた場合は、ワークまたは主軸の中心の位置と傾き成分、およびワークのたわみ成分を検出して、加工時の工具移動の補正を行うことができる。
前記撮影手段を刃物台の工具ステーションの一つに取付けた場合は、刃物台の動きを利用して撮影手段の動作が可能となる。
刃物台の同じ工具ステーションに工具と前記撮影手段を取付けた場合は、加工を行いながら計測することができる。
機械側処理手段53には、後に説明するフォーカス調整手段58、相対変位監視手段54、熱変位補正手段55、力学的相対変位監視手段56、および多点計測手段57が設けられている。
RSAD 、RSSD 、RCCは、それぞれ次式の値である。
同図(C)に示すように、ピークが顕著に表れており、画像が一致する移動量が明確に分かる。
すなわち、入力されたワークの径の予測値と、前記ワークの回転速度と、前記撮影手段7による撮影間隔とから求まる画像間表面移動量の推定移動量を用い、対比する前記2枚の画像のうち、前記推定移動量に対応する位置の近傍でのみ対比して、定められた一致度の評価値を計算することで前記画像間表面移動量ΔLを計測する。
なお、誤差補正部12は、表面移動量Lの補正の機能に加え、この実施形態では、フォーカス調整手段58による撮影手段7の位置の調整や後述の熱変位補正などに用いるギャップの値を補正する機能を有するものとしている。
後述の熱変位補正などの補正に用いるX方向相対熱変位は、主軸の軸心と刃物台との間の相対的なX方向の変位であり、次式による計算で求められる。
X方向相対熱変位ΔT=フォーカス時のX軸値の誤差(x1 −x0)−ワーク半径測定値の誤差(R −R0)
ここで、X方向相対熱変位は主軸とタレットが離れる向きを正としている。このX方向相対熱変位の分、X軸指令値を補正する(減らす)ことで、初めて加工するワークや、ワークの形状が変更される場合、休憩などの機械停止の後に、より高精度で加工が可能になる。
熱変位補正手段55は、相対熱変位監視手段54でこの監視した相対熱変位を用いて前記加工手段2の工具移動量の熱変位補正を行う。具体的には、熱変位補正手段55は、制御プログラム52を実行して刃物台15を切込み方向(X軸方向)へ移動させるX軸制御部51aにおいて、熱変位補正を行う。
同図からわかるように、計算したワークの径Rには、熱変位ΔTと、刃先後退量の和ΔF(加工力による工具−ワーク間の相対変位および摩耗による刃先後退量)が含まれる。計測時にフォーカス検知手段10がフォーカスが合うと検知したX軸位置x1 は、計測時のワークWの表面から、フォーカスが合うギャップH0だけ離れた位置である。この検知したX軸位置x1 の値には、前記撮影手段7が刃物台15に取付けられているため、熱変位ΔTが含まれない。
一方、撮影手段7による撮影時には工具16の刃先がワークWに接していないため、加工力による工具16の変位(ワークに対する相対的なもの)や工具の摩耗による誤差は発生しない。そのため、フォーカスが合うと検知したX軸位置x1 とフォーカスが合うと想定したX軸位置x0 との誤差(x0 −x1)は、前記刃先後退量の和となり、熱変位は含まない。
上記の想定したワークWの径R0 は、目標寸法であって既知である。フォーカスが合うと想定したX軸位置x0 は、ワークWの径の目標寸法R0 と、フォーカスが合うギャップH0 を加算した値であり、このギャップH0 は、撮影手段7が持つ焦点距離によって定まる値であり、一定であって、既知である。例えば、ギャップH0 は、工作機械の実使用よりも前に試験等によって検出した値を記憶して用いる。
熱変位補正は、フォーカス検知で得られる値を用いずに、ワークWの径D,Rの計測値のみからでも行うこともできる(この場合には熱変位のみならず、加工力による変形や工具刃先位置後退量(設定誤差を含む)も同時に補正される)が、前記撮影手段7が刃物台15に取付けられている場合、前記フォーカス検知で得られる値を用いることで、ワークWの径D,Rを求めるために計測したときの撮影手段7の位置となる刃物台15の位置が精度良く分かる。そのため、前記フォーカス検知で得られる値を用いることで、異なるワークを加工する際、加工条件や工具が変わる際にも精度よく補正することができる。
工作機械の持つ組立誤差や熱変形等で加工手段2における主軸軸心方向(Z軸方向)の案内が微妙に斜めになっている場合があるが、多点計測によりワークWまたは主軸の中心の位置と傾き成分、およびワークのたわみ成分(いずれも刃物台に対する相対的な成分)を検出することで、前記組立誤差や熱変形等に対して、Z軸送りの動作に切込み方向(x軸)の動作を加えるなどして補正を行い、高精度に加工することができる。
上記のワーク軸心と撮影手段7間の相対変位の計測をZ軸方向の複数点で行うことで、Y軸回りの回転であるB軸相対変位を監視することも可能である。この計測値を利用し、元来、その工作機械が持つ組立誤差、例えばZ軸案内のXZ平面内での傾きや、熱変形に起因してワークWの外周面の円筒形状が若干の円錐形状の成分を持つ誤差を補正することができる。この誤差補正は、例えば、刃物台15のZ軸方向の送り時に、各点の間での前記相対変位の差に応じて、切込み方向(X軸方向)の移動を与えることで行う。
ワーク径機上計測装置3は、表面移動量センサ4と回転位置センサ5とで構成し、表面移動量センサ4は撮影手段7とその画像処理を行う表面移動量計算手段8とで構成したため、ワーク径機上計測装置3の設置上の自由度が高く、工作機械の形式を選ばずに設置でき、かつ機上で精度良く、短時間でワークWの径が計測でき、また一般的な機器で構成できて低コストで製作できる。
撮影手段7にはテレセントリック光学系を用いたため、焦点合わせの誤差によって結像倍率に変化が生じず、高精度に表面移動量を計測できる。
表面移動距離計算手段8は、ワークの径の予測値、回転速度、撮影間隔から求まる画像間表面移動量の推定移動量を用い、対比する2枚の画像のうち、推定移動量に対応する位置の近傍でのみ対比するため、工作機械の特徴を利用して少ない計算量で精度良くワーク30の径を計測することができる。
フォーカス検知手段10を設けたため、鮮明な画像を得て、ワークWの径をより精度良く計測できる。
周方向傾き誤差検出11および誤差補正部12を設け、画像をワークWの周方向に並ぶ2つの領域に分割してフォーカス検知をそれぞれ行うようにしたため、撮影手段7の光軸Qが被撮影面に対して傾きを生じる取付誤差に対して、その傾き誤差の検出が行える。この傾き誤差を補正して表面移動距離を計算するため、ワークWの径をより一層精度良く加工することができる。
計測したワークWの径とフォーカス検知のギャップとを監視する相対熱変位監視手段54、およびその監視結果を用いて補正する熱変位補正手段55を設けたため、ワークWの径の計測結果を利用して、熱変位補正を精度良く行うことができる。
力学的相対変位監視手段56を設けたため、熱変位を除いた加工力による変位と摩耗による刃先後退量の和が求められる。
計測をワークWの軸方向の複数箇所で行わせる多点計測手段57を設けたため、ワークWの円錐形状の誤差(加工形状が円柱とは限らないが、この誤差成分は必ず円錐形状)成分が生じないように、加工時の工具移動の補正を行うことができる。
前記撮影手段7は刃物台15の工具ステーション15aの一つに取付けたため、刃物台15の動きを利用して撮影手段の動作が可能となる。
この構成の場合、加工中にワーク径の計測を行うことができ、計測サイクルを別に設けることが不要で、リアルタイムのワーク径補正による加工精度向上、工作機械の稼働時間の向上、サイクルタイムの向上が図れる。
2…加工手段
3…ワーク径機上計測装置
4…表面移動量センサ
5…回転位置センサ
6…ワーク径計算手段
7…撮影手段
8…表面移動量計算手段
9…センサ側処理手段
10…フォーカス検知手段
10a…フォーカス検知部
11…周方向傾き誤差検出部
12…誤差補正部
13…長さ方向傾き誤差検出部
15…刃物台
15a…工具ステーション
16…工具
16a…バイト
30…工作機械本体
31…ベッド
50…工作機械制御装置
53…機械側処理手段
54…相対熱変位監視手段
55…熱変位補正手段
56…工具摩耗検出手段
57…力学的相対変位監視手段
58…フォーカス調整手段
60…照明具
D…直径
Fg,Ff…分割画像
f,f′…対象画像
G1,G2…画像
Ga〜Gc…特徴部分
GA,GB…画像
g…参照画像
L…表面移動量
ΔL…画像間表面移動量
O…ワーク軸心
Q…光軸
R…半径
Wp…撮影ポイント
θ…回転角
W…ワーク
Claims (11)
- ワークを支持して回転させる主軸と、この主軸で支持されたワークの周面を加工する加工手段と、前記主軸に支持された前記ワークの径を計測するワーク径機上計測装置とを備え、
前記ワーク径機上計測装置は、
前記主軸に支持されたワークの周面の主軸回転による表面移動量を計測する表面移動量センサと、
前記ワークの回転角を検出する回転位置センサと、
前記表面移動量センサで計測された表面移動量を、この表面移動量の範囲を移動する間に前記回転位置センサで計測された回転角で除することによってワークの径を計算するワーク径計算手段とを備え、
前記表面移動量センサは、前記ワークの表面を撮影する撮影手段と、撮影された画像を処理して表面移動量を計算する表面移動量計算手段とでなる、
ことを特徴とするワーク径計測機能付き工作機械。 - 前記撮影手段は、テレセントリック光学系を有する請求項1記載のワーク径計測機能付き工作機械。
- 前記表面移動量センサの前記表面移動量計算手段は、前記撮影手段で一定撮影間隔毎に撮影された連続するそれぞれ2枚の画像を対比して、この2枚の画像間で移動したワークの周面の移動量である画像間表面移動量を求める画像処理、およびこの各画像間表面移動量を加算することにより、ワークの径の計算に用いる表面移動量を求める加算処理を行い、前記画像処理では、与えられたワークの径の予測値と、前記ワークの回転速度と、前記撮影手段による撮影間隔とから求まる画像間表面移動量の推定移動量を用い、対比する前記2枚の画像のうち、前記推定移動量に対応する位置の近傍でのみ対比して、定められた一致度の評価値を計算することで前記画像間表面移動量を計測する請求項1または請求項2記載のワーク径計測機能付き工作機械。
- 前記撮影手段の画像が最も鮮明になる、前記撮影手段と前記ワークの表面間のギャップを求める処理であるフォーカス検知を行うフォーカス検知手段、および前記画像が最も鮮明になる前記ギャップの位置へ前記撮影手段を移動させるフォーカス調整手段を設けた請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のワーク径計測機能付き工作機械。
- 前記フォーカス検知手段は、フォーカス検知の対象とする画像につき、ワークの周方向に並ぶ複数の領域に分割して各分割画像について前記フォーカス検知をそれぞれ行い、これら複数の分割画像につき計測された前記ギャップの差を検出する周方向傾き誤差検出部を有する請求項4記載のワーク径計測機能付き工作機械。
- 前記フォーカス検知手段は、前記表面移動量計算手段の計算した表面移動量につき、前記周方向傾き誤差検出部が検出した前記ギャップの差によって、前記撮影手段の光軸が、ワーク軸心に垂直な面内で前記ワークの被撮影面に垂直でないことに起因する計測誤差を補正する誤差補正部を有する請求項5記載のワーク径計測機能付き工作機械。
- 前記撮影手段が前記加工手段を構成する刃物台に取付けられ、前記ワーク径計算手段の計算したワークの径と、前記フォーカス検知手段がフォーカスが合うと検知したX軸位置とを監視し、この監視したワークの径とX軸位置、および想定したワークの径とフォーカスが合うと想定したX軸位置とから、前記ワークの軸心と前記撮影手段の切り込み方向の相対熱変位を監視する相対熱変位監視手段と、この監視した相対熱変位を用いて前記加工手段の工具移動量の熱変位補正を行う熱変位補正手段を設けた請求項4ないし請求項6のいずれか1項に記載のワーク径計測機能付き工作機械。
- 前記撮影手段が前記加工手段を構成する刃物台に取付けられ、前記フォーカス検知手段がフォーカスが合うと検知したX軸位置を監視し、この監視したX軸位置、およびフォーカスが合うと想定したX軸位置を用い、熱変位と除いた加工力による変位と、摩耗による刃先後退量の和を求める力学的相対変位監視手段を設けた、請求項4ないし請求項7のいずれか1項に記載のワーク径計測機能付き工作機械。
- 前記ワーク径機上計測装置による計測とフォーカス検知を、前記ワークの軸方向の複数箇所で行わせ、これら複数箇所のワークの径とフォーカスが合うと検知したX軸位置から、刃物台に対するワークまたは主軸の中心の位置と傾き成分、およびワークのたわみ成分を検出する多点計測手段を設けた請求項4ないし請求項7のいずれか1項に記載のワーク径計測機能付き工作機械。
- 前記撮影手段は、前記加工手段を構成する刃物台が有する複数の工具ステーションの一つに取付けた請求項1ないし請求項7のいずれか1項に記載のワーク径計測機能付き工作機械。
- 前記撮影手段は、前記加工手段を構成する刃物台における工具が取付けられた工具ステーションに、加工時にワークの加工している周面を撮影可能に取付けた請求項1ないし請求項7のいずれか1項に記載のワーク径計測機能付き工作機械。
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