CN104678473A - 波长可变干涉滤波器、光学模块以及电子设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及波长可变干涉滤波器、光学模块以及电子设备。波长可变干涉滤波器(5)具备多个滤波器部(50)，所述滤波器部(50)具备：相互相对的一对反射膜(54、55)、以及变更一对反射膜(54、55)的间隔的间隙变更部，多个所述滤波器部(50)相对于与反射膜(54、55)的反射面平行的配置面二维配置，从沿配置面的规定方向(第一方向(V))观察时，在沿与规定方向(第一方向(V))交叉的第一假想直线(L1)以规定的间隔相邻的两个反射膜(54、55)之间，配置于与第一假想直线(L1)上不同的位置的其他滤波器部(50C)的反射膜(54、55)与第一假想直线(L1)上的反射膜(54、55)的一部分重叠并且无间隙地配置。

Description

波长可变干涉滤波器、光学模块以及电子设备

技术领域

本发明有关获取特定波长的光的波长可变干涉滤波器、光学模块以及电子设备。

背景技术

已知一种干涉滤波器，具有相互相对的一对反射膜，通过改变该反射膜间的距离(间隙尺寸)，而从测量对象的光中选择规定波长的光并射出(例如，参照专利文献1)。

在专利文献1的干涉滤波器中，电极配置于各反射膜上，通过将电压施加于电极间，而能够使反射膜间的间隙尺寸变化。此外，使用电介质多层膜作为反射膜，能够使光谱的半波宽小(分解度高)的光透过。

例如，可以例举将上述专利文献1记载的波长可变干涉滤波器应用于例如分光照相机等获取分光图像的装置的情形。在这种分光照相机中，有希望获取广视角内的分光图像的要求。这种情况下，可以考虑分别增大一对反射膜的面积，增大光多重干涉的有效区域。但是，存在如下问题：当增大反射膜的面积时，相应地，反射膜变得容易弯曲，当反射膜弯曲时，波长可变干涉滤波器中的分光分解度下降，不能获取高精度的分光图像。

本发明鉴于以上问题，其目的在于提供一种维持高分解度，且能够对广面积进行分光的波长可变干涉滤波器、光学模块以及电子设备。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平11-142752号公报

发明内容

本发明的波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备多个滤波器部，所述滤波器部具备：相互相对的一对反射膜、以及变更所述一对反射膜的间隔的间隙变更部，多个所述滤波器部二维配置于与所述反射膜的反射面平行的配置面，从沿所述配置面的规定方向观察时，在沿与该规定方向交叉的第一假想直线以规定的间隔相邻的两个反射膜之间，配置于与所述第一假想直线上不同的位置的其他滤波器部的反射膜与所述第一假想直线上的所述反射膜的一部分重叠并且无间隙地配置。

在本发明中，多个能够变更出射的光的波长的滤波器部设置于配置面。并且，从沿配置面的规定方向(扫描方向)观察时，在沿与该规定方向交叉的第一假想直线而配置的相邻的两个滤波器部中的反射膜之间，配置有不在第一假想直线上的其他滤波器部的反射膜，这些反射膜相互重叠并且无间隙地配置。也就是说，当从沿规定方向的扫描方向将各滤波器部的反射膜投影于第一假想直线时，反射膜无间隙地配置。

因此，例如，以所述规定方向为扫描方向，使波长可变干涉滤波器相对于测量对象沿扫描方向相对移动并进行分光的情况下，能够无间隙地进行分光测量。也就是说，由于波长可变干涉滤波器具备多个滤波器部，各滤波器部的反射膜之间无间隙地配置，因此，当使用该波长可变干涉滤波器进行分光时，能够确实地对广面积进行分光。

在本发明的波长可变干涉滤波器中，优选如下：多个所述滤波器部在从与所述配置面正交的方向观察时，根据平面填充结构而配置。

在本发明中，由于多个滤波器部平面填充于配置面，因此，无论从沿配置面的哪个方向投影，反射膜彼此都无间隙地配置。因此，无论使波长可变干涉滤波器相对于测量对象沿哪个扫描方向相对移动，都能够无间隙地实施分光测量。

在本发明的波长可变干涉滤波器中，优选如下：多个所述滤波器部在从与所述配置面正交的方向观察的俯视观察中，具有正六边形形状，以蜂窝结构作为所述平面填充结构而配置。

在本发明中，由于多个滤波器部分别由正六边形形状构成，并且，以蜂窝结构配置于载置面，因此，能够无间隙并且高效地配置多个滤波器部彼此。

在本发明的波长可变干涉滤波器中，优选如下：多个所述滤波器部具备：设置有一对反射膜的其中一个的第一基板、设置有所述一对反射膜的另一个的第二基板、以及接合所述第一基板及所述第二基板的接合部，所述接合部沿各滤波器部的所述正六边形形状的各边而设置。

在本发明中，沿多个滤波器部的正六边形形状的各边而设置接合部。通过这种构成，第一基板及第二基板在正六边形形状的各边被接合，能够实现接合强度的提高。

在本发明的波长可变干涉滤波器中，优选如下：所述接合部设置于所述正六边形形状的各边的交点。

在本发明中，接合部设置于正六边形形状的各边的交点。通过这种构成，接合区域为最小限，由此，能够使作为波长可变干涉滤波器而使用的面积效率提高。也就是说，使用波长可变干涉滤波器，能够确实地进行更广面积的分光。

在本发明的波长可变干涉滤波器中，优选如下：多个所述滤波器部的所述一对反射膜在从与所述配置面正交的方向观察的俯视观察中，为与各滤波器部的正六边形对应的正六边形。

在本发明中，多个滤波器部的一对反射膜为与各滤波器部的形状对应的正六边形。通过这种构成，当通过间隙变更部而使反射膜间的间隔(空隙尺寸)变化时，反射膜的翘曲或弯曲发生概率高的部位被限于各反射膜的正六边形的顶点附近。从而，作为反射膜而发挥作用的有效面积增大，能够提高面积效率。

在本发明的波长可变干涉滤波器中，优选如下：多个所述滤波器部包含所述一对反射膜的间隔的初始值各不相同的多种所述滤波器部。

在本发明中，具备一对反射膜的间隔的初始值(初始间隙)各不相同的多种滤波器部。通过这种构成，能够使多种滤波器部的分别的波长扫描范围不同，通过一个波长可变干涉滤波器，能够将广带域作为分光对象的波长。例如，使用反射膜间的初始间隙为700nm的第一滤波器部、反射膜间的初始间隙为1000nm的第二滤波器部、以及反射膜间的初始间隙为1300nm的第三滤波器部，在各滤波器部的波长扫描范围为300nm的情况下，通过一个波长可变干涉滤波器，能够进行400nm～1300nm的波长区域的分光。

在本发明的波长可变干涉滤波器中，优选如下：所述一对反射膜由电介质多层膜构成。

在本发明中，由于使用对于规定波长域为高反射率的电介质多层膜作为各反射膜，因此，从波长可变干涉滤波器出射的光的半宽度减小，能够使分解度提高。

此外，使用电介质多层膜作为反射膜的情况下，虽然波长扫描范围缩窄，但如上述发明所述，通过使用初始间隙不同的多个滤波器部，也能够对广带域进行分光。从而，在本发明中，能够兼顾高分解度和广带域。

在本发明的波长可变干涉滤波器中，优选如下：多个所述滤波器部具备：设置有所述一对反射膜的其中一个的第一基板、以及设置有所述一对反射膜的另一个的第二基板，所述间隙变更部具备：设置于所述第一基板的第一电极、以及设置于所述第二基板并与所述第一电极相对的第二电极，在所述第一基板上设置有与所述第一电极连接的第一连接电极，该第一连接电极从所述第一电极一直设置到所述第一基板的基板外周部为止，在所述第二基板上设置有与所述第二电极连接的第二连接电极，该第二连接电极从所述第二电极一直设置到所述第二基板的基板外周部为止。

在本发明中，间隙变更部由设置于第一基板的第一电极、设置于第二基板的第二电极构成。第一连接电极及第二连接电极分别连接于上述第一电极及第二电极，并被引出至基板外周部。

通过这种构成，能够个别地驱动各滤波器部中的间隙变更部而使间隙尺寸变化。

在本发明的波长可变干涉滤波器中，优选如下：所述第一连接电极在从与所述配置面正交的方向观察的俯视观察中，将沿规定的第一方向配置的各滤波器部的所述第一电极彼此连接，所述第二连接电极在从与所述配置面正交的方向观察的俯视观察中，将沿与所述第一方向交叉的第二方向配置的各滤波器部的所述第二电极彼此连接。

在本发明中，由于顺次对于第一连接电极及第二连接电极施加电压，能够以被动矩阵方式驱动各间隙变更部。这种情况下，能够个别地高效地驱动各滤波器部。并且，与将连接电极分别个别地连接于各滤波器部的间隙变更部的情况相比，能够抑制连接电极所占的面积，因此，能够使反射膜的面积增加，实现面积效率的提高。

在本发明的波长可变干涉滤波器中，优选如下：所述一对反射膜分别具有导电性，反射膜连接电极分别连接于各反射膜。

在本发明中，一对反射膜分别具有导电性，通过反射膜连接电极而连接。通过这种构成，能够使反射膜作为例如驱动电极或静电电容检测用电极而发挥作用。在使反射膜作为驱动电极而发挥作用的情况下，即，能够使反射膜为间隙变更部，能够进一步使滤波器部的构成简化，实现面积效率的提高。此外，在使反射膜作为静电电容检测用电极而发挥作用的情况下，通过检测一对反射膜间的电容而能够检测反射膜间的间隙尺寸。这种情况下，通过对间隙变更部进行反馈控制而能够使希望波长的光从波长可变干涉滤波器精度良好地出射。而且，通过使反射膜连接电极连接于接地电路而接地，能够使各反射膜的电荷逃逸，抑制库仑力等导致的反射膜间的间隙变动。

本发明的光学模块，其特征在于，具备：波长可变干涉滤波器，具备多个滤波器部，所述滤波器部具备：相互相对的一对反射膜、以及变更所述一对反射膜的间隔的间隙变更部，多个所述滤波器部相对于与所述反射膜的反射面平行的配置面二维配置，从沿所述配置面的规定方向观察时，在沿与该规定方向交叉的第一假想直线以规定的间隔相邻的两个反射膜之间，配置于与所述第一假想直线上不同的位置的其他滤波器部的反射膜与所述第一假想直线上的所述反射膜的一部分重叠并且无间隙地配置；以及受光部，接收从所述波长可变干涉滤波器出射的光。

在本发明中，光学模块具备上述的波长可变干涉滤波器。因此，在具备该波长可变干涉滤波器的光学模块中，能够通过受光部接收从波长可变干涉滤波器出射的对于广面积的分光图像，能够获取精度高的分光图像。

在本发明的光学模块中，优选如下：多个所述滤波器部包含所述一对反射膜的间隔的初始值各不相同的多种所述滤波器部，并且，将分别包含规定个数的多种滤波器部的组作为像素滤波器以矩阵状配置于所述配置面，所述受光部设置有多个像素，所述多个像素分别与各所述像素滤波器的多种所述滤波器部对应。

在本发明中，与上述发明同样地，在多种滤波器部中，能够分别使波长扫描范围不同，能够出射各不相同的波长域的光。并且，将包含规定个数(例如1个)的上述多种滤波器部的组作为像素滤波器，由分别与该各像素滤波器对应的受光部的一个像素接收分别从各像素滤波器出射的光，能够高效地获取分光图像。并且，能够从受光部中的各像素的受光量的数据导出分光图像的一个像素量的光谱。

本发明的电子设备，其特征在于，具备：波长可变干涉滤波器，具备多个滤波器部，所述滤波器部具备：相互相对的一对反射膜、以及变更所述一对反射膜的间隔的间隙变更部，多个所述滤波器部相对于与所述反射膜的反射面平行的配置面二维配置，从沿所述配置面的规定方向观察时，在沿与该规定方向交叉的第一假想直线以规定的间隔相邻的两个反射膜之间，配置于与所述第一假想直线上不同的位置的其他滤波器部的反射膜与所述第一假想直线上的所述反射膜的一部分重叠并且无间隙地配置；以及控制部，控制所述波长可变干涉滤波器。

在此，作为电子设备，可以例示如下：基于从上述的光学模块输出的电信号而分析入射光的色度或亮度等的光测量器、检测气体的吸收波长而检查气体的种类的气体检测装置、从受光的光中获取包含于该波长的光中的数据的光通信装置、分光照相机等。

在本发明中，基于从上述波长可变干涉滤波器出射的光，能够高精度地获取广泛测量范围的分光图像，基于这种分光图像，能够实施高精度的各种处理。

附图说明

图1为示出使用第一实施方式涉及的波长可变干涉滤波器的分光测量装置的简要构成的框图。

图2为示出第一实施方式的波长可变干涉滤波器的之一的简要构成的平面图。

图3为以A-A线剖开图2的波长可变干涉滤波器的截面图。

图4为以B-B线剖开图2的波长可变干涉滤波器的截面图。

图5为示出第一实施方式的波长可变干涉滤波器的固定基板的简要构成的平面图。

图6为示出第一实施方式的波长可变干涉滤波器的可动基板的简要构成的平面图。

图7为示出第二实施方式的波长可变干涉滤波器的滤波器部的配置例的平面图。

图8的(A)～(C)为以C-C线剖开图7的波长可变干涉滤波器的截面图。

图9为示出作为本发明的电子设备的其他例的测色装置的简要构成的框图。

图10为作为本发明的电子设备的其他例的气体检测装置的简要图。

图11为示出图10的气体检测装置的控制系统的框图。

图12为示出作为本发明的电子设备的其他例的食物分析装置的简要构成的框图。

图13为示出作为本发明的电子设备的其他例的分光照相机的简要构成的示意图。

具体实施方式

以下，根据附图说明本发明涉及的第一实施方式。

(分光测量装置的构成)

图1为示出使用本实施方式涉及的波长可变干涉滤波器的分光测量装置的简要构成的框图。

分光测量装置1为本发明电子设备的一例，例如图1所示，具备：光学模块10、处理从光学模块10输出的信号的控制部20。该分光测量装置1使光学模块10相对于测量对象X沿规定的扫描方向相对地移动，获取分光图像。并且，其为分析分光图像的各像素中的各波长的光强度，测量分光光谱的装置。此外，在本实施方式中，示出了测量由测量对象X反射的测量对象光的例子，作为测量对象X，例如使用液晶面板等的发光体的情况下，可以将该发光体发出的光作为测量对象光。

此外，虽然省略了图示，但除此之外，分光测量装置1具备使光学模块10及测量对象X相对地移动的相对移动机构等。作为相对移动机构，例如可以为使具备光学模块的测量头相对于测量对象X移动的构成，例如可以为通过传送带等而使测量对象X移动的构成。

(光学模块的构成)

光学模块10具备：波长可变干涉滤波器5、检测仪11、I-V转换器12、放大器13、A/D转换器14和驱动控制部15。

该光学模块10使由测量对象X反射的测量对象光，通过入射光学系统(图示略)，传导至波长可变干涉滤波器5，由检测仪11(受光部)接收透过波长可变干涉滤波器5的光。然后，从检测仪11输出的检测信号经由I-V转换器12、放大器13及A/D转换器14，输出至控制部20。

(波长可变干涉滤波器的构成)

下面，对于组装入光学模块10的波长可变干涉滤波器5进行说明。

图2为示出本实施方式的波长可变干涉滤波器的简要构成的平面图。图3为以A-A线剖开图2的波长可变干涉滤波器的截面图。图4为以B-B线剖开图2的波长可变干涉滤波器的截面图。

如图2所示，波长可变干涉滤波器5具备多个滤波器部50。上述多个滤波器部50具有能够平面填充配置面的形状，例如以正六边形构成，通过蜂窝结构配置于配置面。

具体而言，在二维配置的多个滤波器部50中，将沿第一假想直线L1配置的相邻的滤波器部作为第一滤波器部50A、第二滤波器部50B，将沿与第一假想直线L1平行的第二假想直线L2配置的滤波器部作为第三滤波器部50C，对各滤波器部50的配置结构进行说明。对于多个滤波器部50的载置面，沿相对于第一假想直线L1交叉的第一方向V扫描的情况下，从第一方向V观察第一滤波器部50A、第二滤波器部50B、第三滤波器部50C时，在第一滤波器部50A的反射膜54、55(参照图2、3)及第二滤波器部50B的反射膜54、55之间，配置有第三滤波器部50C的反射膜54、55，并且，以第一滤波器部50A的反射膜54、55的一部分和第三滤波器部50C的反射膜54、55的一部分重叠，并且，第二滤波器部50B的反射膜54、55的一部分和第三滤波器部50C的反射膜54、55的一部分重叠的方式而配置。

也就是说，当沿扫描方向(第一方向V)而将各滤波器部50的反射膜54、55投影于第一假想直线L1时，反射膜54、55重叠，相互无间隙地配置。

如图2、图3及图4所示，构成上述的波长可变干涉滤波器5的滤波器部50具备固定基板51及可动基板52。上述的固定基板51及可动基板52，分别例如由苏打玻璃、结晶性玻璃、石英玻璃、铅玻璃、钾玻璃、硼硅酸玻璃、无碱玻璃等的各种玻璃或水晶等形成。并且，固定基板51及可动基板52，通过接合膜59接合而一体地构成，所述接合膜59例如通过以硅氧烷为主要成分的等离子体聚合膜等构成。

在固定基板51的与可动基板52相对的面上设置有构成本发明的一对反射膜的一个的固定反射膜54，在可动基板52的与固定基板51相对的面上设置有构成本发明的一对反射膜的另一个的可动反射膜55。固定反射膜54经由间隙G1而与可动反射膜55相对。

并且，如图4所示，将用于调整(变更)间隙G1的间隙尺寸的静电驱动器56(间隙变更部)设置于滤波器部50。该静电驱动器56由构成设置于固定基板51的第一电极的固定电极561和设置于可动基板52的第二电极的可动电极562构成。

此外，在以后的说明中，将从固定基板51或者可动基板52的基板厚度方向观察的俯视观察，即，将从固定基板51及可动基板52的层叠方向观察波长可变干涉滤波器5的俯视观察，称为滤波器俯视观察。并且，在本实施方式中，在滤波器俯视观察中，固定反射膜54的中心点及可动反射膜55的中心点一致，将俯视观察中的上述反射膜54、55的中心点以O表示。

(固定基板的构成)

图5为示出本实施方式的波长可变干涉滤波器的固定基板的简要构成的平面图。

如图4及图5所示，固定基板51具备例如通过蚀刻等而形成的第一槽511、第二槽512、第三槽511A以及突出部513。

在滤波器俯视观察中，第一槽511形成以固定基板51的滤波器中心点O为中心的正六边形。在滤波器俯视观察中，第二槽512为形成以滤波器中心点O为中心的大致正六边形的槽，比第一槽511的深度尺寸大，与第一槽511的外侧连续而形成。并且，在滤波器俯视观察中，第二槽512的一部分向突出部513侧形成为凸状(槽宽度大的宽幅状)，后述的固定镜面电极57配置于该凸状部。

第三槽511A与第二槽512的外侧连续，为槽底面与第一槽511的槽底面为同一平面的槽。该第三槽511A，沿构成正六边形的滤波器部50的外周的边而形成。并且，在滤波器部50的各边的交点(顶点位置)，设置有从第三槽511A立起的接合部511B。上述的接合部511B通过接合膜59而接合于可动基板52。

此外，在多个滤波器部50中的配置于配置面的最外周部的滤波器部50中，构成该第三槽511A的表面露出于外部的电装部(图示省略)。

在第一槽511的槽底面设置有构成静电驱动器56的固定电极561。固定电极561既可以直接设置于第一槽511的槽底面，也可以经由其他薄膜(层)等设置。

在此，使滤波器部50通过滤波器中心点O并相对于与第一假想直线L1平行的假想直线L3以60度倾斜，将二等分滤波器部50的直线作为假想直线L4。固定电极561具备：夹着第一槽511的假想直线L4而配置于一侧的第一部分固定电极5611、夹着第一槽511的假想直线L4而配置于另一侧的第二部分固定电极5612。

第一固定引出电极561A连接于第一部分固定电极5611的两端部，该第一固定引出电极561A沿假想直线L4而向第三槽511A延伸，与沿假想直线L4而邻接的滤波器部50的第一部分固定电极5611连接。同样地，第二固定引出电极561B连接于第二部分固定电极5612的两端部，该第二固定引出电极561B沿假想直线L4而向第三槽511A延伸，与沿假想直线L4而邻接的滤波器部50的第二部分固定电极5612连接。并且，在波长可变干涉滤波器5中，在配置于最外周的滤波器部50中，上述的固定引出电极561A、561B的一端部，通过电装部而连接于驱动控制部15。

另外，在电装部中，分别与构成一个固定电极561的第一部分固定电极5611及第二部分固定电极5612连接的固定引出电极561A、561B，在相互导通的基础上，连接于驱动控制部15。此外，在驱动控制部15中，可以构成为：在分别与构成一个固定电极561的第一部分固定电极5611及第二部分固定电极5612连接的固定引出电极561A、561B上施加相同电压。

作为形成上述的固定电极561以及固定引出电极561A的材料，例如可以例举Au等的金属膜或Cr/Au等的金属层叠体等。

此外，在本实施方式中，示出一个固定电极561设置于第一槽511的槽底面的构成，例如为设置有以滤波器中心点O为中心的正六边形的两个电极的构成(双重电极构成)等。

突出部513形成正六边形，在突出部的与可动基板52相对的面上设置有固定反射膜54。

如图2、图3、图4及图5所示，固定反射膜54在滤波器俯视观察中，形成与突出部513相同形状的正六边形。

此外，如图3所示，固定反射膜54可以包含使高折射率层和低折射率层交互层叠而形成的电介质多层膜、和设置于电介质多层膜上并构成固定反射膜54的最表面的固定导电层。也就是说，固定反射膜54具有导电性。作为电介质多层膜，例如可以例示使高折射率层为TiO₂、使低折射率层为SiO₂的层叠体。

此外，固定导电层，由通过分光测量装置1而实施测量的对于波长域具有透光性的导电性的金属氧化物而构成，例如，作为铟氧化物的镓铟氧化物(InGaO)、氧化铟锡(掺锡氧化铟：ITO)、掺铈氧化铟(ICO)、掺氟氧化铟(IFO)、作为锡氧化物的掺锑氧化锡(ATO)、掺氟氧化锡(FTO)、氧化锡(SnO₂)、作为锌氧化物的掺铝氧化锌(AZO)、掺镓氧化锌(GZO)、掺氟氧化锌(FZO)、酸化亜鉛(ZnO)等。此外，可以使用由铟氧化物和锌氧化物构成的氧化铟锌(IZO：注册商标)。

此外，在设置于固定基板51的突出部513的固定反射膜54上，如图3所示，与该固定反射膜54的导电层连续而设置有固定镜面电极57。固定镜面电极57，相当于本发明的反射膜连接电极，通过第一固定引出电极561A及第二固定引出电极561B之间，沿第一槽511、第二槽512以及第三槽511A而配置，与沿假想直线L4而邻接的滤波器部50的固定反射膜54的导电层连接。此外，在波长可变干涉滤波器5中，在配置于最外周的滤波器部50中，一方的固定镜面电极57引出至电装部，连接于驱动控制部15。

上述的固定镜面电极57的与可动电极562相对的部分，沿上述第二槽512的宽幅状的部分而配置，其之间的间隙，以大于固定电极561和可动电极562的间隙的方式而设定。也就是说，在第二槽512中，由于固定镜面电极57和可动电极562相对，因此，能够抑制由于固定镜面电极57和可动电极562的电位差而产生的静电力的影响。

此外，可以在固定基板51的光入射面(未设置有固定反射膜54的面)，在对应于固定反射膜54的位置形成反射防止膜。该反射防止膜，例如通过交互层叠低折射率膜及高折射率膜而形成，能够使固定基板51的表面上的可见光的反射率下降，使透过率提高。

(可动基板的构成)

图6为从固定基板51侧观察可动基板52的俯视观察图。

如图2、图3、图4及图6所示，可动基板52具备：在滤波器俯视观察中以滤波器中心点O为中心的正六边形的可动部521、与可动部521同轴的、保持可动部521的保持部522、设置于保持部522外侧的连接部523。

此外，在多个滤波器部50中的配置于配置面的最外周部的滤波器部50中，构成连接部523的表面露出于外部的电装部(图示省略)。

可动部521形成为其厚度尺寸比保持部522的厚度尺寸大，例如，在本实施方式中，形成为与可动基板52(连接部523)的厚度尺寸相同的尺寸。在滤波器俯视观察中，该可动部521形成为至少比固定电极561的外周缘的直径尺寸大的直径尺寸。并且，可动反射膜55及可动电极562设置于该可动部521的与固定基板51相对的可动面521A。上述的可动反射膜55及可动电极562既可以直接设置于可动面521A，也可以在可动面521A上设置其他薄膜(层)，再在其上设置。

可动电极562与固定电极561一起构成静电驱动器56。

该可动电极562具备：夹着假想直线L3而配置于可动部521一侧的第一部分可动电极5621、夹着假想直线L3而配置于可动部521另一侧的第二部分可动电极5622。

第一可动引出电极562A连接于第一部分可动电极5621的两端部，该第一可动引出电极562A沿假想直线L3而向连接部523侧延伸，与沿假想直线L3而邻接的滤波器部50的第一部分可动电极5621连接。同样地，第二可动引出电极562B连接于第二部分可动电极5622的两端部，该第二可动引出电极562B沿假想直线L3而向连接部523侧延伸，与沿假想直线L3而邻接的滤波器部50的第二部分可动电极5622连接。并且，在波长可变干涉滤波器5中，在配置于最外周的滤波器部50中，上述的可动引出电极562A、562B的一端部通过电装部而连接于驱动控制部15。

另外，在电装部中，分别与构成一个可动电极562的第一部分可动电极5621及第二部分可动电极5622连接的可动引出电极562A、562B，在相互导通的基础上，连接于驱动控制部15。此外，与固定电极561同样地，在驱动控制部15中，可以构成为：在可动引出电极562A、562B上施加相同电压。

此外，作为可动电极562，与固定电极561同样地，例如可以例举Au等的金属膜或Cr/Au等的金属层叠体等。

此外，在本实施方式中，如图3所示，构成静电驱动器56的固定电极561及可动电极562间的间隙G2，比反射膜54、55间的间隙G1大，但不限于此。例如，使用红外线或远红外线作为测量对象光的情况等，根据测量对象光的波长域，可以构成为间隙G1比间隙G2大。

在可动面521A中，可动反射膜55至少设置于与固定反射膜54相对的区域，经由规定的间隙G1而与固定反射膜54相对。并且，可动反射膜55具有与固定反射膜54同样的构成，如图3所示，包含电介质多层膜和和设置于电介质多层膜上并构成可动反射膜55的最表面的可动导电层。作为电介质多层膜，例如可以通过使高折射率层为TiO₂、使低折射率层为SiO₂的层叠体构成。可动导电层，与固定导电层同样地，由通过分光测量装置1而实施测量的对于波长域具有透光性的导电性的层而构成，例如，作为铟氧化物的镓铟氧化物(InGaO)、氧化铟锡(掺锡氧化铟：ITO)、掺铈氧化铟(ICO)、掺氟氧化铟(IFO)、作为锡氧化物的掺锑氧化锡(ATO)、掺氟氧化锡(FTO)、氧化锡(SnO₂)、作为锌氧化物的掺铝氧化锌(AZO)、掺镓氧化锌(GZO)、掺氟氧化锌(FZO)、酸化亜鉛(ZnO)等。此外，可以使用由铟氧化物和锌氧化物构成的氧化铟锌(IZO：注册商标)。

此外，在可动反射膜55上，如图3所示，与该可动反射膜55的导电层连续而设置有可动镜面电极58。可动镜面电极58，相当于本发明的反射膜连接电极，通过第一可动引出电极562A及第二可动引出电极562B之间，与沿假想直线L3而邻接的滤波器部50的可动反射膜55的导电层连接。此外，在波长可变干涉滤波器5中，在配置于最外周的滤波器部50中，一方的可动镜面电极58引出至电装部，连接于驱动控制部15。

保持部522为包围可动部521的周围的隔膜，形成为其厚度尺寸比可动部521的厚度尺寸小。这种保持部522相比可动部521易于弯曲，通过微小的静电引力，能够使可动部521向固定基板51侧位移。此时，由于可动部521相比保持部522，其厚度尺寸较大、刚性较大，因此，即便在可动部521被静电引力拉向固定基板51侧的情况下，也能够某种程度地抑制可动部521的形状变化。

此外，在本实施方式中，例示了隔膜状的保持部522，但不限于此，例如可以为以可动部521的滤波器中心点O为中心、设置有等角度间隔配置的梁状的保持部的构成等。

(光学模块的检测仪、I-V转换器、放大器、A/D转换器的构成)

下面，回到图1，对于光学模块10进行说明。

检测仪11接收(检测)透过波长可变干涉滤波器5的光，将基于受光量的检测信号输出至I-V转换器12。

I-V转换器12将从检测仪11输入的检测信号转换为电压值，输出至放大器13。

放大器13将对应于从I-V转换器12输入的检测信号的电压(检测电压)放大。

A/D转换器14将从放大器13输入的检测电压(模拟信号)转换为数字信号，输出至控制部20。

(驱动控制部的构成)

驱动控制部15具备列驱动电路和行驱动电路。所述列驱动电路控制向与沿假想直线L4的滤波器部50的固定电极561连接的固定引出电极561A、561B供给的驱动电压、即行方向的驱动电压。所述行驱动电路控制向与沿假想直线L3的滤波器部50的可动电极562连接的可动引出电极562A、562B供给的驱动电压、即列方向的驱动电压。驱动控制部15使用上述列驱动电路和行驱动电路，通过被动矩阵方式，选择所驱动的滤波器部50而驱动。

而且，如上所述，驱动控制部15使镜面电极57、58连接于接地电路，使反射膜54、55作为带电防止用电极而发挥作用。

(控制部的构成)

下面，对于分光测量装置1的控制部20进行说明。

控制部20通过例如组合CPU和存储器等而构成，控制分光测量装置1的整体动作。如图1所示，该控制部20具备：波长设定部21、光量获取部22、分光测量部23。并且，控制部20的存储器中存储有表示透过波长可变干涉滤波器5的光的波长和对应于该波长而施加于静电驱动器56的驱动电压的关系的V-λ数据。

波长设定部21设定通过波长可变干涉滤波器5而取出的光的目的波长，基于V-λ数据，将指令信号输出至驱动控制部15。所述指令信号为将对应于设定的目的波长的驱动电压施加至静电驱动器56。

光量获取部22基于通过检测仪11获取的光量获取透过波长可变干涉滤波器5的目的波长的光的光量。

分光测量部23基于通过光量获取部22获取的光量测量测量对象光的光谱特性。

(第一实施方式的作用效果)

在本实施方式中，多个能够变更出射的光的波长的滤波器部50设置于配置面，在沿与第一方向V(扫描方向)交叉的第一假想直线L1而配置的相邻的两个滤波器部50A、50B中的反射膜54、55之间，配置有第二假想直线L2上的滤波器部50C的反射膜54、55，这些反射膜54、55相互重叠并且无间隙地配置。也就是说，当从沿规定方向的扫描方向(第一方向V)将各滤波器部50的反射膜54、55投影于第一假想直线L1时，反射膜54、55无间隙地配置。

因此，例如，以第一方向V为扫描方向，使波长可变干涉滤波器5相对于测量对象X沿第一方向V相对移动并进行分光的情况下，能够无间隙地进行分光测量，能够确实地对广面积实施分光测量。

在本实施方式中，多个滤波器部50分别构成为正六边形，对于配置面以平面填充(蜂窝结构)配置。因此，无论从沿配置面的哪个方向投影，反射膜54、55彼此都无间隙地配置。因此，无论使波长可变干涉滤波器5相对于测量对象沿哪个扫描方向相对移动，都能够无间隙地实施分光测量。并且，通过形成蜂窝结构，能够高效地配置。

在本实施方式中，，沿多个滤波器部50的正六边形的各边而设置接合部511B。通过这种构成，固定基板51及可动基板52在正六边形的各边经由接合部511B而被接合，能够实现接合强度的提高。

在本实施方式中，接合部511B设置于正六边形的各边的交点。通过这种构成，固定基板51和可动基板52的接合区域为最小限，由此，能够使作为波长可变干涉滤波器5而使用的面积效率提高。也就是说，增大能够配置反射膜54、55的面积，能够使充足光量的光从各滤波器部50透过。

在本实施方式中，多个滤波器部50的一对反射膜54、55为与各滤波器部50的形状对应的正六边形。通过这种构成，当通过静电驱动器56而使反射膜54、55间的间隔(间隙G1)变化时，反射膜54、55的翘曲或弯曲发生概率高的部位，被限于各反射膜54、55的正六边形的顶点附近。从而，作为反射膜而发挥作用的有效面积增大，能够提高面积效率。

在本发明中，静电驱动器56由设置于固定基板51的固定电极561、设置于可动基板52的可动电极562构成。固定镜面电极57及可动镜面电极58分别连接于上述固定电极561及可动电极562，并被引出至基板外周部。

通过这种构成，能够个别地驱动各滤波器部50中的静电驱动器56而使间隙G1变化，从而能够针对各像素控制透过波长。

在本实施方式中，由于顺次对于固定镜面电极57及可动镜面电极58施加电压，能够以被动矩阵方式驱动各静电驱动器56。这种情况下，能够个别地高效地驱动各滤波器部50。并且，与将连接电极分别个别地连接于各滤波器部50的静电驱动器56的情况相比，能够抑制连接电极所占的面积，因此，能够使固定反射膜54及可动反射膜55的面积增加，实现面积效率的提高。

在本实施方式中，固定反射膜54及可动反射膜55分别具有导电性，通过固定镜面电极57及可动镜面电极58而连接。并且，各镜面电极57、58在驱动控制部15中连接于接地电路。由此，能够使各反射膜54、55的电荷逃逸，抑制库仑力等导致的反射膜54、55间的间隙变动。

(第二实施方式)

下面，基于附图对本发明的第二实施方式进行说明。

在上述第一实施方式中，示出了在各滤波器部50中，反射膜54、55间的间隙G1为相同尺寸的示例。与此对比，第二实施方式在具备反射膜54、55间的间隙各不相同的三种滤波器部这点上，与第一实施方式不同。此外，对于与上述第一实施方式相同的构成付与相同符号，省略或者简化其说明。

图7为示出第二实施方式的波长可变干涉滤波器的滤波器部的配置例的平面图。图8的(A)～(C)为示出各滤波器部的间隙的截面图。

第二实施方式的波长可变干涉滤波器5A具备多个滤波器部500。在多个滤波器部500中，包含反射膜54、55间的间隙的初始值不同的三种滤波器部500A、500B、500C。第一滤波器部500A中的固定反射膜54和可动反射膜55的间隙Ga，如图8所示，与第二滤波器部500B中的固定反射膜54和可动反射膜55的间隙Gb相比，其间隙(间隔)小。并且，第二滤波器部500B中的固定反射膜54和可动反射膜55的间隙Gb，小于第三滤波器部500C中的固定反射膜54和可动反射膜55的间隙Gc。

如此，由于各滤波器部500A、500B、500C的固定反射膜54和可动反射膜55的间隙Ga、Gb、Gc不同，因此，透过各滤波器部500A、500B、500C的光的波长也各不相同。

在本实施方式中，构成滤波器部500的反射膜54、55，分别由电介质多层膜构成，通过使其间隙的初始值不同，例如，使第一滤波器部为400nm～500nm、使第二滤波器部为500nm～600nm、使第三滤波器部为600nm～700nm，从而设定能够进行分光的波长扫描范围。

此外，构成波长可变干涉滤波器5A的第一滤波器部500A、第二滤波器部500B、第三滤波器部500C，如图7所示，以同种的滤波器部500相互不邻接的方式配置。由此，由于使同带域的透过波长变化的滤波器部500彼此不邻接，因此，能够全面地进行各带域的分光。

在此，如图7所示，由于将包含各一个的三种滤波器部500A、500B、500C的组作为一个像素滤波器5000。并且，在检测仪11中，以一个像素分别对应于构成各像素滤波器5000的第一滤波器部500A、第二滤波器部500B、第三滤波器部500C的方式，设定拍摄元件。由此，能够精度良好地获取对于一个像素的各波长的光谱特性。并且，将分别对应于第一滤波器部500A、第二滤波器部500B、第三滤波器部500C而设置的各像素的受光量的数据结合，而能够导出分光图像的一个像素的光谱。也就是说，能够导出将各滤波器部500A、500B、500C的带域宽度统合的广带域的光谱。

例如，在本实施方式中，通过以被动矩阵方式驱动波长可变干涉滤波器5A，能够分别地个别驱动各滤波器部500。因此，对于一个像素，在测量400nm～500nm的波长扫描范围的光谱特性时，对于第一滤波器部500A施加驱动电压，顺次通过检测仪11获取400nm～500nm内的各波长的光。同样地，在以各像素中的500nm～600nm的波长扫描范围为对象的情况下，对于第二滤波器部500B施加驱动电压，在以各像素中的600nm～700nm的波长扫描范围为对象的情况下，对于第三滤波器部500C施加驱动电压，以被动矩阵方式驱动而顺次使透过波长变化。

(第二实施方式的作用效果)

在本实施方式中，具备一对反射膜54、55的间隔的初始值(初始间隙Ga、Gb、Gc)各不相同的多种滤波器部500A、500B、500C。通过这种构成，能够使多种滤波器部500A、500B、500C的分别的波长扫描范围不同，通过一个波长可变干涉滤波器5A，能够将广带域作为分光对象的波长。例如，使用反射膜54、55间的初始间隙为700nm的第一滤波器部500A、为1000nm的第二滤波器部500B、为1300nm的第三滤波器部500C，在各滤波器部500A、500B、500C的波长扫描范围为300nm的情况下，通过一个波长可变干涉滤波器5A，能够进行400nm～1300nm的波长区域的分光。

在本实施方式中，由于使用对于规定波长域为高反射率的电介质多层膜作为各反射膜54、55，因此，从波长可变干涉滤波器5A出射的光的半宽度减小，能够使分解度提高。

此外，使用电介质多层膜作为反射膜54、55的情况下，虽然波长扫描范围缩窄，但如上述实施方式所述，通过使用初始间隙不同的多个滤波器部500A、500B、500C，也能够对广带域进行分光。从而，在本实施方式中，能够兼顾高分解度和广带域。

(其他实施方式)

此外，本发明不限于前述的实施方式，在能够达到本发明目的的范围内的变形、改良等也包含于本发明。

在上述第一实施方式及第二实施方式中，以六边形构成固定反射膜54及可动反射膜55，但不限于此。例如，也可以以圆形构成固定反射膜54及可动反射膜55。从而，与以六边形构成固定反射膜54及可动反射膜55相比，当可动基板52由于静电驱动器56的驱动而变形时，能够进一步减少可动反射膜55的翘曲或弯曲。

此外，同样地，也可以以三角形、矩形构成固定反射膜54及可动反射膜55。有关这点，在上述第一实施方式及第二实施方式中的以六边形构成反射膜54、55的情况下，与以三角形构成反射膜54、55的情况相比较，能够减少可动反射膜55的翘曲或弯曲。也就是说，在上述第一实施方式及第二实施方式中，通过以六边形形成反射膜54、55，能够发挥与以圆形形成反射膜54、55的情况更为近似的效果。

此外，在上述第一实施方式及第二实施方式中，例示了通过将反射膜54、55作为接地电位，来抑制库仑力的发生的构成，但不限于此。

例如，也可以构成为在反射膜54、55之间施加高频电压而检测反射膜54、55间的静电电容的构成。这种情况下，通过根据检测的电容而对施加于静电驱动器56的电压实施反馈控制，能够更加精度良好地控制间隙尺寸。

此外，也可以对于反射膜54、55施加驱动电压，使反射膜54、55作为驱动电极而发挥作用。这种情况下，通过静电驱动器56和反射膜54、55，能够进行更为精细的电压控制，间隙控制的精度上升。

而且，也可以不设置静电驱动器56，而仅通过施加于反射膜54、55间的电压而实施间隙控制。这种情况下，不需要静电驱动器56或引出电极561A、561B、562A、562B，可以使滤波器部50的构成简化。从而，能够增大反射膜54、55的面积，面积效率提高。

在第二实施方式中，示出了构成第一滤波器部500A、第二滤波器部500B、第三滤波器部500C的固定反射膜54及可动反射膜55，使用相同的电介质多层膜，使反射膜54、55间的间隙的初始值不同的示例，但不限于此。在电介质多层膜中，以对于希望透过的波长扫描范围而反射率变高的方式，设计各电介质膜，总数越多，电介质多层膜中的反射率越高，各滤波器部500中的分解度也越高。从而，可以构成为：通过使各滤波器部500A、500B、500C的膜层数为能够确保规定的分解度的规定数以上，并且使膜层数各不相同，而使各滤波器部500A、500B、500C中的间隙的初始值各不相同。这种情况下，无需使各滤波器部500A、500B、500C中的突出部513的突出尺寸各不相同，能够提高制造固定基板51时的制造效率。

此外，在第二实施方式中，通过电介质多层膜构成第一滤波器部500A、第二滤波器部500B、第三滤波器部500C，但不限于此。例如，可以通过Ag合金构成第一滤波器部500A及第二滤波器部500B，通过电介质多层膜构成第三滤波器部500C。

此外，在第一实施方式及第二实施方式的分光测量装置1中，为波长可变干涉滤波器5直接设置于光学模块10的构成，但不限于此。例如，可以在框体内形成收容空间，使用将波长可变干涉滤波器5收纳于该收容空间内的光学滤波设备。由此，由于波长可变干涉滤波器5被框体保护，因此，能够防止外因导致的波长可变干涉滤波器5的破损。

例示了接合部511B设置于各滤波器部50的正六边形的顶点位置的构成，但不限于此。例如，也可以构成为接合部设置于正六边形的各边的中央部等。

作为本发明的电子设备，在上述各实施方式中，例示了分光测量装置1。此外，根据领域的不同，能够使用本发明的光学模块、及电子设备。

例如，如图9所示，也能够将本发明的电子设备使用于测量颜色的测色装置中。

图9为示出具备波长可变干涉滤波器的测色装置400的一例的框图。

该测色装置400，如图9所示，具备：向测量对象X射出光的光源装置410、测色传感器420(光学模块)、控制测色装置400的整体动作的控制装置430。并且，该测色装置400通过测量对象X使从光源装置410射出的光发生发射，通过测色传感器420接收被反射的检查对象光，基于从测色传感器420输出的检测信号，对于检查对象光的色度、即测量对象X的颜色进行分析、测量的装置。

光源装置410具备：光源411、多个透镜412(图9中仅记载1个)，向测量对象X射出例如基准光(例如，白色光)。另外，多个透镜412中可以包含准直透镜，这种情况下，光源装置410，将从光源411射出的基准光通过准直透镜变为平行光，从未图示的投射透镜朝向测量对象X射出。此外，在本实施方式中，例示了具备光源装置410的测色装置400，例如测量对象X为液晶板等的发光构件的情况下，也可以为不设置光源装置410的构成。

测色传感器420为本发明的光学模块，如图9所示，具备：波长可变干涉滤波器5、接收透过波长可变干涉滤波器5的光的检测仪11、使由波长可变干涉滤波器5透过的光的波长可变的驱动控制部15。并且，测色传感器420在与波长可变干涉滤波器5相对的位置，具备将通过测量对象X反射的反射光(检查对象光)导入内部的未图示的入射光学透镜。然后，该测色传感器420通过波长可变干涉滤波器5，从自入射光学透镜入射的检查对象光中，对规定波长的光进行分光，由检测仪11接收分光的光。此外，代替波长可变干涉滤波器5，也可以为设置上述的光学滤波设备的构成。

控制装置430控制测色装置400的整体动作。

作为该控制装置430，能够使用例如通用个人电脑、携带信息终端、此外能够使用测色专用计算机等。而且，控制装置430，如图9所示，具备光源控制部431、测色传感器控制部432及测色处理部433等而构成。

光源控制部431连接于光源装置410，基于例如使用者的设定输入，向光源装置410输出规定的控制信号，使规定的亮度的白色光射出。

测色传感器控制部432连接于测色传感器420，基于例如使用者的设定输入，设定通过测色传感器420接收的光的波长，将以检测该波长的光的受光量为内容的控制信号输出至测色传感器420。由此，测色传感器420的驱动控制部15基于控制信号，向静电驱动器56施加电压，驱动波长可变干涉滤波器5。

测色处理部433从由检测仪11检测的受光量分析测量对象X的色度。

并且，作为本发明的电子设备的其他例子，能够例举用于检测特定物质的存在的光基础的系统。作为这种系统，例如能够例示出：采用本发明的光学模块的光谱计测方式而高灵敏度地检测特定气体的车载用气体泄漏检测器、呼气检查用的光音响稀有气体检测器等的气体检测装置。

以下，基于附图说明这种气体检测装置的一例。

图10为示出具备本发明的光学模块的气体检测装置的一例的简要图。

图11为示出图10的气体检测装置的控制系统的构成的框图。

该气体检测装置100如图10所示，被构成为具备：具备传感器芯片110、吸引口120A、吸引流路120B、排出流路120C、以及排出口120D的流路120、和主体部130。

主体部130由检测装置(光学模块)、控制部138(处理部)、电力供给部139等构成。其中，检测装置(光学模块)包含：具有可拆装流路120的开口的传感器部盖131、排出单元133、框体134、光学部135、滤波器136、波长可变干涉滤波器5及受光元件137(受光部)等；控制部138(处理部)实施根据由受光元件137接收的光而输出的信号的处理或检测装置或光源部的控制；电力供给部139供给电力。此外，代替波长可变干涉滤波器5，可以构成为设置上述的光学滤波设备。并且，光学部135由如下构成：射出光的光源135A；将从光源135A入射的光反射至传感器芯片110侧，使从传感器芯片侧入射的光透过至受光元件137侧的分光器135B；透镜135C、135D、135E。

并且，如图11所示，操作板140、显示部141、用于与外部的接口的连接部142、电力供给部139设置于气体检测装置100的表面。电力供给部139为二次电池的情况下，也可以具备用于充电的连接部143。

而且，气体检测装置100的控制部138如图11所示，具备：由CPU等构成的信号处理部144、用于控制光源135A的光源驱动电路145、用于控制波长可变干涉滤波器5的驱动控制部15、用于接收来自受光元件137的信号的受光电路147、接收来自读取传感器芯片110的编码并检测传感器芯片110的有无的传感器芯片检测器148的信号的传感器芯片检测电路149、以及控制排出单元133的排出驱动电路150等。

下面，对于上述的气体检测装置100的动作进行说明。

在主体部130的上部的传感器部盖131的内部，设置有传感器芯片检测器148，通过该传感器芯片检测器148检测传感器芯片110的有无。当检测到来自传感器芯片检测器148的检测信号时，信号处理部144判断为安装有传感器芯片110的状态，向显示部141发出显示信号，使其显示能够实施检测动作的内容。

然后，当通过例如使用者操作操作板140，从操作板140向信号处理部144输出开始检测处理的指示信号时，首先，信号处理部144，向光源驱动电路145输出光源动作的信号，使光源135A动作。当光源135A被驱动时，从光源135A射出单一波长的、直线偏振光稳定的激光。并且，光源135A中内置有温度传感器或光量传感器，其信息向信号处理部144输出。于是，信号处理部144，基于从光源135A输入的温度或光量，判断光源135A稳定动作时，控制排出驱动电路150，使排出单元133动作。由此，包含应检测的标的物质(气体分子)的气体试料，被从吸引口120A向吸引流路120B、传感器芯片110内、排出流路120C、排出口120D引导。此外，除尘过滤器120A1设置于吸引口120A，比较大的粉尘和一部分水蒸气等被除去。

并且，传感器芯片110为组装多个金属纳米结构体，利用局部表面等离子体共振的传感器。在这种传感器芯片110中，通过激光在金属纳米结构体间形成增强电场，当气体分子进入该增强电场内时，产生包含分子振动的信息的拉曼散射光及瑞利散射光。

这些拉曼散射光和瑞利散射光通过光学部135而入射至滤波器136，瑞利散射光通过滤波器136而被分离，拉曼散射光入射至波长可变干涉滤波器5。然后，信号处理部144向驱动控制部15输出控制信号。由此，驱动控制部15与上述第一实施方式同样地，驱动波长可变干涉滤波器5的静电驱动器56通过波长可变干涉滤波器5使对应于作为检测对象的气体分子的拉曼散射光分光。之后，由受光元件137接收分光的光，对应于受光量的受光信号经由受光电路147输出至信号处理部144。这种情况下，能够从波长可变干涉滤波器5精度良好地取出目的拉曼散射光。

信号处理部144比较如上得到的对应于作为检查对象的气体分子的拉曼散射光的光谱数据和存储于ROM的数据，判定是否为目的气体分子，进行物质的特定。并且，信号处理部144使显示部141显示该结果信息，从连接部142向外部输出。

此外，在上述图10及图11中，例示了通过波长可变干涉滤波器5将拉曼散射光分光、从被分光的拉曼散射光进行气体检测的气体检测装置100，作为气体检测装置，也可以用作通过检测气体固有的吸光度而特定气体种别的气体检测装置。这种情况下，使气体流入传感器内部，将检测入射光中被气体吸收的光的气体传感器，作为本发明的光学模块使用。并且，将分析、判别通过这种气体传感器流入传感器内的气体的气体检测装置，作为本发明的电子设备。通过这种构成，也能够使用波长可变干涉滤波器检测气体的成分。

另外，作为检测特定物质的存在的系统，不限于上述的气体的检测，能够例如通过近红外线分光的糖类的非侵袭性测量装置或食物、生物体、矿物等的信息的非侵袭性测量装置等的物质成分分析装置。

以下，作为上述物质成分分析装置的一例，说明食物分析装置。

图12为表示作为使用本发明的光学模块的电子设备的一例的食物分析装置的简要构成的图。

该食物分析装置200如图12所示，具备：检测器210(光学模块)、控制部220、显示部230。检测器210，具备：射出光的光源211、导入来自测量对象物的光的拍摄透镜212、将从拍摄透镜212导入的光分光的波长可变干涉滤波器5、检测被分光的光的拍摄部213(检测部)。此外，取代波长可变干涉滤波器5，也可以构成为设置上述的光学滤波设备。

并且，控制部220具备：实施光源211的点亮/熄灭控制、点亮时的亮度控制的光源控制部221、控制波长可变干涉滤波器5的驱动控制部15、控制拍摄部213并获取由拍摄部213拍摄的分光图像的检测控制部223、信号处理部224、存储部225。

如果使系统驱动，该食物分析装置200就由光源控制部221控制光源211，从光源211向测量对象物照射光。接着，由测量对象物反射的光通过拍摄透镜212入射至波长可变干涉滤波器5。波长可变干涉滤波器5通过驱动控制部15的控制，以所述第一实施方式所示的驱动方法而被驱动。由此，能够从波长可变干涉滤波器5精度良好地取出目的波长的光。然后，被取出的光，被例如由CCD照相机等构成的拍摄部213拍摄。并且，拍摄的光作为分光图像存储于存储部225。并且，信号处理部224控制驱动控制部15，使施加于波长可变干涉滤波器5的电压值发生变化，获取对于各波长的分光图像。

接着，信号处理部224，对存储于存储部225的各图像中的各像素的数据进行演算处理，求取各像素中的光谱。并且，存储部225中存储例如有关对应于光谱的食物的成分的信息，信号处理部224以存储部225所存储的有关食物的信息为基础分析求得的光谱的数据，求取检查对象中包含的食物成分及其含有量。并且，从得到的食物成分及含有量，能够算出食物卡路里或鲜度等。而且，通过分析图像内的光谱分布，也能够在检查对象的食物中实施鲜度下降部分的抽出等，而且，也能够实施食物内包含的异物等的检测。

然后，信号处理部224进行如下处理：使通过上述得到的检查对象的食物的成分或含有量、卡路里或鲜度等的信息显示于显示部230。

并且，在图12中示出食物分析装置200的例子，通过大致相同的构成，也能够作为上述的其他信息的非侵袭性测量装置使用。例如，能够作为血液等的体液成分的测量、分析等，分析生物体成分的生物体分析装置使用。作为这种生物体分析装置，例如作为测量血液等的体液成分的装置，使用检测乙基乙醇的装置的话，能够作为检测驾驶员的饮酒状态的防止酒驾装置使用。并且，也可以作为具备这种生物体分析装置的电子内视镜系统使用。

而且，也能够作为实施矿物的成分分析的矿物分析装置使用。

而且，作为本发明的光学模块、电子设备，能够适用于以下的装置。

例如，通过使各波长的光的强度发生经时性的变化，能够以各波长的光传输数据。这种情况下，通过设置于光学模块的波长可变干涉滤波器，对特定波长的光进行分光，由受光部接收，从而能够抽出由特定波长的光传输的数据，通过具备这种数据抽出用光学模块的电子设备，处理各波长的光的数据，能够实施光通信。

并且，作为电子设备，通过本发明的光学模块对光进行分光，也能够适用于拍摄分光图像的分光照相机、光谱分析机等。作为这种分光照相机的一例，能够例举内置有波长可变干涉滤波器的红外线照相机。

图13为表示分光照相机的简要构成的示意图。分光照相机300如图13所示，具备：照相机主体310、拍摄透镜单元320、拍摄部330。

照相机主体310为由使用者把持、操作的部分。

拍摄透镜单元320设置于照相机主体310，将入射的图像光导光至拍摄部330。并且，该拍摄透镜单元320如图13所示，具备对物透镜321、成像透镜322及设置于这些透镜之间的波长可变干涉滤波器5而构成。此外，代替波长可变干涉滤波器5，也可以构成为设置上述的光学滤波设备。

拍摄部330由受光元件构成，对由拍摄透镜单元320导光的图像光进行拍摄。

在这种分光照相机300中，通过波长可变干涉滤波器5使成为拍摄对象的波长的光透过，从而能够拍摄期望波长的光的分光图像。

而且，也可以将本发明的光学模块作为带通滤波器使用，例如，能够作为光学式激光装置使用，上述光学式激光装置通过波长可变干涉滤波器，从发光元件射出的规定波长域的光中，仅对以规定的波长为中心的窄带域的光进行分光而使其透过。

并且，也可以将本发明的光学模块作为生物体认证装置使用，例如，能够适用于使用近红外区域或可视区域的光的血管或指纹、网膜、虹膜等的认证装置。

而且，能够将光学模块及电子设备作为浓度检测装置使用。这种情况下，通过波长可变干涉滤波器，对从物质射出的红外能源(红外光)进行分光并分析，测量样品中的被检测体浓度。

如上所述，本发明的光学模块及电子设备能够适用于从入射光对规定的光进行分光的任何装置。并且，由于本发明的光学模块，如上所述，由于能够维持高分解度，且对广面积进行分光，因此，能够精度良好地实施对于多个波长的光谱的测量、对于多个成分的检测。从而，与通过多个仪器取出希望波长的现有装置相比，能够促进光学模块和电子设备的小型化，例如适于作为携带用或车载用的光学设备使用。

除此之外，本发明实施时的具体结构，在能够达成本发明目的的范围内能够适宜地变更为其他结构等。

Claims (14)

1.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，

具备多个滤波器部，所述滤波器部具备：相互相对的一对反射膜、以及变更所述一对反射膜的间隔的间隙变更部，

多个所述滤波器部二维配置于所述反射膜的反射面平行的配置面，从沿所述配置面的规定方向观察时，在沿与所述规定方向交叉的第一假想直线以规定的间隔相邻的两个反射膜之间，配置于与所述第一假想直线上不同的位置的其他滤波器部的反射膜与所述第一假想直线上的所述反射膜的一部分重叠并且无间隙地配置。

2.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，多个所述滤波器部在从与所述配置面正交的方向观察时，根据平面填充结构而配置。

3.根据权利要求2所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，多个所述滤波器部在从与所述配置面正交的方向观察的俯视观察中，具有正六边形形状，并以蜂窝结构作为所述平面填充结构而配置。

4.根据权利要求3所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

多个所述滤波器部具备：设置有一对反射膜中的其中一个的第一基板、设置有所述一对反射膜中的另一个的第二基板、以及接合所述第一基板及所述第二基板的接合部，

所述接合部沿各滤波器部的所述正六边形形状的各边而设置。

5.根据权利要求4所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述接合部设置于所述正六边形形状的各边的交点。

6.根据权利要求3至5中任一项所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，多个所述滤波器部的所述一对反射膜在从与所述配置面正交的方向观察的俯视观察中，为与各滤波器部的正六边形形状对应的正六边形形状。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，多个所述滤波器部包含所述一对反射膜的间隔的初始值各不相同的多种所述滤波器部。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述一对反射膜由电介质多层膜构成。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

多个所述滤波器部具备：设置有所述一对反射膜中的其中一个的第一基板、以及设置有所述一对反射膜中的另一个的第二基板，

所述间隙变更部具备：设置于所述第一基板的第一电极、以及设置于所述第二基板并与所述第一电极相对的第二电极，

在所述第一基板上设置有与所述第一电极连接的第一连接电极，所述第一连接电极从所述第一电极一直设置到所述第一基板的基板外周部，

在所述第二基板上设置有与所述第二电极连接的第二连接电极，所述第二连接电极从所述第二电极一直设置到所述第二基板的基板外周部。

10.根据权利要求9所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

所述第一连接电极在从与所述配置面正交的方向观察的俯视观察中，将沿规定的第一方向配置的各滤波器部的所述第一电极彼此连接，

所述第二连接电极在从与所述配置面正交的方向观察的俯视观察中，将沿与所述第一方向交叉的第二方向配置的各滤波器部的所述第二电极彼此连接。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

所述一对反射膜分别具有导电性，

各反射膜分别连接有反射膜连接电极。

12.一种光学模块，其特征在于，具备：

波长可变干涉滤波器；以及

受光部，接收从所述波长可变干涉滤波器出射的光，

所述波长可变干涉滤波器具备多个滤波器部，所述滤波器部具备：相互相对的一对反射膜、以及变更所述一对反射膜的间隔的间隙变更部，多个所述滤波器部相对于与所述反射膜的反射面平行的配置面二维配置，从沿所述配置面的规定方向观察时，在沿与所述规定方向交叉的第一假想直线以规定的间隔相邻的两个反射膜之间，配置于与所述第一假想直线上不同的位置的其他滤波器部的反射膜与所述第一假想直线上的所述反射膜的一部分重叠并且无间隙地配置。

13.根据权利要求12所述的光学模块，其特征在于，

多个所述滤波器部包含所述一对反射膜的间隔的初始值各不相同的多种所述滤波器部，并且将分别包含规定个数的多种滤波器部的组作为像素滤波器以矩阵状配置于所述配置面，

所述受光部设置有多个像素，所述多个像素分别与各所述像素滤波器的多种所述滤波器部对应。

14.一种电子设备，其特征在于，具备：

波长可变干涉滤波器；以及

控制部，控制所述波长可变干涉滤波器，

所述波长可变干涉滤波器具备多个滤波器部，所述滤波器部具备：相互相对的一对反射膜、以及变更所述一对反射膜的间隔的间隙变更部，多个所述滤波器部相对于与所述反射膜的反射面平行的配置面二维配置，从沿所述配置面的规定方向观察时，在沿与所述规定方向交叉的第一假想直线以规定的间隔相邻的两个反射膜之间，配置于与所述第一假想直线上不同的位置的其他滤波器部的反射膜与所述第一假想直线上的所述反射膜的一部分重叠并且无间隙地配置。