JP6598807B2 - 検査方法および検査装置 - Google Patents
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Description
21A,21B…保持テーブル
27…アライメントカメラ(アライメント用撮像部)
31…検査カメラ(検査用撮像部)
100…検査装置
AX3…(モータ241の)回転軸
AX4…対称軸
PA…プリアライメント位置
PI…検査位置
W…ワーク
Claims (6)
- 対称軸まわりに回転対称な外周部を有する複数のワークを1個ずつ連続して検査する検査方法であって、
各ワークの検査は、
ワークをプリアライメント位置において保持テーブルで保持して回転軸まわりに回転させながら前記ワークを撮像する第1工程と、
前記第1工程後に前記ワークを保持した前記保持テーブルを前記プリアライメント位置と異なる検査位置に移動させる第2工程と、
前記第1工程で撮像された前記ワークの画像に基づいて前記回転軸に対する前記ワークの対称軸の芯ズレを検出する第3工程と、
前記第3工程で検出された前記芯ズレを解消するように前記保持テーブルでの前記ワークの位置補正を行う第4工程と、
前記位置補正を受けたワークを前記検査位置において前記回転軸まわりに回転させながら前記位置補正を受けたワークを撮像する第5工程と、
前記第5工程で撮像された画像に基づいて前記ワークの検査を行う第6工程と、
を実行して行い、
連続する2個のワークのうち先のワークに対する前記第5工程と、後のワークに対する前記第1工程とを並行して実行することを特徴とする検査方法。 - 請求項1に記載の検査方法であって、
前記第4工程を前記第2工程と並行して実行する検査方法。 - 請求項2に記載の検査方法であって、
前記第3工程を前記第2工程と並行して実行する検査方法。 - 請求項1ないし3のいずれか一項に記載の検査方法であって、
各ワークの検査は、前記第5工程後に前記ワークを保持した前記保持テーブルを前記検査位置から移動させる第7工程をさらに備え、
前記先のワークに対する前記第7工程と、前記後のワークに対する前記第2工程とを同時に実行する検査方法。 - 請求項4に記載の検査方法であって、
前記第6工程を前記第7工程と並行して実行する検査方法。 - 対称軸まわりに回転対称な外周部を有するワークを保持して回転軸まわりに回転させる保持テーブルと、
プリアライメント位置で前記保持テーブルに保持されたワークを撮像するアライメント用撮像部と、
前記プリアライメント位置と異なる検査位置で前記保持テーブルに保持されたワークを撮像する検査用撮像部と、
前記回転軸に対する前記対称軸の芯ズレが生じているワークを前記回転軸まわりに回転させながら前記アライメント用撮像部で撮像することで取得される画像に基づいて前記芯ズレが生じているワークの位置補正を行うワーク位置補正部と、
前記位置補正を受けたワークを前記回転軸まわりに回転させながら前記検査用撮像部で撮像することで取得される画像に基づいて前記位置補正を受けたワークの検査を行うワーク検査部と、を備え、
前記保持テーブルが複数台設けられ、
前記複数の保持テーブルのうちの1台が前記プリアライメント位置に位置決めされるとともに残りの保持テーブルのうちの1台が前記検査位置に位置決めされることで、前記アライメント用撮像部による前記芯ズレが生じているワークの撮像と前記検査用撮像部による前記位置補正を受けたワークの撮像とが並行して行われることを特徴とする検査装置。
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