CN104242860B - 振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体 - Google Patents
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811050020.4A CN109217838B (zh) | 2013-06-24 | 2014-06-24 | 振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013-131936 | 2013-06-24 | ||
| JP2013131936A JP6155897B2 (ja) | 2013-06-24 | 2013-06-24 | 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器及び移動体 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201811050020.4A Division CN109217838B (zh) | 2013-06-24 | 2014-06-24 | 振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN104242860A CN104242860A (zh) | 2014-12-24 |
| CN104242860B true CN104242860B (zh) | 2018-10-02 |
Family
ID=52110320
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201410286254.4A Active CN104242860B (zh) | 2013-06-24 | 2014-06-24 | 振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体 |
| CN201811050020.4A Active CN109217838B (zh) | 2013-06-24 | 2014-06-24 | 振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201811050020.4A Active CN109217838B (zh) | 2013-06-24 | 2014-06-24 | 振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US9705472B2 (enExample) |
| JP (1) | JP6155897B2 (enExample) |
| CN (2) | CN104242860B (enExample) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6182998B2 (ja) * | 2013-06-24 | 2017-08-23 | セイコーエプソン株式会社 | 水晶振動片、振動子、電子デバイス、電子機器および移動体 |
| TWI634742B (zh) * | 2013-11-16 | 2018-09-01 | 精工愛普生股份有限公司 | 振動片、振動子、振盪器、電子機器及移動體 |
| JP6536783B2 (ja) * | 2015-02-09 | 2019-07-03 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、リアルタイムクロック、電子機器、および移動体 |
| JP6488861B2 (ja) * | 2015-04-28 | 2019-03-27 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、リアルタイムクロック、センサー、電子機器および移動体 |
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| JP5218104B2 (ja) | 2009-01-29 | 2013-06-26 | 株式会社大真空 | 音叉型圧電振動片、および音叉型圧電振動デバイス |
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| JP2010252302A (ja) | 2009-03-25 | 2010-11-04 | Seiko Epson Corp | 屈曲振動片およびそれを用いた発振器 |
| JP2010226608A (ja) | 2009-03-25 | 2010-10-07 | Seiko Epson Corp | 屈曲振動片およびそれを用いた発振器 |
| JP2010226610A (ja) | 2009-03-25 | 2010-10-07 | Seiko Epson Corp | 屈曲振動片およびそれを用いた発振器 |
| JP2010252303A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-11-04 | Seiko Epson Corp | 屈曲振動片およびそれを用いた発振器 |
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| JP5341647B2 (ja) | 2009-07-10 | 2013-11-13 | リバーエレテック株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子及び圧電発振器 |
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| US8692632B2 (en) | 2010-03-17 | 2014-04-08 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, oscillator, and electronic device |
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| JP6127495B2 (ja) | 2012-12-19 | 2017-05-17 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、電子機器、移動体、および振動片の製造方法 |
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-
2013
- 2013-06-24 JP JP2013131936A patent/JP6155897B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2014
- 2014-06-24 CN CN201410286254.4A patent/CN104242860B/zh active Active
- 2014-06-24 US US14/313,468 patent/US9705472B2/en active Active
- 2014-06-24 CN CN201811050020.4A patent/CN109217838B/zh active Active
-
2017
- 2017-06-06 US US15/615,418 patent/US10659006B2/en active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN1419334A (zh) * | 2001-10-09 | 2003-05-21 | Eta草图制造公司 | 压电振荡器和包括封闭在壳体内的所述压电振荡器的组件 |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US10659006B2 (en) | 2020-05-19 |
| US9705472B2 (en) | 2017-07-11 |
| JP6155897B2 (ja) | 2017-07-05 |
| JP2015008352A (ja) | 2015-01-15 |
| US20170272054A1 (en) | 2017-09-21 |
| CN104242860A (zh) | 2014-12-24 |
| US20140375177A1 (en) | 2014-12-25 |
| CN109217838B (zh) | 2021-12-24 |
| CN109217838A (zh) | 2019-01-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |