CN106457511B - 研磨台更换装置及半导体元件制造装置的构成零件更换装置 - Google Patents
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Abstract
本发明揭示一种用于更换使用于研磨晶片等基板的研磨装置的研磨台的装置。研磨台更换装置(10)是用于从研磨装置(1)取出研磨台(3)的装置。该研磨台更换装置(10)具备：使研磨台(3)在铅直方向上及水平方向上移动的起重机(12)；放置研磨台(3)的台座(14)；及使台座(14)相对于水平方向倾斜的台座倾斜移动机构(15)。
Description
技术领域
本发明关于一种用于更换使用于研磨晶片等基板的研磨装置的研磨台的装置及方法。特别是关于从随晶片尺寸增加而研磨台大型化与提高每占地面积的生产性的观点出发，限制维修空间且实现简易维修的装置及方法。
此外，本发明关于一种用于更换研磨晶片等基板的研磨装置所代表的半导体元件制造装置的构成零件的装置。
背景技术
半导体元件通过各种装置来制造。例如，作为1个半导体元件制造装置的CMP(化学机械研磨)装置是化学机械性研磨晶片的研磨装置。CMP装置中最大的一个零件是研磨台。该研磨台是水平装设于台轴并在表面贴合研磨垫的平台状的旋转体。该研磨台零件大且重，无法以人力更换。因而，准备专用的升降机，在CMP装置中实施抬起研磨台使其水平移动，从CMP装置拉出，而后搭载于接收台上的一连串作业。
因为在过去的方法中，水平拉出研磨台而搭载于接收台上，因此需要超过研磨台直径的维修空间。例如，晶片尺寸为300mm的CMP装置，更换研磨台所须的维修空间为900mm。但是，因为晶片尺寸为450mm的CMP装置，其研磨台直径超过1000mm，所以用过去900mm的维修空间更换研磨台有困难。
此外，在使升降机稳定状态下，为了更换半导体元件制造装置的构成零件(例如研磨台)，需要在半导体元件制造装置的上部框架固定升降机。因而，在升降机上也在与半导体元件制造装置的上部框架相同高度设有固定框架。半导体元件制造装置的上部框架与升降机的固定框架通过连结托架连结。在固定框架的正下方配置有起重机，通过该起重机将半导体元件制造装置的构成零件吊起，而从半导体元件制造装置拉出构成零件。
更换构成零件时，为了使升降机稳定，升降机的固定框架如上述连结于半导体元件制造装置的上部框架。因此，固定框架在高的位置，起重机的重心位置升高。因而，为了防止搬入升降机时翻倒，升降机具有宽幅度的形状。但是，升降机采用宽幅度的形状时，当制造工厂中的通路宽有限制情况下，无法顺利搬入升降机。
此外，为了在半导体元件制造装置的上部框架安装连结托架，需要将连结托架本身抬起至上部框架。但是，连结托架的重量重达约20kg，用人力将连结托架抬起至上部框架很危险。因而，需要另行备有用于抬起连结托架的装置。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2001-341068号公报
发明内容
发明要解决的问题
本发明的目的为提供一种可在小维修空间更换大研磨台的研磨台更换装置及研磨台更换方法。
此外，本发明的目的为提供一种构成零件更换装置，其重心低，且可不需要用于抬起用于与半导体元件制造装置连结的连结托架的专用装置。
解决问题的手段
本发明一种方式的研磨台更换装置，用于从研磨装置取出研磨台，其特征在于，具备：起重机，该起重机使前述研磨台在铅直方向上及水平方向上移动；台座，该台座放置前述研磨台；台座倾斜移动机构，该台座倾斜移动机构使前述台座倾斜；及框体，在该框体的内部配置有前述台座和前述台座倾斜移动机构，前述台座具有爪，该爪用于在前述台座倾斜时支撑前述台座上的倾斜的前述研磨台，在前述研磨台与前述台座一起倾斜时，前述研磨台收纳于前述框体的内部。
优选的方式的特征在于：进一步具备移动机构，该移动机构使前述研磨台更换装置整体能够移动。
优选的方式的特征在于：进一步具备连结部，该连结部连结于前述研磨装置。
优选的方式的特征在于：前述起重机具备：升降臂，该升降臂在水平方向伸缩自如；台支撑工具，该台支撑工具安装于前述升降臂的顶端，且支撑前述研磨台；及上下移动装置，该上下移动装置使前述升降臂上下移动。
本发明其他方式的研磨台更换方法的特征在于：使研磨台上升，使上升的前述研磨台在水平方向上移动，而从研磨装置取出前述研磨台，将前述研磨台放置于台座，使前述台座与前述研磨台一起倾斜，利用前述台座的爪支撑前述台座上的倾斜的前述研磨台。
本发明另一其他方式的构成零件更换装置，使用于更换半导体元件制造装置的构成零件，其特征在于，具备：纵框架，该纵框架在铅直方向上延伸；活动框架，该活动框架能够沿着前述纵框架上下移动；连结部件，该连结部件固定于前述活动框架，且用于连结前述半导体元件制造装置与前述活动框架；起重机，该起重机位于前述活动框架的下方，能够沿着前述纵框架上下移动；及升降装置，该升降装置使前述起重机及前述活动框架沿着前述纵框架升降。
优选的方式的特征在于：前述活动框架与前述起重机能够彼此独立地上下移动，前述升降装置连结于前述起重机，在前述活动框架与前述起重机之间设置有限制前述活动框架向下方移动的框架止动器。
优选的方式的特征在于：进一步具备：进一步具备：基部框架，该基部框架固定于前述纵框架的下部；及起重机止动器，该起重机止动器数设置于前述基部框架与前述起重机之间，且限制前述起重机向下方移动。
优选的方式的特征在于：前述起重机具备：回旋轴，该回旋轴在铅直方向上延伸；轨道，该轨道能够以前述回旋轴为中心而水平回旋；及移动式滑车，该移动式滑车能够在前述轨道上在该轨道的长度方向上移动。
优选的方式的特征在于：前述连结部件通过螺丝而可拆卸地固定于前述活动框架。
发明效果
通过使研磨台与台座一起倾斜，可缩小大型零件的研磨台的垂直投影面积。因此，可在更小的维修空间实施大研磨台的更换。结果，也可增加可设置于每占地面积的研磨装置的台数。本发明的装置及方法除了提高晶片尺寸增加时的生产性之外，在同时实现通过增加研磨装置台数而提高生产性上是必要且不可或缺的。
通过使活动框架及起重机下降，可降低构成零件更换装置整体的重心。因此，移动构成零件更换装置时翻倒的可能性降低，可缩小地设计构成零件更换装置本身的宽度。因而具有可降低部件成本、降低输送费用及缩小保管空间等效果。再者，即使工厂中的通路宽度有限制时，仍可使构成零件更换装置通过通路而顺利移动。
附图说明
图1是模式表示研磨装置的立体图。
图2是表示用于更换研磨台的夹具的研磨台更换装置的侧视图。
图3是表示升降臂及臂锁定机构的仰视图。
图4是表示连结作为台支撑工具的链条的研磨台的俯视图。
图5是表示台座的立体图。
图6是更换研磨台时的研磨台更换装置的动作说明图。
图7是更换研磨台时的研磨台更换装置的动作说明图。
图8是更换研磨台时的研磨台更换装置的动作说明图。
图9是更换研磨台时的研磨台更换装置的动作说明图。
图10是更换研磨台时的研磨台更换装置的动作说明图。
图11是更换研磨台时的研磨台更换装置的动作说明图。
图12是更换研磨台时的研磨台更换装置的动作说明图。
图13是更换研磨台时的研磨台更换装置的动作说明图。
图14是表示用于更换研磨台的夹具的研磨台更换装置(构成零件更换装置)的侧视图。
图15是研磨台更换装置的立体图。
图16是表示起重机及活动框架上升状态的侧视图。
图17是表示起重机及活动框架上升状态的立体图。
图18是表示起重机及活动框架上升后，活动框架连结于研磨装置的上架状态的侧视图。
图19是表示从起重机吊下研磨台的情形的立体图。
图20是表示通过起重机从研磨装置取出研磨台的情形的立体图。
符号说明
1 研磨装置(CMP装置)
2 研磨垫
3 研磨台
4 研磨头
5 研磨液供给喷嘴
6 台马达
7 头轴杆
10 研磨台更换装置
12 起重机
14 台座
15 动力千斤顶(台座倾斜移动机构)
16 铅直框架
17 水平框架
18 框体
21 升降臂
22 手柄
23 臂锁定机构
24 链条(台支撑工具)
26 臂固持器
27 托架
30 绞盘(上下移动装置)
33 直线轨道
41 第一吊架
42 第二吊架
44、45、46 连结环(吊环螺栓)
48 安装部
51 支撑臂
51a 台装载面
51b 爪
52 连结臂
54 臂轴
57 支撑架
61 卡定部件
64 臂止动器(上侧臂止动器)
65 臂止动器(下侧臂止动器)
67 基部框架
69 辊
71、72 连结部
75 皮带
85 纵框架
87 活动框架
88、89 手柄
90 连结托架(连结部件)
92 螺丝
95 导轨
96 直线轨道
99 基部框架
100 起重机
101 回旋轴
102 轨道
104 滑车(移动式滑车)
105 轴保持部
106 部件块
107 连结框架
112 框架止动器
114 起重机止动器
120 绞盘
121 链条
128 皮带
129 吊架
具体实施方式
以下，参照附图说明本发明的实施方式。图1是模式表示研磨装置的立体图。半导体元件制造装置的一例的研磨装置(也称为CMP装置)1具备：用于支撑研磨垫2的研磨台3；在研磨台3上的研磨垫2上按压晶片W而研磨晶片W的研磨头4；及在研磨垫2上供给研磨液(通常是浆液)的研磨液供给喷嘴5。
研磨台3经由台轴3a连结于配置在其下方的台马达6，研磨台3通过该台马达6可在箭头表示的方向旋转。在该研磨台3上表面贴合有研磨垫2，研磨垫2的上表面构成研磨晶片W的研磨面2a。研磨头4连结于头轴杆7的下端。研磨头4构成可通过真空吸引而在其下表面保持晶片W。头轴杆7通过上下移动机构(未图示)可上下移动。
晶片W的研磨按如下方式进行。分别使研磨头4及研磨台3在箭头表示的方向旋转，从研磨液供给喷嘴5对研磨垫2上供给研磨液(浆液)。在该状态下，研磨头4将晶片W按压于研磨垫2的研磨面2a。晶片W表面通过研磨液中包含的研磨粒的机械性作用与研磨液的化学性作用而研磨。
图2是表示用于更换研磨台3的夹具的研磨台更换装置10的侧视图。该研磨台更换装置10具备：支撑研磨台3，并使研磨台3在铅直方向及水平方向移动的起重机12；放置研磨台3的台座14；及作为是前述台座14倾斜的台座倾斜移动机构的动力千斤顶15。
起重机12具备：在水平方向伸缩自如的升降臂21；使升降臂21在水平方向伸缩时用于用手握住的手柄22；用于固定升降臂21的顶端位置的臂锁定机构23；安装于升降臂21顶端，用于支撑研磨台3的多个链条(台支撑工具)24；保持升降臂21的臂固持器26；及作为使臂固持器26及升降臂21一体上下移动的上下移动装置的绞盘30。本实施方式的升降臂21系伸缩套筒型臂。
臂固持器26通过安装于沿铅直方向延伸的多个铅直框架16的多个直线轨道33，可在铅直方向移动地被支撑。绞盘30安装于固定在铅直框架16上的水平框架17。铅直框架16及水平框架17构成研磨台更换装置10的框体18。起重机12、台座14及动力千斤顶15安装于框体18。
绞盘30与臂固持器26通过钢索(未图示)连系。绞盘30卷起钢索时，臂固持器26及保持于此的升降臂21一体上升。绞盘30送出钢索时，臂固持器26及升降臂21通过其本身重量而下降。通过直线轨道33而在铅直方向上引导臂固持器26及升降臂21的上下移动。
图3是表示升降臂21及臂锁定机构23的仰视图。如图3所示，臂锁定机构23由缩放机构构成。臂锁定机构23沿着升降臂21配置，臂锁定机构23通过托架27支撑。臂锁定机构23的一端连结于升降臂21的顶端，臂锁定机构23的另一端连结于臂固持器26。手柄22固定于升降臂21的顶端。
用手握住手柄22，手动使升降臂21伸缩时，臂锁定机构23也同样地伸缩。臂锁定机构23具备固定其长度的锁定杆23a，通过手动操作锁定杆23a，而固定臂锁定机构23的整体长度。因此，固定连结于臂锁定机构23的升降臂21的水平方向长度，并固定升降臂21的顶端位置。也可设置使升降臂21水平方向伸缩的致动器(例如马达及滚珠螺杆的组合)来取代手柄22及臂锁定机构23。
图4是表示连结有作为台支撑工具的链条24的研磨台3的俯视图。本实施方式中使用3条链条24，研磨台3通过这3条链条24从升降臂21吊下。在研磨台3的周缘部安装第一吊架41及第二吊架42。第一吊架41及第二吊架42关于研磨台3的中心对称配置。第一吊架41具备有1个连结环(吊环螺栓)44，第二吊架42具备2个连结环(吊环螺栓)45、46。3条链条24中的1条安装于第一吊架41的连结环44，其他2条安装于第二吊架42的连结环45、46。3条链条24的另一方的端部连结于在升降臂21顶端固定的安装部48。
图5是表示台座14的立体图。如图5所示，台座14具备：彼此平行的2个支撑臂51；连结这2个支撑臂51间的连结臂52；及固定于2个支撑臂51的臂轴54。这些支撑臂51具有水平的台装载面51a。进一步，这些支撑臂51在其顶端分别具有铅直延伸的2个爪51b。在铅直延伸的2个支撑架57上分别固定有未图示的轴承，水平延伸的臂轴54通过这些轴承可旋转地被支撑。因此，台座14构成为可将臂轴54的轴心作为中心而旋转。支撑架57与铅直框架16及水平框架17等一起构成框体18。
在臂轴54的端部固定有卡定部件61，卡定部件61可与臂轴54一体地旋转。在卡定部件61的上方配置有固定于支撑架57的臂止动器(上侧臂止动器)64。台座14旋转至其台装载面51a水平时，卡定部件61与臂止动器64接触，使台座14不致过度旋转。因此，容许台座14相对于水平方向仅向下方倾斜。
如图2所示，在台座14的下方配置有臂止动器(下侧臂止动器)65。台座14相对于水平方向向下方倾斜时，台座14的下表面接触于臂止动器65，使台座14不致过度倾斜于下方。因此，台座14的倾斜范围是通过上侧臂止动器64与下侧臂止动器65来限制的。在台座14的连结臂52(参照图5)连结有动力千斤顶(台座倾斜移动机构)15。动力千斤顶15上设有操纵柄15a，转动该操纵柄15a时，台座14以臂轴54为中心向下方旋转，由此，台座14向下方倾斜。
在构成研磨台更换装置10的框体18的一部分的基部框架67固定有作为移动机构的多个辊69。研磨台更换装置10本身通过这些辊69而与研磨台3一起移动，可将研磨台3搬运至希望的位置。
其次，说明使用研磨台更换装置10的研磨台3的更换方法。首先，如图6所示，使研磨台更换装置10移动而接触于研磨装置1的支架1a、1b。研磨台更换装置10具有可装卸地连结于研磨装置1的支架1a、1b的多个连结部71、72。本实施方式中将2个连结部71、72设于框体18的上部及下部。这些连结部71、72通过螺栓(未图示)而分别连结于研磨装置1的支架1a、1b，由此将研磨台更换装置10整体固定于研磨装置1。
其次，如图7所示，以链条24连结研磨台3与升降臂21。如上述，研磨台3上安装第一吊架41及第二吊架42，链条24经由这些吊架41、42而连结于研磨台3。在该状态下，如图8所示，通过绞盘30使升降臂21上升，而抬起研磨台3。其次，如图9所示，握住安装于升降臂21顶端的手柄22，通过向身前拉而使升降臂21收缩，而使研磨台3朝向台座14在水平方向上移动。如图10所示，研磨台3向水平方向的移动是进行直到从研磨装置1取出研磨台3整体，且研磨台3的周缘部接触于台座14的爪51b。
如图11所示，从研磨台3及升降臂21拆下链条24，由此将研磨台3搭载于台座14的台装载面51a(参照图5)上。为了将研磨台3固定于台座14，而以皮带75将研磨台3捆在台座14上。而后，如图12所示，转动动力千斤顶15的操纵柄15a，将台座14与研磨台3一起倾斜直到台座14的下表面抵接于下侧臂止动器65。倾斜的研磨台3通过爪51b支撑，研磨台3不会从台座14滑落。
如图13所示，除去螺栓(无图标)，从研磨装置1的支架1a、1b释放连结部71、72，由此，将搭载了研磨台3的研磨台更换装置10从研磨装置1分离。具备作为移动机构的辊69的研磨台更换装置10可移动至希望的位置。从图13可知，倾斜的研磨台3收纳于研磨台更换装置10的框体18中。因此，使用研磨台更换装置10时，可在狭窄的维修空间内更换研磨台3，且可在狭窄的维修空间内搬运研磨台3。将新的研磨台3搬入研磨装置1时，只须以相反流程实施图6至图13所示的一连串工序即可。
图14是表示用于更换研磨台3的夹具的研磨台更换装置(构成零件更换装置)10的其他实施方式的侧视图，图15是研磨台更换装置10的立体图。该研磨台更换装置10具备：沿铅直方向延伸的纵框架85；可沿着纵框架85而上下移动的活动框架87；用于连结研磨装置1与活动框架87的连结托架90(连结部件)；可沿着纵框架85而上下移动的起重机100；及固定于纵框架85下部的基部框架99。
纵框架85及活动框架87上分别固定有手柄88、89。起重机100位于活动框架87的下方。连结托架90是L字型剖面的金属制托架，且通过螺丝92固定于活动框架87。若拆卸这些螺丝92，则可从活动框架87拆卸连结托架90。
在纵框架85上固定有沿铅直方向延伸的导轨95。活动框架87及起重机100分别固定于上下移动自如地安装于导轨95的2个直线轨道96，活动框架87及起重机100可与这些直线轨道96一起沿着纵框架85在铅直方向上移动。活动框架87与起重机100彼此可独立地上下移动。
起重机100具备：沿铅直方向延伸的回旋轴101；及可将该回旋轴101作为中心水平回旋的轨道102。进一步，起重机100具备：在轨道102上可在该轨道102的长度方向上移动的滑车(移动式滑车)104；保持回旋轴101的轴保持部105；固定有轴保持部105的部件块(Block)106；及固定于部件块106的连结框架107。上述的直线轨道96固定于部件块106。从滑车104吊下作为研磨装置1的构成零件的研磨台3。轨道102及活动框架87从纵框架85水平延伸。
在部件块106的上表面安装有框架止动器112。该框架止动器112具有限制活动框架87向下方移动的功能。活动框架87的本身重量通过框架止动器112而由起重机100支撑。框架止动器112也可安装于活动框架87。在基部框架99的上表面安装有起重机止动器114。该起重机止动器114具有限制起重机100向下方移动的功能。起重机止动器114也可安装于起重机100。
研磨台更换装置10进一步具备绞盘120及链条121。绞盘120连结于从纵框架85上端延伸的水平部85a，链条121连结于起重机100的连结框架107。绞盘120卷起链条121时，起重机100及活动框架87一体上升。图16及图17是表示起重机100及活动框架87上升状态的图。活动框架87经由框架止动器112而支撑于起重机100。因此，当绞盘120卷起链条121时，起重机100上升，在起重机100向上方移动的同时活动框架87也上升。因此，起重机100及活动框架87一体上升。
如图16及图17所示，连结托架(连结部件)90预先固定于活动框架87。连结托架90通过绞盘120及链条121而与活动框架87及起重机100一起上升。因此，不需要用于使连结托架90上升的专用装置。
绞盘120送出链条121时，起重机100及活动框架87通过其本身重量而下降。起重机100及活动框架87可下降至起重机100接触于起重机止动器114。即，起重机100接触于起重机止动器114的位置是起重机100及活动框架87的最下位置。图14及图15表示起重机100及活动框架87的最下位置。图16及图17表示起重机100及活动框架87的上升位置。起重机100及活动框架87的上下移动是通过导轨95及直线轨道96而在铅直方向上进行引导的。本实施方式中使起重机100及活动框架87沿着纵框架85而升降的升降装置是由绞盘120及链条121构成的。
在基部框架99上固定有作为移动机构的多个脚轮125。通过这些脚轮125可使研磨台更换装置10本身移动至希望的位置。通过使活动框架87及起重机100下降，可降低研磨台更换装置10整体的重心。因此，移动研磨台更换装置10时翻倒的可能性降低，可缩小设计研磨台更换装置10本身的宽度。因而，具有可减少部件成本、减少输送费用、及缩小保管空间等效果。再者，即使工厂中的通路宽度有限制时，仍可使研磨台更换装置10通过通路而顺利移动。
其次，说明使用研磨台更换装置10的研磨台3的更换方法。首先，在起重机100及活动框架87位于图14及图15所示的下降位置的状态下，使研磨台更换装置10移动至研磨装置1旁。其次，如图18所示，通过绞盘120卷起链条121，使起重机100及活动框架87上升直到连结托架90位于与研磨装置1的上支架1a相同高度。而后，通过螺栓130将连结托架90固定于研磨装置1的上支架1a。同样地通过螺栓(未图示)将基部框架99固定于研磨装置1的下支架1b。
其次，如图19所示，绞盘120送出链条121，使起重机100下降少许。此时，由于活动框架87经由连结托架90而固定于研磨装置1的上支架1a，因此活动框架87不会下降。其次，以皮带128将研磨台3连结于起重机100的滑车104。也可使用链条或绳索来取代皮带128。在研磨台3安装吊架129，皮带128经由这些吊架129而连结于研磨台3。在该状态下，如图20所示，通过绞盘120卷起链条121使起重机100上升，而抬起研磨台3。进一步，使起重机100的轨道102以回旋轴101为中心回旋，并从研磨装置1取出研磨台3。使起重机100进一步下降，而在连结于研磨台更换装置10的台载体(未图示)上放置研磨台3。而后，从滑车104及吊架129拆卸皮带128，由此，研磨台3的取出作业完成。
研磨台3的取出作业完成后，以绞盘120卷起链条121，使起重机100上升直到框架止动器112接触于活动框架87。在该状态下取下螺栓130，从上支架1a分离连结托架90。同样地取下未图示的螺栓，从下支架1b分离基部框架99。从绞盘120送出链条121，使活动框架87及起重机100一体下降直到起重机100接触于起重机止动器114。如此，通过使活动框架87及起重机100下降，可降低研磨台更换装置10整体的重心。
上述实施方式的研磨台更换装置10用于更换半导体元件制造装置的构成零件的研磨台的装置，不过，本发明不限定于上述实施方式。例如，本发明也可适用于图1所示的用于更换研磨头4的构成零件更换装置，进一步，也可适用于用于更换研磨装置以外的半导体元件制造装置的更换零件的构成零件更换装置。
上述实施方式是基于具有本发明所属的技术领域的一般知识的人可实施本发明为目的而记载的。本领域技术人员当然可完成上述实施方式的各种变形例，本发明的技术性思想也可适用于其他实施方式。因此，本发明不限定于记载的实施方式，而按照通过权利要求范围所定义的技术性思想作最广范围的解释。
产业上的可利用性
本发明可利用于用于更换研磨晶片等基板的研磨装置所代表的半导体元件制造装置的构成零件的装置。
Claims (9)
1.一种研磨台更换装置，用于从研磨装置取出研磨台，其特征在于，具备：
起重机，该起重机使前述研磨台在铅直方向上及水平方向上移动；
台座，该台座放置前述研磨台；
台座倾斜移动机构，该台座倾斜移动机构使前述台座倾斜；及
框体，在该框体的内部配置有前述台座和前述台座倾斜移动机构，
前述台座具有爪，该爪用于在前述台座倾斜时支撑前述台座上的倾斜的前述研磨台，
在前述研磨台与前述台座一起倾斜时，前述研磨台收纳于前述框体的内部。
2.根据权利要求1所述的研磨台更换装置，其特征在于，
进一步具备移动机构，该移动机构使前述研磨台更换装置整体能够移动。
3.根据权利要求1所述的研磨台更换装置，其特征在于，
进一步具备连结部，该连结部连结于前述研磨装置。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的研磨台更换装置，其特征在于，
前述起重机具备：
升降臂，该升降臂在水平方向上伸缩自如；
台支撑工具，该台支撑工具安装于前述升降臂的顶端，且支撑前述研磨台；及
上下移动装置，该上下移动装置使前述升降臂上下移动。
5.一种构成零件更换装置，使用于更换半导体元件制造装置的构成零件，其特征在于，具备：
纵框架，该纵框架在铅直方向上延伸；
活动框架，该活动框架能够沿着前述纵框架上下移动；
连结部件，该连结部件固定于前述活动框架，且用于连结前述半导体元件制造装置与前述活动框架；
起重机，该起重机位于前述活动框架的下方，能够沿着前述纵框架上下移动；及
升降装置，该升降装置使前述起重机及前述活动框架沿着前述纵框架升降。
6.根据权利要求5所述的构成零件更换装置，其特征在于，
前述活动框架与前述起重机能够彼此独立地上下移动，
前述升降装置连结于前述起重机，
在前述活动框架与前述起重机之间设置有限制前述活动框架向下方移动的框架止动器。
7.根据权利要求6所述的构成零件更换装置，其特征在于，
进一步具备：基部框架，该基部框架固定于前述纵框架的下部；及
起重机止动器，该起重机止动器设置于前述基部框架与前述起重机之间，且限制前述起重机向下方移动。
8.根据权利要求5所述的构成零件更换装置，其特征在于，
前述起重机具备：
回旋轴，该回旋轴在铅直方向上延伸；
轨道，该轨道能够以前述回旋轴为中心而水平回旋；及
移动式滑车，该移动式滑车能够在前述轨道上在该轨道的长度方向上移动。
9.根据权利要求5所述的构成零件更换装置，其特征在于，
前述连结部件通过螺丝而可拆卸地固定于前述活动框架。
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