CN105745338B - 使用马氏体不锈钢的机构零件的制造方法和旋转装置、滚动轴承、以及滚动轴承单元 - Google Patents

Abstract

为了提供一种高硬度、高耐腐蚀性马氏体不锈钢制成的机构零件的制造方法，其特征在于，利用如下步骤进行制作：准备马氏体不锈钢的步骤，该马氏体不锈钢为：包含成分以重量百分比计0.20～0.40％的C、0.1％以下的N、3％以下的Mo、12.0～16.0％的Cr，且0.3％≤C+N≤0.4％，PI值(＝Cr+3.3Mo+16N)为18以上，剩余部分实际上是Fe和不可避免的杂质；从1030℃至1140℃进行淬火的步骤；冷处理的步骤；以及回火的步骤。利用该步骤，能够制造表层的旧奥氏体晶粒直径为30～100μm，表面硬度(以下简称为硬度)为HRc58～62的高硬度、高耐腐蚀性的马氏体不锈钢制成的机构零件。

Description

使用马氏体不锈钢的机构零件的制造方法和旋转装置、滚动 轴承、以及滚动轴承单元

技术领域

本发明涉及使用了表面硬度高、耐腐蚀性优良的马氏体不锈钢的机构零件的制造方法。

还涉及使用适合于在盐水、腐蚀环境下使用的轴、轴承材料等的马氏体不锈钢的机构零件的制造方法。

背景技术

以往，已知为了提高马氏体不锈钢的耐腐蚀性，添加氮是有效的，但为了在马氏体不锈钢大量添加氮要使用如下方法：利用加压感应炉等使高氮加压溶解，或者长时间保持在高温的氮气气体介质下从而使氮从材料表面向内部吸收。

因此，需要导入高价格的溶解炉、用于使氮浸渍的制造工序。

另外，为了使氮从制造完成的零件的表面向内部渗透，存在的问题是：需要使零件长时间保存在高温的氮气气体介质中，难以适用到主体为薄板状且有厚度的零件等。

另外，已知在滚动轴承等机构零件所使用的马氏体不锈钢的情况下，要进行组织的细化，使得硬度高、防锈性良好，且得到优良的声响特性(静音性)。

在专利文献1中，为了用高Cr不锈钢来提高硬度，使C的含有量超过0.6％时，由于大量的Cr和C会形成大于10μm的共晶碳化物，硬度、耐腐蚀性会下降。因此，公开了通过使合金元素的配合适当来进行共晶碳化物的细化，抑制δ铁氧体的生成，从而能够改善特性。

另外，在专利文献2中，与SUS440C相比，即使C减少至0.35～0.45％，通过含有0.1～0.2％的W，从而能够提高强度和韧性，通过使C+N的含有量为0.60≤(C+N)≤0.65，从而能够使热处理后的表面硬度HRc为60以上。还公开了添加B来改善淬火性，且使BN析出，从而得到高强度。

另一方面，在专利文献3中，为了将马氏体不锈钢的晶粒直径细化为30μm左右以下，通过生成碳氮化物并钉扎(ピンニング)，从而能够实现。公开了通过限定析出物的量，从而得到具有表面高硬度、高耐蚀和高韧性的马氏体不锈钢，能够确保维氏硬度以HV为550以上的马氏体不锈钢。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平9-287053号公报([0008]、[0024]、[0050])

专利文献2：日本特开2010-77525号公报([0013]、[0034])

专利文献3：日本特开平11-50203号公报([0005]、[0009]、[0016])

发明内容

本发明欲解决的问题

然而，在专利文献1所公开的高Cr不锈钢中，为了将晶粒直径细化，通过将共晶碳化物细化并利用，控制晶粒的生长。

然而，问题是由于δ铁氧体的生成，难以应用到要求特别高的耐腐蚀性的用途。

即，由于晶粒的细化，每单位面积(单位体积)的界面的长度(面积)增大。

由于在这些界面部分存在共晶碳化物，因此，Cr浓度下降并成为生锈的起点的可能性高。

存在的问题是：由于界面长度与Cr浓度下降的相乘作用，耐腐蚀性难以提高。

在专利文献2所公开的马氏体不锈钢中，使C为0.35～0.45而比SUS440C少，但由于0.6≤C+N≤0.65，因此N的含有量变多。

通常，由于马氏体不锈钢在凝固时为δ铁氧体构造，因此氮的溶解度低，通常极限为约0.1％左右。所以存在的问题是：不能固溶的N容易产生气孔。

如果气孔到达表面，那么能够被容易发现，但问题是存在于内部的情况下，需要利用超声波等进行探查，零件的制造品质的管理变得麻烦等。

在专利文献3所公开的马氏体不锈钢中，构成为表面硬度为Hv≥550，但作为机构零件，例如应用到滚动轴承等的情况下，硬度HRc需要为58～62左右，需要更高的硬度。

本发明解决上述以往的问题，提供一种利用高硬度、高耐腐蚀性马氏体不锈钢来进行的机构零件的制造方法，还提供一种使用了由该制造方法制造的机构零件的旋转装置。

用于解决问题的方案

本发明为达到上述目的，是一种高硬度、高耐腐蚀性马氏体不锈钢制机构零件的制造方法，利用如下步骤，使得表层的旧奥氏体晶粒直径为30～100μm，表面硬度为HRc58～62，上述步骤包括：准备马氏体不锈钢的步骤，该马氏体不锈钢为：包含成分以重量百分比计0.20～0.40％的C、0.1％以下的N、3％以下的Mo、12.0～16.0％的Cr，且0.3％≤C+N≤0.4％，PI值(＝Cr+3.3Mo+16N)为18以上，剩余部分实际上是Fe和不可避免的杂质；从1030℃至1140℃进行淬火的步骤；冷处理的步骤；以及回火的步骤。表层是指例如从表面起约0.2mm的范围。

根据该制造方法，晶粒会生长，但通过C、N可靠地固溶在基地内，从而抑制碳氮化物的生成，晶粒会生长而不会细化，因此能够缩短每单位面积的界面的长度。

现在，假定在界面上锈产生的可能性在每单位长度(面积)是相同程度，那么认为随着界面的长度缩短，生锈的可能性下降。

由此，与晶粒被细化的情况相比，能够提高耐腐蚀性。

另外，PI:Pitting Index(孔蚀指数＝Cr+3.3Mo+16N)的值为18以上，但通过使淬火温度从1030℃至1140℃来进行，从而可靠地抑制在淬火温度低于该范围的情况下因较多产生的细微的Cr碳化物所导致的界面周边的Cr缺乏、和在淬火温度高于该范围的情况下产生的δ铁氧体所导致的孔蚀电位的下降，从而能够得到PI值相当的孔蚀电位并确保耐腐蚀性。

利用淬火的步骤，晶粒生长且表层的晶粒直径能够为30～100μm。

此外，原材料通常为了加工而被热处理，但优选的是原材料中的Cr碳氮化物的平均尺寸不到5μm，从而能够防止淬火时的未固溶碳化物，由于以大致均一的温度进行马氏体相变，因此能够减少变形，得到精度高的制品。

接着进行淬火的步骤，进行冷处理。能够利用该步骤来可靠地降低残留奥氏体。已知为了提高硬度而增加碳量时，马氏体相变完成结束温度(Mf)会下降，即使常温下也会存在残留奥氏体。通过进行冷处理，从而降低残留奥氏体，能够防止常温下的马氏体相变。由此，能够防止硬度的下降，能够制造高硬度的马氏体不锈钢制成的机构零件。

此外，由于能够防止常温下的马氏体相变，从而也能够降低尺寸随着时间的变化，实现机构零件的稳定化。

接下来，利用进行回火的步骤，通过修正形变，付与韧性，从而能够实现表面硬度HRc为58～62的高硬度、高耐蚀的马氏体不锈钢制成的机构零件。

另外，其特征在于，接着进行热处理的步骤，进行利用磨削、研磨等来使面粗糙度改善的步骤。

能够利用该步骤来使机构零件的面粗糙度改善，降低实际表面的面积。

由此，能够与上述界面的长度同样地减少生锈的可能性，能够实现更高耐蚀的机构零件。

另外，其特征在于，接着热处理或者使面粗糙度改善的步骤，进行在表面形成氧化被膜的步骤。利用该步骤，与通常的大气中的环境下所生成的Cr的氧化被膜相比，能够生成厚的膜，能够实现高耐腐蚀性的马氏体不锈钢制成的机构零件。

另外，一种旋转装置是由技术方案1～3的任一项所述的制造方法制作的机构零件，其特征在于，通过使耐腐蚀性改善，从而能够暴露在腐蚀环境下。

另外，作为旋转装置，可以例举手持件用轴承等。

利用该构成，能够提高使用了不锈钢的滚动轴承的耐腐蚀性，作为装入了该轴承的旋转装置的耐腐蚀性与以往相比也能够提高。

另外，旋转装置的特征在于，腐蚀环境是利用游离氯进行的灭菌。利用该构成，除了蒸气灭菌之外，能够进行利用游离氯的灭菌，能够实现在腐蚀环境下也能够对应的旋转装置。由此，能够提高旋转装置的设计的自由度。

另外，滚动轴承是由技术方案1～3的任一项所述的制造方法制作的机构零件，其特征在于，所述滚动轴承的内圈、外圈、转动体中的至少1个由所述制造方法制作。

另外，滚动轴承的特征在于，腐蚀环境是利用游离氯进行的灭菌。利用该构成，除了蒸气灭菌之外，能够进行利用游离氯的灭菌，能够实现在腐蚀环境下也能够对应的滚动轴承。由此，能够提高滚动轴承的设计的自由度。

另外，作为滚动轴承，可以例举手持件用，例如牙科手机用轴承等。

另外，滚动轴承单元可以是壳体、滚动轴承、轴部件中的至少1个由技术方案1至3的制造方法制作。能够提高滚动轴承单元的耐腐蚀性。

发明的效果

如上所述，本发明为达到上述目的，其特征在于，利用如下步骤进行制作：准备马氏体不锈钢的步骤，该马氏体不锈钢为：包含成分以重量百分比计0.20～0.40％的C、0.1％以下的N、3％以下的Mo、12.0～16.0％的Cr，且0.3％≤C+N≤0.4％，PI值(＝Cr+3.3Mo+16N)为18以上，剩余部分实际上是Fe和不可避免的杂质；从1030℃至1140℃进行淬火的步骤；回火的步骤。利用该步骤，能够制造表层的旧奥氏体晶粒直径为30～100μm，表面硬度(以下简称为硬度)为HRc58～62的高硬度、高耐腐蚀性的马氏体不锈钢制成的机构零件。

附图说明

图1是示出本发明的第1实施方式的淬火温度和硬度的特性图。

图2是影响到本发明的第1实施方式的淬火时的变形量的、原材料的Cr碳氮化物的平均尺寸的影响图。

图3是本发明的第1实施方式的代表性的原材料的Cr碳氮化物的扫描型电子显微镜像。

图4是示出本发明的第1实施方式的回火温度和硬度的特性图。

图5是示出本发明的第1实施方式的C+N含有量和硬度的特性图。

图6是示出测定本发明的第1实施方式的硬度的部分的示意图。

图7是示出本发明的第1实施方式的C+N含有量和δ铁氧体量的特性图。

图8是示出本发明的第1实施方式的C+N含有量和残留奥氏体量的特性图。

图9A是说明本发明的第1实施方式的晶粒和晶界的示意图。

图9B是说明本发明的第1实施方式的晶粒和晶界的示意图。

图10A是本发明的第1实施方式的淬火温度和组织照片。

图10B是本发明的第1实施方式的淬火温度和组织照片。

图10C是本发明的第1实施方式的淬火温度和组织照片。

图10D是本发明的第1实施方式的淬火温度和组织照片。

图10E是本发明的第1实施方式的淬火温度和组织照片。

图11A是在比本发明的第1实施方式更低温下淬火的情况下的组织照片。

图11B是在比本发明的第1实施方式更低温下淬火的情况下的组织照片。

图12是在比本发明的第1实施方式更高温下淬火的情况下的组织照片。

图13是本发明的第1实施方式的板条马氏体的构造示意图。

图14是示出本发明的第1实施方式的适当淬火温度范围的示意图。

图15是本发明的第1实施方式的机构零件的制造方法的流程图。

图16是本发明的第1实施方式的耐蚀试验(盐水喷雾)的结果照片。

图17是本发明的第1实施方式的耐蚀试验(CASS)的结果照片。

图18A是本发明的第1实施方式的滚动轴承的声响特性图。

图18B是本发明的第1实施方式的滚动轴承的声响特性图。

图19是本发明的第2实施方式的耐蚀试验的结果照片。

图20是本发明的第3实施方式的耐蚀试验的结果照片。

图21是本发明的第4实施方式的钓具的外观图。

图22A是本发明的第5实施方式的手持件的主要外观图。

图22B是本发明的第5实施方式的手持件的主要部分剖视图。

图23是以往的不锈钢轴承的组织照片。

附图标记的说明

1：卷筒主体

2：手柄

3：转子

4：线圈

5：线辊

6：捆件

20：手机

21：末端部分

22：壳体

23：滚动轴承

24：旋转轴

25：工具

26：涡轮机翼

27：气体供给部

具体实施方式

首先，本发明的马氏体不锈钢制成的机构零件的目的是得到高硬度，且高耐腐蚀性。

作为机构零件的例子，有滚动轴承、滑动轴承、导轨、直线导轨、滚珠丝杠、轴、凸缘等主要进行相对运动的零件；暴露在盐水中、蒸气环境等物理腐蚀性高的环境下的壁材、屏蔽板、甲板材料等的零件；在食品相关等的容器、加工机等能经受豆酱、酱油等包含的盐、醋等化学侵袭的容器零件；包含蚁酸、反应性高的中间生成物等的燃料电池等辅助设备等所使用的泵、流路的零件等。还使用于医疗用途等体液、血液污染成为问题的部件，和高压灭菌器等进行灭菌所需的零件等，实现耐腐蚀性提高。

首先，说明本发明的马氏体不锈钢的成分。C是为了提高热处理后的硬度而需要的主要成分，为了将热处理后的维氏硬度HRc确保为58以上，添加0.2％以上。但是，如果添加超过0.4％时，粗大的晶界碳化物会析出并使耐腐蚀性劣化，因此为0.4％以下。

Cr是得到耐腐蚀性的成分，添加12.0％～16.0％。不满足12.0％时，不能得到良好的耐腐蚀性；超过16.0％时，会存在δ铁氧体。由于存在δ铁氧体，Cr碳化物会在晶界界面析出，反之，会产生Cr浓度低的区域，耐腐蚀性会下降。因此，定为16.0％以下而使δ铁氧体不存在。此外，在高Cr浓度下，有时马氏体相变开始温度(Ms)会下降，不能进行充分的淬火。作为措施，能够通过在淬火步骤之后进行冷处理来进行对应。

N是为了将马氏体不锈钢的表层的维氏硬度HRc确保为58以上而添加的。另外，N是表面氮化从而构成钝化膜能够提高表面的耐腐蚀性。另外，通过抑制Cr碳化物的析出，能够抑制敏感化。

但是，如果添加超过0.1％时，由于在凝固时不能固溶，容易产生气孔、空隙，因此为0.1％以下。

Mo是进行钝化膜的功能强化的元素，通过帮助Cr氧化膜的自我修复从而能够提高耐腐蚀性。另外，能够提高回火软化阻抗，但如果添加超过3.0％时，由于会生成δ铁氧体且耐腐蚀性劣化，并且使加工性等下降，因此为3.0％以下。

(实施方式1)

接下来，参照附图来说明本发明的实施方式。首先，说明热处理的淬火。图1是示出本发明的第1实施方式的淬火温度和硬度的特性图；图2是影响到淬火时的变形量的、原材料的Cr碳氮化物的平均尺寸的影响；图3是原材料的代表性Cr碳氮化物的扫描型电子显微镜(SEM)像、图4是示出本发明的第1实施方式的回火温度和硬度的特性图。图5是示出本发明的第1实施方式的C+N含有量和硬度的特性图，图6是示出测定本发明的第1实施方式的硬度的部分的示意图。该评价所使用的马氏体不锈钢的样品的组成的主要成分使用了C:0.28％，N:0.08％，Mo:2.09％，Cr:13.5％的样品。

首先，在图1中绘制了本发明的马氏体不锈钢的使淬火温度变化的情况下的淬火温度和维氏硬度的关系。根据图1，淬火温度为950℃以上时，淬火温度上升，并且维氏硬度(HRc)单调增加。硬度的上升在大致1075℃附近达到峰值，之后平缓下降。作为硬度的例子，针对滚动轴承等使用较多的HRc为58～62，在HRc58的位置标注箭头，可知对应的淬火温度的下限值需要为1030℃。

另外，在图2中示出了影响到从1030℃将直线轴的约300mm长度的样品淬火时的变形(折弯)的、原材料的Cr氮碳化物的平均尺寸的影响。淬火后卡住样品轴的一端并慢慢旋转，绘制另一端的全振动(T.I.R(Total Indicator Reading，总读数))。如果Cr氮碳化物的平均尺寸并非不到5μm时，最大振动为1mm以上，淬火时的变形量过大，需要后加工，研磨余量也增大，优选为1mm以下。图3示出代表性原材料的Cr碳氮化物的电子显微镜照片。将原材料埋入纵截面，进行镜面研磨后，电解蚀刻(非水溶液中，例如3％的马来酸+1％的四甲基氯化铵+剩余部分甲醇)后用扫描型电子显微镜进行观察。白色的球状或者棒状的对比物是Cr碳氮化物。这是因为如果原材料的Cr碳氮化物增大时，在淬火时Cr碳氮化物会成为未固溶，母材的Cr、C、N浓度等会变化，从而马氏体相变温度会根据样品部位而变化。

接下来，马氏体不锈钢由于在淬火状态下韧性不足，因此进行回火。图4中，使用与评价淬火特性的组成相同的样品来进行评价。如图1所示，绘制在1050℃下将本发明的马氏体不锈钢淬火后使回火温度变化的情况下的回火温度和维氏硬度的关系。图4中，随着回火温度的上升，维氏硬度(HRc)单调减少。与上述图1同样在HRc58的位置标注箭头，可知对应的回火温度的上限值为大致150℃即可。

接下来，图5是示出本发明的第1实施方式的C+N含有量和硬度的特性图。淬火温度为1050℃，回火温度为150℃。另外，作为接着淬火的冷处理，以利用干冰的冷处理有无的2个水准进行实验。作为冷处理，已知利用液氮的约-200℃左右的极低温的处理、利用干冰的约-80℃左右的温度比较高的处理，但在本实施方式中使用利用干冰的冷处理。在图5中，进行了冷处理的样品由黑圈(●)绘制，未进行冷处理的样品由白圈(○)绘制。关于这种马氏体不锈钢的维氏硬度(HRc)，已知能够由C+N整理。

作为对于维氏硬度的、由C和N贡献的近似式，提出了各种近似式。例如，已知与C浓度的平方根成比例的近似式(1)：α1+β1＊√C(α1、β1是常数)，

C相对于N的贡献为2至3倍高的近似式(2)：α2+β2＊√(C+N/γ1)(α2、β2、γ1是常数)，

与(C+N)成为线性的近似式(3)：α3+β3＊(C+N)(α3、β3常数)等。

在不进行冷处理的情况下，维氏硬度随着(C+N)的增加而直线地上升，但大致在0.26％左右达到峰值并下降。另一方面，如果进行冷处理时，确认了相对于(C+N)线性增加直到0.4％。因此，在本发明中，上述近似式(3)的线性近似能良好地拟合。通过进行冷处理，在(C+N)为0.2～0.4％的范围内，抑制残留奥氏体(残留γ)的产生，硬度随着(C+N)而上升。

根据图5可知，要得到硬度HRc的58～62，使(C+N)的含有量为0.3～0.4％从而能够得到。

图6是示出测定本发明的第1实施方式的硬度的部分的示意图。在该硬度的测定中，意识到是滚动轴承的圈，而定为外径φ10mm且在中央开有相当于内径的孔(φ4mm)的环状且厚度为4mm的圆盘状。硬度的测定是在圆盘的相同侧的面上在内外径的中央部分(φ7mm的圆周上)大致轴对称地用微维氏计来测定位置并换算为洛氏C比例(HRc)。

接下来对于本发明所涉及的机构零件，图7和图8示出了关于影响硬度的残留奥氏体和影响耐腐蚀性的δ铁氧体的存在量，与(C+N)的相关的更详细调查的结果。图7是示出本发明的第1实施方式的(C+N)的含有量和δ铁氧体量的特性图。

图中的圆圈(●)绘制了将N固定为0.1％并使C变化的情况下的(C+N)和δ铁氧体的体积％(Vol％)值，三角形标记(▲)绘制了将C固定为0.16％并使N变化的情况下的(C+N)和δ铁氧体的体积％(Vol％)，星标(★)绘制了将C固定为0.2％并使N变化的情况下的(C+N)和δ铁氧体的体积％(Vol％)值，方块标记(■)绘制了将C固定为0.4％并使N变化的情况下的(C+N)和δ铁氧体的体积％(Vol％)值。

为了易于理解，如果从各测定点描绘δ铁氧体的预测线后，就能够理解到：由于(C+N)的增加，δ铁氧体单调减少，在0.3％以上的区域不存在δ铁氧体。

如果存在δ铁氧体时，由于Cr碳化物(M23C6:此处M为Cr)会在晶界的界面部分析出，使Cr浓度下降并成为生锈的起点的可能性高，因此抑制产生是重要的。

图8是示出本发明的第1实施方式的C+N含有量和残留奥氏体量的特性图。

与图7的情况同样，图中的圆圈(○和●)绘制了将N固定为0.1％并使C变化的情况下的(C+N)和残留奥氏体的体积％(Vol％)。图中的三角形标记(△和▲)绘制了将C固定为0.16％并使N变化的情况下的(C+N)和残留奥氏体的体积％(Vol％)。图中的星标(☆和★)绘制了将C固定为0.2％并使N变化的情况下的(C+N)和残留奥氏体的体积％(Vol％)。图中的方块标记(□和■)绘制了将C固定为0.4％并使N变化的情况下的(C+N)和残留奥氏体的体积％(Vol％)。另外，白色的绘图(○、△、☆、□)是没有冷处理的情况，黑色的绘图(●、▲、★、■)是进行了利用干冰的冷处理的情况。

也与图7的情况同样为了易于理解，根据有无冷处理，在各白色的绘图(○、△、☆、□)和黑色的绘图(●、▲、★、■)上追记了预测线。由此，能够理解到：随着(C+N)的增加，残留奥氏体单调增加。在没有冷处理的情况下，对于大致0.15％以上的(C+N)，残留奥氏体单调增加，但通过进行冷处理，从而直到(C+N)为0.3％能够可靠地抑制残留奥氏体的产生，并且即使(C+N)为0.4％也能够抑制残留奥氏体的产生，能够使硬度HRc为58～62，并且，能够抑制到认为残留奥氏体所导致的弊病少的10％以下的7％左右。

接下来对于锈的产生，关于结晶的细化和界面的关联，说明本发明的耐腐蚀性提高的考虑方法。已知马氏体不锈钢生锈是在旧奥氏体晶粒的晶界中，如果存在δ铁氧体时Cr碳化物会在晶界界面析出而使Cr浓度下降，并产生Cr的缺乏层时就容易生锈。

因此，利用图9A、图9B来说明成为生锈的起点的可能性高的晶界的长度。

现在，在图9A、图9B中，假定马氏体不锈钢的一边的长度为单位长度L的正方形部分来考虑。在图9A中晶粒小，一边的长度为单位长度L的1/6。在图9B中晶粒大，一边的长度为单位长度L的1/3。即，晶粒的一边的大小为一倍·一半的关系。在晶粒小的图9A中，纵向的界面的长度是单位长度L的6倍的6＊L的长度，横向也同样为6＊L的长度。因此，作为横纵的长度之和，晶界的界面的长度为12＊L。

另一方面，如果对于晶粒大的图9B也同样求出，则纵、横都为3＊L。因此，作为横纵的长度之和，晶界的界面的长度为6＊L，界面的长度成为一半。即，晶粒大的一方的晶界的界面长度变短。

现在，作为在旧奥氏体晶粒的晶界中成为生锈的起点并进行生锈，如果假定成为生锈的起点的概率是相同的程度，那么就能够理解：晶粒大的一方能够使生锈的概率下降。在平面中进行了长度的简单比较，但由于晶粒是立体的，因此认为比较表面积总和更为现实。即，由于相似比是2:1，因此比较面积时会成为相似比的平方，认为作为生锈的概率有可能出现4倍的差。因此，组织的细化对于特性改善也是重要的，但关于生锈，由于认为生锈的起点位于晶界，因此认为细化不一定是好的方向。即，认为进行控制使得Cr碳化物不会析出而固溶在基地内是重要的。

接下来，参照附图说明淬火温度和组织的状态。图10A～图10E示出本发明的第1实施方式的淬火温度和组织照片。图11A、图11B示出在比本发明的第1实施方式更低温(不到1020℃)下淬火的情况下的组织照片，图12示出在比本发明的第1实施方式更高温(1150℃以上)下淬火的情况下的组织照片。图10A～图10E是用光学显微镜以约400倍对使淬火温度从1030℃到1140℃变化的情况下的组织的状态进行拍摄的。

表面被#600号的研磨纸研磨后，使用氧化铝浆料进行镜面研磨后，利用氯化铁+稀硫酸的混合酸蚀刻。关于表面研磨的方法、蚀刻液，能够通过表面的观察状态来适当变更。图10A～图10E中都示出板条马氏体的样态。在初始奥氏体的结晶边界(奥氏体的边界)中明显看到板条束(packet)的生长。看起来板条块(block)的生长不充分。看起来板条束还在图10B～图10D(淬火温度1050℃～1080℃)的温度范围内，旧奥氏体晶粒生长最多。生长的晶粒直径的大小从照片可知，为30～100μm。

图11A、11B是在比本发明的第1实施方式更低温的不到1020℃下淬火的情况下的组织照片。

图11A是以约400倍拍摄的光学显微镜的照片，板条束和板条块都没有生长而发生了细化。可见晶粒并非是一个一个突起的所谓粒状，而是扁平的感觉。

图11B是图11A的电子显微镜照片用倍率5000倍放大得到的。照片中可以看到多个未固溶的看起来为1μm左右大小的白色球状的Cr碳化物。

认为由于该Cr碳化物阻碍了板条束的生长，而成为细微的晶粒。认为在冷却时被钉扎而使细化发展了。

即，认为如果Cr在旧奥氏体的晶界内不析出而被固溶，那么能看到良好生长的板条束。作为旧奥氏体晶粒的大小，由照片能够理解在以1020℃以下淬火的情况下为不到30μm。

图12是在比本发明的第1实施方式更高温的1150℃以上的高温下淬火的情况下的组织照片。在图12中以约400倍拍摄的光学显微镜的照片中看到大的δ铁氧体。δ铁氧体的存在由于通过使界面的Cr碳化物析出，从而Cr浓度下降并产生缺乏层，因此会使耐腐蚀性下降，这已经进行了说明。

这样，在本发明中通过使淬火温度为适当的范围，从而使Cr可靠地固溶在晶粒内部，抑制Cr碳化物在晶界的析出，并且防止δ铁氧体的产生。当淬火温度低于适当范围时，作为晶粒直径的大小，因板条束没有生长而难以知晓，但其不到30μm；当淬火温度高于适当范围时，特征地存在的δ铁氧体也为20μm以下的大小，与图10A～图10E所示的本发明的情况的晶粒的状态有明显差异。

接下来，利用图13来说明本发明的板条马氏体。在图13中，周围的边界在初始的奥氏体的晶界中在旧奥氏体粒内观察到板条束、板条块。板条块是相同结晶方位的集合体，看起来为针状，该板条块的集合体称为板条束。N对板条块的宽度不会带来太大的影响，但随着C的增加，板条块的宽度会变细。不管怎样，在本发明中进行适当的淬火的情况下，确认了会出现作为特征的组织形态。根据板条束尺寸，会给韧性等特性带来影响，但在本发明中，认为能够用于马氏体不锈钢制成的机构零件的适当的组成、适当的热处理的判断。

图14是示出对于本发明的第1实施方式的马氏体不锈钢的组成的、适当淬火温度范围的示意图，是对于淬火温度整理了晶粒直径(板条束的生长)、Cr碳化物的产生、δ铁氧体的产生的示意图。

图13中，通过旧奥氏体晶粒生长，观察到板条束良好地生长。反之，在板条束生长且呈现旧奥氏体晶粒直径为30～100μm的组织的情况下，认为淬火温度在1030℃～1140℃的适当范围内被进行了。

在不到该淬火温度范围内进行淬火时，如上所述，由于Cr碳化物而抑制旧奥氏体晶粒的生长，细化发展，旧奥氏体晶粒的尺寸不到30μm。

同样在高于该淬火温度范围温度内进行淬火时，会看到δ铁氧体的产生，并且板条束不生长且不到30μm。

所以，认为在适当的温度范围内淬火、以及板条束生长且旧奥氏体晶粒直径为30～100μm是正反一体的关系。另外，在本发明中关于淬火温度和晶粒的生长，如上所示认为板条束的生长进一步发展的淬火温度1050℃～1080℃的温度范围是更优选的淬火温度范围。

接下来说明耐腐蚀性。关于不锈钢的耐腐蚀性，已知利用孔蚀指数PI(PittingIndex＝Cr+3.3Mo+16N)，其与孔蚀电位之间存在相关性。作为耐腐蚀性高的代表性的不锈钢，广泛已知奥氏体系不锈钢的SUS304，根据Cr含有量作为PI值为18.0～20.0。

在马氏体不锈钢中，已知Mo、N使耐腐蚀性提高，与上述PI值很符合。广泛已知PI值在大致18以上表示SUS304水平的孔蚀电位。

然而，如果存在δ铁氧体时，即使PI值高，耐腐蚀性(孔蚀电位)也会显著下降。

所以，重要的是除了使PI值为SUS304水平之外，还要不产生δ铁氧体。

根据本发明，通过在适当的温度范围内淬火，并进行冷处理，从而能够抑制δ铁氧体的产生，能够得到与PI值相称的孔蚀电压，确保高耐腐蚀性。

接下来，说明本发明的流程。图15是本发明的第1实施方式的机构零件的制造方法的流程图。

步骤包括1、2、3、4、4A，为：准备材料的步骤1；淬火之后进行冷处理的步骤2；进行回火的步骤3；利用磨削或者研磨来改善面粗糙度的步骤4；在表面形成氧化被膜并使其钝化的步骤4A。将步骤2、3总括称为热处理。

另外，示出了也可以省略用括号括起来的步骤4、4A。

首先，在步骤1中是准备本发明的马氏体不锈钢的步骤，事先准备利用车床、铣削、机械加工等加工机加工为所需的机构零件的形状的部件。一般而言，由于随着热处理会产生翘曲、变形、表面的粗皮、污垢(凹痕)等，因此形状包含用于将这些去除并修正的研磨余量、磨削余量等。

在本发明中，淬火所带来的翘曲、变形等小，由于在容许范围内收纳在必要的精度内，因此能够使这样的研磨余量、磨削余量等加工余量最小。

接下来，在真空炉等中从1030℃～1140℃进行淬火，使得在步骤2中得到如上所述所需的硬度，成为不存在有害的δ铁氧体的板条马氏体。

根据该步骤2，能够给机构零件带来所需的硬度、金属组织。具体而言，可以实现所需的板条马氏体的组织。在淬火温度下机构零件成为奥氏体的组织，随着冷却引起马氏体相变并成为高硬度的板条马氏体的组织。

关于淬火的热处理炉没有特别指定，但能够在一般使用的真空炉中充分进行淬火。

已知在冷却时基于形变的机构零件的翘曲、变形一般而言是伴随冷却时的温度不均一的、向马氏体的相变时间产生差异而产生的。因此，重要的是确认机构零件的质量、形状、热处理炉的热特性(热容、冷却能力)、投入数量(质量)等条件。

接下来，淬火的步骤之后，进行冷处理。淬火所导致的马氏体相变在高于常温的温度下完成，但由于(C+N)的量，有时会存在残留奥氏体。如已知所示，残留奥氏体的存在不只会使马氏体的硬度下降，而且会随着时间进行向马氏体的相变。由于在奥氏体和马氏体中存在晶体结构的差异(FCC/BCC)引起的体积变化，因此作为机构零件，尺寸会变化，或者形状会形变。

因此，优选的是使残留奥氏体充分降低。

残留奥氏体会根据马氏体相变开始点(Ms)的下降、冷却速度等而变化，但在合金成分中也会由于C+N的增加而引起。因此，为了使机构零件更稳定，降低残留奥氏体是有效的，因此，通过淬火之后进行冷处理，能够可靠地降低残留奥氏体。

通过这样进行冷处理，从而直到(C+N)为大致0.28％左右能够抑制残留奥氏体的产生。即使(C+N)为0.4％也具有降低残留奥氏体的产生的效果，能够使硬度HRc为58～62。另外，能够抑制到认为残留奥氏体所导致的弊病少的10％以下的7％左右。

在步骤3中，是利用淬火给成为高硬度的马氏体的机构零件带来所需的韧性，去除形变并使其稳定化的步骤。当回火温度高时，硬度会下降。回火分为：使硬度优先来赋予韧性而在200℃左右的比较低温下进行的低温回火；以及为了带来高韧性而在600℃左右下进行的高温回火。在本发明中，由于作为机构零件，向轴承的应用进入到视野，因此使硬度优先并在300℃以下的比较低温的150℃、优选的是150℃±10℃下进行回火。

在需要更好韧性的机构零件的情况下，也可以进行600℃左右的高温的回火，但由于在该情况下硬度下降，因此需要注意、探讨。利用该步骤3，可以使本发明的第1实施方式所涉及的机构零件的制造流程结束。

接着步骤3的回火，说明作为步骤4，通过对于机构零件的表面进行磨削、研磨来提高改善面粗糙度的步骤。

已知金属表面粗糙化时表面积会增大，例如通过在电解电容器的铝箔等上使表面粗糙化，将实际表面积增大为投影面积的3倍以上，能够提高电容量。反之，相对于投影面积，通过使表面的粗糙度改善，从而能够降低实际表面积。如上所述，说明了晶粒直径的细化会增大成为生锈的起点的晶界的长度、面积，但在该情况下，同样使表面的面粗糙度改善，能够防止实际表面积的增大，从而能够减少成为生锈的起点的界面的面积。由于机构零件已经结束了步骤3，所以热处理结束且硬度提高。因此，用通常的切削工具等难以加工。另外，在切削工具等去除量多的加工中，不能太期待使面粗糙度改善。因此，通过利用磨具、浆料等进行磨削、研磨，能够使硬度高的机构部的表面的面粗糙度改善。此外，除了磨削、研磨以外，也能够适当使用滚筒抛光、挤光加工、电解研磨等使硬度高的表面的面粗糙度改善的加工方法。

接下来，说明步骤4A的在表面形成氧化被膜的步骤。步骤3的回火之后，根据需要进行步骤4，但之后，进行步骤4A的在表面形成氧化被膜的步骤。已知不锈钢由于Cr的氧化被膜而会提高耐腐蚀性，但这是更积极地构成该氧化被膜并带来更高的耐腐蚀性的步骤。通过用坚硬的氧化被膜来覆盖机构零件的表面，从而使表面钝化(passivation)。Cr氧化膜在空气中生成的情况下，膜厚极薄，为5nm左右，但能够利用氧化性的硝酸来构成牢固的氧化被膜。在该情况下，能够得到大致2倍的10nm左右厚度的氧化膜。

钝化处理是如下处理：例如在以5～40％HNO3溶液为底液，根据需要微量添加过氧化氢、过锰酸、铬酸等的氧化剂的溶液中，在常温～70℃下对制品进行浸渍。

另外，在用硝酸进行钝化处理的步骤之前，将表面电解研磨，从而能够进一步提高耐腐蚀性。认为这是除了使步骤4所记载的界面的面积减少之外，优先去除表面的尖部，成为平滑的表面。

进一步为了通过电解研磨，表层的Fe溶出，因此表面成为富Cr的组成。由此，成为越到表面耐腐蚀性越高这样的组成。此外，由于在本发明的马氏体不锈钢中包含已知作为进行钝化膜的功能强化的元素的Mo，因此通过帮助Cr氧化膜的自我修复，也能够提高耐腐蚀性。

利用图16和图17来说明耐腐蚀性的评价。图16是作为本发明的第1实施方式的耐蚀试验的盐水喷雾试验的结果的照片，图17是作为本发明的第1实施方式的耐蚀试验的CASS试验的结果照片。作为评价对象，使用滚动轴承。作为轴承的圈，是本发明的圈；和使用滚动轴承中使用较多的SUS440C进行的圈。

首先，盐水喷雾试验以JIS Z 2371(中性盐水喷雾试验)为基准来进行。作为喷雾液，使用浓度为50±5g/L的氯化钠，在PH＝6.5～7.2，温度35℃±2℃，喷雾量1.5±0.5mL/H下实施。示出了50小时、100小时、250小时的外观的照片。在本发明的轴承中，经过250小时后也没有生锈，但在SUS440C的轴承中，100小时后在内外圈就能看到满满的锈。在250小时后，成为轴承整体着实地生锈这样的状况，能够确认本发明所带来的高防锈性。

接下来，CASS(Copper accelerated acetic Acid Salt Spray test，铜加速醋酸盐雾试验)试验以JIS Z 2371(CASS试验)为基准来进行。作为喷雾液，使用浓度50±5g/L的氯化钠和0.205±0.015g/L的氯化铜(II)的混合液，在PH＝3.1～3.3(乙酸酸性)，喷雾室内温度：50℃±2℃，喷雾量：1.5±0.5mL/H下实施。示出了50小时、100小时、250小时的外观的照片。CASS试验是比盐水喷雾更严格的试验，本发明的轴承在经过250小时后，在圈部分也没有生锈。

在位于内外圈之间的奥氏体不锈钢制的SUS304制的屏蔽板看到略微的变色。由此，得到耐性性比高防锈性的SUS304高的试验结果。在SUS440C的轴承中，50小时后在内外圈看到满满的锈。在250小时后，成为轴承整体没有空隙地生锈且看不到轴承自身的表面的状况。确认了屏蔽板也象锈转移那样确实生锈。由此，能够确认本发明的圈具有高防锈性。

接下来，利用图18A和图18B来说明本发明的马氏体不锈钢制成的滚动轴承的声响特性。图18A和图18B示出作为分别本发明和以往的比较例的SUS440C制成的滚动轴承中测定具体而言MR137(φ13×φ7×W4)和MR148(φ14×φ8×W4)的各20个的安德鲁值的度数分布。省略详细的说明，但在图表的右侧的本发明的轴承、左侧的已有例的轴承的数据从下起依次示出L、M、H的各频带的测定值的度数。无论哪种形式，本发明的轴承的声响特性与以往产品相比都不逊色，在一部分频带与以往产品相比得到平静的结果。

在马氏体不锈钢中，为了改善声响特性，将碳化物细化的改良得到发展，但在本发明的生长的晶粒中，认为由于Cr、C良好地固溶，因此得到声响良好的结果。

(实施方式2)

接下来，说明作为本发明的第2实施方式的直线轴。

轴是通过拔出成为所需直径的条材料，通过旋转切削精加工为φ4x60。该轴作为淋沐盐水的环境下使用的机构零件的一例，设想为能更换地固定未图示的部件的压入销。因此，由于因生锈而取不下就不能更换部件，所以希望一种耐腐蚀性高的压入销。

因此，进行了利用本发明的步骤4来改善其表面的面粗糙度而得到的耐腐蚀性提高的确认。

轴的条件在图15的步骤中直到步骤1、步骤2、步骤3都相同，通过有无步骤4来作为2个水准，不进行步骤4A的在表面施加氧化被膜。条材料是旋转切削加工的，被精加工为表面粗糙度为大致Ra＝0.65左右。步骤4是利用无心研磨，使表面粗糙度为大致Ra＝0.1来改善面粗糙度。其他条件相同。

试验方法在与上述盐水喷雾试验相同的条件下以JIS Z 2371为基准，比较并示出经过250小时后的照片。在右方的仅旋转切削(未改善表面粗糙度)的轴中，在上部看到产生了仅仅一点点但像云雾那样的点锈。另一方面，左方的改善了表面粗糙度的轴中没有看到生锈。这样，认为使表面粗糙度改善，从而提高耐腐蚀性。

认为这是通过使轴的表面的面粗糙度改善，从而能够降低实际表面积，减少成为生锈的起点的界面的面积，从而提高耐腐蚀性。

(实施方式3)

接下来作为本发明的第3实施方式，关于在表面施加氧化被膜的所谓的钝化处理，利用图20来说明轴承的耐蚀试验。图20的轴承是在本发明中，比较有无所述步骤4A的在表面形成氧化被膜的步骤的所导致的差、以及CASS试验的350小时的差。

关于其他的步骤1、步骤2、步骤3、步骤4，都是同样实施的。

左方的轴承作为钝化(钝化处理)，将氧化性的硝酸(HNO3)作为底液来进行浸渍。关于硝酸浓度、处理温度·时间等、处理液，以及使用硝酸-铬酸、硝酸-过锰酸等混合酸都能够适当选择。在本实验中，是浸渍到12％的HNO3由表面的Cr氧化膜所导致的钝化。

在右方的无钝化的轴承中，为在内圈内径部仅仅看到暗斑的差。在左方的轴承中也看不到暗斑，为光洁的表面。看到了钝化所导致的耐腐蚀性的差，但无论哪种轴承，根据CASS所带来的试验的结果，认为耐腐蚀性相当良好。

认为进行了钝化的表面的Fe由于氧化性的硝酸而溶出，成为富Cr，耐腐蚀性进一步提高。

(实施方式4)

接下来，作为本发明的第4实施方式，利用图21来说明作为使用了滚动轴承的旋转装置的钓具的卷筒。在本实施方式中，是被称为所谓的旋转卷筒。卷筒主体1装载在未图示的称为杆等的钓竿并使用。使手柄2在A的方向旋转，从而转子3相对于卷绕线的线圈4旋转。在转子3设有被称为捆件6的弯曲的棒状的部件；引导被称为线的未图示的钓线的线辊5，能够将线卷绕在线圈4。在该卷筒的未图示的内部使用2个本发明的第3实施方式的滚动轴承。另外，在线辊5使用与本发明的第2本实施方式同样的改善了面粗糙度的机构零件。

这种卷筒由于较多使用于从沙滩进行垂钓等，暴露在淋沐盐水的环境下。另外，在卷绕线时线辊5由于附着在线上的沙子，犹如研磨剂那样表面被侵蚀。由此，线辊5除了盐水所导致的化学侵蚀之外，还被沙子机械地侵蚀。根据本发明，作为表面硬度高且耐腐蚀性高的主体，能够构成线辊。在对母材实施镀覆的线辊中，由于镀覆容易受损并生锈，因此耐腐蚀性会成为问题。钛等耐腐蚀性高的材料成本高，加工性差。与这些相比，根据本发明，能够低廉实现高硬度、耐腐蚀性良好的线辊。由于耐腐蚀性高，因此，维护与以往相比也能够容易进行。

(实施方式5)

上述实施方式4以滚动轴承为例进行了说明，但包括壳体、1个以上的滚动轴承、中空轴的滚动轴承单元也属于本发明的权利范围。作为对耐腐蚀性有要求的滚动轴承单元，例如可以例举牙科手机的空气涡轮机、向燃料电池等空气电极的送风风扇、组装在火山口或温泉等腐蚀性气体气氛下使用的多转子等所使用的装置。滚动轴承单元一边对1个以上的滚动轴承赋予预压，一边用粘接或者压入等方法一体化。因此，在更换滚动轴承时，顾客要一边对滚动轴承的单个调整预压一边进行，但根据本发明，不需要该麻烦的作业。

(实施方式6)

接下来利用图22A、图22B来说明本发明的第6实施方式的牙科用的手机。图22A示出作为本实施方式的旋转装置的牙科用手机20的末端部分21。末端部分21与直线的把持部连续，位于插入口腔内的锥形部的末端。

另外，在壳体22的轴心部经由本发明的第3形态所示的滚动轴承23、23旋转自如地支持有旋转轴24，在旋转轴24的末端能装拆地装载有磨具、钻头等医疗用的工具25。另外，涡轮机翼26能一体旋转地固定并安装在旋转轴24。该涡轮机翼26利用从设在壳体22的气体供给部(导入路)27供给的空气而高速旋转，其转速达每分钟30万转以上。

旋转轴24的稳定的高速旋转被滚动轴承23、23的性能大幅左右。滚动轴承23的形式没有特别限定，但能够承受径向负荷与轴向负荷这两者，能够例举，例如开放式深槽球轴承、开放式有角球轴承等作为代表性的轴承，另外能够分别使用具有保持器的轴承和没有保持器的轴承，除了带两个密封之外，根据使用条件也能使用带单侧密封的轴承。

而且，在本发明中，内外圈、转动体的至少1个为实施方式1所示的马氏体不锈钢制。另外，转动体也同样能够为实施方式1所示的马氏体不锈钢制，但优选的是陶瓷制，利用日本特开平6-108117号公报公开的微球的造粒法来制造的即可。在造粒法的情况下，微球的原材料是将块状的铸锭粉碎，使筛选的微粒球状化，将其半烧结并筛选的一定范围内的材料作为第一次原材料。将该第一次原材料作为核，在其周围形成由追加供给的原料粉末形成的附着层。接下来，将形成有该附着层的材料半烧结从而作为生长粒。将得到的生长粒筛选并在一定范围内区分后，烧结并得到微球原材料。

通过使转动体为陶瓷制，耐磨损性、抗烧灼性提高，即使润滑剂的供给量减少也能够长时间运转。另外，由于陶瓷球的比重比不锈钢球小，因此能够进行进一步的高速旋转，其结果是，牙科用手机所进行的齿的切削性能增加。

另外，在手持件产生的噪声措施方面，不锈钢球的情况下与滚道圈的金属彼此接触导致而产生的声音会成为问题，但陶瓷球的情况下由于是不同种类材料的部件彼此的接触，因此声音安静。

保持器也没有特别限定，除了冠形保持器之外，也可以是加压保持器、固态保持器、成型保持器、销形保持器等任意保持器。保持器的材质可以是不锈钢、陶瓷材料、树脂组合物。

由于存在口腔内的出血等导致的污染物等，手机在使用后要灭菌处理。通常进行利用高温高压的蒸气灭菌(高压灭菌器)。根据本实施方式，由于是能够经受利用高压灭菌器的灭菌的高耐腐蚀性的滚动轴承，因此能够延长手机的寿命。此外，除了蒸气灭菌之外，由于对于利用次氯酸钠等的、利用游离氯进行的灭菌也具有高耐腐蚀性，因此也能够利用。

另外，游离氯用于净水场的灭菌，也能应用于这些设备所使用的部件等。

此外，作为同样的腐蚀性的环境，也能应用到包含蚁酸、反应性高的中间生成物的燃料电池用的泵、送风机等辅助设备、应用于μ-TAS等的射流部件、流路零件等。

本发明中作为比较例示出的SUS440C的400倍的组织照片如图23所示。在图23中晶粒被细化，为数μm以下，各处的看起来白色的、大的粒子是Cr的碳氮化物，约为5～10μm左右。

如上所述根据本发明，通过在马氏体不锈钢中良好地固溶C、N，从而使晶粒生长，能够实现高硬度、高耐腐蚀性的机构零件。实施方式中公开的内容能够适当变更。

详细或者参照特定的实施方式说明了本发明，但在不脱离本发明的精神和范围内能够施加各种变更、修正对于本领域技术人员而言是不言自明的。

本申请基于2013年11月13日申请的日本专利申请(日本特愿2013-235002)，其内容作为参照并入本文。

产业上的利用可能性

根据使用本发明所涉及的马氏体不锈钢的机构零件的制造方法，由于能够实现表面硬度高、耐腐蚀性优良的机构零件，因此，能够适用于淋沐盐水等的环境等所使用的轴、轴承等。另外，通过使用这些机构零件，能够提高旋转装置等的耐腐蚀性。

Claims (8)

1.一种高硬度、高耐腐蚀性马氏体不锈钢制机构零件的制造方法，利用如下步骤，使得表层的旧奥氏体晶粒直径为30～100μm，通过进行冷处理使得表面硬度为HRc58～62及残留奥氏体为10体积％以下，并由于C+N为0.3％以上而不存在δ铁氧体，上述步骤包括：准备马氏体不锈钢的步骤，该马氏体不锈钢为：包含成分以重量百分比计0.20～0.40％的C、0.1％以下的N、3％以下的Mo、12.0～16.0％的Cr，且0.3％≤C+N≤0.4％，PI值(＝Cr+3.3Mo+16N)为18以上，剩余部分实际上是Fe和不可避免的杂质；在真空炉里，从1030℃至1140℃进行淬火的步骤；冷处理的步骤；在150℃以下进行回火的步骤；

接下来，进行利用磨削、研磨等来使面粗糙度改善的步骤。

2.如权利要求1所述的高硬度、高耐腐蚀性马氏体不锈钢制机构零件的制造方法，其特征在于，

接着热处理或者使面粗糙度改善的步骤，进行在表面形成氧化被膜的步骤。

3.一种旋转装置，是由权利要求1或2所述的制造方法制作的机构零件，其特征在于，

通过使耐腐蚀性改善，从而能够暴露在腐蚀环境下。

4.如权利要求3所述的旋转装置，其特征在于，所述腐蚀环境是利用游离氯进行的灭菌。

5.一种滚动轴承，是由权利要求1或2所述的制造方法制作的机构零件，其特征在于，

所述滚动轴承的内圈、外圈、转动体中的至少1个由所述制造方法制作。

6.如权利要求5所述的滚动轴承，其特征在于，所述腐蚀环境是利用游离氯进行的灭菌。

7.如权利要求5所述的滚动轴承，其特征在于，所述滚动轴承是手持件用轴承。

8.一种滚动轴承单元，包括壳体、滚动轴承、轴部件，其特征在于，

所述壳体、所述滚动轴承、所述轴部件中的至少1个由权利要求1或2所述的制造方法制作，通过使耐腐蚀性改善从而能够暴露在腐蚀环境下。