JP5021957B2 - 工作具検査装置 - Google Patents
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Description
日刊工業新聞社 日刊工業新聞平成15年6月26日付け記事
110 基台
120 ワークテーブル
130 ドリルチャック
140 ドリル
141 ドリル本体
142 チャッキング部
143 エンドミル本体
200 ワーク
300 測定ユニット
301 光源装置
302 レンズユニット
303 CCDカメラ(撮影手段)
304 コネクタ
305 カメラケーブル
350 処理ユニット(画像処理手段)
Claims (4)
- 加工機械にセットされ、被加工物の加工を行なう工作具の先端部分を含む所定視野範囲を撮影して画像信号を出力する撮影手段と、
該撮影手段から出力される画像信号に基づいて2値画像データを生成して処理する画像処理手段とを有し、
前記画像処理手段は、
前記2値画像データから画像エッジ点を検出するエッジ点検出手段と、
前記検出された複数の画像エッジ点から、前記工作具の輪郭に対応した画像エッジ点以外の画像エッジ点として見込まれるものを除去する手段と、
その除去後に残った画像エッジ点に基づいて前記工作具の輪郭を表す仮想輪郭線を決定する仮想輪郭線決定手段と、
前記2値画像データのうちの前記仮想輪郭線によって前記工作具内の領域と見込まれる領域内の部分に基づいて前記工作具の外形の特徴を表す外形情報を生成する外形情報生成手段とを有することを特徴とする工作具検査装置。 - 前記工作具はドリルであり、
前記輪郭線決定手段は、回転する前記ドリルの先端部の傾斜する輪郭を表す直線を仮想輪郭線として決定することを特徴とする請求項1記載の工作具検査装置。 - 前記工作具はボールエンドミルであり、
前記輪郭線決定手段は、回転する前記ボールエンドミルの先端部の輪郭を表す円線を仮想輪郭線として決定することを特徴とする請求項1記載の工作具検査装置。 - 前記工作具はフラットエンドミルであり、
前記輪郭線決定手段は、回転する前記フラットエンドミルの先端部の輪郭を表す直線を仮想輪郭線として決定することを特徴する請求項1記載の工作具検査装置。
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Families Citing this family (6)
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---|---|---|---|---|
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JP3748940B2 (ja) * | 1995-03-20 | 2006-02-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 位置決め装置,処理システムおよび位置決め方法 |
JP3792812B2 (ja) * | 1996-11-11 | 2006-07-05 | オークマ株式会社 | ボールエンドミルの真球度測定方法 |
JP2002018680A (ja) * | 2000-07-10 | 2002-01-22 | Mitsubishi Electric Corp | 工作機械 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102056425B (zh) * | 2010-12-23 | 2013-07-03 | 北大方正集团有限公司 | 多层印制线路板制作方法 |
US11701746B2 (en) | 2019-02-27 | 2023-07-18 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | End mill inspection device |
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