CN106003518A - 压缩成形装置、树脂材料供应方法及装置、压缩成形方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种压缩成形装置、树脂材料供应方法及装置、压缩成形方法，其能够将树脂材料均等地供应至腔室内。将树脂保持托盘21的具有槽缝状树脂保持部33的上槽缝板31与具有槽缝状开口部34及非开口部35的下槽缝板32重叠，且配置成下槽缝板32的非开口部35覆盖上槽缝板31的树脂保持部33，对该树脂保持部33供应颗粒状树脂。将该树脂保持托盘21配置于压缩成形装置的腔室121上，使下槽缝板32相对于腔室121往与槽缝状树脂保持部33的长边方向垂直的方向移动。由于下槽缝板32的开口部34相对于腔室121移动，因此树脂保持部33的颗粒状树脂被均等地供应至腔室121内。

Description

压缩成形装置、树脂材料供应方法及装置、压缩成形方法

技术领域

本发明涉及一种树脂密封半导体芯片等的电子零件的方法，尤其是关于一种为了压缩成形而将颗粒状、粉末状的树脂材料(以下，统称这些并简称为“树脂材料”)供应至膜具的腔室的方法及装置、以及压缩成形方法及压缩成形装置。

背景技术

随着电子零件的小型化及因此产生的半导体芯片等的接合线(bonding wire)的小径化，而逐渐地在电子零件的密封成形中使用压缩成形。在压缩成形中，对以脱模膜被覆的下模腔室供应树脂材料，加热熔解后，在与安装有装附电子零件的基板的上模之间进行合模(mold clamping)以压缩该树脂而由此进行成形。在这种压缩成形中，为了进行遍及大型基板整体无缺陷的成形，对腔室无过量或不足且均等地供应既定量的树脂材料是重要的。此外，若在对腔室供应的树脂材料的量存在不均匀性，则在进行合模时，于腔室内产生树脂材料的流动(移动)，将对电子零件基板的接合线等的配线造成不良影响。

为了对腔室均等地供应既定量的树脂材料，存在有以下的方法：并非从贮存树脂材料的供应部直接对腔室供应树脂材料，而是暂时将树脂材料供应至树脂托盘(tray)并达到均匀的厚度，之后，通过打开该树脂托盘下面的闸门(shutter)而使树脂材料一次地落至腔室的整面(专利文献1，段落[0004])。

然而，在该方法中，被发现有以下的倾向：在打开闸门时，树脂托盘内的树脂材料因与闸门的上面的摩擦而被拖曳(drag)，从而在最初开口的部分(中央部分)落下较少，在最后开口的部分(两端部分)落下较多(专利文献1，图6(1))。

对于电子零件的密封用树脂材料，存在有虽使用例如环氧树脂或硅树脂等(将这些称为基础树脂)，但除了这些基础树脂以外亦因各种用途不同而含有其他物质(将此称为填充材料)的情形。例如，以提高热传导率或降低热膨胀率等为目的而含有二氧化硅(silica)、(氧化硅)粉末或二氧化硅结晶等作为填充材料。当将这种树脂材料供应至例如已加热至170℃左右的下模时，虽熔融温度为170℃以下的热硬化性树脂的基础树脂熔融，但一部分填充材料(例如，若为二氧化硅，其熔点为1000℃以上)则维持固体状态。由于密封用树脂材料中的二氧化硅等填充材料的配合比(含有率)一般为60～80wt％，因此在将树脂材料供应至下模腔室时即使基础树脂熔融，树脂材料整体仍以某种程度维持供应时的形状。因此，在树脂材料以不均等状态供应至下模的情形时，一旦合模并进行密封成形，则产生树脂材料的流动(树脂从所供应的树脂量较多的部分往树脂量较少的部分流动)，从而电子零件受到不良影响(例如，接合线变形而线彼此接触，或者接合线断线等)。

因此，为了较均等地将树脂材料供应至腔室内，在专利文献1中，使用如图8所示的方法。亦即，在树脂托盘81设置多条槽缝(slit)状保持部82(图8是与槽缝状保持部82的长边方向垂直的面的剖面图，且示出3条槽缝状保持部82的剖面)，预先从供应部往该树脂托盘81的各槽缝状保持部82均等地供应树脂材料。然后，通过将树脂托盘81底部的闸门83往与该槽缝状保持部82的长边方向垂直的方向(在图8中为左右方向)打开，而使树脂材料从各槽缝状保持部82往腔室84内落下(将此方式称为槽缝·闸门方式)。

同样地，作为使用具有多条槽缝状保持部的树脂托盘的方法，亦有图9(a)和图9(b)所示的方法。在该方法中，以上托盘91与下托盘92构成树脂托盘90，两者形成有多个平行的槽缝。在该树脂托盘90中，上托盘91的槽缝93作为用于保持树脂的树脂保持部而发挥功能，下托盘92的槽缝94作为用于使被保持于上托盘91的槽缝93的树脂材料落下的开口而发挥功能。在上下托盘91、92的槽缝93、94完全地错开(亦即，下托盘92的非开口部封闭上托盘91的开口部)的状态下，预先对上托盘91的槽缝93供应树脂材料，并将该树脂托盘90配置在腔室95之上(图9(a))。之后，通过使上托盘91往与槽缝93垂直的方向移动，而使上托盘91的槽缝93内的树脂材料通过下托盘92的槽缝94而往腔室95内落下(图9(b)，将此方式称为上下槽缝方式)。

通过这种槽缝·闸门方式或上下槽缝方式，可解决腔室内的中央与端部中的树脂材料供应量的差异。此外，通过使槽缝的宽度变窄并使槽缝的数量变多，从而即便是较宽广的腔室亦能够大致均等地供应树脂材料。

专利文献1：日本特开2007-125783号公报。

发明内容

在上述的槽缝·闸门方式及上下槽缝方式中，均会在腔室的槽缝的开口部与非开口部的紧邻下方的树脂供应量产生差异。亦即，槽缝(在上述的上下槽缝方式的情形中为下托盘的槽缝)的非开口部的紧邻下方无论采用何种方式，其供应至腔室的树脂材料的量较开口部的下方少。这种倾向，在树脂密封封装的厚度小、腔室的每单位面积的树脂材料的供应量少时，更为明显。

本发明所欲解决的问题，在于提供一种能够将树脂材料均等地供应至腔室内的压缩成形装置的树脂材料供应方法及供应装置。

为了解决上述课题而完成的本发明的压缩成形装置的树脂材料供应方法，其特征在于：a)准备树脂保持托盘，该树脂保持托盘由具有多条平行的槽缝状树脂保持部的上槽缝板、与具有能够完全覆盖该树脂保持部的非开口部与槽缝状开口部的下槽缝板构成；b)以所述下槽缝板的非开口部覆盖所述上槽缝板的树脂保持部的方式，将所述下槽缝板配置在所述上槽缝板的下方；c)对所述上槽缝板的树脂保持部供应树脂材料；d)将所述上槽缝板的下面与所述下槽缝板的上面平行地保持，且使所述树脂保持部的长边方向与所述开口部的长边方向呈平行，同时使所述下槽缝板相对于所述压缩成形装置的腔室往与所述树脂保持部的长边方向垂直的方向移动。

在本发明的压缩成形装置的树脂材料供应方法中，由于并非如现有般固定下槽缝板，而是使下槽缝板相对于压缩成形装置的腔室移动，因此已供应、且贮留于上槽缝板的树脂保持部的树脂材料，在往压缩成形装置的腔室落下时，被进行移动的下槽缝板的开口部的壁面推压而落下在较宽的范围。由此，可解决下槽缝板被固定的现有方法的情形中所产生的在下槽缝板的开口部紧邻下方的位置较多、而在其以外的位置(非开口部的紧邻下方的位置)较少的不均匀性，能均等地将树脂材料供应至腔室内。

在本发明的压缩成形装置的树脂材料供应方法中，较佳为：使所述下槽缝板接触所述上槽缝板的下面，或者以至少树脂材料不会进入的程度的间隙接近。

在本发明的压缩成形装置的树脂材料供应方法中，使下槽缝板相对于压缩成形装置的腔室移动，此时上槽缝板可固定、亦可使其移动。

在已事先固定上槽缝板的情形时，通过使下槽缝板相对于腔室仅移动其开口部的一个间距(亦即，开口部的宽度+非开口部的宽度)的量，能够使被保持在上槽缝板的树脂保持部的树脂材料如上述般均等地往压缩成形装置的腔室落下。下槽缝板的移动速度，设定为在其移动的期间被保持在上槽缝板的树脂保持部的树脂材料全部落下的值或此值以下。该速度，可通过事前的实验而容易决定。

在使下槽缝板移动时亦使上槽缝板移动的情形时，较佳为：使上槽缝板往与下槽缝板相同的方向，以其(下槽缝板)的1.3倍至2.2倍的速度移动。在该情形，下槽缝板的移动速度，仍然与上述同样地，设定为在下槽缝板仅移动开口部的一个间距量的距离的期间，被保持在(以下槽缝板的1.3倍至2.2倍的速度移动的)上槽缝板的树脂保持部的树脂材料全部落下的值或此值以下。该速度，亦可通过事前的实验而容易决定。

不论何种移动方法，都是通过使下槽缝板以其开口部的一个间距量以上相对于腔室移动，而使被保持在上槽缝板的树脂保持部的树脂材料均等地往压缩成形装置的腔室落下。另外，下槽缝板的移动可仅以一个间距量单趟进行一次，亦可往返移动、或多个次的往返移动。通过使移动速度变大并进行多个次的往返移动，能够对腔室进行更均等的树脂材料供应。

此外，为了解决上述课题而完成的本发明的压缩成形装置的树脂材料供应装置，其特征在于，具备：a)树脂保持托盘，该树脂保持托盘由具有多条平行的槽缝状树脂保持部的上槽缝板、与具有能够完全覆盖该树脂保持部的非开口部与槽缝状开口部的下槽缝板构成；b)槽缝板移动机构，将所述上槽缝板的下面与所述下槽缝板的上面平行地保持，且使所述树脂保持部的长边方向与所述开口部的长边方向呈平行，同时使所述下槽缝板往与所述开口部的长边方向垂直的方向相对于所述压缩成形装置的腔室移动。

在所述压缩成形装置的树脂材料供应装置中，亦可为：所述槽缝板移动机构，在使所述下槽缝板移动时，使所述上槽缝板往与所述下槽缝板相同的方向移动。

在该情形，较佳为：所述槽缝板移动机构，使所述上槽缝板以使所述下槽缝板移动的速度的1.3倍至2.2倍的速度移动。

所述槽缝板移动机构，可为通过以一个驱动源所驱动的臂机构使上槽缝板与下槽缝板连动地作动。

或者，亦可为：分别以个别的驱动源驱动所述上槽缝板与所述下槽缝板。

根据本发明的压缩成形装置的树脂材料供应方法及树脂材料供应装置，由于并非如现有般固定下槽缝板，而是使下槽缝板相对于压缩成形装置的腔室移动，因此已供应、且贮留于上槽缝板的槽缝状树脂保持部的树脂材料，在往腔室落下时，能够解决在下槽缝板的槽缝状开口部紧邻下方的位置较多、而在其以外的位置(非开口部的紧邻下方的位置)较少的不均匀性，而均等地将树脂材料供应至压缩成形装置的腔室。

附图说明

图1(a)-图1(f)，是用于说明使用本发明的树脂材料供应装置的第一实施例进行压缩成形的顺序(a)～(f)的步骤图。

图2(a)-2(c)，分别是该实施例的树脂材料供应装置的树脂保持托盘的立体图、剖面图、及显示将颗粒状树脂投入槽缝的状态的俯视图。

图3，是用于说明通过该实施例的树脂材料供应装置供应颗粒状树脂至腔室的顺序的流程图。

图4(a)和图4(b)，是显示该实施例的从树脂保持托盘将颗粒状树脂供应至腔室的情形的说明图，其中，图4(a)显示颗粒状树脂被保持于各槽缝内的情形，图4(b)显示颗粒状树脂往腔室底部构件的上面落下的情形。

图5(a)和图5(b)，分别是显示本发明的树脂材料供应装置的第二实施例的概略图、及其变形例的概略图。

图6，是用于说明通过该实施例的树脂材料供应装置供应颗粒状树脂至腔室的顺序的流程图。

图7(a)和图7(b)，是显示该实施例的从树脂保持托盘将颗粒状树脂供应至腔室的情形的说明图，其中图7(a)表示将颗粒状树脂供应至腔室前的状态的概略剖面图，图7(b)放大表示将颗粒状树脂供应至腔室的情形的概略剖面图。

图8，是显示通过现有的槽缝·闸门方式将树脂材料供应至腔室的状态的说明图。

图9(a)和图9(b)，是显示通过现有的上下槽缝方式将树脂材料供应至腔室的状态的说明图，其中，图9(a)显示在上下托盘的槽缝完全地错开的状态下，预先对上托盘的槽缝供应树脂材料，并将该树脂托盘配置在腔室之上的情形；图9(b)显示通过使上托盘往与槽缝垂直的方向移动而使上托盘的槽缝内的树脂材料通过下托盘的槽缝而往腔室内落下的情形。

附图标记说明：

10：压缩成形装置

11：上模

111：基板设定部

12：下模

121：腔室

123：腔室底部构件

124：腔室底部构件的上面

13：中间板

15：基板

16：脱模膜

20、50：树脂材料供应装置

21：树脂保持托盘

22、51：槽缝板移动机构

23：基座台

31：上槽缝板

33：槽缝(树脂保持部)

32：下槽缝板

34：槽缝(开口部)

34a：侧壁

35：非开口部

40：树脂供应机构

41：漏斗

42：线性给料器

42a：供应口

52：旋转板

53：臂

54：上连杆

55：下连杆

56：马达

81：树脂托盘

82：槽缝状保持部

83：闸门

84：腔室

90：树脂托盘

91、101：上托盘

92、102：下托盘

93、94、103：槽缝

95、105：腔室

D1、D2：驱动源。

具体实施方式

(第一实施例)

针对使用本发明的树脂材料供应装置20的第一实施例的电子零件的压缩成形的顺序，一边参照图1(a)至图1(f)一边进行说明。此处所使用的压缩成形装置10的模具是由上模11、下模12、及中间板13构成，下模12的腔室121在俯视观察下呈矩形。另外，腔室的俯视形状即使是三角形、正方形、菱形、椭圆形、圆形等亦可不变地适用于本发明。树脂材料供应装置20，具备由上下槽缝板构成的树脂保持托盘21、及使树脂保持托盘21的各槽缝板移动的槽缝板移动机构22。关于树脂材料供应装置20将于下面详细说明。另外，在本实施例中，虽使用颗粒状树脂作为树脂材料，但只要可投入于树脂保持托盘21、且可从槽缝供应至腔室，则亦可为粉末状等其他形态。

首先，将装附有电子零件的基板15，以其装附面朝下的状态设定于上模11的基板设定部111(图1(a))。在此之前或之后，使跨越下模12而设置的供应侧与卷取侧的脱模膜滚筒旋转，将从供应侧的脱模膜滚筒引出的新的脱模膜16铺设于下模12的腔室121上方。接着，在固定有中间板13的状态下，使下模12上升，隔着脱模膜16使中间板13与下模12的压膜件122抵接。进一步地，在固定有中间板13的状态下，通过使下模12上升而将中间板13与下模12的压膜件122的抵接面相对于腔室121往下压。腔室121上的脱模膜16，通过将中间板13与下模12的压膜件122的抵接面往下压而铺设。然后，通过从腔室121侧吸引脱模膜16，而以脱模膜16被覆腔室121(图1(a)、图1(b))。

将保持颗粒状树脂的树脂保持托盘21，如图1(b)所示般配置在腔室121上，将颗粒状树脂供应至腔室121内(图1(c))。在通过下模12的热熔融颗粒状树脂(图1(d))后，使下模12往上模11接近，使电子零件浸渍在已熔融的树脂，并且通过腔室底部构件123按压树脂(图1(e))。在树脂硬化后，通过打开上模11与下模12及中间板13，而可得到电子零件的树脂密封成形品(图1(f))。

接着，针对本实施例的树脂材料供应装置20，一边参照图2(a)至图2(c)、图3一边详细地进行说明。

树脂保持托盘21，如图2(a)及(b)所示，由上槽缝板31与下槽缝板32构成。上槽缝板31与下槽缝板32，分别具有8条相同长度、宽度及间隔的槽缝33、34。另外，在各个上槽缝板31与下槽缝板32中，槽缝的宽度与相邻槽缝之间的非开口部的宽度亦可不同。此外，槽缝33、34的数量当然不限定为8条。进一步地，下槽缝板32的槽缝34，亦可大于上槽缝板31的槽缝33。上槽缝板31的槽缝33作为树脂保持部而发挥作用，下槽缝板32的槽缝34作为用于使被保持在树脂保持部(上槽缝板31的槽缝33)的颗粒状树脂落下的开口而发挥作用。而且，下槽缝板32的相邻槽缝34间的非开口部35，作为封闭上槽缝板31的槽缝33的闸门而发挥作用。在初始状态中，树脂保持托盘21，以上槽缝板31的所有槽缝33被下槽缝板32的非开口部35完全地封闭的方式，将上槽缝板31与下槽缝板32重叠(图2(b)、图2(c))。

在树脂保持托盘21设置有槽缝板移动机构22，槽缝板移动机构22，在树脂保持托盘21的下槽缝板32的上面与上槽缝板31的下面维持相接的状态、且维持平行地保持两槽缝板31、32的槽缝33、34的状态下，使其往与所述槽缝33、34的长边方向垂直的方向移动。在本实施例中，槽缝板移动机构22仅使树脂保持托盘21的下槽缝板32移动。作为槽缝板移动机构22的驱动源，可使用马达或气缸、油压汽缸等。

使用本树脂材料供应装置20将颗粒状树脂供应至腔室内时的各部的动作，如以下说明(图3)。

首先，对树脂保持托盘21的上槽缝板31的8条槽缝(树脂保持部)33，大致均匀地投入适当量的颗粒状树脂(步骤S11)。该颗粒状树脂的投入，例如，可使用如图2(c)所示般的树脂供应机构40而进行。在该树脂供应机构40包含漏斗(hopper)41与线性给料器(linearfeeder)42，使收容于漏斗41的颗粒状树脂，通过以既定频率振动的线性给料器42而以既定流量从线性给料器前端的供应口42a落下，同时使树脂保持托盘21以既定速度移动于载置的载置台，对槽缝33均匀地投入颗粒状树脂。另外，在树脂保持托盘21相对于线性给料器42的长度较大的情形时，亦可将树脂保持托盘21分成多个区域，对各个区域分别投入颗粒状树脂。在图2(c)中，由于线性给料器42的长度l短于树脂保持托盘21的长度w，因此将树脂保持托盘21分成2个区域，在对一方的区域投入颗粒状树脂后，使载置台旋转180°，对另一方的区域投入颗粒状树脂。

使在上槽缝板31的槽缝33保持有颗粒状树脂的树脂保持托盘21，与槽缝板移动机构22一起往压缩成形装置10的被覆有脱模膜16的腔室121上移动。在树脂保持托盘21的下面，设置具有与腔室121相同的开口的基座台23，且构成为树脂保持托盘21可在基座台23上移动。通过将该基座台23载置于腔室121的周缘，而将树脂保持托盘21配置在紧邻腔室121的上方(步骤S12，图1(b))。另外，基座台23的开口，与腔室121的开口相同，亦可较腔室121的开口稍小。

之后，通过槽缝板移动机构22，使下槽缝板32如上所述般，以维持与上槽缝板31的下面相接的状态、且维持平行地保持两槽缝板31、32的槽缝33、34的状态下，以既定速度往与所述槽缝33、34的长边方向垂直的方向移动(步骤S13)。

通过图4(a)和图4(b)说明此时的颗粒状树脂从树脂保持托盘21往腔室121落下的情形。首先，上槽缝板31的各槽缝33，通过下槽缝板32的各非开口部35而封闭，各槽缝33内的颗粒状树脂被保持于该处(图4(a))。从该状态起，当在维持使上槽缝板31相对于腔室121停止且仅使下槽缝板32移动时，上槽缝板31的槽缝33即通过下槽缝板32的槽缝(开口部)34而缓缓地开放，槽缝33内的颗粒状树脂缓缓地往腔室底部构件123的上面124落下(图4(b))。与上述现有的上下槽缝方式的情形不同，在本实施例中，由于下槽缝板32、亦即颗粒状树脂落下的槽缝(开口部)34移动，因此尤其是在后半部分落下的颗粒状树脂，受到移动的下槽缝板32的槽缝34的侧壁34a(后侧的壁。在图4(b)中为左侧的壁)推压，而散布于较广的范围。由此，颗粒状树脂被均匀地供应至腔室121上。

下槽缝板32，可仅以槽缝34的一个间距(＝槽缝34的宽度+非开口部35的宽度)的量移动，亦可多次往返。不论是哪一种情形，使下槽缝板32移动的速度，设定成被保持于槽缝(树脂保持部)33的颗粒状树脂在这样的移动期间全部落下的程度的值。该速度，预先通过实验而求出。

在使下槽缝板32以上述方式移动后，停止槽缝板移动机构22(步骤S14)。

(第二实施例)

通过图5(a)，说明本发明的压缩成形装置的树脂材料供应装置的第二实施例。在本实施例的树脂材料供应装置50中，构成树脂保持托盘21的上槽缝板31与下槽缝板32是与第一实施例相同，但槽缝板移动机构则不相同。该槽缝板移动机构51的构成，为不仅使下槽缝板32移动，亦使上槽缝板31往与下槽缝板32相同的方向，以下槽缝板32的2倍速度移动。

本实施例的槽缝板移动机构51，包含一个旋转板52、安装于该旋转板52的一个臂53、及驱动旋转板52的马达56。如图5(a)所示，在与旋转板52的旋转轴相距距离L的位置将下槽缝板32通过下连杆55连接于臂53，在与旋转轴相距距离2L的位置将上槽缝板31通过上连杆54连接于臂53。另外，亦可使旋转板52与臂53一体化。此外，亦可将旋转板52设成旋转棒，在该旋转棒安装多个臂53，通过多个平行的连杆驱动上槽缝板31与下槽缝板32。

使用本树脂材料供应装置50将颗粒状树脂供应至腔室121的情形时的各部的动作，如以下说明。

首先，与步骤S11同样地，对树脂保持托盘21的上槽缝板31的8条槽缝33均匀地投入适当量的颗粒状树脂(步骤S21，图7(a))。使该树脂保持托盘21与槽缝板移动机构51一起往腔室121上移动，在载置于腔室121周围的脱模膜16上的基座台23载置树脂保持托盘21(步骤S22)。

之后，通过马达56使旋转板52以既定速度旋转，使两槽缝板31、32，在维持相互接触、且维持平行地保持两槽缝板31、32的槽缝33、34的状态下，往与所述槽缝33、34的长边方向垂直的方向移动(步骤S23)。此时，由于从旋转轴起至上槽缝板31的连接部位的距离，为至下槽缝板32的连接部位的距离的2倍，因此上槽缝板31以下槽缝板32的速度v的2倍的速度2v移动。

通过图7(a)和图7(b)说明此时的颗粒状树脂从树脂保持托盘21往腔室121落下的情形。首先，上槽缝板31的各槽缝33，通过下槽缝板32的各非开口部35而封闭，各槽缝33内的颗粒状树脂被保持于该处(图7(a))。从该状态起，当使下槽缝板32以速度v移动，并使上槽缝板31以其2倍的速度2v移动时(图7(b))，如第一实施例般，除了通过下槽缝板32的开口部34的移动而分散颗粒状树脂的落下部位的效果外，亦通过使上槽缝板31移动，而在下槽缝板32的槽缝34的移动期间，从上槽缝板31的槽缝(树脂保持部)33遍及其全部范围地供应颗粒状树脂，因此能够获得将颗粒状树脂更均匀地供应至腔室121上的效果。

亦在本实施例的情形，下槽缝板32可仅以槽缝(开口部)34的一个间距(＝槽缝34的宽度+非开口部35的宽度)的量移动(此情形下，上槽缝板31以槽缝33的2个间距的量移动)，亦可多次往返。不论是哪一种情形，使两槽缝板31、32移动的速度，设定成被保持于槽缝33的颗粒状树脂在这样的移动期间全部落下的程度的值。具体而言，上槽缝板31的移动速度，较佳为设定成下槽缝板32的移动速度的1.3倍至2.2倍。若上槽缝板31相对于下槽缝板32的移动速度较此更快，则成为上槽缝板31的槽缝(树脂保持部)33通过下槽缝板32的槽缝(开口部)34至下槽缝板32的非开口部35，因此即使完全地闭锁，在槽缝(树脂保持部)33内仍残留颗粒状树脂的状态，无法进行均匀的树脂供应。另一方面，当上槽缝板31相对于下槽缝板32的移动速度较上述范围慢时，在上槽缝板31的槽缝(树脂保持部)33通过下槽缝板32的槽缝(开口部)34之前，槽缝(树脂保持部)33内的颗粒状树脂即已全部落下，成为未对其之后的腔室上(腔室底部构件123的上面124)的部分供应颗粒状树脂，因此在此情形亦无法进行均匀的颗粒状树脂的供应。

另外，上槽缝板31与下槽缝板32的移动速度，考虑到上述般的情况，亦可预先通过实验而求出。

在使上下槽缝板31、32移动既定的距离或次数后，停止马达56(步骤S24)。

上述实施例的树脂材料供应装置为本发明的一例，可在本发明的范围内适当地进行变形或修正、追加。例如，在上述第二实施例中，虽使用旋转臂机构作为槽缝板移动机构，但如图5(b)所示，亦可个别地设置使上槽缝板31、下槽缝板32分别以既定速度移动的驱动源D1、D2。作为所述驱动源D1、D2，可使用马达、气缸、油压汽缸等。

此外，在上述实施例中，虽使用颗粒状树脂作为树脂材料，但即便是粉末状树脂，亦可使用同样的装置、方法。

Claims (14)

1.一种压缩成形装置的树脂材料供应方法，其特征在于：

a)准备树脂保持托盘，该树脂保持托盘由具有多条平行的槽缝状树脂保持部的上槽缝板、与具有能够完全覆盖该树脂保持部的非开口部与槽缝状开口部的下槽缝板构成；

b)以所述下槽缝板的非开口部覆盖所述上槽缝板的树脂保持部的方式，将所述下槽缝板配置在所述上槽缝板的下方；

c)对所述上槽缝板的树脂保持部供应树脂材料；

d)将所述上槽缝板的下面与所述下槽缝板的上面平行地保持，且使所述树脂保持部的长边方向与所述开口部的长边方向呈平行，同时使所述下槽缝板相对于所述压缩成形装置的腔室往与所述树脂保持部的长边方向垂直的方向移动。

2.根据权利要求1所述的压缩成形装置的树脂材料供应方法，其中，所述下槽缝板接触所述上槽缝板的下面。

3.根据权利要求1或2所述的压缩成形装置的树脂材料供应方法，其中，在使所述下槽缝板移动的期间，固定所述上槽缝板。

4.根据权利要求1或2所述的压缩成形装置的树脂材料供应方法，其中，在使所述下槽缝板移动的期间，亦使所述上槽缝板移动。

5.根据权利要求4所述的压缩成形装置的树脂材料供应方法，其中，使所述上槽缝板往与所述下槽缝板相同的方向，以所述下槽缝板的1.3倍至2.2倍的速度移动。

6.一种压缩成形装置的树脂材料供应装置，其特征在于，具备：

a)树脂保持托盘，该树脂保持托盘由具有多条平行的槽缝状树脂保持部的上槽缝板、与具有能够完全覆盖该树脂保持部的非开口部与槽缝状开口部的下槽缝板构成；

b)槽缝板移动机构，将所述上槽缝板的下面与所述下槽缝板的上面平行地保持，且使所述树脂保持部的长边方向与所述开口部的长边方向呈平行，同时使所述下槽缝板相对于所述压缩成形装置的腔室往与所述开口部的长边方向垂直的方向移动。

7.根据权利要求6所述的压缩成形装置的树脂材料供应装置，其中，所述下槽缝板接触所述上槽缝板的下面。

8.根据权利要求6或7所述的压缩成形装置的树脂材料供应装置，其中，所述槽缝板移动机构，在使所述下槽缝板移动的期间，固定所述上槽缝板。

9.根据权利要求6或7所述的压缩成形装置的树脂材料供应装置，其中，所述槽缝板移动机构，在使所述下槽缝板移动的期间，亦使所述上槽缝板往与所述下槽缝板相同的方向移动。

10.根据权利要求9所述的压缩成形装置的树脂材料供应装置，其中，所述槽缝板移动机构，使所述上槽缝板以所述下槽缝板的1.3倍至2.2倍的速度移动。

11.根据权利要求10所述的压缩成形装置的树脂材料供应装置，其中，所述槽缝板移动机构使用旋转臂机构。

12.根据权利要求10所述的压缩成形装置的树脂材料供应装置，其中，所述槽缝板移动机构，在所述上槽缝板与所述下槽缝板分别具备驱动源。

13.一种压缩成形方法，其特征在于，通过以下动作，将树脂材料供应至腔室：

a)准备树脂保持托盘，该树脂保持托盘由具有多条平行的槽缝状树脂保持部的上槽缝板、与具有能够完全覆盖该树脂保持部的非开口部与槽缝状开口部的下槽缝板构成；

b)以所述下槽缝板的非开口部覆盖所述上槽缝板的树脂保持部的方式，将所述下槽缝板配置在所述上槽缝板的下方；

c)对所述上槽缝板的树脂保持部供应树脂材料；

d)将所述上槽缝板的下面与所述下槽缝板的上面平行地保持，且使所述树脂保持部的长边方向与所述开口部的长边方向呈平行，同时使所述下槽缝板相对于压缩成形装置的所述腔室往与所述树脂保持部的长边方向垂直的方向移动。

14.一种压缩成形装置，其特征在于，包含树脂材料供应装置，该树脂材料供应装置具备：

a)树脂保持托盘，该树脂保持托盘由具有多条平行的槽缝状树脂保持部的上槽缝板、与具有能够完全覆盖该树脂保持部的非开口部与槽缝状开口部的下槽缝板构成；

b)槽缝板移动机构，将所述上槽缝板的下面与所述下槽缝板的上面平行地保持，且使所述树脂保持部与所述开口部呈平行，同时使所述下槽缝板相对于所述压缩成形装置的腔室往与所述开口部的长边方向垂直的方向移动。