JP4442030B2 - 転がり支持装置の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、転がり軸受、ボールねじ、およびリニアガイド等の転がり支持装置に関し、特に、精密機器、食品機械、半導体素子や液晶パネルの製造設備、医療検査装置、歯科用ハンドピース等の回転部を有する医療機器、および釣り具等用の転がり支持装置として好適なものに関する。
【0002】
本発明はまた、航空機のジェットエンジン、ガスタービン、トランスミッション等のように、高温且つ高速回転で使用される転がり支持装置として好適なものに関する。
【0003】
【従来の技術】
精密機器、食品機械、半導体素子や液晶パネルの製造設備、医療検査装置、および釣り具等に使用される転がり支持装置は、錆が生じ易い雰囲気で使用されるか、僅かな錆の発生も許容されない装置である。そのため、従来より、これらの転がり支持装置の構成部品は、マルテンサイト系のSUS440C、0.7C−13Crステンレス鋼等で形成されている。これらのステンレス鋼は、一般的な転がり支持装置の構成部品に使用されているSUJ2やSCR420よりも耐食性に優れるとともに、その表面硬さを、焼入れ硬化によって、転がり支持装置の構成部品として必要な硬度であるHRC(ロックウエルC硬度)58以上とすることができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、近年、転がり支持装置の使用環境が益々多様化していることに伴って、耐食性、転がり疲労寿命、信頼性に対する要求が高くなり、前述のSUS440Cや0.7C−13Crステンレス鋼を使用した転がり支持装置では、このような要求に十分応えることができない場合がある。
【0005】
例えば情報機器は、近年、小型化されたことによって携帯して使用されることが多くなったため、落下して衝撃が加わったり振動に晒されたりする危険性が従来より高くなっている。機器に加わる微小振動や揺動によって、機器内の転がり軸受は、転動体と軌道輪との接触面にフレッチング(接触する二面間が相対的な繰り返し微小滑りを生じて摩耗する現象)が発生して、音響特性が劣化するという問題点がある。
【0006】
本発明の第1の課題は、この問題点に着目し、耐食性および耐フレッチング性等に優れた転がり支持装置を提供することにある。
一方、航空機のジェットエンジンやガスタービン等用の転がり軸受は、高温で高速回転されることから、転がり疲労寿命や耐摩耗性に加えて、芯部がフープ応力に対して十分な抵抗力を有することや、高温での表面硬さが十分であることが必要とされる。そのため、このような用途の転がり軸受材料としては、従来より耐熱性に優れたAISI−M50やM50NiL等のハイス(High-speed steel:高速度鋼)系材料が使用されている。M50NiLを使用する場合には浸炭処理等の表面硬化処理が行われている。
【0007】
しかしながら、これらのハイス系材料は耐食性の点でステンレス鋼に劣る。特に、航空機のジェットエンジン用の転がり軸受は、空港が海に隣接した場所に多いことや、使用環境の温湿度変化が大きいため結露が生じ易いことから錆が発生し易い。そして、航空機では安全性が重視されるため、僅かな錆の発生で軸受寿命と判断される場合がある。
【0008】
したがって、航空機のジェットエンジン用の転がり軸受には、耐食性の向上が求められているが、前述のSUS440C等のステンレス鋼では、十分なフープ応力抵抗性や高温での十分な硬さが得られないばかりでなく、耐食性の点でも改善の余地がある。
これに対して、特開平7−278762号公報には、炭素含有率が0.03重量%以下(好ましくは0.02重量%以下)と低い所定組成のステンレス鋼を用い、浸炭処理ではなく窒化処理による表面硬化を行うことによって、十分な芯部靱性と表面硬さを保持しながら表層部の耐食性を向上させることが記載されている。しかしながら、窒化処理によって多量の窒素を表層部に浸透させることは非常に困難であり、M50を用いて浸炭処理を行った場合と同等以上の表面硬さが得られない。したがって、この公報に記載の方法には、高温且つ高速回転で使用した場合の寿命特性の点で改善の余地がある。
【0009】
本発明の第2の課題は、この問題点に着目し、高温且つ高速回転で使用された場合の寿命が長く、耐食性にも優れた転がり支持装置を提供することにある。
さらに、近年、歯科用ハンドピース用軸受では、回転速度40万〜50万rpmという超高速回転化が進んでおり、転動面の早期損傷や焼き付きによって寿命が短くなることが懸念されている。また、歯科用ハンドピースは、HIVウイルスの感染予防のために135℃程度の蒸気で数分間保持する滅菌処理が、使用の度に毎回行われるようになったため、より高い耐食性が求められている。そのため、歯科用ハンドピース用軸受用材料としてマルテンサイト系ステンレスを用いると耐食性が不十分になる場合もある。
【0010】
本発明は、このような歯科用ハンドピース用軸受として好適な、耐食性および耐焼き付き性に優れた転がり支持装置を提供することも課題とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
[第1の転がり支持装置]
上記第1の課題を解決するために、本発明は、固定体と移動体との間に介装され、構成部品として、転動体と、転動体の軌道を有し固定体側および移動体側に固定される各軌道部材とを少なくとも備え、転動体が軌道を転がり移動することにより固定体に対する移動体の移動を許容する転がり支持装置において、構成部品の少なくとも一つは、クロム(Cr)の含有率が5重量%以上である鉄鋼材料からなる素材を所定形状に加工し、この被加工物に対して、表面硬さをHRC58以上とする熱処理を行った後に仕上げ加工を行い、この表面に、クロム原子と鉄原子の存在比(Cr/Fe)が0.5以上である酸化皮膜を形成して得られたものであることを特徴とする転がり支持装置を提供する。この転がり支持装置を本発明の第1の転がり支持装置と定義する。
本発明の転がり支持装置の製造方法は、第1の転がり支持装置の、前記構成部品の少なくとも一つを製造する方法であって、クロム(Cr)の含有率が5重量%以上で、炭素と窒素の合計含有率(C+N)が0.45重量%以上である鉄鋼材料からなる素材を所定形状に加工し、この被加工物に対して、焼入れおよび焼戻し処理を行って表面硬さをHRC58以上とした後に仕上げ加工を行い、次いで、この被加工物の表面に存在する加工変質層を除去してから、この被加工物をクロム酸を含有する処理液に浸漬することで、この被加工物の表面に、クロム原子と鉄原子の存在比(Cr/Fe)が0.5以上である酸化皮膜を形成することを特徴とする。
【0012】
第1の転がり支持装置においては、使用する鉄鋼材料のクロム(Cr)の含有率が5重量%未満であると、良好な耐食性が得られない。クロムの含有率が高いほど耐食性に優れるが、クロムの含有率が高いと、脆化の原因となるδフェライトが生成され易くなる。そのため、Cr含有量は22.0重量%以下であることが好ましい。
【0013】
また、使用する鉄鋼材料の炭素(C)含有率:〔C〕とクロム含有率:〔Cr〕との関係が、下記の(1)式を満たすことが好ましい。下記の(1)式を満たす鉄鋼材料は、転がり寿命を低下させる原因となる粗大共晶炭化物が、凝固過程で生成し難くなる。下記の(1)式を満たさない鉄鋼材料を用いて、表面硬さをHRC58以上とするためには、この鉄鋼材料の炭素と窒素の合計含有量(C+N)を0.45重量%以上とする。
【0014】
〔C〕≦−0.05〔Cr〕+1.41……(1)
図5は、本発明第1の転がり支持装置で使用する鉄鋼材料について、炭素含有率とクロム含有率との関係の好ましい領域を示すグラフである。本発明においては、炭素含有率とクロム含有率との関係が、図5のグラフで、〔Cr〕=5.0(重量%)の線と、〔Cr〕=22.0(重量%)の線と、〔C〕=−0.05〔Cr〕+1.41の線と、〔C〕=0.31(重量%)の線とで囲まれた領域(斜線部)内にある鉄鋼材料を使用することが好ましい。炭素含有率とクロム含有率との関係がこの領域内であって、しかも〔C〕≧0.45(重量%)且つ〔Cr〕≦19.2(重量%)とすれば、表面硬さをHRC60以上とすることができる。
【0015】
なお、マルテンサイト系スレンレス鋼以外のステンレス鋼(オーステナイト系ステンレス鋼等)を用いた場合には、窒化処理または浸炭処理等を行うことによって、表面硬さをHRC58以上とすることができる。
鉄鋼材料からなる素材(鋳造品)を加工すると、加工された面に加工変質層(ベイルビー層や破砕結晶からなる層)が生じる。この加工変質層を除去しないで、直接、不動態化処理等の方法によって加工面に酸化皮膜を形成すると、耐食性の回復効果が不十分となって、腐食環境下で酸化皮膜が局部的に侵食される場合がある。また、この加工変質層の上に酸化皮膜を形成しようとしても、得られる酸化皮膜のクロム原子と鉄原子の存在比(Cr/Fe)は0.5未満となり、酸化皮膜の膜厚も50〜300Å程度にしかならない。
【0016】
これに対して、本発明によれば、この加工変質層を除去してから酸化皮膜を形成することによって、クロム原子と鉄原子の存在比(Cr/Fe)が0.5以上である酸化皮膜を形成することができる。この酸化皮膜が形成されている構成部品を備えた転がり支持装置は、耐食性および耐フレッチング性、耐焼き付き性等に優れたものとなる。
【0017】
(Cr/Fe)≧0.5を満たす酸化被膜の厚さは10Å(1nm)以上であることが好ましく、15Å(1.5nm)以上であることがより好ましく、40Å(4nm)以上であることがさらに好ましい。また、この酸化被膜の表面側での前記比は0.7以上であることが好ましい。
加工変質層の除去と酸化皮膜の形成は、例えば、以下の方法で行われる。
【0018】
被加工物の加工表面には、切削油、研削油、プレス油、または防錆油等が付着しているため、先ず、この加工表面を有機溶剤またはアルカリ洗浄剤等によって洗浄する。次に、被加工物を陽極とし、電解液として、硫酸、リン酸、硝酸、またはこれらの酸のナトリウム塩あるいはカリウム塩の1種以上を含有する水溶液を用い、周波数20kHz〜100kHzの超音波をかけながら電解エッチングを行う。これにより、加工変質層が除去される。次に、クロム酸と硫酸または硝酸とを含有する処理液に所定時間浸漬することにより、酸化皮膜を形成する。
【0019】
電解エッチングに使用する電解液の好ましい濃度は、硫酸およびリン酸の場合50〜150g/リットルであり、硝酸の場合50〜500g/リットルであり、ナトリウム塩およびカリウム塩の場合60〜800g/リットルである。電解エッチングの電解条件は、電圧2〜50V、電流0.1〜50A/dm2 、電解時間10〜120秒とすることが好ましい。
【0020】
酸化皮膜形成に使用する処理液の濃度は、クロム酸で15〜300g/リットル、硫酸で30〜850g/リットル、硝酸で40〜500g/リットルとする。処理液の温度は室温〜120℃とし、浸漬時間は10分〜120分間とする。処理液の温度と浸漬時間を変えることで酸化皮膜の厚さを変えることができる。
(Cr/Fe)≧0.5を満たす酸化皮膜の厚さが厚いほど、耐食性および耐フレッチング性の向上効果は高くなるが、酸化皮膜の形成コストの点から、この酸化皮膜の厚さを1000Å(100nm)以下とすることが好ましい。より好ましくは720Å(72nm)以下とする。
【0021】
酸化皮膜形成後に、被加工物を陰極とし、電解液として、クロム酸を50〜150g/リットルの濃度で、リン酸を0.1〜10g/リットルの濃度でおよび/または硫酸を0.1〜100g/リットルの濃度で、マグネシウム、カルシウム、またはバリウムの炭酸塩または硫酸塩から選択された1種以上を過飽和量で含有し、界面活性剤を含有する水溶液を用いて、電解処理を行うことが好ましい。この電解処理の条件は、電圧0.1〜20V、電流0.5〜2A/dm2 、電解時間10〜300分とすることが好ましい。
【0022】
この電解処理時に、陰極である被加工物の周囲に極めて強い水素雰囲気が形成される。これにより、この電解処理が行われた被加工物の表面は、この電解処理が行われていない被加工物の表面よりも耐食性に優れたものとなる。
[第2の転がり支持装置]
上記第2の課題を解決するために、本発明は、固定体と移動体との間に介装され、構成部品として、転動体と、転動体の軌道を有し固定体側および移動体側に固定される各軌道部材とを少なくとも備え、転動体が軌道を転がり移動することにより固定体に対する移動体の移動を許容する転がり支持装置において、軌道部材の少なくとも一つは、合金成分として、重量%(質量%)で、Cを0.2%以下、Siを0.1%以上2.0%以下、Crを10.0%以上20.0%以下、Moを0.4%以上3.0%以下、Niを1.0%以上3.5%以下、Coを1.0%以上10.0%以下、Vを0.4%以上2.0%以下の範囲で含有する鉄鋼材料からなる素材を所定形状に加工し、この被加工物に対して浸炭または浸炭窒化処理を含む熱処理を行うことで、軌道面の表層部の炭素含有率を重量%(質量%)で1.0%以上3.0%以下、軌道面の表面硬さをHRC62以上とした後に仕上げ加工を行い、この表面に、クロム原子と鉄原子の存在比(Cr/Fe)が0.5以上である酸化皮膜を10Å(1nm)以上形成して得られたものであることを特徴とする転がり支持装置を提供する。この転がり支持装置を本発明の第2の転がり支持装置と定義する。
【0023】
すなわち、この第2の転がり支持装置では、軌道部材の少なくとも一つの軌道面の断面構造が、図6に示すように、表面側から、比(Cr/Fe)が0.5以上である10Å(1nm)以上の酸化皮膜1、浸炭層または浸炭窒化層2、芯部3となっている。
この第2の転がり支持装置では、少なくとも一つの軌道部材について、上記組成の鉄鋼材料からなる素材を所定形状に加工し、この被加工物に対して浸炭または浸炭窒化処理を含む熱処理を行う。各合金成分の含有率の臨界的意義を以下に述べる。
〔C:0.2%以下〕
鋼にC(炭素)が含まれていると、焼入れによりマルテンサイト化が生じて、鋼に硬さが付与される。また、靱性を低下させるδフェライトの生成を抑制する作用も有する。しかし、高温で焼き戻しされた場合には、炭素が炭化物となって析出して靱性を低下させるため、炭素含有率は低い方が好ましく、0.2重量%とする。好ましくは0.10重量%以下とする。
【0024】
なお、この第2の転がり支持装置では、炭素含有率を低く抑える代わりに、NiやCo等のオーステナイト安定化元素を添加することによって、δフェライトの生成が抑制されて、靱性に優れたものとなる。
〔Si:0.1%以上2.0%以下〕
Si(珪素)は、製鋼時に脱酸剤として作用するとともに、鋼に焼き戻し軟化抵抗性を付与する元素である。Siの含有率が0.1重量%未満であると、これらの作用が実質的に得られない。
【0025】
また、Siの含有率が高過ぎると靱性が低下する。そのため、Siの含有率の上限を2.0重量%とする。
〔Mn:0.1%以上1.5%以下〕
Mn(マンガン)は、製鋼時に脱酸剤として作用する。Mnの含有率が0.1重量%未満であると、その作用が実質的に得られない。
【0026】
一方、Mnの含有率が高過ぎると、鍛造性および被切削性の低下、S(硫黄)やP(リン)等の不純物と共存することにより耐食性を低下させる。そのため、Mnの含有率を1.5重量%以下とする。
〔Cr:10.0%以上20.0%以下〕
Cr(クロム)は鋼に耐食性を付与する元素であり、第2の転がり支持装置では10.0%以上とすることで高い耐食性を得る。
【0027】
一方、Crの含有率が高過ぎると、靱性を低下させるδフェライトが生成し易くなる。そのため、Crの含有率の上限を20.0重量%とする。
〔Mo:0.4%以上3.0%以下〕
Mo(モリブデン)は、鋼の焼入れ性と焼き戻し軟化抵抗性を増大させる元素であり、耐孔食性を著しく改善する作用も有する。Moの含有率が0.4重量%未満であると、これらの作用が実質的に得られない。
【0028】
一方、Moの含有率が高過ぎると、靱性や加工性が低下する。そのため、Moの含有率の上限を3.0重量%とする。
〔Ni:1.0%以上3.5%以下〕
Ni(ニッケル)は強力なオーステナイト安定化元素であるため、δフェライトの生成を抑え、靱性を向上させる作用がある。これらの作用を十分に得るために、Niの含有率を1.0重量%以上とする。
【0029】
一方、Niの含有率が高過ぎると、オーステナイト組織が安定になり過ぎて十分な焼入れ硬さが得られなくなる。そのため、Niの含有率の上限を3.5重量%とする。
〔Co:1.0%以上10.0%以下〕
Co(コバルト)もオーステナイト安定化元素であり、δフェライトの生成を抑え、靱性を向上させる作用がある。これらの作用を十分に得るために、Coの含有率を1.0重量%以上とする。また、Niと比較してオーステナイト組織を安定化させる作用が弱いため、2.0%以上含有させることが好ましい。
【0030】
一方、Coの含有率が高過ぎると加工性が低下する。また、Coは材料コストが高い。そのため、Coの含有率の上限は10.0重量%とする。
〔V:0.4%以上2.0%以下〕
V(バナジウム)は、強力な炭化物、窒化物形成元素であり、Vを含む鋼には焼き戻し過程で2次硬化が生じるため、鋼の硬度を高くする元素である。Vの含有率が0.4重量%未満であると、これらの作用が実質的に得られない。
【0031】
一方、Vの含有率が高過ぎると、靱性および加工性が低下する。そのため、Vの含有率を2.0重量%以下とする。
この第2の転がり支持装置では、また、軌道面の表層部の炭素含有率を1.0重量%以上3.0重量%以下とし、軌道面の表面硬さをHRC62以上とする。その後に仕上げ加工を行い、この表面に酸化皮膜を形成する。
【0032】
軌道面の表層部の炭素含有率が1.0重量%未満であると十分な硬さと高温特性が得られない。この炭素含有率が3.0重量%を超えると、軌道面に酸化皮膜が形成され難くなる。また、軌道面の表面硬さがHRC62未満であると、高温且つ高速回転で使用された場合に十分に長い寿命が得られない。
なお、浸炭処理と浸炭窒化処理を比較した場合、浸炭窒化処理の方が浸炭処理よりも、窒素の効果で表層部により微細な炭化物が形成される。そのため、浸炭窒化処理を行った方が、同じ炭素含有率でも転がり寿命および耐食性の点で優れている。また、硬化層の深さは、軸受サイズや荷重条件等を考慮して、Yo深さ(Hv550以上となる深さ)が0.8mm〜2.5mm程度となるように適宜設定する。
【0033】
この第2の転がり支持装置では、また、表面に形成する酸化皮膜を、クロム原子と鉄原子の存在比(Cr/Fe)が0.5以上、厚さ10Å(1.0nm)以上となるように形成する。これにより良好な耐食性が得られる。クロム原子と鉄原子の存在比(Cr/Fe)の好ましい値は0.7以上であり、より好ましい値は1.0以上である。また、(Cr/Fe)が0.5以上の酸化皮膜の厚さの好ましい値は15Å(1.5nm)以上であり、より好ましい値は40Å(4.0nm)以上である。(Cr/Fe)が0.5以上の酸化皮膜を1000Å(100nm)を超えるほど厚く形成しても、コストが上昇するだけで耐食性向上効果は飽和するため、(Cr/Fe)が0.5以上の酸化皮膜の厚さの上限値は1000Å(100nm)とする。
【0034】
また、この酸化皮膜の形成を、仕上げ加工後に表面に生じた加工変質層を除去した後に行うことにより、クロム原子と鉄原子の存在比(Cr/Fe)が0.5以上である、耐食性の良好な酸化皮膜を形成することができる。加工変質層の除去と酸化皮膜の形成は、第1の転がり支持装置で説明した方法で行うことができる。
【0035】
なお、仕上げ加工を行わない部分には熱処理時に生成したスケールが残存しているため、熱処理後に、面取り加工を行うか、ショットブラストやドライホーニング等の機械的方法によって、スケールを除去することが好ましい。これにより、仕上げ加工を行わない部分の耐食性を改善することができる。
【0036】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について説明する。
[第1実施形態]
下記の表1に示す合金成分を含有する合金鋼A〜Dを用意した。
【0037】
【表1】
【0038】
これらの合金鋼からなる素材を用い、呼び番号608に相当する単列深溝玉軸受の内輪(軌道部材)、外輪(軌道部材)、および玉(転動体)を作製した。
先ず、粗い精度で切削加工を行った後、被加工物に対して、各合金鋼に適した条件で焼入れおよび焼き戻しを行うことにより、被加工物の表面硬さをHRC58以上とした。また、この時点で被加工物の表面硬さを測定した。次に、研削による仕上げ加工を行った後、下記の▲1▼または▲2▼の方法で皮膜処理を行った。ただし、Cr含有量が少ない合金鋼Dを使用したNo. 1−11では、研削による仕上げ加工後に皮膜処理を行わなかった。
<皮膜処理方法▲1▼>
先ず、被加工物の加工表面を有機溶剤を用いて洗浄した。次に、被加工物を陽極とし、先に述べた方法で電解エッチングを行うことにより、これらの被加工物の表面に存在する加工変質層を除去した。引き続き、被加工物を、クロム酸を含有する室温〜60℃の処理液に浸漬することにより、被加工物の表面に酸化皮膜を形成した。酸化皮膜の厚さは、処理液への浸漬時間を変えることにより変化させた。なお、クロム原子と鉄原子の存在比(Cr/Fe)は、使用する鋼のクロム含有率によっても変化し、クロム含有率の高いものほど大きくなる傾向がある。
<皮膜処理方法▲2▼>
先ず、被加工物の加工表面を有機溶剤を用いて洗浄した。次に、被加工物を50℃に保持した50重量%硝酸に1時間浸漬することにより、被加工物の表面を不動態化処理した。これにより、加工変質層の上に酸化皮膜が形成された。
【0039】
皮膜処理を行った後、被加工物をESCA(X線光電子分光分析装置)にかけて、エッチング速度1nm/分で被加工物表面を深さ方向にエッチングすることにより、被加工物表面に形成された酸化皮膜を深さ方向に元素分析した。
元素分析の結果から、酸化皮膜の表面から深さ5Å(0.5nm)〜10Å(1nm)の層に存在するクロム原子と鉄原子の比(Cr/Fe)を算出した。表面から深さ5Å〜10Åの層での値を使用した理由は、最表面側の酸化皮膜にはコンタミネーションの影響が大きいためである。また、この元素分析の結果から、(Cr/Fe)≧0.5を満たす酸化皮膜の厚さを測定した。これらの結果を下記の表2に示す。
【0040】
上述の方法で作製された内輪、外輪、および玉と、プラスチック製の保持器を用いて、呼び番号608に相当する単列深溝玉軸受を組み立てた。なお、各サンプル毎に、同一の材料を用い同じ方法で作製した内輪、外輪、玉を使用して軸受を組み立てた。また、潤滑剤として、防錆油と鉱油系グリースを使用した。
組み立てた各転がり軸受について、耐食性と耐フレッチング性を調べる試験を行った。耐食性としては塩水噴霧試験を行った。この試験は「JIS Z 2371」に準拠して、35℃の5重量%NaCl水溶液を2週間、霧状で吹き付ける試験である。試験後に、転がり軸受の各構成部品に腐食が生じているかどうかを目視により調べた。この試験による耐食性の評価は、腐食が全く生じていなかった場合は「◎」、著しい腐食が生じていた場合は「×」、明らかな腐食は認められてはいたがその程度が著しくない場合は「△」、軽微な腐食が僅かに生じていた場合は「○」で示した。
【0041】
耐フレッチング性は、先ず、各転がり軸受を、予圧:1.2kgf、回転数:1800rpmで回転させることによって、アキシャル振動加速度(G値)を測定した。この測定を10回行ってG値の平均値を算出した。次に、この測定を行った各転がり軸受を、予圧:1.2kgf、揺動角度:2°、揺動周波数:27Hzの条件で、100万回揺動させた。
【0042】
次に、再度、予圧:1.2kgf、回転数:1800rpmで回転させることによって、アキシャル振動加速度(G値)を測定した。この測定を10回行ってG値の平均値を算出した。そして、揺動試験を行った後のG値の平均値から、揺動試験を行う前のG値の平均値を差し引いて、揺動試験によるG値の増加量(ΔG)を算出した。この値(ΔG)が小さいほど耐フレッチング性が良好であることを示す。
【0043】
各サンプルの構成とこれらの試験結果を下記の表2に併せて示す。表2において、本発明の範囲から外れる値には下線が施してある。また、これらの結果から得られた、ΔG(耐フレッチング性)と酸化皮膜の表面側(表面から深さ5Å〜10Åの層)での「Cr/Fe」との関係を図1に、ΔG(耐フレッチング性)と(Cr/Fe)≧0.5を満たす酸化皮膜の厚さとの関係を図2にそれぞれグラフで示す。
【0044】
【表2】
【0045】
また、No. 1−4,1−5,1−9,1−11について、形成された酸化被膜の表面からの距離と(Cr/Fe)比との関係を図3に、形成された酸化被膜の表面からの距離と酸素含有率との関係を図4に、それぞれグラフで示す。
図3のグラフから分かるように、No. 1−4,1−5では、表面に(Cr/Fe)≧0.5を満たす酸化被膜が形成されている。また、No. 1−9,1−11では、(Cr/Fe)の値が深さ方向であまり変化せず、表面に(Cr/Fe)≧0.5を満たす酸化被膜が形成されていないことが分かる。また、図4のグラフから分かるように、No. 1−4,1−5の方がNo. 1−9,1−11よりも、酸化被膜全体の厚さが厚い。
【0046】
また、図1のグラフから分かるように、酸化皮膜の表面側での「Cr/Fe」が0.5以上(好ましくは0.7以上)であると、耐フレッチング性が良好になる。図2のグラフから分かるように、(Cr/Fe)≧0.5を満たす酸化皮膜の厚さが10Å以上(好ましくは15Å以上)であると、耐フレッチング性が良好になる。
【0047】
また、表2から分かるように、本発明の実施例に相当するサンプルNo. 1−1〜1−7の転がり軸受は、耐食性および耐フレッチング性の両方に優れている。これに対して、本発明の比較例に相当するサンプルNo. 1−8〜1−11の転がり軸受は、耐食性および耐フレッチング性の少なくともいずれかの性能が不良である。
【0048】
No. 1−1〜1−3では、クロムの含有率が6.81重量%と比較的少ない鋼Aを使用しているが、加工変質層の除去と(Cr/Fe)≧0.5を満たす酸化皮膜の形成によって、クロムの含有率の高い鋼B,Cを使用して加工変質層の除去を行わなかったNo. 1−9,1−10よりも高い耐食性および耐フレッチング性が得られている。No. 1−1〜1−6内での比較では、クロムの含有率の高い鋼Bを用いたNo. 1−4〜1−6の方が、クロムの含有率の低い鋼Aを用いたNo. 1−1〜1−3よりも酸化皮膜の「Cr/Fe」が高くなったことにより、特に優れた耐食性および耐フレッチング性が得られた。
【0049】
No. 1−7は、酸化皮膜の表面側での「Cr/Fe」が0.6と比較的低いため、No. 1−1〜1−7内の比較では耐フレッチング性の点で少し性能が劣っていた。
No. 1−8〜1−11は、加工変質層の除去を行わず、(Cr/Fe)≧0.5を満たす酸化皮膜が形成されていなかったため、耐食性および耐フレッチング性の両方が不良であった。
【0050】
また、鋼Dは、クロムの含有率が1.51重量%と低いため、これを用いた場合に、皮膜処理の適用は困難であり、且つ「Cr/Fe」が0.5以上の酸化皮膜を形成することは難しい。また、鋼Cからなる素材を用いた場合は、被加工物から加工変質層を除去した後に「Cr/Fe」が0.5以上の酸化皮膜を形成することは可能である。しかし、鋼Cからなる素材中には長径20μmを超える粗大な共晶炭化物が多く存在しているため、鋼Cからなる構成部品を有する転がり支持装置は、転がり寿命および静粛性が良好でない。
【0051】
以上のことから、表面に形成された(Cr/Fe)≧0.5を満たす酸化皮膜の厚さが10Å〜720Åであると耐食性が良好となり、この酸化皮膜の厚さが15Å〜720Åであると耐食性がさらに良好になることが分かる。
なお、上記実施形態では、転がり軸受の内外輪(軌道部材)と玉(転動体)を本発明の構成とし、保持器をプラスチック製にしてあるが、鉄鋼材料製の保持器を使用する場合には、保持器についても本発明の構成とすることが好ましい。また、シールド板を備えた転がり軸受の場合には、鉄鋼材料製のシールド板を本発明の構成とすることが好ましい。これにより、すきま腐食やガルバニック腐食がさらに抑制される。
[第2実施形態]
下記の表3に示す合金成分を含有する合金鋼E〜Hを用意した。
【0052】
【表3】
【0053】
これらの合金鋼からなる素材を用い、呼び番号6206に相当する単列深溝玉軸受の内輪(軌道部材)と外輪(軌道部材)を作製した。
先ず、粗い精度で切削加工を行った後、被加工物に対して、以下に示す▲1▼〜▲5▼のいずれかの熱処理を行った。
熱処理▲1▼
前処理として予備酸化処理を、950℃、1〜2時間の条件で行った後、浸炭処理を900℃〜920℃、48〜72時間の条件で行う。次に、1080℃〜1120℃、1〜2時間の条件で2回、焼きならしを行う。次に、1020℃〜1070℃に30分間保持した後に油冷却する焼入れを行った後、−90℃〜−70℃、1時間の条件でサブゼロ処理を行う。次に、460℃〜520℃、2時間の条件で2回、焼き戻しを行う。
熱処理▲2▼
前処理として予備酸化処理を、950℃、1〜2時間の条件で行った後、浸炭窒化処理を、900℃〜920℃、48〜72時間、4%アンモニアの条件で行う。次に、1080℃〜1120℃、1〜2時間の条件で2回、焼きならしを行う。次に、1080℃〜1120℃に1.5時間保持した後にガス冷却する焼入れを行った後、−90℃〜−70℃、1時間の条件でサブゼロ処理を行う。次に、460℃〜520℃、2時間の条件で2回、焼き戻しを行う。
熱処理▲3▼
前処理および浸炭窒化処理等を行わず、1020℃〜1070℃に30分間保持した後に油冷却する焼入れを行った後、−90℃〜−70℃、1時間の条件でサブゼロ処理を行う。次に、460℃〜520℃、2時間の条件で、焼き戻しを行う。
熱処理▲4▼
前処理および浸炭窒化処理等を行わず、1100℃〜1150℃に30分間保持した後に油冷却する焼入れを行った後、500℃〜550℃で2時間空冷する一次焼き戻しを行う。次に、−90℃〜−70℃、1時間の条件でサブゼロ処理を行う。次に、500℃〜550℃、2時間の条件で2回、二次焼き戻しを行う。
熱処理▲5▼
前処理を行わず、浸炭処理を925℃、4〜6時間の条件で行う。次に、1120℃に30分間保持した後に油冷却する焼入れを行った後、500℃〜550℃で2時間空冷する一次焼き戻しを行う。次に、−90℃〜−70℃、1時間の条件でサブゼロ処理を行う。次に、500℃〜550℃、2時間の条件で2回、二次焼き戻しを行う。
【0054】
次に、研削による仕上げ加工を行った後、第1実施形態で説明した皮膜処理方法▲1▼で皮膜処理を行った。ただし、No. 2−5〜2−8では、研削による仕上げ加工後に皮膜処理を行わなかった。また、No. 2−10では、皮膜処理の際に母材の溶出が認められたために、皮膜処理は不可能であると判断し、皮膜処理を行わないものを使用した。
【0055】
仕上げ加工後に、各サンプルについて、EPMA(電子プローブ微量分析)により、軌道面直下の深さ50μmでの炭素含有率(表面炭素濃度)を測定した。また、No. 2−1〜2−4,No. 2−9については皮膜処理を行った後に、No. 2−5〜2−8,2−10については仕上げ加工後に、被加工物の表面硬さを測定した。
【0056】
また、No. 2−1〜2−4,No. 2−9については皮膜処理を行った後、No. 2−5〜2−8,2−10については仕上げ加工後、被加工物をESCA(X線光電子分光分析装置)にかけて、エッチング速度1nm/分で被加工物表面を深さ方向にエッチングすることにより、被加工物表面に形成された酸化皮膜を深さ方向に元素分析した。
【0057】
元素分析の結果から、酸化皮膜の表面から深さ5Å(0.5nm)〜10Å(1nm)の層に存在するクロム原子と鉄原子の比(Cr/Fe)を算出した。表面から深さ5Å〜10Åの層での値を使用した理由は、最表面側の酸化皮膜にはコンタミネーションの影響が大きいためである。また、この元素分析の結果から、(Cr/Fe)≧0.5を満たす酸化皮膜の厚さを測定した。これらの結果を下記の表4に示す。
【0058】
上述の方法で作製された内輪および外輪と、窒化珪素(Si3 N4 )製の玉と、プラスチック製の保持器を用いて、呼び番号6206に相当する単列深溝玉軸受を組み立てた。なお、各サンプル毎に、同一の材料を用い同じ方法で作製した内輪と外輪を使用して軸受を組み立てた。また、潤滑剤として、モービル石油(株)製の「ジェットオイルII」を使用した。
【0059】
組み立てた各転がり軸受について、耐食性と高温高速回転での軸受寿命を調べる試験を行った。耐食性としては塩水噴霧試験を行った。この試験は「JIS Z 2371」に準拠して、35℃の5重量%NaCl水溶液を48時間、霧状で吹き付ける試験である。試験後に、転がり軸受の各構成部品に腐食が生じているかどうかを目視により調べた。この試験による耐食性の評価は、腐食が全く生じていなかった場合は「◎」、著しい腐食が生じていた場合は「×」、明らかな腐食は認められてはいたがその程度が著しくない場合は「△」で示した。
【0060】
高温高速回転での軸受寿命試験は、温度170℃、P/C=0.71、回転速度3900rpmの条件で回転させることにより行い、フレーキングが発生して振動値が初期値の5倍となるまでの時間を寿命として測定した。M50を用いたNo. 2−5の寿命を「1」とした時の相対値(寿命比)を算出した。
各サンプルの構成とこれらの試験結果を下記の表4に併せて示す。表4において、本発明の範囲から外れる値には下線が施してある。また、これらの結果を、軌道面の表面での(Cr/Fe)比を縦軸とし、軌道面の表面での炭素濃度を横軸としたグラフにまとめた。このグラフを図7に示す。このグラフで「◎」は「耐食性:◎」と「寿命比1.00より大」の両方を満たすことを示し、「×」はこれらの少なくともいずれかを満たさないことを示す。
【0061】
なお、No. 2−1,2−2,2−9は同じ鋼を用いて同じ熱処理を行っているが、処理時間を前記範囲内で変化させることによって、表面硬さ、表面炭素濃度、および酸化皮膜の状態を異なるものとした。No. 2−3と2−4についても同様である。また、No. 2−3と2−4は浸炭窒化処理を行っており、表面窒素濃度がNo. 2−3では0.06重量%であり、No. 2−4では0.18重量%であった。
【0062】
【表4】
【0063】
この結果から分かるように、本発明の実施例に相当するサンプルNo. 2−1〜2−4の転がり軸受は、耐食性および高温高速回転での軸受寿命の両方に優れている。これに対して、本発明の比較例に相当するサンプルNo. 2−5〜2−10の転がり軸受は、耐食性および高温高速回転での軸受寿命の少なくともいずれかの性能が不良である。また、No. 2−1〜2−4の転がり軸受の耐食性は、SUSU440Cを用いたNo. 2−7よりも良好であった。
【0064】
また、直径18mm、厚さ10mmの試験片を用意し、表面炭素濃度と表面での(Cr/Fe)比が種々の値となるように処理した各サンプルa〜eに対して、耐食性評価試験として上述の塩水噴霧試験を行った。この試験による耐食性の評価結果を図7のグラフに併せて示した。サンプルa,c,dでは腐食が全く生じていなかったため、図7のグラフに「○」でプロットした。サンプルb,eでは、明らかな腐食は認められてはいたがその程度が著しくなかったため、図7のグラフに「△」でプロットした。
【0065】
また、表4の各サンプルの軸受について、135℃の蒸気(生成水)中に6分間保持した後自然冷却を行うことを500サイクル行った結果、本発明の実施例に相当するサンプルでは錆の発生が認められなかったが、本発明の比較例に相当するサンプルでは錆の発生が認められた。このように、本発明の実施例に相当する軸受は、滅菌処理されても十分な耐食性が得られるため、歯科用ハンドピース用軸受として好適に使用できることが分かる。また、表面に摺動性に優れた酸化皮膜を有しているため、トルクや耐焼き付き性の面でも有利である。
【0066】
なお、上記各実施形態では、転がり支持装置として転がり軸受を例にとって説明しているが、本発明は、転がり軸受以外の転がり支持装置(例えば、ボールねじやリニアガイド)にも適用できる。ボールねじでは、ねじ軸が固定体側の軌道部材であり、ナットが移動体側の軌道部材である。リニアガイドでは、案内レールおよびスライダの一方が固定体側の軌道部材であって、他方が移動体側の軌道部材である。
【0067】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の第1の転がり支持装置は、耐食性および耐フレッチング性等に優れている。また、本発明の第2の転がり支持装置は、耐食性および高温高速回転での軸受寿命に優れている。
したがって、本発明によれば、精密機器、食品機械、半導体素子や液晶パネルの製造設備、医療検査装置、歯科用ハンドピース等の回転部を有する医療機器、および釣り具等用の転がり支持装置として好適な、信頼性の高い転がり支持装置が提供される。また、航空機のジェットエンジン、ガスタービン、トランスミッション等用として好適な、信頼性の高い転がり支持装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施形態で得られた、ΔG(耐フレッチング性)と酸化皮膜の表面側での「Cr/Fe」との関係を示すグラフである。
【図2】第1実施形態で得られた、ΔG(耐フレッチング性)とCr/Fe≧0.5を満たす酸化皮膜の厚さとの関係を示すグラフである。
【図3】第1実施形態で得られたNo. 4,5,9,11についての、酸化被膜の表面からの距離と(Cr/Fe)比との関係を示すグラフである。
【図4】第1実施形態で得られたNo. 4,5,9,11についての、酸化被膜の表面からの距離と酸素含有率との関係を示すグラフである。
【図5】本発明の第1の転がり支持装置で使用する鉄鋼材料について、炭素含有率とクロム含有率との関係の好ましい領域を示すグラフである。
【図6】第2の転がり支持装置の軌道部材の軌道面の断面構造を示す図である。
【図7】第2実施形態で得られた結果をまとめたグラフである。
【符号の説明】
1 (Cr/Fe)が0.5以上である酸化皮膜
2 浸炭層または浸炭窒化層
3 芯部
Claims (1)
- 固定体と移動体との間に介装され、構成部品として、転動体と、転動体の軌道を有し固定体側および移動体側に固定される各軌道部材とを少なくとも備え、転動体が軌道を転がり移動することにより固定体に対する移動体の移動を許容する転がり支持装置の、前記構成部品の少なくとも一つを製造する方法において、
クロム(Cr)の含有率が5重量%以上で、炭素と窒素の合計含有率(C+N)が0.45重量%以上である鉄鋼材料からなる素材を所定形状に加工し、
この被加工物に対して、焼入れおよび焼戻し処理を行って表面硬さをHRC58以上とした後に仕上げ加工を行い、
次いで、この被加工物の表面に存在する加工変質層を除去してから、この被加工物をクロム酸を含有する処理液に浸漬することで、この被加工物の表面に、クロム原子と鉄原子の存在比(Cr/Fe)が0.5以上である酸化皮膜を形成することを特徴とする転がり支持装置の製造方法。
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