CN104692806B - 滑动部件 - Google Patents

Abstract

一种滑动部件，包括含有氮化硅粒子以及2质量％以上而15质量％以下的烧结助剂成分的氮化硅烧结体，滑动部件是轴承滚珠，在氮化硅烧结体中，作为烧结助剂成分，含有1质量％以上而6质量％以下的稀土类元素以及0.5质量％以上而6质量％以下的Al，还含有0.01质量％以上而5质量％以下的选自Ti、Zr、Hf、W、Mo、Ta、Nb和Cr的至少1种金属元素，该金属元素为单体或化合物形式，氮化硅粒子在氮化硅烧结体的结晶组织内具有面积比为50％以上而80％以下的针状晶粒，该针状晶粒的长径为10μm以下且长径与短径之比为5以上，氮化硅烧结体中的空隙的最大直径为3μm以下，空隙的数量在30×30μm的范围内为5个以下。

Description

滑动部件

本发明专利申请是国际申请号为PCT/JP2008/000525，国际申请日为2008年3月11日，进入中国国家阶段的申请号为200880008152.9，名称为“氮化硅烧结体及使用其的滑动部件”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种氮化硅烧结体及使用其的滑动部件。

背景技术

滑动部件在例如轴承部件、用于轧制的各种卷材、压缩机用叶片、燃气轮机叶片、凸轮滚柱这样的发动机零件等各种领域中使用。这样的滑动部件使用的是轻量而又高强度的陶瓷材料。特别地，由于氮化硅烧结体在机械强度和耐磨损性方面优良，因此被应用于轴承滚珠等轴承部件。

针对使用氮化硅烧结体的轴承滚珠等轴承部件，曾提出了例如通过烧结体组成(烧结助剂的种类和添加量)的控制、烧结体中的各助剂成分的形态控制、制造工序的控制等来提高以机械强度和滚动寿命为代表的耐磨损性等的方案(参照专利文献1、2)。在专利文献1中记载了通过含有平均粒径为0.1μm以下的TiN粒子来提高耐磨损性的氮化硅烧结体。在专利文献2中记载了包含TiN和TiCN中的至少一方作为Ti化合物的氮化硅烧结体。

在具有HDD和DVD等盘片介质的电子设备中，利用主轴电动机这样的旋转驱动装置使转轴高速旋转，使安装在该转轴上的各种盘片起作用。有人尝试在高速旋转的转轴的轴承中应用轻量且耐磨损性等优良的氮化硅烧结体制的轴承滚珠。然而，在以往的氮化硅烧结体制轴承滚珠用于例如像5000rpm以上那样高速旋转的转轴的轴承时，存在滚动寿命的偏差大的难点。因此，并非已经充分满足可靠性和耐久性。

专利文献1：日本专利特开2004－002067号公报

专利文献2：日本专利特开2006－036554号公报

发明内容

本发明的目的在于提供一种滑动部件，其使用氮化硅烧结体，该氮化硅烧结体通过降低以滚动寿命为代表的滑动特性的偏差，能以较好的再现性提高耐久性和可靠性。

本发明所涉及的滑动部件包括氮化硅烧结体，该氮化硅烧结体含有氮化硅粒子以及2质量％以上而15质量％以下的烧结助剂成分，所述滑动部件是轴承滚珠，在所述氮化硅烧结体中，作为所述烧结助剂成分，含有1质量％以上而6质量％以下的稀土类元素以及0.5质量％以上而6质量％以下的Al，还含有0.01质量％以上而5质量％以下的选自Ti、Zr、Hf、W、Mo、Ta、Nb和Cr的至少1种金属元素，该金属元素为单体或化合物形式，所述氮化硅粒子在所述氮化硅烧结体的结晶组织内具有面积比为50％以上而80％以下的针状晶粒，该针状晶粒的长径(L)为10μm以下且长径(L)与短径(S)之比(L/S)为5以上，所述氮化硅烧结体中存在的空隙的最大直径为3μm以下，且所述空隙的数量在30×30μm的范围内为5个以下。

附图说明

图1是用局部截面来表示本发明的实施方式所涉及的轴承的结构的图。

(符号说明)

1 轴承

2 轴承滚珠

3 内圈

4 外圈

具体实施方式

下面，对实施本发明的实施方式进行说明。本发明的实施方式所涉及的氮化硅烧结体将氮化硅作为主要成分，并含有2～15质量％的烧结助剂成分。较为理想的是，烧结助剂成分包含至少稀土类元素和铝。稀土类元素和铝形成由例如Si―R―Al―O―N化合物(R：稀土类元素)形成的晶界相，从而促进烧结体的致密化等。这样，氮化硅烧结体主要由氮化硅粒子和晶界相构成。

作为烧结助剂成分的稀土类元素没有特别的限定，但较为理想的是使用钇(Y)、镧(La)、铈(Ce)、钐(Sm)、钕(Nd)、镝(Dy)、铒(Er)等镧系稀土类元素。较为理想的是，稀土类元素的含量为1～6质量％。若稀土类元素的含量不到1质量％，则可能无法使氮化硅烧结体充分地致密化。若稀土类元素的含量超过6质量％，则氮化硅烧结体中的晶界相的量过剩，因此，强度等机械特性会下降。稀土类元素以例如氧化物、氮化物、硼化物、碳化物、硅化物等形式添加。

作为烧结助剂成分的铝起到增进稀土类元素的作为烧结促进剂的功能的作用，以例如氧化铝和氮化铝等形式添加。较为理想的是，铝的含量为0.5～6质量％。若铝的含量不到0.5质量％，则氮化硅烧结体可能不够致密化。若铝的含量超过6质量％，则不仅晶界相增加，铝也会固溶到氮化硅晶粒中，从而热传导率等可能会下降。

氮化硅烧结体也可包含稀土类元素和铝以外的烧结助剂成分。较为理想的是，包含这些成分在内的烧结助剂成分的总含量为2～15质量％。若烧结助剂成分的总含量不到2质量％，则可能无法充分地使氮化硅烧结体致密化。若烧结助剂成分的总含量超过15质量％，则氮化硅烧结体原有的机械强度和耐磨损性等特性可能会下降。各元素的含量在将氮化硅烧结体溶解后用ICP通过化学分析进行测定。

氮化硅烧结体还可以以金属元素的单体或金属元素的化合物的形式包含选自钛(Ti)、锆(Zr)、铪(Hf)、钨(W)、钼(Mo)、钽(Ta)、铌(Nb)和铬(Cr)的至少1种金属元素M。更为理想的是，金属元素M是选自Ti、Hf、W和Mo的至少1种。金属元素M以氧化物、碳化物、氮化物、硅化物、硼化物等化合物(M化合物)的形式添加至氮化硅烧结体。

金属元素M的化合物(M化合物)作为烧结助剂和机械特性的提高剂起作用。例如，通过使M化合物分散到氮化硅烧结体中，能获得弥散强化效果。由此，能提高氮化硅烧结体的机械强度和滚动寿命。较为理想的是，金属元素M的含量为0.01～5质量％。若金属元素M的含量超过5质量％，则机械强度和滚动寿命等反而可能下降。金属元素M的含量的下限值并非必须规定，但为了获得有效的添加效果，较为理想的是设为0.01质量％以上。

至于氮化硅烧结体的晶体结构，较为理想的是氮化硅粒子(晶粒)的β化率为95％以上。氮化硅粒子在氮化硅烧结体的结晶组织内具有面积比为50％以上的、长径L为10μm以下且长径L与短径S之比(L/S)为5以上的针状晶粒。这样，通过使氮化硅粒子的针状形状统一，能提高氮化硅烧结体的致密性。即，能降低氮化硅烧结体中存在的空隙(void)的尺寸和数量。而且，通过用L/S比(纵横比)较大的针状氮化硅粒子来构成氮化硅烧结体，针状粒子缠绕在一起，从而能实现氮化硅烧结体的高强度化。

氮化硅粒子的长径L和纵横比(L/S比)像下面这样进行测定。首先，将氮化硅烧结体的任意四个部位的表面或截面蚀刻并使助剂成分溶出后拍摄放大相片，测定各放大相片中存在的各氮化硅粒子的长径L和短径S。根据它们的测定结果，求出长径L为10μm以下、纵横比(L/S比)为5以上的针状晶粒的面积，并计算出针状晶粒的面积在测定面积中所占的面积率(％)。将各测定面的面积率的平均值作为针状晶粒的面积比(％)。较为理想的是放大相片为1000倍以上。在本实施方式的氮化硅烧结体中，无论在烧结体的哪个部位进行测定，针状晶粒的面积比均表示同样的值。

长径L为10μm以下、纵横比(L/S比)为5以上的针状氮化硅粒子有助于致密性和强度的提高。若针状晶粒的长径L超过10μm，则缠绕构造变得复杂，容易产生空隙，并且，以滚动寿命为代表的耐磨损性可能会下降。若针状晶粒的纵横比(L/S比)不到5，则可能无法充分提高强度和致密性。因此，通过将氮化硅粒子的形状统一成使长径L为10μm以下、纵横比(L/S比)为5以上的针状晶粒的面积率达到50％以上，提高致密性和强度，能降低以滚动寿命为代表的滑动特性的偏差。

若长径L为10μm以下、L/S比为5以上的针状晶粒的面积率不到50％，则氮化硅粒子的形状的不统一会使空隙的大小和量增加。由此，氮化硅烧结体的滑动特性容易产生偏差。这样的氮化硅烧结体无法以较好的再现性来提高耐久性和可靠性。但是，若长径L为10μm以下、L/S比为5以上的针状晶粒的面积率超过80％，则针状晶粒的取向性增强，可能会产生与压力的施加方向相应的强度偏差。由于轴承滚珠等滑动部件需要具有各向同性的特性，因此不希望存在与压力的施加方向相应的强度偏差。较为理想的是，长径L为10μm以下、L/S比为5以上的针状晶粒的面积率为50～70％。

通过氮化硅粒子的形状控制，能使氮化硅烧结体中存在的空隙的最大直径成为3μm以下。而且，能使空隙的数量在30×30μm的范围内成为5个以下。这样，采用空隙的最大直径为3μm以下且空隙的数量在30×30μm的范围内为5个以下的氮化硅烧结体，不仅能提高以滚动寿命为代表的滑动特性的值本身，还能降低滑动特性的偏差。因此，能提高使用氮化硅烧结体作为滑动部件时的耐久性和可靠性。

更为理想的是，空隙的最大直径为2μm以下。更为理想的是，在30×30μm的范围内的空隙的数量为三个以下。空隙的大小和数量可在对氮化硅烧结体的任意表面或截面实施研磨加工、磨光加工、抛光加工时，通过测定加工面上残留的坑(相当于空隙)的大小和个数来求出。空隙的测定对任意四个部位的表面或截面实施，并用它们的平均值来表示。

本实施方式的氮化硅烧结体满足例如维式硬度Hv为1300～1600的硬度、断裂韧性值为6.0MPa·m^1/2以上的韧性、三点弯曲强度为700MPa以上的抗弯强度、以及150N/mm²以上的压碎强度。若采用具有这种特性的氮化硅烧结体，则能提高滑动部件的耐久性和可靠性。维氏硬度表示根据由JIS－R－1610规定的测定法，在198.1N的试验负荷下进行试验而得到的结果。断裂韧性值是根据由JIS－R－1607规定的IF法进行测定、并利用niihara公式进行计算而得出的。压碎强度表示按照旧JIS标准B1501，用内向式试验机(日文：インストロン試験機)施加压缩负载并测定破坏时的负荷而得到的结果。

上述实施方式的氮化硅烧结体例如像下面这样进行制作。首先，准备氮化硅粉末。较为理想的是，氮化硅粉末的杂质阳离子元素的含量为0.3质量％以下，氧含量为1.5质量％以下，且包含90质量％以上的α相型氮化硅。较为理想的是，氮化硅粉末的平均粒径为0.4～0.6μm。对这样的氮化硅粉末添加规定量的稀土类化合物粉末、铝化合物粉末，并根据需要添加规定量的M化合物粉末(或金属粉末)。较为理想的是，烧结助剂等添加剂粉末的平均粒径为0.6～1.2μm。

接着，一边粉碎各粉末一边混合。在进行粉末的粉碎、混合时，较为理想的是应用使用了直径为0.1～2mm的珠的珠磨机。较为理想的是，珠磨机所使用的珠是氮化硅制的珠或氧化锆制的珠。而球磨机使用的则是直径为5mm以上(例如15～20mm)的球(例如氧化铝制的球)。珠磨机根据粉碎、混合中使用的介质(珠和球)的直径而与球磨机有所区别。

通过使用这样的珠磨机一边充分地粉碎氮化硅粉末和添加剂粉末一边混合，可得到例如将粒径调整为0.1～1.3μm的原料混合粉末。较为理想的是，珠磨机的混合时间是每10kg粉末为1小时以上。但是，若珠磨机的混合时间过长，则粒子会变得过细，原料混合粉末的操作性等会下降，因此，较为理想的是，珠磨机的混合时间是每10kg粉末为5小时以下。

通过使用珠磨机使原料混合粉末的粒径细微化，能一边提高烧结助剂的功能一边实现均匀化。因此，能均匀地促进氮化硅粒子的粒生长，从而能以较好的再现性得到具有长径L为10μm以下、纵横比(L/S比)为5以上的针状晶粒的面积率占50％以上的微观构造的氮化硅烧结体。另外，根据需要，还可通过筛分来得到粒径全部处在规定范围内的原料混合粉末。

在对上述原料混合粉末添加有机粘合剂或分散介质并进行混合后，应用单轴冲床、橡胶压制、CIP(冷等静压)等公知的成形法成形为期望的形状。接着，对成形体实施脱脂处理，之后在氮气气氛和Ar气氛等惰性气氛中以1600～2000℃的温度进行烧结，制成氮化硅烧结体。较为理想的是烧结时间为3～10小时。在烧结工序中，可应用常压烧结、气氛加压烧结、加压烧结(热压)、HIP(热等静压)等各种烧结方法。

而且，也可在常压烧结或气氛加压烧结后进行HIP处理等，将多个方法加以组合。特别是将氮化硅烧结体应用于轴承滚珠这样的轴承部件时，在常压烧结或气氛加压烧结后进行HIP处理很有效。较为理想的是，HIP处理通过在100～200MPa的压力下以1600～1900℃的温度保持规定时间来进行。实施常压烧结或气氛加压烧结时，较为理想的是首先在真空环境(例如0.1Pa以下的真空环境)下对成形体进行热处理、脱气处理，之后以800～1400℃的温度导入氮气等。

本实施方式的氮化硅烧结体适用于轴承部件、用于轧制等的各种卷材、压缩机用叶片、燃气轮机叶片、凸轮滚柱这样的发动机零件等滑动部件。这些部件中，本实施方式的氮化硅烧结体特别适合轴承滚珠这样的轴承部件(滚动体)。除了这些部件以外，上述实施方式的氮化硅烧结体还可作为加热器盖和切削工具等使用。作为本发明的实施方式所涉及的滑动部件，可以例举由上述实施方式的氮化硅烧结体形成的轴承滚珠、滚筒、压缩机用叶片、燃气轮机叶片、凸轮滚柱等。

图1表示的是应用本发明的实施方式所涉及的轴承滚珠的轴承。图1所示的轴承1具有：由上述实施方式的氮化硅烧结体形成的多个轴承滚珠2、支撑这些轴承滚珠2的内圈3和外圈4。内圈3和外圈4相对于旋转中心配置成同心状。基本结构与通常的轴承一样。较为理想的是，内圈3和外圈4使用由JIS－G－4805规定的SUJ2等轴承钢形成，由此能实现可靠性良好的高速旋转。

在使用推力型轴承试验机以最大接触压力5.9MPa、转速1200rpm、对方材为SUJ2钢制平板的条件测定滚动寿命时，本实施方式的轴承滚珠2具有600小时以上的滚动寿命。因此，即便在使安装有轴承1的转轴高速旋转时，也能良好地维持耐久性和可靠性。这样的轴承1适用于使转轴高速旋转的各种设备、例如HDD这样的磁记录装置和DVD这样的光盘装置等电子设备。

接着，对本发明的具体的实施例及其评价结果进行说明。

(实施例1)

准备氧含量为1.3质量％、平均粒径为0.55μm的氮化硅粉末。在该氮化硅粉末中，作为烧结助剂，以6质量％的比例添加平均粒径为0.7μm的氧化钇粉末并以6质量％的比例添加平均粒径为0.5μm的氧化铝粉末。将它们用使用粒径为0.5mm的珠的珠磨机粉碎、混合。珠磨机的混合时间是每10kg粉末为1小时。测定这样调制出的原料混合粉末的粒径后发现，原料混合粉末的粒径范围为0.2～1.0μm。粒径是使将粉末分散在液体中的浆料经过一定直径的激光线，根据每个粒子遮断激光线时的大小进行测定的。

接着，在上述原料混合粉末中添加、混合规定量的有机粘合剂，之后通过CIP法制成成形体。将所得的成形体在气流中脱脂后，在氮气气氛中以1750℃×4h的条件进行常压烧结。然后，在100MPa的压力下以1700℃×1h的条件对常压烧结体实施HIP处理。就这样，得到所需的氮化硅烧结体。

对所得的氮化硅烧结体的维式硬度、断裂韧性值、抗弯强度进行测定。其结果是，维式硬度为1500(Hv)，断裂韧性值为7.0MPa·m^1/2。针对抗弯强度，制作100根3×4×40mm的样品，并对这些样品实施三点弯曲试验。其结果是，抗弯强度的最小值为800MPa，抗弯强度的平均值为1000MPa。通过以上述方法测定氮化硅烧结体的微观构造发现，长径L为10μm以下、纵横比为5以上的针状晶粒的面积比为50％。

然后，像下面这样测定氮化硅烧结体中的空隙的尺寸和个数。任意选择氮化硅烧结体的两个部位的表面和两个部位的截面，对各面实施研磨加工、磨光加工、抛光加工。用SEM以3000倍的视野观察各加工面，测定加工面上残留的坑的大小(最大值)和个数。作为它们的平均值，求出空隙的最大直径和个数。其结果是，空隙的最大直径为1μm，在30×30μm的范围内的空隙的个数为一个。

接着，测定在用SUJ2钢制的两片平板压碎以相同条件制作的直径为2mm的一个氮化硅球(轴承滚珠)时的压碎强度和滚动寿命。轴承滚珠的表面以等级3进行表面抛光。压碎强度为900N/mm²。

滚动寿命试验是通过使用推力型轴承试验机使100个轴承滚珠依次在SUJ2钢制的平板上旋转来实施的。针对滚动寿命，以最大接触应力5.9GPa、转速1200rpm进行试验，并测定到轴承滚珠的表面产生剥离为止的时间。其结果是，轴承滚珠的最短寿命时间为600小时。另外，绘制出100个轴承滚珠的寿命时间的威布尔图(Weibull Plot)，求出威布尔模数(Weibull Modulus)。寿命时间的威布尔模数为5.0，是良好的值。

(实施例2～10)

对与实施例1相同的氮化硅粉末添加烧结助剂粉末等以成为表1所示的烧结体组成，之后，与实施例1同样地粉碎、混合，调制出各原料混合粉末。原料混合粉末的粒径范围分别如表1所示。

在各原料混合粉末中添加、混合规定量的有机粘合剂，之后通过CIP法成形。将所得的各成形体在气流中脱脂，之后以与实施例1相同的温度进行常压烧结。然后，对各烧结体实施与实施例1同样的HIP处理，从而分别得到所需的氮化硅烧结体。与实施例1同样地测定各氮化硅烧结体的特性。它们的结果示于表2和表3。

(比较例1～3)

除了变更各原料粉末的混合条件和HIP压力以外，与实施例1同样地制成氮化硅烧结体。在各原料粉末的混合中使用球磨机。与实施例1同样地测定各氮化硅烧结体的特性。它们的结果示于表2和表3。

[表1]

[表2]

[表3]

从表2和表3可知，各实施例所涉及的氮化硅烧结体的致密性均较高，空隙的尺寸和量均被降低。而且，抗弯强度及其再现性优良。结果可知，使用各实施例所涉及的氮化硅烧结体的轴承滚珠具有优良的滚动寿命，其偏差也小。因此，能提供可靠性和耐久性优良的轴承滚珠。通过使用这些各轴承滚珠分别组装轴承、并将其装入电子设备用的主轴电动机进行实际试验，实证了转轴具有优良的高速旋转的耐久性。

(实施例11～20、比较例4～8)

对与实施例1相同的氮化硅粉末添加烧结助剂粉末等以成为表4所示的烧结体组成，之后进行粉碎、混合，调制出各原料混合粉末。在实施例11～20中，与实施例1一样，使用珠磨机来调制原料混合粉末。在比较例4～8中，使用球磨机来调制原料混合粉末。珠磨机和球磨机的混合时间如表5所示。测定这样调制出的各原料混合粉末的粒径。其结果示于表4。实施例和比较例的原料混合粉末的平均粒径(D50)均为0.6μm左右，但比较例包含20％(质量比)左右的粒径超过1.0μm但在1.5μm以下的粒子。

在各原料混合粉末中添加、混合规定量的有机粘合剂，之后应用CIP法分别制成成形体。将所得的各成形体在气流中脱脂，之后分别以表5所示的条件进行常压烧结。然后，以表5所示的压力对各烧结体实施HIP处理。HIP处理的温度和时间与实施例1同样。就这样，分别制成所需的氮化硅烧结体。与实施例1同样地测定各氮化硅烧结体的特性。它们的结果示于表6和表7。

[表4]

[表5]

[表6]

[表7]

从表6和表7可知，各实施例所涉及的氮化硅烧结体的致密性均较高，空隙的尺寸和量均被降低。而且，抗弯强度及其再现性优良。其结果可知，使用各实施例所涉及的氮化硅烧结体的轴承滚珠具有优良的滚动寿命，其偏差也小。因此，能提供可靠性和耐久性优良的轴承滚珠。通过使用这些各轴承滚珠分别组装轴承、并将其装入电子设备用的主轴电动机进行实际试验，实证了转轴具有优良的高速旋转的耐久性。

(实施例21～28、比较例9～14)

在氮化硅粉末中添加烧结助剂粉末等以成为与实施例1相同的组成，之后与实施例1同样地使用珠磨机进行粉碎、混合，调制出各原料混合粉末。但是，珠磨机的混合时间分别应用表8所示的时间。实施例和比较例所涉及的各原料混合粉末的粒径范围如表8所示。

在各原料混合粉末中添加、混合规定量的有机粘合剂，之后应用CIP法分别制成成形体。将所得的各成形体在气流中脱脂，之后分别以表8所示的条件进行常压烧结(一次烧结)。然后，在表8所示的条件下对各烧结体实施HIP处理(二次烧结)。HIP压力为100MPa。就这样，分别制成所需的氮化硅烧结体。与实施例1同样地测定各氮化硅烧结体的特性。它们的结果示于表9。

[表8]

[表9]

从表9可知，将珠磨机的混合时间设成每10kg粉末为1～5小时的原料混合粉末的粒径范围在细微侧稳定，其结果是，氮化硅烧结体的微观构造的控制性优良。与此相对，珠磨机的混合时间不充分的比较例9～11的原料混合粉末中混杂着较大的粒子，因此，长径L为10μm以下、纵横比为5以上的针状晶粒的比率下降。一次烧结时间过长的比较例12中，粒生长过度，因此，长径L超过10μm的针状晶粒的比率增加。一次烧结温度过高的比较例13中，粒也生长过度，长径L超过10μm的针状晶粒的比率增加。一次烧结时间过短的比较例14中，烧结不充分，其结果是，粒生长不足，空隙增加。

工业上的可利用性

本发明的实施方式所涉及的氮化硅烧结体中，通过控制氮化硅粒子的形状，提高了滑动特性的再现性。因此，能以较好的再现性提供耐久性和可靠性优良的氮化硅烧结体、以及由氮化硅烧结体形成的滑动部件。

Claims (3)

1.一种滑动部件，包括氮化硅烧结体，该氮化硅烧结体含有2质量％以上而15质量％以下的烧结助剂成分，所述滑动部件是轴承滚珠，其特征在于，

在所述氮化硅烧结体中，作为所述烧结助剂成分，含有1质量％以上而6质量％以下的稀土类元素以及0.5质量％以上而6质量％以下的Al，还含有0.01质量％以上而5质量％以下的选自Ti、Zr、Hf、W、Mo、Ta、Nb和Cr的至少1种金属元素，该金属元素为单体或化合物形式，

所述氮化硅烧结体具有氮化硅粒子以及由Si―R―Al―O―N化合物形成的晶界相，其中，R是稀土类元素，

所述氮化硅粒子在所述氮化硅烧结体的结晶组织内具有面积比为50％以上而80％以下的针状晶粒，该针状晶粒的长径(L)为10μm以下且长径(L)与短径(S)之比(L/S)为5以上，

所述氮化硅烧结体中存在的空隙的最大直径为2μm以下，且以3000倍的视野测定的所述空隙的数量在30×30μm的范围内为3个以下，

所述氮化硅烧结体的压碎强度为900N/mm²以上。

2.如权利要求1所述的滑动部件，其特征在于，在最大接触压力为5.9MPa、转速为1200rpm的条件下用推力型轴承试验机测定滚动寿命时，所述轴承滚珠具有600小时以上的滚动寿命。

3.如权利要求1所述的滑动部件，其特征在于，所述结晶组织内的所述针状晶粒的面积比为50％以上而70％以下。