CN105513670A - 太阳能电池用透明导电膜及其透明导电膜用组合物、多接合型太阳能电池 - Google Patents

太阳能电池用透明导电膜及其透明导电膜用组合物、多接合型太阳能电池 Download PDF

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Abstract

本发明的目的在于提供一种透明导电膜，其能够满足在用于多接合型太阳能电池时所需要的良好的透光性、高导电性、低折射率等各要素，同时通过不使用真空成膜法而进行制作，可以实现运行成本的降低。本发明的太阳能电池用透明导电膜设置在多接合型太阳能电池的光电转换层之间，是对使用湿式施涂法进行涂布而形成的微粒的涂膜进行烧成而得到的，其特征在于，在构成导电膜的母材中，导电性成分以5~95质量%的范围存在，导电膜的厚度在5~200nm的范围内。

Description

太阳能电池用透明导电膜及其透明导电膜用组合物、多接合型太阳能电池
本申请是申请日为2009年8月27日、申请号为“200980142213.5”、发明名称为“太阳能电池用透明导电膜及其透明导电膜用组合物、多接合型太阳能电池”的申请的分案申请。
技术领域
本发明涉及在重叠2种以上的光电转换层以提高转换效率的多接合型太阳能电池中，设置在光电转换层之间以提高电池输出功率的太阳能电池用透明导电膜及其透明导电膜用组合物、多接合型太阳能电池。
背景技术
现在，从环境保护的立场出发，正在进行清洁能源的研发。其中，太阳能电池由于作为其资源的太阳光是无限的、无公害的等原因而备受瞩目。以往，在利用太阳能电池的太阳光发电中，一直使用块状太阳能电池，该块状太阳能电池是通过制造单晶硅或多晶硅的块状结晶，将其进行切片加工，作为厚的板状半导体而使用的。然而，对于在块状太阳能电池中使用的上述硅结晶来说，需要大量的能量和时间来进行结晶生长，而且，在后续的制造工序中，由于需要复杂的工序，因而难以提高量产效率，难以提供价格便宜的太阳能电池。
另一方面，对于使用了厚度为数微米以下的非晶硅等半导体的薄膜半导体太阳能电池(以下，称为薄膜太阳能电池)来说，只要在玻璃或者不锈钢等廉价的基板上形成必要的作为光电转换层的半导体层即可。因此，从薄型、轻质、制造成本低廉、容易大面积化等方面考虑，该薄膜太阳能电池被认为是今后的太阳能电池的主流。
在光电转换层由硅类材料形成的薄膜太阳能电池中，例如，正在研究通过采用按照透明电极、非晶硅、多晶硅、背面电极的顺序形成的多接合型结构来提高发电效率(例如，参照专利文献1～4、非专利文献1)。在专利文献1～4或非专利文献1所示的结构中，非晶硅或多晶硅构成光电转换层。
在光电转换层由硅类材料构成的情况下，由于光电转换层的吸光系数比较小，因此在光电转换层为数微米级的膜厚中，入射光的一部分透过光电转换层，透过的光不发电。
因此，在构成薄膜太阳能电池的各层之一中，作为顶电池与底电池之间的中间膜，设置有透明导电膜(例如，参照专利文献1～3、非专利文献1)。
该透明导电膜的本来的目的是，将通过顶电池入射到底电池侧的光的一部分，利用硅层和该透明导电膜的折射率差值，波长选择性地反射波长。例如，在非晶硅层(顶电池)-微晶硅层(底电池)的串联结构的太阳能电池的情况下，通过在两个光电转换层的界面设置透明导电膜，该透明导电膜选择性地反射非晶硅层显示出高转换效率的短波长区域的光。由于反射的短波长区域的光再次入射到非晶硅层，因而再次有助于发电。因此，即使是相同的顶电池膜厚，与以往的结构相比，实际的感光度也有所增加。另一方面，长波长区域的光的大多数透过该透明导电膜，入射到对于长波长区域的光转换效率高的微晶硅层。
专利文献
专利文献1：日本特开2006-319068号公报
专利文献2：日本特开2006-310694号公报
专利文献3：国际公开第2005/011002号小册子
专利文献4：日本特开2002-141524号公报
非专利文献
非专利文献1：柳田祥三ほか著、“薄膜太阳能电池的开发最前线～朝向高效率化·量产化·普及促进～”(薄膜太陽電池の開発最前線～高効率化·量産化·普及促進に向けて～)、株式会社エヌ·テイ一·エス、2005年3月，P.113图1(a)。
发明内容
在迄今为止的薄膜型太阳能电池的开发中，各层采用溅射法等真空成膜法形成。然而，一般来说，维持、运转大型的真空成膜装置需要很大的成本，因此，期待通过用采用湿式制膜法的制法来代替采用该真空成膜法的制法，来大幅改善运行成本。
另外，透明导电膜至少必须满足良好的透光性、高导电性、低折射率、耐溅射性等要素。
进而，作为多接合型太阳能电池的重要特征之一，是将短路电流密度限制到在各光电转换层产生的短路电流密度中的最小的短路电流密度。已知，通过使用透明导电膜调节电池内部的光反射特性，将在各光电转换层中产生的短路电流密度最优化，增大电池整体的短路电流。
本发明的目的是提供一种太阳能电池用透明导电膜，其通过使用涂布型材料的湿式施涂法制作，由此能够满足在用于多接合型太阳能电池时所需要的良好的透光性、高导电性、低折射率等各要素，同时，通过不使用真空成膜法制作，能够实现运行成本的降低。
本发明的另一目的是提供一种能够容易地调节与光电转换层和透明导电膜之间的折射率差值相关的透明导电膜的折射率等光学特性，能够实现光电转换层之间的光反射特性的最优化的太阳能电池用透明导电膜。
本发明的另一目的是提供一种与将作为基底的光电转换层的粘着性优良、另外随时间变化小的太阳能电池用透明导电膜。
本发明的再一目的是提供一种用于形成上述透明导电膜的透明导电膜用组合物和使用了上述透明导电膜的多接合型太阳能电池。
本发明人等对于设置在多接合型太阳能电池的光电转换层之间的透明导电膜进行了深入研究。结果发现，通过湿式施涂法，能够制作满足用于多接合型太阳能电池时所需要的良好的透光性、高导电性、低折射率等各要素的透明导电膜，所述湿式施涂法通过以下进行：使用涂布型材料形成以微粒为主成分的涂膜，在该涂膜上浸渗含有粘合剂的分散液，烧结、或者形成以微粒和粘合剂复合得到的成分为主成分的涂膜，烧成该涂膜。另外发现，在该方法中，由于不使用真空成膜法，因此能够实现透明导电膜的制作中的运行成本的降低。另外，本发明人等发现，通过调节在湿式施涂法中使用的涂布型材料的配合比等，具有能够容易地调节与光电转换层和透明导电膜之间的折射率差值相关的透明导电膜的折射率等光学特性的优点，通过使光电转换层之间的光反射特性最优化，能够实现采用真空成膜法的制作中所不能达到的多接合型太阳能电池的性能提高。
另外发现，当制成导电性微粒层和粘合剂层的2层结构时，与单一的透明导电膜相比，与作为基底的非晶硅层的粘着性优良、进而，通过采用用粘合剂层浸渗导电性微粒层的状态，使得膜随时间的变化减少。
在第1个观点中，本发明的太阳能电池用透明导电膜是设置在多接合型太阳能电池的光电转换层之间的太阳能电池用透明导电膜，其特征在于，该导电膜是通过在使用湿式施涂法涂布含有导电性微粒的分散液(以下，称为导电性微粒分散液)而形成的微粒的涂膜上，使用湿式施涂法浸渗含有粘合剂的分散液(以下，称为粘合剂分散液)，并烧成，由此以用粘合剂层浸渗微粒层的状态形成的；或者，该导电膜是通过对使用湿式施涂法涂布含有导电性微粒和粘合剂的透明导电膜用组合物而得到的涂膜进行烧成而形成的，在构成该导电膜的母材中，导电性成分以5～95质量％的范围存在，导电膜的厚度在5～200nm的范围内。
在第2个观点中，本发明的太阳能电池用透明导电膜的特征在于，上述含有粘合剂的分散液和上述透明导电膜用组合物中的粘合剂是通过在100～400℃的范围内的加热或者紫外线照射进行固化的。
在第3个观点中，本发明的太阳能电池用透明导电膜的特征在于，上述粘合剂含有丙烯酸树脂、丙烯酸酯树脂、聚碳酸酯树脂、聚酯树脂、醇酸树脂、聚氨酯树脂、丙烯酸聚氨酯树脂、聚苯乙烯树脂、聚缩醛树脂、聚酰胺树脂、聚乙烯醇树脂、聚乙酸乙烯酯树脂、纤维素树脂、乙基纤维素树脂、环氧树脂、氯乙烯树脂、硅氧烷聚合物或者金属醇盐的水解物(含有溶胶凝胶)中的任意1种以上。
在第4个观点中，本发明的太阳能电池用透明导电膜的特征在于，上述透明导电膜用组合物含有选自硅烷偶联剂、铝酸酯偶联剂和钛酸酯偶联剂的1种或2种以上。
在第5个观点中，本发明的太阳能电池用透明导电膜的特征在于，上述导电性微粒是由选自Zn，In，Sn，Sb，Si，Al，Ga，Co，Mg，Ca，Sr，Ba，Ce，Ti，Y和Zr中的1种或2种以上元素的氧化物、氢氧化物或复合化合物、或者它们的2种以上的混合物构成的第1微粒。
在第6个观点中，本发明的太阳能电池用透明导电膜的特征在于，上述导电性微粒是由纳米粒子构成的第2微粒，该纳米粒子由混合合金构成，该混合合金含有选自C，Si，Cu，Ni，Ag，Pd，Pt，Au，Ru，Rh和Ir中的1种或2种以上的元素。
在第7个观点中，本发明的太阳能电池用透明导电膜的特征在于，上述导电性微粒是第1微粒和第2微粒两者混合而成的微粒。
在第8个观点中，本发明的太阳能电池用透明导电膜的特征在于，上述湿式施涂法是喷雾涂布法、分配式涂布法、旋涂法、刮涂法、狭缝式涂布法、喷墨涂布法、凹版印刷法、丝网印刷法、胶印法或者模压式涂布法中的任意的方法。
在第9个观点中，本发明的太阳能电池用透明导电膜的特征在于，上述形成的透明导电膜的折射率为1.1～2.0。
本发明的多接合型太阳能电池的特征在于，本发明的太阳能电池用透明导电膜设置在光电转换层之间。
本发明的透明导电膜用组合物的特征在于，含有导电性微粒、粘合剂以及分散介质，
该导电性微粒由以下构成：
由选自Zn，In，Sn，Sb，Si，Al，Ga，Co，Mg，Ca，Sr，Ba，Ce，Ti，Y和Zr中的1种或2种以上元素的氧化物、氢氧化物或复合化合物、或者它们的2种以上的混合物构成的第1微粒，和/或
由纳米粒子构成的第2微粒，该纳米粒子由混合合金构成，该混合合金含有选自C，Si，Cu，Ni，Ag，Pd，Pt，Au，Ru，Rh和Ir中的1种或2种以上的元素；
该粘合剂为：
丙烯酸树脂、丙烯酸酯树脂、聚碳酸酯树脂、聚酯树脂、醇酸树脂、聚氨酯树脂、丙烯酸聚氨酯树脂、聚苯乙烯树脂、聚缩醛树脂、聚酰胺树脂、聚乙烯醇树脂、聚乙酸乙烯酯树脂、纤维素树脂、乙基纤维素树脂、环氧树脂、氯乙烯树脂、硅氧炕聚合物或者金属醇盐的水解物(含有溶胶凝胶)中的任意1种以上，通过在100～400℃的范围内的加热或者紫外线照射进行固化。
本发明在透明导电膜的制作中，通过使用涂布型材料的湿式施涂法，可以制作出满足用于多接合型太阳能电池时所需要的良好的透光性、高导电性、低折射率等各要素的透明导电膜。进而，作为不使用真空成膜法的方法，具有能够实现透明导电膜的制作中运行成本降低的优点。
另外，本发明由于能够容易地调节与光电转换层和透明导电膜之间的折射率差值相关的透明导电膜的折射率等的光学特性，因此具有能够实现光电转换层之间的光反射特性的最优化的另外的优点。进而，本发明的透明导电膜由于由导电性微粒层与粘合剂层的2层构成，因此与单一的透明导电膜相比，具有与作为基底的非晶硅层之间的粘着性优良，另外随时间变化小的优点。
附图说明
图1是多接合型太阳能电池的概略图。
图2是烧成前的透明导电涂膜的截面的示意图。
符号说明
10多接合型太阳能电池
11透明基板
12表面侧电极层
13非晶硅层
14透明导电膜
14a导电性微粒层
14b粘合剂层
15微晶硅层
16背面侧电极层
24透明导电涂膜
24a导电性微粒的涂膜
24b粘合剂分散液的涂膜。
具体实施方式
以下基于附图说明用于实施本发明的方式。
本发明的太阳能电池用透明导电膜设置在多接合型太阳能电池的光电转换层之间。如图1所示，多接合型太阳能电池为在透明基板11上形成表面侧电极层12，在该电极层12上形成作为第1光电转换层的非晶硅层13。并且，在非晶硅层13上形成透明导电膜14，在该透明导电膜14上形成作为第2光电转换层的微晶硅层15，形成透明导电膜14被2个光电转换层13、15夹持的构造。进而，在微晶硅层15上形成背面侧电极层16。
本发明的透明导电膜14，通过使用湿式施涂法涂布导电性微粒分散液，形成微粒的涂膜，在该涂膜上使用湿式施涂法浸渗粘合剂分散液，进行烧成来形成，或者对使用湿式施涂法涂布含有导电性微粒和粘合剂的透明导电膜用组合物而得到的涂膜进行烧成来形成。并且，其特征是，在构成透明导电膜的母材中，导电性成分以5～95质量％的范围存在，导电膜的厚度为5～200nm的范围内。在此，导电性成分是导电性微粒分散液中所含的导电性微粒经过烧成，其形态发生变化的成分，母材以粘合剂分散液或者透明导电膜用组合物中所含的粘合剂经烧成后的残存成分为主成分而构成。
在透明导电膜14通过溅射法等真空成膜法形成时，由于膜的折射率取决于靶材料的材质，因此存在难以得到作为设置在太阳能电池的光电转换层之间的中间膜所适合的折射率、形成高折射率的倾向。另一方面，在使用湿式施涂法形成的透明导电膜的情况下，一股来说，通过涂布作为导电性微粒以及粘合剂和其他成分的混合物的透明导电膜用组合物，并进行烧成而形成，因此，对于使用湿式施涂法形成的膜，通过进行组合物的成分调节，能够得到期望的低折射率。本发明的透明导电膜4如上所述通过烧成形成，通过使该透明导电膜14中不仅存在导电性成分，而且存在母材，与以使用溅射法等真空成膜法的方法制作的膜相比，可以降低光的折射率。基于上述理由可知，具有能够降低运行成本的优点。进而，通过使用涂布型材料，还具有能够容易地调节与光电转换层和透明导电膜之间的折射率差值相关的透明导电膜的折射率等的光学特性的另外的优点。
在使用湿式施涂法形成的透明导电膜中，例如可举出，涂布共同含有导电性微粒和粘合剂成分而制备的组合物，然后进行烧成而形成的单一的透明导电膜。即使是在这样的单一的透明导电膜中，也形成在膜中不仅存在导电性成分，而且存在母材的构成，因此与以使用溅射法等真空成膜法的方法制作的膜相比，能够降低光的折射率。
另一方面，本发明的透明导电膜14通过如下形成：首先，在作为光电转换层的非晶硅层13上涂布不含粘合剂成分的导电性微粒分散液，形成涂膜，在该导电性微粒层上涂布不含导电性微粒的粘合剂分散液，然后在预定的温度下烧成而形成。即，本发明的透明导电膜14如图1所示，在上层形成不含导电性微粒的粘合剂层14b。另外，在与非晶硅层13的界面附近的下层，由导电性微粒层14a构成，导电性微粒层14a的表面的一部分或全部用粘合剂层14b覆盖，通过涂布粘合剂分散液，导电性微粒层14a的一部分得到浸渗。该导电性微粒层14a，通过烧成，其粒子一部分被烧结，确保高导电性。
本发明的透明导电膜14由于具有如上所述的构成，因此不仅具有由共同含有导电性微粒和粘合剂成分的组合物形成的单一的透明导电膜所具有的优点，而且与该单一的透明导电膜相比，与作为基底的非晶硅层的粘着性优良，另外，由于以导电性微粒层14a的表面的一部分或全部被粘合剂层14b覆盖的状态形成，因此还具有随时间的变化小的优点。
将母材中的导电性成分的比例规定在上述范围内的原因是，低于下限值时，不能获得充分的导电性，超过上限值时，不能充分地获得与在上层和下层接触的光电转换层的粘着性。另外是因为，如果在上述范围之外，则难以调节为期望的折射率。母材中的导电性成分的优选比例为5～95质量％，更优选为30～85质量％。
在此，膜的厚度在上述范围内的原因是，膜的厚度也是能调节折射率的要素之一，能增大与微晶硅层之间的折射率差。优选的膜的厚度为20～100nm。此处所说的透明导电膜14的厚度是合并导电性微粒层14a的厚度与粘合剂层14b的厚度的合计厚度。
本发明中的透明导电膜14的折射率优选调节为1.1～2.0。只要在上述范围内，就能增大与微晶硅层之间的折射率差，就能选择性地而且有效地仅反射短波长的光，而且长波长的光良好地通过。其中特别优选的折射率为1.3～1.8。
用于形成本发明的透明导电膜的透明导电膜用组合物含有导电性微粒和粘合剂，能够制成该导电性微粒和粘合剂分散在分散介质中的组合物，另外，也能够由形成导电性微粒层14a的导电性微粒分散液和形成粘合剂层14b的粘合剂分散液的2种液体构成。
形成导电性微粒层14a的导电性微粒分散液是将导电性微粒及其他必须成分分散在分散介质中得到的组合物。另外，形成粘合剂层14b的粘合剂分散液是将粘合剂成分及其他必须成分分散在分散介质中得到的组合物。
作为用于导电性微粒分散液的导电性微粒，其种类没有特殊限制，作为例子，可以使用由选自Zn，In，Sn，Sb，Si，Al，Ga，Co，Mg，Ca，Sr，Ba，Ce，Ti，Y和Zr中的1种或2种以上元素的氧化物、氢氧化物或复合化合物、或者它们的2种以上的混合物构成的第1微粒。其中，适合使用氧化锡粉末、或氧化锌粉末、或者在它们中掺杂1种或2种以上的金属的化合物。例如可举出ITO粉末(IndiumdopedTinOxide)、或ZnO粉末、ATO粉末(AntimonydopedTinOxide)、AZO粉末(AluminumdopedZincOxide)、IZO粉末(IndiumdopedZincOxide)、TZO粉末(TantalumdopedZincOxide)等。
另外，该导电性微粒也可以使用由纳米粒子构成的第2微粒，该纳米粒子由混合合金构成，该混合合金含有选自C，Si，Cu，Ni，Ag，Pd，Pt，Au，Ru，Rh和Ir中的1种或2种以上的元素。
进而，该导电性微粒也可以使用按期望比例混合第1微粒和第2微粒两者而成的微粒。
另外，导电性微粒分散液中所含的固体成分中所占的导电性微粒的含有比例优选在50～90质量％的范围内。使导电性微粒的含有比例在上述范围内的原因是，低于下限值时，形成的导电性微粒层的导电性下降，超过上限值时，形成的导电性微粒层的粘着性下降。其中，特别优选在70～90质量％的范围内。另外，为了确保在分散介质中的稳定性，导电性微粒的平均粒径优选在10～100nm的范围内，其中，特别优选在20～60nm的范围内。
对于导电性微粒，根据目标的多接合型太阳能电池的构成或光电转换层与透明导电膜之间的折射率差值等各种条件，适当地选择所使用的种类或比例。
作为在透明导电膜用组合物和粘合剂分散液中含有的粘合剂，使用通过在100～400℃的范围内的加热或者紫外线照射发生固化的粘合剂。只要固化的加热温度在上述范围内，就能在烧成涂膜而形成的透明导电膜中残留来自该粘合剂的成分，构成母材的主成分。
作为粘合剂的具体种类，可以使用丙烯酸树脂、丙烯酸酯树脂、聚碳酸酯树脂、聚酯树脂、醇酸树脂、聚氨酯树脂、丙烯酸聚氨酯树脂、聚苯乙烯树脂、聚缩醛树脂、聚酰胺树脂、聚乙烯醇树脂、聚乙酸乙烯酯树脂、纤维素树脂、乙基纤维素树脂、环氧树脂、氯乙烯树脂、水解烷氧基硅烷而得的硅氧烷聚合物、金属醇盐的水解物(含有溶胶凝胶)中的满足上述条件的1种或2种以上组合而成的粘合剂。
通过添加上述种类的粘合剂，可以形成在低温下具有低雾度值和体积电阻率的透明导电膜，可以降低透明导电膜的电阻率，进而，可以调节所形成的透明导电膜的折射率。
作为在透明导电膜用组合物或者粘合剂分散液中的固体成分中所占的比例，这些粘合剂的含有比例优选为5～50质量％的范围内。使粘合剂的含有比例在上述范围内的原因是，低于下限值时，形成的透明导电膜的导电性下降，超过上限值的话，则形成的透明导电膜的粘着性下降。其中，特别优选10～30质量％的范围内。
在导电性微粒分散液和粘合剂分散液中使用的分散介质的种类没有特殊限制，作为例子，除了水以外，可举出甲醇、乙醇、异丙醇、丁醇、己醇等醇类、丙酮、甲基乙基酮、甲基异丁基酮、环己酮、异佛尔酮、4-羟基-4-甲基-2-戊酮等酮类、甲苯、二甲苯、己烷、环己烷等烃类、N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺等酰胺类、二甲亚砜等亚砜类、乙二醇等二醇类、乙基溶纤剂等二醇醚类等。另外，也可以混合使用这些分散介质的2种以上。
为了得到良好的成膜性，导电性微粒分散液中的分散介质的含有比例优选为80～99质量％的范围内。另一方面，为了形成均匀的膜，粘合剂分散液中的分散介质的含有比例优选为50～99.99质量％的范围内。
在导电性微粒分散液中，优选根据所使用的其他成分加入偶联剂。这是为了提高导电性微粒与粘合剂的结合性、或提高由该导电性微粒分散液形成的导电性微粒层与光电转换层的粘着性。作为偶联剂，可举出硅烷偶联剂、铝酸酯偶联剂和钛酸酯偶联剂等，可使用它们中的1种或2种以上。
作为可使用的硅烷偶联剂，可举出乙烯基三乙氧基硅烷、γ-环氧丙氧丙基三甲氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷等。
另外，作为可使用的铝酸酯偶联剂，可举出下述式(1)所示的含有乙酰烷氧基的铝酸酯偶联剂。
[化1]
另外，作为可使用的钛酸酯偶联剂，可举出三异硬酯酰基钛酸异丙酯、三癸基苯磺酰基钛酸异丙酯、三(焦磷酸二辛酯)钛酸异丙酯、双(磷酸二辛酯)钛酸四异丙酯、双(磷酸二-十三烷基酯)钛酸四辛酯、双(二-十三烷基)磷酸酯钛酸四(2，2-二烯丙氧基甲基-1-丁基)酯、二(焦磷酸二辛酯)羟乙酸钛酸酯、三(焦磷酸二辛酯)钛酸乙二醇酯等。
钛酸酯偶联剂为水解性(例如，四烷氧基钛类)的情况下，其也可以作为水解、缩合产物使用。其中，优选的有机钛化合物为四烷氧基钛类和下述结构式(2)～式(8)所示的钛酸酯偶联剂。
[化2]
[化3]
[化4]
[化5]
[化6]
[化7]
[化8]
作为导电性微粒分散液中所占的固体成分的比例，偶联剂的含有比例优选在0.2～5质量％的范围内。这是因为，低于下限值时，不能获得偶联剂的充分的添加效果，如果超过上限值，则偶联剂抑制微粒之间的结合性，由此导致导电性下降。其中，特别优选0.5～2质量％的范围内。
另外，在本发明的透明导电膜用组合物和粘合剂分散液中，根据所使用的成分，还可以含有表面活性剂或pH调节剂等任意添加成分。作为所述的添加成分，有表面活性剂(阳离子系、阴离子系、非离子系)、pH调节剂(有机酸或无机酸，例如，甲酸、乙酸、丙酸、丁酸、辛酸、盐酸、硝酸、高氯酸等、或者胺)等。
含有表面活性剂时的含有比例，相对于导电性粉末，优选为0.5～2.0质量％；含有pH调节剂时的含有比例，相对于导电性粉末，优选为0.5～2.0质量％。
导电性微粒分散液通过下述方法制备：按所需比例混合导电性微粒和分散介质，另外，根据需要，加入上述的偶联剂或其他任意添加成分，进行混合，接着，使用玻珠研磨机等，使混合物中的微粒均匀地分散。
以下说明本发明的多接合型太阳能电池的制造方法。首先，如图1所示，准备透明基板11，在该基板上形成表面侧电极层12。作为可使用的透明基板11，可举出玻璃基板或丙烯酸树脂、聚碳酸酯。在形成的表面侧电极层12中，可使用ITO或SnO2、ZnO、AZO等透明的具有导电性的物质。予以说明，表面侧电极层12的形成方法没有特殊限制，可采用以往已知的方法形成。予以说明，在表层形成有透明的具有导电性的膜的玻璃基板11已经有销售，因此，可使用这样的市售产品。
接着，在形成有表面侧电极层12的透明基板11上形成非晶硅层13。该非晶硅层13的形成方法没有特殊限制，可采用以往已知的等离子体CVD法等方法来形成。
接着，如图2所示，在设置有非晶硅层13的基材上，通过湿式施涂法涂布上述的导电性微粒分散液，形成导电性微粒的涂膜24a。将该涂膜24a在温度20～120℃下、优选在25～60℃下，干燥1～30分钟、优选2～10分钟。
接着，在导电性微粒的涂膜24a上，通过湿式施涂法浸渗上述粘合剂分散液，以用粘合剂分散液的涂膜24b覆盖导电性微粒的涂膜24a的表面的一部分或全部的方式进行涂布。另外，此处的涂布优选按如下方式进行涂布：所要涂布的粘合剂分散液中的粘合剂成分的质量相对于已涂布的导电性微粒的涂膜中所含的导电性微粒的总质量，达到0.5～10的质量比(所要涂布的粘合剂分散液中的粘合剂成分的质量/导电性微粒的质量)。低于下限值时，难以获得充分的粘着性，如果超过上限值，则表面电阻易于增大。其中，质量比特别优选为0.5～3。将该涂膜24b在温度20～120℃、优选25～60℃下干燥1～30分钟、优选2～10分钟。上述导电性微粒分散液和粘合剂分散液的涂布按照使烧成后形成的透明导电膜的厚度为5～200nm、优选厚度为20～100nm的方式进行涂布。在此，以烧成后的透明导电膜的厚度为5～200nm的方式来涂布导电性微粒分散液和粘合剂分散液的理由是，低于下限值时，难以形成均匀的膜，如果超过上限值，则材料的使用量超出所需，造成材料浪费。由此，形成由导电性微粒的涂膜24a和粘合剂分散液的涂膜24a构成的透明导电涂膜24。
或者，在设置有非晶硅层13的基材上，通过湿式施涂法涂布上述的透明导电膜用组合物。此处的涂布以使烧成后的厚度为5～200nm、优选厚度为20～100nm的方式进行。接着，将该涂膜在温度20～120℃、优选25～60℃下干燥1～30分钟、优选2～10分钟。由此形成透明导电涂膜。
上述湿式施涂法特别优选为喷雾涂布法、分配式涂布法、旋涂法、刮涂法、狭缝式涂布法、喷墨涂布法、凹版印刷法、丝网印刷法、胶印法或者模压涂布法中的任意的方法，但并不限定于这些方法，可以利用所有的方法。
喷雾涂布法是通过压缩气体将分散体变成雾状涂布在基材上，或对分散体本身加压使其变成雾状而进行涂布的方法，分配式涂布法是例如将分散体装入注射器中，通过按压该注射器的活塞而从注射器前端的微细喷嘴喷出分散体并将其涂布在基材上的方法。旋涂法是将分散体滴落在正在旋转的基材上，该滴落的分散体通过其离心力扩展到基材周边的方法，刮涂法是将与刮刀的前端留有预定间隙的基材可移动地设置在水平方向上，通过该刮刀在上游侧的基材上供给分散体，使基材向下游侧水平移动的方法。狭缝式涂布法是使分散体从狭窄的缝隙流出而涂布在基材上的方法，喷墨涂布法是在市售的喷墨印刷机的墨盒中填充分散体，在基材上进行喷墨印刷的方法。丝网印刷法是使用绢网作为图案指示材料，经由在其上所制作的印版图像将分散体转移到基材上的方法。胶印法是利用油墨的拒水性的印刷方法，其中，不将印版上附着的分散体直接附着在基材上，而是暂时从印版转印到橡胶片材上，再从橡胶片材上转移到基材上。模压涂布法是使供给到冲模内的分散体用多支管分配，通过狭缝挤出在薄膜上，涂布到移动中的基材的表面的方法。模压涂布法包括狭缝型涂布方式、滑动涂布方式、帘式涂布方式。
接着，将具有透明导电涂膜24的基材在大气中或在氮或氩等惰性气体气氛中，在130～400℃、优选150～350℃的温度下，保持5～60分钟、优选15～40分钟进行烧成。由此，图2所示的透明导电涂膜24被烧固，如图1所示，在非晶硅层13上形成透明导电膜14。在此情况下，透明导电膜14以用粘合剂层14b浸渗导电性微粒层14a的状态形成。
将烧成温度设定在130～400℃范围的原因是，低于130℃时，产生透明导电膜的表面电阻值变得过高的不良情况。另外，如果超过400℃，则无法发挥低温工艺这样的生产上的优点，即，使得制造成本增大、生产率下降。另外，特别是因为，非晶硅、微晶硅、或使用它们的混合型硅太阳能电池比较不耐热，烧成工序会导致转换效率下降。
进而，将具有涂膜的基材的烧成时间设定在上述范围内的原因是，低于下限值时，微粒的烧结不充分，因此产生得不到充分的导电性的不良情况，如果超过上限值，则非晶硅层由于被过度加热而导致发电性能下降。
通过上述的方式，可以形成本发明的透明导电膜14。由此通过湿式施涂法，可以制作出满足用于多接合型太阳能电池时所需要的良好的透光性、高导电性、低折射率等各要素的透明导电膜，作为不使用真空成膜法的方法，可以实现透明导电膜的制作中的运行成本的降低，所述湿式施涂法通过以下进行：使用涂布型材料(透明导电膜用组合物：导电性微粒分散液和粘合剂分散液)，形成以微粒和粘合剂复合得到的成分为主成分的涂膜，对该涂膜进行烧成。
另外，对于湿式施涂法中使用的涂布型材料(透明导电膜用组合物)，通过调节其配合比等，具有可以容易地调节与光电转换层和透明导电膜之间的折射率差值相关的透明导电膜的折射率等的光学特性的优点，通过最优化光电转换层之间的光反射特性，可以实现在采用真空成膜法的制作中所达不到的多接合型太阳能电池的性能提高。
接着，在透明导电膜14上形成微晶硅层15。该微晶硅层15的形成方法没有特殊限制，可采用以往已知的等离子体CVD法等方法形成。
最后，通过在微晶硅层15上形成背面侧电极层16，可以得到多接合型太阳能电池10。在该多接合型薄膜太阳能电池10中，透明基板11为受光面。
以下，与比较例一起详细地说明本发明的实施例。
实施例1
首先，准备10cm方形的玻璃作为透明基板11，作为表面侧电极层12使用SnO2。此时的表面侧电极层12的膜厚为800nm、薄层电阻为10Ω/□、雾度值为15～20％。
接着，在表面侧电极层12上，使用等离子体CVD法，以300nm的厚度成膜非晶硅层13。
接着，按如下所述制备由导电性微粒分散液和粘合剂分散液构成的透明导电膜用组合物。
如表1所示，添加作为导电性微粒的以原子比计Sn/(Sn+In)＝0.1、粒径0.03μm的ITO粉末1.0质量份、作为偶联剂的上述式(3)所示的有机钛酸酯偶联剂0.01质量份，再加入作为分散介质的乙醇，由此使总量为100质量份。
予以说明，对于上述导电性微粒的平均粒径的测定方法，如下所述由个数平均值计算。首先，拍摄对象微粒的电子显微镜照片。对于拍摄所使用的电子显微镜，根据粒径的大小、粉末的种类，适宜选用SEM或TEM。接着，由所得电子显微镜照片测定1000个左右的各粒子的直径，得到频率分布的数据。并且，以累积频率为50％(D50)的数值作为平均粒径。
对于该混合物，通过冲压研磨机(水平式玻珠研磨机)，使用直径0.3mm的氧化锆珠，工作2小时，使混合物中的微粒分散，由此得到导电性微粒分散液。
另外，准备作为粘合剂的水解硅酸乙酯得到的硅氧烷聚合物1.0质量份，再加入作为分散介质的乙醇，由此使总量为100质量份，得到粘合剂分散液。
接着，在非晶硅层13上，通过旋涂法施涂所得的导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为80nm，然后，在温度50℃下干燥5分钟，形成导电性微粒的涂膜。
接着，在该导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗所得的粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为90nm，在温度50℃下干燥5分钟，形成透明导电涂膜。对于透明导电涂膜形成后的微粒层的膜厚，由利用SEM拍摄截面而得的照片来测定。按如下方式涂布粘合剂分散液：使粘合剂分散液中的粘合剂成分的质量相对于已涂布的导电性微粒的涂膜中所含的微粒的总质量为下表1所示的质量比(所有要涂布的粘合剂分散液中的粘合剂成分的质量/导电性微粒+偶联剂的质量)。
进而，通过将透明导电涂膜在200℃下烧结30分钟，制成透明导电膜14。另外，烧成所得的透明导电膜的膜厚由利用SEM拍摄截面所得的照片测定。烧成所得的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为1/1。予以说明，对于烧结时的温度，以测定10cm方形的玻璃板的角的4处温度，平均值在设定温度的±5℃的范围内为条件。
接着，在透明导电膜14上，使用等离子体CVD法，以1.7μm的厚度制成微晶硅层15，进而，作为背面侧电极层16，通过溅射法分别制成80nm厚度的ZnO膜、300nm厚度的Ag膜。
对由此制作的多接合型薄膜硅太阳能电池，以100mW/cm2的光照度照射AM1.5的光作为入射光，测定此时的短路电流密度和转换效率。予以说明，对于短路电流密度和转换效率的值，将实施例1的值设定为1.0，以下的实施例2～50和比较例1～比较例5的短路电流密度和转换效率的值以相对于该实施例1的值的相对值表示。另外，使用分光式椭偏仪(J.A.WoollamJapan社制；M-2000DI)，使用该装置附带的分析软件“WVASE32”，输入预先在SEM截面观察的膜厚，由此测定多接合型薄膜硅太阳能电池的透明导电膜14在600nm波长的折射率。其结果如下表4所示。
实施例2
如表1所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Sb/(Sb+In)＝0.05、粒径0.02μm的ITO粉末0.5质量份、作为偶联剂的上述式(3)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的硅氧烷聚合物0.2质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为20nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为20nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为5/2。其结果如下表4所示。
实施例3
如表1所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计P/(P+Sn)＝0.1、粒径0.02μm的PTO(P掺杂的SnO2)粉末1.0质量份、作为偶联剂的上述式(2)所示的钛类偶联剂0.02质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为70nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为70nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为1/1。其结果如下表4所示。
实施例4
如表1所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Sb/(Sb+Sn)＝0.1、粒径0.03μm的ATO粉末1.5质量份、作为偶联剂的上述式(1)所示的铝类偶联剂0.02质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的硅氧烷聚合物1.2质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为120nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为120nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为15/12。其结果如下表4所示。
实施例5
如表1所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.03μm的ZnO粉末1.2质量份、作为偶联剂的乙烯基三乙氧基硅烷0.03质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的丙烯酸树脂0.5质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为80nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为80nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为3/5。其结果如下表4所示。
实施例6
如表1所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Al/(Al+Zn)＝0.1、粒径0.03μm的AZO粉末0.8质量份、作为偶联剂的上述式(4)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的纤维素树脂0.8质量份、再加入作为分散介质的二甘醇一丁醚乙酸酯而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为60nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为80nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为12/3。其结果如下表4所示。
实施例7
如表1所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Sn/(Sn+In)＝0.05、粒径0.02μm的ITO粉末1.5质量份、作为偶联剂的γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的环氧树脂0.9质量份、再加入作为分散介质的甲苯而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为100nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为100nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为15/9。其结果如下表4所示。
实施例8
如表1所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Sb/(Sb+Sn)＝0.05、粒径0.02μm的ATO粉末1.2质量份、作为偶联剂的上述式(5)所示的钛类偶联剂0.02质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的聚酯树脂1.0质量份、再加入作为分散介质的二甲苯而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为80nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为80nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为12/10。其结果如下表4所示。
实施例9
如表1所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计P/(P+Sn)＝0.05、粒径0.03μm的PTO(P掺杂的SnO2)粉末2.0质量份、作为偶联剂的γ-环氧丙氧丙基三甲氧基硅烷0.05质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的丙烯酸聚氨酯树脂1.1质量份、再加入作为分散介质的异佛尔酮而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为140nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为140nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为20/11。其结果如下表4所示。
实施例10
如表1所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.03μm的MgO粉末0.8质量份、作为偶联剂的上述式(4)所示的钛类偶联剂0.02质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，使用准备作为粘合剂的聚苯乙烯树脂1.0质量份、再加入作为分散介质的环己酮而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为70nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为100nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为8/10。其结果如下表4所示。
实施例11
如表1所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.02μm的TiO2粉末2.0质量份、作为偶联剂的上述式(6)所示的钛类偶联剂0.02质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的聚乙酸乙烯酯树脂1.5质量份、再加入作为分散介质的甲苯而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为120nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为120nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为20/15。其结果如下表4所示。
实施例12
如表1所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.03μm的Ag粉末1.0质量份、作为偶联剂的上述式(7)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的聚乙烯醇树脂1.0质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为70nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为80nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为1/1。其结果如下表4所示。
实施例13
如表1所示，使用添加作为导电性微粒的Ag/Pd＝9/1、粒径0.02μm的Ag-Pd合金粉末0.8质量份、作为偶联剂的上述式(7)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的硅氧烷聚合物0.8质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为50nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为50nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为8/8。其结果如下表4所示。
实施例14
如表1所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.02μm的Au粉末1.0质量份、作为偶联剂的上述式(8)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的聚酰胺树脂1.2质量份、再加入作为分散介质的二甲苯而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为80nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为110nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/12。其结果如下表4所示。
实施例15
如表1所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.03μm的Ru粉末1.2质量份、作为偶联剂的上述式(8)所示的钛类偶联剂0.03质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的氯乙烯树脂1.2质量份、再加入作为分散介质的二甲苯而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为90nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为100nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为12/12。其结果如下表4所示。
实施例16
如表1所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.03μm的Rh粉末1.0质量份、作为偶联剂的上述式(8)所示的钛类偶联剂0.02质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的丙烯酸酯树脂0.8质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为80nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为80nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/8。其结果如下表4所示。
实施例17
如表1所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Sb/(Sb+In)＝0.1、粒径0.03μm的ITO粉末1.0质量份、作为偶联剂的上述式(3)所示的钛类偶联剂0.02质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的聚碳酸酯树脂1.0质量份、再加入作为分散介质的甲苯而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为80nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为80nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/10。其结果如下表4所示。
实施例18
如表2所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计P/(P+Sn)＝0.1、粒径0.02μm的PTO(P掺杂的SnO2)粉末1.0质晕份、作为偶联剂的上述式(3)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的醇酸树脂0.8质量份、再加入作为分散介质的环己酮而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为80nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为100nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/8。其结果如下表4所示。
实施例19
如表2所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Sb/(Sb+Sn)＝0.1、粒径0.03μm的ATO粉末1.0质量份、作为偶联剂的上述式(3)所示的钛类偶联剂0.02质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的聚氨酯纤维1.2质量份、再加入作为分散介质的二甲苯而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为80nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为80nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/12。其结果如下表4所示。
实施例20
如表2所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Sb/(Sb+In)＝0.05、粒径0.02μm的ITO粉末1.0质量份、作为偶联剂的上述式(2)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的聚缩醛树脂0.8质量份、再加入作为分散介质的己烷而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/8。其结果如下表4所示。
实施例21
如表2所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Sb/(Sb+Sn)＝0.05、粒径0.03μm的ATO粉末1.0质量份、作为偶联剂的上述式(2)所示的钛类偶联剂0.02质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的乙基纤维素树脂1.0质晕份、再加入作为分散介质的己烷而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为80nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为100nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/10。其结果如下表4所示。
实施例22
如表2所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计P/(P+Sn)＝0.05、粒径0.02μm的PTO(P掺杂的SnO2)粉末1.0质量份、作为偶联剂的上述式(2)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的Al的甲氧基水解物1.0质量份、再加入作为分散介质的甲醇而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为70nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为70nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例，微粒/粘合剂比为10/10。其结果如下表4所示。
实施例23
如表2所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Sb/(Sb+Sn)＝0.1、粒径0.02μm的ATO粉末1.0质量份、作为偶联剂的上述式(4)所示的钛类偶联剂0.02质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的醇酸树脂与聚酰胺树脂按7∶3的比例混合而成的粘合剂1.0质量份、再加入作为分散介质的异佛尔酮而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为70nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为90nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/10。其结果如下表4所示。
实施例24
如表2所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.02μm的Si粉末1.0质量份、作为偶联剂的γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的硅氧烷聚合物1.0质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质晕份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为80nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为80nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/10。其结果如下表4所示。
实施例25
如表2所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.03μm的Ga粉末1.0质量份、作为偶联剂的上述式(2)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的醇酸树脂1.0质量份、再加入作为分散介质的环己酮而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为80nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为100nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/10。其结果如下表4所示。
实施例26
如表2所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.02μm的Co粉末1.0质量份、作为偶联剂的上述式(2)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的乙基纤维素树脂1.0质量份、再加入作为分散介质的己烷而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为80nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为80nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/10。其结果如下表4所示。
实施例27
如表2所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.02μm的Ca粉末1.0质量份、作为偶联剂的上述式(3)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的聚碳酸酯树脂1.0质量份、再加入作为分散介质的甲苯而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/10。其结果如下表4所示。
实施例28
如表2所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.03μm的Sr粉末1.0质量份、作为偶联剂的上述式(3)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的聚缩醛树脂1.0质量份、再加入作为分散介质的己烷而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为80nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为100nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/10。其结果如下表4所示。
实施例29
如表2所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.02μm的Ba(OH)2粉末1.0质量份、作为偶联剂的上述式(4)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的聚氨酯树脂1.0质量份、再加入作为分散介质的二甲苯而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为80nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为80nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/10。其结果如下表4所示。
实施例30
如表2所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.03μm的Ce粉末1.0质量份、作为偶联剂的上述式(4)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的聚酰胺树脂1.0质量份、再加入作为分散介质的二甲苯而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为80nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为100nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/10。其结果如下表4所示。
实施例31
如表2所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.03μm的Y粉末1.0质量份、作为偶联剂的上述式(5)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的硅氧烷聚合物1.0质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为80nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为100nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/10。其结果如下表4所示。
实施例32
如表2所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.02μm的Zr粉末1.0质量份、作为偶联剂的上述式(5)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的醇酸树脂1.0质量份、再加入作为分散介质的环己酮而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为80nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为80nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/10。其结果如下表4所示。
实施例33
如表2所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.02μm的Sn(OH)2粉末1.0质量份、作为偶联剂的上述式(6)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的乙基纤维素树脂1.0质量份、再加入作为分散介质的己烷而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/10。其结果如下表4所示。
实施例34
如表2所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.03μm的MgO与ZnO2按5∶5的比例混合而成的粉末1.0质量份、作为偶联剂的上述式(6)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的聚碳酸酯树脂1.0质晕份、再加入作为分散介质的甲苯而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为80nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为80nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/10。其结果如下表4所示。
实施例35
如表3所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.03μm的C粉末1.0质量份、作为偶联剂的上述式(7)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的聚缩醛树脂1.0质量份、再加入作为分散介质的己烷而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为80nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为100nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/10。其结果如下表4所示。
实施例36
如表3所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.01μm的SiO2粉末1.0质量份、作为偶联剂的上述式(7)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的聚氨酯树脂1.0质量份、再加入作为分散介质的二甲苯而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/10。其结果如下表4所示。
实施例37
如表3所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.03μm的Cu粉末1.0质量份、作为偶联剂的上述式(8)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的聚酰胺树脂1.0质量份、再加入作为分散介质的二甲苯而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为80nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为80nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/10。其结果如下表4所示。
实施例38
如表3所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.03μm的Ni粉末1.0质量份、作为偶联剂的上述式(8)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的硅氧烷聚合物1.0质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为80nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为80nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/10。其结果如下表4所示。
实施例39
如表3所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.02μm的Pt粉末1.0质量份、作为偶联剂的上述式(1)所示的铝类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的醇酸树脂1.0质量份、再加入作为分散介质的环己酮而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为80nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为100nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/10。其结果如下表4所示。
实施例40
如表3所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.03μm的Ir粉末1.0质量份、作为偶联剂的上述式(1)所示的铝类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的乙基纤维素树脂1.0质量份、再加入作为分散介质的己烷而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为80nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为100nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/10。其结果如下表4所示。
实施例41
如表3所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计P/(P+Sn)＝0.1、粒径0.02μm的PTO(P掺杂的SnO2)粉末0.8质量份、作为偶联剂的由上述式(1)所示的铝类偶联剂与上述式(3)所示的钛类偶联剂按5∶5的比例混合而成的偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的聚碳酸酯树脂1.0质量份、再加入作为分散介质的甲苯而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过旋涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为80nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过旋涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为80nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为8/10。其结果如下表4所示。
实施例42
如表3所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Sb/(Sb+In)＝0.1、粒径0.02μm的ITO粉末1.2质量份、作为偶联剂的上述式(3)所示的钛类偶联剂0.02质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的硅氧烷聚合物1.0质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过喷雾涂布法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为100nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过喷雾涂布法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为120nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为12/10。其结果如下表4所示。
实施例43
如表3所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计P/(P+Sn)＝0.1、粒径0.03μm的PTO(P掺杂的SnO2)粉末1.2质量份、作为偶联剂的上述式(3)所示的钛类偶联剂0.02质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的硅氧烷聚合物1.2质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过分配式涂布法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为100nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过分配式涂布法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为110nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为12/12。其结果如下表4所示。
实施例44
如表3所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Sb/(Sb+Sn)＝0.1、粒径0.02μm的ATO粉末1.2质量份、作为偶联剂的上述式(3)所示的钛类偶联剂0.02质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的硅氧烷聚合物0.8质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过刮涂法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为100nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过刮涂法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为100nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为12/8。其结果如下表4所示。
实施例45
如表3所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Sb/(Sb+In)＝0.05、粒径0.02μm的ITO粉末1.2质量份、作为偶联剂的上述式(2)所示的钛类偶联剂0.02质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的硅氧烷聚合物1.2质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过狭缝式涂布法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为100nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过狭缝式涂布法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为100nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为12/12。其结果如下表4所示。
实施例46
如表3所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Sb/(Sb+Sn)＝0.05、粒径0.03μm的ATO粉末1.0质量份、作为偶联剂的上述式(2)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的硅氧烷聚合物1.0质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过喷墨涂布法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为90nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过喷墨涂布法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为90nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/10。其结果如下表4所示。
实施例47
如表3所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计P/(P+Sn)＝0.05、粒径0.02μm的PTO(P掺杂的SnO2)粉末5.0质量份、作为偶联剂的上述式(2)所示的钛类偶联剂0.05质量份、再加入作为分散介质的乙二醇而使得总量为100质量份的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的丙烯酸树脂5.0质量份、再加入作为分散介质的乙二醇而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过凹版印刷法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为120nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过凹版印刷法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为120nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为50/50。其结果如下表4所示。
实施例48
如表3所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Sb/(Sb+Sn)＝0.1、粒径0.02μm的ATO粉末5.0质量份、作为偶联剂的上述式(4)所示的钛类偶联剂0.05质量份、再加入作为分散介质的乙二醇而使得总量为100质量份的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的乙基纤维素树脂5.0质量份、再加入作为分散介质的二甘醇一丁醚乙酸酯而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过丝网印刷法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为160nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过丝网印刷法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为170nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为50/50。其结果如下表4所示。
实施例49
如表3所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计P/(P+Sn)＝0.1、粒径0.02μm的PTO(P掺杂的SnO2)粉末5.0质量份、再加入作为分散介质的乙二醇而使得总量为100质量份的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的醇酸树脂5.0质量份、再加入作为分散介质的乙二醇使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过胶印法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为140nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过胶印法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为150nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为50/50。其结果如下表4所示。
实施例50
如表3所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Sb/(Sb+Sn)＝0.1、粒径0.02μm的ATO粉末1.0质量份、作为偶联剂的上述式(3)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的导电性微粒分散液，使用准备作为粘合剂的硅氧烷聚合物0.8质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的粘合剂分散液，通过模压涂布法施涂导电性微粒分散液，使得微粒层的膜厚为70nm，形成导电性微粒的涂膜，在导电性微粒的涂膜上，通过模压涂布法浸渗粘合剂分散液，使得烧成后的膜厚为70nm，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/8。其结果如下表4所示。
<比较例1>
在非晶硅层13上，代替施涂实施例1的透明导电膜用组合物，使用磁控溅射法，在基板温度150℃的条件下进行成膜，使添加有1×1021cm-3左右的镓的ZnO形成为80nm的厚度，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。其结果如下表5所示。
<比较例2>
在非晶硅层13上，代替施涂实施例1的透明导电膜用组合物，与比较例1同样地，使用磁控溅射法，在基板温度150℃的条件下进行成膜，使添加有1×1021cm-3左右的镓的ZnO形成为250nm的厚度，然后，将该成膜后的基板浸渍在液温保持在15℃的0.5质量％的HCl水溶液中15秒，进行蚀刻，除此以外，与实施例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。其结果如下表5所示。
<比较例3>
代替比较例1的添加有镓的ZnO，使用磁控溅射法，在基板温度150℃的条件下进行成膜，使添加有1×1021cm-3左右的铝的ZnO形成为50nm的厚度，除此以外，与比较例1同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。其结果如下表5所示。
<比较例4>
代替比较例2的添加有镓的ZnO，使用磁控溅射法，在基板温度150℃的条件下进行成膜，使添加有1×1021cm-3左右的铝的ZnO形成为250nm的厚度，除此以外，与比较例2同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。其结果如下表5所示。
<比较例5>
进行成膜，使添加有1×1021cm-3左右的铝的ZnO形成为30nm的厚度，除此以外，与比较例3同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例1同样地进行评价。其结果如下表5所示。
予以说明，上述实施例中，使用了以硅为发电层的硅型太阳能电池，但是对于本发明来说，只要是多接合型太阳能电池即可，不限于硅型太阳能电池，也可以适用于CIGS、CIGSS、CIS类太阳能电池、CdTe、Cd类太阳能电池、有机薄膜类太阳能电池这种类型。
由表4和表5表明，在实施例1～50中确认，折射率低，另外短路电流密度和转换效率的结果高，与通过溅射成膜法形成ZnO膜的比较例1～5的透明导电膜相比，能够获得优良的电池性能。
实施例51
首先，准备10cm方形的玻璃作为透明基板11，作为表面侧电极层12使用SnO2。此时的表面侧电极层12的膜厚为800nm、薄膜电阻为10Ω/□、雾度值为15～20％。
接着，在表面侧电极层12上，使用等离子体CVD法，以300nm的厚度制成非晶硅层13。
接着，按如下所述制备透明导电膜用组合物。
如表1所示，添加作为导电性微粒的以原子比计Sn/(Sn+In)＝0.1、粒径0.03μm的ITO粉末1.0质量份、作为粘合剂的水解硅酸乙酯而得到的硅氧烷聚合物0.2质量份、作为偶联剂的上述式(3)所示的有机钛酸酯偶联剂0.01质量份，再加入作为分散介质的乙醇，由此使总量为100质量份。
予以说明，对于上述导电性微粒的平均粒径的测定方法，如下所述由个数平均值计算。首先，拍摄对象微粒的电子显微镜照片。对于拍摄所使用的电子显微镜，根据粒径的大小、粉末的种类，适宜选用SEM或TEM。接着，由所得电子显微镜照片测定1000个左右的各粒子的直径，得到频率分布的数据。并且，以累积频率为50％(D50)的数值作为平均粒径。
对于该混合物，通过冲压研磨机(水平式玻珠研磨机)，使用直径0.3mm的氧化锆珠，工作2小时，使混合物中的微粒分散，由此得到透明导电膜用组合物。
接着，在非晶硅层13上，通过旋涂法施涂所得的透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为80nm，将涂膜在200℃下烧结30分钟，由此成膜透明导电膜14。另外，烧成后的膜厚由利用SEM拍摄截面而得的照片来测定。烧成所得的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/2。予以说明，对于烧结时的温度，以测定10cm方形的玻璃板的角的4处温度，平均值在设定温度的±5℃的范围内为条件。
接着，在透明导电膜14上，使用等离子体CVD法，以1.7μm的厚度制成微晶硅层15，进而，作为背面侧电极层16，通过溅射法分别制成80nm厚度的ZnO膜、300nm厚度的Ag膜。
对由此制作的多接合型薄膜硅太阳能电池，以100mW/cm2的光照度照射AM1.5的光作为入射光，测定此时的短路电流密度和转换效率。予以说明，对于短路电流密度和转换效率的值，将实施例51的值设定为1.0，以下的实施例52～99和比较例6～比较例10的短路电流密度和转换效率的值以相对于该实施例51的值的相对值表示。另外，使用分光式椭偏仪(J.A.WoollamJapan社制；M-2000DI)，使用该装置附带的分析软件“WVASE32”，输入预先在SEM截面观察的膜厚，由此测定多接合型薄膜硅太阳能电池的透明导电膜14在600nm波长的折射率。其结果如下表9所示。
实施例52
如表6所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Sb/(Sb+Sn)＝0.1、粒径0.03μm的ATO粉末1.0质量份、作为粘合剂的硅氧烷聚合物0.2质量份、作为偶联剂的上述式(1)所示的铝类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，通过旋涂法施涂该透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为90nm，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/2。其结果如下表9所示。
实施例53
如表6所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计P/(P+Sn)＝0.1、粒径0.02μm的PTO(P掺杂的SnO2)粉末1.0质量份、作为粘合剂的硅氧烷聚合物0.2质量份、作为偶联剂的上述式(2)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，通过旋涂法施涂该透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为50nm，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/2。其结果如下表9所示。
实施例54
如表6所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.03μm的ZnO粉末1.0质量份、作为粘合剂的丙烯酸树脂0.2质量份、作为偶联剂的乙烯基三乙氧基硅烷0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，通过旋涂法施涂该透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为60nm，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/2。其结果如下表9所示。
实施例55
如表6所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Al/(Al+Zn)＝0.1、粒径0.03μm的AZO粉末0.8质量份、作为粘合剂的纤维素树脂0.2质量份、作为偶联剂的上述式(4)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的二甘醇一丁醚乙酸酯而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，通过旋涂法施涂该透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为30nm，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为8/2。其结果如下表9所示。
实施例56
如表6所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Sn/(Sn+In)＝0.05、粒径0.02μm的ITO粉末1.2质量份、作为粘合剂的环氧树脂0.3质量份、作为偶联剂的γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷0.02质量份、再加入作为分散介质的甲苯而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，通过旋涂法施涂该透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为70nm，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为12/3。其结果如下表9所示。
实施例57
如表6所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Sb/(Sb+Sn)＝0.05、粒径0.02μm的ATO粉末1.0质量份、作为粘合剂的聚酯树脂0.5质量份、作为偶联剂的上述式(5)所示的钛类偶联剂0.03质量份、再加入作为分散介质的二甲苯而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，通过旋涂法施涂该透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为50nm，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/5。其结果如下表9所示。
实施例58
如表6所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计P/(P+Sn)＝0.05、粒径0.03μm的PTO(P掺杂的SnO2)粉末1.2质量份、作为粘合剂的丙烯酸聚氨酯树脂0.8质量份、作为偶联剂的γ-环氧丙氧丙基三甲氧基硅烷0.01质量份、再加入作为分散介质的异佛尔酮而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为12/8。其结果如下表9所示。
实施例59
如表6所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.03μm的MgO粉末0.8质量份、作为粘合剂的聚苯乙烯树脂0.6质量份、作为偶联剂的上述式(4)所示的钛类偶联剂0.02质量份、再加入作为分散介质的环己酮而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，通过旋涂法施涂该透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为70nm，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为8/6。其结果如下表9所示。
实施例60
如表6所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.02μm的TiO2粉末1.0质量份、作为粘合剂的聚乙酸乙烯酯树脂0.5质量份、作为偶联剂的上述式(6)所示的钛类偶联剂0.03质量份、再加入作为分散介质的甲苯使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，通过旋涂法施涂该透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为70nm，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/5。其结果如下表9所示。
实施例61
如表6所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.03μm的Ag粉末0.8质量份、作为粘合剂的聚乙烯醇树脂0.8质量份、作为偶联剂的上述式(7)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，通过旋涂法施涂该透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为50nm，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为8/8。其结果如下表9所示。
实施例62
如表6所示，使用添加作为导电性微粒的Ag/Pd＝9/1、粒径0.02μm的Ag-Pd合金粉末0.5质量份、作为粘合剂的硅氧炕聚合物0.7质量份、作为偶联剂的上述式(7)所示的钛类偶联剂0.02质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，通过旋涂法施涂该透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为50nm，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为5/7。其结果如下表9所示。
实施例63
如表6所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.03μm的Au粉末1.0质量份、作为粘合剂的聚酰胺树脂0.8质量份、作为偶联剂的上述式(8)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的二甲苯而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/8。其结果如下表9所示。
实施例64
如表6所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.03μm的Ru粉末0.8质量份、作为粘合剂的氯乙烯树脂1.0质量份、作为偶联剂的上述式(8)所示的钛类偶联剂0.02质量份、再加入作为分散介质的二甲苯而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为8/10。其结果如下表9所示。
实施例65
如表6所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.03μm的Rh粉末1.2质量份、作为粘合剂的丙烯酸酯树脂10质量份、作为偶联剂的上述式(8)所示的钛类偶联剂0.02质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，通过旋涂法施涂该透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为70nm，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为12/10。其结果如下表9所示。
实施例66
如表6所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Sn/(Sn+In)＝0.1、粒径0.03μm的ITO粉末1.0质量份、作为粘合剂的聚碳酸酯树脂0.2质量份、作为偶联剂的上述式(3)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的甲苯而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/2。其结果如下表9所示。
实施例67
如表6所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计P/(P+Sn)＝0.1、粒径0.02μm的PTO(P掺杂的SnO2)粉末1.0质量份、作为粘合剂的醇酸树脂0.2质量份、作为偶联剂的上述式(3)所示的钛类偶联剂0.01质晕份、再加入作为分散介质的环己酮而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，通过旋涂法施涂该透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为90nm，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/2。其结果如下表9所示。
实施例68
如表7所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Sb/(Sb+Sn)＝0.1、粒径0.03μm的ATO粉末1.0质量份、作为粘合剂的聚氨酯树脂0.2质量份、作为偶联剂的上述式(3)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的二甲苯而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，通过旋涂法施涂该透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为70nm，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/2。其结果如下表9所示。
实施例69
如表7所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Sn/(Sn+In)＝0.05、粒径0.02μm的ITO粉末1.0质量份、作为粘合剂的聚缩醛树脂0.2质量份、作为偶联剂的上述式(2)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的己烷而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/2。其结果如下表9所示。
实施例70
如表7所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Sb/(Sb+Sn)＝0.05、粒径0.03μm的ATO粉末1.0质量份、作为粘合剂的乙基纤维素树脂0.2质量份、作为偶联剂的上述式(2)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的己炕而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/2。其结果如下表9所示。
实施例71
如表7所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计P/(P+Sn)＝0.05、粒径0.02μm的PTO(P掺杂的SnO2)粉末1.0质量份、作为粘合剂的Al的甲氧基水解物0.2质量份、作为偶联剂的上述式(2)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的甲醇而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，通过旋涂法施涂该透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为70nm，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/2。其结果如下表9所示。
实施例72
如表7所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Sb/(Sb+Sn)＝0.1、粒径0.02μm的ATO粉末1.0质量份、作为粘合剂的醇酸树脂与聚酰胺树脂按7∶3的比例混合而成的粘合剂0.2质量份、作为偶联剂的上述式(4)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的异佛尔酮而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，通过旋涂法施涂该透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为70nm，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/2。其结果如下表9所示。
实施例73
如表7所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.02μm的Si粉末1.0质量份、作为粘合剂的硅氧烷聚合物0.2质量份、作为偶联剂的γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/2。其结果如下表9所示。
实施例74
如表7所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.03μm的Ga粉末1.0质量份、作为粘合剂的醇酸树脂0.2质量份、作为偶联剂的上述式(2)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的环己酮而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/2。其结果如下表9所示。
实施例75
如表7所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.02μm的Co粉末1.0质量份、作为粘合剂的乙基纤维素树脂0.2质量份、作为偶联剂的上述式(2)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的己烷而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，通过旋涂法施涂该透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为70nm，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/2。其结果如下表9所示。
实施例76
如表7所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.02μm的Ca粉末1.0质量份、作为粘合剂的聚碳酸酯树脂0.2质量份、作为偶联剂的上述式(3)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的甲苯而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，通过旋涂法施涂该透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为70nm，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/2。其结果如下表9所示。
实施例77
如表7所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.03μm的Sr粉末1.0质量份、作为粘合剂的聚缩醛树脂0.2质量份、作为偶联剂的上述式(3)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的己烷而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/2。其结果如下表9所示。
实施例78
如表7所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.02μm的Ba(OH)2粉末1.0质量份、作为粘合剂的聚氨酯树脂0.2质量份、作为偶联剂的上述式(4)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的二甲苯而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/2。其结果如下表9所示。
实施例79
如表7所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.03μm的Ce粉末1.0质量份、作为粘合剂的聚酰胺树脂0.2质量份、作为偶联剂的上述式(4)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的二甲苯而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，通过旋涂法施涂该透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为70nm，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/2。其结果如下表9所示。
实施例80
如表7所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.03μm的Y粉末1.0质量份、作为粘合剂的硅氧烷聚合物0.2质量份、作为偶联剂的上述式(5)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，通过旋涂法施涂该透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为70nm，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/2。其结果如下表9所示。
实施例81
如表7所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.02μm的Zr粉末1.0质量份、作为粘合剂的醇酸树脂0.2质量份、作为偶联剂的上述式(5)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的环己酮而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/2。其结果如下表9所示。
实施例82
如表7所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.02μm的Sn(OH)2粉末1.0质量份、作为粘合剂的乙基纤维素树脂0.2质量份、作为偶联剂的上述式(6)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的己烷而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/2。其结果如下表9所示。
实施例83
如表7所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.03μm的MgO和ZnO2按5∶5的比例混合而成的粉末1.0质量份、作为粘合剂的聚碳酸酯树脂0.2质量份、作为偶联剂的上述式(6)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的甲苯而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/2。其结果如下表9所示。
实施例84
如表7所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.03μm的C粉末1.0质量份、作为粘合剂的聚缩醛树脂0.2质量份、作为偶联剂的上述式(7)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的己烷而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/2。其结果如下表9所示。
实施例85
如表8所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.01μm的SiO2粉末1.0质量份、作为粘合剂的聚氨酯树脂0.2质量份、作为偶联剂的上述式(7)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的二甲苯而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/2。其结果如下表9所示。
实施例86
如表8所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.03μm的Cu粉末1.0质量份、作为粘合剂的聚酰胺树脂0.2质量份、作为偶联剂的上述式(8)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的二甲苯而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/2。其结果如下表9所示。
实施例87
如表8所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.03μm的Ni粉末1.0质量份、作为粘合剂的硅氧炕聚合物0.2质量份、作为偶联剂的上述式(8)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/2。其结果如下表9所示。
实施例88
如表8所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.02μm的Pt粉末1.0质量份、作为粘合剂的醇酸树脂0.2质量份、作为偶联剂的上述式(1)所示的铝类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的环己酮而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/2。其结果如下表9所示。
实施例89
如表8所示，使用添加作为导电性微粒的粒径0.03μm的Ir粉末1.0质量份、作为粘合剂的乙基纤维素树脂0.2质量份、作为偶联剂的上述式(1)所示的铝类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的己烷而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，通过旋涂法施涂该透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为70nm，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/2。其结果如下表9所示。
实施例90
如表8所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计P/(P+Sn)＝0.1、粒径0.02μm的PTO(P掺杂的SnO2)粉末1.4质量份、作为粘合剂的聚碳酸酯树脂0.6质量份、作为偶联剂的由上述式(1)所示的铝类偶联剂与上述式(3)所示的钛类偶联剂按5∶5的比例混合而成的偶联剂0.04质量份、再加入作为分散介质的甲苯而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，通过旋涂法施涂该透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为110nm，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为14/6。其结果如下表9所示。
实施例91
如表8所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Sn/(Sn+In)＝0.1、粒径0.02μm的ITO粉末1.2质量份、作为粘合剂的硅氧炕聚合物0.3质量份、作为偶联剂的上述式(3)所示的钛类偶联剂0.02质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，通过喷雾涂布法施涂该透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为100nm，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为12/3。其结果如下表9所示。
实施例92
如表8所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计P/(P+Sn)＝0.1、粒径0.03μm的PTO(P掺杂的SnO2)粉末1.2质量份、作为粘合剂的硅氧烷聚合物0.3质量份、作为偶联剂的上述式(3)所示的钛类偶联剂0.02质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，通过分配式涂布法施涂该透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为100nm，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为12/3。其结果如下表9所示。
实施例93
如表8所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Sb/(Sb+Sn)＝0.1、粒径0.02μm的ATO粉末1.0质量份、作为粘合剂的硅氧烷聚合物0.3质量份、作为偶联剂的上述式(3)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，通过刮涂法施涂该透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为80nm，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/3。其结果如下表9所示。
实施例94
如表8所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Sn/(Sn+In)＝0.05、粒径0.02μm的ITO粉末1.0质量份、作为粘合剂的硅氧烷聚合物0.3质量份、作为偶联剂的上述式(2)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，通过狭缝式涂布法施涂该透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为80nm，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/3。其结果如下表9所示。
实施例95
如表8所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Sb/(Sb+Sn)＝0.05、粒径0.03μm的ATO粉末1.0质量份、作为粘合剂的硅氧烷聚合物0.3质量份、作为偶联剂的上述式(2)所示的钛类偶联剂0.01质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，通过喷墨涂布法施涂该透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为80nm，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/3。其结果如下表9所示。
实施例96
如表8所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计P/(P+Sn)＝0.05、粒径0.02μm的PTO(P掺杂的SnO2)粉末5.0质量份、作为粘合剂的丙烯酸树脂5.0质量份、作为偶联剂的上述式(2)所示的钛类偶联剂0.05质量份、再加入作为分散介质的乙二醇而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，通过凹版印刷法施涂该透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为120nm，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为50/50。其结果如下表9所示。
实施例97
如表8所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Sb/(Sb+Sn)＝0.1、粒径0.02μm的ATO粉末6.0质量份、作为粘合剂的乙基纤维素树脂6.0质量份、作为偶联剂的上述式(4)所示的钛类偶联剂0.05质量份、再加入作为分散介质的二甘醇一丁醚乙酸酯使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，通过丝网印刷法施涂该透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为190nm，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为60/60。其结果如下表9所示。
实施例98
如表8所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计P/(P+Sn)＝0.1、粒径0.02μm的PTO(P掺杂的SnO2)粉末6.0质量份、作为粘合剂的醇酸树脂5.0质量份、作为偶联剂的上述式(3)所示的钛类偶联剂0.05质量份、再加入作为分散介质的乙二醇而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，通过胶印法施涂该透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为160nm，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为60/50。其结果如下表9所示。
实施例99
如表8所示，使用添加作为导电性微粒的以原子比计Sb/(Sb+Sn)＝0.1、粒径0.02μm的ATO粉末1.0质量份、作为粘合剂的硅氧烷聚合物0.2质量份、作为偶联剂的上述式(3)所示的钛类偶联剂0.02质量份、再加入作为分散介质的乙醇而使得总量为100质量份而得到的透明导电膜用组合物，通过模压涂布法施涂该透明导电膜用组合物，使得烧成后的膜厚为80nm，除此以外，与实施例51同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。予以说明，此时的透明导电膜中的微粒与粘合剂的比例是微粒/粘合剂比为10/2。其结果如下表9所示。
<比较例6>
在非晶硅层13上，代替施涂实施例51的透明导电膜用组合物，使用磁控溅射法，在基板温度150℃的条件下进行成膜，使添加有1×1021cm-3左右的镓的ZnO形成为80nm的厚度，除此以外，与实施例51同样地，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。其结果如下表10所示。
<比较例7>
在非晶硅层13上，代替施涂实施例51的透明导电膜用组合物，与比较例6同样地，使用磁控溅射法，在基板温度150℃的条件下进行成膜，使添加有1×1021cm-3左右的镓的ZnO形成为250nm的厚度，然后，将该成膜后的基板浸渍在液温保持在15℃的0.5质量％的HCl水溶液中15秒，进行蚀刻，除此以外，与实施例51同样地，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。其结果如下表10所示。
<比较例8>
代替比较例6的添加有镓的ZnO，使用磁控溅射法，在基板温度150℃的条件下进行成膜，使添加有1×1021cm-3左右的铝的ZnO形成为50nm的厚度，除此以外，与比较例6同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。其结果如下表10所示。
<比较例9>
代替比较例7的添加有镓的ZnO，使用磁控溅射法，在基板温度150℃的条件下进行成膜，使添加有1×1021cm-3左右的铝的ZnO形成厚度为250nm的膜，除此以外，与比较例7同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。其结果如下表10所示。
<比较例10>
进行成膜，使添加有1×1021cm-3左右的铝的ZnO形成为30nm的厚度，除此以外，与比较例8同样操作，制作多接合型薄膜硅太阳能电池，与实施例51同样地进行评价。其结果如下表10所示。
予以说明，上述实施例中，使用了以硅为发电层的硅型太阳能电池，但是对于本发明来说，只要是多接合型太阳能电池即可，不限于硅型太阳能电池，也可以适用于CIGS、CIGSS、CIS类太阳能电池、CdTe、Cd类太阳能电池、有机薄膜类太阳能电池这种类型。
[表6]
[表7]
[表8]
[表9]
[表10]
由表9和表10表明，在实施例51～99中确认，折射率低，另外，短路电流密度和转换效率的结果高，与通过溅射成膜法形成ZnO膜的比较例6～10的透明导电膜相比，能够获得优良的电池性能。
产业实用性
根据本发明，通过使用涂布型材料的湿式施涂法，可以制作满足用于多接合型太阳能电池时所需要的良好的透光性、高导电性、低折射率等各要素的透明导电膜，作为不使用真空成膜法的方法，可以实现透明导电膜制作中的运行成本的降低。另外，由于能够容易地调节与光电转换层和透明导电膜之间的折射率差值相关的透明导电膜的折射率等的光学特性，因此，可以实现光电转换层之间的光反射特性的最优化。进而，本发明的透明导电膜由于由导电性微粒层与粘合剂层的2层构成，因此与单一的透明导电膜相比，具有与作为基底的非晶硅层之间的粘着性优良，并且随时间变化小的优点。

Claims (6)

1.多接合型太阳能电池，其特征在于，其具备：
透明基板、
在所述透明基板上形成的表面侧电极层、
在所述表面侧电极层上形成的第1光电转换层、
在所述第1光电转换层上形成的透明导电膜、
在所述透明导电膜上形成的第2光电转换层、和
在所述第2光电转换层上形成的背面侧电极层，
(a)上述导电膜是通过在使用湿式施涂法在所述第1光电转换层上涂布含有导电性微粒和偶联剂的分散液而形成的微粒的涂膜上，使用湿式施涂法浸渗含有粘合剂的分散液并进行烧成，以用粘合剂层浸渗微粒层的状态而形成的，或者
(b)上述导电膜是通过对使用湿式施涂法在所述第1光电转换层上涂布含有导电性微粒、偶联剂和粘合剂的透明导电膜用组合物而得到的涂膜进行烧成而形成的，
所述导电性微粒为掺杂了1种或2种以上金属的氧化锡粉末或氧化锌粉末，
所述粘合剂是通过水解烷氧基硅烷得到的硅氧烷聚合物和/或金属醇盐的水解物，
在构成上述导电膜的母材中，导电性成分以30~95质量%的范围存在，
上述导电膜的厚度在20~100nm的范围内，
上述分散液中的上述粘合剂和上述透明导电膜用组合物中的上述粘合剂通过在100~400℃的范围内的加热或者紫外线照射进行固化，
上述透明导电膜的折射率为1.3~1.8，
上述偶联剂为选自硅烷偶联剂、铝酸酯偶联剂和钛酸酯偶联剂的1种或2种以上，
上述硅烷偶联剂为选自乙烯基三乙氧基硅烷、γ-环氧丙氧丙基三甲氧基硅烷和γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷中的硅烷偶联剂，
上述铝酸酯偶联剂为下述式(1)所示的含有乙酰烷氧基的铝酸酯偶联剂，
，
上述钛酸酯偶联剂选自三异硬酯酰基钛酸异丙酯、三癸基苯磺酰基钛酸异丙酯、三(焦磷酸二辛酯)钛酸异丙酯、双(磷酸二辛酯)钛酸四异丙酯、双(磷酸二-十三烷基酯)钛酸四辛酯、双(二-十三烷基)磷酸酯钛酸四(2，2-二烯丙氧基甲基-1-丁基)酯、二(焦磷酸二辛酯)羟乙酸钛酸酯、三(焦磷酸二辛酯)钛酸乙二醇酯、四烷氧基钛类和下述结构式(2)~式(8)所示的钛酸酯偶联剂，
。
2.根据权利要求1所述的多接合型太阳能电池，其特征在于，所述导电性微粒选自铟掺杂锡氧化物、ZnO、锑掺杂锡氧化物和P掺杂SnO2，所述粘合剂选自硅氧烷聚合物和Al的甲氧基水解物。
3.根据权利要求1或2所述的多接合型太阳能电池，其特征在于，所述透明基板由选自玻璃、丙烯酸树脂和聚碳酸酯中的材料形成，所述表面侧电极层由选自ITO、SnO2、ZnO和AZO中的材料形成，所述第1光电转换层由非晶硅形成，所述第2光电转换层由微晶硅形成。
4.多接合型太阳能电池的制造方法，其特征在于，其具备：
在透明基板上形成表面侧电极层的工序、
在所述表面侧电极层上形成第1光电转换层的工序、
在所述第1光电转换层上形成透明导电膜的工序、
在所述透明导电膜上形成第2光电转换层的工序、和
在所述第2光电转换层上形成背面侧电极层的工序，
在所述形成透明导电膜的工序中，
(a)上述透明导电膜是通过在使用湿式施涂法在所述第1光电转换层上涂布含有导电性微粒和偶联剂的分散液而形成的微粒的涂膜上，使用湿式施涂法浸渗含有粘合剂的分散液并进行烧成，以用粘合剂层浸渗微粒层的状态而形成的，或者
(b)上述透明导电膜是通过对使用湿式施涂法在所述第1光电转换层上涂布含有导电性微粒、偶联剂和粘合剂的透明导电膜用组合物而得到的涂膜进行烧成而形成的，
所述导电性微粒为掺杂了1种或2种以上金属的氧化锡粉末或氧化锌粉末，
所述粘合剂是通过水解烷氧基硅烷得到的硅氧烷聚合物和/或金属醇盐的水解物，
在构成上述导电膜的母材中，导电性成分以30~95质量%的范围存在，
上述导电膜的厚度在20~100nm的范围内，
上述分散液中的上述粘合剂和上述透明导电膜用组合物中的上述粘合剂通过在100~400℃的范围内的加热或者紫外线照射进行固化，
上述透明导电膜的折射率为1.3~1.8，
上述偶联剂为选自硅烷偶联剂、铝酸酯偶联剂和钛酸酯偶联剂的1种或2种以上，
上述硅烷偶联剂为选自乙烯基三乙氧基硅烷、γ-环氧丙氧丙基三甲氧基硅烷和γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷中的硅烷偶联剂，
上述铝酸酯偶联剂为下述式(1)所示的含有乙酰烷氧基的铝酸酯偶联剂，
，
上述钛酸酯偶联剂选自三异硬酯酰基钛酸异丙酯、三癸基苯磺酰基钛酸异丙酯、三(焦磷酸二辛酯)钛酸异丙酯、双(磷酸二辛酯)钛酸四异丙酯、双(磷酸二-十三烷基酯)钛酸四辛酯、双(二-十三烷基)磷酸酯钛酸四(2，2-二烯丙氧基甲基-1-丁基)酯、二(焦磷酸二辛酯)羟乙酸钛酸酯、三(焦磷酸二辛酯)钛酸乙二醇酯、四烷氧基钛类和下述结构式(2)~式(8)所示的钛酸酯偶联剂，
。
5.根据权利要求3所述的多接合型太阳能电池的制造方法，其特征在于，所述湿式施涂法是喷雾涂布法、分配式涂布法、旋涂法、刮涂法、狭缝式涂布法、喷墨涂布法、凹版印刷法、丝网印刷法、胶印法或模压涂布法中的任意的方法。
6.根据权利要求4或5所述的多接合型太阳能电池的制造方法，其特征在于，所述透明基板由选自玻璃、丙烯酸树脂和聚碳酸酯中的材料形成，所述表面侧电极层由选自ITO、SnO2、ZnO和AZO中的材料形成，所述第1光电转换层由非晶硅形成，所述第2光电转换层由微晶硅形成。
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