CN104549896B - 处理系统 - Google Patents

Abstract

一种处理系统，能够使涂敷作业的作业效率提高，对应于多尺寸的面板。本发明的处理系统具备：具备向面板的表面涂敷液体的开口部的涂敷装置；将前述面板与前述涂敷装置的前述开口部面临地运送的运送装置；和在前述面板的运送方向的从与前述涂敷装置相比为上游侧的面板运入区域遍及到与前述涂敷装置相比为下游侧的面板运出区域地延伸设置，以非接触方式支承前述面板的多个上浮单元，前述涂敷装置相对于前述运送方向固定地设置，前述多个上浮单元在与前述运送方向正交的方向离开地设置，前述运送装置具备：被设置在前述多个上浮单元之间，吸附前述面板的下面的多个吸附单元；和与前述多个吸附单元连接地设置，使各吸附单元独立地在前述运送方向往复移动的驱动单元。

Description

处理系统

技术领域

本发明涉及向面板涂敷液膜体的处理系统。

背景技术

作为电视机、个人计算机、便携终端等的显示器，已知将液晶显示面板等图像显示面板和罩面板粘接地粘合了的显示器(例如，专利文献1)。作为将这些面板粘合的粘接剂，已知使用光硬化树脂(OCR)。在将光硬化树脂涂敷在罩面板表面上后，将罩面板和图像显示面板粘合。此后，透过罩面板向光硬化树脂照射紫外线，光硬化树脂硬化。

在采用此粘接方式的情况下，需要向罩面板涂敷光硬化树脂的装置。作为此种装置，例如，已知由在配置在工作台上的面板上移动的涂敷装置涂敷液体的装置。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-25833号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，在面板上移动的涂敷装置在涂敷动作中，工作台被一个面板占有，连续地处理多个面板是困难的。因此，作业效率低下。特别是，因为光硬化树脂粘度高，涂敷花费时间，所以作业效率低下。

本发明的目的是使涂敷作业的作业效率提高，可对应多尺寸的面板。

为了解决课题的手段

根据本发明，提供一种处理系统，其特征在于，具备：具备向面板的表面涂敷液体的开口部的涂敷装置；将前述面板与前述涂敷装置的前述开口部面临地运送的运送装置；和在前述面板的运送方向的从与前述涂敷装置相比为上游侧的面板运入区域遍及到与前述涂敷装置相比为下游侧的面板运出区域地延伸设置，以非接触方式支承前述面板的多个上浮单元，前述涂敷装置相对于前述运送方向固定地设置，前述多个上浮单元在与前述运送方向正交的方向离开地设置，前述运送装置具备：被设置在前述多个上浮单元之间，吸附前述面板的下面的多个吸附单元；和与前述多个吸附单元连接地设置，使各吸附单元独立地在前述运送方向往复移动的驱动单元。

另外，根据本发明，提供一种处理系统，所述处理系统具备：

可进行被供给的面板的交接，面板被运入的面板运入区域；向面板表面涂敷液体形成液膜的涂敷区域；和运出形成了液膜的面板，可进行面板的交接的面板运出区域，其特征在于，具备：被设置在前述涂敷区域的上方，具备向前述面板的表面涂敷液体的开口部的涂敷装置；从前述面板运入区域遍及到前述面板运出区域地在面板运送方向延伸设置，以非接触方式支承前述面板的多个上浮单元；和在前述多个上浮单元之间，从前述面板运入区域遍及到前述面板运出区域地延伸设置，可吸附前述面板，在从前述面板运入区域经前述涂敷区域到达前述面板运出区域的面板运送方向往复移动的运送装置。

发明效果

根据本发明，能够提高涂敷作业的作业效率。另外，能够对应于多尺寸的面板。

附图说明

图1是有关本发明的一实施方式的处理系统的俯视图。

图2是图1的处理系统的箭头II方向向视图。

图3是沿着图2的III-III线的剖视图。

图4是控制装置的框图。

图5是图1的处理系统的动作说明图。

图6是图1的处理系统的动作说明图。

图7是图1的处理系统的动作说明图。

图8是图1的处理系统的动作说明图。

图9是图1的处理系统的动作说明图。

图10是图1的处理系统的动作说明图。

图11是图1的处理系统的动作说明图。

图12的(A)及(B)是其它例的说明图。

图13是其它例的说明图。

具体实施方式

为了实施发明的方式

下面，参照附图，对本发明的实施方式进行说明。在各图中，箭头X及Y表示相互正交的水平方向，箭头Z表示上下方向。

<第一实施方式>

<系统的概要>

图1是有关本发明的一实施方式的处理系统A的俯视图，图2是处理系统A的箭头II方向向视图，图3是沿着图2的III-III线的剖视图。

处理系统A是一面将面板(基板)在Y方向进行空气上浮运送一面在面板表面上形成涂膜的系统。在系统的布局上，处理系统A具备面板运入区域R1、处理区域R2，即涂敷区域R21和面板运出区域R3。另外，处理系统A也可以与需要相应地具备使形成的涂膜半硬化的半硬化装置8。在此情况下，在涂敷区域R21的下游侧设置半硬化区域R22，由涂敷区域R21和半硬化区域R22构成处理区域R2。

向面板运入区域R1供给成为处理对象的面板。这里，与供给源的装置进行面板的交接，将面板运入。在涂敷区域R21中，向面板表面涂敷液体，形成液膜。在面板运出区域R3中，将形成完液膜的面板向供给目的地的装置交接，将面板从处理系统A运出。

处理系统A具备多个上浮单元1A及1B(在统称时，称为上浮单元1)、运送装置2、升降单元3、调整单元4及5、涂敷装置6和升降装置7。涂敷装置6被设置在涂敷区域R21上，若在面板的运送方向(Y方向)看，则面板运入区域R1与涂敷装置6相比位于上游侧，面板运出区域R3位于下游侧。

<上浮单元>

上浮单元1以非接触方式支承面板。在本实施方式的情况下，上浮单元1是空气工作台，具备水平的上面10。在上面10上形成了多个空气孔12。空气孔12经上浮单元1内部的通路与未图示的空气装置连通。空气装置是以泵为代表的空气供给装置或空气吸引装置。

通过从空气孔12喷出空气，能够以浮游状态支承面板。另外，即使通过从一部分空气孔12喷出空气，从其它的一部分空气孔吸引空气，也能够以浮游状态支承面板。这些方式也可以根据区域分别使用。例如，在面板运入区域R1及面板运出区域R3中，仅通过从空气孔12喷出空气来支承面板，做成通常的空气上浮载物台。另一方面，在涂敷区域R21中，通过从一部分空气孔12喷出空气，并且从其它的一部分空气孔吸引空气这样的例如伯努利吸盘方式支承面板，做成精密空气上浮载物台。这里说的精密空气上浮载物台，是指可以以±5～30μm的精度控制面板的上浮高度的载物台。另外，在设置半硬化区域R22的情况下，该区域也可以是通常的空气上浮载物台。

面板运入区域R1及面板运出区域R3中的喷出空气的空气孔12的孔径，例如做成直径1.0～5.0mm左右。另一方面，涂敷区域R21中的吸引空气的空气孔12的孔径，例如做成直径1.0～5.0mm左右。另外，涂敷区域R21中的喷出空气的空气孔12，例如做成被形成在由渗透性的多孔质体构成的上浮单元的内部的无数孔(平均直径为1.0～5.0μm)。

上浮单元1在作为面板的运送方向的Y方向延伸设置。更详细地说，从面板运入区域R1遍及面板运出区域R3地延伸设置。因此，在处理系统A的全部区域中，可以以非接触方式支承面板。

上浮单元1A和上浮单元1B相互平行地延伸设置，且在X方向离开地配置。上浮单元1A和上浮单元1B的X方向的间隙，形成用于后述的吸附单元20A、20B移动的移动空间S。另外，在本实施方式的情况下，上浮单元1的数量可以是2个，但也可以是3个以上。

在上浮单元1的上面10上形成了槽11。在本实施方式的情况下，对1个上浮单元1，形成2个槽11。槽11成为后述的升降单元3的销30、调整单元5的抵接部50的退避空间。

<运送装置>

运送装置2，从面板运入区域R1遍及面板运出区域R3地运送在上浮单元1上以浮游状态被支承的面板。运送装置2具备多个吸附单元20A及20B(在统称时，称为吸附单元20)。另外，运送装置2具备多个驱动单元21A及21B(在统称时，称为驱动单元21)。

在本实施方式的情况下，吸附单元20及驱动单元21分别是2个，但也可以是3个以上。驱动单元21与吸附单元20对应地设置。在本实施方式的情况下，驱动单元21A与吸附单元20A对应，驱动单元21B与吸附单元20B对应。

<吸附单元>

吸附单元20被配置在上浮单元1之间的移动空间S中。在本实施方式的情况下，吸附单元20A及20B在X方向并列地配置。吸附单元20具备大致长方体形状的主体部201和抵接部202。主体部201具备可吸附在面板的下面上的吸附部201a。

吸附部201a呈水平面，在其中央部形成了吸引孔vh。吸引孔vh的数量在图1中仅图示了1个，但也可以设置多个。吸引孔vh经主体部201内部的通路与未图示的空气装置连通。空气装置是以泵为代表的空气吸引装置。通过从吸引孔vh吸引空气，可以吸附保持面板。

抵接部202可以与面板的端缘抵接。在本实施方式的情况下，抵接部202是经支承轴旋转自由地设置在主体部201的上部的辊。抵接部202，主要在当运入面板运时调整面板的姿势时，与面板端缘(上游侧的端缘)抵接。吸附部201a的Z方向的位置，被设定在从抵接部202的Z方向下端到上端为止的范围内。因此，吸附部201a，与抵接部202的直立设置了支承轴的部位相比，位于高一段的位置。

<驱动单元>

驱动单元21连接设置在吸附单元20上，在Y方向往复移动。如已叙述的那样，由于各驱动单元21与各吸附单元20对应地设置，所以各吸附单元20可以独立地移动。

驱动单元21具备滑块211、轨道212、皮带传动机构213和升降机构214。

轨道212，在移动空间S的下方，在Y方向呈直线性地延伸设置。轨道212规定吸附单元20的移动轨迹。滑块211与轨道212卡合，被轨道212引导，可在Y方向移动。

升降机构214被搭载在滑块211上。升降机构214，作为其驱动源，例如包括空气缸、电动缸、电磁螺线管等动作执行器。吸附单元20的主体部201被搭载在升降机构214上，由升降机构214升降。升降机构214被设置在各驱动单元20上，吸附单元20A、20B分别可独立地升降。

吸附单元20，在吸附部201a与上浮单元1的上面10相比位于上方的吸附位置和吸附单元20整体与上面10相比位于下方的退避位置之间升降。吸附位置是使吸附部201a吸附保持在面板上的位置，吸附部201a与上面10相比略微位于上方。图2及图3表示吸附单元20处于退避位置的情况。抵接部202位于吸附单元20的最上部，但在处于退避位置的情况下，抵接部202与上面10相比位于下方。

皮带传动机构213具备马达2130、驱动皮带轮2131、从动皮带轮2132、环形皮带2133和连接部件2134。

马达2130是皮带传动机构213的驱动源，对驱动皮带轮2131进行旋转驱动。驱动皮带轮2131安装在马达213的输出轴上，以X方向为旋转轴方向旋转。从动皮带轮2132以X方向为旋转轴方向旋转自由地被支承。驱动皮带轮2131和从动皮带轮2132在Y方向离开地配置，区域R1～R3位于驱动皮带轮2131和从动皮带轮2132之间。环形皮带2133被卷绕在驱动皮带轮2131和从动皮带轮2132上。环形皮带2133，通过驱动皮带轮2121的旋转，循环地行走。环形皮带2133的直线部分在Y方向延伸。

连接部件2134连接环形皮带2133和滑块211。通过使环形皮带2133行走，移动力经连接部件2134作用于滑块211。由此，能够在Y方向移动吸附单元20。而且，若切换马达213的输出轴的旋转方向，则环形皮带2133的行走方向切换。因此，能够在Y方向往复移动吸附单元20。

在本实施方式中，作为使吸附单元20移动的机构，采用了皮带传动机构，但不限于此。例如，也可以采用滚珠丝杆机构等其它的机构。

<升降单元>

升降单元3是在外部的装置和处理系统A之间进行面板的交接的单元。在本实施方式的情况下，升降单元3合计设置了4台。其中的2台在面板运入区域R1中夹着移动空间S在X方向并列地配置，被相互同步地控制。其余的2台在面板运出区域R3中夹着移动空间S在X方向并列地配置，被相互同步地控制。

各升降单元3具备多个销30、支承部件31和升降机构32。多个销30被支承在支承部件31上，向上方向延伸。各销30被插入设置于上浮单元1的槽11上的上下方向的贯通孔中。多个销30，其长度相等，它们的前端(上端)位于同一平面上。

支承部件31位于上浮单元1的下方，销30的下端被固定。升降机构32，作为其驱动源，例如包括空气缸、电动缸、电磁螺线管等动作执行器，升降支承部件31。通过支承部件31的升降，销30也升降。销30，在其前端与上浮单元1的上面10相比突出到上方的上升位置和销30的前端与上浮单元1的上面10相比位于下方的下降位置之间升降。图2及图3表示销30处于下降位置的情况，销30的前端位于槽11内。

<调整单元>

调整单元4及5，在面板运入区域R1中调整面板的姿势，进行其定位。调整单元4调整在X方向的面板的姿势，调整单元5调整在Y方向的面板的姿势。

调整单元4在面板运入区域R1中设置了2台，分别被配置成与上浮单元1A、1B邻接且夹入。调整单元4是具备底座部41、臂部42及43和抵接部44的水平多关节机器人，底座部41被支承在支承部件45上。

臂部42的一端转动自由地被支承在底座部41。臂部42的另一端和臂部43的一端相互转动自由地连接。在臂部43的另一端经支承轴旋转自由地设置了抵接部44。抵接部44可以与面板的端缘抵接，在本实施方式的情况下，是旋转自由设置在以Z方向为旋转轴方向的轴体的前端的辊。2台调整单元4的各抵接部44，位于在X方向延伸的同一直线上。

在底座部41和臂部42及43的内部，设置了使臂部42及43在X方向伸缩的驱动机构。抵接部44的下端被设定在与上浮单元1的上面10相比略微高的位置，抵接部44、44，通过臂部42及43的伸退，可在X方向从分别从上浮单元1A、1B向X方向外侧(在图2中为左右两侧)离开的退避位置向上浮单元1A、1B的上方的定位位置呈直线性地往复移动。通过2台调整单元4的各抵接部44与面板的相向的两端缘(在与面板运送方向正交的方向的两端缘)抵接，能够进行面板的X方向的姿势调整及定位。臂部42及43的进退量可变，可进行不同的尺寸的面板的姿势调整及定位。定位位置与面板的尺寸相应地设定。图1及图2表示抵接部44位于退避位置的情况。

调整单元5在面板运入区域R1设置了2台，其一方被配置在上浮单元1A上，另一方被配置在上浮单元1B上。调整单元5具备抵接部50、杆51和升降机构52。

抵接部50可以与面板的端缘(下游侧端缘)抵接，在本实施方式的情况下，是旋转自由地设置在以Z方向为旋转轴方向的杆51的前端的辊。2台调整单元5的各抵接部50位于在X方向延伸的同一直线上。

杆51在其上端旋转自由地支承抵接部50。杆51使其下端支承在升降机构52上，向上方向延伸。抵接部50及杆51被插入设置在上浮单元1的槽11上的上下方向的贯通孔中。

升降机构52被配置在上浮单元1的下方，使杆51升降。升降机构52，作为其驱动源，例如包括空气缸、电动缸、电磁螺线管等动作执行器，使抵接部50及杆51升降。抵接部50在与上浮单元1的上面10相比位于上方的定位位置和抵接部50退避到槽11内的退避位置之间升降。通过2台调整单元5的各抵接部50及吸附单元20的各抵接部202与面板的相向的两端缘(在面板运送方向的两端缘)抵接，能够进行面板的Y方向的姿势调整及定位。图3表示抵接部50及杆51处于退避位置的情况。抵接部50位于槽11内。

<涂敷装置>

涂敷装置6被设置在涂敷区域R21的上方，从面板的上方向面板表面排出液体进行涂敷，形成液膜。涂敷装置6从形成在喷嘴(狭缝喷嘴)60的底部的开口部向面板表面排出液体。在本实施方式的情况下，开口部是在X方向延伸的矩形开口，能够呈幕状地将液体连续地排出。通过一面运送面板一面排出液体，能够在面板表面上形成液膜。在本实施方式中，排出的液体设想为光硬化树脂(OCR)，但除此之外，也可以列举出具有液膜能滞留在面板上的程度的粘度的液体，例如，粘接剂、功能性膜体的原料树脂等。

<升降装置>

升降装置7设置了2台，支承涂敷装置6的各端部，在喷嘴60从面板表面向上方离开的上升位置和喷嘴60向面板表面接近的下降位置之间升降涂敷装置6。

各升降装置7具备支柱部71、驱动源72、轨道73、滑块74和连结部件75。支柱部71是在上下方向延伸的空心的四角柱，在其内部具备使连结部件75升降的机构(例如，滚珠丝杆机构)。驱动源72被固定在支柱部71的上面上，例如是马达。驱动源72驱动支柱部71内的机构，使连结部件75升降。

轨道73被固定在支柱部71的一侧面上，在上下方向延伸。滑块74与轨道73卡合，通过轨道73的引导，可在上下方向移动。涂敷装置6的Y方向的一侧面被固定在滑块74、74上，经滑块74、74，通过轨道73的引导在上下方向自由移动。

连结部件75连结涂敷装置6和支柱部71内的机构。通过由驱动源72驱动支柱部71内的机构，涂敷装置6升降。这样，涂敷装置6升降，但在Y方向及X方向不可移动地被固定。

<半硬化装置>

在相对于液膜进行半硬化的情况下，也可以在涂敷区域R21上设置半硬化装置8。半硬化装置8与涂敷装置6相比配置在Y方向的下游侧，将涂敷在面板表面的液体的膜形成为半硬化液膜。在本实施方式的情况下，半硬化装置8是具备光源80的光照射装置。光源80例如向液膜照射紫外线，使面板表面的光硬化树脂的液膜半硬化，做成薄膜状。这里，例举为了通过光的照射使液膜半硬化而使用光源80的情况进行了说明，但不限定于此。也可以与使液膜产生半硬化的条件相应地使用例如冷风、热风、水蒸气等气体、电磁波、超声波等的发生器。

半硬化装置8在X方向延伸设置，其各端部被支承在支柱81上。半硬化装置8在X、Y、Z的任意一方向均不可移动，但例如也可以升降。

<控制装置>

处理系统A具备控制上述各装置、各单元的控制装置9。图4是其框图。

控制装置9包括CPU等处理部90、RAM、ROM等储存部91和使将外部设备与处理部90进行接口连接的接口部92。作为接口部92，也包括与主计算机进行通信的通信接口。主计算机，例如，是控制配置了处理系统A的制造设备整体的计算机。

处理部90执行储存在储存部91的程序，基于各种传感器94的检测结果、上级的计算机等的指示，控制各种动作执行器93。作为各种传感器94，例如包括检测吸附单元20的位置的传感器等各种传感器。作为各种动作执行器93，例如包括上浮单元1用的空气装置、吸附单元20用的空气装置、马达2130、驱动源72、升降机构32、52、214、调整单元4、涂敷装置6、半硬化装置8等。

<控制例>

参照图5～图11，对处理部90的控制例进行说明。这里，对面板向处理系统A的运入、面板的运送、光硬化树脂的涂敷、光硬化树脂的半硬化及面板的运出这样的一系列的动作进行说明。

图5的状态ST1表示即将由外部的装置将方形的面板P运入面板运入区域R1之前的状态。设置在面板运入区域R1上的2台升降单元3，其各销30位于上升位置。吸附单元20，在面板运入区域R1的上游端的位置(称为初期位置)，位于退避位置。调整单元4的抵接部44及调整单元5的抵接部50位于退避位置。从上浮单元1的空气孔12喷出空气。

图5的状态ST2表示由外部的装置将面板P运入了面板运入区域R1的状态。面板P以水平姿势被载置在多个销30上。此后，如图5的状态ST3所示，设置在面板运入区域R1上的2台升降单元3将各销30向下降位置下降。由此，面板P从多个销30向上浮单元1移载。此时，面板P不是紧贴在上浮单元1的上面10上，而是以从上面10上浮了一些的浮游状态被支承。

接着，进行面板P的姿势调整及定位。在面板P的运送中，使用吸附单元20A、20B的任意一方(这里，是吸附单元20A)，不使用吸附单元20B。如图6的状态ST11所示，吸附单元20A向吸附位置上升。在此阶段不进行空气从吸附孔vh的吸引，因此，面板P未被吸附在吸附单元20A上。吸附单元20B维持在退避位置不变。2台调整单元5的各抵接部50向定位位置上升。

接着，如图7的ST12所示，2台调整单元4被驱动。2台调整单元4的各臂部42及43伸长，抵接部44向定位位置移动。在定位位置的抵接部44之间的X方向的离开距离，与面板P的在X方向的宽度大致相等。因此，在面板P的姿势乱的情况下，面板P的侧缘与抵接部44抵接，姿势及位置被调整。

接着，对驱动单元21A进行驱动，如图6及图7的状态ST13所示，将吸附单元20A在Y方向仅移动与面板P的尺寸相应地设定的距离而停止。此时，吸附单元20A的抵接部202与面板P的运送方向上游侧端缘(运送方向后端缘)抵接，面板P在Y方向移动。吸附单元20A停止时的抵接部202和抵接部50的Y方向的离开距离，与面板P的Y方向的宽度大致相等。因此，在面板P的姿势(在水平方向的面板P的倾斜)乱的情况下，面板P的运送方向下游侧端缘(运送方向前端缘)与抵接部50抵接，姿势及位置被调整。

由此，面板P的姿势调整及定位结束。在此阶段，如图8的状态ST21所示，进行来自吸附单元20A的吸附孔vh的空气的吸引，使面板P吸附保持在吸附部201a。使2台调整单元4的各臂部42及43逆行，使抵接部44返回退避位置。

至于调整单元5，若使抵接部50不变地下降，则存在损伤面板P的端缘的可能性。因此，如图8的状态ST22所示，使吸附单元20A后退，使面板P从抵接部50离开。此后，使抵接部50向退避位置下降。

接着，向将光硬化树脂向面板P涂敷的工序转移。如图9的状态ST31所示，使涂敷装置6向下降位置下降。接着，使吸附单元20A朝向面板运送方向下游侧行走，向涂敷装置6运送面板P。如图9的状态ST32所示，将面板P与涂敷装置6的开口部60面临地运送，从开口部60排出光硬化树脂。根据面板P的运送速度和光硬化树脂的排出量及粘度等，调节面板P的表面的液膜的厚度。在面板P的涂敷区域后端即将完全通过开口部60前，停止光硬化树脂从涂敷装置6的排出，使吸附单元20A的行走速度渐渐变慢，并且使涂敷装置6朝向上升位置渐渐上升。

接着，向将被涂敷在面板P的表面上的光硬化树脂的液膜半硬化的工序转移。如图10的状态ST41所示，相对于通过涂敷层装置6的涂敷区域R21后的面板P，使吸附单元20A朝向面板运送方向下游侧进一步行走，将形成了光硬化树脂的液膜的面板P向半硬化装置8运送。驱动半硬化装置8的光源80，开始照射紫外线。如图10的状态ST42所示，通过将吸附单元20A在Y方向移动，在半硬化装置8的下方运送面板P，向光硬化树脂的液膜照射紫外线。光硬化树脂的硬化的程度，由面板P的运送速度和由光源80产生的紫外线的光量及距离调节。

在此阶段，面板运入区域R1变空。因此，如图10的状态ST42所示，下一个面板P从外部的装置被运入面板运入区域R1。运入时的动作如参照图5说明的那样。面板P向面板运入区域R1运入的时机，只要是在面板P完全通过面板运入区域R1(抵接部50)后，则何时都可，与间歇时间相应地设定。

若面板P通过半硬化装置8，则停止光源80的驱动。面板P如图11的状态ST51所示，向面板运出区域R3运送，在此时机，停止吸附单元20A的移动和从吸附孔vh的吸引。驱动被配置在面板运出区域R3上的2台升降单元3，将该销3向上升位置上升。由此，由上浮单元1进行空气上浮的面板P向销3移载。另外，在吸附单元20A下降到退避位置后，如图11的状态ST52所示，被移动以便返回初期位置。被移载到销3上的面板P由外部的装置(面板移载装置)运出。

与从涂敷结束到面板运出为止的一系列的动作并行地，如图11的状态ST51所示，相对于被运入了面板运入区域R1的下一个面板P，使用吸附单元20B，并行地进行参照图6及图7进行了说明的面板P的姿势调整和定位。

此后，相对于被吸附保持在吸附单元20B上的面板P，执行涂敷光硬化树脂的工序。

以后，以同样的顺序将吸附单元20A和吸附单元20B交替地用于面板P的运送，连续地处理多个面板P。

这样，在本实施方式的处理系统A中，能够连续地处理多个面板P。而且，通过将吸附单元20A和吸附单元20B交替地用于面板P的运送，能够在运出在先的面板P前，进行后续的面板P的运入，能够提高涂敷作业的作业效率。由于面板P的运送一面由上浮单元1以非接触方式支承一面进行，所以也能够防止划伤面板P。

由于吸附单元20可遍及面板运入区域R1～面板运出区域R3地移动，所以能够由1个运送线进行从面板的运入到面板的处理及面板的运出。在从面板的运入到运出的期间，也可以将吸附单元20不用停止地移动，将面板P不用停止地运送。

由于吸附单元20吸附面板P的下面，所以不论吸附的面板P的尺寸如何都能够保持，可以与多尺寸的面板对应。特别是，在本实施方式中，因为移动空间S被形成在上浮单元1A和上浮单元1B之间，所以吸附单元20位于上浮单元1A和上浮单元1B的整体的X方向的中央部。因此，面板P的吸附位置成为面板P的宽度方向(X方向)的中央部附近。因为不论面板P的尺寸如何，面板P的中央位置都总是一定，所以通过使此中央位置成为面板P的吸附位置，面板P的尺寸变化或不改变均能够进行处理。

另外，在运送大的尺寸的面板P的情况下，也可以使用吸附单元20A和吸附单元20B的双方，同步地控制它们。吸附保持力成为2倍，可进行更稳定的运送。

<第二实施方式>

在第一实施方式中，将移动空间S做成1列，但也可以做成2列以上。图12(A)及(B)表示其一例。

在图12(A)的例中，将3台上浮单元1A～1C在X方向离开地配置。在上浮单元1A和上浮单元1B之间形成了移动空间S1，在上浮单元1B和上浮单元1C之间形成了移动空间S2。在移动空间S1中配置了吸附单元20A，在移动空间S2中配置了吸附单元20B。

在图12(B)的例中，将4台上浮单元1A～1D在X方向离开地配置。在上浮单元1A和上浮单元1B之间形成了移动空间S1，在上浮单元1B和上浮单元1C之间形成了移动空间S2。在上浮单元1C和上浮单元1D之间形成了移动空间S3。

吸附单元20设置了4台。吸附单元20A被配置在移动空间S1中。吸附单元20B和吸附单元20C被配置在移动空间S2中。吸附单元20D被配置在移动空间S3中。在各吸附单元20A～20D上分别设置了驱动单元21，其可相互独立地移动。关于1片面板P的运送，可以使用1个吸附单元20，也可以使用2个以上。

<第三实施方式>

为了形成良好的液膜，最好进行调整，以便剩余的液体不附着在喷嘴60的开口部，另外，开口部中的液体的附着状态变得均匀。另外，存在如下的情况：若来自半硬化装置8的光源80的光到达涂敷装置6的开口部，则开口部近旁的液体硬化。由此，最好涂敷装置6和半硬化装置8之间被遮光。图13表示设置了进行这些的辅助单元100的例。

辅助单元100被配置在涂敷装置6和半硬化装置8之间，是可在一对在Y方向延伸的轨道110上如由箭头d1所示的那样在Y方向自行的门型的单元。辅助单元100具备摩擦接触机构101和挡板102的升降机构。摩擦接触机构101使衬垫101a在X方向往复移动。挡板102是用于对涂敷装置6和半硬化装置8之间进行遮光的部件。在挡板102下降时，其下端与上浮单元1的上面10相比向下降低，对涂敷装置6和半硬化装置8之间进行遮光。在上升时，其下端从上浮单元1的上面10离开，允许面板P通过。在本实施方式中，以摩擦接触机构101和挡板102的升降机构一体地设置的情况为例进行了说明，但它们当然也可以个别地设置。

对辅助单元100的动作进行说明。辅助单元100在涂敷装置6如由图9的状态ST31所示的那样下降前，进行开口部中的液体附着状态的调整。首先，向处于上升位置的涂敷装置6侧移动，使衬垫101a与开口部的X方向一端接触。接着，将衬垫101a在X方向移动，一直移动到开口部的X方向另一端。由此，附着在开口部的剩余的液体由衬垫101a擦掉，且成为均匀的液体附着状态。此后，辅助单元100向从涂敷装置6离开的方向移动，开始由涂敷装置6进行的涂敷作业。

若液体相对于面板P的涂敷结束，则面板P向半硬化装置8运送。辅助单元100，若面板P通过挡板102的下方，则使挡板102下降，进行遮光。此后，半硬化装置8的光源80被驱动，照射紫外线。由于挡板102的存在，将涂敷装置6从紫外线遮光。若面板P通过半硬化装置8，光源80的驱动停止，则挡板102上升。

Claims (7)

1.一种进行向面板涂敷液体的处理的处理系统，其特征在于，具备：

从面板运入区域向面板运出区域在运送方向运送面板的运送装置；

具备在设置在前述面板运入区域与前述面板运出区域之间的涂覆区域中向面板的表面涂敷液体的开口部的涂敷装置；

控制前述运送装置及前述涂敷装置的控制装置，

前述运送装置具备：

吸附前述面板的下面的第一及第二吸附单元；

使前述第一吸附单元升降并且在前述面板运入区域与前述面板运出区域之间往复移动的第一驱动单元；和

使前述第二吸附单元升降并且在前述面板运入区域与前述面板运出区域之间往复移动的第二驱动单元，

前述第一及第二吸附单元配置在吸附前述面板的宽度方向的中央部的位置，

前述控制装置，

在将第一面板运入前述面板运入区域后，由前述第一吸附单元吸附前述第一面板，由前述第一驱动单元从前述面板运入区域向前述面板运出区域运送前述第一吸附单元，并使其在前述涂敷区域中也不会停止地移动而运送前述第一面板，

在前述第一面板完全通过前述面板运入区域后，向前述面板运入区域运入第二面板，然后，由前述第二吸附单元吸附前述第二面板，由前述第二驱动单元从前述面板运入区域向前述面板运出区域运送前述第二吸附单元，并使其在前述涂敷区域中也不会停止地移动而运送前述第二面板，

使将前述第一面板运送到前述面板运出区域的前述第一吸附单元，在由前述第二吸附单元进行的前述第二面板的运送中从前述面板运出区域向前述面板运入区域返回，

由返回到前述面板运入区域的前述第一吸附单元吸附运入到前述面板运入区域的第三面板。

2.如权利要求1所述的进行向面板涂敷液体的处理的处理系统，其特征在于，还具备：

从前述面板运入区域遍及到前述面板运出区域地延伸设置，以非接触方式支承前述面板的多个上浮单元；和

使前述涂敷装置相对于前述面板升降的升降装置，

前述涂敷装置相对于前述面板的运送方向固定地设置，

前述多个上浮单元在与前述运送方向正交的方向离开地设置，

前述第一及第二吸附单元设置在前述多个上浮单元之间，

前述涂敷装置是作为前述开口部具备在与前述运送方向正交的方向延伸的狭缝喷嘴的涂敷装置。

3.如权利要求1所述的进行向面板涂敷液体的处理的处理系统，其特征在于，

前述吸附单元具备：

具备可吸附在前述面板上的吸附部的主体部；和

被设置在前述主体部的上部，可与前述面板的运送方向上游侧端缘抵接的抵接部。

4.如权利要求1所述的进行向面板涂敷液体的处理的处理系统，其特征在于，

具备在前述面板运入区域中对前述面板的在前述运送方向及与前述运送方向正交的方向的姿势进行调整的调整单元。

5.如权利要求2所述的进行向面板涂敷液体的处理的处理系统，其特征在于，

具备：被设置在前述面板运入区域中，进行前述面板的交接的第一升降单元；和

被设置在前述面板运出区域中，进行前述面板的交接的第二升降单元，

前述第一及第二升降单元分别具备：

支承前述面板的多个销；和

在前述多个销的前端与前述上浮单元相比向上方突出的上升位置和前述多个销的前端与前述上浮单元的上面相比位于下方的下降位置之间升降的升降机构。

6.如权利要求1所述的进行向面板涂敷液体的处理的处理系统，其特征在于，

还具备与前述涂敷装置相比被配置在前述运送方向的下游侧，将被涂敷在前述面板表面上的液体的膜形成为半硬化液膜的半硬化装置。

7.一种进行向面板涂敷液体的处理的处理系统，所述处理系统具备：

可进行被供给的面板的交接，面板被运入的面板运入区域；

向面板表面涂敷液体形成液膜的涂敷区域；和

运出形成了液膜的面板，可进行面板的交接的面板运出区域，

其特征在于，具备：

被设置在前述涂敷区域的上方，具备向前述面板的表面涂敷液体的开口部的涂敷装置；

从前述面板运入区域遍及到前述面板运出区域地延伸设置，以非接触方式支承前述面板的多个上浮单元；和

在前述多个上浮单元之间，从前述面板运入区域遍及到前述面板运出区域地延伸设置，可吸附前述面板，在从前述面板运入区域经前述涂敷区域到达前述面板运出区域的面板运送方向往复移动的运送装置；和控制前述运送装置及前述涂敷装置的控制装置，

前述运送装置具备：

吸附前述面板的下面的第一及第二吸附单元；

使前述第一吸附单元升降并且在前述面板运入区域与前述面板运出区域之间往复移动的第一驱动单元；和

使前述第二吸附单元升降并且在前述面板运入区域与前述面板运出区域之间往复移动的第二驱动单元，

前述第一及第二吸附单元配置在吸附前述面板的宽度方向的中央部的位置，

前述控制装置，

在将第一面板运入前述面板运入区域后，由前述第一吸附单元吸附前述第一面板，由前述第一驱动单元从前述面板运入区域向前述面板运出区域运送前述第一吸附单元，并使其在前述涂敷区域中也不会停止地移动而运送前述第一面板，

在前述第一面板完全通过前述面板运入区域后，向前述面板运入区域运入第二面板，然后，由前述第二吸附单元吸附前述第二面板，由前述第二驱动单元从前述面板运入区域向前述面板运出区域运送前述第二吸附单元，并使其在前述涂敷区域中也不会停止地移动而运送前述第二面板，

使将前述第一面板运送到前述面板运出区域的前述第一吸附单元，在由前述第二吸附单元进行的前述第二面板的运送中从前述面板运出区域向前述面板运入区域返回，

由返回到前述面板运入区域的前述第一吸附单元吸附运入到前述面板运入区域的第三面板。