JP6669509B2 - 駆動装置及び光フィルタ - Google Patents
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Description
11A 第1の基板
11B 第2の基板
12 可動部
13 支持部
14A、16A、17A、21A、22A、31A 第1の駆動電極
14B、16B、17B、21B、22B、31B 第2の駆動電極
32A 第1の検知電極
32B 第2の検知電極
40 光フィルタ
41A 第1の反射膜
41B 第2の反射膜
Claims (10)
- 間隙をおいて対向する第1及び第2の主表面をそれぞれ有する第1及び第2の基板と、
底面が前記第1の主表面を構成し、前記第1の主表面に垂直な方向に移動する可動部と、
前記第1の基板に対して前記可動部を移動可能に支持する支持部と、
前記可動部の外周部に沿って前記第1の主表面上に形成された第1の駆動電極と、
前記可動部の移動方向から透視した場合に前記第1の駆動電極よりも内側にオフセットして、前記第2の主表面上に形成された第2の駆動電極と、
を有することを特徴とする駆動装置。 - 前記第1及び第2の駆動電極は、電圧の印加により前記可動部に対して前記可動部の移動方向の第1の成分と、前記移動方向に垂直且つ前記外周部から内側に向かう方向の第2の成分とを有する静電引力を生じることを特徴とする請求項1に記載の駆動装置。
- 前記可動部は前記移動方向に関して回転対称形状を有し、
前記第1及び第2の駆動電極は、前記可動部の回転対称軸と同軸の回転対称形状を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の駆動装置。 - 前記可動部は前記回転対称軸を中心軸とする円柱形状を有し、
前記支持部は前記第1の基板に形成されて前記可動部を取り囲む環状形状を有し、
前記支持部、前記第1及び第2の駆動電極は前記回転対称軸に関して同軸の環状形状を有することを特徴とする請求項3に記載の駆動装置。 - 前記第1及び第2の駆動電極は前記移動方向から透視した場合に互いに重なる領域を有することを特徴とすることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1つに記載の駆動装置。
- 前記第1及び第2の駆動電極は互いに異なる電極幅を有することを特徴とする請求項5に記載の駆動装置。
- 前記第1の駆動電極は互いに絶縁された複数の第1の副駆動電極を有し、
前記第2の駆動電極は互いに絶縁された複数の第2の副駆動電極を有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1つに記載の駆動装置。 - 前記可動部の移動量を検知する検知部を有することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1つに記載の駆動装置。
- 前記検知部は少なくとも1つの副検知部を有し、
前記少なくとも1つの副検知部の各々は、前記第1及び第2の主表面上において互いに対向して配された第1及び第2の検知電極を有することを特徴とする請求項8に記載の駆動装置。 - 請求項1乃至9のいずれか1つに記載の駆動装置と、
前記可動部上及び前記第2の主表面上において互いに対向して配された第1及び第2の反射膜と、を有することを特徴とする光フィルタ。
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