CN104007498A

CN104007498A - 测定装置

Info

Publication number: CN104007498A
Application number: CN201410058489.8A
Authority: CN
Inventors: 松下友纪
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2013-02-25
Filing date: 2014-02-20
Publication date: 2014-08-27
Anticipated expiration: 2034-02-20
Also published as: US9134175B2; JP2014164069A; US20140240711A1; JP6136356B2; CN104007498B

Abstract

本发明提供一种测定装置。该分光测定装置（1）具备：波长可变干涉滤波器（5），具备固定反射膜、可动反射膜、及使固定反射膜与可动反射膜间的间隙尺寸变更的静电致动器；检测器（12），接收入射光；滤波器控制部（22），将固定反射膜与可动反射膜间的间隙尺寸设定为与比测定对象波长区域小的第一波长的光相应的第一尺寸；截止滤波器（11），阻截比测定对象波长区域小的波长的光；以及光量获取部（23），获取在将间隙尺寸设为第一尺寸时由检测器（12）接收的杂散光的光量。

Description

测定装置

技术领域

本发明涉及测定光量的测定装置。

背景技术

目前，公认的有如下测定装置：其接收透过光学元件的光，并测定其受光量。（例如，参照专利文献1）。

在该专利文献1中记载的测定装置是如下装置：其使光射入法布里-珀罗滤波器，通过红外检测器接收透过该法布里-珀罗滤波器的测定光后，测定其受光量。

现有技术文献

专利文献

【专利文献1】：日本特开2002-71562号公报

发明内容

发明要解决的课题

在上述专利文献1中，通过检测器检测透过法布里-珀罗滤波器（波长可变干涉滤波器）的测定光，但是也会存在没有透过波长可变干涉滤波器的杂散光与测定光同时地在检测器中被接收的情况。如此，杂散光便成为噪声成分，因而存在导致测定精度劣化这样的问题。

本发明的目的在于提供能够进行高测定精度的光量测定的测定装置。

解决课题的手段

本发明的测定装置其特征在于，具备：截止滤波器，使入射光中的规定波长区域的光减少；第一反射膜，使透过所述截止滤波器的光的一部分反射，一部分透过；第二反射膜，与所述第一反射膜相对，使透过所述第一反射膜的光的一部分反射，一部分透过；间隙变更部，变更所述第一反射膜与所述第二反射膜间的间隙尺寸；受光部，接收透过所述第二反射膜的光；以及间隙设定部，控制所述间隙变更部，将所述间隙尺寸设定为与所述规定波长区域内的第一波长相应的第一尺寸。

本发明中，将第一反射膜与第二反射膜间的间隙尺寸设定为与经由截止滤波器而光量发生减少（被阻截）的波长区域内的第一波长相应的第一尺寸，届时再获取由受光部接收的光量。

由此，由第一反射膜及第二反射膜所构成的干涉滤波器可以让与第一尺寸相应的第一波长的光透过，但是，该第一波长的光被截止滤波器所阻截。因此，通过干涉滤波器的光不射入受光部，没有通过干涉滤波器的光、即杂散光在受光部中被接收，从而可以高精度地进行杂散光的光量的检测。由此，在测定作为实际测定对象的规定波长区域的光的光量时，从测定值中减去杂散光的光量，从而可以高测定精度地进行光量测定。

本发明的测定装置其特征在于，具备：第一反射膜，使入射光的一部分反射一部分透过；第二反射膜，与所述第一反射膜相对，使透过所述第一反射膜的光的一部分反射一部分透过；间隙变更部，变更所述第一反射膜与所述第二反射膜间的间隙尺寸；受光部，接收透过所述第二反射膜的光；以及间隙设定部，控制所述间隙变更部，将所述间隙尺寸设定为与规定波长区域内的第一波长相应的第一尺寸，所述第一波长为所述受光部的受光灵敏度在规定的灵敏度阈值以下的波长。

在本发明中，与上述发明相同，将第一反射膜与第二反射膜间的间隙尺寸设定为第一尺寸，届时获取由受光部接收的光量。

这时，间隙设定部将与受光部的受光灵敏度在规定的灵敏度阈值以下的第一波长相应的尺寸设定为第一尺寸。如将该灵敏度阈值设定为比与第一波长以外的波长相应的受光灵敏度要小得多的值时，即使由干涉滤波器提取的光到达受光部，检测出的受光量与杂散光光量相比也是可以忽略不计的。因此，本发明中也可以高精度地检测杂散光的光量，能够基于检测到的杂散光光量，高测定精度地进行光量测定。

另外，在本发明中不需要截止滤波器等其它的滤波器，可实现构成简化。

本发明的测定装置优选具备：第一基板，所述第一反射膜设置在所述第一基板上；第二基板，所述第二反射膜设置在所述第二基板上；以及间隙尺寸限制部，设置在所述第一基板与所述第二基板中的至少一个基板上，用于在所述间隙尺寸变为所述第一尺寸时与另一个基板抵接。

在这里，对于间隙尺寸限制部，在第一基板及第二基板两者上设置间隙尺寸限制部，通过这些间隙尺寸限制部彼此接触来使间隙尺寸变为第一尺寸的构成也包括在本发明内。

在本发明中，通过间隙尺寸限制部与相对的基板抵接，从而将间隙尺寸设定为第一尺寸。如此构成的话，能够容易做到将反射膜间的间隙尺寸设定为第一尺寸。特别是，将在第一基板上设置第一电极，在第二基板上设置与第一电极相对的第二电极，通过向这些第一电极及第二电极间施加电压而使间隙尺寸发生变化的静电致动器用作间隙变更部，且将第一波长设为比作为测定对象的规定波长区域小的波长的情况下有效。换言之，使用静电致动器的情况下，静电引力与第一电极及第二电极间的尺寸的负平方成比例，所以随着电极间尺寸变小，控制就会变得困难，难以将间隙尺寸设定为极小尺寸。对此，如本发明一样设置间隙尺寸限制部时，通过向静电致动器施加与第一波长相应的驱动电压以上的电压，从而可以简单地将间隙尺寸设定为第一尺寸。

在本发明的测定装置中，优选在从基板厚度方向观察所述第一基板与所述第二基板的俯视观察中，所述间隙尺寸限制部设置在不与所述第一反射膜及所述第二反射膜重叠的位置上。

在本发明中，上述的间隙尺寸限制部在俯视观察中设置在不与第一反射膜及第二反射膜重叠的位置上，所以，第一反射膜及第二反射膜的面积不会被限制，可以抑制干涉滤波器所提取的光的光量减少。

本发明的测定装置优选具备：光量获取部，获取在所述间隙尺寸被设定为所述第一尺寸时由所述受光部接收的光量；测定部，获取在所述间隙尺寸变更为与所述规定波长区域以外的第二波长相应的间隙尺寸时由所述受光部接收的所述第二波长的光的光量；以及光量校正部，获取从所述测定部所获取的所述第二波长的光的光量中减去所述光量获取部所获取的光量后的光量作为所述第二波长的光的光量。

在本发明中，通过测定部取得第二波长（如作为测定对象的目标波长）的光的光量的测定值，通过光量校正部从测定值中减去上述的杂散光的光量。因此，可以从包含杂散光的实际测定值得到排除了杂散光光量的正确的第二波长的光的光量。

在本发明的测定装置中，优选每次进行所述测定部的测定时，所述间隙设定部都将所述间隙尺寸设定为所述第一尺寸，并在所述光量获取部获取由所述受光部接收的光量。

在本发明中，因为每次进行测定时都获取杂散光的光量，所以即使在杂散光的光量发生变化的情况下，也可以得到正确的测定值。

在这里，在本发明中，“每次进行测定时都获取光量”是指，例如，在作为测定对象的规定波长区域内依次切换第二波长并依次测定各第二波长光的光量时，既可以将对所有第二波长的光量测定作为一次的测定处理动作而在每次进行测定处理动作时测定光量（杂散光量），也可以在每次进行对各第二波长的光量测定时测定光量（杂散光量）。前者可以实现迅速的光量测定，而后者可以根据更高精度的杂散光的光量来校正测定值，从而进行正确的光量测定。

附图说明

图1是表示本发明涉及的第一实施方式的分光测定装置的概略构成的框图。

图2是表示第一实施方式的波长可变干涉滤波器的概略构成的截面图。

图3是表示检测器的受光灵敏度的一个例子的图。

图4是表示第一实施方式的分光测定装置的分光测定方法的流程图。

图5是表示第一实施方式中、杂散光检查模式下的波长可变干涉滤波器的状态及射入检测器的光的图。

图6是表示第一实施方式中、杂散光检查模式下透过波长可变干涉滤波器的光的峰值波长及截止滤波器中光的透过波长区域的图。

图7是表示第一实施方式中、测定模式下的波长可变干涉滤波器的状态及射入检测器的光的图。

图8是表示第一实施方式中、检测器所检测的测定光量及杂散光量、以及算出的校正光量的一个例子的图。

图9是表示本发明涉及的第二实施方式的分光测定装置的概略构成的框图。

图10是表示第二实施方式的分光测定装置中、在杂散光检查模式下透过波长可变干涉滤波器的光的峰值波长及检测器的灵敏度区域的图。

图11是表示本发明的其它实施方式中、与使用电介质多层膜作为反射膜时的反射膜间的间隙尺寸相应的透过峰值波长的图。

图12是表示收纳有波长可变干涉滤波器的光学滤波器装置的概略构成的截面图。

图13是表示作为测定装置的一个例子的测色装置的概略构成的框图。

图14是表示作为测定装置的一个例子的气体检测装置的概略图。

图15是表示图14的气体检测装置中的控制系统的构成的框图。

图16是表示作为测定装置的一个例子的食物分析装置的概略构成的图。

图17是表示作为测定装置的一个例子的分光相机的概略构成的示意图。

具体实施方式

【第一实施方式】

下面，根据附图说明本发明涉及的第一实施方式。

图1是表示第一实施方式的分光测定装置（测定装置)的概略构成的框图。

【分光测定装置的构成】

图1是表示本发明涉及的分光测定装置的概略构成的框图。

分光测定装置1是本发明的测定装置的一个例子，是分析来自测定对象X的入射光（测定对象光）的各波长的光强度并测定分光光谱的装置。然而，在本实施方式中，测定由测定对象X反射的测定对象光仅为一示例，如是使用例如液晶面板等发光体作为测定对象X的话，以该发光体发出的光作为测定对象光也是可以的。

该分光测定装置1，如图1所示，具备：光学模块10及控制部20，控制部20控制光学模块10且对光学模块10输出的信号进行处理。

【光学模块的构成】

光学模块10具备：波长可变干涉滤波器5、截止滤波器11、检测器12（受光部）、I-V转换器13、放大器14、A/D转换器15、及电压控制部16。

在该光学模块10中，由测定对象X反射的光透过入射光学系统（图示省略），导入到截止滤波器11及波长可变干涉滤波器5，然后透过波长可变干涉滤波器5的光再在检测器12中被接收。接着，从检测器12输出的检测信号经由I-V转换器13、放大器14及A/D转换器15输出至控制部20。然而，本实施方式中，将截止滤波器11设置在波长可变干涉滤波器5的前段仅为一示例，并不仅限于此，例如，既可以粘贴在检测器12的表面，也可以设置在波长可变干涉滤波器5及检测器12之间，还可以设置在入射光学系统内。

【波长可变干涉滤波器的构成】

接着，对组装在光学模块10的波长可变干涉滤波器5进行说明。

图2是表示波长可变干涉滤波器5的概略构成的截面图。

如图2所示，波长可变干涉滤波器5具备：构成第一基板的固定基板51及构成第二基板的可动基板52。固定基板51和可动基板52分别由例如钠玻璃、结晶性玻璃、石英玻璃、铅玻璃、钾玻璃、硼硅酸盐玻璃、无碱玻璃等各种玻璃或水晶等形成。并且，通过以例如硅氧烷为主要成分的等离子体聚合膜等形成的接合膜53，将固定基板51的第一接合部513及可动基板52的第二接合部523接合而一体地构成这两块基板51、52。

在固定基板51的与可动基板52相对的面上，设有构成本发明的第一反射膜的固定反射膜54，在可动基板52的与固定基板51相对的面上，设有构成本发明的第二反射膜的可动反射膜55。这些固定反射膜54及可动反射膜55隔着间隙G1而相对配置。而且，在从厚度方向观察固定基板51及可动基板52的俯视观察中，这些固定反射膜54及可动反射膜55相重合的区域形成光干涉区域。

波长可变干涉滤波器5中设置有用于调整（变更）反射膜54与55间的间隙G1的间隙尺寸的、作为本发明间隙变更部的一个例子的静电致动器56。通过对相对的电极间施加规定的电压，这样的静电致动器56能够由静电引力简单地使间隙G1的尺寸发生变化，且实现了构成的简化。静电致动器56可以通过电压控制部16的控制而驱动。

在后面的说明中，将从固定基板51或者可动基板52的基板厚度方向观察的俯视观察，也就是说，从固定基板51及可动基板52的层叠方向来观察波长可变干涉滤波器5的俯视观察称为滤波器俯视观察。另外，本实施方式中，在滤波器俯视观察中，固定反射膜54的中心点及可动反射膜55的中心点是一致的，将俯视观察中的这些反射膜中心点称为滤波器中心点，通过这些反射膜的中心点的直线称为中心轴。

（固定基板的构成)

相对于可动基板52，固定基板51的厚度尺寸形成得要大，其不会因静电致动器56产生的静电引力、固定基板51上形成的膜部材（如固定反射膜54等）的内部应力而产生固定基板51的挠曲。

如图2所示，该固定基板51具备如通过蚀刻等而形成的电极配置槽511及反射膜设置部512。

电极配置槽511，在滤波器俯视观察中，形成以固定基板51的滤波器中心点为中心的环形状。反射膜设置部512，在滤波器俯视观察中，形成为从电极配置槽511的中心部向可动基板52侧突出。该电极配置槽511的槽底面是配置构成静电致动器56的第一驱动电极561的电极设置面511A。另外，反射膜设置部512的突出前端面是配置固定反射膜54的反射膜设置面512A。

另外，固定基板51上设有两个电极引出槽（图示略），其从电极配置槽511朝向固定基板51的外周缘延伸。

第一驱动电极561可以直接设置在电极设置面511A上，也可以在电极设置面511A上先设置其它薄膜（层），再在其上设置第一驱动电极561。该第一驱动电极561形成为例如以滤波器中心点为中心的环形状。然而，在本实施方式中，环形状的电极构成仅为示例，也可以是如将环形状的一部分切除后形成的C字状电极等。另外，也可以是两个以上的第一驱动电极561配置成同心圆形状的双电极构成等。

另外，该第一驱动电极561的外周缘的一部分与第一引出电极（省略图示）连接。该第一引出电极沿着设置在固定基板51上的电极引出槽中一个引出至固定基板51的外周缘，在其前端部与电压控制部16连接。

作为这样的第一驱动电极561及第一引出电极，可以是例如ITO(Indium Tin Oxide：氧化铟锡)等。

另外，也可以在第一驱动电极561的表面形成绝缘膜。

如上所述，反射膜设置部512与电极配置槽511同轴，且形成为比电极配置槽511直径小的大致圆柱状，具备与可动基板52相对的反射膜设置面512A。

该反射膜设置部512上设有固定反射膜54、及构成本发明的间隙尺寸限制部中的一个的第一柱状部571。

固定反射膜54可以直接设置在反射膜设置部512上，也可以在反射膜设置部512上设置其它的透光性薄膜（层），再在其上设置固定反射膜54。固定反射膜54可以使用如Ag等金属膜、Ag合金等导电性的合金膜。使用Ag等金属膜时，优选形成抑制Ag劣化的保护膜。

另外，既可以使用例如将TiO₂用于高折射率层、SiO₂用于低折射率层且高折射率层及低折射率层交替层叠而形成的电介质多层膜，也可以使用由电介质多层膜及金属膜层叠形成的反射膜、电介质单层膜及合金膜层叠形成的反射膜等。

在滤波器俯视观察中，第一柱状部571设置在固定反射膜54的外部。该第一柱状部571既可以设置为例如以滤波器中心点为中心的环形状，也可以例如按一定间隔设置在以滤波器中心点为中心的假想圆的圆周上。

第一柱状部571离反射膜设置面512A的高度尺寸要比固定反射膜54的膜厚尺寸超出例如25nm。

作为第一柱状部571的形成材料，并没有特别的限制，可以使用例如SiO₂等构成。然而，第一柱状部571与固定基板51也可以形成为一体。这种情况下，通过对固定基板51进行3阶段的蚀刻处理，形成电极配置槽511、反射膜设置部512、及第一柱状部571。

另外，在固定基板51的光入射面（不设有固定反射膜54的面）上的与固定反射膜54对应的位置上，可以形成反射防止膜。该反射防止膜可以使固定基板51表面上的可见光的反射率降低，从而使透过率提高。

（可动基板的构成）

如图2所示，可动基板52具备：在滤波器俯视观察中以滤波器中心点为中心的圆形的可动部521、与可动部521同轴且保持可动部521的保持部522、及设置在保持部522外侧的第二接合部523。

与保持部522相比，可动部521的厚度尺寸形成得更大，例如在本实施方式中，形成为与可动基板52（第二接合部523）相同的厚度尺寸。从滤波器俯视观察来看，该可动部521形成为至少比反射膜设置面512A的外周缘的直径尺寸大的直径尺寸。另外，该可动部521上设有构成静电致动器56的第二驱动电极562、可动反射膜55、及第二柱状部572。第二驱动电极562及可动反射膜55可以直接设置在可动面521A上，也可以在可动面521A上设置其它薄膜(层)，再在其上设置第二驱动电极562及可动反射膜55。

另外，与固定基板51相同，在可动部521的与固定基板51相反一侧的面上也可以形成反射防止膜。

第二驱动电极562形成为以滤波器中心点为中心的环形状，与第一驱动电极561相对。另外，第二驱动电极562与第二引出电极连接，该第二引出电极与没有配置第一引出电极的电极引出槽相对，被引出至可动基板52的外周缘。并且，第二引出电极的前端部通过例如FPC、导线等与电压控制部16连接。

另外，在第二驱动电极562的表面，也可以形成绝缘膜。

可动反射膜55在可动部521的可动面521A的中心部隔着间隙G1与固定反射膜54相对。该可动反射膜55可以使用与上述固定反射膜54相同构成的反射膜。

第二柱状部572构成本发明的间隙尺寸限制部中的一个，在滤波器俯视观察中，设置在可动反射膜55之外，比第二驱动电极562更靠滤波器中心点一侧，并与第一柱状部571相对。

第二柱状部572与第一柱状部571同样，在滤波器俯视观察中，既可以形成为环形状，也可以以等间隔配置在以滤波器中心点为中心的假想圆的圆周上。

并且，第二柱状部572离可动部521的与固定基板51相对的可动面521A的高度尺寸与可动反射膜55的膜厚尺寸相比，形成得要大例如25nm。也就是说，与反射膜54、55间的间隙G1的尺寸相比，第一柱状部571及第二柱状部572的间隙G2的尺寸要小。

作为第二柱状部572的形成材料，并没有特别限制，可以例如与第一柱状部571相同地使用SiO₂等。另外，也可以第二柱状部572与可动基板52形成为一体。

保持部522是包围可动部521的周围的隔膜，与可动部521相比，形成得厚度尺寸要小。该保持部522与可动部521相比，更易挠曲，通过稍许的静电引力，就可以使可动部521向固定基板51侧位移。这时，与保持部522相比，可动部521的厚度尺寸更大，刚性也更强，所以，即使在可动部521因静电引力被拉向固定基板51侧的情况下，在某种程度上也可以抑制可动部521的变形。

另外，在本实施方式中，隔膜状的保持部522仅为一个示例，并不仅限于此，也可以采用设置例如以可动部521的滤波器中心点为中心，以等角度间隔配置的梁状保持部的构成。

【截止滤波器的构成】

回到图1，对光学模块10的截止滤波器11进行说明。

截止滤波器11使射入光学模块10的光中的测定对象波长（例如，本实施方式中，为380nm～700nm的可见光区域）的光透过，并对其它波长区域的光进行遮光，换言之，使光量减少。在这里，测定对象波长的其它波长区域为本发明中所说的规定波长区域。

另外，作为由截止滤波器11进行遮光的波长区域，至少是比测定对象波长小的波长区域即可，如本实施方式中，可以使近红外波长区域以上的光透过。

【检测器的构成】

检测器12接收（检测）透过波长可变干涉透波器5的光，并向I-V转换器13输出基于受光量的检测信号。

图3是表示各种检测器的灵敏度特性的一个例子的图。

本实施方式中，将可见光区域作为测定对象波长区域。因此，检测器12使用对可见光区域的接收灵敏度高的Si光电二极管。另外，因设有截止滤波器11，所以不足380nm的波长的光会被阻截。

【光学模块的其它的构成】

I-V转换器13将从检测器12输入的检测信号转换成电压值，并输出至放大器14。

放大器14将与来自I-V转换器13的检测信号相应的电压（检测电压）放大。

A/D转换器15将输入自放大器14的检测电压（模拟信号）转换成数字信号，并输出至控制部20。

电压控制部16根据控制部20的控制，向波长可变干涉滤波器5的静电致动器56施加驱动电压。由此，在静电致动器56的第一驱动电极561与第二驱动电极562间产生静电引力，使可动部521向固定基板51侧位移。

【控制部的构成】

下面，对分光测定装置1的控制部20进行说明。

控制部20由例如CPU、存储器等组合而成，控制分光测定装置1的整体动作。如图1所示，该控制部20具备模式切换部21、滤波器控制部22、光量获取部23、光量校正部24、及分光测定部25。另外，在控制部20的存储器中存入了Ｖ－λ数据，该数据表示透过波长可变干涉滤波器5的光的波长与对应该波长施加在静电致动器56上的驱动电压之间的关系。

模式切换部21在测定模式及杂散光检查模式间进行切换，在测定模式下，使用光学模块10进行分光测定，在杂散光检查模式下，检测射入光学模块10的光中的杂散光光量。

滤波器控制部22在测定模式下，从Ｖ－λ数据中读取与测定对象波长（如，本实施方式中为可见光区域）中的规定目标波长（本发明中的第二波长）相应的驱动电压，并向电压控制部16输出旨在向静电致动器56施加读取的驱动电压的指令信号。

另外，滤波器控制部22在杂散光检查模式下，输出例如旨在向静电致动器56施加最大驱动电压的指令信号。也就是说，滤波器控制部22作为本发明的间隙设定部发挥功能。

另外，在这里，最大驱动电压是指，在波长可变干涉滤波器5中，与第一尺寸（如，本实施方式中为50nm）相应的驱动电压以上的电压，其中，第一尺寸是指第一柱状部571及第二柱状部572抵接时反射膜54及55间的间隙尺寸。例如，Ｖ－λ数据中，在记录了将间隙尺寸设定为50nm时的驱动电压V₅₀(V)的情况下，滤波器控制部22在杂散光检查模式下，输出施加V₅₀(V)以上的驱动电压的指令信号。

光量获取部23获取由检测器12接收的光的光量。也就是说，光量获取部23在测定模式下，获取透过波长可变干涉滤波器5的光的光量（测定值），在杂散光检查模式下，获取没有透过波长可变干涉滤波器5而被检测器12接收的杂散光的光量。因此，光量获取部23也作为本发明的测定部发挥功能。

光量校正部24用在杂散光检查模式下获取的杂散光的光量对在测定模式下获取的目标波长的光的光量进行校正，从而算出目标波长的光的正确光量。

分光测定部25根据光量校正部24算出的光量，对测定对象光的光谱特性进行测定。

【分光测定装置中的测定处理】

下面，根据附图，对使用本实施方式的分光测定装置1的分光测定处理进行说明。

图4是本实施方式的分光测定处理的流程图。

例如，在测定人员的操作下分光测定处理开始启动，控制部20的模式切换部21首先将动作模式设定为杂散光检查模式（步骤S1)。

在杂散光检查模式下，滤波器控制部22向波长可变干涉滤波器5的静电致动器56施加与第一尺寸（本实施方式中，为50nm)相应的驱动电压以上的检查用电压（如最大电压）（步骤S2）。

图5是表示杂散光检查模式下的波长可变干涉滤波器5的状态、及射入检测器12的光的图。图5中，虚线表示杂散光，实线表示射入波长可变干涉滤波器5的光。

如图5所示，像步骤S2一样向静电致动器56施加检查用电压时，第一柱状部571及第二柱状部572抵接，反射膜54及55间的间隙G1变为第一尺寸50nm。

另外，图6是表示通过步骤S2透过波长可变干涉滤波器5的光的峰值波长、及截止滤波器11中光的透过波长区域的图。

通过步骤S2将反射膜54及55间的间隙G1设定为第一尺寸（50nm）后，峰值波长为330nm的光变为可以透过波长可变干涉滤波器5的状态。另一方面，在本实施方式中，使用Si光电二极管作为检测器12，可以检测190nm附近的波长的光。

然而，在本实施方式中，如图6所示，因设有截止滤波器11，所以可透过波长可变干涉滤波器5的波长330nm附近的光被截止滤波器11阻截，未到达检测器12。

由此，如图5所示，未透过波长可变干涉滤波器5的杂散光到达检测器12。

步骤S2之后，控制部20的光量获取部23获取在检测器12中接收的光的光量作为杂散光量，并将其存储在例如存储器等存储单元中（步骤S3)。

之后，控制部20的模式切换部21将动作模式设定为测定模式（步骤S4）。

在测定模式下，滤波器控制部22从存储在存储器中的Ｖ－λ数据中读取针对于测定对象波长区域的规定目标波长的驱动电压，并向电压驱动部16输出旨在向静电致动器56施加该驱动电压的指令信号。由此，静电致动器56被施加驱动电压，间隙G1被设定为与目标波长相应的尺寸（步骤S5)。

图7是表示测定模式下的波长可变干涉滤波器5的状态、及射入检测器12的光的图。

通过步骤S5，由电压控制部16向静电致动器56施加驱动电压时，目标波长的光从波长可变干涉滤波器5透过，并在检测器12中被接收。

步骤S5之后，控制部20的光量获取部23获取在检测器12中被接收的光的光量，并将其存储在例如存储器等存储单元中（步骤S6）。

之后，控制部20就是否已获取测定对象波长区域中所有的目标波长的光的测定光量进行判断（步骤S7）。

在步骤S7中，判断还存在没有获取的目标波长的测定光量的情况下（判断为否的情况），返回到步骤S5，变更目标波长，继续进行测定模式下的光量测定。另外，作为目标波长，例如既可以是测定人员预先设定的波长，也可以是规定波长间隔(如10nm的间隔）的波长。

在步骤S7中，判断所有的目标波长的测定光量皆已获取的情况下，光量校正部24从步骤S6中所获取的测定光量里减去步骤S3中所获取的杂散光量来算出校正光量（步骤S8）。

图8是示出检测器12所输出的测定光量（实线）、杂散光量（点划线）、及算出的校正光量（虚线）的图。

如图7所示，在测定模式下，除透过波长可变干涉滤波器的光之外，没有透过波长可变干涉滤波器5的杂散光也被检测器12接收。因此，如图8所示，测定光量比实际的目标波长的光的光量要大。

对此，在步骤S8中，从测定光量中减去杂散光量，可以获取如图8的虚线所示的校正光量。换言之，可以获取对应各波长的正确的光量。另外，算出的校正光量将存储在存储器等存储单元中。

之后，分光测定部25基于算出的校正光量，测定如图8的虚线所示的分光光谱（步骤S9）。

【第一实施方式的作用效果】

在本实施方式中，通过将截止滤波器11配置在波长可变干涉滤波器5的前面，可以阻截比测定对象波长区域小的波长区域的光，在此基础上，在杂散光检查模式下，将波长可变干涉滤波器5中的反射膜54及55间的间隙G1的尺寸设定为比测定对象波长区域所对应的尺寸小的第一尺寸，也就是说，设定为与被截止滤波器11所阻截的波长区域内的规定尺寸对应的第一尺寸。因此，在杂散光检查模式下，透过波长可变干涉滤波器5的光不到达检测器12，而没有通过波长可变干涉滤波器5的杂散光在检测器12中被接收，可以高精度地检测杂散光量。

通过先测定这样的杂散光量，在测定模式下，光量校正部24可以高精度地检测出从测定光量中减去杂散光量后的实际的目标波长的光量，从而可以求得排除了杂散光成分的针对测定对象X的正确的分光光谱。

在本实施方式中，第一柱状部571设置在波长可变干涉滤波器5的固定基板51上，第二柱状部572设置在可动基板52上与第一柱状部571相对，并且，为了使第一柱状部571与第二柱状部572抵接时间隙G1的尺寸为第一尺寸，对各第一柱状部571与第二柱状部572的高度尺寸（厚度尺寸）进行了设定。

在这样的构成中，在杂散光检查模式下，如果将与杂散光检查尺寸相应的驱动电压以上的电压设定为对静电致动器56施加的杂散光检查用电压，则可简单地将间隙G1的尺寸设定为杂散光第一尺寸。

另外，在本实施方式中，将静电致动器56用作间隙变更部。该静电致动器56通过驱动电极561及562相对配置这一简单的构成便可实现，但是，随着驱动电极561及562间的间隙变小，间隙控制就变得越困难。对此，在本实施方式中，如上所述，通过第一柱状部571及第二柱状部572的设置，从而即使是使用静电致动器56的情况下，也可以简单地使间隙G1的间隙量与针对比测定对象波长区域小的第一波长的第一尺寸一致。并且，即使是在向静电致动器56施加的电压因噪声等的混入而出现暂时变大的情况下，通过使第一柱状部571与第二柱状部572抵接，从而间隙尺寸不会变得更小，可以防止反射膜54及55的接触。

在本实施方式中，在滤波器俯视观察中，第一柱状部571及第二柱状部572分别设置在固定反射膜54及可动反射膜55之外。因此，并不会因第一柱状部571、第二柱状部572而使反射膜54、55的面积受限，不会有透过波长可变干涉滤波器5的光的光量的减少。由此，便可以进行光量不会减少的且高精度的分光测定处理。

本实施方式中，在测定模式下获取对应多个目标波长的测定光量之前，先通过杂散光检查模式获取杂散光量。因此，在取得对应各波长的测定光量之后，通过从这些测定光量中减去杂散光检查模式下获取的杂散光量，从而可以简单地获取对应各波长的正确的光量(校正光量）。另外，通过在实施下次的测定时再次实施杂散光检查模式，从而即便是每次测定杂散光量都不同的情况下，也可以根据杂散光检查模式下所获取的杂散光来适当地对测定光量进行校正。

【第二实施方式】

接下来，根据附图对本发明涉及的第二实施方式进行说明。

在上述第一实施方式中描述的是下述的例子，即、将可见光区域作为测定对象波长，设置阻截比可见光区域小的波长区域的光的截止滤波器11，并且，在反射膜54与55间的间隙G1的尺寸设为第一尺寸时，通过截止滤波器11阻截可透过波长可变干涉滤波器5的光（第一实施方式的例子中为以330nm为峰值波长的光）。

对此，在第二实施方式中，与上述第一实施方式中的不同点在于不设置截止滤波器11。

图9是表示本实施方式的分光测定装置1A的概略构成的图。另外，在接下来的说明中，对于与第一实施方式相同的构成，用相同标号进行表示，并对其说明加以省略或者简化。

如图9所示，在本实施方式的分光测定装置1A中，光学模块10A中并没有设置截止滤波器11，来自测定对象X的入射光通过波长可变干涉滤波器5后直接射入检测器12。

另外，在本实施方式中，将红外区域（近红外区域）作为测定对象波长区域。

作为本实施方式的检测器12，使用的是对比测定对象波长小的波长区域（如可见光区域、紫外线区域）的受光灵敏度低并对杂散光检查模式下透过波长可变干涉滤波器5的光的灵敏度在规定的灵敏度阈值（如100mA/W)以下的检测器。换言之，在本实施方式中，杂散光检查模式下的第一尺寸被设定为检测器12对透过波长可变干涉滤波器5的光的接收灵敏度在灵敏度阈值以下的尺寸。另外，灵敏度阈值根据测定误差的允许范围适当设置即可。

例如，测定对象波长为红外区域（近红外区域）的情况下，可以使用图3所示的InGaAs光电二极管（可受光波长区域：800nm～2600nm）、或者Ge光电二极管（可受光波长区域：400nm～1700nm）。因此，对第一尺寸进行设定，使得比这些检测器12的灵敏度区域小的波长的光透过波长可变干涉滤波器5。具体来说，对第一柱状部571与第二柱状部572的高度尺寸（厚度尺寸）进行设定，使得第一柱状部571与第二柱状部572抵接时间隙G1的尺寸为所述第一尺寸。

在本实施方式中，通过与上述第一实施方式相同的分光测定处理，从而可以获取对应各目标波长的校正光量。

图10是表示在杂散光检查模式下透过波长可变干涉滤波器5的光的峰值波长、及检测器12的灵敏度区域的图。

在步骤S1至步骤S3的杂散光检查模式下，将反射膜54与55间的间隙G1设定为第一尺寸时，与第一尺寸相应波长的光（例如第一尺寸为50nm时，波长为330nm的光）透过波长可变干涉滤波器5。但是，如图10所示，检测器12对与该第一尺寸相应波长的光的接收灵敏度小，即便接收了该光，输出的信号与针对杂散光量的信号值相比，是近乎可以忽略不计的极小的值。因此，与上述第一实施方式相同，在本实施方式中，同样可以高精度地获取杂散光量。

之后，与第一实施方式相同，进行步骤S4至步骤S9的处理。

【第二实施方式的作用效果】

在本实施方式中，在杂散光检查模式下，将波长可变干涉滤波器5中的反射膜54与55间的间隙G1的尺寸设定为与检测器12的接收灵敏度在规定的灵敏度阈值以下的波长相应的第一尺寸。

由此，在杂散光检查模式下，即使有光透过波长可变干涉滤波器5，检测器12也不会检测到该光的光量，或者检测到的光量与杂散光量相比是极小的值，因此，可以高精度检测杂散光量。由此，与上述第一实施方式相同，可以获取正确的杂散光量，光量校正部24可以高精度地算出基于测定光量及杂散光量的校正光量。

另外，本实施方式中，不设置截止滤波器11，相应地简化了光学模块10A及分光测定装置1A的构成。

【其它的实施方式】

另外，本发明并不仅限于所述实施方式，能够达到本发明目的的范围内的变形、改良等都包含在本发明之内。

例如，在上述各实施方式中，驱动电极561与562间的间隙比反射膜54与55间的间隙G1要大，其仅为一示例，但并不限于此。例如，将红外线、远红外线用作测定对象光的情况等时，可以构成为根据测定对象光的波长区域，使间隙G1比驱动电极561与562间的间隙要大。这种情况下，构成为将第一柱状部571设置在电极设置面511A，将第二柱状部572设置在与第一柱状部571相对的位置上。而且，将第一柱状部571及第二柱状部572的高度尺寸设定为在第一柱状部571与第二柱状部572抵接时反射膜54与55间的间隙尺寸变为第一尺寸即可。

将第一柱状部571设置在固定基板51上，将第二柱状部572设置在可动基板52上，并且，通过这些第一柱状部571与第二柱状部572的抵接，间隙G1变为第一尺寸，此仅为一示例，但并不仅限于此。例如，也可以是设置在固定基板51上的第一柱状部571与可动基板52抵接，从而间隙G1变为第一尺寸的构成。同样地，也可以是设置在可动基板52上的第二柱状部572与固定基板51抵接，从而间隙G1变为第一尺寸的构成。另外，也可以构成为在固定基板51上设置第一柱状部571，在可动基板52上设置第二柱状部572，第一柱状部571与可动基板52的除第二柱状部572以外的区域抵接，第二柱状部572与固定基板51的除第一柱状部571以外的区域抵接。

在上述第一实施方式中，在步骤S1至步骤S3中通过杂散光检查模式获取杂散光量之后，实施步骤S4至步骤S7的测定模式，获取各目标波长的测定光量，此仅为一示例，但并不仅限于此。

在通过测定模式获取各目标波长的测定光量后，再通过杂散光检查模式获取杂散光量也是可以的。

另外，在测定模式下，每次切换目标波长（每次在步骤S7中判定为否时）时都返回到步骤S1进行获取杂散光量的处理也是可以的。

并且，每次通过一次测定模式（步骤S4至步骤S7）对各目标波长进行测定光量的测定时都在杂散光检查模式下获取杂散光量，其仅为一示例，并不仅限于此。例如，在分光测定装置1及1A的配置环境没有变化的情况下，采用每实施多次的测定模式再在杂散光检查模式下获取杂散光量的处理等也是可以的。另外，采用基于测定人员的操作来通过杂散光检查模式获取杂散光量的处理也是可以的。

在上述第一实施方式中，将可见光区域设定为测定对象波长区域，但并不仅限于此。将红外区域（包括近红外区域）作为测定对象波长区域也是可以的。这种情况下，可以使用与上述第一实施方式相同的截止滤波器11，也可以使用可以阻截比红外区域小的波长区域(包括可见光区域亦可）的截止滤波器11。

在第二实施方式中，与第一实施方式相同，将第一尺寸设为50nm，但此为一示例，并不仅限于此。在测定波长区域为红外区域或者是近红外区域的情况下，如图3所示，使用Ge光电二极管的话，在400nm～1700nm的范围内具有受光灵敏度。因此，在杂散光检查模式下，也可以将第一尺寸设定为使不足400nm的波长的光透过波长可变干涉滤波器5。同样地，使用InGaAs光电二极管的话，在800nm～2600nm的范围内具有受光灵敏度，因此，在杂散光检查模式下，可以将第一尺寸设定为使不足800nm的波长的光透过波长可变干涉滤波器5。

另外，在这种情况下，如果能够通过静电致动器56使反射膜54与55不接触即将间隙G1设定为第一尺寸的话，也可以构成为不设置第一柱状部571及第二柱状部572。

另外，在杂散光检查模式下，透过波长可变干涉滤波器5的透过光不被检测器12检测即可，所以透过光的波长多少有些差异也是可以的。例如，在第一实施方式中，在杂散光检查模式下，将间隙G1设定为第一尺寸，但即便比第一尺寸稍大一点，只要可透过波长可变干涉滤波器5的光的波长在能被截止滤波器11阻截的波长区域内即可。另外，在第二实施方式中，透过波长可变干涉滤波器5的光是检测器12的受光灵敏度区域外的波长的光即可。

在上述第一及第二实施方式中，将第一波长设定为比测定波长区域小的波长，将间隙G1的尺寸设定为与第一波长对应的第一尺寸，此仅为一示例，并不仅限于此。

例如，将比测定波长区域大的波长作为第一波长也是可以的。图11是表示在将电介质多层膜用作反射膜54、55的情况下，与间隙G1的间隙尺寸相应的透过波长可变干涉滤波器5的光的峰值波长的图。

在本例中，将1000nm～1200nm设定为测定波长区域的情况下，将第一波长设定为约1240nm，使用对不足1000nm波长的光及大于1200nm波长的光进行遮光的截止滤波器11。在这种情况下，如图11所示，将间隙G1的尺寸设定为250nm时，一次峰值波长1237nm附近的光及二次峰值波长970nm附近的光透过波长可变干涉滤波器5。但是，因这些光被截止滤波器11遮光，所以不会被检测器12接收。因此，在杂散光检查模式下，将间隙G1的尺寸设定为250nm便可只检测杂散光的光量。

另一方面，在测定模式下，如图11所示，通过将间隙G1的尺寸在如600nm～350nm间切换，从而可以使1000nm～1125nm之间的光作为二次峰值波长的光依次透过。这时，因二次峰值波长以外的光被截止滤波器11遮光，不会被检测器12接收。另外，将间隙G1的尺寸在如180nm以下的范围（如180nm～100nm）内依次进行切换，从而可以使1125nm～1200nm之间的光作为一次峰值波长依次透过。此时，一次峰值波长以外的光被截止滤波器11遮光，不会被检测器12接收。

然而，上述是使用截止滤波器11的示例，如第二实施方式一样，对于不足1000nm波长的光及大于1200nm波长的光，也可以使用接收灵敏度在灵敏度阈值以下的检测器12。

在上述各实施方式中，可动反射膜55设置在作为第二基板的可动基板52上的构成仅为一示例，但并不仅限于此。例如，构成为将作为第二反射膜的可动反射膜设置成封堵固定基板51的槽（电极配置槽511、反射膜设置部512等），并经由绝缘层将第二驱动电极562设置在该可动反射膜上也是可以的。另外，在这种情况下，第二柱状部572设置在可动反射膜上。

另外，也可以采用不设置作为第一基板的固定基板51、作为第二基板的可动基板52而使第一反射膜与第二反射膜相对的构成等。在这种情况下，例如，在平行平板状的牺牲层的一面上形成第一驱动电极、第一柱状部，并以覆盖它们的方式形成第一反射膜。另外，在牺牲层的另一面上形成第二驱动电极、第二柱状部，并以覆盖它们的方式形成第二反射膜。之后再去除牺牲层。这样，可以形成设有第一驱动电极及第一控制电极的第一反射膜与设有第二驱动电极及第二控制电极的第二反射膜隔空相对的法布里-珀罗滤波器。该构成为不设置第一基板、第二基板的构成，可以实现分光元件的轻薄化。另外，在这种情况下，可以在第一反射膜及第二反射膜间设置例如隔离片等来维持反射膜间的间隙尺寸。

另外，在上述各实施方式中，列举出将静电致动器56作为间隙变更部的一示例，举例说明了通过静电致动器56来变更固定反射膜54及可动反射膜55间的间隙G1的尺寸的构成，但并不仅限于此。

例如，作为间隙变更部，使用通过设置在固定基板51上的第一感应线圈及设置在可动基板52上的第二感应线圈或者永久磁铁所构成的感应致动器的构成也是可以的。

另外，取代静电致动器56而使用压电致动器的构成也是可以的。在这种情况下，例如，在保持部522上层叠配置下部电极层、压电膜、及上部电极层，通过使施加在下部电极层及上部电极层间的电压作为输入值发生改变，从而使可压电膜发生收缩，使保持部522发生挠曲。

而且，并不仅限于通过施加电压来使反射膜54与55间的间隙G1的大小发生变化的构成，例如，还可以举出通过使固定基板51与可动基板52间的气压变化来调整间隙G1的大小的构成等示例。

另外，在上述各实施方式中，对于光学模块10及10A，其构成为直接设有波长可变干涉滤波器5。但是，作为光学模块，也有存在复杂构成的情况，特别是对于小型光学模块来说，直接设置波长可变干涉滤波器5比较困难。对此，可以采用将波长可变干涉滤波器5收纳在壳体内再设置于光学模块等的构成。

图12是表示本发明其它实施方式所涉及的光学滤波器装置的概略构成的截面图。

如图12所示，光学滤波器装置600具备波长可变干涉滤波器5及收纳该波长可变干涉滤波器5的壳体601。

壳体601具备基底基板610、盖620、基底侧玻璃基板630、及盖侧玻璃基板640。

基底基板610例如由单层陶瓷基板构成。该基底基板610上设有波长可变干涉滤波器5的可动基板52。作为将可动基板52设置在基底基板610上的方法，可以是例如通过粘结层来配置的方法，也可以是通过嵌合在其它固定部件上等来配置的方法。另外，在基底基板610上，在与光干涉区域(反射膜54及55相对的区域）相对的区域内，开口形成有光通过孔611。而且，使基底侧玻璃基板630以覆盖该光通过孔611的方式接合。作为基底侧玻璃基板630的接合方法，例如可以使用玻璃料接合、通过环氧树脂等来粘结等，在玻璃料接合中，使用高温熔解玻璃原料后急速降温而成的玻璃的碎片、即玻璃料。

在该基底基板610的与盖620相对的基底内侧面612上设置着内侧端子部615，内侧端子部615与连接至波长可变干涉滤波器5的驱动电极561、562的各引出电极各自对应。另外，各引出电极与内侧端子部615的连接可以使用如FPC615A，通过例如Ag浆料，ACF（Anisotropic ConductiveFilm：各向异性导电膜)、ACP（Anisotropic Conductive Paste：各向异性导电浆料)等进行接合。而且，将内部空间650维持为真空状态时，最好使用排气少的Ag浆料。另外，不限于通过FPC615A完成连接，通过如引线接合法等进行布线连接也是可以的。

另外，基底基板610对应各内侧端子部615所设置的位置形成有贯通孔614，各内侧端子部615通过填充在贯通孔614内的导电性材料与外侧端子部616相连，外侧端子部616设置在基底基板610的与基底内侧面612相反一侧的基底外侧面613上。

另外，在基底基板610的外周部设有与盖620接合的基底接合部617。

如图12所示，盖620具备：盖接合部624，其与基底基板610的基底接合部617接合；侧壁部625，与盖接合部624连续，向与基底基板610分离的方向立起；以及顶面部626，其与侧壁部625连续，覆盖波长可变干涉滤波器5的固定基板51侧。该盖620可以使用如可伐等合金或者金属形成。

通过盖接合部624与基底基板610的基底接合部617接合，该盖620与基底基板610密封接合。

作为该接合方法，可以列举出：例如激光焊接以外的、使用银纤料等的钎焊、使用共晶合金层的密封、使用低熔点玻璃的焊接、玻璃附着、玻璃料接合、环氧树脂粘结等。这些接合方法可以根据基底基板610及盖620的材料、接合环境等适当地进行选择。

盖620的顶面部626与基底基板610平行。该顶面部626在与波长可变干涉滤波器5的光干涉区域相对的区域内，开口形成有光通过孔621。并且，以覆盖该光通过孔621的方式接合有盖侧玻璃基板640。作为盖侧玻璃基板640的接合方法，与基底侧玻璃基板630的接合相同，可以使用如玻璃料接合、利用环氧树脂等的粘结等。

该光学滤波器装置600中，因壳体601保护着波长可变干涉滤波器5，可以防止异物、空气中含有的气体等引起的波长可变干涉滤波器5的特性变化，另外，也可以防止外在因素所导致的波长可变干涉滤波器5的破损。另外，因为可以防止带电粒子的侵入，从而可以避免各电极561及562带电。因此，可以抑制因带电而导致的库仑力的发生，可以更为可靠地维持反射膜54及55的平行度。

另外，例如在将工厂内生产好的波长可变滤波器5搬运至组装光学模块、测定装置的组装生产线等时，因光学滤波器装置600保护着波长可变干涉滤波器5，从而使安全搬运变得可能。

另外，光学滤波器装置600中，因设置有露出于壳体601的外周面的外侧端子部616，从而在对光学模块、测定装置进行组装时，可以容易地完成布线操作。

另外，作为本发明的测定装置，在上述各实施方式中，举例说明了分光测定装置1及1A，但本发明的测定装置也可适用于其它各个领域。

如图13所示，例如可以将本发明的测定装置应用于用于测定颜色的测色装置。

图13是表示具备波长可变干涉滤波器5的测色装置400的一个例子的框图。

如图13所示，该测色装置400具备：光源装置410，其向检查对象A射出光；测色传感器420；以及控制装置430，控制测色装置400的整体动作。并且，该测色装置400为使检查对象A反射从光源装置410射出的光，由测色传感器420接收所反射的检查对象光，并基于从测色传感器420输出的检测信号，对检查对象光的色度、即检查对象A的颜色进行分析、测定的装置。

光源装置410具备光源411、多个透镜412（在图13中仅记载了一个），并向检查对象A射出如基准光（例如，白色光）。此外，在多个透镜412中，可以包含准直透镜，在这种情况下，光源装置410通过准直透镜使从光源411射出的基准光成为平行光，从未图示的投射透镜向检查对象A射出。此外，在本实施方式中，例示了具备光源装置410的测色装置400，但是，例如在检查对象A是液晶面板等发光部件的情况下，也可以是不设置光源装置410的构成。

如图13所示，测色传感器420具备：波长可变干涉滤波器5；检测器12，其接收透过波长可变干涉滤波器5的光；以及电压控制部16，其使在波长可变干涉滤波器5处透过的光的波长发生改变。另外，测色传感器420在与波长可变干涉滤波器5相对的位置上具备将检查对象A所反射的反射光（检查对象光）引导至内部的未图示的入射光学透镜。并且，该测色传感器420通过波长可变干涉滤波器5将从入射光学透镜射入的检查对象光中的规定波长的光进行分光，并由检测部12接收分光后的光。

控制装置430控制测色装置400的整体动作。

作为该控制装置430，可以使用例如通用个人电脑、便携式信息终端、其它测色专用电脑等。并且，如图13所示，控制装置430具备：光源控制部431、测色传感器控制部432、及测色处理部433等。

光源控制部431与光源装置410相连，例如根据使用者的设定输入，向光源装置410输出规定的控制信号，使其射出规定亮度的白色光。

测色传感器控制部432作为上述实施方式中的模式切换部21、滤波器控制部22、光量获取部23、及光量校正部24发挥功能。

测色处理部433根据被检测器12检测的并由测色传感器控制部432算出的校正光量来分析检查对象A的色度。

另外，作为本发明的测定装置的其它范例，可以列举用于检测特定物质的存在的基于光的系统。作为这样的系统，例如可以例示出：采用使用了本发明的光学模块的分光计量方式来高敏度检测特定气体的车载用气体泄漏检测器、呼吸检查用的光声惰性气体检测器等气体检测装置。

下面，根据附图对这样的气体检测装置的一个例子进行说明。

图14是示出具备本发明的光学模块的气体检测装置的一个例子的概略图。

图15是示出图14的气体检测装置的控制系统的构成的框图。

如图14所示，该气体检测装置100构成为具备：传感器芯片110、流路120和主体部130，流路120具备吸入口120A、吸入流路120B、排出流路120C以及排出口120D。

主体部130由检测装置（光学模块）、控制部138（处理部）、以及电力供给部139等构成，检测装置包括具有可以装卸流路120的开口的传感器部盖131、排出单元133、壳体134、光学部135、滤光器136、波长可变干涉滤波器5、以及受光元件137（检测部）等，控制部138处理所检测到的信号并控制检测部，电力供给部139用于供给电力。此外，光学部135由射出光的光源135A、光束分离器135B、以及透镜135C、135D、135E构成，光束分离器135B向传感器芯片110侧反射从光源135A射入的光，并使从传感器芯片侧射入的光透过至受光元件137侧。

另外，如图15所示，在气体检测装置100的表面设有操作面板140、显示部141、用于和外部的接口的连接部142、电力供给部139。在电力供给部139是二次电池的情况下，还可以具备用于充电的连接部143。

而且，如图15所示，气体检测装置100的控制部138具备：由CPU等构成的信号处理部144、用于控制光源135A的光源驱动器电路145、用于控制波长可变干涉滤波器5的电压控制部146、用于接收来自于受光元件137的信号的受光电路147、接收来自于传感器芯片检测器148的信号的传感器芯片检测电路149、以及控制排出单元133的排出驱动器电路150等，其中，传感器芯片检测器148读取传感器芯片110的代码，检测传感器芯片110的有无。

下面，将对上述的气体检测装置100的动作进行说明。

在主体部130的上部的传感器部盖131的内部设置有传感器芯片检测器148，通过该传感器芯片检测器148检测传感器芯片110的有无。信号处理部144在检测到来自于传感器芯片检测器148的检测信号时，判断为是安装有传感器芯片110的状态，并向显示部141输出使其显示可实施检测动作的旨意的显示信号。

并且，例如在用户操作操作面板140，从操作面板140向信号处理部144输出旨在开始检测处理的指示信号时，首先，信号处理部144向光源驱动器电路145输出光源动作的信号，使光源135A进行动作。在光源135A被驱动的情况下，从光源135A以单一波长射出直线偏振光的稳定的激光。此外，在光源135A中内置有温度传感器、光量传感器，其信息向信号处理部144输出。并且，信号处理部144在基于从光源135A输入的温度、光量判断为光源135A在稳定动作中的情况下，控制排出驱动器电路150，使排出单元133动作。由此，含有要检测的目标物质（气体分子）的气体样本从吸入口120A被引向吸入流路120B、传感器芯片110内、排出流路120C、排出口120D。此外，在吸入口120A设置有除尘过滤器120A1，用于去除比较大的粉尘、一部分的水蒸气等。

此外，传感器芯片110是组装有多个金属纳米结构体、利用了局域表面等离子体共振的传感器。在这样的传感器芯片110中，通过激光在金属纳米结构体之间形成增强电场，如果气体分子进入该增强电场内，则会产生含有分子振动的信息的拉曼散射光以及瑞利散射光。

这些瑞利散射光、拉曼散射光通过光学部135射入滤光器136，瑞利散射光被滤光器136分离，拉曼散射光射入到波长可变干涉滤波器5。另外，信号处理部144作为上述实施方式中的模式切换部21、滤波器控制部22、光量获取部23，及光量校正部24发挥功能。换言之，信号处理部144与上述各实施方式相同，使波长可变干涉滤波器5的静电致动器56驱动，从经由受光电路147自受光元件137输入的杂散光量（在杂散光检查模式下检测）、与作为检测对象的气体分子相应的拉曼散射光的测定光量（在测定模式下检测）中算出拉曼散射光的校正光量。

信号处理部144将如上所述地获得的作为检测对象的气体分子所对应的拉曼散射光的光谱数据和ROM中存储的数据进行比较，判断是否是目标气体分子，并进行物质的指定。此外，信号处理部144使显示部141显示其结果信息，或从连接部142向外部输出。

此外，在上述图14以及图15中，例示了由波长可变干涉滤波器5分光拉曼散射光、且从分光后的拉曼散射光来进行气体检测的气体检测装置100，但是，作为气体检测装置，也可以用作通过检测气体固有的吸光度来指定气体类别的气体检测装置。在这种情况下，将使气体流入传感器内部、检测入射光中被气体吸收的光的气体传感器用作本发明的光学模块。并且，将通过这样的气体传感器来分析、判断流入传感器内的气体的气体检测装置作为本发明的测定装置。在这样的构成中，也可以采用波长可变干涉滤波器来检测气体的成分。

此外，作为用于检测特定物质的存在的系统，并不限定于上述的气体的检测，还可以例示出利用近红外线分光的糖类的非侵入式测定装置、或食物、生物体、矿物等信息的非侵入式测定装置等物质成分分析装置。

下面，作为上述物质成分分析装置的一个例子，对食物分析装置进行说明。

图16是示出作为利用了本发明的光学模块的测定装置的一个例子的食物分析装置的概略构成的图。

如图16所示，该食物分析装置200具备检测器210（光学模块）、控制部220、和显示部230。检测器210具备射出光的光源211、被导入来自于测定对象物的光的摄像透镜212、对从摄像透镜212导入的光进行分光的波长可变干涉滤波器5、以及检测分光后的光的摄像部213（检测部）。

此外，控制部220具备：光源控制部221，实施光源211的亮灯/灭灯控制、亮灯时的亮度控制；电压控制部222，控制波长可变干涉滤波器5；检测控制部223，控制摄像部213，获取摄像部213所拍摄的分光图像；信号处理部224；以及存储部225。信号处理部224作为上述实施方式中的模式切换部21、滤波器控制部22、光量获取部23，及光量校正部24发挥功能。

在该食物分析装置200中，在使系统驱动的情况下，由光源控制部221控制光源211，从光源211对测定对象物照射光。于是，被测定对象物所反射的光通过摄像透镜212射入波长可变干涉滤波器5中。波长可变干涉滤波器5通过电压控制部222的控制，以上述第一实施方式所示的驱动方法而被驱动。由此，可获取将杂散光量排除在外的高精度的校正光量（分光图像）。获取的分光图像被存储在存储部225中。

并且，信号处理部224对存储部225中存储的各图像中的各像素的数据进行运算处理，求得各像素中的光谱。此外，在存储部225中，存储有例如针对光谱的食物的成分相关的信息，信号处理部224基于存储部225中存储的食物相关的信息对求得的光谱的数据进行分析，求出检测对象所包含的食物成分及其含量。此外，还可以从获得的食物成分及含量算出食物卡路里、新鲜度等。而且，通过分析图像内的光谱分布，还可以实施检查对象食物中新鲜度下降的部分的提取等，进而，还可以实施食物内所含的异物等的检测。

并且，信号处理部224进行使显示部230显示如上所述地获得的检查对象食物的成分、含量、卡路里、新鲜度等信息的处理。

此外，在图16中，示出了食物分析装置200的例子，但是，也可以基于大致相同的构成，用作如上所述的其它的信息的非侵入式测定装置。例如，可以用作血液等体液成分的测定、分析等的进行生物体成分的分析的生物体分析装置。作为这样的生物体分析装置，例如作为测定血液等体液成分的装置，如果是用于检测酒精的装置，则可以用作检测驾驶员的饮酒状态的防酒驾装置。此外，还可以用作具备这样的生物体分析装置的电子内窥镜系统。

进而，还可以用作实施矿物的成分分析的矿物分析装置。

进而，本发明的光学模块、测定装置可运用于以下这样的装置。

例如，通过使各波长的光的强度随着时间的推移发生变化，还可以通过各波长的光来传送数据，在这种情况下，通过设于光学模块的波长可变干涉滤波器对特定波长的光进行分光，并由受光部来接收光，从而可以提取由特定波长的光所传送的数据，通过具备这样的数据提取用光学模块的测定装置来处理各波长的光的数据，从而还可以实施光通信。这时，通过如上述各实施方式这样将杂散光量排除在外，从而可以提高光通信的可靠性。

此外，作为测定装置，还可以应用于通过本发明的光学模块对光进行分光、从而拍摄分光图像的分光照相机、分光分析机等。作为这样的分光照相机的一个例子，可以列举内置有波长可变干涉滤波器的红外线照相机。

图17是示出分光照相机的概略构成的示意图。如图17所示，分光照相机300具备照相机主体310、摄像透镜单元320、和摄像部330。

照相机主体310是由用户把持、操作的部分。

摄像透镜单元320设置于照相机主体310，将射入的图像光引导至摄像部330。此外，如图17所示，该摄像透镜单元320构成为具备物镜321、成像透镜322、以及设置在这些透镜之间的波长可变干涉滤波器5。

摄像部330由受光元件构成，用于拍摄被摄像透镜单元320引导的图像光。

在这样的分光照相机300中，通过波长可变干涉滤波器5使作为拍摄对象的波长的光透过，从而可以拍摄期望波长的光的分光图像。这时，通过检测杂散光量并从测定光量中减去杂散光量，从而可以取得对于各波长的正确的分光图像。

此外，还可以将本发明的光学模块用作生物体认证装置，例如还可应用于利用近红外区域、可见区域的光的、血管、指纹、视网膜、虹膜等的认证装置。

而且，可以将光学模块以及测定装置用作浓度检测装置。在这种情况下，通过波长可变干涉滤波器对从物质射出的红外能量（红外光）进行分光、分析，从而来测定样品中的被检体浓度。

如上所述，本发明的测定装置还可以应用于从入射光对规定的光进行分光的任何装置。并且，本发明中，作为光学模块，如上所述，能够以一个装置来对多个波长进行分光，因此，可以高精度地实施多个波长的光谱的测定、对多个成分的检测。因此，与通过多个装置来提取期望波长的现有的装置相比，可以促进光学模块和测定装置的小型化，例如，可适合用作便携用或车载用的光学装置。

此外，实施本发明时的具体构造可以在能够达成本发明目的的范围内适当变更为其它构造等。

Claims

1.一种测定装置，其特征在于，具备：

截止滤波器，使入射光中的规定波长区域的光减少；

第一反射膜，使透过所述截止滤波器的光的一部分反射，一部分透过；

第二反射膜，与所述第一反射膜相对，使透过所述第一反射膜的光的一部分反射，一部分透过；

间隙变更部，变更所述第一反射膜与所述第二反射膜间的间隙尺寸；

受光部，接收透过所述第二反射膜的光；以及

间隙设定部，控制所述间隙变更部，将所述间隙尺寸设定为与所述规定波长区域内的第一波长相应的第一尺寸。

2.一种测定装置，其特征在于，具备：

第一反射膜；

第二反射膜，与所述第一反射膜相对；

受光部，接收透过所述第二反射膜的光；以及

间隙设定部，控制所述间隙变更部，将所述间隙尺寸设定为与规定波长区域内的第一波长相应的第一尺寸，

所述第一波长为所述受光部的受光灵敏度在规定的灵敏度阈值以下的波长。

3.根据权利要求1所述的测定装置，其特征在于，还具备：

第一基板，所述第一反射膜设置在所述第一基板上；

第二基板，所述第二反射膜设置在所述第二基板上；以及

间隙尺寸限制部，设置在所述第一基板与所述第二基板中的至少一个基板上，用于在所述间隙尺寸变为所述第一尺寸时与另一个基板抵接。

4.根据权利要求3所述的测定装置，其特征在于，

在从基板厚度方向观察所述第一基板与所述第二基板的俯视观察中，所述间隙尺寸限制部设置在不与所述第一反射膜及所述第二反射膜重叠的位置上。

5.根据权利要求1所述的测定装置，其特征在于，还具备：

光量获取部，获取在所述间隙尺寸被设定为所述第一尺寸时由所述受光部接收的光量；

测定部，获取在所述间隙尺寸变更为与所述规定波长区域以外的第二波长相应的间隙尺寸时由所述受光部接收的所述第二波长的光的光量；以及

光量校正部，获取从所述测定部所获取的所述第二波长的光的光量中减去所述光量获取部所获取的光量后的光量作为所述第二波长的光的光量。

6.根据权利要求5所述的测定装置，其特征在于，

每次进行所述测定部的测定时，所述间隙设定部都将所述间隙尺寸设定为所述第一尺寸，并在所述光量获取部获取由所述受光部接收的光量。