JP5484787B2 - 断面形状検出方法、加工装置および断面形状検出用プログラム - Google Patents
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Description
10 溝
20 加工装置
21 保持機構
22 加工機構
100 撮像カメラ
110 撮像カメラ焦点駆動機構
201 撮像データ取得手段
202 演算手段
203 メモリ
Claims (3)
- X座標に直交する方向の座標をY座標とした場合にXY座標面に配列された複数の画素により撮像データを取得する撮像カメラでの撮像により、XY座標面に直交するZ座標方向に深さを有する加工機構によって形成された溝の断面形状を検出する断面形状検出方法であって、
前記撮像カメラの焦点位置をZ座標方向に順次変化させながら前記Z座標方向に深さを有する溝中でX座標方向には一様な断面形状をなす部分がX座標に平行となるように撮像して各焦点位置のZ座標で特定される階層毎の撮像データを取得してメモリに記憶させる撮像データ取得工程と、
前記階層毎に取得され前記メモリに記憶された前記撮像データ中でX座標方向には一様な断面形状をなす部分の該撮像データを構成する複数の画素の中でY座標により特定されるX座標方向に並んだ画素をライン集合画素とし、該ライン集合画素から得られる空間強度分布に基づいて前記Z座標方向に深さを有する溝の断面形状を求める演算工程と、
を含み、
前記演算工程は、
前記ライン集合画素毎の前記空間強度分布をフーリエ変換して前記ライン集合画素の前記空間強度分布に含まれる空間周波数成分を、前記階層毎に求める第1の演算工程と、
同じY座標で特定された前記ライン集合画素の中で最も長波長成分が少ない空間周波数成分を有する前記ライン集合画素のZ座標を焦点位置として、Y座標毎に検出する第2の演算工程と、
Y座標毎に焦点位置として検出された前記ライン集合画素のZ座標を繋ぎ合わせて前記溝の断面形状を求める第3の演算工程と、
を含むことを特徴とする断面形状検出方法。 - X座標に直交する方向の座標をY座標とした場合にXY座標面に表面が位置するようにワークを保持する保持機構と、該保持機構に保持された前記ワークにXY座標面に直交するZ座標方向に深さを有する溝を形成する加工機構と、XY座標面に配列された複数の画素により前記ワーク表面の撮像データを取得することにより該ワークの位置及び/又は向きを検出する撮像カメラと、該撮像カメラの焦点位置を前記ワークに対してZ座標方向に進退自在に移動させる撮像カメラ焦点駆動機構と、を含む加工装置であって、
前記撮像カメラ焦点駆動機構により前記撮像カメラの焦点位置をZ座標方向に順次変化させながら前記Z座標方向に深さを有する溝中でX座標方向には一様な断面形状をなす部分がX座標に平行となるように撮像して各焦点位置のZ座標で特定される階層毎の撮像データを取得してメモリに記憶させる撮像データ取得手段と、
前記階層毎に取得され前記メモリに記憶された前記撮像データ中でX座標方向には一様な断面形状をなす部分の該撮像データを構成する複数の画素の中でY座標により特定されるX座標方向に並んだ画素をライン集合画素とし、該ライン集合画素から得られる空間強度分布に基づいて前記Z座標方向に深さを有する溝の断面形状を求める演算手段と、
を備え、
前記演算手段は、
前記ライン集合画素毎の前記空間強度分布をフーリエ変換して前記ライン集合画素の前記空間強度分布に含まれる空間周波数成分を、前記階層毎に求める第1の演算工程と、
同じY座標で特定された前記ライン集合画素の中で最も長波長成分が少ない空間周波数成分を有する前記ライン集合画素のZ座標を焦点位置として、Y座標毎に検出する第2の演算工程と、
Y座標毎に焦点位置として検出された前記ライン集合画素のZ座標を繋ぎ合わせて前記溝の断面形状を求める第3の演算工程と、
を実行することを特徴とする加工装置。 - X座標に直交する方向の座標をY座標とした場合にXY座標面に表面が位置するようにワークを保持する保持機構と、該保持機構に保持された前記ワークにXY座標面に直交するZ座標方向に深さを有する溝を形成する加工機構と、XY座標面に配列された複数の画素により前記ワーク表面の撮像データを取得することにより該ワークの位置及び/又は向きを検出する撮像カメラと、該撮像カメラの焦点位置を前記ワークに対してZ座標方向に進退自在に移動させる撮像カメラ焦点駆動機構と、を含む加工装置が備えるコンピュータに、
前記撮像カメラ焦点駆動機構により前記撮像カメラの焦点位置をZ座標方向に順次変化させながら前記Z座標方向に深さを有する溝中でX座標方向には一様な断面形状をなす部分がX座標に平行となるように撮像して各焦点位置のZ座標で特定される階層毎の撮像データを取得してメモリに記憶させる撮像データ取得工程と、
前記階層毎に取得され前記メモリに記憶された前記撮像データ中でX座標方向には一様な断面形状をなす部分の該撮像データを構成する複数の画素の中でY座標により特定されるX座標方向に並んだ画素をライン集合画素とし、該ライン集合画素から得られる空間強度分布に基づいて前記Z座標方向に深さを有する溝の断面形状を求める演算工程と、
を実行させ、
前記演算工程では、
前記ライン集合画素毎の前記空間強度分布をフーリエ変換して前記ライン集合画素の前記空間強度分布に含まれる空間周波数成分を、前記階層毎に求める第1の演算工程と、
同じY座標で特定された前記ライン集合画素の中で最も長波長成分が少ない空間周波数成分を有する前記ライン集合画素のZ座標を焦点位置として、Y座標毎に検出する第2の演算工程と、
Y座標毎に焦点位置として検出された前記ライン集合画素のZ座標を繋ぎ合わせて前記溝の断面形状を求める第3の演算工程と、
を実行させることを特徴とする断面形状検出用プログラム。
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