JP5544774B2 - 多接合型太陽電池 - Google Patents
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Description
先ず、透明基板11には10cm角のガラスを用意し、表面側電極層12としてSnO2を用いた。この際の表面側電極層12の膜厚は800nm、シート抵抗は10Ω/□、ヘイズ率は15〜20%とした。
表1に示すように、導電性微粒子として原子比でSb/(Sb+In)=0.05、粒子径0.02μmのITO粉末を0.5質量部、カップリング剤として上記式(3)に示されるチタン系カップリング剤を0.01質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてシロキサンポリマを0.2質量部用意し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が20nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が20nmとなるように含浸させた以外は、実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が5/2であった。その結果を次の表4に示す。
表1に示すように、導電性微粒子として原子比でP/(P+Sn)=0.1、粒子径0.02μmのPTO(PドープSnO2)粉末を1.0質量部、カップリング剤として上記式(2)に示されるチタン系カップリング剤を0.02質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が70nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が70nmとなるように含浸させた以外は、実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が1/1であった。その結果を次の表4に示す。
表1に示すように、導電性微粒子として原子比でSb/(Sb+Sn)=0.1、粒子径0.03μmのATO粉末を1.5質量部、カップリング剤として上記式(1)に示されるアルミ系カップリング剤を0.02質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてシロキサンポリマを1.2質量部用意し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が120nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が120nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が15/12であった。その結果を次の表4に示す。
表1に示すように、導電性微粒子として粒子径0.03μmのZnO粉末を1.2質量部、カップリング剤としてビニルトリエトキシシランを0.03質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてアクリル樹脂を0.5質量部用意し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が80nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が80nmとなるように含浸させた以外は、実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が3/5であった。その結果を次の表4に示す。
表1に示すように、導電性微粒子として原子比でAl/(Al+Zn)=0.1、粒子径0.03μmのAZO粉末を0.8質量部、カップリング剤として上記式(4)に示されるチタン系カップリング剤を0.01質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてセルロース樹脂を0.8質量部用意し、更に分散媒として酢酸ブチルカルビトールを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が60nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が80nmとなるように含浸させた以外は、実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が12/3であった。その結果を次の表4に示す。
表1に示すように、導電性微粒子として原子比でSn/(Sn+In)=0.05、粒子径0.02μmのITO粉末を1.5質量部、カップリング剤としてγ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシランを0.01質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてエポキシ樹脂を0.9質量部用意し、更に分散媒としてトルエンを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が100nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が100nmとなるように含浸させた以外は、実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が15/9であった。その結果を次の表4に示す。
表1に示すように、導電性微粒子として原子比でSb/(Sb+Sn)=0.05、粒子径0.02μmのATO粉末を1.2質量部、カップリング剤として上記式(5)に示されるチタン系カップリング剤を0.02質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてポリエステル樹脂を1.0質量部用意し、更に分散媒としてキシレンを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が80nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が80nmとなるように含浸させた以外は、実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が12/10であった。その結果を次の表4に示す。
表1に示すように、導電性微粒子として原子比でP/(P+Sn)=0.05、粒子径0.03μmのPTO(PドープSnO2)粉末を2.0質量部、カップリング剤としてγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランを0.05質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてアクリルウレタン樹脂を1.1質量部用意し、更に分散媒としてイソホロンを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が140nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が140nmとなるように含浸させた以外は、実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が20/11であった。その結果を次の表4に示す。
表1に示すように、導電性微粒子として粒子径0.03μmのMgO粉末を0.8質量部、カップリング剤として上記式(4)に示されるチタン系カップリング剤を0.02質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした透明導電膜用組成物を用い、バインダとしてポリスチレン樹脂を1.0質量部用意し、更に分散媒としてシクロヘキサノンを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が70nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が100nmとなるように含浸させた以外は、実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が8/10であった。その結果を次の表4に示す。
表1に示すように、導電性微粒子として粒子径0.02μmのTiO2粉末を2.0質量部、カップリング剤として上記式(6)に示されるチタン系カップリング剤を0.02質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてポリ酢酸ビニル樹脂を1.5質量部用意し、更に分散媒としてトルエンを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が120nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が120nmとなるように含浸させた以外は、実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が20/15であった。その結果を次の表4に示す。
表1に示すように、導電性微粒子として粒子径0.03μmのAg粉末を1.0質量部、カップリング剤として上記式(7)に示されるチタン系カップリング剤を0.01質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてポリビニルアルコール樹脂を1.0質量部用意し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が70nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が80nmとなるように含浸させた以外は、実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が1/1であった。その結果を次の表4に示す。
表1に示すように、導電性微粒子としてAg/Pd=9/1、粒子径0.02μmのAg−Pd合金粉末を0.8質量部、カップリング剤として上記式(7)に示されるチタン系カップリング剤を0.01質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてシロキサンポリマを0.8質量部用意し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が50nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が50nmとなるように含浸させた以外は、実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が8/8であった。その結果を次の表4に示す。
表1に示すように、導電性微粒子として粒子径0.02μmのAu粉末を1.0質量部、カップリング剤として上記式(8)に示されるチタン系カップリング剤を0.01質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてポリアミド樹脂を1.2質量部用意し、更に分散媒としてキシレンを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が80nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が110nmとなるように含浸させた以外は、実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が10/12であった。その結果を次の表4に示す。
表1に示すように、導電性微粒子として粒子径0.03μmのRu粉末を1.2質量部、カップリング剤として上記式(8)に示されるチタン系カップリング剤を0.03質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとして塩化ビニル樹脂を1.2質量部用意し、更に分散媒としてキシレンを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が90nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が100nmとなるように含浸させた以外は、実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が12/12であった。その結果を次の表4に示す。
表1に示すように、導電性微粒子として粒子径0.03μmのRh粉末を1.0質量部、カップリング剤として上記式(8)に示されるチタン系カップリング剤を0.02質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてアクリレート樹脂を0.8質量部用意し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が80nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が80nmとなるように含浸させた以外は、実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が10/8であった。その結果を次の表4に示す。
表1に示すように、導電性微粒子として原子比でSb/(Sb+In)=0.1、粒子径0.03μmのITO粉末を1.0質量部、カップリング剤として上記式(3)に示されるチタン系カップリング剤を0.02質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてポリカーボネート樹脂を1.0質量部用意し、更に分散媒としてトルエンを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が80nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が80nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が10/10であった。その結果を次の表4に示す。
表2に示すように、導電性微粒子として原子比でP/(P+Sn)=0.1、粒子径0.02μmのPTO(PドープSnO2)粉末を1.0質量部、カップリング剤として上記式(3)に示されるチタン系カップリング剤を0.01質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてアルキッド樹脂を0.8質量部用意し、更に分散媒としてシクロヘキサノンを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が80nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が100nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が10/8であった。その結果を次の表4に示す。
表2に示すように、導電性微粒子として原子比でSb/(Sb+Sn)=0.1、粒子径0.03μmのATO粉末を1.0質量部、カップリング剤として上記式(3)に示されるチタン系カップリング剤を0.02質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてポリウレタン繊維を1.2質量部用意し、更に分散媒としてキシレンを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が80nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が80nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が10/12であった。その結果を次の表4に示す。
表2に示すように、導電性微粒子として原子比でSb/(Sb+In)=0.05、粒子径0.02μmのITO粉末を1.0質量部、カップリング剤として上記式(2)に示されるチタン系カップリング剤を0.01質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてポリアセタール樹脂を0.8質量部用意し、更に分散媒としてヘキサンを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用いた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が10/8であった。その結果を次の表4に示す。
表2に示すように、導電性微粒子として原子比でSb/(Sb+Sn)=0.05、粒子径0.03μmのATO粉末を1.0質量部、カップリング剤として上記式(2)に示されるチタン系カップリング剤を0.02質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてエチルセルロース樹脂を1.0質量部用意し、更に分散媒としてヘキサンを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が80nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が100nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が10/10であった。その結果を次の表4に示す。
表2に示すように、導電性微粒子として原子比でP/(P+Sn)=0.05、粒子径0.02μmのPTO(PドープSnO2)粉末を1.0質量部、カップリング剤として上記式(2)に示されるチタン系カップリング剤を0.01質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてAlのメトキシ加水分解体を1.0質量部用意し、更に分散媒としてメタノールを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が70nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が70nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が10/10であった。その結果を次の表4に示す。
表2に示すように、導電性微粒子として原子比でSb/(Sb+Sn)=0.1、粒子径0.02μmのATO粉末を1.0質量部、カップリング剤として上記式(4)に示されるチタン系カップリング剤を0.02質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてアルキッド樹脂とポリアミド樹脂を7:3の割合で混合したものを1.0質量部用意し、更に分散媒としてイソホロンを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が70nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が90nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が10/10であった。その結果を次の表4に示す。
表2に示すように、導電性微粒子として粒子径0.02μmのSi粉末を1.0質量部、カップリング剤としてγ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシランを0.01質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてシロキサンポリマを1.0質量部用意し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が80nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が80nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が10/10であった。その結果を次の表4に示す。
表2に示すように、導電性微粒子として粒子径0.03μmのGa粉末を1.0質量部、カップリング剤として上記式(2)に示されるチタン系カップリング剤を0.01質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてアルキッド樹脂を1.0質量部用意し、更に分散媒としてシクロヘキサノンを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が80nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が100nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が10/10であった。その結果を次の表4に示す。
表2に示すように、導電性微粒子として粒子径0.02μmのCo粉末を1.0質量部、カップリング剤として上記式(2)に示されるチタン系カップリング剤を0.01質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてエチルセルロース樹脂を1.0質量部用意し、更に分散媒としてヘキサンを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が80nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が80nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が10/10であった。その結果を次の表4に示す。
表2に示すように、導電性微粒子として粒子径0.02μmのCa粉末を1.0質量部、カップリング剤として上記式(3)に示されるチタン系カップリング剤を0.01質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてポリカーボネート樹脂を1.0質量部用意し、更に分散媒としてトルエンを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用いた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が10/10であった。その結果を次の表4に示す。
表2に示すように、導電性微粒子として粒子径0.03μmのSr粉末を1.0質量部、カップリング剤として上記式(3)に示されるチタン系カップリング剤を0.01質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてポリアセタール樹脂を1.0質量部用意し、更に分散媒としてヘキサンを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が80nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が100nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が10/10であった。その結果を次の表4に示す。
表2に示すように、導電性微粒子として粒子径0.02μmのBa(OH)2粉末を1.0質量部、カップリング剤として上記式(4)に示されるチタン系カップリング剤を0.01質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてポリウレタン樹脂を1.0質量部用意し、更に分散媒としてキシレンを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が80nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が80nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が10/10であった。その結果を次の表4に示す。
表2に示すように、導電性微粒子として粒子径0.03μmのCe粉末を1.0質量部、カップリング剤として上記式(4)に示されるチタン系カップリング剤を0.01質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてポリアミド樹脂を1.0質量部用意し、更に分散媒としてキシレンを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が80nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が100nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が10/10であった。その結果を次の表4に示す。
表2に示すように、導電性微粒子として粒子径0.03μmのY粉末を1.0質量部、カップリング剤として上記式(5)に示されるチタン系カップリング剤を0.01質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてシロキサンポリマを1.0質量部用意し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が80nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が100nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が10/10であった。その結果を次の表4に示す。
表2に示すように、導電性微粒子として粒子径0.02μmのZr粉末を1.0質量部、カップリング剤として上記式(5)に示されるチタン系カップリング剤を0.01質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてアルキッド樹脂を1.0質量部用意し、更に分散媒としてシクロヘキサノンを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が80nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が80nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が10/10であった。その結果を次の表4に示す。
表2に示すように、導電性微粒子として粒子径0.02μmのSn(OH)2粉末を1.0質量部、カップリング剤として上記式(6)に示されるチタン系カップリング剤を0.01質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてエチルセルロース樹脂を1.0質量部用意し、更に分散媒としてヘキサンを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用いた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が10/10であった。その結果を次の表4に示す。
表2に示すように、導電性微粒子として粒子径0.03μmのMgOとZnO2を5:5の割合で混合した粉末を1.0質量部、カップリング剤として上記式(6)に示されるチタン系カップリング剤を0.01質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてポリカーボネート樹脂を1.0質量部用意し、更に分散媒としてトルエンを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が80nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が80nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が10/10であった。その結果を次の表4に示す。
表3に示すように、導電性微粒子として粒子径0.03μmのC粉末を1.0質量部、カップリング剤として上記式(7)に示されるチタン系カップリング剤を0.01質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてポリアセタール樹脂を1.0質量部用意し、更に分散媒としてヘキサンを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が80nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が100nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が10/10であった。その結果を次の表4に示す。
表3に示すように、導電性微粒子として粒子径0.01μmのSiO2粉末を1.0質量部、カップリング剤として上記式(7)に示されるチタン系カップリング剤を0.01質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてポリウレタン樹脂を1.0質量部用意し、更に分散媒としてキシレンを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用いた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が10/10であった。その結果を次の表4に示す。
表3に示すように、導電性微粒子として粒子径0.03μmのCu粉末を1.0質量部、カップリング剤として上記式(8)に示されるチタン系カップリング剤を0.01質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてポリアミド樹脂を1.0質量部用意し、更に分散媒としてキシレンを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が80nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が80nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が10/10であった。その結果を次の表4に示す。
表3に示すように、導電性微粒子として粒子径0.03μmのNi粉末を1.0質量部、カップリング剤として上記式(8)に示されるチタン系カップリング剤を0.01質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてシロキサンポリマを1.0質量部用意し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が80nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が80nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が10/10であった。その結果を次の表4に示す。
表3に示すように、導電性微粒子として粒子径0.02μmのPt粉末を1.0質量部、カップリング剤として上記式(1)に示されるアルミ系カップリング剤を0.01質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてアルキッド樹脂を1.0質量部用意し、更に分散媒としてシクロヘキサノンを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が80nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が100nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が10/10であった。その結果を次の表4に示す。
表3に示すように、導電性微粒子として粒子径0.03μmのIr粉末を1.0質量部、カップリング剤として上記式(1)に示されるアルミ系カップリング剤を0.01質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてエチルセルロース樹脂を1.0質量部用意し、更に分散媒としてヘキサンを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が80nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が100nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が10/10であった。その結果を次の表4に示す。
表3に示すように、導電性微粒子として原子比でP/(P+Sn)=0.1、粒子径0.02μmのPTO(PドープSnO2)粉末を0.8質量部、カップリング剤として上記式(1)に示されるアルミ系カップリング剤と上記式(3)に示されるチタン系カップリング剤を5:5の割合で混合したものを0.01質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてポリカーボネート樹脂を1.0質量部用意し、更に分散媒としてトルエンを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスピンコーティング法により微粒子層の膜厚が80nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスピンコーティング法により焼成後の膜厚が80nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が8/10であった。その結果を次の表4に示す。
表3に示すように、導電性微粒子として原子比でSb/(Sb+In)=0.1、粒子径0.02μmのITO粉末を1.2質量部、カップリング剤として上記式(3)に示されるチタン系カップリング剤を0.02質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてシロキサンポリマを1.0質量部用意し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスプレーコーティング法により微粒子層の膜厚が100nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスプレーコーティング法により焼成後の膜厚が120nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が12/10であった。その結果を次の表4に示す。
表3に示すように、導電性微粒子として原子比でP/(P+Sn)=0.1、粒子径0.03μmのPTO(PドープSnO2)粉末を1.2質量部、カップリング剤として上記式(3)に示されるチタン系カップリング剤を0.02質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてシロキサンポリマを1.2質量部用意し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をディスペンサコーティング法により微粒子層の膜厚が100nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をディスペンサコーティング法により焼成後の膜厚が110nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が12/12であった。その結果を次の表4に示す。
表3に示すように、導電性微粒子として原子比でSb/(Sb+Sn)=0.1、粒子径0.02μmのATO粉末を1.2質量部、カップリング剤として上記式(3)に示されるチタン系カップリング剤を0.02質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてシロキサンポリマを0.8質量部用意し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をナイフコーティング法により微粒子層の膜厚が100nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をナイフコーティング法により焼成後の膜厚が100nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が12/8であった。その結果を次の表4に示す。
表3に示すように、導電性微粒子として原子比でSb/(Sb+In)=0.05、粒子径0.02μmのITO粉末を1.2質量部、カップリング剤として上記式(2)に示されるチタン系カップリング剤を0.02質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてシロキサンポリマを1.2質量部用意し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスリットコーティング法により微粒子層の膜厚が100nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスリットコーティング法により焼成後の膜厚が100nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が12/12であった。その結果を次の表4に示す。
表3に示すように、導電性微粒子として原子比でSb/(Sb+Sn)=0.05、粒子径0.03μmのATO粉末を1.0質量部、カップリング剤として上記式(2)に示されるチタン系カップリング剤を0.01質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてシロキサンポリマを1.0質量部用意し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をインクジェットコーティング法により微粒子層の膜厚が90nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をインクジェットコーティング法により焼成後の膜厚が90nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が10/10であった。その結果を次の表4に示す。
表3に示すように、導電性微粒子として原子比でP/(P+Sn)=0.05、粒子径0.02μmのPTO(PドープSnO2)粉末を5.0質量部、カップリング剤として上記式(2)に示されるチタン系カップリング剤を0.05質量部添加し、更に分散媒としてエチレングリコールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてアクリル樹脂を5.0質量部用意し、更に分散媒としてエチレングリコールを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をグラビア印刷法により微粒子層の膜厚が120nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をグラビア印刷法により焼成後の膜厚が120nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が50/50であった。その結果を次の表4に示す。
表3に示すように、導電性微粒子として原子比でSb/(Sb+Sn)=0.1、粒子径0.02μmのATO粉末を5.0質量部、カップリング剤として上記式(4)に示されるチタン系カップリング剤を0.05質量部添加し、更に分散媒としてエチレングリコールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてエチルセルロース樹脂を5.0質量部用意し、更に分散媒として酢酸ブチルカルビトールを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をスクリーン印刷法により微粒子層の膜厚が160nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をスクリーン印刷法により焼成後の膜厚が170nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が50/50であった。その結果を次の表4に示す。
表3に示すように、導電性微粒子として原子比でP/(P+Sn)=0.1、粒子径0.02μmのPTO(PドープSnO2)粉末を5.0質量部添加し、更に分散媒としてエチレングリコールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてアルキッド樹脂を5.0質量部用意し、更に分散媒としてエチレングリコールを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をオフセット印刷法により微粒子層の膜厚が140nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をオフセット印刷法により焼成後の膜厚が150nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が50/50であった。その結果を次の表4に示す。
表3に示すように、導電性微粒子として原子比でSb/(Sb+Sn)=0.1、粒子径0.02μmのATO粉末を1.0質量部、カップリング剤として上記式(3)に示されるチタン系カップリング剤を0.01質量部添加し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部とした導電性微粒子分散液を用い、バインダとしてシロキサンポリマを0.8質量部用意し、更に分散媒としてエタノールを加えることで全体を100質量部としたバインダ分散液を用い、導電性微粒子分散液をダイコーティング法により微粒子層の膜厚が70nmとなるように塗工して導電性微粒子の塗膜を形成し、導電性微粒子の塗膜上に、バインダ分散液をダイコーティング法により焼成後の膜厚が70nmとなるように含浸させた以外は実施例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。なお、このときの透明導電膜における微粒子とバインダの割合は、微粒子/バインダ比が10/8であった。その結果を次の表4に示す。
アモルファスシリコン層13の上に、実施例1の透明導電膜用組成物を塗工する代わりに、マグネトロンスパッタリング法を用い、基板温度150℃の条件で、1×1021cm-3程度のガリウムが添加されたZnOを厚さ80nmとなるように成膜した以外は、実施例1と同様に多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。その結果を次の表5に示す。
アモルファスシリコン層13の上に、実施例1の透明導電膜用組成物を塗工する代わりに、比較例1と同様に、マグネトロンスパッタリング法を用い、基板温度150℃の条件で、1×1021cm-3程度のガリウムが添加されたZnOを厚さ250nmとなるように成膜した後に、この成膜後の基板を液温が15℃に保たれた0.5質量%HCl水溶液に15秒浸漬してエッチングした以外は、実施例1と同様に多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。その結果を次の表5に示す。
比較例1のガリウムが添加されたZnOの代わりに、マグネトロンスパッタリング法を用い、基板温度150℃の条件で、1×1021cm-3程度のアルミニウムが添加されたZnOを厚さ50nmとなるように成膜した以外は、比較例1と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。その結果を次の表5に示す。
比較例2のガリウムが添加されたZnOの代わりに、マグネトロンスパッタリング法を用い、基板温度150℃の条件で、1×1021cm-3程度のアルミニウムが添加されたZnOを厚さ250nmとなるように成膜した以外は、比較例2と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。その結果を次の表5に示す。
1×1021cm-3程度のアルミニウムが添加されたZnOを厚さ30nmとなるように成膜した以外は、比較例3と同様にして多接合型薄膜シリコン太陽電池を作製し、実施例1と同様に評価した。その結果を次の表5に示す。
11 透明基板
12 表面側電極層
13 アモルファスシリコン層
14 透明導電膜
15 微結晶シリコン層
16 裏面側電極層
Claims (3)
- トップセルの光電変換層とボトムセルの光電変換層のタンデム構造の太陽電池の両光電変換層の界面に設けられた透明導電膜が短波長域の光を選択的に反射させ、反射した短波長域の光をトップセルに再度入射し、前記透明導電膜を透過した長波長域の光をボトムセルに入射する多接合型太陽電池において、
前記透明導電膜が、導電性微粒子及びカップリング剤を含む分散液を湿式塗工法を用いて塗布し形成された微粒子の塗膜上に、バインダを含む分散液を湿式塗工法を用いて含浸し焼成することにより、微粒子層がバインダ層で含浸された状態で形成され、
前記透明導電膜を構成する母材中には導電性成分が5〜95質量%の範囲内とし、前記透明導電膜の厚さを20〜140nmの範囲内とし、
前記導電性微粒子、前記カップリング剤及び前記バインダの組合せを
ITO、Ti系下記化学式(3)のカップリング剤、シロキサンポリマ、又は
PTO、Ti系下記化学式(2)のカップリング剤、シロキサンポリマ、又は
ATO、Al系下記化学式(1)のカップリング剤、シロキサンポリマ、又は
ZnO、ビニルトリエトキシシラン、アクリル樹脂、又は
AZO、Ti系下記化学式(4)のカップリング剤、セルロース樹脂、又は
ITO、γ-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、エポキシ樹脂、又は
ATO、Ti系下記化学式(5)のカップリング剤、ポリエステル樹脂、又は
PTO、γ-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、アクリルウレタン樹脂、又は MgO、Ti系下記化学式(4)のカップリング剤、ポリスチレン樹脂、又は
TiO2、Ti系下記化学式(6)のカップリング剤、ポリ酢酸ビニル樹脂、又は
Ag、Ti系下記化学式(7)のカップリング剤、ポリビニルアルコール樹脂、又は
Ag−Pd、Ti系下記化学式(7)のカップリング剤、シロキサンポリマ、又は
Au、Ti系下記化学式(8)のカップリング剤、ポリアミド樹脂、又は
Ru、Ti系下記化学式(8)のカップリング剤、塩化ビニル樹脂、又は
Rh、Ti系下記化学式(8)のカップリング剤、アクリレート樹脂、又は
ITO、Ti系下記化学式(3)のカップリング剤、ポリカーボネート樹脂、又は
PTO、Ti系下記化学式(3)のカップリング剤、アルキッド樹脂、又は
ATO、Ti系下記化学式(3)のカップリング剤、ポリウレタン樹脂、又は
ITO、Ti系下記化学式(2)のカップリング剤、ポリアセタール樹脂、又は
ATO、Ti系下記化学式(2)のカップリング剤、エチルセルロース樹脂、又は
PTO、Ti系下記化学式(2)のカップリング剤、Alのメトキシ加水分解体、又は
ATO、Ti系下記化学式(4)のカップリング剤、アルキッド樹脂及びポリアミド樹脂、又は
Si、γ-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、シロキサンポリマ、又は
Ga、Ti系下記化学式(2)のカップリング剤、アルキッド樹脂、又は
Co、Ti系下記化学式(2)のカップリング剤、エチルセルロース樹脂、又は
Ca、Ti系下記化学式(3)のカップリング剤、ポリカーボネート樹脂、又は
Sr、Ti系下記化学式(3)のカップリング剤、ポリアセタール樹脂、又は
Ba(OH)2、Ti系下記化学式(4)のカップリング剤、ポリウレタン樹脂、又は
Ce、Ti系下記化学式(4)のカップリング剤、ポリアミド樹脂、又は
Y、Ti系下記化学式(5)のカップリング剤、シロキサンポリマ、又は
Zr、Ti系下記化学式(5)のカップリング剤、アルキッド樹脂、又は
Sn(OH)2、Ti系下記化学式(6)のカップリング剤、エチルセルロース樹脂、又は
MgO及びZnO2、Ti系下記化学式(6)のカップリング剤、ポリカーボネート樹脂、又は
C、Ti系下記化学式(7)のカップリング剤、ポリアセタール樹脂、又は
SiO2、Ti系下記化学式(7)のカップリング剤、ポリウレタン樹脂、又は
Cu、Ti系下記化学式(8)のカップリング剤、ポリアミド樹脂、又は
Ni、Ti系下記化学式(8)のカップリング剤、シロキサンポリマ、又は
Pt、Al系下記化学式(1)のカップリング剤、アルキッド樹脂、又は
Ir、Al系下記化学式(1)のカップリング剤、エチルセルロース樹脂、又は
PTO、Al系下記化学式(1)及びTi系下記化学式(3)のカップリング剤、ポリカーボネート樹脂、又は
PTO、Ti系下記化学式(3)のカップリング剤、シロキサンポリマ、又は
ATO、Ti系下記化学式(3)のカップリング剤、シロキサンポリマ、又は
ITO、Ti系下記化学式(2)のカップリング剤、シロキサンポリマ、又は
ATO、Ti系下記化学式(2)のカップリング剤、シロキサンポリマ、又は
PTO、Ti系下記化学式(2)のカップリング剤、アクリル樹脂、又は
ATO、Ti系下記化学式(4)のカップリング剤、エチルセルロース樹脂、又は
ATO、Ti系下記化学式(3)のカップリング剤、シロキサンポリマとし、
前記分散液100質量部中、前記導電性微粒子を0.5〜5.0質量部及び前記カップリング剤を0.01〜0.05質量部にすることにより、前記透明導電膜の屈折率を1.5〜1.7に調整することを特徴とする多接合型太陽電池。
- 湿式塗工法が、スプレーコーティング法、ディスペンサコーティング法、スピンコーティング法、ナイフコーティング法、スリットコーティング法、インクジェットコーティング法、グラビア印刷法、スクリーン印刷法、オフセット印刷法又はダイコーティング法のいずれかの方法である請求項1記載の多接合型太陽電池。
- 請求項1記載の透明導電膜を有する多接合型太陽電池の製造方法。
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