CN106061193B - 石墨薄片层叠体及其制造方法、石墨薄片层叠体每个薄片密封粘合薄片的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种高墨薄片层叠体的制造方法，其特征在于，能够高效率的制造可靠性高的石墨薄片层叠体。本发明提供了一种石墨薄片层叠体的制造方法，其特征在于，准备工序是准备多个石墨薄片和多个第1双面粘合薄片、第1层叠工序是在石墨薄片上层叠第1双面粘合薄片、第1加热工序是对层叠在石墨薄片上的第1双面粘合薄片加热、剥离工序是将第1剥离薄片从加热的第1双面粘合薄片剥离、第2层叠工序是在剥离了第1剥离薄片的第1双面粘合薄片上层叠其它石墨薄片、第3层叠工序是层叠的石墨薄片上层叠其它的第1双面粘合薄片、第2加热工序是对第3层叠工序层叠的第1双面粘合薄片加热、第2加热工序后，剥离工序、第2层叠工序、第3层叠工序及第2加热工序按照同样的顺序反复操作。

Description

石墨薄片层叠体及其制造方法、石墨薄片层叠体每个薄片密 封粘合薄片的制造方法

技术领域

本发明涉及石墨薄片层叠体的制造方法、石墨薄片层叠体、石墨薄片层叠体每个薄片的制造方法、石墨薄片层叠体每个薄片密封粘合薄片的制造方法以及石墨薄片层叠体密封粘合薄片的每个薄片制造方法。

背景技术

近些年智能手机或平板电脑等电子设备性能告诉发展，因此对电子设备上搭载的IC芯片的性能要求也越来越高。但是IC芯片发热的问题越来越多。

IC芯片等发热之后，如果电子设备的背面传导效率很好，会造成电子仪器背面一部分温度上升。结果是电子设备背面的温度出现分布偏差，这种一部分温度升高的现象被称为电子仪器的热点。因为电子设备如智能手机和平板电脑直接与肌肤接触机会较多，所以最好要求电子设备没有热点，电子仪器背面的温度分布均匀。

为了不发生过热，石墨片使用层叠热传导性薄片，使石墨片向各个方向热分散，这个方法是已知的。

所述用于热传导性薄片的石墨薄片一般按以下方法制造。首先在石墨薄片上涂布粘合剂形成涂层。在涂有粘合剂的涂层(粘合剂层)层叠石墨薄片，如此反复最后得到石墨薄片层叠体。然后对石墨薄片层叠体做为单片制成热传导性薄片。

然而，传统的制造方法中，石墨薄片表面发生膨胀的原因使粘合剂不能均一的涂布在粘合薄片的表面。此外，如果石墨薄片未能与粘合剂层贴合，很难对其重新粘贴。其结果是，石墨薄片层叠体存在产率低下的问题。

【已有技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本专利申请公开第2006-303240号。

发明内容

【发明拟解决的问题】

本发明的目的是提供一种可靠度高的高效制造石墨薄片层叠体方法、提供一种可靠度高的石墨薄片层叠体、提供一种可靠度高的高效制造石墨薄片层叠体单片方法、提供一种可靠度高的高效制造石墨薄片层叠体单片密封粘合薄片方法、以及提供一种可靠度高的高效制造石墨薄片层叠体密封粘合薄片单片方法。

【解决问题的方式】

通过下述(1)～(10)项达到本发明的目的。

(1)多个石墨薄片、第1剥离薄片及第1双面粘合薄片形成数个双面粘合体，做为准备工序事先准备；

上述准备工序的上述多个石墨薄片的其中1块石墨薄片做为1A、上述准备工序的上述多个的双面粘合体中的1枚双面粘合体2A的第1双面粘合薄片22相互接触、上述石墨薄片1A在上述双面粘合体2A层叠做为第1层叠工序；

对上述石墨薄片1A层叠的上述第1粘合薄片22A进行第1加热工序；

从上述加热的上述第1双面粘合薄片22A，将上述粘合薄片2A的第1剥离薄片21A剥离做为剥离工序；

在上述第1剥离薄片21A剥离后露出上述第1双面粘合薄片22A的露出面上将上述准备工序的上述多个石墨薄片的其中一枚石墨薄片1B继续层叠，做为第2层叠工程；

在上述第2层叠工程层叠的石墨薄片1B上，上述准备工程的上述多个的两面粘合体其中的1枚双面粘合体1B、所述双面粘合体2B的第1双面粘合薄片22B与上述第2层叠工序得到的层叠的石墨薄片1B接触后，再次产生层叠的第3层叠工序；

上述第2层叠工程获得的层叠的石墨薄片1B的双面的每1面，分别与上述第1双面粘合薄片22B和上述第1双面粘合薄片22B接触、通过上述第3层叠工程对层叠的第1双面粘合薄片22B加热的第2加热工序；

上述第2加热工序之后、上述剥离工序、上述第2层叠工序、上述第3层叠工序及上述第2加热工序同样的工序将上述曾写的双面粘合体2B反复操作，是具有特征的石墨薄片层叠体的制造方法。

(2)上述(1)记载的石墨薄片层叠体的制造方法采用上述第1加热工序和上述第2加热工序，在40℃以上180℃以下的温度进行加热。

(3)上述第1加热工序和上述第2加热工序加热后，使用JIS后Z0237：2009标准测定，上述第1双面粘合薄片的第1剥离薄片层叠处粘合面的粘合力在10mN/25mm以上4000mN/25mm。

(4)使用上述第(1)或第(3)任意所述的石墨薄片层叠体的制造方法，上述第1双面粘合薄片相对应的上述第1比例薄片的剥离力在0.5mN/25mm以上500mN/25mm。

(5)使用上述第(1)或第(4)任意所述的石墨薄片层叠体的制造方法，上述第1层叠工序中，上述双面粘合体最初层叠的上述石墨薄片1A处于工序用粘合薄片安置的状态。

(6)上述剥离工序、上述第2层叠工序、上述第3层叠工序及上述第2加热工序采用与上述工序相同方法反复操作之后、上述剥离工序和上述第2层叠工序采用相同的工序、最外城的上述石墨薄片上、第1保护薄片用粘合剂层与第1保护薄片用基础材料构成第1保护薄片、上述最外层的上述石墨薄片和上述第1保护薄片用粘合剂层相互接触层叠的第4层叠工序，采用上述(1)或(5)任意记载的石墨薄片层叠体制造方法。

(7)石墨薄片层叠体，其特征在于，使用上述(1)或(6)任意所述的石墨薄片层叠体制造方法。

(8)石墨薄片层叠体单片的制造方法，其特征在于，上述(7)所述的石墨薄片层叠体在层叠方向截断形成单片。

(9)石墨薄片层叠体的单片密封粘合薄片的制造方法，其特征在于，根据上述(8)所述的石墨薄片层叠体的单片制造方法制造多个上述单片，与第2剥离薄片上设置的第2双面粘合薄片的露出面侧，控制指定的空隙的安装工序。

放置的上述多克单片上，第2保护薄片用粘合剂层和第2保护薄片用基本材料构成第2保护薄片、上述多个单片与上述第2保护薄片用粘合剂层曾切、对上述多个单片密封的密封工序。

(10)石墨薄片层叠体密封粘合薄片的单片制造方法，其特征在于，根据上述(9)所述的石墨薄片层叠体的单片密封粘合薄片的制造方法获得上述石墨薄片层叠体的单片密封粘合薄片，为了使上述各个单片能够分离，对上述每个单片密封粘合薄片的厚度方向进行裁剪。

【发明效果】

本发明提供了一种高效生产可靠度高的石墨薄片层叠体的方法。同时本发明提供了一种可靠度高的石墨薄层叠体。

同时本发明提供了一种高效制造高可靠度的石墨薄片层叠体单片的方法。

同时本发明提供了一种高效制造高可靠度的石墨薄片层叠体的单片密封粘合薄片的方法。

同时本发明提供了一种高效制造高可靠度的石墨薄片层叠体密封粘合薄片单片的方法。

附图说明

图1是工序图展示了本发明的石墨薄片层叠体的制造方法的最优实施方案。

图2是工序图展示了本发明的石墨薄片层叠体的制造方法的最优实施方案。

图3是工序图展示了本发明的石墨薄片层叠体的单体的制造方法的最优实施方案。

图4是工序图展示了本发明的石墨薄片层叠体的单片密封粘合薄片的制造方法及石墨薄片层叠体密封粘合薄片的单片的制造方法的最优实施方案。

图5是工序图展示了本发明的其它的石墨薄片层叠体的单片的制造方法的最优实施方案。

【符号说明】

1A、1B：石墨薄片

2A、2B：双面粘合体

3：第1保护薄片

7：第2保护薄片

10：工序用粘合薄片

21A、21B：第1剥离薄片

22A、22B：第1双面粘合薄片

31：第1保护薄片用基本材料

32：第1保护薄片用粘合剂层

40：石墨薄片层叠体

50：个片化物

61：第2剥离薄片

62：第2双面粘合薄片

71：第2保护薄片用基本材料

72：第2保护薄片用粘合剂层

80：个片化物密封粘合薄片

90：个片化物。

具体实施方式

下文根据本发明最佳实施方案做详细说明。

<1>石墨薄片层叠体的制造方法

首先对本发明的石墨薄片层叠体的制造方法的最佳实施方案进行说明。

图1和图2的工序图展示了本发明的石墨薄片层叠体的制造方法的最佳实施方案。

本实施方案的石墨层叠体的制造方法，如图1和图2所示，准备工序准备多个石墨薄片、第1剥离薄片和第1双面粘合薄片形成多个双面粘合体；安装工序将准备的多个石墨薄片中的1块石墨粘合薄片1A放置在工程用粘合薄片10上；第1层叠工序是将准备的多个双面粘合体中的1块双面粘合体2A层叠在石墨薄片1A上；第1加热工序是对石墨薄片1A上的层叠的双面粘合体2A进行加热；第1剥离工序是从加热的双面粘合体2A中剥离第1剥离薄片21A；第2层叠工序是在第1双面粘合薄片22A剥离第1粘合薄片21A(第1双面粘合薄片22A在石墨薄片的反对侧)上，层叠其它的石墨薄片1B；第3层叠工序是在层叠的石墨薄片1B上层叠双面粘合体2B；第2加热工序是将石墨薄片1B的两侧分别粘合第1双面粘合薄片22A和第1双面粘合薄片22B，对第1双面粘合薄片22B加热。

因此，石墨薄片层叠体制造方法的实施方案是由上述第2加热工序之后，剥离工序、第2层叠工序、第3层叠工序及第2加热工序反复操作构成。换言之，石墨薄片层叠体制造方法的实施方案是在上述第2加热工序后，与剥离工序、第2层叠工序、第3层叠工序及第2加热工序相同的工序，按照层叠的双面粘合体2B的顺序构成。

通过这样的构成方式，石墨薄片和第1双面粘合薄片能够精密的贴合。并且石墨薄片的第1双面粘合薄片(粘合剂层)即使贴合失败，也能够非常容易的重新粘贴，能够提高石墨薄片层叠体的产量。结果能够高效率的制造可靠度高的石墨薄片层叠体。

另外，石墨薄片层叠体制造方法的实施方案，剥离工序、第2层叠工序、第3层叠工序和第2加热工序按照同样的顺序反复操作后，与剥离工序及第2层叠工序相同，最外层的石墨薄片上有第4层叠工序层叠第1保护薄片3。

下文对各工序做详细说明。

[准备工序]

本工序中准备多个石墨薄片(石墨薄片1A和石墨薄片1B)、第1粘合薄片及第1双面粘合薄片构成多个双面粘合体(双面粘合体2A和双面粘合体2B)。顺便提一下，双面粘合体2A由第1剥离薄片21A及第剥离薄片21A一侧配置第一双面粘合薄片22A构成。此外，双面粘合薄片2B由第1剥离薄片21B和第1剥离薄片21B一侧配置第1双面粘合薄片22B构成。

石墨片可以使用各种熟知的石墨薄片。石墨薄片包括天然石墨制造的薄片、将高分子化合物石墨化后制造的薄板。

天然石墨制造的薄板可以通过以下的方法获得。

将天然的鳞状石墨以及含有石墨的原料溶于浓硫酸和氧化剂的混合溶液中，得到混合物。对混合物迅速加热使其在高温。然后对加热后的混合物进行锻轧加工、脱硫酸加工，得到层叠的石墨薄片。

此外对高分子化合物进行石墨化后制得的石墨薄片，包括聚酰亚胺，聚酰胺，聚酰胺酰亚胺，聚苯并咪唑，烧制如聚苯并双恶唑。它们是对高分子化合物烧制后，再进行必要的锻轧加工。

石墨薄片的平均厚度在5μm以上100μm以下为优选，更优选为10μm以上30μm以下。双面粘合体有第1剥离薄片和第1双面粘合薄片。

第1剥离薄片包括人造丝，丙烯酸树脂，使用纺布或无纺布的聚酯纤维；高品质纸，玻璃纸，浸渍纸，涂层纸等酯类；铝，铜的金属箔；氨酯泡沫、聚乙烯泡沫等泡沫；氨基甲酸乙酯泡沫，泡沫剂如聚乙烯泡沫；聚对苯二甲酸乙酯、聚对苯二甲酸、聚萘二甲酸等的聚酯膜；三乙酰纤维素膜等的纤维素膜；聚氨酯薄膜，聚乙烯膜，聚丙烯膜，氯乙烯膜，聚偏二氯乙烯膜，聚乙烯醇膜，乙烯-乙酸乙烯酯共聚物膜，聚苯乙烯薄膜，聚碳酸酯膜，丙烯酸类树脂膜，降冰片烯类树脂膜，环烯烃树脂膜等的塑料薄膜等。上述的粘合薄片也可以两种以上同时使用，塑料薄膜可以是一个方向衍生，也可以是两个方向延伸。

上述第1剥离粘合薄片的剥离面(特别是与第1双面粘合薄片接触的面)，推荐进行剥离处理。剥离处理用的剥离剂包括醇酸、有机硅、氟、不饱和聚酯、聚烯烃、蜡等剥离剂。

第1剥离薄片的厚度虽然没有特别限制，通常在10-150μm为宜。此类第1剥离薄片，具体使用LINTEC公司生产的PET251130、PET381031、PET382150。

此处与第1双面粘合薄片相对的第1剥离薄片的剥离力在0.5mN/25mm以上为宜，在2mN/25mm以上为更优选，在5mN/25mm以上为最优选。因此能够有效防止不注意将第1剥离薄片从第1双面粘合薄片剥离。此外与与第1双面粘合薄片相对的第1剥离薄片的剥离力在50mN/25mm以下为宜，在50mN/25mm以下为更优选，在20mN/25mm以上为最优选。因此，下述的玻璃工序中，不给石墨薄片与第1双面粘合薄片的密封性产生坏的影响，第1剥离薄片容易从第1双面粘合薄片剥离。此外，下述的第1加热工序和第2加热工序使用同样的加热条件对第1双面粘合薄片加热后，与第1双面粘合薄片相对的第1剥离薄片的剥离力推荐在上述范围内。

第1双面粘合薄片推荐使用感热粘合剂。这里所述的感热粘合剂，在室温时(10－40℃)具有后述比较低的粘合力，超过室温以上的温度(例如，60－80℃加热后变得具有高粘合力。此外当所述的感热粘合剂构成第1双面粘合薄片(粘合剂层)使，它的表面能对第1剥离薄片进行有效保护，即使反复进行加热和冷却，也能够在室温维持较低的粘合力。因此当石墨薄片在第1双面粘合薄片贴坏时，也能够容易地将石墨薄片重新贴合。其结果是能够提高石墨薄片层叠体的产量。

感热粘合剂可以使用目前已知的粘合剂。

感热粘合剂包括聚酯型聚氨酯类粘合剂，聚酯类压敏粘合剂，丙烯酸压敏粘合剂，乙酸乙烯酯型压敏粘合剂，聚氨酯类粘合剂，橡胶类压敏粘合剂等。这些感热粘合剂推荐使用酯聚氨酯系粘合剂或聚酯型压敏粘合。因此，如果石墨薄片与第1粘合薄片粘合失败时，也可以对石墨薄片重新粘贴。

此外，做为被粘物的聚对苯二甲酸乙酯膜，根据JISZ0237：2009标准测定的第1双面粘合薄片的粘合力，10mN/25mm以上为优选，20mN/25mm以上更优选，100mN/25mm以上为最优选。因此，下述的第1层叠工序、第2层叠工序和第3层叠工序中，第1双面粘合薄片和石墨薄片能够更加可靠的固定在一起。次外做为被粘物的聚对苯二甲酸乙酯膜，根据JISZ0237：2009标准测定的第1双面粘合薄片的粘合力，4000mN个/25mm以下为优选，3000mN/25mm以下为更优选，石墨薄片与第1双面粘合薄片即使粘合失败时，也能够对石墨薄片进行重新粘贴。

此外，对下述的第1加热工程和第2加热工序的第1双面粘合薄片进行加热后，作为被粘物的聚对苯二甲酸乙酯膜使用JISZ0237：2009标准进行测定，第1双面粘合薄片的第1剥离薄片的层叠处粘合面(第1双面粘合薄片的石墨薄片和反对侧的粘合面)的粘合力推荐在10mN/25mm以上为优选，20mN/25mm为更优选，100mN/25mm以上为最优选。因此，下述的第1层叠工序、第2层叠工序和第3层叠工序中，第1双面粘合薄片和石墨薄片能够确实的固定。次外，上述加热后，做为被粘物的聚对苯二甲酸乙酯膜，使用JISZ0237:2009的标准进行测定，第1双面粘合薄片的第1剥离薄片层叠处的粘合面的粘合力在4000mN/25mm为优选，在3000mN/25mm为最优选。

此外，做为被粘物的石墨薄片，使用JISZ0237：2009的标准测定第1双面粘合薄片的粘合力在10mN/25mm以上为优选，20mN/25mm以上更优选，100mN/25mm以上为更优选。因此第1层叠工序、第2层叠工序以及第3层叠工序中，第1双面粘合薄片与石墨薄片能够可靠的固定。

此外，做为被粘物的石墨薄片，根据JISZ0237:2009的标准测定第1双面粘合薄片的粘合力，2000mN/25mm以下为优选，1000mN/25mm以下为更优选。因此，即使石墨薄片与第1双面粘合薄片粘合失败时，也能够非常容易的将石墨薄片重新贴合。此外下述第1加热工序和第2加热工序后，石墨薄片与第1双面粘合薄片结合，或者是临近2块第1双面粘合薄片结合是，可以保持它们的形状并且使它们不会分开。因此，能够高效制造可靠度高的石墨薄片层叠体。

此外，构成第1双面粘合薄片粘合剂的玻璃转化温度，在下述第1加热工序以及第2加热工序的加热温度以下为宜。因此，通过第1加热工序以及第2加热工序，石墨薄片与第1双面粘合薄片能够牢固结合。

第1双面粘合薄片的平均厚度在0.5μm以上10μm以下为优选，1μm以上6μm为更优选。

此外，在双面粘合体中，在第1双面粘合薄片的第1剥离薄片的反对侧粘合面也能粘贴第1剥离薄片和其它的剥离薄片。此时，推荐使用比第1剥离薄片的第1双面粘合薄片剥离力低的轻剥离型剥离薄片。也就是说，双面粘合体中的第1双面粘合薄片的两面可以分别配置重剥离型剥离薄片(第1剥离薄片)和轻剥离型剥离薄片(其它的剥离薄片)。

[石墨薄片放置工序]

除了上述粘合薄片以及双面粘合体，还需要准备工序用粘合薄片10(图1(a))。

然后，本工序中，将石墨薄片1A放置在准备的工序用粘合薄片10的粘合面(图1(b))。工序用粘合薄片10的使用，可以使石墨薄片1A和第1双面粘合薄片的层叠工作效率增加。另外，石墨薄片1A可以在层压或压力加压拓建下进行防止，也可以只防止工序用粘合薄片10。

工序用粘合薄片10至少推荐在基础材料和基本材料上配置供需用粘合剂层。这样的场合是，在工序用粘合剂层上推荐配置(层叠)石墨薄片1A。

基本材料包括，人造丝，丙烯酸树脂，纤维编织等的使用纤维的纺布和非纺布；高品质纸，玻璃纸，浸渍纸，涂层纸等的酯类；铝，铜等的金属箔；氨基甲酸乙酯泡沫体，聚乙烯泡沫体等起泡物；聚对苯二甲酸乙酯，聚对苯二甲酸，聚萘二甲酸等的聚酯膜；三乙酰纤维素膜等的纤维素薄膜；聚氨酯薄膜，聚乙烯膜，聚丙烯膜，氯乙烯膜，聚偏二氯乙烯膜，聚乙烯醇膜，乙烯-乙酸乙烯酯共聚物膜，聚苯乙烯薄膜，聚碳酸酯膜，丙烯酸类树脂膜，降冰片烯类树脂薄膜，环烯烃树脂膜等的塑料薄膜。上述基本材料也可以选择两种以上用做层叠体。塑料薄膜可以是一侧延伸，也可以是两侧延伸，虽然没有特别的限制，通常在20-150μm为宜。

此外，上述工序用粘合剂层，没有特别的限制，丙烯酸树脂，有机硅，氨基甲酸乙酯，橡胶等常用的粘合剂都可以使用。顺便提一句，上述工序用粘合剂层，经过第1加热工序以及多次的第2加热工序后，能够很方便的从石墨薄片1A剥离。从上述观点看来，工序用粘合剂层推荐使用硅氧烷的粘合剂。

使用JISZ0237：2009标准测定工序用粘合薄片10对石墨薄片1A的粘合力在10mN/25mm以上为优选，在20mN/25mm以上为更优选。因此能够对与工序10接触的石墨薄片1A进行充分固定。之后按照石墨薄片层叠体制造的各工序相同，能够防止石墨薄片1A的位置变化。此外根据JISZ0237：2009标准测定工序用粘合薄片10对石墨薄片1A的粘合力在2000mN/25mm以下为优选，在1000mN/25mm为更优选。因此，即使石墨薄片1A与工序用粘合薄片10的相对位置发生变化，也能够十分容易的对位置修正。此外，使用下述加热工序相同的温度条件对工序用粘合薄片10进行加热，使用JISZ0237：2009的标准对工序用粘合薄片10相对的石墨薄片1A进行测定，2000mN/25mm以下为优选，1000mN/25mm以下为更优选，因此，获得石墨薄片的层叠体的单体，当在第2双面粘合薄片上放置该单片时，能够非常容易将改单片从工序用粘合薄片10去除。

[第1层叠工序]

本工序中，石墨薄片1A上放置工序用粘合薄片10，为了使双面粘合体2A的的第1双面粘合薄片22与石墨薄片1A接触，层叠了双面粘合体2A(图1(C))。因此，第1双面粘合薄片22A能与石墨薄片1A固定。顺带一提，双面粘合体2A可以使用层压或加压等方法进行层叠，也可以将石墨薄片1A单独放置。

[第1加热工序]

本工序对层叠的第1双面粘合薄片22A(双面粘合体2A)进行加热。因此第1双面粘合薄片22A与石墨薄片1A紧密连接。此外可以使用层压或加压等方法同时加热，也可以仅仅单独加热。

第1加热工序推荐使用40℃以上的温度加热，更优选的温度为60℃以上。因此，第1双面粘合薄片22A和石墨薄片1A能够有效的接触。此外第1加热工序的加热温度在180℃以下为优，在120℃以下加热为更有。因此，第1双面粘合薄片22A发生熔融，有效的防止了其从石墨薄片1A中流出。

[剥离工序]

本工序将第1剥离薄片21A从加热的两性粘合体2A剥离(图1(d))。因此，露出了第1两性粘合薄片22A与工序用粘合薄片10相反的粘合面。

[第2层叠工序]

本工序在第1剥离薄片21A剥离的第1两性粘合薄片22A上，层叠石墨薄片1B(图1(e))。因此在第1两性粘合薄片22A上叠合了石墨薄片1B。此外，石墨薄片1B可以用层压或加压的方式进行层叠，也可以单独放置在第1双面粘合薄片22A上。

[第3层叠工序]

本工序在层叠的石墨薄片1B上，层叠其它的两面粘合体2B。两面粘合体2B的第1两面粘合薄片22B的露出面(第1双面粘合薄片22B的第1剥离薄片21B是反对侧面)与石墨薄片1B接触(图2(f))。此外，两性粘合体2B可以用层压或加压的方式进行层叠，也可以单独放置在石墨薄片1B上。

[第2加热工序]

本工序如图2(f)所示，石墨薄片1B的两面分别与第1双面粘合薄片22A和第1双面粘合薄片22B接触，也就是将石墨薄片1B间隔防止在第1双面粘合薄片22A和第1双面粘合薄片22B之间，对上述第3层叠工序层叠的双面粘合体2B(第1双面粘合薄片22B)进行加热。因此，石墨薄片1B与配置所述单片的第1双面粘合薄片22B紧密连接。此外，也可以进行层压和加压和同时加热，或者只进行加热。

第2加热工序的加热条件与上述第1加热工程的加热条件相同。

之后，将剥离工序(图2(g))、第2层叠工序、第3层叠工序以及第2加热工序反复操作，将多个石墨薄片1B和多个第1双面粘合薄片22B层叠。

[第4层叠工序]

本实施状态中，按照剥离工序、第2层叠工序、第3层叠工序以及第2加热工序多次反复操作后，对上述剥离工序和第2层叠工序继续进行(图2(h))。之后在最外层的石墨薄片1B上层叠第1保护薄片3(第4层叠工序)。因此获得了富有第1保护薄片3的石墨薄片层叠体40(图2(i))。另外，第1保护薄片3可以使用层压或加压的方式进行层叠，也可以直接将石墨薄片1B单独放置作为最外层。

由于第1保护薄片3层叠在表面，可有防止石墨薄片1B作为最外层时的不经意损伤。

如图2(i)所示，第1保护薄片3具有第1保护薄片使用的基本材料31和第1保护薄片用粘合剂层32。

第1保护薄片使用的基本材料31，具有支持第1保护薄片粘合剂层32的功能。第1保护薄片使用的基本材料包括聚对苯二甲酸乙酯膜、聚对苯二甲酸乙酯膜、聚乙烯薄膜、聚丙烯薄膜、聚甲基膜、聚碳酸酯薄膜等的塑料薄膜，铝、不锈钢等金属箔，合成纸、无尘纸、优等纸、美术纸、涂布纸、玻璃纸等单体或者复合物构成。

第1保护薄片的粘合剂层32使用的粘合剂包括：丙烯酸类、硅酮类，聚氨酯类，橡胶类等常用的粘合剂。常用的黏合剂中，当用于第1保护薄片粘合剂层32的粘合剂时，推荐使用粘合力较低的粘合剂。比如说，推荐使用硅酮类粘合剂。因此，当使用石墨薄片层叠体40时，第1保护薄片3能够非常容易地剥离。

<2>石墨薄片层叠体个片化物的制造方法

接下来，对本发明的石墨薄片层叠体个片化物的制造方法的最佳实施例进行说明。

图3是本发明的石墨薄片层叠体个片化物的制造方法的最佳实施例的示意图。

本实施例的石墨薄片层叠体的个片化物制造方法如图3(j)所示，将多个石墨薄片层叠形成的石墨薄片层叠体40个片化。需要注意的是，第1保护薄片3和工程用粘合薄片10可以从还未个片化的石墨薄片层叠体40剥离，也可以在石墨薄片层叠体40个片化后剥离。通过上述个片化，以及第一保护薄片和工程用粘合薄片10的剥离，石墨薄片层叠体40可以变为个片化物50(图3(k))。

比如说个片化时，将第1保护薄片3从石墨薄片层叠体40剥离，形成图3(j)虚线所示的形状时，可以对石墨薄片层叠体40进行转空加工。此时推荐不从工程用粘合薄片10处切割，而是从石墨薄片与第1双面粘合薄片的层叠部分(石墨薄片层叠体40)开始切割(半切)，进行个片化。然后按照希望的形状对石墨薄片层叠体40的部分(岛部分)进行钻孔加工，再将工程用粘合薄片10剥离，使石墨薄片层叠体40变为个片化物50(图3(k))。

此外，其它的实施方案如图5(j2)所示，第1保护薄片3附着在石墨薄片层叠体40上，按照虚线的方向沿着石墨薄片不存在的部分进行裁剪。按照这样的方法，圆筒状的石墨薄片层叠体40可以被裁剪为薄片形状。然后，将第1保护薄片3从石墨薄片层叠体40取出，也就是从石墨薄片层叠体40的工程用粘合薄片10处剥离，获得了两表面都是裸露的石墨薄片的石墨薄片层叠体40.然后对所述的石墨薄片层叠体40按照所需形状进行加工(图5(k2))。因此获得了石墨薄片层叠体40的个片化物50(图3(k))。

<3>石墨薄片层叠体的个片化物密封粘合薄片的制造方法以及墨薄片层叠体密封粘合薄片的个片化物的制造方法

接下来，对本发明的石墨薄片层叠体的个片化物密封粘合薄片的制造方法以及墨薄片层叠体密封粘合薄片的个片化物的制造方法的最佳实施例进行说明。

图4是本发明的石墨薄片层叠体的个片化物密封粘合薄片的制造方法以及墨薄片层叠体密封粘合薄片的个片化物的制造方法最佳实施例的示意图。

本实施例的石墨薄片层叠体的个片化物密封粘合薄片的制造方法如图4(l)所示，在第2粘合薄片61上配置第2双面粘合薄片62，将石墨薄片层叠体的个片化物按指定间隔放置(配置)在第2双面粘合薄片的露出面侧(第2双面粘合薄片62的第2剥离薄片61的反对侧面(个片化物安装工序)。此外，本工序的个片化物50可以用层压或压力加压的方法进行安装，也可以仅放置在第2双面粘合薄片62的露出面。

第2剥离薄片61的组成、物理性质和第1剥离薄片的组成、物理性质相同。并且将上述第2剥离薄片61称为seware，推荐使用纵剪加工。因此，当石墨薄片层叠体密封粘合薄片的个片化物粘贴在电子仪器的发热部分时，能够非常容易的将第2剥离薄片61剥离。而且，对第2剥离薄片61纵剪加工时，为了一致第2剥离薄片61的倒带和产生缝隙，推荐在第2剥离薄片61的第2双面薄片62的反对侧，层叠不含有空隙的工程用粘合薄片。

此外，第2双面粘合薄片62使用常用的粘合剂即可。在这些中，具有一定的强度，并且能够符合更薄的需求来看，推荐在聚酯薄膜的两侧使用丙烯酸树脂作为第2双面粘合薄片。顺便一提，这种情况下，聚酯薄膜的膜厚度推荐为1-10μm，也可以是2-6μm。此外上述丙烯酸树脂类粘合剂层的膜厚度推荐为1-10μm，也可以是2-4μm。此外，第2双面粘合薄片62的厚度推荐为3-15μm，也可以是6-10μm。

然后，如图4(m)所示，在第2双面粘合薄片62露出面层叠的多个个片化物上，层叠第2保护薄片7，对个片化物50进行密封(密封工序)。因此，获得了石墨薄片层叠体的个片化物密封粘合薄片80。

第2双面保护薄片推荐使用第2保护薄片用基本材料71和第2保护薄片用粘合剂层72构成。然后，为了使第2保护薄片7与第2保护薄片用粘合剂层72和个片化物50接触，在上面层叠多个个片化物50。

第2保护薄片使用的基本材料71没有特定的限制，可以使用与上述第1保护薄片使用基本材料31相同的材料。在这些中，从适当的强度以及更薄的需求来看，推荐使用聚酯薄膜，更加推荐使用的是聚乙烯对苯二甲酸酯膜。此外，第2保护薄片使用的基本材料71膜厚度在1-10μm为优选，2-6μm为更优选。

第2保护薄片使用的粘合剂层72没有特定的限制，可以使用一些常用的粘合剂。在这些中，从适当的粘合力以及更薄的需求来看，推荐使用丙烯酸类粘合剂。第2保护薄片粘合剂层72的膜厚度在1-10μm为优选，2-4μm为更优选。

此外，第2保护薄片7的膜厚度在3-15μm为优选，6-10μm为更优选。

此外，本实施例的石墨薄片层叠体密封粘合薄片的个片化物制造方法中，将石墨薄片层叠体的个片化物密封粘合薄片80沿着石墨薄片层叠体的个片化物50不存在的正中位置进行裁剪，也就是沿着图4(m)所示的虚线裁剪进行个片化。因此如图4(n)所示，获得了石墨薄片密封粘合薄片的个片化物90。石墨薄片层叠体密封粘合薄片的个片化物90因为使用了可靠性高的石墨薄片层叠体40，品质优良并且稳定，提高了个片化物90的产量。此外因为在上述个片化物90的一侧(底面)配置有第2双面粘合薄片(粘合剂层)62，能够非常容易的配置在发热的电子仪器的表面。而且，因为石墨薄片的边缘已经被密封处理，能够防止石墨薄片的粉末从个片化物90散落。因此，电子仪器配置个片化物90后能够有效的防止短路。

以上只是描述了本发明的最优实施方案，本发明并不限定在这些范围。

例如，上述的实施方案中，石墨薄片层叠体最外层的石墨薄片1B表面层叠有第1保护薄片3，但是第1保护薄片3不层叠也是可以的。

本发明的制造方法中，不限定于上述实施方案。比如说，可以任意追加工序。

【实施例】

下面对本发明的实施例进行更加具体的说明，但是本发明的范围不现定于这些实施例。

[1]石墨薄片层叠体的制造

(实施例1)

1.双面粘合物的制备

聚酯型聚氨酯类粘合剂(东洋纺有限公司产品，商品名[バイロンUR3200]、Tg：-4℃、平均分子质量：40000、固体成分浓度：质量比30％)用甲苯稀释至固体质量比为20％，获得粘合剂组成物(涂布溶液)。

聚对苯二甲酸乙酯薄膜的表面经过硅氧烷剥离剂处理，得到重剥离型剥离薄片(LINTEC公司产品，商品名为[PET381031]。将上步获得的粘合剂组成物涂布在剥离除里面，使用刮刀涂布得到涂布层。然后，对涂布层在90℃加热处理1min，在重剥离型剥离薄片表面形成厚度为5μ的第1双面粘合薄片(粘合剂层)。

然后，聚对苯二甲酸乙酯膜经过硅氧烷类剥离剂处理后，在剥离处理面的表面放置轻剥离型剥离薄片(LINTEC公司产品，商品名为[PET251130])。轻剥离型剥离薄片的剥离处理面与第1双面粘合薄片的露出面(第1双面粘合薄片的重剥离型玻璃薄片的反对侧面)粘贴，获得双面粘合物。

2.石墨薄片层叠体的制作

一下操作步骤(1)-(5)，按照(1)、(2)、(3)、(4)、(3)、(4)、(3)、(5)的顺序制备石墨薄片层叠体。具体来说，在工序(1)-(4)之后进行工序(3)和工序(4)，然后进行工序(3)和工序(5)，制备石墨薄片层叠体。下面对各工序具体说明。

(1)将工序用粘合薄片(LINTEC公司产品、商品名为[有机硅粘合胶带CLEAR-PET50-06-50])的剥离薄片剥离，露出工序用粘合薄片的露出面。将其粘合面与石墨薄片通过层压贴合。

(2)将制备的双面粘合物的轻剥离型剥离薄片剥离，露出第1双面粘合薄片的粘合面。为了使第1双面粘合薄片露出的粘合面与工序用粘合薄片上的石墨薄片接触，双面粘合物与石墨薄片粘合，在-80℃加热强化。

(3)将与石墨薄片贴合的双面粘合体的重剥离型剥离薄片薄片剥离，露出第1双面粘合薄片的粘合面。露出的粘合面再次与石墨薄片贴合。另外，如果在贴合时石墨薄片产生皱纹时，将石墨薄片从第1双面粘合薄片剥离，露出粘合面再次贴合。

(4)将制备的其它双面粘合体的轻剥离型剥离薄片剥离，露出第1双面你那和薄片的粘合面。为了使第1双面粘合薄片露出的粘合面与第(3)步层叠的石墨薄片接触，将双面粘合体与石墨薄片贴合，在80℃加热强化。

(5)将第1保护薄片(LINTEC公司产品、产品名为[有机硅粘合胶带CLEAER-PET50-06-50])的剥离薄片剥离，露出第1保护薄片的粘合面。将第1保护薄片露出的粘合面与最外层的石墨薄片贴合，在80℃加热强化。因此获得了附有第1保护薄片的石墨薄片层叠体。

3.石墨薄片层叠体的个片化物制造方法

将获得的石墨薄片层叠体表面附着的上述第1保护薄片剥离，将石墨薄片最外层露出，形成4个边长为5cm的正方形，使用刀刃切割到最下层的工序用粘合薄片的表面，将石墨薄片层叠体取出单独加工。通过这种方法制备了4个石墨薄片层叠体的个片化物。

4.石墨薄片层叠体的个片化物密封粘合薄片及该个片化物的制备

第2剥离薄片表面配置有第2双面粘合薄片，厚度为2μm的聚乙烯对苯二甲酸酯膜两面分别配置有厚度为4μm的有机硅类粘合剂层，一侧的有机硅类粘合剂层的表面配置有重剥离型剥离薄片(第2剥离薄片)。此外，另一侧的有机硅类粘合剂层的表面配置有轻剥离型剥离薄片。因此，准备双面粘合薄片(LINTEC公司产品，产品名为[粘性衬垫TL-410S-02])附着在剥离薄片上。然后将改轻剥离型剥离薄片出去，露出第2双面粘合薄片的粘合面。

此处，将上述工序获得的石墨薄片层叠体的4个个片化物从工序用粘合薄片取出。取出的上述4个个片化物，放置在上述带有双面粘合薄片的剥离薄片(LINTEC公司产品，商品名为[粘性衬垫TL-410S-02])的第2双面粘合薄片的粘合面(露出面处)处，相邻个片化物间隔5cm放置。

此外，作为第2保护粘合薄片使用基本材料的厚度为6μm的聚对苯二甲酸乙酯膜的一侧放置厚度为4μm的有机硅类粘合剂层作为第2保护薄片。然后，在第2保护薄片用粘合剂层的第2保护薄片用基本材料的反面放置第2保护薄片用剥离薄片(剥离薄膜)。因此获得了第2保护薄片(LINTEC公司产品、[MO-G100-10V1])。将改剥离薄膜剥离后，露出第2保护薄片用粘合剂层的粘合面。第2保护薄片用粘合剂层露出的粘合面与上述第2双面粘合薄片的个片化物的粘合面通过层压的方法接触。也就是说，石墨薄片层叠体的个片房屋放置在第2双面粘合薄片与第2保护薄片之间，与第2保护薄片用粘合剂层的粘合面和第2双面粘合薄片的粘合面贴合，使用层压方法密封。因此，制备了石墨薄片层叠的个片化物的密封粘合薄片。

获得的个片化物粘合薄片，放置在上述个片化物没有配置的地方，也就是说，沿着4个个片化物等间隔部分进行裁剪。因此制备了石墨薄片层叠体的个片化物密封粘合薄片的个片化物。

(实施例2)

聚酯型聚氨酯类粘合剂(东洋纺公司产品、商品名为[バイロンUR3200]、Tg：-4℃、重量平均分子质量：40000、固体成分浓度：质量比30％)可以用聚酯型粘合剂(东洋纺公司产品、商品名为[バイロン65HS]、Tg：10℃、重量平均分子质量：23000、固体成分浓度：质量比30％)替代，使用上述实施例1相同的石墨薄片层叠体，个片化物、个片化物密封粘合薄片以及个片化物密封粘合薄片的个片化物进行制造。

(实施例3)

将聚酯型聚氨酯类粘合剂(东洋纺公司产品、商品名[バイロンUR3200]、Tg：-4℃、重量平均分子量：40000、固体组分浓度：质量比30％)的适量份额计为100(固体组分换算值)，加入质量份额为7(固体组分换算值)的三羟甲基丙烷加合物二异氰酸甲苯，然后在用甲苯稀释，形成固体组分浓度为质量比20％的粘合剂组成物(涂布溶液)。其它使用上述实施例1相同的石墨薄片层叠体、个片化物、个片化物密封粘合薄片以及个片化物密闭粘合薄片的个片化物进行制造。

(参考例)

1.双面粘合体的制备

作为聚酯氨酯类粘合剂的替代物，也可以使用丙烯酸类粘合剂(综研化学公司产品、商品名[SKダイン1502C]、固体成分浓度为质量比的40％)，按照上述实施例1相同的方法制作双面粘合体。

2.石墨薄片层叠体的制备

以下的工序(1)-(5)，按照(1)(2)(3)(4)(3)(4)(3)(5)的顺序制备石墨薄片层叠体。具体来说，工序(1)-(4)完成后进行工序(3)和工序(4)，然后进行工序(3)和工序(5)，制备石墨薄片层叠体。下面对各工序进行具体的说明。

(1)将工序用粘合薄片(LINTEC公司产品，商品名为[有机硅粘合胶带CLEAER-PET50-06-50])的剥离薄片剥离，苦楚工序用粘合薄片的粘合面。所述的粘合面通过层压与石墨薄片贴合。

(2)将制备的双面粘合体的轻剥离型剥离薄片剥离，露出第1双面粘合薄片的粘合面。为了使第1双面粘合薄片露出的粘合面与工序用粘合薄片上的石墨薄片接触，双面粘合体与石墨薄片通过层压的方法贴合。

(3)将与石墨薄片贴合的双面粘合体的重剥离型剥离薄片剥离，露出第1双面粘合薄片的粘合面，露出的粘合面与石墨薄片再次贴合。此外，贴合时如果石墨薄片发生褶皱时，将石墨薄片从第1双面粘合薄片处剥离，将露出的粘合面再次贴合。但是，将石墨薄片从第1双面粘合薄片玻璃时可能会损坏石墨薄片。

(4)将制备得到的其它双面粘合体的轻剥离型剥离薄片剥离，露出第1双面粘合薄片的粘合面。第1双面粘合薄片的粘合面露出后，使用(3)的方法与石墨薄片接触，将双面粘合体与石墨薄片通过层压方法贴合。

(5)将第1保护薄片(LINTEC公司产品、商品名[有机硅粘合胶带CLEAER-PET50-06-50])的剥离薄片剥离，露出第1保护薄片的粘合面。第1保护薄片露出的粘合面与最外层的石墨薄片通过层压的方法贴合。因此，获得了附有第1保护薄片的石墨薄片层叠体。然后，采用与实施例1相同的方法，制造石墨薄片层叠体的个片化物，该个片化物的密封粘合薄片，以及个片化物密封粘合薄片的个片化物。

[2]评价

(1)第1粘合薄片的剥离力评价

将各实施例及各比较例的双面粘合体按照宽度25mm、长度100mm裁剪，剥离轻剥离型剥离薄片，露出第1双面粘合薄片(粘合剂层)的粘合面。露出的粘合剂层的粘合面与无碱玻璃(Corning公司产品，EagleXG)使用粘合剂粘合，获得测定样本。我们将获得的测定样本放置在拉力试验机中(ORIENTEC公司产品，テンシロン)，测定剥离速度300mm/min，剥离角度180度时重剥离型剥离薄片(第1剥离薄片)的剥离力(mN/25mm)。这里未提到的条件使用JISZ0237:2009的标准。

此外，上述测定样品还放置在60℃条件下进行加热，同样测定剥离力。

(2)双面粘合物的粘合力评价

<聚对苯二甲酸薄膜的附着力评价>

将各实施例及各比较例的双面粘合物的轻剥离型剥离薄片剥离，露出第1双面粘合薄片(粘合剂层)的粘合面。然后，分别准备一侧具有易粘合剂层的厚度25μm以及厚度100μm的聚对苯二甲酸乙酯薄膜(东洋纺公司产品，产品名为[PETA4100])。将厚度25μm的聚对苯二甲酸乙酯薄膜的易粘合剂层与上述双面粘合体的露出面接触，并在80℃加热层压，获得粘合物。将该粘合体按照长100mm、宽25mm剪裁，获得测定用样本。将获得的测定样本的重剥离型剥离薄片剥离，露出第1双面粘合薄片(粘合剂层)的粘合面。露出的粘合剂层的粘合面与聚对苯二甲酸乙酯薄膜(东洋纺公司产品，产品名为[PET4100])的易粘合层在室温层压。然后将上述聚对苯二甲酸乙酯薄膜(东洋纺公司产品，商品名为[PET4100]，厚度为100μm固定。将测定样品放置在拉力试验机中(ORIENTEC公司产品，テンシロン)，测定剥离速度300mm/min，剥离角度180度时聚苯二甲酸乙酯薄膜(厚度25μm)对支持双面粘合物的聚苯二甲酸乙酯薄膜(厚度100μm)的年合理(mN/25mm)。这里未提到的条件使用JISZ0237:2009的标准。

(3)Rework性(再剥离性)评价

各实施例以及各比较例的双面粘合物的轻剥离型剥离薄片剥离，露出第1双面粘合薄片(粘合剂层)的粘合面。然后准备一侧具有易粘合剂层的厚度为25μm的聚对苯二甲酸乙酯薄膜(东洋纺公司产品，产品名为[PETA4100])。为了使易粘合剂层与上述双面粘合物的露出面接触，将两者在80℃加热层压，获得粘合体。将所述粘合体按照长度100mm、宽度25mm裁剪，测定样本。另一方面，将石墨薄片通过粘合剂与玻璃板固定。

然后对获得的测定样本的重剥离型剥离薄片剥离，露出粘合面的粘合剂层。将露出的粘合剂层的粘合面与上述石墨薄片的玻璃板的反对侧面接触，在上述石墨薄片上配置测定样本，将他们在室温层压。然后将测定样本放置在拉力试验机中(ORIENTEC公司产品，テンシロン)，测定剥离速度300mm/min，剥离角度180度时测定聚对苯二甲酸乙酯薄膜支持的双面粘合体对石墨薄片的粘合力(mN/25mm)。这里未提到的条件使用JISZ0237:2009的标准。

表1内聚破坏所述的是实验中双面粘合体的粘合力过强对石墨薄片破坏，不能正确的测定年合理的数值。顺便提一下，能够计算出数值的各实施例的双面粘合体说明了测量能够被正确的完成。

(4)热粘合性评价

将各实施例以及各比较例的双面粘合体的轻剥离型剥离薄片剥离，露出第1双面粘合薄片。然后，准备一侧具有易粘合剂层的厚度为25μm的聚对苯二甲酸乙酯薄膜(东洋纺公司产品，商品名为[PETA4100])。将所述的易粘合剂层与上述双面粘合体的露出面接触，80℃加热层压获得贴合物。将所述贴合物按照长度100mm、宽度25mm裁剪，获得测定样本。

另一方面，将石墨薄片通过粘合剂与玻璃板固定。

然后将获得的测定样品的重剥离型剥离薄片剥离，露出第1双面粘合薄片(粘合剂层)的粘合面。将露出的粘合剂层的粘合面与上述石墨薄片的玻璃板的反对侧面接触，在上述石墨薄片上纺织测定样本，然后将他们在80℃加热层压。然后，将测定样本放置在在拉力试验机中(ORIENTEC公司产品，テンシロン)，测定剥离速度300mm/min，剥离角度180度时测定聚对苯二甲酸乙酯薄膜支持的双面粘合体对石墨薄片的粘合力(mN/25mm)。这里未提到的条件使用JISZ0237:2009的标准。

表1中所述的内聚破坏是双面粘合物的粘合力过强对实验中的石墨薄片造成破坏，不能正确的测定粘合力的数值。顺便提一下。被[内聚破坏]评价的双面粘合体，说明具有十分好的密闭性。

(5)层叠性评价

将个实施例以及各比较例的制造过程中，石墨薄片在层叠时50％以上概率状态不好用×表示，50-90％概率状态不佳用△，90％以上概率状态不佳用○表示。

(6)热传导性评价

将各实施例以及各比较例获得的石墨薄片层叠体的个片化物密封粘合薄片的个片化物的第2剥离薄片剥离，露出第2双面剥离薄片(粘合剂层)的粘合面。在粘合剂层的表面的中心，粘贴长宽1cm见方的热源(发热温度：80℃)。然后，热源对粘合剂层加热，在石墨薄片层叠体的个片化物密封粘合薄片的个片化物的热源的反对侧面(第2保护薄片用基本材料表面)的中心点及四周测定温度。

各实施例及参考例的石墨薄片层叠体的个片化物密封粘合薄片的个片化物(4个样本)在各测定点的温度最大值和最低值的差不到2℃记为○，2-15℃记为△，15℃以上记为×。

这些结果如表1所示。

【表1】

从表1可以明显发现，本发明中石墨薄片的第1双面粘合薄片即使粘贴失败，也可以对石墨薄片重新粘贴。此外，加热后的第1双面粘合薄片能够与石墨薄片紧密粘合，获得可靠性高的石墨薄片层叠体。与之相对，参考例并未获得令人满意的结果。

Claims (10)

1.一种石墨薄片层叠体的制造方法，其特征在于，包括以下工序：

准备工序：准备多个石墨薄片和多个双面粘合物，其中，所述双面粘合物由第1剥离薄片和第1双面粘合薄片组成；

第1层叠工序：将第1片所述石墨薄片(1A)和第1片所述双面粘合物(2A)的所述第1双面粘合薄片(22A)相接，使第1片所述双面粘合物(2A)层叠在第1片所述石墨薄片(1A)上；

第1加热工序：对第1片所述石墨薄片(1A)上层叠的第1片所述双面粘合物(2A)的所述第1双面粘合薄片(22A)进行加热；

剥离工序：将第1片所述双面粘合物(2A)的所述第1剥离薄片(21A)从第1片所述双面粘合物(2A)的所述第1双面粘合薄片(22A)上剥离；

第2层叠工序：将第2片所述石墨薄片(1B)层叠在第1片所述双面粘合物(2A)的剥离所述第1剥离薄片(21A)的所述第1双面粘合薄片(22A)露出的面上；

第3层叠工序：将第2片所述双面粘合物(2B)的所述第1双面粘合薄片(22B)与第2片所述石墨薄片(1B)相接，使第2片所述双面粘合物(2B)层叠在第2片所述石墨薄片(1B)上；

第2加热工序：在第2片所述石墨薄片(1B)的两面分别与第1片所述双面粘合物(2A)的所述第1双面粘合薄片(22A)和第2片所述双面粘合物(2B)的所述第1双面粘合薄片(22B)相接的状态下，对第2片所述双面粘合物(2B)的所述第1双面粘合薄片(22B)进行加热；

在所述第2加热工序后，对第2片所述双面粘合物(2B)依次重复执行以下工序：

所述剥离工序、所述第2层叠工序、所述第3层叠工序和所述第2加热工序。

2.根据权利要求1所述的石墨薄片层叠体的制造方法，其特征在于，所述的第1加热工序和第2加热工序的加热温度在40-180℃。

3.根据权利要求1所述的石墨薄片层叠体的制造方法，其特征在于，所述第1加热工序和所述第2加热工序加热后，使用JIS Z0237:2009的标准测定所述第1双面粘合薄片的第1剥离薄片层叠处粘合面的粘合力为10mN/25mm-4000mN/25mm、所述第1双面粘合薄片的粘合剂的玻璃转移温度在所述第1加热工序和第2加热工序的加热温度以下。

4.根据权利要求1所述的石墨薄片层叠体的制造方法，其特征在于，所述第1剥离薄片对所述的第1双面粘合薄片的剥离力在0.5mN/25mm-500mN/25mm。

5.根据权利要求1所述的石墨薄片层叠体制造方法，其特征在于，所述双面粘合薄片最初层叠的第1片所述石墨薄片(1B)放置在工序用粘合薄片上，用于第1层叠工序。

6.根据权利要求1所述的石墨薄片层叠体的制造方法，其特征在于，第4层叠工序按照所述剥离工序、所述第2层叠工序、所述第3层叠工序及所述第2加热工序反复操作后，所述剥离工序和所述第2层叠工序同样的工序，在最外层的所述石墨薄片上，第1保护薄片粘合剂层和第1保护薄片的基本材料构成第1保护薄片，所述最外层的所述石墨薄片与所述第一保护薄片粘合剂层接触后层叠。

7.一种石墨薄片层叠体，其特征在于，使用权利要求1或6所述的任意一种石墨薄片层叠体的制造方法进行制造。

8.一种石墨薄片层叠体的个片化物制造方法，其特征在于，将权利要求7所述的石墨薄片层叠体沿层叠方向裁剪，使其个片化，获得石墨薄片层叠体的个片化物。

9.一种石墨薄片层叠体的个片化物密封粘合薄片的制造方法，其特征在于，使用权利要求8所述的石墨薄片层叠体个片化物制造方法制造多个所述个片化物，按照指定间隔放置在第2双面粘合薄片露出面侧，

第2保护薄片的粘合剂层和第2保护薄片基本材料构成第2保护薄片，所述多个个片化物与所述第2保护薄片的粘合剂层接触后层叠，将所述多个个片化物密封。

10.一种石墨薄片层叠体密封粘合薄片的个片化物的制造方法，其特征在于，使用权利要求9所述的石墨薄片层叠物的个片化物密封粘合薄片制造方法获得所述石墨薄片层叠物的个片化物密封粘合薄片，将所述个片化物密封粘合薄片沿厚度方向剪裁，将所述各个片化物分离。

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