CN105842256A - 透明板检查装置及透明板清扫检查系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供透明板检查装置及透明板清扫检查系统，能够在异物难以附着于透明板的状态下检查透明板并能够进行正确地检查。透明板检查装置，用于检查透明板，其特征在于包括：壳体，具有所述透明板的输入口和输出口；输送机构，将所述透明板从所述输入口输送到所述输出口；检查部，检查被所述输送机构输送的所述透明板；以及异物附着阻止机构，在所述壳体的内部阻止异物附着于所述透明板。所述异物附着阻止机构具有使所述壳体的内压高于外部气压的加压机构。所述加压机构具有：将所述壳体的外部空气向所述壳体的内部送入的送入机构、和屏蔽被所述送入机构输送的空气中含有的异物向所述壳体的内部侵入的过滤器。所述加压机构设于所述壳体的上部。

Description

透明板检查装置及透明板清扫检查系统

技术领域

本发明涉及透明板检查装置及透明板清扫检查系统。

背景技术

在移动电话或智能手机等方面使用玻璃基板。玻璃基板通过玻璃基板的制造装置制造。当制造玻璃基板时，有时在玻璃基板的表面附着由于切削而产生的玻璃粉等。此外，在玻璃基板的输送中也担忧有尘埃附着。为了除去这些玻璃粉或尘埃等，需要清扫玻璃基板的表面。作为清扫这样的玻璃基板表面的装置，提出了在已敷于传送带上的干净的布上承载透明板，并通过含有乙醇的布拂拭透明板的整个上表面的污渍的清扫装置(中国专利申请公开第102698988号)。这样清扫的玻璃基板有时通过检查装置检查表面有无损伤或破损且是否附着有异物。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：中国专利申请公开第102698988号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

然而，当清扫玻璃基板后向检查装置输送时，玻璃基板上异物有可能附着。此外，在检查装置内部，为了使玻璃基板的输送机构或检查机构等进行动作，则那些机构所使用的构件会互相摩擦，因此导致有可能在检查装置内部非常微小的异物附着于玻璃基板。在这样的情况下，存在仅由于在玻璃基板附着有这样的异物而导致玻璃基板被判定为残次品、并使残次品率上升的担忧。

在此，本发明要解决的技术问题是提供能够在异物难以附着于透明板的状态下检查透明板并能够进行正确地检查的透明板检查装置及透明板清扫检查系统。

用于解决技术问题的技术方案

用于解决所述技术问题而完成的发明是一种检查透明板的透明板检查装置，其特征在于，包括：

壳体，具有所述透明板的输入口和输出口；

输送机构，将所述透明板从所述输入口输送到所述输出口；

检查部，检查被所述输送机构输送的所述透明板；以及

异物附着阻止机构，在所述壳体的内部阻止异物附着于所述透明板。

该透明板检查装置通过检查部检查由所述输送机构在壳体的内部被输送的透明板。当进行该检查时，壳体的内部通过异物附着阻止机构准确地阻止异物附着于透明板，因此能够进行正确地检查。

所述异物附着阻止机构可以具有提高所述壳体的内压的加压机构。由此，由于加压机构提高了壳体的内压，因此，空气难以从壳体的外部流入内部，并且能够准确地阻止从壳体的外部向内部的异物侵入，并准确地防止在壳体内异物附着于透明板。

所述加压机构可以具有：将所述壳体的外部空气向所述壳体的内部送入的送入机构、和屏蔽被所述送入机构输送的空气中含有的异物向所述壳体的内部侵入的过滤器。由此，能够通过由送入机构送入的空气来提高壳体的内压，此外，由于该送入的空气中的异物能够通过过滤器来阻止向壳体内部的侵入，因此，能够阻止通过送入机构向壳体内部的异物的侵入。

所述加压机构的所述送入机构可以向所述透明板上供给空气，使被所述输送机构输送的所述透明板上附着的异物流动。通过由送入机构向透明板表面供给空气，则能够阻止异物向透明板的附着。

所述加压机构可以设置在所述壳体的上部。由此，通过由设置在壳体上部的加压机构向壳体的内部即下方加压，从而能够提高壳体的内压。

所述异物附着阻止机构可以具有设置在所述壳体的内部、且从所述输入口及/或所述输出口向所述壳体的外部排出空气的送出机构。由此，通过送出机构在输入口附近从壳体的内部朝向外部排风，从而能够准确地阻止异物从输入口侵入。

所述输送机构可以以不接触所述透明板的表面和背面的方式来输送所述透明板。通过如此的输送机构在不接触透明板的表面的状态下输送透明板，通过输送机构能够准确地阻止污渍或异物向透明板的表面和背面附着，从而可以进行正确地检查。该输送机构可以通过与所述透明板的端缘接触来保持透明板。由于，输送机构在不接触透明板的表面和背面的状态下输送透明板，并能够准确地阻止由输送机构导致污渍或异物向透明板的表面和背面附着。

所述输送机构优选包括：第一输送构件，在接触所述透明板的端缘的同时进行输送；上升构件，与所述透明板的端缘接触的同时承接被所述第一输送构件输送来的所述透明板，并使该透明板上升；以及第二输送构件，与所述透明板的端缘接触的同时承接被所述上升构件上升的所述透明板，并向所述检查部的检查区域输送该透明板。

由此，通过第一输送构件输送透明板，并将由该第一输送构件输送的透明板传递到上升构件，使被上升构件保持的透明板上升，将该被上升的透明板从上升构件通过第二输送构件而传递，能够通过检查部检查被该第二输送构件输送的透明板。第一输送构件、上升构件及第二输送构件如上所述与透明板的端缘接触，由于能够在不接触透明板的表面和背面的状态下保持透明板，因此能够准确地阻止通过第一输送构件、上升构件以及第二输送构件而向透明板的表面和背面附着污渍或异物。此外，在检查部的检查区域中，由于输送通过由第二输送构件和端缘接触而被保持的透明板，因此透明板的上表面侧和下表面侧的其它构件不妨碍检查部的检查，可以进行各种检查，从而能够实现检查精度的提高。

所述上升构件可以包括：吸引从所述第一输送构件输送来的所述透明板的上表面的吸引部、和通过接触吸引于所述吸引部的所述透明板的上端缘来定位所述透明板的高度位置的多个定位部，所述多个定位部具有与所述透明板的端缘接触的锥面，以阻止所述吸引部与所述透明板的上表面接触。由此，从第一输送构件被输送的透明板通过吸引部吸引上表面，则端缘和多个保持部的锥形面接触，并通过该多个保持部的锥形面和端缘的接触而被准确地保持。

所述输送机构可以具有与所述透明板的端缘接触的一对传送带，该一对所述传送带的与所述透明板的接触面向彼此相对侧倾斜。由此，在使透明板的端缘接触的状态下，可以将透明板承载于向彼此相对侧倾斜的一对传送带的接触面，从而能够不接触透明板的表面和背面来输送透明板。

所述输送机构包括与所述透明板的端缘接触并从两侧夹着所述透明板的至少一对把持部。由此，使一对把持部和透明板的端缘接触，通过由一对把持部从两侧夹入透明板，则能够不与透明板的表面和背面接触来输送透明板。

用于解决所述技术问题而完成的另一个发明是透明板清扫检查系统，包括：

异物除去机构，除去附着于透明板的异物；以及

由所述机构构成的所述透明板检查装置，检查已被所述异物除去机构除去异物的所述透明板。

该透明板清扫检查系统由于能够通过该透明板检查装置检查被异物除去机构除去异物的透明板，因此能够进行正确地检查。

如此所述透明板清扫检查系统还包括清扫所述透明板的表面和/或背面的清扫装置。由此，能够通过该透明板检查装置检查由清扫装置清扫表面和/或背面的透明板，因此能够进行正确地检查。

用于解决所述技术问题而完成的另一个发明是透明板清扫检查系统，包括：

清扫装置，清扫透明板的表面和/或背面；以及

由所述机构构成的所述透明板检查装置，检查已被所述清扫装置清扫的所述透明板。

这样的该透明板清扫检查系统能够通过该透明板检查装置检查由所述清扫装置清扫表面和/或背面的透明板，因此能够进行正确地检查。

用于解决所述技术问题而完成的另一个发明是透明板清扫检查系统，包括：

第一清扫装置，清扫透明板的第一面；

翻转装置，使从该第一清扫装置输出的所述透明板翻转；

第二清扫装置，边输送已被所述翻转装置翻转的所述透明板的同时，边清扫所述透明板的第二面；以及

由所述机构构成的所述的透明板检查装置，检查已被所述第一清扫装置和所述第二清扫装置清扫过两面的所述透明板。

该透明板清扫检查系统通过翻转由第一清扫装置清扫第一面的透明板的同时，并输送到第二清扫装置，则能够高效地清扫透明板的两面，并能够通过该透明板检查装置检查这种两面已被清扫的透明板。

需要说明的是，透明板的“表面”和“背面”是指透明板的平面部且彼此相对的面。透明板的“端缘”是指透明板的周缘，“端缘”包括透明板的平面部与周缘的边界部分。透明板的“上表面”是指在输送状态下表面和背面中朝向上方的表面。“第一面”是指表面和背面中的一个面，“第二面”是指表面和背面中的另一个面，并且是第一面的相反一侧的面。

发明的效果

本发明的透明板检查装置及透明板清扫检查系统能够在异物难以附着于透明板的状态下检查透明板，并能够进行正确地检查。

附图说明

图1是示出本发明的一个实施方式的透明板清扫检查系统的示意性侧视图。

图2是图1的透明板清扫检查系统的第一清扫装置的示意性侧视图。

图3是图2的第一清扫装置的按压头的示意性侧视图。

图4是示出图1的透明板清扫检查系统的翻转装置的示意性俯视图。

图5是图4的翻转装置的示意性侧视图。

图6是图1的透明板清扫检查系统的透明板检查装置的示意性侧视图。

图7的(A)和(B)是图6的透明板检查装置的输送机构的第一输送构件的说明图，图7的(A)是示意性正面图，图7的(B)是示意性俯视图。

图8的(A)至(C)是图6的透明板检查装置的输送机构的上升构件的说明图，图8的(A)是示意性后视图，图8的(B)是示意性仰视图，图8的(C)是示意性侧视图。

图9的(A)和(B)是图6的透明板检查装置的输送机构的第二输送构件的说明图，图9的(A)是示意性仰视图，图9的(B)是示意性主视图。

具体实施方式

下面，参照适当附图，并对本发明的实施方式进行详细说明。首先，参照图1至图9，并对包括本发明的第一实施方式的透明板检查装置的透明板清扫检查系统1进行说明。

[第一实施方式]

图1的透明板清扫检查系统1是用于对在例如智能手机所使用的玻璃盖或触摸屏等的透明板P进行清扫并检查的系统。更具体而言，本实施方式的透明板清扫检查系统1是自动地清扫透明板P的两面(第一面p1和第二面p2(清扫面))的同时，并除去附着于透明板P的异物，并进一步检查损伤或破损等的透明板P的缺陷的系统。在本实施方式中是如所述透明板那样的薄板状物，清扫面是该薄板状物的两面。

该透明板清扫检查系统1包括：输送透明板P并清扫该透明板P的第一面p1的第一清扫装置10A、使从该第一清扫装置10A输出的透明板P翻转的翻转装置30、输送被该翻转装置30翻转的透明板P并清扫该透明板P的第二面p2(第一面p1的相反面)的第二清扫装置10B、能够除去附着于从该第二清扫装置10B输出的透明板P的第一面p1和第二面p2的异物的异物除去装置50、和检查从所述异物除去装置50排出的透明板P的透明板检查装置70。需要说明的是，如图1所示，第一清扫装置10A的透明板P的输送方向X和第二清扫装置10B的透明板P的输送方向X在同一方向上。在此，输送方向X是从第一清扫装置10A朝向第二清扫装置10B的方向。此外，本实施方式的透明板清扫检查系统1具有向第一清扫装置10A供给透明板P的装载装置90。

本实施方式的透明板清扫检查系统1还包括控制各种装置的动作的控制装置(未图示)。

<清扫装置>

所述第一清扫装置10A和所述第二清扫装置10B包括一个方向(输送方向X)输送透明板P的输送机构11、以及使被该输送机构11输送的透明板P的清扫面与长条状的清扫布C的一部分接触而输送应清扫清扫面的清扫布的送给机构25。具体而言，如图2及图3所示，第一清扫装置10A和第二清扫装置10B(参照图1)具有输送透明板P的输送机构11、接触透明板P的长条状的清扫布C、用于将清扫布C向透明板P按压的两个按压头13、输送清扫布C的送给机构25(参照图1)、以及向清扫布C供给洗净液的洗净液供给机构28。该输送机构11、按压头13、送给机构25以及洗净液供给机构28被所述控制装置控制动作。需要说明的是，第一清扫装置10A和第二清扫装置10B是如后所述的一部分的机构(例如承载用长条薄片)不同，其它部分具有相同机构。此外，第一清扫装置10A以及第二清扫装置10B具有内置输送机构11、清扫布C、按压头13、送给机构25以及洗净液供给机构28的壳体10h。该壳体10h(参照图1)具有透明板P的输入口以及输出口(未图示)，该输入口以及输出口之外设置为密闭状态，因此第一清扫装置10A及第二清扫装置10B的透明板P的清扫在大致密闭状态下进行，防止包含于外部空气的尘埃等附着于透明板P。需要说明的是，该壳体10h设置有用于维护等的开闭门(未图示)。

(输送机构)

输送机构11是将作为清扫对象物的透明板P向输送方向X输送的机构。输送机构11是向透明板P的平面方向输送作为薄板状物的透明板P，具体而言，在本实施方式中，输送机构11以清扫面(第一面p1以及第二面p2)朝向上方的状态承载透明板P，向沿着水平面的方向中的一个方向输送的机构。需要说明的是，“向平面方向输送”是指沿着透明板P的清扫面(所述第一面p1以及第二面p2)的方向中的一个方向输送。

第一清扫装置10A的输送机构11以承载透明板P，即与位于透明板P的下侧的面(第二面p2(为清扫对象的第一面p1的相反侧的面))的整个面接触的状态输送透明板P。通过这样的透明板P在第二面整个面接触的状态下被输送，透明板P整体地夹持在输送机构11和清扫布C之间，位于向上方的面(第一面p1)被清扫。作为该第一清扫装置10A的输送机构11能够例如由传送带构成。

第二清扫装置10B的输送机构11以承载透明板P，即与位于透明板P的下侧的面(第一面p1(为清扫对象的第二面p2的相反侧的面))的整个面接触的状态输送透明板P。通过这样的透明板P在第一面p1接触的状态下输送，整体地夹入输送机构11和清扫布C之间，并清扫第二面p2。作为该第二清扫装置10B的输送机构11，可采用例如具有如图1所示的传送带、以及向该传送带上供给的、以与传送带相同的速度移动的干净的承载用长条薄片12。如上所述的第二清扫装置10B的输送机构11通过具有承载用长条薄片12，能够防止第一面p1在第二清扫装置10B内弄脏。

进一步详细叙述所述传送带。传送带包括输送带11a、输送从动辊11b以及输送驱动辊11c。输送带11a由环状的带构件构成，该输送带11a架设于输送从动辊11b以及输送驱动辊11c，随着输送驱动辊11c的旋转，与输送带11a循环的同时输送从动辊11b也旋转。需要说明的是，也能够相反设置输送驱动辊11c和输送从动辊11b的配设位置。

此外，第一清扫装置10A的输送机构11从所述装载装置90承接透明板P，清扫后输送透明板P抑制向翻转装置30传递的第一传递区域A1(参照图5)为止。此外，第二清扫装置10B的输送机构11从翻转装置30在第二传递区域A2(参照图5)承接透明板P，将透明板P输送至透明板P的排出区域并排出。

(清扫布)

清扫布C通过在清扫处接触透明板P并动作来清扫透明板P的清扫面(位于上侧的面)。清扫布C以使在清扫处一端的面与透明板P的清扫面相对的方式而被供给，通过被所述按压头13按压到透明板P的清扫面并擦拭清扫面来清扫清扫面。

作为该清扫布C使用了纤维制造的布，例如使用织物。作为该纤维，能够采用天然纤维、合成纤维等各种纤维。在此，作为清扫布C也可使用无纺布。在使用无纺布的情况下，作为无纺布能够使用通过干式法、湿式法、熔喷法而形成抓绒的无纺布。

(按压头)

两个所述按压头13沿输送方向X并列配置。如图2所示，各按压头13分别包括将清扫布C的一部分朝向透明板P按压的第一清扫构件14、和将比清扫布C的第一清扫构件14在输送方向X上的更靠下游侧的部分朝向透明板P按压的第二清扫构件15。换言之，在本实施方式中，第一清扫装置10A和第二清扫装置10B在透明板P的输送方向X上并列地设置有四处清扫布C与透明板P分别接触的清扫处。需要说明的是，在本实施方式中，两个按压头13具有相同的构成。该第一清扫构件14和第二清扫构件15例如由硅等弹性构件形成的垫而构成。

各按压头13分别具有使第一清扫构件14以及第二清扫构件15在为清扫面的平面上、且在与输送方向X正交的方向上往复移动的清扫构件驱动机构(未图示)。需要说明的是，“为清扫面的平面上、且在与输送方向X正交的方向”是指在第一清扫构件14以及第二清扫构件15能够使清扫布C接触透明板P的清扫面的平面内为输送方向X的正交方向，具体而言，是和清扫面平行的面上且与输送方向X正交的方向。

(送给机构)

参照图1并说明清扫布C的送给机构25。所述清扫布C如上所述由送给机构25来输送。在此，送给机构25具有主动辊25a和从动辊25b。清扫布C架设于该主动辊25a和从动辊25b，并通过主动辊25a的旋转而将清扫透明板P后的清扫布C的部分卷绕在主动辊25a上。此时，由从动辊25b陆续放出未使用的清扫布C。

送给机构25设置为向与透明板P的输送方向X的相反方向输送清扫布C(参照图2)。即，清扫布C通过送给机构25，在清扫处(与透明板P接触的地方)清扫布C向输送方向X的相反方向(图2的Y方向)输送。

此外，送给机构25引导使得位于两个所述按压头13之间的清扫布C的一部分从透明板P分离。具体而言，送给机构25具有配置在两个按压头13之间的传送带上方的张力辊26。在该送给机构25中，通过该张力辊26架设两个按压头13之间的清扫布C，使得两个按压头13之间的清扫布C从透明板P分离。

(洗净液供给机构)

通过如所述的洗净液供给机构28向所述清扫布C供给洗净液。因此，通过渗入洗净液的清扫布C来清扫透明板P。在本实施方式中，洗净液供给机构28分别向在输送方向X上位于第一清扫构件14和第二清扫构件15之间的清扫布C的一部分供给洗净液的同时，并也向位于比后述的按压头13在输送方向X的更靠下游侧的清扫布C的一部分供给洗净液。

如图3所示，洗净液供给机构28具有设置于第一清扫构件14与第二清扫构件15之间的供给喷嘴28b。供给喷嘴28b连接于未图示的洗净液储藏罐。供给喷嘴28b朝向上方供给洗净液。由供给喷嘴28b供给的洗净液渗入清扫布C到达透明板P的清扫面。由供给喷嘴28b供给的洗净液的量调整为可分解附着于透明板P的污渍、且即使由按压垫15按压清扫布C的一部分而进行擦拭动作也不会残留条纹。供给喷嘴28b为锥形形状。在本实施方式中，为如上所述的构成，但是也可采用由清扫布C的上方朝向下方供给洗净液的机构。

作为所述洗净液，未特别的限定，但是优选使用酒精，其中尤其以乙醇适合使用。

此外，该透明板清扫检查系统1还包括洗净液供给部28a，作为洗净液供给机构28，向在输送方向X下的下游侧的按压头13的清扫布C的供给方向的上游侧的清扫布C的一部分供给洗净液(参照图1)。

<翻转装置>

参照图1、图4及图5并说明翻转装置30。翻转装置30是如所述使由第一清扫装置10A输出的透明板P翻转，向第二清扫装置10B供给的装置。具体而言，将由第一清扫装置10A(参照图1)依次向第一传递区域A1供给的透明板P传递到第二传递区域A2中第二清扫装置10B(参照图1)。

该翻转装置30包括第一传递区域A1中吸附透明板P的第二面p2的、并第二传递区域A2中释放所述透明板P的保持部(吸附部32)，该保持部(吸附部32)附设于一端侧的臂33、和支承该臂33的另一端侧的旋转部35。需要说明的是，翻转装置30具有内置所述吸附部32、臂33和旋转部35等的壳体30h(参照图1)。

进而，翻转装置30包括配设于第一传递区域A1的暂收构件31、和相对于旋转部35将所述臂33向所述吸附部32的吸引方向突出或后退的突出机构34。翻转装置30包括第一传递区域A1中从下方支承一个透明板P的暂收构件31。具体而言，暂收构件31暂时地支承第一传递区域A1中从第一清扫装置10A(参照图1)排出的透明板P的第二面p2。吸附部32吸附被暂收构件31支承的透明板P的第二面p2。臂33可伸缩。具体而言，臂33的一端侧附设有吸附部32，可被旋转部35支承的所述另一端朝向附设有吸附部32的所述一端的方向伸缩。突出机构34设置在旋转部35与臂33之间，是如所述相对于旋转部35将臂33向吸附部32的吸引方向突出或后退的机构。具体而言，突出机构34由支承臂33的所述另一端的气缸构成。旋转部35固定突出机构34，由此如所述支承臂33。旋转部35可以位于与吸附部32吸附的透明板P平行的平面上的旋转轴为中心进行旋转。具体而言，该旋转轴为水平方向(与输送透明板P的方向垂直的方向)，或设置为与吸附部32的吸引方向垂直的方向。翻转装置30包括多个所述吸附部32、所述臂33以及所述突出机构34，这些多个所述吸附部32、所述臂33以及所述突出机构34分别成对，一对所述吸附部32、所述臂33以及所述突出机构34分别以旋转部35的旋转轴为中心配设为大致旋转对称。需要说明的是，“大致旋转对称”不仅指完全旋转对称的情况，还包括配置为第一传递区域A1的一个透明板P的吸附和第二传递区域A2的另一个透明板P的释放能够同时进行的情况。

<异物除去装置>

参照图1并说明异物除去装置50。异物除去装置50是用于除去附着于如所述由第二清扫装置10B输出的透明板P的第一面p1以及第二面p2的异物的装置。在该透明板清扫检查系统1中，即使在由于纤维制的清扫布C等而导致的异物附着于透明板P的情况和附着在装置内产生的异物的情况下，也能够通过所述异物除去装置50来除去。

该异物除去装置50包括：具有接触于透明板P的第一面p1和第二面p2的粘着面51a的粘着辊51(粘着构件)、和可除去附着于该粘着辊51的粘着面51a的异物的粘着力恢复机构52。在本实施方式中，异物除去装置50包括夹着透明板P且彼此相对的两个粘着辊51。具体而言，异物除去装置50包括夹着透明板P上下相对的一对粘着辊51，该粘着辊51的外周面具有可除去附着于透明板P的异物的粘着力。

此外，异物除去装置50具有承载如图1所示的第二清扫装置10B排出的透明板P的自由辊50a，上下一对的所述粘着辊51彼此通过驱动电动机(未图示)而旋转，透明板P通过粘着辊51的旋转而向下游侧输送。

所述粘着力恢复机构52具有可接触于粘着辊51的粘着面51a的长条状的粘着带53。该粘着带53分别相对于上下一对的粘着辊51而设置。

所述粘着带53具有比所述粘着辊51的粘着面51a(外周面)更强的粘着力的粘着面53a，该粘着带53的粘着面53a能够通过粘贴并剥离于粘着辊51的粘着面51a来除去附着于粘着辊51的异物。

异物除去装置50具有供给未使用的粘着带53的供给部55和排出使用过的粘着带53的排出部56。未使用的粘着带53卷状地卷绕在供给部55。供给部55配置比粘着辊51更靠输送方向的下游侧。使用过的粘着带53卷状地卷绕于排出部56。即，用于粘着辊51的异物除去的粘着带53卷绕于排出部56。排出部56配置于比粘着辊51更靠输送方向X的上游侧。

异物除去装置50具有输送所述粘着带53的粘着带送给机构54。在此，粘着带送给机构54设置为间歇性地使粘着带53接触粘着辊51。例如，每当粘着辊51除去5张透明板P的异物时，粘着带送给机构54使粘着带53接触粘着辊51。具体而言，粘着带送给机构54设置为可架设粘着带53、并与粘着辊51相对的粘着带用辊54(粘着带送给机构)可接近/分离粘着辊51。粘着带送给机构54通过使粘着辊51和粘着带53接触，则随着粘着辊51的旋转而供给粘着带。在本实施方式中，采用了如上所述由粘着辊51的旋转来供给粘着带的构成，但是不限于此，也可采用通过在排出部56卷绕来供给粘着带53的机构。

需要说明的是，异物除去装置50具有内置所述粘着辊51以及粘着力恢复机构52等的壳体50h。该壳体50h具有透明板P的输入口以及输出口，该输入口以及输出口之外设置为密闭状态。因此，在异物除去装置50中，如所述异物除去在大致密闭的状态下而完成，防止包含在外部空气中的尘埃等附着于透明板P。此外，异物除去装置50的壳体50h的输入口与第二清扫装置10B的壳体10h的输出口密封地连结。需要说明的是，该异物除去装置50的壳体50h设置有用于维护等的开闭门(未图示)。

<透明板检查装置>

所述透明板检查装置70是检查在如所述被清扫后的透明板P的清扫面(第一面p1和第二面p2)的损伤、破损以及有无异物的装置。如图1、图6～图9所示，透明板检查装置70，如图6所示，包括：具有透明板P的输入口76以及输出口77的壳体70h、从输入口76到输出口77输送透明板P的输送机构80、对被该输送机构80输送的壳体70h内的透明板P的图像进行拍摄的检查部72、和阻止异物向壳体70h内部的侵入、并阻止异物附着于透明板P的异物附着阻止机构75。

此外，该透明板检查装置70具有向被检查部72拍摄的透明板P照射光线的照明部71。该透明板检查装置70具有多对所述照明部71和所述检查部72，通过该多对照明部71以及检查部72，对根据输送的透明板P在第一面p1的反射、在第二面p2的反射、从第一面p1向第二面p2的透过、以及从第二面p2向第一面p1的透过的各光线而拍摄各种图像。该透明板清扫检查系统1将所述图像发送到所述控制装置，通过控制装置进行透明板P的好坏的判断。需要说明的是，所述检查部72可通过例如CCD照相机等的照相机构成。

所述壳体70h内置所述照明部71、所述检查部72、以及所述输送机构80等。该壳体70h的输入口76以及输出口77之外设置为密闭状态。需要说明的是，该透明板检查装置70的壳体70h设置有用于维护等的开闭门(未图示)。

在所述壳体70h的上部设置所述异物附着阻止机构75。更加具体地，如图6所示，在壳体70h的上部设置有并列于在输送方向X的两个异物附着阻止机构75。该异物附着阻止机构75是提高所述壳体70h的内压的机构。该异物附着阻止机构75具有向壳体70h的内部送入所述壳体70h的外部空气的送入机构(未图示)、和屏蔽包含于由该送入机构输送的空气中的异物侵入所述壳体内部的过滤器(未图示)。异物附着阻止机构75向被输送机构80输送的透明板P上输送空气，异物附着于透明板P的表面时使该异物落到下方。异物附着阻止机构75从上方朝向下方输送空气。作为所述送入机构，虽然能够使用各种物品，但例如使用多叶片风扇(シロッコファン)等的送风器。作为所述过滤器，虽然能够使用各种物品，但能够使用粗尘用过滤器、中高性能过滤器、HEPA过滤器等的空气过滤器。

该透明板检查装置70的输送机构80包括：接触透明板P的端缘并输送由输入口76输入的透明板P的第一输送构件81、接触透明板P的端缘并承接由该第一输送构件81输送的透明板P的同时并使其上升的上升构件83、和接触透明板P的端缘并承接由该上升构件83上升的透明板P的同时并输送到所述检查部72的拍摄区域的第二输送构件88。详细来说，该透明板检查装置70通过第一输送构件81向输送方向X输送来自输入口76的透明板P(参照图6的箭头S1)，由上升构件83承接通过该第一输送构件81输送的透明板P。上升构件83使上升构件83承接的透明板P上升(参照图6的箭头S2)，第二输送构件88承接该上升的透明板P。第二输送构件88在水平方向上输送第二输送构件88承接的透明板P(参照图6的S3的箭头)，所述检查部72拍摄该第二输送构件88输送的透明板P。然后，透明板P从输出口77输出。需要说明的是，在本实施方式中，由于通过第一输送构件81和第二输送构件88的透明板P的输送方向与第一清扫装置的输送方向为相同的方向，因此，作为第一输送构件81和第二输送构件88的输送方向使用与图6～图9中第一清扫装置10A(参照图1)的输送方向相同符号X来图示。但是通过透明板检查装置70的输送机构80的输送方向并不限于此，也可为例如与第一清扫装置10A的输送方向相反方向或正交方向等。此外，拍摄后的透明板P到输出口77的输送可采用各种输送单元，例如能够通过与第一输送构件81相同的输送单元输送。

所述输送机构80具有作为所述第一输送构件81接触于透明板P的端缘的一对传送带81c(参照图7的(A)及图7的(B))。需要说明的是，为了区别该透明板检查装置70的传送带81c与所述第一清扫装置10A的传送带，下面记载为检查用传送带81c。此外，该输送机构80的各种动作由所述控制装置控制。

所述一对检查用传送带81c的与透明板P的接触面(上表面)向彼此相对的一侧倾斜。各检查用传送带81c包括输送带81a、输送从动辊81b以及输送驱动辊(未图示)。输送带81a由环状的带构件构成，并架设于输送从动辊81b和输送驱动辊。在检查用传送带81c中，随着输送驱动辊的旋转输送带81a进行循环并且输送从动辊81b也旋转。一对检查用传送带81c配设为输送从动辊81b的轴相对于水平分别倾斜，具体而言，如图7的(A)所示，一对检查用传送带的输送从动辊81b彼此配设为以使接近侧位于下方且分离侧位于上方的方式而倾斜。此外，输送驱动辊也与输送从动辊81b相同，配设为以使接近侧位于下方且分离侧位于上方的方式而倾斜。因此，透明板P在如图7的(A)所示两侧的端缘的下部接触于输送带81a的上表面，在位于下方的表面不接触输送带81a状态下，通过检查用传送带81c来输送。

如图8的(A)所示，所述上升构件83包括吸引从所述第一输送构件81输送的透明板P的上表面的吸引部84、和通过与被所述吸引部84吸引的所述透明板P的上端缘接触而确定透明板P的高度位置的定位部85。多个定位部85具有以使阻止吸引部84与透明板P的上表面接触的方式接触于透明板P的锥形面85a。进而，上升构件83还包括接触于透明板P的输送方向X的前端缘的接触部86。详细来说，若接触部86与被所述检查用传送带81c输送的透明板P的前端缘接触(参照图8的(B)和图8的(C))，所述上升构件83通过吸引部84吸引透明板P的上表面而向上吸引透明板P直到透明板P的端缘(与所述前端缘正交的端缘)的上端接触于定位部85的锥形面85a。由此，透明板P通过与多个定位部85的锥形面85a接触而完成高度方向的位置确定的同时，并保持于上升构件83(参照图8的(A))。也就是说，透明板P在下端缘与第一输送构件81接触的状态下输送后，通过吸引部84的吸引，上端缘与多个定位部85的锥形面85a接触，并由此从第一输送构件81传递到上升构件83。

所述定位部85由向下方突出的多个销构成。该定位部85(参照图8的(B))以使在透明板P的两侧相对的方式而配设多对(在图示例子中两对)。定位部85为前端(下端)尖的圆锥形状。定位部85的圆锥形状的周面构成与透明板P的端缘接触的所述锥形面85a。此外，所述接触部86由向下方突出的圆柱形状的销构成。接触部86配设在比构成所述定位部85的销更靠输送方向X的下游侧。在本实施方式中，设置有构成接触部86的多根(在图中示例为两根)销。所述吸引部84的吸引口84a以使与透明板P的上表面相对的方式向下方开口。该吸引口84a设置在比所述定位部85以及接触部86(的锥形面85a)更靠上方。在本实施方式中，设置有多个(在图中示例为四个)吸引部84。

所述上升构件83设置为相对于透明板检查装置70的壳体70h可上下移动，具体而言具有安装有定位部85、吸引部84和接触部86的、并相对于所述壳体70h可上下移动而设置的上升构件83本体(未图示)。因此，上升构件83如上所述从第一输送构件81承接透明板P后，通过相对于壳体70h上升构件83的本体上升而使透明板P上升，将该透明板P传递到第二输送构件88，然后，下降并以使从第一输送构件81承接下一个透明板P的方式进行动作。

所述第二输送构件88承接如上所述由上升构件83使上升的透明板P，并将透明板P输送到检查部72的拍摄区域。该第二输送构件88具有通过接触如图9的(B)所示的上升构件83使上升的透明板P的端缘的上部而支承透明板P、承接透明板P的支承部89。需要说明的是，当第二输送构件88从上升构件83传递透明板P时，通过吸引部84吸引透明板P。该支承部89由从与输送方向X正交的方向的外侧向内侧突出，即从侧面向透明板P侧突出的多个销构成。该支承部89在透明板P的两侧相对地配设多对(在图中示例为两对)，设置为相对的销之间可以彼此接近以及分离。该支承部89为前端尖的圆锥形状，该圆锥形状的周面89a接触透明板P的端缘的下部。

该第二输送构件88包括如图9的(A)及图9的(B)所示接触于透明板P的端缘并从两侧夹着所述透明板P的多对(在图中示例为两对)把持部90。该把持部90设置为对上升的透明板P的端缘可分离及接触地进行动作、并可沿输送方向X移动。该把持部90把持被上升构件83上升的透明板P，且然后沿输送方向X输送。具体而言，当如上所述上升构件83上升时，把持部90从透明板P分离，通过上升构件83上升后，在以第二输送构件88的支承部89和吸引部84保持透明板P后，通过接近并夹着透明板P的端缘来把持透明板P。然后，之后把持部90将其把持的透明板P移向输送方向应该输送的输送方向。需要说明的是，把持部90优选至少表面由弹性构件构成，例如可由橡胶或硅构成。

需要说明的是，所述支承部89也设置为和把持部90相同地可沿输送方向X移动，换言之，支承部89以使能够从上升构件83的透明板P的传递位置向输送方向X逃避的方式而设置。然后，所述支承部89在通过把持部90把持透明板P后，并把持部90以使上升构件83的透明板P的交接位置逃避的方式沿着输送方向X移动，此后，上升构件83下降，承接由第一输送构件81输送的下一个透明板P。

需要说明的是，在图示例子中，虽然对第二输送构件88具有一组支承部89和把持部90进行了说明，但是可设置多组(例如二组)支承部89以及把持部90。也就是说，可设置为通过一组支承部89及把持部90进行如上所述从上升构件83的透明板P的承接动作时，另一组的把持部90进行其它动作(例如向检查部72的拍摄区域的输送动作)。如此设置多组支承部89以及把持部90时，优选通过所述把持部90的透明板P的把持的上下高度一定，由此能够在固定的上下高度进行从上升构件83的传递动作以及通过检查部72的拍摄。需要说明的是，多组把持部90的上下高度设为一定可通过例如将各组用于使把持部90向输送方向移动的轨道配设在不同高度上，由于运转该轨道的运转体的各把持部90的配设高度不同，各组把持部90的上下高度能够为一定。此外，通过设置该运转体的形状在输送方向上不重合，在各把持部90的输送方向的运转时彼此不妨碍。

<优点>

根据该透明板清扫检查系统1，由第一清扫装置10A、第二清扫装置10B以及异物除去装置50清扫的透明板P能够通过该透明板检查装置70检查。此外，即使该透明板清扫检查系统1根据第一清扫装置10A及第二清扫装置10B的纤维制造的清扫布而在透明板P附着有纤维等的异物，也能够通过异物除去装置50准确地除去所述异物，在所述透明板检查装置70中，由于所述异物而判断透明板P缺陷的担忧变少。

进而，在通过该透明板检查装置70检查中，透明板检查装置70的壳体70h的内部由于通过加压机构提高内压，空气难以从壳体70h的外部流入内部。因此，能够准确地阻止从壳体70h的外部向内部侵入异物，因此准确地阻止在壳体70h的内部异物附着于透明板P，并可以进行正确地检查。

此外，该加压机构由于具有将所述壳体70h的外部的空气送入壳体70h的内部的送入机构、和屏蔽由该送入机构输送的空气中包含的异物向所述壳体70h的内部的侵入的过滤器，能够通过由送入机构送入的空气来提高壳体70h的内压，此外该送入空气的异物由于通过过滤器能够阻止向壳体70h的内部的侵入，能够阻止由送入机构向壳体70h的内部送入的异物的侵入，因此可以进行正确地检查。

进而，加压机构设置在壳体70h的上部，通过向下方送入空气，能够提高壳体70h的内压的同时，并假设即使异物侵入壳体70h的内部该异物也向下方流去，易于从输入口76或输出口77排出，从而容易进行正确地检查。

此外，该透明板检查装置70的输送机构80接触透明板P的端缘，由于能够在不接触透明板P的清扫面(第一面以及第二面)的状态下输送透明板P，能够准确地阻止由于输送机构80在透明板P的清扫面附着污渍或异物，并可以进行正确地检查。

特别地，所述输送机构80由于将透明板P输送到检查部72的拍摄区域的第二输送构件88具有从两侧把持透明板P的端缘的把持部90，在检查部72的拍摄区域内透明板P的上表面侧以及下表面侧的其它构件不妨碍检查部72的拍摄，可以进行各种拍摄，能够实现检查精度的提高。

此外，所述输送机构80由于具有在第二输送构件88的上游侧输送透明板P的第一输送构件81，也就是说，能够独立进行拍摄区域的输送和输入侧的输送，因此，第一输送构件81以及第二输送构件88的设计的自由度高，能够抑制该透明板检查装置70的成本增大且提高处理速度。

进而，作为第一输送机构80，由于使用向与透明板P的接触面彼此相对侧倾斜的一对检查用传送带81c，各传送带81c的接触面和透明板P的端缘的下部接触，在不接触透明板P的清扫面的状态下能够顺畅地输送透明板P。

此外，所述输送机构80由于具有用于从第一输送构件81向第二输送构件88移送透明板P的上升构件83，因此，能够适当且迅速地进行从第一输送构件81向第二输送构件88的透明板P的移送。

特别地，该上升构件83包括吸引在第一输送构件81和端缘的下部接触的状态下输送的透明板P的上表面的吸引部84、和通过锥形面85a接触该吸引部84吸引的透明板P的端缘的上部而支承透明板P的多个定位部85，因此，通过由吸引部84吸引上表面能够容易并且准确地从第一输送构件81承接透明板P。

进而，该透明板清扫检查系统1通过第一清扫装置10A清扫透明板P的第一面，第一面被清扫后的透明板P被翻转装置30翻转，由于该被翻转的透明板P的第二面由第二清扫装置10B清扫，因此人不介入而能够清扫透明板P的两面。

此外，第一清扫装置10A和第二清扫装置10B分别通过输送机构11输送透明板P，同时通过一块长条状的清扫布C的一个面可多次清扫该透明板P的清扫面，因此，能够在多个清扫处进行所希望的清扫，并能够准确地清扫透明板P的两面。此外，由于在多个清扫处不翻转清扫布C而通过清扫布C的一个面清扫清扫面，由于不需要像以往的端子部的清扫装置那样设置翻转单元，因此能够抑制高成本以及维持的复杂性。

此外，由于清扫布C如上所述以一块清扫布C的一个面多次清扫清扫面，且清扫布C向与输送方向X的相反方向输送，在输送方向X的下游侧(清扫布送给方向的上游侧)通过未使用(未接触)的清扫布C清扫透明板P，可在输送方向X的上游侧(清扫布送给方向的下游侧)通过使用后(接触后)的清扫布C清扫透明板P。因此，清扫布C的各部分能够用于多次清扫的同时，还能够以在输送方向X上污渍较少的状态的清扫布C清扫透明板P。

此外，由于第一清扫装置10A和第二清扫装置10B包括向清扫布C供给洗净液的洗净液供给机构，能够通过含有洗净液的清扫布C适合地清扫透明板P的清扫面。

进而，由于第一清扫装置10A和第二清扫装置10B包括调整两个按压头13间的清扫布C的张力的张力辊，在各按压头13可给予清扫布C充分的张力，能够进行更准确地清扫。

所述洗净液供给机构28也向按压头13的清扫布供给方向上游侧的清扫布C供给不残留条纹程度的微量洗净液，相比于通过完全干燥的清扫布C，通过由渗入少许洗净液的清扫布C清扫，能够更彻底地清扫清扫面，可以更准确地清扫。

此外，由于第一按压垫14和第二按压垫15当清扫时在所述透明板P的输送方向X的正交方向并且所述清扫面的平面方向上往复移动，清扫布C被第一按压垫14和第二按压垫15按压在透明板P的清扫面，由于接触透明板P的清扫面的清扫布C沿输送方向X的正交方向移动，因此，能够通过清扫布C更准确地清扫清扫面。

此外，由于该透明板清扫检查系统1包括能够除去如上所述从第二清扫装置10B输出的透明板P的第一面p1和第二面p2附着的异物的异物除去装置50，假设在所述清扫阶段由于纤维制造的清扫布C等而导致异物附着在透明板P或附着在装置内产生微小的异物，通过异物除去装置50也能够准确地除去异物。

由于所述异物除去装置50包括可除去附着于粘着辊51的粘着面的粘着带53，能够通过粘着带53从粘着辊51的粘着面除去附着的异物，因此粘着辊51的粘着面的粘着力恢复，该异物除去装置50能够以长时间适宜的状态运转。

此外，异物除去装置50具有输送粘着带53的粘着带送给机构54，由于该粘着带送给机构54设置为间歇性地使粘着带53接触粘着辊51，能够减少粘着带的使用量。

[其它实施方式]

本次公开的实施方式的全部的点均为示例，并不限定于本发明。本发明的范围不限定所述实施方式的构成，包含由权利要求书示出的、与权利要求书均等的意图以及范围内的全部变更(构成的置换、增加以及删除)。

也就是说，在所述实施方式中，说明了使用该透明板检查装置包括第一清扫装置、翻转装置、第二清扫装置以及异物除去装置的透明板清扫检查系统，但本发明不限定于此，单独使用该透明板检查装置的物品也在本发明的保护范围之内。此外，本发明也可以是仅有透明板检查装置和异物除去装置的系统，或包括清扫装置和透明板检查装置的系统。

此外，在所述实施方式中，说明了密封连接第二清扫装置的壳体的输出口和异物除去装置的壳体的输入口的装置，但也可在第二清扫装置和异物除去装置之间需要说明的是设置装载器，进一步也可在该透明板检查装置的上游设置装载器。进而，也可在透明板检查装置的下游侧配置叠片装置，在检查结束后的透明板的两面贴附保护膜。

在所述实施方式中，说明了在壳体的上部设置两个异物附着阻止机构的透明板检查装置，但不限于此，也可以是在壳体的上部设置一个或不少于三个异物附着阻止机构的透明板检查装置。

进而，在所述实施方式中，作为异物附着阻止机构说明了设置提高壳体的内压的加压机构，但本发明并不一定限定于此。例如作为异物附着阻止机构，也可采用设置在壳体内部、从输入口向所述壳体的外部排出空气的送出机构。具体而言，送出机构可设置为具有设置在输入口附近的内部的送风机，通过该送风机，壳体内部的空气经由输入口向外部排出。进而，也可在输出口侧也设置如上所述的送出机构。此外，在设置所述送出机构时，也可设置为在壳体设置空气取入口，在空气取入口附设空气过滤器，经由空气过滤器向壳体内部装入空气。进而，作为异物附着阻止机构，也可和所述加压机构同时设置所述送出机构。

进而，该透明板检查装置的输送机构不限定于所述实施方式的机构。但是，该输送机构优选通过不接触透明板的清扫面而接触端缘支承透明板，因此能够抑制异物由输送机构附着于透明板的清扫面。

在所述实施方式中，在透明板检查装置中，仅在从异物除去机构承接向检查部输送时使用了传送带，但在检查结束后向透明板检查装置之外排出时也可以使用相同的机构排出。

在所述实施方式中，在透明板检查装置中，使用照相机等检查透明板P的表面，但本发明不限于此，也可以是其它检查方法。

在所述实施方式中，透明板检查装置使用四个照相机等检查透明板P的表面，但本发明不限于此，也可使用三个以下或五个以上的照相机检查。

在所述实施方式的异物除去装置中，间歇性地以粘着带除去粘着辊表面的异物，但不限于此，也可以是连续地除去粘着辊表面的异物的机构。

在所述实施方式中，在清扫装置中采用了使用清扫布清扫的机构，但不限于此，也可以是采用刷子等其它清扫方法的机构。

在所述实施方式中，采用了包括两个清扫装置和翻转装置的机构，但不限于此，也可以采用能够同时清扫两面的机构。

工业上的可利用性

本发明的清扫装置以及透明板清扫检查系统可适宜地利用于在便携设备的显示装置中使用的玻璃基板等的透明板的清扫。

符号说明

10A 第一清扫装置

10B 第二清扫装置

30 翻转装置

50 异物除去装置

70 透明板检查装置

70h 壳体

72 检查部

75 异物附着阻止机构

80 输送机构

81 第一输送构件

83 上升构件

84 吸引部

85 保持部

85a 锥形面

88 第二输送构件

89 支承部

90 把持部

P 透明板

X 透明板的输送方向

Claims (16)

1.一种透明板检查装置，用于检查透明板，其特征在于，

所述透明板检查装置包括：

壳体，具有所述透明板的输入口和输出口；

输送机构，将所述透明板从所述输入口输送到所述输出口；

检查部，检查被所述输送机构输送的所述透明板；以及

异物附着阻止机构，在所述壳体的内部阻止异物附着于所述透明板。

2.根据权利要求1所述的透明板检查装置，其中，

所述异物附着阻止机构具有使所述壳体的内压高于外部气压的加压机构。

3.根据权利要求2所述的透明板检查装置，其中，

所述加压机构具有：将所述壳体的外部空气向所述壳体的内部送入的送入机构、和屏蔽被所述送入机构输送的空气中含有的异物向所述壳体的内部侵入的过滤器。

4.根据权利要求3所述的透明板检查装置，其中，

所述加压机构的所述送入机构向所述透明板上供给空气，使被所述输送机构输送的所述透明板上附着的异物流动。

5.根据权利要求2所述的透明板检查装置，其中，

所述加压机构设于所述壳体的上部。

6.根据权利要求1所述的透明板检查装置，其中，

所述异物附着阻止机构具有设于所述壳体的内部、且从所述输入口和/或所述输出口向所述壳体的外部排出空气的送出机构。

7.根据权利要求1所述的透明板检查装置，其中，

所述输送机构以不接触所述透明板的表面和背面的方式来输送所述透明板。

8.根据权利要求7所述的透明板检查装置，其中，

所述输送机构通过接触所述透明板的端缘来保持所述透明板。

9.根据权利要求8所述的透明板检查装置，其中，

所述输送机构包括：

第一输送构件，在接触所述透明板的端缘的同时进行输送；

上升构件，与所述透明板的端缘接触的同时承接被所述第一输送构件输送来的所述透明板，并使该透明板上升；以及

第二输送构件，与所述透明板的端缘接触的同时承接被所述上升构件上升的所述透明板，并向所述检查部的检查区域输送该透明板。

10.根据权利要求9所述的透明板检查装置，其中，

所述上升构件包括：吸引从所述第一输送构件输送来的所述透明板的上表面的吸引部、和通过接触吸引于所述吸引部的所述透明板的上端缘来定位所述透明板的高度位置的多个定位部，

所述多个定位部具有与所述透明板的端缘接触的锥面，以阻止所述吸引部与所述透明板的上表面接触。

11.根据权利要求1所述的透明板检查装置，其中，

所述输送机构具有与所述透明板的端缘接触的一对传送带，该一对所述传送带的与所述透明板的接触面向彼此相对侧倾斜。

12.根据权利要求1所述的透明板检查装置，其中，

所述输送机构包括与所述透明板的端缘接触并从两侧夹着所述透明板的至少一对把持部。

13.一种透明板清扫检查系统，包括：

异物除去机构，除去附着于透明板的异物；以及

根据权利要求1所述的透明板检查装置，检查已被所述异物除去机构除去异物的所述透明板。

14.根据权利要求13所述的透明板清扫检查系统，其中，

所述透明板清扫检查系统还包括清扫所述透明板的表面和/或背面的清扫装置。

15.一种透明板清扫检查系统，包括：

清扫装置，清扫透明板的表面和/或背面；以及

根据权利要求1所述的透明板检查装置，检查已被所述清扫装置清扫的所述透明板。

16.一种透明板清扫检查系统，包括：

第一清扫装置，清扫透明板的第一面；

翻转装置，使从该第一清扫装置输出的所述透明板翻转；

第二清扫装置，边输送已被所述翻转装置翻转的所述透明板的同时，边清扫所述透明板的第二面；以及

根据权利要求1所述的透明板检查装置，检查已被所述第一清扫装置和所述第二清扫装置清扫过两面的所述透明板。