CN104062700B - 干涉滤波器、光学滤波器装置、光学模块及电子设备 - Google Patents

干涉滤波器、光学滤波器装置、光学模块及电子设备 Download PDF

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Abstract

本发明涉及干涉滤波器、光学滤波器装置、光学模块及电子设备。波长可变干涉滤波器（5），具备：固定基板（51）；设置于固定基板（51）、使入射光的一部分反射、至少一部分透过的固定反射膜（54）；与固定反射膜（54）对置、使入射光的一部分反射、至少一部分透过的可动反射膜（55）；设置于固定反射膜（54）的周围，具备光吸收层（571）和金属层（572）的固定电极（561），光吸收层（571）相比金属层（572）设置于距离固定基板（51）近的位置。

Description

干涉滤波器、光学滤波器装置、光学模块及电子设备
技术领域
本发明涉及干涉滤波器、光学滤波器装置、光学模块及电子设备。
背景技术
过去，已知一种波长可变干涉滤波器，具有相互对置的一对反射膜，通过使该反射膜间的距离发生变化，从测定对象的光中取出规定波长的光（例如，参照专利文献1）。波长可变干涉滤波器，对置配置一对反射膜，通过使入射的光发生干涉，使对应于反射膜间空隙的尺寸的波长的光透过。
在这种波长可变干涉滤波器中，未通过一对反射膜所对置配置的区域的光，即未被分光的光，透过波长可变干涉滤波器，由受光器接收时，分光精度下降。
为了抑制这种分光精度的下降，在专利文献1中，将为了用于使反射膜间的空隙尺寸发生变化而设置的金属电极作为孔径（光圈）而使用。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2003-57571号公报
发明内容
（发明所要解决的课题）
但是，在专利文献1中，作为孔径而使用的金属电极，由反射率比较高的金属材料（例如，铝、金、铬及钛等）形成。因此，将金属电极作为孔径而使用的情况下，存在入射的光发生反射而产生反射光的可能。并且，该反射光通过封入有波长可变干涉滤波器的壳体或具备该波长可变干涉滤波器的光学模块等的装置的内壁等反射而成为杂散光，被受光器接收，分光精度有可能下降。
本发明的目的在于提供一种能够抑制杂散光的产生的干涉滤波器、光学滤波器装置、光学模块及电子设备。
（解决课题的技术方案）
本发明的干涉滤波器，其特征在于，具备：基板；设置于所述基板、使入射光的一部分反射、至少一部分透过的第一反射膜；与所述第一反射膜对置、使入射光的一部分反射、至少一部分透过的第二反射膜；设置于所述第一反射膜的周围，具备光吸收层和金属层的第一电极，所述光吸收层，相比所述金属层，设置于距离所述基板近的位置。
在本发明中，第一电极设置于第一反射膜的周围。该第一电极，具备设置于基板侧的光吸收层和相对于光吸收层而设置于基板的相反侧的金属层。
如此构成的第一电极，作为通过其内周缘而规定入射至第一反射膜的光的入射范围的孔径而发挥作用。如此，通过规定入射至第一反射膜的光的入射范围，能够抑制光入射至不与反射膜对置的区域等，能够抑制分光精度的下降。
此外，在第一电极中，由于透过基板、入射至第一电极的光吸收层的光，被光吸收层吸收，因此能够降低被金属层反射而再次射向基板侧的光的光量。由此，能够抑制由于第一电极的金属层的反射所产生的杂散光，能够抑制分光精度的降低。
在本发明的干涉滤波器中，优选：所述第一电极中的内周缘的至少一部分与所述第一反射膜接触。
在本发明中，第一电极的内周缘的至少一部分与第一反射膜接触。由此，由于第一电极和第一反射膜的一部分重合，因此在第一反射膜和第一电极之间没有间隙，能够抑制光从该间隙透过。
在本发明的干涉滤波器中，优选：所述第一电极以框状包围所述第一反射膜。
在本发明中，第一电极以框状包围第一反射膜地构成，以第一电极包围第一反射膜的周围的方式配置。由此，第一电极作为孔径，其遮光性能提高，能够更有效地抑制分光精度的下降。
在本发明的干涉滤波器中，优选具备可动部，所述可动部，设置有所述第二反射膜，在所述第二反射膜的厚度方向能够位移地设置，从所述厚度方向观察时，所述第一反射膜和所述第一电极的外周缘的最小距离，大于所述第一反射膜和所述可动部的外周缘的最小距离。
在本发明中，构成为：从第二反射膜的度方向观察时（即，从基板的厚度方向观察的俯视中），第一反射膜和第一电极的外周缘的最小距离，大于第一反射膜和可动部的外周缘的最小距离。换言之，第一电极，在上述俯视中，从可动部的外周缘的内侧跨至外侧而设置，第一电极的外周缘相比可动部的外周缘而位于外侧。因此，能够抑制光向可动部的外周缘的入射，能够抑制杂散光。
在本发明的干涉滤波器中，优选具备应力缓和膜，所述应力缓和膜与所述第一电极对置地设置在所述基板的设置有所述第一电极的面的相反面，所述应力缓和膜，具备：两个光吸收层和设置于所述两个光吸收层之间的金属层。
在本发明中，在基板上，在设置有第一电极的面的相反面上与第一电极对置地设置有应力缓和膜，并且应力缓和膜具备两个光吸收层和设置于光吸收层之间的金属层。
这样，应力缓和膜由于具备与第一电极同样的金属层，所以通过与第一电极的金属层产生的内部应力大致相同大小的内部应力，能够抵消对于基板的应力，从而能够抑制基板的变形。
此外，应力缓和膜具备夹持金属膜的一对光吸收层。基板侧的光吸收层能够吸收来自基板侧的入射光，即便在向干涉滤波器的入射光的一部分入射至应力缓和膜的情况下，也能够通过另一方的光吸收层将其吸收。
如上所述，根据本发明的应力缓和膜，在缓和第一电极产生的应力的同时，能够更加可靠地抑制杂散光。
在本发明的干涉滤波器中，优选：所述第一反射膜具有导电性，所述第一电极与所述第一反射膜导通。
在本发明中，由于第一反射膜和第一电极导通，因此能够经由第一电极将第一反射膜作为电极使用。此外，通过将第一电极设定为例如接地电位，也能够除去第一反射膜的带电。
在本发明的干涉滤波器中，优选：所述第二反射膜具有导电性，具备连接于所述第二反射膜的镜电极。
在本发明中，由于第二反射膜连接至镜电极，因此能够使第二反射膜作为电极而发挥作用。这种情况下，例如，使第一电极及镜电极为相同电位（例如，接地电位），能够抑制第一反射膜及第二反射膜间的静电力的产生。此外，也可以使第一反射膜及第二反射膜作为静电电容的检测用电极发挥作用。此外，也能够将驱动电压施加于第一反射膜及第二反射膜之间，这种情况下，也能够使其作为用于变更第一反射膜及第二反射膜的空隙的尺寸的驱动电极而发挥作用。
在本发明的干涉滤波器中，优选：具备第二电极，所述第二电极设置于所述可动部上，与所述第一电极的至少一部分对置。
在本发明中，通过第一电极和第二电极，能够构成变更反射膜间空隙的尺寸的空隙变更部。由此，由于没有必要分别设置驱动电极和作为孔径的第一电极，因此能够实现干涉滤波器的小型化。
在本发明的干涉滤波器中，优选：所述第二电极具备电独立的多个部分电极，所述第一电极是所述多个部分电极的公用电极。
在本发明中，使第一电极作为这些部分电极的公用电极，通过对各部分电极分别设定不同的电位，从而在各部分电极和第一电极之间，能够分别作用不同的静电引力。即，能够通过多个部分电极和与其对置的第一电极，构成多个静电激励器，能够高精度地控制反射膜间的空隙的尺寸。
在本发明的干涉滤波器中，优选：所述基板通过玻璃材料形成，所述光吸收层通过TiW、TiN、NiCr、TiO2、Al2O3、MgF2、Nd2O3及Ta2O5中的至少一种形成于所述基板上，所述金属层形成于所述光吸收层上。
在本发明中，基板由玻璃材料形成。此外，光吸收层通过TiW、TiN、NiCr、TiO2、Al2O3、MgF2、Nd2O3及Ta2O5中的至少一种形成于基板上。此外，金属层形成于光吸收层上。这种光吸收层，在金属层和由玻璃材料形成的基板之间具有良好的紧贴性，在金属层和基板之间能够确保紧贴性。此外，光吸收层能够抑制与玻璃材料的基板的界面中的反射，能够更有效地抑制杂散光的发生。
在本发明的干涉滤波器中，优选：所述金属层通过Au、Al、Ti、Ag、W、Nb、Ta、Mo、Cu、Ni、Co、Zn、Fe及Pt中的至少一种形成。
在本发明中，金属层通过Au、Al、Ti、Ag、W、Nb、Ta、Mo、Cu、Ni、Co、Zn、Fe及Pt中的至少一种形成。
由此，能够通过导电性及遮光性高的材料形成金属层，该金属层能够适合用作电极兼孔径。
本发明的干涉滤波器，其特征在于，具备：使入射光的一部分反射、至少一部分透过的第一反射膜；与所述第一反射膜对置、使入射光的一部分反射、至少一部分透过的第二反射膜；设置于所述第一反射膜的周围，具备光吸收层和金属层的第一电极，所述光吸收层，在从所述第一反射膜朝向所述第二反射膜的方向，相比所述金属层，设置于距离所述第二反射膜远的位置。
在本发明中，与上述发明同样地，第一电极设置于第一反射膜的周围，作为孔径而发挥作用。此外，第一电极具备光吸收层。由此，能够降低金属层所反射的光的光量。由此，能够抑制第一电极的金属层的反射所产生的杂散光，能够抑制分光精度的降低。
在本发明的光学滤波器装置中，其特征在于，具备：干涉滤波器，所述干涉滤波器具备：基板；设置于所述基板、使入射光的一部分反射、至少一部分透过的第一反射膜；与所述第一反射膜对置、使入射光的一部分反射、至少一部分透过的第二反射膜；以及设置于所述第一反射膜的周围，具备光吸收层和金属层的第一电极；壳体，收纳所述干涉滤波器，所述光吸收层，相比所述金属层，设置于距离所述基板近的位置。
在本发明中，与上述发明同样地，第一电极设置于第一反射膜的周围，作为孔径而发挥作用。此外，第一电极具备光吸收层。由此，在第一电极的形成区域，在对透过基板而至的光进行遮光的同时，能够抑制第一电极的金属层的反射所产生的杂散光，能够抑制分光精度的降低。
此外，由于干涉滤波器收纳于壳体内，因此能够抑制大气中所包含的气体等导致的反射膜的劣化或异物的附着。
本发明的光学模块，其特征在于，具备：基板；设置于所述基板、使入射光的一部分反射、至少一部分透过的第一反射膜；与所述第一反射膜对置、使入射光的一部分反射、至少一部分透过的第二反射膜；设置于所述第一反射膜的周围，具备光吸收层和金属层的第一电极；检测通过所述第一反射膜及所述第二反射膜提取的光的检测部，所述光吸收层，相比所述金属层，设置于距离所述基板近的位置。
在本发明中，与上述发明同样地，第一电极设置于第一反射膜的周围，作为孔径而发挥作用。此外，第一电极具备光吸收层。由此，能够提供如下的光学模块：在第一电极的形成区域，在对透过基板而至的光进行遮光的同时，能够抑制第一电极的金属层的反射所产生的杂散光，能够抑制分光精度的降低。
本发明的电子设备，其特征在于，具备：干涉滤波器，所述干涉滤波器具备：基板；设置于所述基板、使入射光的一部分反射、至少一部分透过的第一反射膜；与所述第一反射膜对置、使入射光的一部分反射、至少一部分透过的第二反射膜；以及设置于所述第一反射膜的周围，具备光吸收层和金属层的第一电极；控制部，控制所述干涉滤波器，所述光吸收层，相比所述金属层，设置于距离所述基板近的位置。
在本发明中，与上述发明同样地，第一电极设置于第一反射膜的周围，作为孔径而发挥作用。此外，第一电极具备光吸收层。由此，能够提供如下的电子设备：在第一电极的形成区域，在对透过基板而至的光进行遮光的同时，能够抑制第一电极的金属层的反射所产生的杂散光，能够抑制分光精度的降低。
附图说明
图1为表示第一实施方式的分光测定装置的概略构成的框图。
图2为表示前述实施方式的波长可变干涉滤波器的概略构成的俯视图。
图3为图2的波长可变干涉滤波器的于III-III线处的截面图。
图4为表示第二实施方式的波长可变干涉滤波器的概略构成的截面图。
图5为表示第三实施方式的波长可变干涉滤波器的概略构成的截面图。
图6为表示第四实施方式的波长可变干涉滤波器的概略构成的截面图。
图7为表示第五实施方式的波长可变干涉滤波器的概略构成的俯视图。
图8为表示前述实施方式的波长可变干涉滤波器的概略构成的截面图。
图9为表示第六实施方式的光学滤波器装置的概略构成的截面图。
图10为表示光学滤波器装置的变形例的概略构成的截面图。
图11为表示具备本发明的波长可变干涉滤波器的测色装置（电子设备）的概略构成的图。
图12为表示具备本发明的波长可变干涉滤波器的气体检测装置（电子设备）的概略构成的图。
图13为表示图12的气体检测装置的控制系统的框图。
图14为表示具备本发明的波长可变干涉滤波器的食物分析装置（电子设备）的概略构成的图。
图15为表示具备本发明的波长可变干涉滤波器的光谱照相机（电子设备）的概略构成的图。
具体实施方式
[第一实施方式]
以下，根据附图说明本发明涉及的第一实施方式。
[分光测定装置的构成]
图1为表示本发明涉及的第一实施方式的分光测定装置的概略构成的框图。
分光测定装置1为本发明电子设备，并且是基于由测定对象X反射的测定对象光，对于测定对象光的光谱进行测定的装置。另外，在本实施方式中表示测定由测定对象X反射的测定对象光的例子，但是作为测定对象X，例如使用液晶面板等发光体的情况下，可以将该发光体发出的光作为测定对象光。
该分光测定装置1，如图1所示，具备光学模块10和控制部20。
[光学模块的构成]
光学模块10具备波长可变干涉滤波器5、检测部11、I-V转换器12、放大器13、A/D转换器14和电压控制部15。
该光学模块10使测定对象光通过入射光学系统（图中未示出），引导至波长可变干涉滤波器5，从测定对象光中通过波长可变干涉滤波器5使规定波长的光透过，由检测部11接收透过的光。然后，来自检测部11的检测信号，经由I-V转换器12、放大器13及A/D转换器14，输出至控制部20。
[波长可变干涉滤波器的构成]
这里，对于组装入分光测定装置1的波长可变干涉滤波器5进行说明。图2为表示波长可变干涉滤波器的概略构成的俯视图。图3为沿图2中的III-III线切开时的截面图。
本实施方式的波长可变干涉滤波器5，即所谓的法布里-珀罗标准具。该波长可变干涉滤波器5，如图2及图3所示，具备：相当于本发明的基板的固定基板51、可动基板52。这些固定基板51及可动基板52，分别由例如各种玻璃、水晶、硅等形成。并且，这些固定基板51及可动基板52中，通过例如以硅氧烷为主要成分的等离子体聚合膜等构成的接合膜53来接合固定基板51的第一接合部513与可动基板52的第二接合部523，从而固定基板51及可动基板52被一体地构成。
固定反射膜54（第一反射膜）设置于固定基板51，可动反射膜55（第二反射膜），设置于可动基板52。这些固定反射膜54及可动反射膜55，经由反射膜间空隙G1（空隙）对置配置。并且，用于调整（变更）该反射膜间空隙G1的空隙量的静电激励器56设置于波长可变干涉滤波器5中。该静电激励器56具备：设置于固定基板51的固定电极561、设置于可动基板52的可动电极562。这些固定电极561、可动电极562经由电极间空隙而对置，作为静电激励器56而发挥作用。
另外，在以后的说明中，将从固定基板51或者可动基板52的基板厚度方向观察的俯视，即，将从固定基板51、接合膜53以及可动基板52的层叠方向观察波长可变干涉滤波器5的俯视，称为滤波器俯视。
（固定基板的构成）
在固定基板51上，如图3所示，通过蚀刻形成有电极配置槽511及反射膜设置部512。该固定基板51，相比可动基板52，其厚度尺寸较大地形成，不会发生由于将电压施加于固定电极561及可动电极562间时的静电引力、固定电极561的内部应力导致的固定基板51的挠曲。
此外，如图2所示，切口部514形成于固定基板51的顶点C1，在波长可变干涉滤波器5的固定基板51侧露出后述的可动电极垫564P。
在滤波器俯视中，电极配置槽511形成为以固定基板51的平面中心点O为中心的环状。在所述俯视中，反射膜设置部512从电极配置槽511的中心部向可动基板52侧以大致圆柱状地突出而形成。该电极配置槽511的槽底面成为配置有固定电极561（相当于本发明的第一电极）的电极设置面511A。此外，反射膜设置部512的突出顶端面成为反射膜设置面512A。
此外，在固定基板51上设置从电极配置槽511向固定基板51的外周缘的顶点C1、顶点C2延伸的电极引出槽511B。
在电极配置槽511的电极设置面511A设置有固定电极561。
更具体而言，固定电极561以框状（在本实施方式中为圆环状）包围固定反射膜54而形成。此外，固定电极561在电极设置面511A中从后述的可动基板52中的与可动部521对置的区域跨至与保持部522对置的区域而设置。即，在滤波器俯视中，固定电极561覆盖与后述的可动部521的侧壁部521B（相当于本发明的可动部的外周缘）对置的位置而设置。进一步换言之，在滤波器俯视中，固定电极561被构成为固定反射膜54和固定电极561的外周缘的最小距离大于固定反射膜54和可动部521的侧壁部521B的最小距离。
固定电极561具备光吸收层571和金属层572，这些光吸收层571及金属层572顺序地层叠于固定基板51上。
金属层572通过具有导电性及遮光性的金属材料形成，不让光通过。作为形成金属层572的金属材料，可以为例如Au、Al、Ti、Ag、W、Nb、Ta、Mo、Cu、Ni、Co、Zn、Fe及Pt等。
光吸收层571抑制从固定基板51侧入射的光的反射。即，光吸收层571，作为抑制在固定基板51和光吸收层571的界面的反射的反射防止层发挥作用的同时，具有使入射至光吸收层571的光发生衰减（吸收）的作用。作为形成这种光吸收层571的材料，可以为例如TiW、TiN、NiCr、TiO2、Al2O3、MgF2、Nd2O3及Ta2O5等。
这种固定电极561通过例如以下方式形成：在固定基板51上将形成光吸收层571的膜材料（例如TiW膜）成膜，进一步，将形成金属层572的膜材（例如Au膜）成膜，利用光刻蚀法将这些膜材料（TiW膜及Au膜）形成图案。光吸收层571及金属层572各自的厚度例如为30nm和100nm。
在固定基板51上设置从固定电极561的外周缘向顶点C2方向延伸的固定引出电极563。该固定引出电极563的延伸前端部（位于固定基板51的顶点C2的部分）构成连接至电压控制部15的固定电极垫563P。该固定电极垫563P在电压控制部15例如连接于GND（接地）。
此外，在固定电极561上可以层叠用于确保固定电极561及可动电极562之间的绝缘性的绝缘膜。
反射膜设置部512，如上所述，在与电极配置槽511同轴上，形成为小于电极配置槽511的直径尺寸的大致圆柱状，并且具备该反射膜设置部512的与可动基板52对置的反射膜设置面512A。
如图3所示，固定反射膜54设置于该反射膜设置面512A上。
固定反射膜54被设置为，如图3所示，在滤波器俯视中，从反射膜设置面512A跨至（延伸至）电极配置槽511中。固定反射膜54的外周部的一部分覆盖固定电极561的内周部（从内周缘起的预定尺寸的区域）而设置。
在这种构成中，通过固定电极561的内周缘规定入射至固定反射膜54的光的有效直径。即，固定电极561作为孔径发挥作用。
另外，固定电极561和固定反射膜54重合的区域（重合区域），形成于电极设置面511A。该电极设置面511A，在基板厚度方向，相比反射膜设置面512A，设置在距离可动基板52远的位置，因此，当使可动基板52向固定基板51侧位移时，该重合区域的固定反射膜54不会接触可动基板52、该可动基板52上的其他膜材料。
该固定反射膜54具有导电性，例如能够使用Ag、Bi、Nd等金属膜、Ag合金等合金膜形成。该固定反射膜54，接触作为GND电极的固定电极561，被用作GND。
另外，固定反射膜54例如可以使用如下的反射膜：在使高折射层为TiO2、使低折射层为SiO2的电介体多层膜上层叠金属膜（或者合金膜）的反射膜、或在金属膜（或者合金膜）上层叠电介体多层膜的反射膜、或层叠单层折射层（TiO2或SiO2等）和金属膜（或者合金膜）的反射膜等。
此外，在固定基板51的光入射面（未设置有固定反射膜54的面）上，可以在对应于固定反射膜54的位置形成反射防止膜。该反射防止膜，能够通过交互地层叠低折射率膜及高折射率膜而形成，使固定基板51的表面的可见光的反射率下降，使透过率增大。
并且，在固定基板51的与可动基板52对置的面中，未通过蚀刻形成电极配置槽511、反射膜设置部512及电极引出槽511B的面，构成第一接合部513。第一接合膜531设置于该第一接合部513上，通过第一接合膜531接合于设置于可动基板52的第二接合膜532，如上所述，固定基板51及可动基板52被接合。
（可动基板的构成）
可动基板52，在如图2所示的滤波器俯视中，具备以平面中心点O为中心的圆形状的可动部521、与可动部521同轴并保持可动部521的保持部522、设置于保持部522的外侧的基板外周部525。
此外，在可动基板52上，如图2所示，对应于顶点C2，形成有切口部524，从可动基板52侧观察波长可变干涉滤波器5时，固定电极垫563P露出。
可动部521的厚度尺寸形成为大于保持部522，例如，在本实施方式中，形成为与可动基板52的厚度尺寸为相同尺寸。该可动部521，在滤波器俯视中，形成为至少比反射膜设置面512A的外周缘的直径尺寸大的直径尺寸。并且，可动电极562及可动反射膜55设置于该可动部521。
另外，与固定基板51同样地，在可动部521的与固定基板51的相反侧的面形成有反射防止膜。该反射防止膜，能够通过交互地层叠低折射率膜及高折射率膜而形成，使可动基板52的表面的可见光的反射率下降，使透过率增大。
可动反射膜55在可动部521的可动面521A的中心部，经由反射膜间空隙G1与固定反射膜54对置地设置。作为该可动反射膜55，使用与上述的固定反射膜54相同构成的反射膜。
另外，可动反射膜55通过未图示的配线连接于GND，与固定反射膜54成为相同电位。
可动电极562，在可动面521A上以平面中心点O为中心呈圆环状地设置于可动反射膜55的周围。该可动电极562，经由电极间空隙G2与固定电极561的一部分相对置。在固定电极561及可动电极562相对置的区域构成了相当于本发明的空隙变更部的静电激励器56。
可动电极562，与固定电极561同样地，具备光吸收层581和金属层582，这些光吸收层581及金属层582顺次重叠于可动基板52上。另外，光吸收层581及金属层582通过与固定电极561中的光吸收层571及金属层572相同的材料构成。
此外，在可动基板52上设置有从可动电极562的外周缘向可动基板52的顶点C1延伸的可动引出电极564。该可动引出电极564的延伸前端部（位于可动基板52的顶点C1的部分）构成连接至电压控制部15的可动电极垫564P。驱动电压通过电压控制部15而施加于可动电极562。
另外，在本实施方式中，如上所述，例示出电极间空隙G2的空隙量比反射膜间空隙G1的空隙量大的例子，但并不限于此。例如，使用红外线或远红外线作为测定对象光的情况等，根据测定对象光的波长域，可以为反射膜间空隙G1的空隙量比电极间空隙G2的空隙量大的构成。
此外，在可动电极562上可以层叠用于确保固定电极561及可动电极562之间的绝缘性的绝缘膜。
保持部522为包围可动部521的周围的振动板，并且形成为厚度尺寸小于可动部521。这种保持部522，相比可动部521易于挠曲，通过微小的静电引力，能够使可动部521向固定基板51侧位移。此时，由于可动部521的厚度尺寸，比保持部522的厚度尺寸大，刚性大。因此，即便在保持部522被静电引力拉向固定基板51侧的情况下，也不会发生可动部521的形状变化。从而，设置于可动部521的可动反射膜55也不发生挠曲，能够总是将固定反射膜54及可动反射膜55维持为平行状态。
另外，在本实施方式中，例示了振动板状的保持部522，但不限于此，例如可以为以平面中心点O为中心、以等角度间隔地配置的梁状保持部的构成等。
基板外周部525，如上所述，在滤波器俯视中设置于保持部522的外侧。该基板外周部525的与固定基板51对置的面具备与第一接合部513对置的第二接合部523。并且，第二接合膜532设置于该第二接合部523，如上所述，通过第二接合膜532接合于第一接合膜531，从而固定基板51及可动基板52被接合。
[检测部、I-V转换器、放大器、A/D转换器、电压控制部的构成]
返回图1，检测部11接收（检测）透过波长可变干涉滤波器5的各反射膜54、55相对置的光干涉区域的光，输出基于受光量的检测信号。
I-V转换器12将从检测部11输入的检测信号转换为电压值，输出至放大器13。
放大器13使对应于从I-V转换器12输入的检测信号的电压（检测电压）增幅。
A/D转换器14将从放大器13输入的检测电压（模拟信号）转换为数字信号，输出至控制部20。
电压控制部15连接于波长可变干涉滤波器5的固定引出电极563（固定电极垫563P）及可动引出电极564（可动电极垫564P）。电压控制部15，基于控制部20的控制，通过向固定电极垫563P及可动电极垫564P施加电压，对静电激励器56施加电压。具体而言，电压控制部15将固定电极垫563P连接于接地电路，使其为接地电位。另一方面，对于可动电极垫564P，设定基于来自控制部20的控制的驱动电位。由此，在静电激励器56的固定电极561及可动电极562之间产生静电引力，可动部521向固定基板51侧发生位移，反射膜间空隙G1的尺寸被设定为规定值。
[控制部的构成]
控制部20通过例如组合CPU和存储器等而构成，控制分光测定装置1的整体动作。该控制部20，如图1所示，具备：滤波器驱动部21、光量取得部22、分光测定部23。
此外，控制部20具备存储各种数据的存储部30，该存储部30中存储用于控制静电激励器56的V-λ数据。
该V-λ数据中记录有对于施加于静电激励器56的电压的透过波长可变干涉滤波器5的光的峰值波长。
滤波器驱动部21设定通过波长可变干涉滤波器5提取的光的目的波长，并且读入对应于由存储部30所存储的V-λ数据所设定的目的波长的目标电压值。然后，滤波器驱动部21将控制信号输出至电压控制部15。所述控制信号为施加读入的目标电压值。从而，目标电压值的电压从电压控制部15施加至静电激励器56。
光量取得部22，基于通过检测部11取得的光量，取得透过波长可变干涉滤波器5的目的波长的光的光量。
分光测定部23，基于通过光量取得部22取得的光量，对于测定对象光的光谱特性进行测定。
作为分光测定部23的分光测定方法，例如可以例举：将针对测定对象波长由检测部11检测到的光量作为该测定对象波长的光量而测定分光光谱的方法，或者基于多个测定对象波长的光量而推定分光光谱的方法等。
作为推定分光光谱的方法，例如，生成将对于多个测定对象波长的光量分别作为矩阵要素的计测光谱矩阵，通过将预定的转换矩阵作用于该计测光谱矩阵，推定作为测定对象的光的分光光谱。这种情况下，由分光测定装置1测定分光光谱已知的多个样本光，并设定转换矩阵，使得将转换矩阵作用于基于测定所得的光量生成的计测光谱矩阵而得到的矩阵与已知的分光光谱之间的偏差为最小。
[第一实施方式的作用效果]
在本实施方式的波长可变干涉滤波器5中，在固定基板51设置有环状（框状）包围固定反射膜54的固定电极561。该固定电极561由光吸收层571和不使光通过的金属层572顺次层叠而构成。
在如此构成的固定电极561中，能够通过该固定电极561的内周缘规定入射至固定反射膜54的光的有效直径，能够使其作为孔径而发挥作用。此外，即使在入射光的一部分透过固定基板51，而是入射至固定电极561的情况下，由于光吸收层571的反射防止功能，入射光不会被光吸收层571所反射，而是透过至该光吸收层571的内部。并且，由于入射光的一部分在光吸收层571被吸收，能够使该入射光的光量减少。进一步，即使该光被金属层572反射，会再次通过光吸收层571，反射光进一步被吸收，从而使其衰减。
如上所示，本实施方式的固定电极561由于能够使其作为孔径而发挥作用，并且，即使在光入射至该固定电极561的情况下也能够使该光发生衰减，能够抑制杂散光的产生。从而，能够抑制波长可变干涉滤波器5的分光精度的下降，在光学模块10中，能够以高精度接收目标波长的光的光量。从而，分光测定装置1，能够实施对于测定对象X的正确的分光测定。
在本实施方式的波长可变干涉滤波器5中，固定电极561的内周部与固定反射膜54的外周部重合。由此，在固定电极561和固定反射膜54之间不产生间隙，能够避免来自该间隙的光成为杂散光的不良情况。
特别是，在本实施方式中，在固定电极561和固定反射膜54重合的区域（重合区域）与固定反射膜54和可动反射膜55相对置的区域（对置区域）的中心部（平面中心点O）相比，基板间距离更大。
因此，在静电激励器56驱动时，能够避免可动部521上的可动电极562接触固定电极561上的固定反射膜54的不良情况。
在本实施方式的波长可变干涉滤波器5中，固定电极561被设置为，在滤波器俯视中，从可动部521跨至保持部522中。即，固定电极561被设置为覆盖作为可动部521的外周缘和保持部522的边界部分的可动部521的侧壁部521B。从而，能够抑制光入射至侧壁部521B，从而能够抑制入射至侧壁部521B的入射光发生漫反射而导致的杂散光的产生。
在本实施方式的波长可变干涉滤波器5中，固定反射膜54具有导电性，与固定电极561导通。由此，能够除去固定反射膜54所带的电荷。从而，当变更反射膜间的空隙尺寸时，能够避免多余的静电力作用于反射膜间，能够抑制该静电引力导致的驱动精度的下降。
在本实施方式的波长可变干涉滤波器5中，固定电极561兼具构成静电激励器56的驱动用电极和孔径的功能。从而，由于没有必要分别设置驱动电极和孔径，因此能够实现干涉滤波器5的小型化。
在本实施方式的波长可变干涉滤波器5中，固定基板51通过玻璃材料形成。此外，光吸收层571通过TiW、TiN、NiCr、TiO2、Al2O3、MgF2、Nd2O3及Ta2O5等形成于固定基板51上。此外，金属层572形成于光吸收层571上。
这种光吸收层571在金属层572和由玻璃材料构成的固定基板51之间具有良好的紧贴性，能够在金属层572和固定基板51之间确保紧贴性。此外，光吸收层571能够抑制其与固定基板51的界面中的反射，能够更有效地抑制杂散光的发生。
在本实施方式的波长可变干涉滤波器5中，金属层572通过Au、Al、Ti、Ag、W、Nb、Ta、Mo、Cu、Ni、Co、Zn、Fe及Pt等导电性及遮光性高的材料形成。由此，能够将金属层572适当地作为电极兼孔径使用。
[第二实施方式]
下面，基于附图说明本发明涉及的第二实施方式。
在本实施方式中，与上述第一实施方式的不同在于，固定电极以覆盖反射膜设置部512的侧壁的方式构成这一点。
图4为表示本发明涉及的第二实施方式的波长可变干涉滤波器5A的概略构成的截面图。另外，波长可变干涉滤波器5A，除了上述不同点之外，基本上与第一实施方式的波长可变干涉滤波器5具有同样的构成。在以后的实施方式的说明中，对于已经说明的构成，赋予相同的符号，省略或简化其说明。
固定电极561A，如图4所示，其内周缘位于反射膜设置面512A上，覆盖反射膜设置部512的侧壁部512B。
此外，固定反射膜54A的外周部，在滤波器俯视中，以覆盖设置于反射膜设置面512A上的固定电极561A的内周部的方式设置。
[第二实施方式的作用效果]
在本实施方式的波长可变干涉滤波器5A中，在靠固定电极561A的内周缘的内侧的固定反射膜54A与可动反射膜55的距离一律相同。由此，能够以更高精度使期望的目标波长的光从波长可变干涉滤波器5A透过，能够更加提高分光精度。
[第三实施方式]
下面，基于附图说明本发明涉及的第三实施方式。
在本实施方式中，与上述第一实施方式的不同之处在于，以与设置于固定基板51的一个表面的固定电极561相对置的方式，将应力缓和膜设置于固定基板51的另一个表面。
图5为表示本发明涉及的第三实施方式的波长可变干涉滤波器5B的概略构成的截面图。
在本实施方式的波长可变干涉滤波器5B中，如图5所示，在固定基板51的设置有固定电极561的面的相反面，在滤波器俯视中的与固定电极561重合的位置，设置有应力缓和膜59。该应力缓和膜59，具备：第一光吸收层591、金属层592、第二光吸收层593，这些第一光吸收层591、金属层592、第二光吸收层593顺次层叠于固定基板51上。
金属层592由与金属层572相同的材料构成，具有相同厚度尺寸。从而，与从金属层572赋予的内部应力具有相同大小、并且方向相反的内部应力从金属层592赋予固定基板51，施加于固定基板51的内部应力被缓和（抵消）。
第一光吸收层591由与光吸收层571相同的材料构成，抑制从固定基板51侧入射的光的反射，并且，使入射的光衰减。
第二光吸收层593也由与光吸收层571相同的材料构成，在入射至波长可变干涉滤波器的入射光的一部分入射至应力缓和膜59的情况下，抑制入射光的反射，并且，使入射的光衰减。
[第三实施方式的作用效果]
在本实施方式的波长可变干涉滤波器5B中，在固定基板51上，在与设置有固定电极561的面相反的面，与固定电极561对置地设置有应力缓和膜59。应力缓和膜59具备2层的光吸收层591、593、设置于这些光吸收层591、593之间的金属层592。该金属层592与固定电极561的金属层572具有相同的构成，2层的光吸收层591、593与光吸收层571具有相同的构成。
因此，通过金属层592能够抵消固定电极561的金属层572的内部应力，能够抑制固定基板51的变形。
此外，通过第一光吸收层591，能够抑制从固定基板51侧入射的光的反射，使光量减少。因此，即使在入射至固定电极561的光的一部分未完全衰减而被反射的情况下，由于入射至应力缓和膜59，能够进一步使其光量减少，从而能够进一步抑制杂散光。
进一步，即使在入射至波长可变干涉滤波器5B的光的一部分入射至应力缓和膜59的情况下，能够通过第二光吸收层593使反射光衰减，能够抑制杂散光。
如上所示，通过应力缓和膜59，在缓和固定电极561产生的应力的同时，能够更加可靠地抑制杂散光的产生。
此外，金属层592，如本实施方式所述，由于使其与金属层572为相同材料及形状，因此能够容易地形成能够实现应力缓和功能的金属层592。但是，金属层592并不限于与金属层572为相同材料及形状地形成，只要能够将缓和金属层572所产生的应力的应力赋予固定基板51，可以以任意的材料及形状形成。特别是，通过使应力缓和膜59的内周缘的直径小于反射膜设置面512A的直径，可以规定入射范围使得光仅在反射膜54、55间的空隙G1的尺寸大致相同的区域中入射至反射膜54。
[第四实施方式]
下面，基于附图说明本发明涉及的第四实施方式。
在本实施方式中，与上述第一实施方式的不同之处在于，可动电极由多个部分电极构成。
图6为表示本发明涉及的第四实施方式的波长可变干涉滤波器5C的概略构成的截面图。
本实施方式的波长可变干涉滤波器5C，如图6所示，在可动基板52的可动面521A具备：以平面中心点O为中心的大致C字状的第一可动电极562A、在滤波器俯视中设置于第一可动电极562A之外的大致C字状的第二可动电极562B。
这些第一可动电极562A及第二可动电极562B彼此分开。即，在本实施方式中，在滤波器俯视中，具备配置有内侧和外侧的两个可动电极的双重电极构造。
另外，尽管省略了图示，但第一可动电极562A设置有从外周缘向可动基板52的1个顶点延伸的可动引出电极，其延伸前端部（位于可动基板52的顶点的部分）构成连接至电压控制部15的可动电极垫。
此外，第二可动电极562B也同样地设置有从外周缘向可动基板52的其他顶点延伸的可动引出电极，其延伸前端部构成连接至电压控制部15的可动电极垫。
固定电极561为对于第一可动电极562A及第二可动电极562B的公用电极，例如，在电压控制部15中连接至GND电路。通过固定电极561及第一可动电极562A对置的区域构成第一静电激励器56A。此外，通过固定电极561及第二可动电极562B对置的区域构成第二静电激励器56B。
在如此构成的波长可变干涉滤波器5C中，能够分别向第一可动电极562A及第二可动电极562B施加不同的电压。
[第四实施方式的作用效果]
在本实施方式的波长可变干涉滤波器5C中，通过第一可动电极562A及第二可动电极562B、即多个部分电极构成可动电极562，使固定电极561成为对于这些部分电极的公用电极。由此，与上述第一至第三实施方式同样地，能够使固定电极561作为孔径发挥作用，并且，能够抑制杂散光。而且，通过将第一可动电极562A及第二可动电极562B分别设定为不同的电位，能够使分别不同的静电引力作用于第一静电激励器56A及第二静电激励器56B。由此，能够以更高的精度进行反射膜间的空隙尺寸的控制，能够进行高精度的分光。
[第五实施方式]
下面，基于附图说明本发明涉及的第五实施方式。
在本实施方式中，与上述第一实施方式的不同之处在于，镜电极551连接至可动反射膜55这一点。
图7为表示本实施方式的波长可变干涉滤波器5D的概略构成的俯视图。
图8为沿图7中的VIII-VIII线切开的截面图。
在本实施方式的波长可变干涉滤波器5D中，可动电极562形成大致C字状。并且，可动基板52具备镜电极551，所述镜电极551连接至可动反射膜55，通过可动电极562的C字开口部、延伸至顶点C3。该镜电极551例如在可动反射膜55由Ag合金等金属膜构成的情况下，能够与可动反射膜55同时形成。
此外，镜电极551的前端部（位于可动基板52的顶点C3的部分），构成镜电极垫551P，连接于电压控制部15。
此外，电压控制部15将固定电极垫563P及镜电极垫551P连接于接地电路，设定为接地电位（0V）。
此外，固定基板51在顶点C3的位置设置有切口部515，露出镜电极垫551P。
[第五实施方式的作用效果]
在本实施方式中，将连接于可动反射膜55的镜电极551设定为接地电位。为此，能够防止可动反射膜55的带电。从而，能够更可靠地抑制反射膜54、55间的静电力的产生，能够进一步提高驱动静电激励器56时的驱动精度。
另外，在本实施方式中，示出了通过电压控制部15将垫551P、563P连接于接地电路，使其为接地电位的例子，但不限于此。例如，可以将垫551P、563P设定为规定的公共电位。这种情况下，能够使固定反射膜54及可动反射膜55的电荷量相同，能够抑制静电力的产生。
[第五实施方式的变形例]
在上述第五实施方式中，示出了电压控制部15将垫551P、563P连接于接地电路，使固定反射膜54及可动反射膜55为接地电位的例子，但不限于此。
例如，在电压控制部15中，可以构成为垫551P、563P连接于静电电容检测电路。
这种情况下，通过静电电容检测电路，将高频电压施加于固定反射膜54及可动反射膜55，从而能够检测反射膜54、55间的静电电容、即反射膜54、55间的空隙G1的尺寸。
[第六实施方式]
下面，基于附图说明本发明涉及的第六实施方式。
在所述第一实施方式的分光测定装置1中，对光学模块10直接设置波长可变干涉滤波器5。但是，作为光学模块，有时具有复杂的构成，特别是对于小型的光学模块，存在难以直接设置波长可变干涉滤波器5的情况。在本实施方式中，针对对于这种光学模块也能够容易地设置波长可变干涉滤波器5的光学滤波器装置进行说明。
图9为表示本发明涉及的第六实施方式的光学滤波器装置的概略构成的截面图。
如图9所示，光学滤波器装置600，具备收纳波长可变干涉滤波器5的壳体610。
该壳体610具有：底部611、盖612、射出侧玻璃窗613（导光部）、入射侧玻璃窗614（导光部）。
底部611例如由单层陶瓷基板构成。波长可变干涉滤波器5的可动基板52设置于该底部611。此外，在底部611上，在与波长可变干涉滤波器5的反射膜（固定反射膜54、可动反射膜55）对置的区域，开口形成有光射出孔611A。该光射出孔611A为由波长可变干涉滤波器5分光并提取的光通过的窗，接合有射出侧玻璃窗613。另外，作为底部611及射出侧玻璃窗613的接合，例如能够使用玻璃熔块接合，其中，以高温熔解玻璃原料，使用作为急速冷却的玻璃碎片的玻璃熔块。
此外，对应于波长可变干涉滤波器5的各电极垫563P、564P的数量的端子部616，设置在底部611的上面（壳体610的内部侧）。此外，底部611在设置有各端子部616的位置形成有贯通孔615，各端子部616经由贯通孔615与设置于底部611的下面（壳体610的外部侧）的连接端子617连接。
此外，接合盖612的密封部619设置于底部611的外周缘。
如图9所示，盖612具备：与底部611的密封部619接合的密封部620；从密封部620连续，向远离底部611的方向立起的侧壁部621；从侧壁部621延续，覆盖波长可变干涉滤波器5的固定基板51侧的顶面部622。该盖612例如可由科瓦铁镍钴合金（コバール）或者金属形成。
该盖612例如通过激光密封等而将密封部620和底部611的密封部619接合，从而接合于底部611。此外，在盖612的顶面部622，光入射孔612A开口形成于与波长可变干涉滤波器5的各反射膜54、55对置的区域。该光入射孔612A为希望由波长可变干涉滤波器5分光的入射光（测定对象光）入射的窗，接合有入射侧玻璃窗614。
[第六实施方式的作用效果]
在本实施方式的光学滤波器装置600中，与所述第一实施方式同样地，在固定电极561的形成区域，能够抑制透过固定基板51而至的光的反射，能够抑制该反射光在壳体610的内壁反射而产生杂散光。
此外，在本实施方式的光学滤波器装置600中，由于波长可变干涉滤波器5被壳体610保护，因此能够防止外因导致的波长可变干涉滤波器5的破损。从而，对于测色传感器等光学模块或电子设备，设置波长可变干涉滤波器5时，或者维护时，能够防止与其他部件冲撞等而导致的破损。
此外，例如将工厂制造的波长可变干涉滤波器5运输至组装光学模块或电子设备的组装线的情况下，被光学滤波器装置600保护的波长可变干涉滤波器5，能够安全运输。
此外，光学滤波器装置600，由于设置有露出壳体610的外周面的连接端子617，因此对于光学模块或电子设备进行组装时，能够容易地实施配线。
[第六实施方式的变形例]
图10为表示上述第六实施方式的一变形例的光学滤波器装置的概略构成的截面图。
如图10所示，光学滤波器装置600A具备：设置有作为收纳波长可变干涉滤波器5的凹部的滤波器收纳部631C的陶瓷基板631；覆盖滤波器收纳部631C的玻璃盖632。该光学滤波器装置600A，在将波长可变干涉滤波器5收纳于滤波器收纳部631C的状态下，玻璃盖632接合于陶瓷基板631，密封内部空间634。
在陶瓷基板631的与玻璃盖632相对置的面，开口形成有贯通基板的厚度方向的光射出孔631A。射出侧玻璃窗633接合于该光射出孔631A。
此外，用于向波长可变干涉滤波器5供给电力的端子部616设置于陶瓷基板631。此外，陶瓷基板631在设置有端子部616的位置，形成有贯通孔631B。端子部616，经由贯通孔631B，连接于设置于陶瓷基板631的下面的连接端子617。
在本变形例的光学滤波器装置600A中，从玻璃盖632侧入射的光，入射至波长可变干涉滤波器5，被分光的光从光射出孔631A射出。通过本变形例，也能够取得与上述第六实施方式同样的效果。
另外，在光学滤波器装置600A中，光入射侧的盖由玻璃材料形成，光能够透过。由此，即使入射光的一部分被设置于波长可变干涉滤波器5的固定电极561反射，也射向光入射侧而透过玻璃盖632。因此，能够抑制起因于在固定电极561的反射的杂散光的产生。
[其他实施方式]
另外，本发明并不限定于上述的实施方式，能够达成本发明目的的范围内的变形、改良等也包含于本发明中。
例如，固定电极561为光吸收层571及金属层572顺次层叠于固定基板51的双层构成，但本发明不限于此，可以为在固定基板51和光吸收层571之间、在光吸收层571和金属层572之间具备其他的层的3层以上的构成。例如，可以在固定基板51和光吸收层571之间设置ITO等构成的透明电极层。
在上述各实施方式中，例示了作为孔径的固定电极561的内周部与固定反射膜54的外周部重叠的构成，但本发明不限于此。例如，可以通过固定电极561的内周缘的侧面和固定反射膜54的外周缘的侧面接触，而构成固定电极561的内侧成为固定反射膜54的构成。
此外，例如，可以构成为作为孔径的固定电极561的内周部与固定反射膜54的外周部的至少一部分重叠。在这种情况下，通过固定电极561和固定反射膜54的重叠部分，能够抑制固定电极561及固定反射膜54间的光的透过。
在所述各实施方式中，作为孔径电极的固定电极561，跨越作为可动部521的外周缘和保持部522的边界部分的可动部521的侧壁部512B而设置，但本发明不限于此。即，固定电极561，可以以至少覆盖固定反射膜54的周围的方式设置，在滤波器俯视中，可以仅在靠保持部522的对置位置的内侧而设置。
此外，固定电极561，可以至少设置于固定反射膜54的周围，例如以包围固定反射膜54的周围的一部分的方式设置。在这种情况下，在固定电极561的配置区域中，能够规定入射光的范围，并且能够抑制固定电极561的金属层572的反射光导致的杂散光的产生。
在所述第五实施方式中，示出了使可动反射膜55为GND电位而除去带电的例子、使固定反射膜54及可动反射膜55作为静电电容检测电极而发挥作用的例子，此外，可以使固定反射膜54及可动反射膜55作为驱动用的静电激励器而发挥作用。
此外，在上述各实施方式中，各反射膜54、55具有导电性，也可以由非导电性的材料构成。例如，固定反射膜54及可动反射膜55可以通过不具有导电层的电介体多层膜等构成。
在上述各实施方式中，使设置于固定基板51的固定电极561作为孔径电极，但本发明不限于此。即，也可以使设置于可动基板52的可动电极562作为孔径电极，也可以使固定电极561及可动电极562双方作为孔径电极。
在上述各实施方式及变形例中，例示了静电激励器作为空隙变更部，但不限于此。例如，作为空隙变更部，可以使用配置第一感应线圈代替固定电极561，配置第二感应线圈或永磁铁代替可动电极562的感应激励器的构成。此外，作为空隙变更部，例如使用压电元件而使可动部521发生位移的构成、通过空气压使反射膜间空隙发生变化的构成等，只要是能够使反射膜间空隙G1发生变化的构成，可以使用任何驱动单元。
此外，在上述各实施方式及变形例中，对于为波长可变型的法布里-珀罗标准具的波长可变干涉滤波器5、5A、5B、5C、5D进行了说明，但本发明不限于此。即，可以为不具备静电激励器56（空隙变更部）的波长固定型法布里-珀罗标准具。这种情况下，能够将本发明的孔径电极，例如作为上述的静电电容检测电极、带电防止电极等其他电极使用。
在上述各实施方式及变形例中，作为波长可变干涉滤波器5、5A、5B、5C、5D，例示了如下的构成：将作为第一反射膜的固定反射膜54设置于固定基板51上，将作为第二反射膜的可动反射膜55设置于可动基板52上，但不限于此。例如，可以为不将各反射膜设置于基板的构成。这种情况下，例如将第一电极及第一反射膜设置于平行玻璃基板的一个面，将第二电极及第二反射膜设置于与该一个面平行的另一个面后，通过蚀刻等方式蚀刻平行玻璃基板。该构成成为不设置基板的构成，能够使分光元件更为薄型化。这种情况下，将例如隔垫放置在第一反射膜及第二反射膜之间，从而能够维持反射膜间的空隙尺寸。
此外，作为本发明的电子设备，在上述各实施方式中，例示了分光测定装置1，除此之外，根据领域的不同，能够使用本发明的光学滤波器装置5、光学模块、电子设备。
例如，也能够将本发明的电子设备适用于测定颜色的测色装置。
图11为表示具备波长可变干涉滤波器5的测色装置400的一例的框图。
该测色装置400，如图11所示，具备：向测定对象X射出光的光源装置410、测色传感器420（光学模块）、控制测色装置400的整体动作的控制装置430（控制部）。并且，该测色装置400是，通过测定对象X使从光源装置410射出的光发生反射，通过测色传感器420接收被反射的检查对象光，基于从测色传感器420输出的检测信号，对于检查对象光的色度、即测定对象X的颜色进行分析、测定的装置。
光源装置410具备光源411、多个透镜412（图11中仅记载1个），向测定对象X射出例如基准光（例如，白色光）。此外，多个透镜412中可以包含准直透镜，这种情况下，光源装置410，将从光源411射出的基准光通过准直透镜变为平行光，从未图示的投射透镜朝向测定对象X射出。另外，在本实施方式中，例示了具备光源装置410的测色装置400，在例如测定对象X为液晶板等的发光构件的情况下，也可以为不设置光源装置410的构成。
如图11所示，该测色传感器420具备：波长可变干涉滤波器5、接收透过波长可变干涉滤波器5的光的检测部11、控制向波长可变干涉滤波器5的静电激励器56的施加电压的电压控制部15。此外，测色传感器420，在与波长可变干涉滤波器5对置的位置，具备将通过测定对象X反射的反射光（测定对象光）导入内部的未图示的入射光学透镜。然后，该测色传感器420，通过波长可变干涉滤波器5，将从入射光学透镜入射的测定对象光中的规定波长的光进行分光，由检测部11接收分光后的光。
控制装置430为本发明的控制部，控制测色装置400的整体动作。
作为该控制装置430能够使用例如通用个人电脑、携带信息终端，此外能够使用测色专用计算机等。而且，如图11所示，控制装置430具备光源控制部431、测色传感器控制部432及测色处理部433等而构成。
光源控制部431连接至光源装置410，基于例如使用者的设定输入，向光源装置410输出规定的控制信号，使规定的亮度的白色光射出。
测色传感器控制部432连接至测色传感器420，并且，基于例如使用者的设定输入，设定通过测色传感器420接收的光的波长，将表示检测该波长的光的受光量的控制信号输出至测色传感器420。由此，测色传感器420的电压控制部15，基于控制信号，向静电激励器56的施加电压，驱动波长可变干涉滤波器5。
测色处理部433从由检测部11检测出的受光量分析测定对象X的色度。此外，测色处理部433，与上述第一及第二实施方式同样地，将由检测部11得到的光量作为计测光谱D，可以通过使用推定矩阵Ms推算分光光谱S，从而分析测定对象X的色度。
此外，作为本发明的电子设备的其他例子，能够例举用于检测特定物质的存在的基于光的系统。作为这种系统，例如可以有以下系统：通过利用采用了本发明的波长可变干涉滤波器5的光谱计测方式而高灵敏度地检测特定气体的车载用气体泄漏检测器、呼气检查用的光声稀有气体检测器等气体检测装置。
以下，基于附图说明这种气体检测装置的一例。
图12为示出具备波长可变干涉滤波器5的气体检测装置的一例的概略图。
图13为示出图12的气体检测装置的控制系统的构成的框图。
如图12所示，该气体检测装置100构成为具备：具备传感器芯片110、吸引口120A、吸引流路120B、排出流路120C和排出口120D的流路120、以及主体部130。
主体部130由检测装置、控制部138、电力供给部139等构成，检测装置包含：具有可拆装流路120的开口的传感器部盖131、排出单元133、壳体134、光学部135、滤波器136、波长可变干涉滤波器5及受光元件137（检测部）等；控制部138，处理检测的信号，控制检测部；电力供给部139供给电力。此外，光学部135通过如下部件构成：射出光的光源135A；将从光源135A入射的光反射至传感器芯片110侧并使从传感器芯片侧入射的光透过至受光元件137侧的分光器135B；透镜135C、135D、135E。
此外，如图13所示，操作板140、显示部141、用于与外部的接口的连接部142、电力供给部139设置于气体检测装置100的表面。电力供给部139为二次电池的情况下，也可以具备用于充电的连接部143。
进一步，如图13所示，气体检测装置100的控制部138具备：由CPU等构成的信号处理部144、用于控制光源135A的光源驱动电路145、用于控制波长可变干涉滤波器5的电压控制部146、用于接收来自受光元件137的信号的受光电路147、接收来自读取传感器芯片110的编码并检测传感器芯片110的有无的传感器芯片检测器148的信号的传感器芯片检测电路149、以及控制排出单元133的排出驱动电路150等。此外，气体检测装置100具备存储V-λ数据的存储部（图中未示出）。
下面，对于上述的气体检测装置100的动作进行说明。
在主体部130的上部的传感器部盖131的内部，设置有传感器芯片检测器148，通过该传感器芯片检测器148检测传感器芯片110的有无。信号处理部144，当检测到来自传感器芯片检测器148的检测信号时，判断为安装有传感器芯片110的状态，向显示部141发出使其显示表示能够实施检测动作的信息的显示信号。
然后，当通过例如使用者操作操作板140，从操作板140向信号处理部144输出表示开始检测处理的指示信号时，首先，信号处理部144向光源驱动电路145输出光源动作的信号，使光源135A动作。当光源135A被驱动时，从光源135A射出单一波长的、直线偏振光稳定的激光。此外，光源135A中内置有温度传感器或光量传感器，其信息向信号处理部144输出。于是，信号处理部144基于从光源135A输入的温度或光量，判断出光源135A稳定动作时，控制排出驱动电路150，使排出单元133动作。由此，包含应检测的标的物质（气体分子）的气体试料，被从吸引口120A向吸引流路120B、传感器芯片110内、排出流路120C、排出口120D引导。另外，在吸引口120A设置有除尘过滤器120A1，比较大的粉尘和一部分水蒸气等被除去。
此外，传感器芯片110为组装有多个金属纳米构造体并且利用局部表面等离子体共振的传感器。在这种传感器芯片110中，通过激光在金属纳米构造体间形成增强电场，当气体分子进入该增强电场内时，产生包含分子振动的信息的拉曼散射光及瑞利散射光。
这些拉曼散射光和瑞利散射光，通过光学部135而入射至滤波器136，瑞利散射光通过滤波器136而被分离，拉曼散射光入射至波长可变干涉滤波器5。然后，信号处理部144，对于控制电压控制部146输出控制信号。从而，电压控制部146，如上述第一实施方式所示，从存储部读入对应于测定对象波长的电压值，将该电压施加于波长可变干涉滤波器5的静电激励器56，使波长可变干涉滤波器5对于对应于作为检测对象的气体分子的拉曼散射光进行分光。之后，由受光元件137接收分光后的光，对应于受光量的受光信号经由受光电路147输出至信号处理部144。这种情况下，能够从波长可变干涉滤波器5精度良好地提取目的拉曼散射光。
信号处理部144将如上方式得到的对应于作为检查对象的气体分子的拉曼散射光的光谱数据与存储于ROM的数据进行比较，判定是否为目的气体分子，进行物质的确定。此外，信号处理部144使显示部141显示该结果信息，从连接部142向外部输出。
另外，在上述图12及图13中，例示了通过波长可变干涉滤波器5将拉曼散射光进行分光、从被分光后的拉曼散射光进行气体检测的气体检测装置100，作为气体检测装置，也可以用作通过检测气体固有的吸光度而确定气体类型的气体检测装置。这种情况下，将使气体流入传感器内部、并检测入射光中被气体吸收的光的气体传感器作为本发明的光学模块使用。并且，将通过这种气体传感器分析、判别流入传感器内的气体的气体检测装置作为本发明的电子设备。在这种构成中，也能够使用波长可变干涉滤波器5检测气体的成分。
此外，作为检测特定物质的存在的系统，不限于上述的气体的检测，可以是例如通过近红外线分光的糖类的非侵袭性测定装置、关于食物、生物体、矿物等的信息的非侵袭性测定装置等物质成分分析装置。
以下，作为上述物质成分分析装置的一例，说明食物分析装置。
图14为表示作为使用本发明的波长可变干涉滤波器5的电子设备的一例的食物分析装置的概略构成的图。
如图14所示，该食物分析装置200具备：检测器210（光学模块）、控制部220、显示部230。检测器210具备：射出光的光源211、导入来自测定对象物的光的拍摄透镜212、将从拍摄透镜212导入的光分光的波长可变干涉滤波器5、检测被分光后的光的拍摄部213（检测部）。
此外，控制部220具备：实施光源211的点亮/熄灭控制、点亮时的亮度控制的光源控制部221、控制波长可变干涉滤波器5的电压控制部222、控制拍摄部213并取得由拍摄部213拍摄的分光图像的检测控制部223、信号处理部224、存储部225。
该食物分析装置200中，当驱动系统时，由光源控制部221控制光源211，从光源211向测定对象物照射光。接着，由测定对象物反射的光，通过拍摄透镜212入射至波长可变干涉滤波器5。通过电压控制部222的控制，波长可变干涉滤波器5通过上述第一实施方式或第二实施方式所示的驱动方法而被驱动。由此，能够从波长可变干涉滤波器5精度良好地提取目的波长的光。然后，提取出的光被例如由CCD照相机等构成的拍摄部213拍摄。此外，拍摄的光作为分光图像，存储于存储部225。此外，信号处理部224控制电压控制部222，使施加于波长可变干涉滤波器5的电压值发生变化，取得对于各波长的分光图像。
接着，信号处理部224，对存储于存储部225的各图像中的各像素的数据进行运算处理，确定各像素中的光谱。此外，存储部225中存储例如有关对应于光谱的食物的成分的信息，信号处理部224基于存储部225所存储的有关食物的信息来分析所确定的光谱的数据，从而确定检测对象中包含的食物成分及其含有量。此外，从得到的食物成分及含有量，能够算出食物卡路里或鲜度等。进一步，通过分析图像内的光谱分布，也能够实施将作为检查对象的食物中鲜度下降的部分的抽出等，进一步，也能够实施食物内包含的异物等的检测。
然后，信号处理部224进行如下处理：使通过上述方式得到的作为检查对象的食物的成分或含有量、卡路里、鲜度等信息显示于显示部230。
此外，在图14中，示出食物分析装置200的例子，通过大致相同的构成，也能够作为上述的其他信息的非侵袭性测定装置使用。例如，能够作为血液等体液成分的测定、分析等，分析生物体成分的生物体分析装置使用。作为这种生物体分析装置，例如作为测定血液等体液成分的装置，使用检测乙醇的装置的话，能够作为检测驾驶员的饮酒状态的防止酒驾装置使用。此外，也可以作为具备这种生物体分析装置的电子内视镜系统使用。
进一步，也能够作为实施矿物的成分分析的矿物分析装置使用。
进一步，作为本发明的波长可变干涉滤波器、光学模块，电子设备，能够适用于以下的装置。
例如，通过使各波长的光的强度发生随时间的变化，能够以各波长的光传输数据。这种情况下，通过设置于光学模块的波长可变干涉滤波器5，对特定波长的光进行分光，由受光部接收，从而能够抽出由特定波长的光传输的数据，利用具备这种数据抽出用光学模块的电子设备，通过处理各波长的光的数据，能够实施光通信。
此外，作为电子设备，通过本发明的波长可变干涉滤波器对光进行分光，也能够适用于拍摄分光图像的光谱照相机、光谱分析机等。作为这种光谱照相机的一例，可以是例如内置有波长可变干涉滤波器5的红外线照相机。
图15为表示光谱照相机的概略构成的示意图。如图15所示，光谱照相机300具备照相机主体310、拍摄透镜单元320、拍摄部330（检测部）。
照相机主体310为由使用者把持、操作的部分。
拍摄透镜单元320设置于照相机主体310中，将入射的图像光导光至拍摄部330。此外，该拍摄透镜单元320，如图15所示，具备对物透镜321、成像透镜322及设置于这些透镜之间的波长可变干涉滤波器5而构成。
拍摄部330由受光元件构成，对由拍摄透镜单元320导光的图像光进行拍摄。
在这种光谱照相机300中，通过波长可变干涉滤波器5使成为拍摄对象的波长的光透过，从而能够拍摄期望波长的光的分光图像。
进一步，也可以将本发明的波长可变干涉滤波器作为带通滤波器使用，例如，能够作为光学式激光装置使用，上述光学式激光装置，通过波长可变干涉滤波器5，从发光元件射出的规定波长域的光中，仅对以规定的波长为中心的窄带域的光进行分光而使其透过。
此外，也可以将本发明的波长可变干涉滤波器作为生物体认证装置使用，例如，能够适用于使用近红外区域、可视区域的光的、血管或指纹、网膜、虹膜等的认证装置。
进一步，能够将光学模块及电子设备作为浓度检测装置使用。这种情况下，通过波长可变干涉滤波器5，对从物质射出的红外能量（红外光）进行分光后分析，测定样品中的被检测体浓度。
如上所述，本发明的波长可变干涉滤波器、光学模块及电子设备，能够适用于从入射光分光预定光的任何装置。并且，由于本发明的波长可变干涉滤波器，如上所述，能够通过1个仪器使多个波长分光，因此，能够精度良好地实施对于多个波长的光谱的测定、对于多个成分的检测。从而，与通过多个仪器提取希望波长的现有装置相比，能够促进光学模块和电子设备的小型化，例如适于作为携带用或车载用的光学设备使用。
此外，本发明实施时的具体构造，在能够达成本发明目的的范围内，可以通过适当组合上述各实施方式及变形例而构成，并且也可以适当地变更为其他构造等。

Claims (15)

1.一种干涉滤波器，其特征在于，具备：
基板；
第一反射膜，设置在所述基板上；
第二反射膜，与所述第一反射膜对置；以及
第一电极，设置于所述第一反射膜的周围，并且具备光吸收层和金属层，
其中，所述光吸收层比所述金属层设置在距离所述基板更近的位置，
从所述第二反射膜侧观察所述第一反射膜时，所述第一反射膜的外周部的至少一部分与所述第一电极的内周部重叠，
所述光吸收层被配置为与所述金属层相接。
2.根据权利要求1所述的干涉滤波器，其特征在于，所述第一电极的内周缘的至少一部分与所述第一反射膜接触。
3.根据权利要求1所述的干涉滤波器，其特征在于，所述第一电极以框状包围所述第一反射膜。
4.根据权利要求1所述的干涉滤波器，其特征在于，具备：
可动部，设置有所述第二反射膜，并且被设置为能够在所述第二反射膜的厚度方向上位移，
其中，从所述厚度方向观察时，所述第一反射膜和所述第一电极的外周缘的最小距离大于所述第一反射膜和所述可动部的外周缘的最小距离。
5.根据权利要求1所述的干涉滤波器，其特征在于，具备：
应力缓和膜，与所述第一电极对置地设置在所述基板的设置有所述第一电极的面的相反面上，
其中，所述应力缓和膜具备两个光吸收层和设置于所述两个光吸收层之间的金属层。
6.根据权利要求1所述的干涉滤波器，其特征在于，
所述第一反射膜具有导电性，并且
所述第一电极与所述第一反射膜导通。
7.根据权利要求6所述的干涉滤波器，其特征在于，
所述第二反射膜具有导电性，并且
所述干涉滤波器具备连接至所述第二反射膜的镜电极。
8.根据权利要求4所述的干涉滤波器，其特征在于，具备：
第二电极，设置在所述可动部上，并且与所述第一电极的至少一部分对置。
9.根据权利要求8所述的干涉滤波器，其特征在于，
所述第二电极具备电独立的多个部分电极，并且
所述第一电极为所述多个部分电极的公用电极。
10.根据权利要求1所述的干涉滤波器，其特征在于，
所述基板通过玻璃材料形成，
所述光吸收层通过TiW、TiN、NiCr、TiO2、Al2O3、MgF2、Nd2O3及Ta2O5中的至少一种形成于所述基板上，并且
所述金属层形成于所述光吸收层上。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的干涉滤波器，其特征在于，
所述金属层通过Au、Al、Ti、Ag、W、Nb、Ta、Mo、Cu、Ni、Co、Zn、Fe及Pt中的至少一种形成。
12.一种干涉滤波器，其特征在于，具备：
第一反射膜；
第二反射膜，与所述第一反射膜对置；以及
第一电极，设置于所述第一反射膜的周围，并且具备光吸收层和金属层，
其中，所述光吸收层在从所述第一反射膜朝向所述第二反射膜的方向上比所述金属层设置在距离所述第二反射膜更远的位置，
从所述第二反射膜侧观察所述第一反射膜时，所述第一反射膜的外周部的至少一部分与所述第一电极的内周部重叠，
所述光吸收层被配置为与所述金属层相接。
13.一种光学滤波器装置，其特征在于，具备：
干涉滤波器，具备：基板；设置在所述基板上的第一反射膜；与所述第一反射膜对置的第二反射膜；以及设置于所述第一反射膜的周围并且具备光吸收层和金属层的第一电极；以及
壳体，收纳所述干涉滤波器，
其中，所述光吸收层比所述金属层设置在距离所述基板更近的位置，
从所述第二反射膜侧观察所述第一反射膜时，所述第一反射膜的外周部的至少一部分与所述第一电极的内周部重叠，
所述光吸收层被配置为与所述金属层相接。
14.一种光学模块，其特征在于，具备：
基板；
第一反射膜，设置在所述基板上；
第二反射膜，与所述第一反射膜对置；
第一电极，设置于所述第一反射膜的周围，并且具备光吸收层和金属层；以及
检测部，检测通过所述第一反射膜和所述第二反射膜提取的光，
其中，所述光吸收层比所述金属层设置在距离所述基板更近的位置，
从所述第二反射膜侧观察所述第一反射膜时，所述第一反射膜的外周部的至少一部分与所述第一电极的内周部重叠，
所述光吸收层被配置为与所述金属层相接。
15.一种电子设备，其特征在于，具备：
干涉滤波器，具备：基板；设置在所述基板上的第一反射膜；与所述第一反射膜对置的第二反射膜；以及设置于所述第一反射膜的周围并且具备光吸收层和金属层的第一电极；以及
控制部，控制所述干涉滤波器，
其中，所述光吸收层比所述金属层设置在距离所述基板更近的位置，
从所述第二反射膜侧观察所述第一反射膜时，所述第一反射膜的外周部的至少一部分与所述第一电极的内周部重叠，
所述光吸收层被配置为与所述金属层相接。
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